JP2016045183A5 - - Google Patents
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Description
蛍光板24は、放射線検出素子20における放射線が入射する側に配されている。蛍光板24は、基板22と同一材料であるYAGに添加物であるCeを添加することにより、放射線に対応して蛍光を発光する。すなわち、蛍光板24は、入射した放射線に対応して蛍光を発光するシンチレーターとして機能する。なお、本実施形態において、Ceを添加したYAGは、波長550nmを中心とした蛍光を発光する。また、Ceは、蛍光板24に添加される添加物の一例であり、他の添加物としてMn、Tl、Sn、Pb、Eu、Tb、La、Gd、Al、Ge、Yb、Nd、Sm、Er、Tm、Am、Prを用いてもよい。
一方、蛍光板24の厚さは、基板22の厚さよりも薄く、その厚さは、1μmから2mmの範囲内であることが好ましい。本実施形態において、蛍光板24の厚みは、例えば、20μmである。蛍光板24を薄くすることによって、蛍光の発光点が放射線の進行方向にばらつくことを防止でき、その結果、放射線検出装置10の空間分解能が向上する。しかしながら、放射線検出装置10の空間分解能は、蛍光の回折限界、より正確に記載すると蛍光波長と対物レンズ16の開口数で決まる回折限界、CCDセンサ14の画素サイズと光学倍率から決まる分解能以上は向上しない。そのため、放射線検出装置10が最も高い空間分解能を得る場合において、CCDセンサ14の画素サイズが蛍光の回折限界サイズより小さくなるよう高い倍率で結像する光学系、具体的には対物レンズ16を使用するうえで、蛍光板24の厚さを、放射線検出装置10の分解能が、蛍光の回折限界となる厚さとすることが望ましい。換言すれば、蛍光板24の厚さを、蛍光の回折限界で決まる焦点深度となる厚さとすることが好ましい。さらに、蛍光板24の厚さは、目標の視野と空間分解能、蛍光の発光量が確保できること、および、基板22と固相拡散接合しても蛍光物質であるCeを添加された領域が蛍光板24全面に確保できることを考慮して定められる。
図3(b)は、基板22と蛍光板24とを固相拡散により接合する段階を示している。基板22の接合面は、蛍光板24の接合面と重ね合わされて固相拡散接合される。なお、基板22と蛍光板24とを重ね合わせる前に、基板22の蛍光板24との接合面を研磨して平滑化してもよい。同様に、蛍光板24の基板22との接合面を研磨して平滑化してもよい。接合面を平滑化することによって、基板22と蛍光板24との接触面積を広くすることができる。これにより、固相拡散接合の信頼性を向上できる。
また、基板22と蛍光板24とを重ね合わせる前に、基板22の蛍光板24との接合面を洗浄してもよい。同様に、蛍光板24の基板22との接合面を洗浄してもよい。固相拡散接合において、基板22と蛍光板24の接合面に汚れが付着していると、その部分においてそれぞれの原子の拡散は進行せず、固相拡散接合の接合強度が弱くなる。接合面を洗浄することによって、汚れを除去でき、これにより、固相拡散接合の信頼性を向上できる。
また、固相拡散接合において、基板22と蛍光板24を、それぞれ接合する方向に加圧してもよい。基板22と蛍光板24とを接合する方向に加圧することによって、基板22と蛍光板24の界面を密着させることができる。これにより、固相拡散接合の信頼性を向上できる。
さらに、固相拡散接合において、基板22と蛍光板24を加熱してもよい。基板22と蛍光板24とを加熱することによって、接合面における基板22の原子および蛍光板24の原子の拡散を促進させる。これにより、固相拡散接合の接合強度を向上させることができる。
一方、本実施形態における放射線検出素子20は、基板22と蛍光板24とを固相拡散接合により接合しているので、基板22と蛍光板24との界面において屈折率が変化しない。これにより、CCDセンサ14上で合焦しない成分が混じることを防止でき、対物レンズ16によってCCDセンサ14上に結像する像の解像度が低下することを防止できる。
放射線検出装置10の空間分解能と感度は蛍光板24の厚みに対し、トレードオフとなる。蛍光板24の厚みが薄い場合、空間分解能は高くなるが蛍光の発光量は小さくなる。例えば、蛍光板24の厚さが300μmであれば、10KeVの光子エネルギーを持つX線の信号を99.4%蛍光板で検出できる。蛍光板24の厚さが20μmあれば、10 KeVの光子エネルギーを持つX線の信号を29%蛍光板で検出できる。蛍光板24の厚さが1μmあれば、10KeVの光子エネルギーを持つX線の信号を1.7%蛍光板で検出できる。X線信号の検出率が低くなる問題は、蛍光板24に使用する材質を、より原子番号・密度が大きい材質に変更することで改善できる。
Claims (8)
- 可視光に対して透明な基板と、
前記基板と同一材料に添加物を添加することにより、放射線に対して蛍光を発する蛍光板と
を備え、
前記蛍光板は前記基板よりも薄く、
前記基板と前記蛍光板とは屈折率の連続性を保って固相拡散接合されている放射線検出素子。 - 前記基板はYAGを含み、前記蛍光板はCeを添加したYAGを含む請求項1に記載の放射線検出素子。
- 前記蛍光板における前記基板との接合面とは反対側に蛍光の表面反射を防ぐ反射防止膜をさらに備える請求項1または2に記載の放射線検出素子。
- 前記基板における前記蛍光板との接合面とは反対側に蛍光の表面反射を防ぐ反射防止膜をさらに備える請求項1から3のいずれか1項に記載の放射線検出素子。
- 請求項1から4のいずれか1項に記載の放射線検出素子と、
前記蛍光板で発した蛍光を結像する結像光学系と、
結像された蛍光を光電変換する光電変換画素が二次元的に配された光電変換素子と
を備える放射線検出装置。 - 前記基板の側が前記結像光学系に対向して配される請求項5に記載の放射線検出装置。
- 前記放射線検出素子、前記結像光学系および前記光電変換素子が一直線上に配される請求項5または6に記載の放射線検出装置。
- 可視光に対して透明な基板と、前記基板と同一材料に添加物を添加することにより放射線に対して蛍光を発する蛍光板とを固相拡散により接合する段階と、
前記蛍光板を薄化する段階と
を備える放射線検出素子の製造方法。
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