JP2016052112A - 固体撮像装置のテスト装置及びテスト方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】固体撮像装置の画素間における分光感度ムラの有無の判定を行うことができる固体撮像装置のテスト装置を提供する。
【解決手段】テスト装置1は、中心波長が所定の波長で所定の半値幅を有する狭帯域光を出射する光源5と、ウエハ10上に形成されたイメージセンサである複数の固体撮像装置11を有し、光源5からの狭帯域光が照射された固体撮像装置11の複数の画素の出力信号を読み出し、出力信号から、複数の画素間の感度ムラを判定する。
【選択図】図1
【解決手段】テスト装置1は、中心波長が所定の波長で所定の半値幅を有する狭帯域光を出射する光源5と、ウエハ10上に形成されたイメージセンサである複数の固体撮像装置11を有し、光源5からの狭帯域光が照射された固体撮像装置11の複数の画素の出力信号を読み出し、出力信号から、複数の画素間の感度ムラを判定する。
【選択図】図1
Description
本発明の実施形態は、固体撮像装置のテスト装置及びテスト方法に関する。
従来より、固体撮像装置のテストが行われている。テストの中には、製品毎に発生得る固体撮像装置の分光感度特性を測定し、色再現のための補正データを得ることが行われることもある。
しかし、これまでは、固体撮像装置の画素間における分光感度特性は、問題にされなかった。1つの固体撮像装置において画素間で分光感度特性に差があると、得られる画像に縞模様等ができる等して色合いが正しく再現できないという問題がある。
そこで、実施形態は、固体撮像装置の画素間における分光感度ムラの有無の判定を行うことができる固体撮像装置のテスト装置及びテスト方法を提供することを目的とする。
実施形態の固体撮像装置のテスト装置は、中心波長が所定の波長で所定の半値幅を有する狭帯域光、あるいは前記所定の波長の単波長光を出射する光源と、前記光源からの前記狭帯域光あるいは前記単波長光が照射された、前記固体撮像装置の複数の画素の出力信号を読み出す出力信号読み出し部と、前記出力信号から、前記複数の画素間の感度ムラを判定する判定部と、を有する。
以下、図面を参照して実施形態を説明する。
図1は、実施形態に関わる固体撮像装置のテスト装置1の構成を示すブロック図である。固体撮像装置のテスト装置1は、パーソナルコンピュータなどのコンピュータ(以下、PCという))2と、プローバ3と、テストヘッド4と、光源5とを含んで構成される、分光感度ムラ測定装置である。
図1は、実施形態に関わる固体撮像装置のテスト装置1の構成を示すブロック図である。固体撮像装置のテスト装置1は、パーソナルコンピュータなどのコンピュータ(以下、PCという))2と、プローバ3と、テストヘッド4と、光源5とを含んで構成される、分光感度ムラ測定装置である。
PC2は、後述するように、テスト装置1の全体の動作を制御すると共に、各種演算を行う制御装置である。よって、PC2は、プローバ3、テストヘッド4及び光源5を制御する。PC2は、テスターともいう。
プローバ3は、ウエハ10上に形成された、イメージセンサである複数の固体撮像装置11をテストするために、ウエハ10を搭載したステージ(図示せず)を駆動する装置を含む。図示しないステージ上に搭載されたウエハ10上のパッドには、テストボード12に固定されたプローブカード13の複数の針が当てられ、テストヘッド4から所定の電気信号がウエハ10上の、テスト対象の固体撮像装置11に入力される。
固体撮像装置11のテストは、光源5により所定の光を、ウエハ10上の固体撮像装置11に対し順番に照射すると共に、所定の光が照射された固体撮像装置に、PC2内に保持されたテストパターンに従って所定の電気信号を各パッドに供給して、出力された各画素の出力信号に基づいて行われる。ここで、所定の光は、狭帯域光である。
テストヘッド4は、光源5と一体になっており、光源5は、PC2により制御されて、所定の狭帯域光をウエハに当てる。ウエハ10の各固体撮像装置11のパッドから出力される電気信号は、プローブカード13を介してテストヘッド4に入力される。テストヘッド4は、受信した電気信号の出力値データを、PC2に出力する。
図2は、光源5の構成図である。テスト用光源装置である光源5は、ランプ21と、減光ユニット22と、ND(Neutral Density)フィルタターレット23と、カラーフィルタターレット24と、拡散ユニット25と、レンズユニット26とを含む。
ランプ21は、可視光の全波長帯域の光を出射する例えばハロゲンランプである。ランプ21から出射された光は、減光フィルタ22、NDフィルタターレット23、カラーフィルタターレット24、拡散ユニット25、及びレンズユニット26の順に透過して、レンズユニット26から出射する。
減光ユニット22は、ランプ21から出射された光の光量を制限する絞りを有する。
減光ユニット22は、ランプ21から出射された光の光量を制限する絞りを有する。
NDフィルタターレット23は、複数のNDフィルタを有し、中心軸回りに回動可能な円板状のターレットであり、光を透過するために選択されたフィルタに応じて、透過する光の光量を離散的に変更するためのフィルタ装置である。
カラーフィルタターレット24は、複数のフィルタを含むフィルタ装置である。カラーフィルタターレット24の構成は、後述する。
カラーフィルタターレット24は、複数のフィルタを含むフィルタ装置である。カラーフィルタターレット24の構成は、後述する。
拡散ユニット25は、入射した光を均一化して出射するユニットである。
レンズユニット26は、拡散フィルタ25から出射した光を、所定の方向に出射する光学系である。
レンズユニット26は、拡散フィルタ25から出射した光を、所定の方向に出射する光学系である。
図3は、カラーフィルタターレット24の構成を示す正面図である。カラーフィルタターレット24は、円板状のフィルタであり、中心軸回りに回動可能となっている装置である。カラーフィルタターレット24には、複数の孔が形成されており、複数の孔には、透過特性が互いに異なるフィルタが複数設けられている。カラーフィルタターレット24が回動されることによって、複数のフィルタ中の所望の1つのフィルタが選択されて、選択されたフィルタを透過した光が出射される。
図3において、フィルタF1は、青色の光のみを透過させるフィルタである。フィルタF2は、緑色の光のみを透過させるフィルタである。フィルタF3は、赤色の光のみを透過させるフィルタである。1つのフィルタ装着部には、NDフィルタターレット23からの光を透過させる孔HFであり、フィルタが設けられていない。
フィルタF1、F2及びF3は、青、緑及び赤の色特性をテストするときに使用されるフィルタである。孔HFは、基準となる白色光が照射されたときの特性をテストするときに使用される孔である。
フィルタF4は、赤色系の狭帯域光、ここでは、中心波長が620nmで、半値幅が10nmの光、を透過する狭帯域フィルタである。フィルタF4を透過した光の中心波長は、可視光の波長帯域中の赤色系の波長である。
フィルタF5は、緑色系の狭帯域光、ここでは、中心波長が550nmで、半値幅が10nmの光、を透過する狭帯域フィルタである。フィルタF5を透過した光の中心波長は、可視光の波長帯域中の緑色系の波長である。
フィルタF6は、青色系の狭帯域光、ここでは、中心波長が450nmで、半値幅が10nmの光、を透過する狭帯域フィルタである。フィルタF6を透過した光の中心波長は、可視光の波長帯域中の青色系の波長である。
フィルタF4、F5及びF6は、それぞれ、固体撮像装置X,Y、Zの画素間の分光感度ムラをテストするときに使用されるフィルタである。
よって、光源5は、中心波長が、可視光の波長帯域における所定の波長であり、所定の半値幅を有する狭帯域光を出射可能な光源である。
よって、光源5は、中心波長が、可視光の波長帯域における所定の波長であり、所定の半値幅を有する狭帯域光を出射可能な光源である。
ところで、本件出願人の研究及び解析の結果、1つの固体撮像装置内の複数の同一構造を有する画素であっても画素毎に分光感度が大きく異なる場合があることが判明した。具体的には、1つの固体撮像装置内の同一構造を有する複数の画素間で分光感度特性に大きな差がある波長領域と差があまりない波長領域がある。更には、固体撮像装置の設計の違いによって、分光感度特性に大きな差がある波長領域が異なることが判明した。
画素間の分光感度特性が大きく異なると、得られる画像に縞模様等ができる等して、画像の色合いが正しく再現できないという問題が生じる。よって理想的には、量産時に、製造された全ての固体撮像装置内の複数の画素について、画素間の分光感度ムラを判定すべきである。
しかし、量産時に、製造された全ての固体撮像装置に対して、波長毎の分光感度特性を測定して、画素間の分光感度ムラの有無を判定するには長時間を要するため、コストの面で現実的ではない。
そこで、出願人は、波長毎に分光感度を測定しなくても、固体撮像装置内の複数の画素間の分光感度ムラの有無の判定を短時間で可能とする方法を開発した。
そこで、出願人は、波長毎に分光感度を測定しなくても、固体撮像装置内の複数の画素間の分光感度ムラの有無の判定を短時間で可能とする方法を開発した。
図4は、ある構造を有する固体撮像装置X中のある1つの画素Aとその画素Aに隣接する1つの画素Bの分光特性の例を示すグラフである。図4は、横軸は、波長(nm)であり、縦軸は、画素の出力信号レベルの相対感度である。図4の実線で示すグラフOUTAは、画素Aの分光感度特性を示し、点線で示すグラフOUTBは、画素Bの分光感度特性を示す。図4に示すように、各画素の分光感度は、波長に応じて、波を打つように、細かな周期で変化している。
図4に示すように、製造された1つの固体撮像装置において画素間で、同じ波長に対する出力信号レベルが異なっているが、固体撮像装置Xの場合、620nmの波長において、画素間で分光感度に大きさ差が現れている。
このような画素間の分光感度特性の差が大きく現れる波長は、同一あるいは類似の設計の固体撮像装置間では、ほぼ同じであるが、設計が異なる固体撮像装置間では、異なることが本件出願人の研究及び解析により判明した。すなわち、設計の異なる固体撮像装置毎に、画素間の分光感度特性の差が大きく現れる光の波長は異なっている。
そこで、本実施形態では、テスト対象の固体撮像装置に適した、画素間の分光感度特性の差が大きく現れる波長の狭帯域光を照射するようにして、固体撮像装置毎に、画素間の分光感度ムラの有無の判定を行っている。
図4の例の場合、固体撮像装置Xは、中心波長が620nmの狭帯域光に対して、画素間の分光感度特性の差が大きく現れている。中心波長が620nmの狭帯域光に対して、画素Aの相対感度は、画素Bの相対感度よりも大きい。すなわち、固体撮像装置Xのテストにおいては、中心波長が620nmで、半値幅が10nmの狭帯域光を照射すると、固体撮像装置Xにおける画素間の分光ムラの有無の判定を行うことができる。
そのため、図3のカラーフィルタターレット24のフィルタF4は、中心波長が620nmで、半値幅が10nmの狭帯域光を照射するためのフィルタであり、固体撮像装置Xの画素間の分光感度特性をテストするときに用いられる。
他のフィルタF5,F6は、それぞれ他の固体撮像装置Y,Zの画素間の分光感度特性をテストするときに用いられるフィルタである。すなわち、固体撮像装置Yは、中心波長が550nmの狭帯域光に対して、画素間の分光感度特性の差が大きく現れている固体撮像装置であり、固体撮像装置Zは、中心波長が450nmの狭帯域光に対して、画素間の分光感度特性の差が大きく現れている固体撮像装置である。
図5は、PC2の構成を示すブロック図である。PC2は、中央処理装置(以下、CPUという)31と、ROM32と、RAM33と、外部用の2つのインターフェース(以下、I/Fと略す)34と、ハードディスク装置35と、ハードディスク装置用I/F37と、を有している。CPU31と、ROM32と、RAM33と、I/F34と、I/F36は、互いにバス37を介して接続されている。
I/F34は、プローバ3、テストヘッド4、及び光源5に接続されている。
以下に説明するテストは、ROM32あるいはHDD35に格納されたテストプログラムが実行されることによって行われる。
以下に説明するテストは、ROM32あるいはHDD35に格納されたテストプログラムが実行されることによって行われる。
PC2は、光源5のランプ21の点灯制御、減光ユニット22による減光制御、NDフィルタターレット23及びカラーフィルタターレット24のフィルタ選択制御等を実行可能となっている。
(作用)
次に、テスト装置1の動作について説明する。
(作用)
次に、テスト装置1の動作について説明する。
図6は、PC2のCPU31のテスト処理全体の流れの例を示すフローチャートである。図6は、ROM32あるいはHDD35に格納されたテストプログラムが実行されたときの処理の流れを示している。
ここでは、テストする固体撮像装置11が、図4に示すような分光感度特性を有している固体撮像装置Xである場合を説明する。固体撮像装置Xは、n(nは整数)個の画素が一次元に並んだ固体撮像装置としてのリニアイメージセンサをテストする例で説明するが、エリアイメージセンサでもよい。なお、テスト対象の固体撮像装置Xは、白黒のイメージセンサで、カラーイメージセンサではないので、カラーフィルタを有していない。
テスト対象が固体撮像装置Xであるので、CPU31は、まず、光源装置5を制御して、カラーフィルタターレット24中のフィルタF4を選択し、フィルタF4を透過した光によりウエハ10上のテスト対象の固体撮像装置Xに光源からの狭帯域光を照射させる(ステップS1)。フィルタF4は、上述したように、中心波長が620nmで、半値幅が10nmの狭帯域光を透過するフィルタである。
狭帯域光が照射された固体撮像装置Xの各画素の出力信号は、プローブカード13を介して、テストヘッド4へ供給される。
狭帯域光が照射された固体撮像装置Xの各画素の出力信号は、プローブカード13を介して、テストヘッド4へ供給される。
次に、CPU31は、テストヘッド4を介して、イメージセンサである固体撮像装置Xの画素データを読み出す(ステップS2)。画素データの読み出しは、I/F34を介して行われる。I/F34は、ステップS2の処理の下で、光源5からのフィルタF4の狭帯域光が照射された、固体撮像装置Xの複数の画素の出力信号を読み出す出力信号読み出し部を構成する。
CPU31は、読み出した固体撮像装置Xの画素間の出力信号について、画素間の感度ムラの有無の判定を行う(ステップS3)。すなわち、ステップS3の処理を実行するCPU31が、固体撮像装置Xの複数の画素の出力信号から、複数の画素間の感度ムラを判定する判定部を構成する。
CPU31は、ステップS3の判定結果に基づいて、固体撮像装置の良/不良の判定結果情報を出力する(ステップS4)。
以上のステップS1〜S4処理を、ウエハ10上の各固体撮像装置Xに対して行うことにより、各固体撮像装置Xの良/不良の判定結果を得ることができる。
以上のステップS1〜S4処理を、ウエハ10上の各固体撮像装置Xに対して行うことにより、各固体撮像装置Xの良/不良の判定結果を得ることができる。
次に、本実施形態のステップS3の感度ムラの判定処理について説明する。
図7は、固体撮像装置11の画素間の感度ムラの有無の判定処理ステップS3の流れの例を示すフロー-チャートである。
図7は、固体撮像装置11の画素間の感度ムラの有無の判定処理ステップS3の流れの例を示すフロー-チャートである。
CPU31は、固体撮像装置毎に、得られた全画素データから、全画素の分光感度の平均値AVと、全画素の分光感度中の最大値MAXと最小値MINを算出する(ステップS11)。なお、取得する画素データは全画素に限らない。すなわち、同一固体撮像装置内で複数の画素をサンプリングするなどしても本実施形態による効果を得ることができる。サンプリングすることにより、テスト時間を更なる短縮化を図ることができる。
次に、CPU31は、最大値MAXと最小値MINの各々の、平均値AVに対する差が所定割合以上かを判定する(ステップS12)。すなわち、CPU31は、複数の画素の画素データの最大値MAX、最小値MIN及び平均値AVに基づいて、画素間の感度ムラを判定する。
具体的には、平均値AVに対する、最大値MAXと平均値AVとの差DAの割合が所定値D1以上であるかと、平均値AVに対する、最小値MINと平均値AVとの差DBの割合が所定値D1以上であるかが判定される。
式で表すと、
|MAX−AV|/AV≧D1 ・・・式(1)
|AV−MIN|/AV≧D1 ・・・式(2)
の判定が実行される。D1は、例えば、0.05である。
|MAX−AV|/AV≧D1 ・・・式(1)
|AV−MIN|/AV≧D1 ・・・式(2)
の判定が実行される。D1は、例えば、0.05である。
最大値MAXと最小値MINの各々の、平均値AVに対する差が所定割合以上である場合、すなわち式(1)と式(2)の少なくとも1つが成立する場合(ステップS12:YES)、処理は、ステップS15へ移行する。ステップS15では、テストした固体撮像装置11が不良品であるという情報が生成され、HDD35に記憶される処理が行われる。
さらに、最大値MAXと最小値MINの各々の、平均値AVに対する差が所定割合以上でない場合(ステップS12:NO)、CPU31は、平均値AVに対して所定範囲R1より大きい分光感度を有する画素が、所定数N1以上あるか否かを判定する(ステップS13)。すなわち、CPU31は、複数の画素の画素データの平均値AVに対して、所定値以上の分光感度の差を有する画素数に基づいて、感度ムラを判定する。
具体的には、所定範囲R1を平均値AVの±5%の範囲として、平均値AVに対して所定範囲R1より大きい分光感度を有する画素データを有する画素の数が、所定数N1、例えば10個、以上あるか否かが判定される。
平均値に対して、所定範囲R1より大きい分光感度を有する画素が、所定数N1以上ある場合(ステップS13:YES)、処理は、ステップS15へ移行し、不良品と判定される。
さらに、平均値に対して所定範囲R1より大きい分光感度を有する画素が、所定数N1以上ない場合(ステップS13:NO)、CPU31は、隣接する画素間の画素データ(分光感度)の差が所定値D2以上かを、すべての、隣接する2画素について実行する(ステップS14)。すなわち、CPU31は、複数の画素中の隣接する2画素の分光感度の差に基づいて、感度ムラを判定する。
具体的には、隣接する画素間で、分光感度の差が、所定値D2以上の差があるかが判定される。分光感度の差が所定値D2以上の隣接する画素がある場合(ステップS14:YES)、CPU31は、その固体撮像装置11を不良品と判定する(ステップS15)。画素データの差が所定値D2以上の隣接する画素がない場合(ステップS14:YES)、CPU31は、その固体撮像装置を良品と判定する(ステップS16)。S16では、テストした固体撮像装置11が良品であるという情報が生成され、HDD35に記憶される処理が行われる。
以上のように、ウエハ10上の各固体撮像装置11について、分光感度ムラの有無の判定することができる。なお、各ステップの順番は上述した図7の順番に限られない。また、全てのステップを実施する必要が無く、少なくとも1つのステップを実行することにより本実施形態の効果を得ることができる。
上述した実施の形態によれば、PC2は、テスト対象の固体撮像装置11に対応する1つの狭帯域光を照射して得られた画素データに対して、上述した処理を行うので、固体撮像装置における画素間において分光感度ムラの有無の判定を迅速に行うことができる。よって、上述した実施の形態のテスト装置及びテスト方法は、固体撮像装置の量産時のテストにも適用可能である。
なお、上述した実施形態では、一種類の固体撮像装置に対して、1つの狭帯域光を照射しているが、2以上の単波長光を照射して、各単波長光の照射により得られた画素データに対して上述した処理を行って、固体撮像装置における画素間において分光感度ムラの有無の判定を行うようにしてもよい。
さらになお、上述した実施形態では、半値幅は、10nmであるが、半値幅は、5〜30nmの範囲であってもよい。
また、上述した実施形態では、固体撮像装置へ照射する所定の光は、狭帯域光であるが、単波長光でもよい。
また、上述した実施形態では、固体撮像装置へ照射する所定の光は、狭帯域光であるが、単波長光でもよい。
本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として例示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると共に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。
1 テスト装置、2 コンピュータ、3 プローバ、4 テストヘッド、5 光源、10 ウエハ、11 固体撮像装置、12 テストボード、13 プローブカード、21 ランプ、22 減光ユニット、23 フィルタターレット、24 カラーフィルタターレット、25 拡散ユニット、26 レンズユニット、31 CPU、32 ROM、33 RAM、34 インターフェース、35 ハードディスク装置、36 ハードディスク装置用I/F、37 バス。
Claims (7)
- 中心波長が所定の波長で所定の半値幅を有する狭帯域光、あるいは前記所定の波長の単波長光を出射する光源と、
前記光源からの前記狭帯域光あるいは前記単波長光が照射された、前記固体撮像装置の複数の画素の出力信号を読み出す出力信号読み出し部と、
前記出力信号から、前記複数の画素間の感度ムラを判定する判定部と、
を有する固体撮像装置のテスト装置。 - 前記判定部は、前記複数の画素中の隣接する2画素の分光感度の差が所定値以上の場合、前記固体撮像装置は不良品として判定する請求項1に記載の固体撮像装置のテスト装置。
- 前記判定部は、前記複数の画素の分光感度の最大値、最小値及び平均値に基づいて、前記最大値並びに前記最小値との前記平均値に対する差が所定割合以上の場合、前記固体撮像装置は不良品として判定する請求項1に記載の固体撮像装置のテスト装置。
- 前記判定部は、前記複数の画素の分光感度の平均値に対して、所定値以上の差を有する画素数が所定数以上の場合、前記固体撮像装置は不良品として判定する請求項1に記載の固体撮像装置のテスト装置。
- 前記中心波長は、可視光の波長帯域中の赤色系の波長である請求項1から4のいずれか1つに記載の固体撮像装置のテスト装置。
- 前記半値幅は、5から30nmである請求項1から5のいずれか1つに記載の固体撮像装置のテスト装置。
- 中心波長が所定の波長で、所定の半値幅を有する単波長光を前記固体撮像装置に照射すること、
前記単波長光が照射された、前記固体撮像装置の複数の画素の出力信号を読み出すこと、
前記出力信号から、前記複数の画素間の感度ムラの判定を行うこと、
を有する固体撮像装置のテスト方法。
Applications Claiming Priority (2)
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TWI793091B (zh) * | 2016-12-09 | 2023-02-21 | 美商鋒法特股份有限公司 | 用於測試cmos影像掃描裝置的led光源探針卡技術 |
WO2023032256A1 (ja) * | 2021-09-03 | 2023-03-09 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 分光感度測定装置及び分光感度測定方法 |
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2014
- 2014-09-04 JP JP2014180507A patent/JP2016052112A/ja active Pending
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