JP2016045180A - 検査装置及び検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
(h+T2)/x=sinθ ・・・(1)
が成り立つ。
△ABCにおいて、
L/x=sin (π―2θ) ・・・(2)
が成り立つ。
(1)式より
x=(h+T2)/sinθ ・・・(3)
(2)式より
L=x・{sin(π−2θ)}
=x・(2sinθ・cosθ) ・・・(4)
(4)式に(3)式を代入して、
L={(h+T2)/sinθ}・(2sinθ・cosθ)
=h・2cosθ+2・T2cosθ ・・・(5)
(5)式において、カバーガラス12の厚さT2と照明の方向(θ)は既知であり、一定とすると、ずれ量Lは、接着剤13の層の厚さhの変化によって変動することがわかる。
そこで、本実施の形態では、センサパネル11に規則的に形成された複数個のセンサ素子111を順次用いてこのずれ量Lを取得することで、接着剤の層の厚さ変動を評価するようにしている。つまり、貼り合わせ面に沿って接着剤13の厚みが均一である限り、センサパネルアッセンブリ10におけるラインセンサカメラ50の走査方向に沿って同じ量のずれ量Lが検出される。接着剤13の層の厚さhが均一でない場合、このずれ量Lも均一でなくなる。すなわち、接着剤13の層の厚さhが厚くなる箇所のずれ量Lは大きくなり、薄くなる箇所のずれ量Lは少なくなる。このずれ量Lの変化をみることにより、接着剤13の均一性を容易に評価することができる。ずれ量Lの変化は、表示ユニット71に表示される撮影画像から目視で確認してもよいし、具体的にずれ量Lの数値を計測し、それぞれの位置でのずれ量Lの数値の変化を確認してもよい。あるいは、それぞれの位置でのずれ量Lの数値の変化が予め設定した閾値を超えていないかを判断してセンサパネルアッセンブリの良否判断を行うようにしてもよい。
ずれ量Lを用いた接着剤13の層の厚さhは、たとえば次のようにして求めることができる。
11 センサパネル
12 カバーガラス
13、15 接着剤
20 液晶パネルアッセンブリ20
50 ラインセンサカメラ
50a ラインセンサ
51 照明ユニット
52 反射板
60 移動機構
70 処理ユニット
71 表示ユニット
72 操作ユニット
111 センサ素子
121 影
Claims (9)
- 部材片が設けられて透光性を有する第1板状体の当該部材片が設けられた面に透光性を有する接着剤によって透光性を有する第2板状体を貼り合わせてなる貼り合わせ板状体の検査装置であって、
前記第1板状体の表面を斜め上方から照明する照明器と、
該照明器により照明される前記貼り合わせ板状体を撮影するカメラと、
前記第2板状体を透過する光を反射する反射部材と、
前記照明器により前記第1板状体の表面が照明されている状態での前記カメラによる撮影画像を取得する撮影画像取得手段と、
該撮影画像取得手段にて取得された撮影画像上での、前記第1板状体を介して前記照明器により照明される前記部材片に対応した第1画像部分と、照明される前記部材片の影が前記接着剤の層及び前記第2板状体を介して前記反射部材に投影されて該反射部材により反射される当該影に対応した第2画像部分とのずれ量を取得する画像ずれ量取得手段と、
該画像ずれ量取得手段にて取得された前記撮影画像上での前記第1画像部分と前記第2画像部分とのずれ量に基づいた検査結果情報を出力する検査結果出力手段とを有する検査装置。 - 前記検査結果出力手段は、前記撮影画像上での前記第1画像部分と前記第2画像部分とのずれ量に基づいて前記接着剤の層の厚さを演算する層厚演算手段を有し、
該層厚演算手段にて得られた前記接着剤の層の厚さに基づいた前記検査結果情報を出力する請求項1記載の検査装置。 - 前記カメラは、ラインセンサを備えたラインセンサカメラであって、
前記ラインセンサカメラと前記照明器との相対位置を保持しつつ、前記ラインセンサカメラと前記貼り合わせ板状体とを前記ラインセンサの延びる方向を横切る方向に相対移動させる移動機構を有する請求項1または2記載の検査装置。 - 部材片が設けられて透光性を有する第1板状体の当該部材片の設けられた面に透光性を有する接着剤によって透光性を有する第2板状体を貼り合わせてなる貼り合わせ板状体の検査方法であって、
前記第1板状体の表面を斜め上方から照明する照明器と、該照明器により照明される前記貼り合わせ板状体を撮影するカメラと、前記第2板状体を透過する光を反射する反射部材とを用い、
前記照明器により前記第1板状体の表面が照明されている状態での前記カメラによる撮影画像を取得する撮影画像取得ステップと、
該撮影画像取得ステップにて取得された撮影画像上での、前記第1板状体を介して前記照明器により照明される前記部材片に対応した第1画像部分と、照明される前記部材片の影が前記接着剤の層及び前記第2板状体を介して前記反射部材に投影されて該反射部材により反射される当該影に対応した第2画像部分とのずれ量を取得する画像ずれ量取得ステップと、
該画像ずれ量取得ステップにて取得された前記撮影画像上での前記第1画像部分と前記第2画像部分とのずれ量に基づいた検査結果情報を出力する検査結果出力ステップとを有する検査方法。 - 回路素子が配列形成されたセンサパネルの当該回路素子の形成された面に透光性を有する接着剤にてカバーガラスを貼り付けてなるセンサパネルアッセンブリの検査装置であって、
前記センサパネルの表面を斜め上方から照明する照明器と、
該照明器により照明される前記センサパネルアッセンブリを撮影するカメラと、
前記カバーガラスを透過する光を反射する反射部材と、
前記照明器により前記センサパネルの表面が照明される状態での前記カメラによる撮影画像を取得する撮影画像取得手段と、
該撮影画像取得手段にて取得された撮影画像上での、前記センサパネルを介して前記照明器により照明される前記回路素子に対応した第1画像部分と、照明される前記回路素子の影が前記接着剤の層及び前記カバーガラスを介して前記反射部材に投影されて該反射部材により反射される当該影に対応した第2画像部分とのずれ量を取得する画像ずれ量取得手段と、
該画像ずれ量取得手段にて取得された前記撮影画像上での前記第1画像部分と前記第2画像部分とのずれ量に基づいた検査結果情報を出力する検査結果出力手段とを有する検査装置。 - 前記検査結果出力手段は、前記撮影画像上での前記第1画像部分と前記第2画像部分とのずれ量に基づいて前記接着剤の層の厚さを演算する層厚演算手段を有し、
該層厚演算手段にて得られた前記接着剤の層の厚さに基づいた前記検査結果情報を出力する請求項5記載の検査装置。 - 前記カメラは、ラインセンサを備えたラインセンサカメラであって、
前記ラインセンサカメラと前記照明器との相対位置を保持しつつ、前記ラインセンサカメラと前記センサパネルアッセンブリとを前記ラインセンサの延びる方向を横切る方向に相対移動させる移動機構を有する請求項5または6記載の検査装置。 - 回路素子が配列形成されたセンサパネルの当該回路素子の形成された面に透光性を有する接着剤にてカバーガラスを貼り付けてなるセンサパネルアッセンブリの検査方法であって、
前記センサパネルの表面を斜め上方から照明する照明器と、該照明器により照明される前記センサパネルアッセンブリを撮影するカメラと、前記カバーガラスを透過する光を反射する反射部材とを用い、
前記照明器により前記センサパネルの表面が照明される状態での前記カメラによる撮影画像を取得する撮影画像取得ステップと、
該撮影画像取得ステップにて取得された撮影画像上での、前記センサパネルを介して前記照明器により照明される前記回路素子に対応した第1画像部分と、照明される前記回路素子の影が前記接着剤の層及び前記カバーガラスを介して前記反射部材に投影されて該反射部材により反射される当該影に対応した第2画像部分とのずれ量を取得する画像ずれ量取得ステップと、
該画像ずれ量取得ステップにて取得された前記撮影画像上での前記第1画像部分と前記第2画像部分とのずれ量に基づいた検査結果情報を出力する検査結果出力ステップとを有する検査方法。 - 透光性を有する接着剤によって透光性を有する第1板状体と透光性を有する第2板状体を貼り合わせてなる貼り合わせ板状体の検査装置であって、
前記第1板状体の表面を斜め上方から照明する照明器と、
前記第1板状体と前記照明器との間に固定配置され、規則的に形成された目印が設けられた基準板状体と、
該照明器により照明される前記貼り合わせ板状体を撮影するカメラと、
前記第2板状体を透過する光を反射する反射部材と、
前記照明器により前記第1板状体の表面が照明されている状態での前記カメラによる撮影画像を取得する撮影画像取得手段と、
該撮影画像取得手段にて取得された撮影画像上での、前記第1板状体を介して前記照明器により照明される前記目印の第1の影に対応した第1画像部分と、照明される前記目印の第2の影が前記接着剤の層及び前記第2板状体を介して前記反射部材に投影されて該反射部材により反射される当該影に対応した第2画像部分とのずれ量を取得する画像ずれ量取得手段と、
該画像ずれ量取得手段にて取得された前記撮影画像上での前記第1画像部分と前記第2画像部分とのずれ量に基づいた検査結果情報を出力する検査結果出力手段とを有する検査装置。
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JP2014172193A JP6322087B2 (ja) | 2014-08-27 | 2014-08-27 | 検査装置及び検査方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US11371832B2 (en) | 2018-12-21 | 2022-06-28 | Valmet Automation Oy | Device and method for contactless thickness measurement of a planar object |
CN115128102A (zh) * | 2022-06-30 | 2022-09-30 | 江阴瑞兴塑料玻璃制品有限公司 | 非熔化法玻璃结合鉴定平台及方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO1998029709A1 (en) * | 1996-12-17 | 1998-07-09 | Toolex Alpha Ab | Process for optical measurement of the thickness of an adhesive layer, an optical data-storing disc, its manufacturing and also an adhesive and its use |
JP2013083628A (ja) * | 2011-09-27 | 2013-05-09 | Shibaura Mechatronics Corp | 貼り合せ板状体検査装置及び方法 |
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- 2014-08-27 JP JP2014172193A patent/JP6322087B2/ja active Active
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