JP2016032820A - Coating applicator and cleaning method - Google Patents

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富弘 山河
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To effectively clean an interior of a nozzle.SOLUTION: A coating applicator 1 is equipped with a supply hose 31 for introducing a fluid into a nozzle 2 which ejects a flux liquid F1. A liquid tank 4, a hose 41 for a liquid and so on supply the flux liquid F1 to the supply hose 31. Further, a cleaning liquid tank 5, a hose 51 for cleaning and so on supply a cleaning fluid F2 to the supply hose. In addition, a gas supply part 6, a hose 61 for a gas and so on supply a gas F3 to the supply hose 31. After coating treatment, the gas F3 is supplied to the supply hose 31, whereby the flux liquid F1 in the supply hose 31 is discharged. The, the cleaning liquid F2 is supplied to the supply hose 31 from which the flux liquid F1 has been discharged, whereby an interior of the nozzle 2 is cleaned. Consequently, blending of the flux liquid F1 and the cleaning liquid F2 in the interior of the supply hose 31 can be prevented, and the interior of the nozzle 2 can be cleaned by the cleaning liquid F2 containing right components.SELECTED DRAWING: Figure 6

Description

本発明は、フラックス液を噴出するノズルを洗浄する技術に関する。   The present invention relates to a technique for cleaning a nozzle that ejects a flux liquid.

プリント基板の製造工程においては、プリント基板に対するはんだ付けの前工程として、プリント基板に対してフラックス液が塗布される。フラックス液は、フラックス基材を希釈液で希釈した液体であり、はんだ付けされるプリント基板の表面の酸化膜を除去することなどを目的として塗布される。   In the printed circuit board manufacturing process, a flux liquid is applied to the printed circuit board as a pre-process for soldering to the printed circuit board. The flux liquid is a liquid obtained by diluting a flux base material with a diluent, and is applied for the purpose of removing an oxide film on the surface of a printed board to be soldered.

このようなフラックス液を塗布する塗布装置として、ノズルからフラックス液を噴出してプリント基板にフラックス液を塗布する塗布装置が知られている。このような塗布装置において、ノズルの内部にフラックス液が残留した状態で塗布装置の稼働を停止した場合には、フラックス液の希釈液が揮発する。このため、比較的粘度の高いフラックス基材のみが残って、ノズルの内部に付着することがある。   As an application apparatus for applying such a flux liquid, an application apparatus that ejects the flux liquid from a nozzle and applies the flux liquid to a printed board is known. In such a coating apparatus, when the operation of the coating apparatus is stopped with the flux liquid remaining inside the nozzle, the diluted liquid of the flux liquid volatilizes. For this reason, only the flux base material having a relatively high viscosity may remain and adhere to the inside of the nozzle.

このようにノズルの内部にフラックス基材が付着すると、ノズルが噴出するフラックス液が減少したり、フラックス液を塗布する範囲が変化するなどの不具合が生じるおそれがある。このため、定期的なノズルの分解洗浄が必要とされる。   When the flux base material adheres to the inside of the nozzle in this way, there is a risk that the flux liquid ejected from the nozzle may be reduced or the range in which the flux liquid is applied may change. For this reason, periodic disassembly and cleaning of the nozzle is required.

このような分解洗浄を避けるため、フラックス液を除去するようにノズルの内部を洗浄する技術が提案されている。例えば、ノズルの内部にフラックス液を導く供給ホースに、弁などでフラックス液に代えて洗浄液を供給することで、ノズルの内部を洗浄することが提案されている(例えば、特許文献1参照。)。   In order to avoid such disassembly and cleaning, a technique for cleaning the inside of the nozzle so as to remove the flux liquid has been proposed. For example, it has been proposed to clean the inside of the nozzle by supplying a cleaning liquid instead of the flux liquid with a valve or the like to a supply hose that guides the flux liquid into the nozzle (see, for example, Patent Document 1). .

特開平6−106340号公報JP-A-6-106340

しかしながら、上記のように供給ホースにフラックス液に代えて洗浄液を供給する技術を採用した場合には、供給ホース内においてフラックス液と洗浄液とが混合し、正しい成分の洗浄液でノズルの内部を洗浄することが難しくなる。また、フラックス液が洗浄液に完全に入れ替わるまで時間がかかり、フラックス液が洗浄液に入れ替わったか否かを目視で判断することも難しい。   However, when the technique of supplying the cleaning liquid to the supply hose instead of the flux liquid as described above is adopted, the flux liquid and the cleaning liquid are mixed in the supply hose, and the inside of the nozzle is cleaned with the cleaning liquid of the correct component. It becomes difficult. In addition, it takes time until the flux liquid is completely replaced with the cleaning liquid, and it is difficult to visually determine whether the flux liquid is replaced with the cleaning liquid.

特に、開口径が比較的小さなスプレーノズルを採用する場合には、ノズルが吐出可能な流体の流量が小さいため、フラックス液と洗浄液とが大きく混合し、顕著にこのような問題が生じる。   In particular, when a spray nozzle having a relatively small opening diameter is employed, the flow rate of the fluid that can be ejected by the nozzle is small, so that the flux liquid and the cleaning liquid are largely mixed, causing such a problem.

本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、ノズルの内部を有効に洗浄する技術を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a technique for effectively cleaning the inside of a nozzle.

上記課題を解決するため、請求項1の発明は、フラックス液を塗布する塗布装置であって、前記フラックス液を噴出するノズルの内部に流体を導く導管と、前記導管へ前記フラックス液を供給する供給手段と、前記供給手段による前記導管への前記フラックス液の供給が停止した状態で、前記導管へ気体を供給して前記導管内の前記フラックス液を排出する排出手段と、前記排出手段により前記フラックス液が排出された前記導管へ洗浄液を供給して、前記ノズルの内部を洗浄する洗浄手段と、を備えている。   In order to solve the above-mentioned problems, the invention of claim 1 is a coating apparatus for applying a flux liquid, a conduit for guiding a fluid into a nozzle for ejecting the flux liquid, and supplying the flux liquid to the conduit. A supply means; a discharge means for supplying a gas to the conduit and discharging the flux liquid in the conduit in a state where supply of the flux liquid to the conduit by the supply means is stopped; and Cleaning means for supplying a cleaning liquid to the conduit from which the flux liquid has been discharged to clean the inside of the nozzle.

また、請求項2の発明は、請求項1に記載の塗布装置において、前記排出手段は、前記洗浄手段による前記導管への洗浄液の供給が停止した状態で、前記導管へ気体を供給して前記導管内の前記洗浄液を排出し、前記供給手段は、前記排出手段により前記洗浄液が排出された前記導管へ前記フラックス液を供給する。   The invention of claim 2 is the coating apparatus according to claim 1, wherein the discharge means supplies gas to the conduit in a state where supply of the cleaning liquid to the conduit by the cleaning means is stopped. The cleaning liquid in the conduit is discharged, and the supply means supplies the flux liquid to the conduit from which the cleaning liquid has been discharged by the discharge means.

また、請求項3の発明は、請求項1または2に記載の塗布装置において、前記排出手段は、前記導管内の流体を排出口へ導く排出管を経由して前記導管内の流体を排出し、前記排出管の開口径は、前記ノズルの開口径よりも大きい。   The invention of claim 3 is the coating apparatus according to claim 1 or 2, wherein the discharge means discharges the fluid in the conduit via a discharge pipe that guides the fluid in the conduit to a discharge port. The opening diameter of the discharge pipe is larger than the opening diameter of the nozzle.

また、請求項4の発明は、フラックス液を噴出するノズルの洗浄方法であって、(a)前記ノズルの内部に流体を導く導管へ前記フラックス液を供給する工程と、(b)前記工程(a)による前記導管への前記フラックス液の供給が停止した状態で、前記導管へ気体を供給して前記導管内の前記フラックス液を排出する工程と、(c)前記工程(b)により前記フラックス液が排出された前記導管へ洗浄液を供給して、前記ノズルの内部を洗浄する工程と、を備えている。   Further, the invention of claim 4 is a method for cleaning a nozzle for ejecting a flux liquid, wherein (a) supplying the flux liquid to a conduit for introducing a fluid into the nozzle; and (b) the step ( a step of supplying a gas to the conduit and discharging the flux solution in the conduit in a state where the supply of the flux solution to the conduit in a) is stopped; and (c) the flux by the step (b). Supplying a cleaning liquid to the conduit from which the liquid has been discharged, and cleaning the inside of the nozzle.

また、請求項5の発明は、請求項4に記載の洗浄方法において、(d)前記工程(c)による前記導管への洗浄液の供給が停止した状態で、前記導管へ気体を供給して前記導管内の前記洗浄液を排出する工程、をさらに備え、前記工程(a)は、前記工程(d)により前記洗浄液が排出された前記導管へ前記フラックス液を供給する。   Further, the invention of claim 5 is the cleaning method according to claim 4, wherein (d) in the state where the supply of the cleaning liquid to the conduit in step (c) is stopped, gas is supplied to the conduit to A step of discharging the cleaning liquid in the conduit, wherein the step (a) supplies the flux liquid to the conduit from which the cleaning liquid has been discharged in the step (d).

また、請求項6の発明は、請求項4または5に記載の洗浄方法において、前記工程(b)は、前記導管内の流体を排出口へ導く排出管を経由して前記導管内の流体を排出し、前記排出管の開口径は、前記ノズルの開口径よりも大きい。   The invention of claim 6 is the cleaning method according to claim 4 or 5, wherein in the step (b), the fluid in the conduit is passed through a discharge pipe that guides the fluid in the conduit to a discharge port. The opening diameter of the discharge pipe is larger than the opening diameter of the nozzle.

請求項1ないし6の発明によれば、導管へ気体を供給して導管内のフラックス液を排出してから導管へ洗浄液を供給するため、導管でのフラックス液と洗浄液との混合を防ぐことができ、ノズルの内部を有効に洗浄できる。   According to the first to sixth aspects of the present invention, since the gas is supplied to the conduit and the flux liquid in the conduit is discharged and then the cleaning liquid is supplied to the conduit, mixing of the flux liquid and the cleaning liquid in the conduit is prevented. This can effectively clean the inside of the nozzle.

また、特に請求項2及び5の発明によれば、導管へ気体を供給して導管内の洗浄液を排出してから導管へフラックス液を供給するため、導管でのフラックス液と洗浄液との混合を防ぐことができ、正しい成分のフラックス液をノズルから噴出できる。   In particular, according to the inventions of claims 2 and 5, since the gas is supplied to the conduit and the cleaning liquid in the conduit is discharged and then the flux liquid is supplied to the conduit, the mixing of the flux liquid and the cleaning liquid in the conduit is performed. This can prevent the flux liquid of the correct component from being ejected from the nozzle.

また、特に請求項3及び6の発明によれば、ノズルよりも開口径が大きい排出管を経由して導管内の流体を排出するため、導管内の流体を比較的短時間に排出できるとともに、導管内に液体が残留することを防止できる。   According to the inventions of claims 3 and 6 in particular, since the fluid in the conduit is discharged via the discharge pipe having a larger opening diameter than the nozzle, the fluid in the conduit can be discharged in a relatively short time, It is possible to prevent liquid from remaining in the conduit.

図1は、塗布装置の概要を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing an outline of a coating apparatus. 図2は、塗布装置の概略構成を示すブロック図である。FIG. 2 is a block diagram illustrating a schematic configuration of the coating apparatus. 図3は、第1の実施の形態の流体供給部の構成を示す図である。FIG. 3 is a diagram illustrating a configuration of the fluid supply unit according to the first embodiment. 図4は、塗布装置の動作の流れを示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a flow of operation of the coating apparatus. 図5は、第1の実施の形態におけるフラックス液の供給を説明する図である。FIG. 5 is a diagram illustrating the supply of the flux liquid in the first embodiment. 図6は、第1の実施の形態における気体の供給を説明する図である。FIG. 6 is a diagram for explaining gas supply in the first embodiment. 図7は、第1の実施の形態における洗浄液の供給を説明する図である。FIG. 7 is a diagram illustrating the supply of the cleaning liquid in the first embodiment. 図8は、第2の実施の形態の流体供給部の構成を示す図である。FIG. 8 is a diagram illustrating a configuration of a fluid supply unit according to the second embodiment. 図9は、第2の実施の形態におけるフラックス液の供給を説明する図である。FIG. 9 is a diagram for explaining the supply of flux liquid in the second embodiment. 図10は、第2の実施の形態における気体の供給を説明する図である。FIG. 10 is a diagram for explaining gas supply in the second embodiment. 図11は、第2の実施の形態における洗浄液の供給を説明する図である。FIG. 11 is a diagram for explaining the supply of the cleaning liquid in the second embodiment. 図12は、ノズルの外部に洗浄液を吐出する洗浄ノズルを示す図である。FIG. 12 is a diagram illustrating a cleaning nozzle that discharges the cleaning liquid to the outside of the nozzle. 図13は、流体供給部の構成の変形例を示す図である。FIG. 13 is a diagram illustrating a modified example of the configuration of the fluid supply unit. 図14は、流体供給部の構成の変形例を示す図である。FIG. 14 is a diagram illustrating a modification of the configuration of the fluid supply unit.

以下、図面を参照しつつ本発明の実施の形態について説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

<1.第1の実施の形態>
<1−1.塗布装置の概略>
図1は、本実施の形態に係る塗布装置1の概要を示す図である。塗布装置1は、プリント基板9の製造工程における、はんだ付けの前工程として、プリント基板9に対してフラックス液を塗布する塗布処理を行う。塗布装置1は、塗布対象となるプリント基板9を搬送し、該プリント基板9の下面に対してフラックス液を塗布する。
<1. First Embodiment>
<1-1. Outline of coating device>
FIG. 1 is a diagram showing an outline of a coating apparatus 1 according to the present embodiment. The coating apparatus 1 performs a coating process for applying a flux liquid to the printed circuit board 9 as a pre-soldering process in the manufacturing process of the printed circuit board 9. The coating apparatus 1 conveys the printed circuit board 9 to be coated and applies a flux liquid to the lower surface of the printed circuit board 9.

プリント基板9には、はんだ付けの対象となる各種の電子部品が配置されている。塗布装置1は、このようなプリント基板9の下面における、はんだ付けの対象となる一部の対象領域(電子部品が配置される領域)に対して選択的にフラックス液を塗布する。   Various electronic components to be soldered are arranged on the printed circuit board 9. The coating apparatus 1 selectively applies a flux liquid to a part of a target area (an area where electronic components are arranged) to be soldered on the lower surface of the printed circuit board 9.

塗布装置1は、プリント基板9を搬送する基板搬送部12と、フラックス液を噴出するノズル2と、ノズル2を移動するノズル移動部11とを備えている。   The coating apparatus 1 includes a substrate transport unit 12 that transports the printed circuit board 9, a nozzle 2 that ejects flux liquid, and a nozzle moving unit 11 that moves the nozzle 2.

基板搬送部12は、パレット(図示省略)を移動するコンベア等を備えている。基板搬送部12は、パレットに載置されたプリント基板9を、図中の矢印ARに示すように略水平に移動する。プリント基板9は、この基板搬送部12により所定の処理位置まで移動され、処理位置において停止した状態で塗布処理がなされる。塗布処理が完了すると、プリント基板9は、基板搬送部12により再び移動され、塗布装置1の外部まで搬送される。   The substrate transport unit 12 includes a conveyor or the like that moves a pallet (not shown). The board transport unit 12 moves the printed board 9 placed on the pallet substantially horizontally as indicated by an arrow AR in the drawing. The printed circuit board 9 is moved to a predetermined processing position by the substrate transport unit 12 and is subjected to the coating process while stopped at the processing position. When the coating process is completed, the printed circuit board 9 is moved again by the substrate transport unit 12 and transported to the outside of the coating apparatus 1.

ノズル2は、例えば、フラックス液を霧状にして噴出するスプレーノズルである。塗布処理において、ノズル2は、処理位置に配置されたプリント基板9に対してフラックス液を塗布する。ノズル2は、その上部のノズル口23からフラックス液を上向きに噴出することで、プリント基板9の下面にフラックス液を塗布する。   The nozzle 2 is, for example, a spray nozzle that ejects the flux liquid in a mist form. In the coating process, the nozzle 2 applies a flux liquid to the printed circuit board 9 disposed at the processing position. The nozzle 2 applies the flux liquid to the lower surface of the printed circuit board 9 by ejecting the flux liquid upward from the nozzle opening 23 at the top thereof.

ノズル移動部11は、例えば、ノズル2が固定された直交ロボットであり、ノズル2を略水平に沿った二軸方向に移動する。塗布処理において、ノズル移動部11は、プリント基板9のはんだ付けの対象となる対象領域に合わせてノズル2を移動する。これにより、ノズル2は、プリント基板9の対象領域のみに対して選択的にフラックス液を塗布できる。   The nozzle moving unit 11 is, for example, an orthogonal robot to which the nozzle 2 is fixed, and moves the nozzle 2 in a biaxial direction along a substantially horizontal direction. In the coating process, the nozzle moving unit 11 moves the nozzle 2 in accordance with the target area to be soldered on the printed circuit board 9. Thereby, the nozzle 2 can selectively apply the flux liquid only to the target area of the printed circuit board 9.

図2は、塗布装置1の概略構成を示すブロック図である。塗布装置1は、前述した基板搬送部12、ノズル2、及び、ノズル移動部11とともに、全体制御部10と流体供給部3とを備えている。   FIG. 2 is a block diagram illustrating a schematic configuration of the coating apparatus 1. The coating apparatus 1 includes an overall control unit 10 and a fluid supply unit 3 along with the substrate transport unit 12, the nozzle 2, and the nozzle moving unit 11 described above.

全体制御部10は、例えば、プログラマブルロジックコントローラ(PLC)である。全体制御部10は、プログラムに従って処理を行うことにより、基板搬送部12、ノズル移動部11及び流体供給部3の動作を統括的に制御する。   The overall control unit 10 is, for example, a programmable logic controller (PLC). The overall control unit 10 performs overall control of the operations of the substrate transport unit 12, the nozzle moving unit 11, and the fluid supply unit 3 by performing processing according to a program.

流体供給部3は、ノズル2の内部にフラックス液などの流体を供給する。塗布処理において、流体供給部3は、ノズル2の内部にフラックス液を供給することで、ノズル2からフラックス液を噴出させる。また、流体供給部3は、ノズル2の内部に洗浄液を供給することで、ノズル2の内部を洗浄することもできる。   The fluid supply unit 3 supplies a fluid such as a flux liquid into the nozzle 2. In the coating process, the fluid supply unit 3 ejects the flux liquid from the nozzle 2 by supplying the flux liquid into the nozzle 2. Further, the fluid supply unit 3 can clean the inside of the nozzle 2 by supplying a cleaning liquid to the inside of the nozzle 2.

<1−2.流体供給部の構成>
次に、流体供給部3の構成について説明する。図3は、流体供給部3の構成をノズル2とともに示す図である。
<1-2. Configuration of fluid supply section>
Next, the configuration of the fluid supply unit 3 will be described. FIG. 3 is a view showing the configuration of the fluid supply unit 3 together with the nozzle 2.

流体供給部3は、ノズル2の内部にフラックス液などの流体を導く導管となる供給ホース31を備えている。供給ホース31の一端は、ノズル2の供給口21に接続される。供給ホース31は、ゴム、ビニールなどの弾性材料で構成される折り曲げ可能な中空管である。供給ホース31を経由してノズル2の内部に供給される流体は、供給口21からノズル2の内部の内部通路22に侵入し、さらに、上部のノズル口23からノズル2の外部に噴出される。   The fluid supply unit 3 includes a supply hose 31 serving as a conduit for guiding a fluid such as flux liquid into the nozzle 2. One end of the supply hose 31 is connected to the supply port 21 of the nozzle 2. The supply hose 31 is a bendable hollow tube made of an elastic material such as rubber or vinyl. The fluid supplied to the inside of the nozzle 2 via the supply hose 31 enters the internal passage 22 inside the nozzle 2 from the supply port 21, and is further ejected to the outside of the nozzle 2 from the upper nozzle port 23. .

また、ノズル2は、供給口21と内部通路22とを繋ぐ通路に、二方弁である内部弁24を備えている。内部弁24は、全体制御部10の制御により、供給口21と内部通路22とを繋ぐ通路を開閉する。内部弁24が、この通路を閉じた場合は、供給ホース31からノズル2の内部通路22への流体の供給が停止される。   The nozzle 2 includes an internal valve 24 that is a two-way valve in a passage connecting the supply port 21 and the internal passage 22. The internal valve 24 opens and closes a passage connecting the supply port 21 and the internal passage 22 under the control of the overall control unit 10. When the internal valve 24 closes this passage, the supply of fluid from the supply hose 31 to the internal passage 22 of the nozzle 2 is stopped.

供給ホース31からノズル2の内部にフラックス液を供給した場合、ノズル2の内部通路22に侵入したフラックス液は、ノズル2の下部に接続されるガスホース32から供給される気体に加圧されて霧化する。これにより、ノズル2は、ノズル口23から霧状のフラックス液を噴出する。   When the flux liquid is supplied from the supply hose 31 to the inside of the nozzle 2, the flux liquid that has entered the internal passage 22 of the nozzle 2 is pressurized by the gas supplied from the gas hose 32 connected to the lower part of the nozzle 2 and fogged. Turn into. As a result, the nozzle 2 ejects a mist-like flux liquid from the nozzle opening 23.

また、流体供給部3は、液剤タンク4、洗浄液タンク5、気体供給部6、第1三方弁33、及び、第2三方弁34を備えている。   The fluid supply unit 3 includes a liquid agent tank 4, a cleaning liquid tank 5, a gas supply unit 6, a first three-way valve 33, and a second three-way valve 34.

第1三方弁33及び第2三方弁34はそれぞれ二つの入口と一つの出口とを有し、二つの入口の一方と出口とを繋ぐ通路を開けつつ、二つの入口の他方と出口とを繋ぐ通路を閉じる。これらの三方弁33,34の動作は、全体制御部10により制御される。   Each of the first three-way valve 33 and the second three-way valve 34 has two inlets and one outlet, and connects the other of the two inlets and the outlet while opening a passage connecting one of the two inlets and the outlet. Close the aisle. The operations of the three-way valves 33 and 34 are controlled by the overall control unit 10.

供給ホース31の一端はノズル2に接続され、他端は第1三方弁33の出口に接続される。したがって、第1三方弁33の出口から供給ホース31に供給される流体は、供給ホース31を経由してノズル2の内部に供給される。また、第1三方弁33の入口の一つと、第2三方弁34の出口とは、弾性材料で構成される折り曲げ可能な連結ホース35によって接続される。   One end of the supply hose 31 is connected to the nozzle 2, and the other end is connected to the outlet of the first three-way valve 33. Therefore, the fluid supplied from the outlet of the first three-way valve 33 to the supply hose 31 is supplied to the inside of the nozzle 2 via the supply hose 31. One of the inlets of the first three-way valve 33 and the outlet of the second three-way valve 34 are connected by a bendable connecting hose 35 made of an elastic material.

液剤タンク4は、フラックス液F1を供給する供給源であり、フラックス液F1を収容する。フラックス液F1は、例えば、ロジンなどのフラックス基材を、IPA(イソプロピルアルコール)などの希釈液で希釈した液体である。   The liquid agent tank 4 is a supply source that supplies the flux liquid F1 and accommodates the flux liquid F1. The flux liquid F1 is, for example, a liquid obtained by diluting a flux base material such as rosin with a diluent such as IPA (isopropyl alcohol).

液剤タンク4には、弾性材料で構成される折り曲げ可能な液剤用ホース41が接続される。液剤用ホース41の一端は液剤タンク4の内部に配置され、他端は第1三方弁33の入口の一つに接続される。液剤タンク4の内部は圧縮気体により加圧されるため、液剤タンク4は、液剤用ホース41を経由して第1三方弁33に向けて加圧されたフラックス液F1を供給する。   A bendable liquid agent hose 41 made of an elastic material is connected to the liquid agent tank 4. One end of the liquid agent hose 41 is disposed inside the liquid agent tank 4, and the other end is connected to one of the inlets of the first three-way valve 33. Since the inside of the liquid agent tank 4 is pressurized by the compressed gas, the liquid agent tank 4 supplies the pressurized flux liquid F <b> 1 toward the first three-way valve 33 via the liquid agent hose 41.

洗浄液タンク5は、洗浄液F2を供給する供給源であり、洗浄液F2を収容する。洗浄液F2は、例えば、IPA(イソプロピルアルコール)など、フラックス液F1の希釈液と同一の液体である。このため、フラックス液F1と洗浄液F2とが接触すると、これらの液体同士は容易に混合する。   The cleaning liquid tank 5 is a supply source that supplies the cleaning liquid F2, and stores the cleaning liquid F2. The cleaning liquid F2 is the same liquid as the diluted liquid of the flux liquid F1, such as IPA (isopropyl alcohol). For this reason, when the flux liquid F1 and the cleaning liquid F2 come into contact with each other, these liquids are easily mixed.

洗浄液タンク5には、弾性材料で構成される折り曲げ可能な洗浄用ホース51が接続される。洗浄用ホース51の一端は洗浄液タンク5の内部に配置され、他端は第2三方弁34の入口の一つに接続される。洗浄液タンク5の内部は圧縮気体により加圧されるため、洗浄液タンク5は、洗浄用ホース51を経由して第2三方弁34に向けて加圧された洗浄液F2を供給する。   A bendable cleaning hose 51 made of an elastic material is connected to the cleaning liquid tank 5. One end of the cleaning hose 51 is disposed inside the cleaning liquid tank 5, and the other end is connected to one of the inlets of the second three-way valve 34. Since the inside of the cleaning liquid tank 5 is pressurized by the compressed gas, the cleaning liquid tank 5 supplies the pressurized cleaning liquid F 2 toward the second three-way valve 34 via the cleaning hose 51.

気体供給部6は、気体F3を供給する供給源であり、気体F3を圧縮した状態で収容する。気体F3は、例えば、窒素などの不活性ガス、あるいは、空気等である。気体供給部6には、弾性材料で構成される折り曲げ可能な気体用ホース61が接続される。気体用ホース61の一端は気体供給部6の出口に接続され、他端は第2三方弁34の入口の一つに接続される。気体供給部6は、気体用ホース61を経由して第2三方弁34に向けて加圧された気体F3を供給する。   The gas supply unit 6 is a supply source that supplies the gas F3, and stores the gas F3 in a compressed state. The gas F3 is, for example, an inert gas such as nitrogen or air. A bendable gas hose 61 made of an elastic material is connected to the gas supply unit 6. One end of the gas hose 61 is connected to the outlet of the gas supply unit 6, and the other end is connected to one of the inlets of the second three-way valve 34. The gas supply unit 6 supplies the pressurized gas F <b> 3 toward the second three-way valve 34 via the gas hose 61.

<1−3.塗布装置の動作>
次に、塗布装置1の動作について説明する。図4は、塗布装置1の稼働の開始から停止までの動作の流れを示す図である。
<1-3. Operation of coating apparatus>
Next, operation | movement of the coating device 1 is demonstrated. FIG. 4 is a diagram illustrating a flow of operation from the start to the stop of the operation of the coating apparatus 1.

まず、塗布処理においてフラックス液F1を安定的に噴出できるように、塗布処理に先立って、ノズル2からフラックス液F1が一定期間(例えば、30秒間)捨て打ちされる(ステップS11)。   First, prior to the coating process, the flux liquid F1 is discarded from the nozzle 2 for a certain period (for example, 30 seconds) so that the flux liquid F1 can be stably ejected in the coating process (step S11).

図5に示すように、第1三方弁33が、液剤用ホース41と供給ホース31とを繋ぐ通路を開ける。この状態で、内部弁24が、供給口21から内部通路22に繋がる通路を開ける。これにより、液剤用ホース41から供給ホース31にフラックス液F1が供給され、フラックス液F1が供給ホース31の内部を満たす。さらに、フラックス液F1が供給口21及び内部弁24を介してノズル2の内部通路22に侵入し、ノズル2のノズル口23から噴出される。一定期間(例えば、30秒間)の後、内部弁24が供給口21から内部通路22に繋がる通路を閉じる。   As shown in FIG. 5, the first three-way valve 33 opens a passage connecting the liquid hose 41 and the supply hose 31. In this state, the internal valve 24 opens a passage that leads from the supply port 21 to the internal passage 22. Thereby, the flux liquid F <b> 1 is supplied from the liquid hose 41 to the supply hose 31, and the flux liquid F <b> 1 fills the inside of the supply hose 31. Further, the flux liquid F1 enters the internal passage 22 of the nozzle 2 through the supply port 21 and the internal valve 24 and is ejected from the nozzle port 23 of the nozzle 2. After a certain period (for example, 30 seconds), the internal valve 24 closes the passage connecting the supply port 21 to the internal passage 22.

次に、全体制御部10の制御により、プリント基板9に対する塗布処理が実行される(ステップS12)。塗布処理においては、基板搬送部12が塗布対象となるプリント基板9を搬送するとともに、ノズル移動部11がノズル2を移動し、ノズル2がプリント基板9の対象領域に対してフラックス液を塗布する。この塗布処理においても、図5に示すように、第1三方弁33が液剤用ホース41と供給ホース31とを繋ぐ通路を開けるとともに、内部弁24が供給口21から内部通路22に繋がる通路を必要な期間だけ開ける。これにより、フラックス液F1がノズル2のノズル口23から噴出される。   Next, the coating process for the printed circuit board 9 is executed under the control of the overall control unit 10 (step S12). In the coating process, the substrate transport unit 12 transports the printed circuit board 9 to be coated, the nozzle moving unit 11 moves the nozzle 2, and the nozzle 2 applies the flux liquid to the target region of the printed circuit board 9. . Also in this coating process, as shown in FIG. 5, the first three-way valve 33 opens a passage that connects the liquid hose 41 and the supply hose 31, and the internal valve 24 opens a passage that connects the supply port 21 to the internal passage 22. Open only as long as necessary. Thereby, the flux liquid F <b> 1 is ejected from the nozzle port 23 of the nozzle 2.

このような塗布処理(ステップS12)は、塗布対象となるプリント基板9ごとに繰り返される(ステップS13にてNo)。   Such a coating process (step S12) is repeated for each printed circuit board 9 to be coated (No in step S13).

塗布対象となる全てのプリント基板9への塗布処理が完了すると(ステップS13にてYes)、次に、供給ホース31に気体F3が供給され、供給ホース31の内部のフラックス液F1が排出される(ステップS14)。   When the coating process on all the printed circuit boards 9 to be coated is completed (Yes in step S13), next, the gas F3 is supplied to the supply hose 31, and the flux liquid F1 inside the supply hose 31 is discharged. (Step S14).

図6に示すように、第1三方弁33が、液剤用ホース41と供給ホース31とを繋ぐ通路を閉じ、連結ホース35と供給ホース31とを繋ぐ通路を開ける。これにより、液剤用ホース41から供給ホース31へのフラックス液F1の供給が停止される。これとともに、第2三方弁34が、気体用ホース61と連結ホース35とを繋ぐ通路を開ける。この状態で、内部弁24が供給口21から内部通路22に繋がる通路を開ける。   As shown in FIG. 6, the first three-way valve 33 closes the passage that connects the liquid agent hose 41 and the supply hose 31, and opens the passage that connects the connection hose 35 and the supply hose 31. Thereby, the supply of the flux F1 from the liquid hose 41 to the supply hose 31 is stopped. At the same time, the second three-way valve 34 opens a passage connecting the gas hose 61 and the connecting hose 35. In this state, the internal valve 24 opens a passage that leads from the supply port 21 to the internal passage 22.

これにより、液剤用ホース41から供給ホース31へのフラックス液F1の供給が停止した状態で、気体用ホース61から供給ホース31に気体F3が供給される。気体F3は、供給ホース31の内部及びノズル2の内部通路22に侵入し、そこに存在していたフラックス液F1を押し出す。その結果、供給ホース31の内部及びノズル2の内部通路22のフラックス液F1は、ノズル2のノズル口23から排出される。一定期間(例えば、30秒間)の後、内部弁24が供給口21から内部通路22に繋がる通路を閉じる。   Thereby, the gas F3 is supplied from the gas hose 61 to the supply hose 31 in a state where the supply of the flux liquid F1 from the liquid hose 41 to the supply hose 31 is stopped. The gas F3 enters the inside of the supply hose 31 and the internal passage 22 of the nozzle 2, and pushes out the flux liquid F1 existing there. As a result, the flux liquid F1 in the supply hose 31 and the internal passage 22 of the nozzle 2 is discharged from the nozzle port 23 of the nozzle 2. After a certain period (for example, 30 seconds), the internal valve 24 closes the passage connecting the supply port 21 to the internal passage 22.

次に、フラックス液F1が排出された供給ホース31に洗浄液F2が供給され、ノズル2の内部が洗浄される(ステップS15)。   Next, the cleaning liquid F2 is supplied to the supply hose 31 from which the flux liquid F1 has been discharged, and the inside of the nozzle 2 is cleaned (step S15).

図7に示すように、第2三方弁34が、気体用ホース61と連結ホース35とを繋ぐ通路を閉じ、洗浄用ホース51と連結ホース35とを繋ぐ通路を開ける。この状態で、内部弁24が供給口21から内部通路22に繋がる通路を開ける。これにより、気体用ホース61から供給ホース31への気体F3の供給が停止されるとともに、洗浄用ホース51から供給ホース31に洗浄液F2が供給され、洗浄液F2が供給ホース31の内部を満たす。さらに、洗浄液F2が供給口21及び内部弁24を介してノズル2の内部通路22に侵入し、ノズル2の内部は洗浄液F2によって洗浄される。   As shown in FIG. 7, the second three-way valve 34 closes the passage connecting the gas hose 61 and the connection hose 35, and opens the passage connecting the cleaning hose 51 and the connection hose 35. In this state, the internal valve 24 opens a passage that leads from the supply port 21 to the internal passage 22. Accordingly, the supply of the gas F3 from the gas hose 61 to the supply hose 31 is stopped, the cleaning liquid F2 is supplied from the cleaning hose 51 to the supply hose 31, and the cleaning liquid F2 fills the inside of the supply hose 31. Further, the cleaning liquid F2 enters the internal passage 22 of the nozzle 2 through the supply port 21 and the internal valve 24, and the inside of the nozzle 2 is cleaned with the cleaning liquid F2.

このように、塗布装置1では、供給ホース31へ気体F3を供給して供給ホース31の内部のフラックス液F1を排出してから、供給ホース31へ洗浄液F2を供給してノズル2の内部を洗浄する。このため、供給ホース31の内部におけるフラックス液F1と洗浄液F2との混合を防ぐことができるため、正しい成分の洗浄液F2でノズル2の内部を洗浄できる。   As described above, in the coating apparatus 1, the gas F 3 is supplied to the supply hose 31 to discharge the flux liquid F 1 inside the supply hose 31, and then the cleaning liquid F 2 is supplied to the supply hose 31 to clean the inside of the nozzle 2. To do. For this reason, since mixing with the flux liquid F1 and the washing | cleaning liquid F2 in the inside of the supply hose 31 can be prevented, the inside of the nozzle 2 can be wash | cleaned with the washing | cleaning liquid F2 of a correct component.

一定期間(例えば、20秒間)の後、内部弁24が供給口21から内部通路22に繋がる通路を閉じる。このようにノズル2の内部への洗浄液F2の供給が一定期間継続されるため、ノズル2の内部は十分に洗浄される。   After a certain period (for example, 20 seconds), the internal valve 24 closes the passage connected from the supply port 21 to the internal passage 22. Thus, since the supply of the cleaning liquid F2 to the inside of the nozzle 2 is continued for a certain period, the inside of the nozzle 2 is sufficiently cleaned.

ノズル2の内部の洗浄が完了すると、次に、供給ホース31に気体F3が再び供給され、供給ホース31内の洗浄液F2が排出される(ステップS16)。   When the cleaning of the inside of the nozzle 2 is completed, next, the gas F3 is supplied again to the supply hose 31, and the cleaning liquid F2 in the supply hose 31 is discharged (step S16).

図6に示すように、第2三方弁34が、洗浄用ホース51と連結ホース35とを繋ぐ通路を閉じ、気体用ホース61と連結ホース35とを繋ぐ通路を開ける。この状態で、内部弁24が供給口21から内部通路22に繋がる通路を開ける。   As shown in FIG. 6, the second three-way valve 34 closes the passage connecting the cleaning hose 51 and the connection hose 35 and opens the passage connecting the gas hose 61 and the connection hose 35. In this state, the internal valve 24 opens a passage that leads from the supply port 21 to the internal passage 22.

これにより、洗浄用ホース51から供給ホース31への洗浄液F2の供給が停止した状態で、気体用ホース61から供給ホース31に気体F3が供給される。気体F3は、供給ホース31の内部及びノズル2の内部通路22に侵入し、そこに存在していた洗浄液F2を押し出す。その結果、供給ホース31の内部及びノズル2の内部通路22の洗浄液F2は、ノズル2のノズル口23から排出される。一定期間(例えば、30秒間)の後、内部弁24が供給口21から内部通路22に繋がる通路を閉じる。   Thereby, the gas F3 is supplied from the gas hose 61 to the supply hose 31 in a state where the supply of the cleaning liquid F2 from the cleaning hose 51 to the supply hose 31 is stopped. The gas F3 enters the inside of the supply hose 31 and the internal passage 22 of the nozzle 2, and pushes out the cleaning liquid F2 existing there. As a result, the cleaning liquid F2 in the supply hose 31 and the internal passage 22 of the nozzle 2 is discharged from the nozzle port 23 of the nozzle 2. After a certain period (for example, 30 seconds), the internal valve 24 closes the passage connecting the supply port 21 to the internal passage 22.

このようにして、供給ホース31の内部及びノズル2の内部通路22から洗浄液F2が排出された状態で、塗布装置1が稼働を停止する。ノズル2の内部は洗浄済のため、このような稼働の停止中において、ノズル2の内部にフラックス基材が残って付着することはない。   In this way, the operation of the coating apparatus 1 is stopped in a state where the cleaning liquid F2 is discharged from the inside of the supply hose 31 and the internal passage 22 of the nozzle 2. Since the inside of the nozzle 2 has been cleaned, the flux base material does not remain and adhere to the inside of the nozzle 2 during such operation stoppage.

そして次に塗布装置1が稼働を開始した場合においては、図4の動作が繰り返され、まず、洗浄液F2が排出された供給ホース31にフラックス液F1が供給され、ノズル2からフラックス液F1が一定期間(例えば、30秒間)捨て打ちされる(ステップS11)。   When the coating apparatus 1 starts operating next, the operation of FIG. 4 is repeated. First, the flux liquid F1 is supplied to the supply hose 31 from which the cleaning liquid F2 has been discharged, and the flux liquid F1 is constant from the nozzle 2. It is thrown away for a period (for example, 30 seconds) (step S11).

図5に示すように、第1三方弁33が、連結ホース35と供給ホース31とを繋ぐ通路を閉じ、液剤用ホース41と供給ホース31とを繋ぐ通路を開ける。この状態で、内部弁24が供給口21から内部通路22に繋がる通路を開ける。これにより、液剤用ホース41から供給ホース31にフラックス液F1が供給され、フラックス液F1が供給ホース31の内部を満たす。さらに、フラックス液F1が供給口21及び内部弁24を介してノズル2の内部通路22に侵入し、ノズル2のノズル口23から噴出される。一定期間(例えば、30秒間)の後、内部弁24が供給口21から内部通路22に繋がる通路を閉じる。   As shown in FIG. 5, the first three-way valve 33 closes the passage connecting the connection hose 35 and the supply hose 31 and opens the passage connecting the liquid hose 41 and the supply hose 31. In this state, the internal valve 24 opens a passage that leads from the supply port 21 to the internal passage 22. Thereby, the flux liquid F <b> 1 is supplied from the liquid hose 41 to the supply hose 31, and the flux liquid F <b> 1 fills the inside of the supply hose 31. Further, the flux liquid F1 enters the internal passage 22 of the nozzle 2 through the supply port 21 and the internal valve 24 and is ejected from the nozzle port 23 of the nozzle 2. After a certain period (for example, 30 seconds), the internal valve 24 closes the passage connecting the supply port 21 to the internal passage 22.

このように、塗布装置1では、供給ホース31へ気体F3を供給して供給ホース31の内部の洗浄液F2を排出してから、供給ホース31へフラックス液F1を供給する。このため、供給ホース31の内部におけるフラックス液F1と洗浄液F2との混合を防ぐことができる。その結果、以降の塗布処理において、正しい成分のフラックス液F1をノズル2から噴出して、プリント基板9に塗布することができる。   Thus, in the coating apparatus 1, the gas F <b> 3 is supplied to the supply hose 31 to discharge the cleaning liquid F <b> 2 inside the supply hose 31, and then the flux liquid F <b> 1 is supplied to the supply hose 31. For this reason, mixing of the flux liquid F1 and the cleaning liquid F2 inside the supply hose 31 can be prevented. As a result, in the subsequent coating process, the flux liquid F1 having the correct component can be ejected from the nozzle 2 and applied to the printed circuit board 9.

以上のように、本実施の形態の塗布装置1は、フラックス液F1を噴出するノズル2の内部に流体を導く供給ホース31を備えている。液剤タンク4、液剤用ホース41及び第1三方弁33は、供給ホース31へフラックス液F1を供給する。また、洗浄液タンク5、洗浄用ホース51、第2三方弁34、連結ホース35及び第1三方弁33は、供給ホースへ洗浄液F2を供給する。さらに、気体供給部6、気体用ホース61、第2三方弁34、連結ホース35及び第1三方弁33は、供給ホース31へ気体F3を供給する。塗布処理後においては、供給ホース31へのフラックス液F1の供給が停止した状態で、供給ホース31へ気体F3が供給され、供給ホース31の内部のフラックス液F1が排出される。そして、フラックス液F1が排出された供給ホース31へ洗浄液F2が供給されて、ノズル2の内部が洗浄される。これにより、供給ホース31の内部におけるフラックス液F1と洗浄液F2との混合を防ぐことができるため、正しい成分の洗浄液F2でノズル2の内部を洗浄できる。その結果、ノズルの内部を有効に洗浄できる。   As described above, the coating apparatus 1 according to the present embodiment includes the supply hose 31 that guides the fluid to the inside of the nozzle 2 that ejects the flux liquid F1. The liquid agent tank 4, the liquid agent hose 41, and the first three-way valve 33 supply the flux liquid F <b> 1 to the supply hose 31. The cleaning liquid tank 5, the cleaning hose 51, the second three-way valve 34, the connection hose 35, and the first three-way valve 33 supply the cleaning liquid F2 to the supply hose. Further, the gas supply unit 6, the gas hose 61, the second three-way valve 34, the connection hose 35, and the first three-way valve 33 supply the gas F <b> 3 to the supply hose 31. After the coating process, in a state where the supply of the flux liquid F1 to the supply hose 31 is stopped, the gas F3 is supplied to the supply hose 31, and the flux liquid F1 inside the supply hose 31 is discharged. Then, the cleaning liquid F2 is supplied to the supply hose 31 from which the flux liquid F1 has been discharged, and the inside of the nozzle 2 is cleaned. Thereby, since mixing with the flux liquid F1 and the cleaning liquid F2 in the inside of the supply hose 31 can be prevented, the inside of the nozzle 2 can be cleaned with the cleaning liquid F2 of a correct component. As a result, the inside of the nozzle can be effectively cleaned.

また、ノズル2の内部の洗浄後においては、供給ホース31への洗浄液F2の供給が停止した状態で、供給ホース31へ気体F3が供給され、供給ホース31の内部の洗浄液F2が排出される。そして、洗浄液F2が排出された供給ホース31へフラックス液F1が供給される。これにより、供給ホース31の内部におけるフラックス液F1と洗浄液F2との混合を防ぐことができるため、正しい成分のフラックス液F1をノズル2から噴出できる。   Further, after cleaning the inside of the nozzle 2, the supply of the cleaning liquid F2 to the supply hose 31 is stopped, the gas F3 is supplied to the supply hose 31, and the cleaning liquid F2 inside the supply hose 31 is discharged. Then, the flux liquid F1 is supplied to the supply hose 31 from which the cleaning liquid F2 has been discharged. Thereby, since mixing with the flux liquid F1 and the washing | cleaning liquid F2 in the inside of the supply hose 31 can be prevented, the flux liquid F1 of a correct component can be ejected from the nozzle 2. FIG.

<2.第2の実施の形態>
次に、第2の実施の形態について説明する。第2の実施の形態の塗布装置1の構成及び動作は、第1の実施の形態とほぼ同様であるため、以下、第1の実施の形態との相違点を中心に説明する。
<2. Second Embodiment>
Next, a second embodiment will be described. Since the configuration and operation of the coating apparatus 1 of the second embodiment are substantially the same as those of the first embodiment, the following description will focus on differences from the first embodiment.

第1の実施の形態においては、供給ホース31に気体F3を供給して供給ホース31の内部の液体(フラックス液F1あるいは洗浄液F2)を排出する場合に、液体をノズル2のノズル口23から排出していた。ノズル2はスプレーノズルであるため、ノズル2の開口径は比較的小さく、ノズル2が吐出可能な流体の流量は小さい。このため、気体F3を供給して供給ホース31の内部の液体を押し出したとしても、それら液体をノズル口23から排出するには比較的長い時間が必要となる。また、供給ホース31の内部の液体を完全に排出できずに、一部の液体が供給ホース31の内部に残留する可能性がある。特に、上向きに噴出するノズル2に向けた供給ホース31はU字状に吊り下げて用いることが多く、このように供給ホース31をU字状に吊り下げて用いる場合は、供給ホース31の底部となる折り曲げ部分に液体が残留する可能性がある。   In the first embodiment, when the gas F3 is supplied to the supply hose 31 and the liquid (flux liquid F1 or cleaning liquid F2) inside the supply hose 31 is discharged, the liquid is discharged from the nozzle port 23 of the nozzle 2. Was. Since the nozzle 2 is a spray nozzle, the opening diameter of the nozzle 2 is relatively small, and the flow rate of the fluid that can be discharged by the nozzle 2 is small. For this reason, even if the gas F3 is supplied and the liquid inside the supply hose 31 is pushed out, it takes a relatively long time to discharge the liquid from the nozzle port 23. Further, the liquid inside the supply hose 31 may not be completely discharged, and some liquid may remain inside the supply hose 31. In particular, the supply hose 31 directed toward the nozzle 2 that jets upward is often used while being suspended in a U-shape, and when the supply hose 31 is suspended and used in a U-shape in this way, the bottom of the supply hose 31 is used. There is a possibility that liquid remains in the bent portion.

これに対応するため、第2の実施の形態の塗布装置1では、ノズル2よりも開口径が大きい排出管が設けられ、この排出管を経由して供給ホース31の内部の流体が排出されるようになっている。   In order to cope with this, in the coating apparatus 1 according to the second embodiment, a discharge pipe having an opening diameter larger than that of the nozzle 2 is provided, and the fluid inside the supply hose 31 is discharged through the discharge pipe. It is like that.

<2−1.流体供給部の構成>
図8は、第2の実施の形態の流体供給部3の構成をノズル2とともに示す図である。第2の実施の形態の流体供給部3は、第1の実施の形態の構成に加えて、供給ホース31の内部の流体を排出するための排出部7をさらに備えている。
<2-1. Configuration of fluid supply section>
FIG. 8 is a diagram illustrating the configuration of the fluid supply unit 3 according to the second embodiment together with the nozzle 2. The fluid supply unit 3 of the second embodiment further includes a discharge unit 7 for discharging the fluid inside the supply hose 31 in addition to the configuration of the first embodiment.

排出部7は、流体を排出する経路となる排出管71と、二方弁である排出弁72とを備えている。排出管71の一端は、供給ホース31におけるノズル2と接続される部分の近傍に排出弁72を介して接続される。また、排出管71の他端は、排出口73として開放されている。したがって、排出管71は、供給ホース31の内部の流体を排出口73へ導くことになる。   The discharge unit 7 includes a discharge pipe 71 serving as a path for discharging a fluid, and a discharge valve 72 that is a two-way valve. One end of the discharge pipe 71 is connected to the vicinity of the portion connected to the nozzle 2 in the supply hose 31 via a discharge valve 72. Further, the other end of the discharge pipe 71 is opened as a discharge port 73. Accordingly, the discharge pipe 71 guides the fluid inside the supply hose 31 to the discharge port 73.

排出弁72は、全体制御部10の制御により、供給ホース31と排出管71とを繋ぐ通路を開閉する。排出弁72が、この通路を開けた場合は、供給ホース31の内部の圧力により、供給ホース31の内部の流体が排出管71に侵入する。排出管71に侵入した液体は、該排出管71を経由して排出口73から外部に排出される。   The discharge valve 72 opens and closes a passage connecting the supply hose 31 and the discharge pipe 71 under the control of the overall control unit 10. When the discharge valve 72 opens this passage, the fluid inside the supply hose 31 enters the discharge pipe 71 due to the pressure inside the supply hose 31. The liquid that has entered the discharge pipe 71 is discharged to the outside from the discharge port 73 via the discharge pipe 71.

排出管71の開口径(排出口73の内径)は、ノズル2の開口径(ノズル口23の内径)よりも大きくなっている。このため、排出管71が排出可能な流体の流量は、ノズル2が吐出可能な流体の流量と比較して十分に大きい。例えば、ノズル2の開口径(直径)が約0.1mmであるのに対し、排出管71の開口径(直径)は約3mmとなっている。開口部を流れる流体の流量はその開口径の二乗に比例することから、排出管71が排出可能な流体の流量は、ノズル2が吐出可能な流体の流量と比較して約900倍となる。   The opening diameter of the discharge pipe 71 (the inner diameter of the discharge port 73) is larger than the opening diameter of the nozzle 2 (the inner diameter of the nozzle port 23). For this reason, the flow rate of the fluid that can be discharged by the discharge pipe 71 is sufficiently larger than the flow rate of the fluid that can be discharged by the nozzle 2. For example, the opening diameter (diameter) of the nozzle 2 is about 0.1 mm, whereas the opening diameter (diameter) of the discharge pipe 71 is about 3 mm. Since the flow rate of the fluid flowing through the opening is proportional to the square of the opening diameter, the flow rate of the fluid that can be discharged by the discharge pipe 71 is approximately 900 times that of the fluid that can be discharged by the nozzle 2.

<2−2.塗布装置の動作>
次に、図4を用いて、第2の実施の形態の塗布装置1の動作について説明する。まず、ノズル2からフラックス液F1が一定期間(例えば、30秒間)捨て打ちされる(ステップS11)。
<2-2. Operation of coating apparatus>
Next, operation | movement of the coating device 1 of 2nd Embodiment is demonstrated using FIG. First, the flux liquid F1 is discarded from the nozzle 2 for a certain period (for example, 30 seconds) (step S11).

図9に示すように、第1三方弁33が液剤用ホース41と供給ホース31とを繋ぐ通路を開ける。これとともに、排出弁72が供給ホース31から排出管71に繋がる通路を閉じ、内部弁24が供給口21から内部通路22に繋がる通路を開ける。   As shown in FIG. 9, the first three-way valve 33 opens a passage connecting the liquid agent hose 41 and the supply hose 31. At the same time, the discharge valve 72 closes the passage from the supply hose 31 to the discharge pipe 71, and the internal valve 24 opens the passage from the supply port 21 to the internal passage 22.

これにより、液剤用ホース41から供給ホース31にフラックス液F1が供給され、フラックス液F1が供給ホース31の内部を満たす。さらに、フラックス液F1が供給口21及び内部弁24を介してノズル2の内部通路22に侵入し、ノズル2のノズル口23から噴出される。   Thereby, the flux liquid F <b> 1 is supplied from the liquid hose 41 to the supply hose 31, and the flux liquid F <b> 1 fills the inside of the supply hose 31. Further, the flux liquid F1 enters the internal passage 22 of the nozzle 2 through the supply port 21 and the internal valve 24 and is ejected from the nozzle port 23 of the nozzle 2.

次に、全体制御部10の制御により、プリント基板9に対する塗布処理が実行される(ステップS12)。この塗布処理においても、図9に示すように、フラックス液F1がノズル2のノズル口23から噴出される。   Next, the coating process for the printed circuit board 9 is executed under the control of the overall control unit 10 (step S12). Also in this coating process, the flux liquid F1 is ejected from the nozzle port 23 of the nozzle 2 as shown in FIG.

塗布処理が完了すると(ステップS13にてYes)、次に、供給ホース31に気体F3が供給され、供給ホース31の内部のフラックス液F1が排出される(ステップS14)。   When the coating process is completed (Yes in Step S13), next, the gas F3 is supplied to the supply hose 31, and the flux liquid F1 inside the supply hose 31 is discharged (Step S14).

図10に示すように、第1三方弁33が連結ホース35と供給ホース31とを繋ぐ通路を開け、さらに、第2三方弁34が気体用ホース61と連結ホース35とを繋ぐ通路を開ける。これとともに、内部弁24が供給口21から内部通路22に繋がる通路を閉じ、排出弁72が供給ホース31から排出管71に繋がる通路を開ける。これにより、液剤用ホース41から供給ホース31へのフラックス液F1の供給が停止した状態で、気体用ホース61から供給ホース31に気体F3が供給される。   As shown in FIG. 10, the first three-way valve 33 opens a passage connecting the connection hose 35 and the supply hose 31, and the second three-way valve 34 opens a passage connecting the gas hose 61 and the connection hose 35. At the same time, the internal valve 24 closes the passage connecting the supply port 21 to the internal passage 22, and the discharge valve 72 opens the passage connecting the supply hose 31 to the discharge pipe 71. Thereby, the gas F3 is supplied from the gas hose 61 to the supply hose 31 in a state where the supply of the flux liquid F1 from the liquid hose 41 to the supply hose 31 is stopped.

気体F3は、供給ホース31の内部に侵入し、そこに存在していたフラックス液F1を排出弁72を介して排出管71に押し出す。これにより、供給ホース31の内部のフラックス液F1は、排出管71を経由して排出口73から排出される。   The gas F3 enters the inside of the supply hose 31 and pushes the flux liquid F1 existing therein to the discharge pipe 71 through the discharge valve 72. Thereby, the flux liquid F <b> 1 inside the supply hose 31 is discharged from the discharge port 73 via the discharge pipe 71.

排出管71が排出可能な流体の流量は大きいため、供給ホース31の内部に大量に侵入した気体F3は、供給ホース31の内部のフラックス液F1を一気に排出管71に押し出す。したがって、フラックス液F1を比較的短時間に排出できるとともに、供給ホース31の内部にフラックス液F1が残留することを防止できる。   Since the flow rate of the fluid that can be discharged by the discharge pipe 71 is large, the gas F3 that has entered the supply hose 31 in a large amount pushes the flux liquid F1 inside the supply hose 31 to the discharge pipe 71 at once. Therefore, the flux liquid F1 can be discharged in a relatively short time, and the flux liquid F1 can be prevented from remaining inside the supply hose 31.

次に、フラックス液F1が排出された供給ホース31に洗浄液F2が供給され、ノズル2の内部が洗浄される(ステップS15)。   Next, the cleaning liquid F2 is supplied to the supply hose 31 from which the flux liquid F1 has been discharged, and the inside of the nozzle 2 is cleaned (step S15).

図11に示すように、第2三方弁34が洗浄用ホース51と連結ホース35とを繋ぐ通路を開ける。これとともに、排出弁72が供給ホース31から排出管71に繋がる通路を閉じ、内部弁24が供給口21から内部通路22に繋がる通路を開ける。これにより、洗浄用ホース51から供給ホース31に洗浄液F2が供給され、洗浄液F2が供給ホース31の内部を満たす。この際、供給ホース31の内部にフラックス液F1は残留していないため、供給ホース31の内部におけるフラックス液F1と洗浄液F2との混合を防ぐことができる。   As shown in FIG. 11, the second three-way valve 34 opens a passage connecting the cleaning hose 51 and the connecting hose 35. At the same time, the discharge valve 72 closes the passage from the supply hose 31 to the discharge pipe 71, and the internal valve 24 opens the passage from the supply port 21 to the internal passage 22. Accordingly, the cleaning liquid F2 is supplied from the cleaning hose 51 to the supply hose 31, and the cleaning liquid F2 fills the inside of the supply hose 31. At this time, since the flux liquid F1 does not remain inside the supply hose 31, mixing of the flux liquid F1 and the cleaning liquid F2 inside the supply hose 31 can be prevented.

さらに、洗浄液F2が供給口21及び内部弁24を介してノズル2の内部通路22に侵入し、ノズル2の内部は洗浄液F2によって洗浄される。ステップS14でフラックス液F1を排出する際に内部弁24が通路を閉じるため、ノズル2の内部通路22には微量のフラックス液F1が残留している。しかしながら、残留したフラックス液F1の量は、ノズル2が速やかに吐出可能な僅かな量である。このため、ノズル2の内部通路22に洗浄液F2が侵入すると、ノズル2の内部通路22のフラックス液F1はノズル口23から速やかに排出され、ノズル2の内部通路22の液体は洗浄液F2に完全に入れ替わる。このため、正しい成分の洗浄液F2でノズル2の内部を洗浄できる。このような洗浄液F2の供給は一定期間(例えば、20秒間)継続され、ノズル2の内部は十分に洗浄される。   Further, the cleaning liquid F2 enters the internal passage 22 of the nozzle 2 through the supply port 21 and the internal valve 24, and the inside of the nozzle 2 is cleaned with the cleaning liquid F2. Since the internal valve 24 closes the passage when the flux liquid F1 is discharged in step S14, a small amount of the flux liquid F1 remains in the internal passage 22 of the nozzle 2. However, the amount of the remaining flux liquid F1 is a small amount that the nozzle 2 can discharge quickly. Therefore, when the cleaning liquid F2 enters the internal passage 22 of the nozzle 2, the flux liquid F1 in the internal passage 22 of the nozzle 2 is quickly discharged from the nozzle port 23, and the liquid in the internal passage 22 of the nozzle 2 is completely discharged into the cleaning liquid F2. Change. For this reason, the inside of the nozzle 2 can be cleaned with the cleaning liquid F2 of the correct component. The supply of the cleaning liquid F2 is continued for a certain period (for example, 20 seconds), and the inside of the nozzle 2 is sufficiently cleaned.

ノズル2の内部の洗浄が完了すると、次に、供給ホース31に気体F3が再び供給され、供給ホース31内の洗浄液F2が排出される(ステップS16)。   When the cleaning of the inside of the nozzle 2 is completed, next, the gas F3 is supplied again to the supply hose 31, and the cleaning liquid F2 in the supply hose 31 is discharged (step S16).

図10に示すように、第2三方弁34が気体用ホース61と連結ホース35とを繋ぐ通路を開ける。これとともに、内部弁24が供給口21から内部通路22に繋がる通路を閉じ、排出弁72が供給ホース31から排出管71に繋がる通路を開ける。これにより、洗浄用ホース51から供給ホース31への洗浄液F2の供給が停止した状態で、気体用ホース61から供給ホース31に気体F3が供給される。   As shown in FIG. 10, the second three-way valve 34 opens a passage connecting the gas hose 61 and the connection hose 35. At the same time, the internal valve 24 closes the passage connecting the supply port 21 to the internal passage 22, and the discharge valve 72 opens the passage connecting the supply hose 31 to the discharge pipe 71. Thereby, the gas F3 is supplied from the gas hose 61 to the supply hose 31 in a state where the supply of the cleaning liquid F2 from the cleaning hose 51 to the supply hose 31 is stopped.

気体F3は、供給ホース31の内部に侵入し、そこに存在していた洗浄液F2を排出弁72を介して排出管71に押し出す。これにより、供給ホース31の内部の洗浄液F2は、排出管71を経由して排出口73から排出される。   The gas F3 enters the inside of the supply hose 31 and pushes the cleaning liquid F2 present therein to the discharge pipe 71 through the discharge valve 72. Thereby, the cleaning liquid F2 inside the supply hose 31 is discharged from the discharge port 73 via the discharge pipe 71.

排出管71が排出可能な流体の流量は大きいため、供給ホース31の内部に大量に侵入した気体F3は、供給ホース31の内部の洗浄液F2を一気に排出管71に押し出す。したがって、洗浄液F2を比較的短時間に排出できるとともに、供給ホース31の内部に洗浄液F2が残留することを防止できる。   Since the flow rate of the fluid that can be discharged by the discharge pipe 71 is large, the gas F3 that has entered a large amount into the supply hose 31 pushes the cleaning liquid F2 inside the supply hose 31 to the discharge pipe 71 at a stretch. Therefore, the cleaning liquid F2 can be discharged in a relatively short time, and the cleaning liquid F2 can be prevented from remaining inside the supply hose 31.

このようにして、供給ホース31の内部から洗浄液F2が排出された状態で、塗布装置1が稼働を停止する。ステップS16で洗浄液F2を排出する際に内部弁24が通路を閉じるため、ノズル2の内部通路22には微量の洗浄液F2が残留している。しかしながら、洗浄液F2はフラックス基材を含まないため、塗布装置1の稼働の停止中において洗浄液F2が揮発したとしても、ノズル2の内部にフラックス基材が付着することはない。   In this way, the operation of the coating apparatus 1 is stopped with the cleaning liquid F2 being discharged from the inside of the supply hose 31. Since the internal valve 24 closes the passage when the cleaning liquid F2 is discharged in step S16, a trace amount of the cleaning liquid F2 remains in the internal passage 22 of the nozzle 2. However, since the cleaning liquid F2 does not include a flux base material, even if the cleaning liquid F2 volatilizes while the operation of the coating apparatus 1 is stopped, the flux base material does not adhere to the inside of the nozzle 2.

そして次に塗布装置1が稼働を開始した場合においては、図4の動作が繰り返され、まず、洗浄液F2が排出された供給ホース31にフラックス液F1が供給され、ノズル2からフラックス液F1が一定期間(例えば、30秒間)捨て打ちされる(ステップS11)。   When the coating apparatus 1 starts operating next, the operation of FIG. 4 is repeated. First, the flux liquid F1 is supplied to the supply hose 31 from which the cleaning liquid F2 has been discharged, and the flux liquid F1 is constant from the nozzle 2. It is thrown away for a period (for example, 30 seconds) (step S11).

図9に示すように、第1三方弁33が液剤用ホース41と供給ホース31とを繋ぐ通路を開ける。これとともに、排出弁72が供給ホース31から排出管71に繋がる通路を閉じ、内部弁24が供給口21から内部通路22に繋がる通路を開ける。これにより、液剤用ホース41から供給ホース31にフラックス液F1が供給され、フラックス液F1が供給ホース31の内部を満たす。この際、供給ホース31の内部に洗浄液F2は残留していないため、供給ホース31の内部におけるフラックス液F1と洗浄液F2との混合を防ぐことができる。   As shown in FIG. 9, the first three-way valve 33 opens a passage connecting the liquid agent hose 41 and the supply hose 31. At the same time, the discharge valve 72 closes the passage from the supply hose 31 to the discharge pipe 71, and the internal valve 24 opens the passage from the supply port 21 to the internal passage 22. Thereby, the flux liquid F <b> 1 is supplied from the liquid hose 41 to the supply hose 31, and the flux liquid F <b> 1 fills the inside of the supply hose 31. At this time, since the cleaning liquid F2 does not remain in the supply hose 31, mixing of the flux liquid F1 and the cleaning liquid F2 in the supply hose 31 can be prevented.

さらに、フラックス液F1が供給口21及び内部弁24を介してノズル2の内部通路22に侵入し、ノズル2のノズル口23から噴出される。ノズル2の内部通路22に残留した洗浄液F2の量は、ノズル2が速やかに吐出可能な僅かな量である。このため、ノズル2の内部通路22にフラックス液F1が侵入すると、ノズル2の内部通路22の洗浄液F2はノズル口23から速やかに排出され、ノズル2の内部通路22の液体はフラックス液F1に完全に入れ替わる。このため、以降の塗布処理において、正しい成分のフラックス液F1をノズル2から噴出することができる。   Further, the flux liquid F1 enters the internal passage 22 of the nozzle 2 through the supply port 21 and the internal valve 24 and is ejected from the nozzle port 23 of the nozzle 2. The amount of the cleaning liquid F2 remaining in the internal passage 22 of the nozzle 2 is a small amount that the nozzle 2 can discharge quickly. For this reason, when the flux liquid F1 enters the internal passage 22 of the nozzle 2, the cleaning liquid F2 in the internal passage 22 of the nozzle 2 is quickly discharged from the nozzle port 23, and the liquid in the internal passage 22 of the nozzle 2 completely flows into the flux liquid F1. Will be replaced. For this reason, the flux liquid F1 having the correct component can be ejected from the nozzle 2 in the subsequent coating process.

以上のように、第2の実施の形態の塗布装置1は、供給ホース31の内部の流体を排出口73へ導く排出管71を備え、この排出管71を経由して供給ホース31の内部の流体を排出する。排出管71の開口径は、ノズル2の開口径よりも十分に大きい。このように開口径が大きい排出管71を経由して供給ホース31の内部の流体を排出するため、流体を比較的短時間に排出できるとともに、供給ホース31の内部に液体が残留することを防止できる。   As described above, the coating apparatus 1 according to the second embodiment includes the discharge pipe 71 that guides the fluid inside the supply hose 31 to the discharge port 73, and the inside of the supply hose 31 through the discharge pipe 71. Drain the fluid. The opening diameter of the discharge pipe 71 is sufficiently larger than the opening diameter of the nozzle 2. Thus, since the fluid inside the supply hose 31 is discharged via the discharge pipe 71 having a large opening diameter, the fluid can be discharged in a relatively short time, and liquid can be prevented from remaining inside the supply hose 31. it can.

<3.他の実施の形態>
以下、他の実施の形態について説明する。上記実施の形態及び以下で説明する形態を含む全ての形態は、適宜に組み合わせ可能である。
<3. Other embodiments>
Hereinafter, other embodiments will be described. All the forms including the above-described embodiment and the form described below can be appropriately combined.

<3−1.ノズルの外部の洗浄>
上記実施の形態では、ノズル2を洗浄する際にノズル2の内部を洗浄していたが、ノズル2の内部に加えてノズル2の外部も洗浄するようにしてもよい。例えば、図12に示すように、ノズル2の外部に洗浄液F2を吐出する洗浄ノズル8を設ける。そして、ノズル2を洗浄する際に、上記実施の形態と同様のノズル2の内部を洗浄する動作に加えて、ノズル2のノズル口23の近傍に向けて洗浄ノズル8から洗浄液F2を吐出する。これにより、ノズル2の内部とともにノズル2の外部も洗浄され、ノズル2の内部及び外部の双方においてフレックス基材が付着することを防止できる。
<3-1. Cleaning outside the nozzle>
In the above embodiment, the inside of the nozzle 2 is washed when the nozzle 2 is washed. However, in addition to the inside of the nozzle 2, the outside of the nozzle 2 may be washed. For example, as shown in FIG. 12, a cleaning nozzle 8 that discharges the cleaning liquid F <b> 2 is provided outside the nozzle 2. When cleaning the nozzle 2, in addition to the operation of cleaning the inside of the nozzle 2 as in the above embodiment, the cleaning liquid F 2 is discharged from the cleaning nozzle 8 toward the vicinity of the nozzle port 23 of the nozzle 2. Thereby, both the inside of the nozzle 2 and the outside of the nozzle 2 are washed, and it is possible to prevent the flex base material from adhering both inside and outside the nozzle 2.

<3−2.逆止弁>
また、上記実施の形態において用いた第2三方弁34に代えて、2つの逆止弁を設けてもよい。図13及び図14は、第2三方弁34に代えて2つの逆止弁36,37を設けた流体供給部3の構成を示す図である。
<3-2. Check valve>
Further, two check valves may be provided instead of the second three-way valve 34 used in the above embodiment. FIGS. 13 and 14 are diagrams showing the configuration of the fluid supply unit 3 provided with two check valves 36 and 37 instead of the second three-way valve 34.

第1逆止弁36は、洗浄用ホース51と連結ホース35とを繋ぐ通路に設けられている。第1逆止弁36は、連結ホース35から洗浄用ホース51への流体の逆流を防止する。また、第2逆止弁37は、気体用ホース61と連結ホース35とを繋ぐ通路に設けられている。第2逆止弁37は、連結ホース35から気体用ホース61への流体の逆流を防止する。   The first check valve 36 is provided in a passage connecting the cleaning hose 51 and the connecting hose 35. The first check valve 36 prevents the backflow of fluid from the connection hose 35 to the cleaning hose 51. The second check valve 37 is provided in a passage that connects the gas hose 61 and the connection hose 35. The second check valve 37 prevents the backflow of fluid from the connection hose 35 to the gas hose 61.

図13に示すように、供給ホース31に気体F3を供給する場合には、気体供給部6が、気体用ホース61を経由して第2逆止弁37に向けて加圧された気体F3を供給する。一方で、洗浄液タンク5の内部の加圧が停止され、洗浄液タンク5は、加圧された洗浄液F2の供給を停止する。これにより、気体F3は、第2逆止弁37を通過して、連結ホース35及び第1三方弁33を経由して供給ホース31に供給される。この際、気体F3は、第1逆止弁36の機能により洗浄用ホース51へは侵入しない。   As shown in FIG. 13, when supplying the gas F3 to the supply hose 31, the gas supply unit 6 supplies the gas F3 pressurized toward the second check valve 37 via the gas hose 61. Supply. On the other hand, the pressurization inside the cleaning liquid tank 5 is stopped, and the cleaning liquid tank 5 stops the supply of the pressurized cleaning liquid F2. Thereby, the gas F3 passes through the second check valve 37 and is supplied to the supply hose 31 via the connection hose 35 and the first three-way valve 33. At this time, the gas F <b> 3 does not enter the cleaning hose 51 due to the function of the first check valve 36.

また、図14に示すように、供給ホース31に洗浄液F2を供給する場合には、洗浄液タンク5が、洗浄用ホース51を経由して第1逆止弁36に向けて加圧された洗浄液F2を供給する。一方で、気体供給部6は、加圧された気体F3の供給を停止する。これにより、洗浄液F2は、第1逆止弁36を通過して、連結ホース35及び第1三方弁33を経由して供給ホース31に供給される。この際、洗浄液F2は、第2逆止弁37の機能により気体用ホース61へは侵入しない。   As shown in FIG. 14, when supplying the cleaning liquid F <b> 2 to the supply hose 31, the cleaning liquid F <b> 2 in which the cleaning liquid tank 5 is pressurized toward the first check valve 36 via the cleaning hose 51. Supply. On the other hand, the gas supply unit 6 stops the supply of the pressurized gas F3. Accordingly, the cleaning liquid F2 passes through the first check valve 36 and is supplied to the supply hose 31 via the connection hose 35 and the first three-way valve 33. At this time, the cleaning liquid F <b> 2 does not enter the gas hose 61 due to the function of the second check valve 37.

このように、第2三方弁34に代えて2つの逆止弁36,37を設けることで、上記実施の形態と同様の機能を比較的低コストに実現することができる。なお、同様に、第1三方弁33に代えて2つの逆止弁を設けてもよい。   Thus, by providing the two check valves 36 and 37 in place of the second three-way valve 34, the same function as the above embodiment can be realized at a relatively low cost. Similarly, two check valves may be provided in place of the first three-way valve 33.

<3−3.バブル洗浄>
また、図13及び図14に示すように2つの逆止弁36,37を設けた場合に、ノズル2の内部を洗浄する際に、洗浄液タンク5と気体供給部6との双方が同時に、加圧された流体を供給するようにしてもよい。これによれば、洗浄液タンク5が供給する洗浄液F2と、気体供給部6が供給する気体F3とが連結ホース35で混合するため、気泡を含む洗浄液が供給ホース31に供給される。その結果、気泡を含む洗浄液でノズル2の内部を洗浄することができるため、バブル洗浄の原理により洗浄効果を向上できる。
<3-3. Bubble cleaning>
Further, when two check valves 36 and 37 are provided as shown in FIGS. 13 and 14, both the cleaning liquid tank 5 and the gas supply unit 6 are simultaneously added when cleaning the inside of the nozzle 2. A pressurized fluid may be supplied. According to this, since the cleaning liquid F2 supplied by the cleaning liquid tank 5 and the gas F3 supplied by the gas supply unit 6 are mixed by the connecting hose 35, the cleaning liquid containing bubbles is supplied to the supply hose 31. As a result, since the inside of the nozzle 2 can be cleaned with a cleaning liquid containing bubbles, the cleaning effect can be improved by the principle of bubble cleaning.

<3−4.その他の変形例>
上記実施の形態では、ノズル2の内部にフラックス液などの流体を導く導管は、弾性材料で構成される供給ホース31であると説明したが、金属製などの他の材料で構成されてもよい。
<3-4. Other variations>
In the above embodiment, the conduit that guides the fluid such as the flux liquid to the inside of the nozzle 2 has been described as the supply hose 31 made of an elastic material, but may be made of other materials such as metal. .

また、上記実施の形態では、洗浄液はフラックス液の希釈液と同一の液体であると説明したが、洗浄液としてフラックス液の希釈液とは別の液体を採用してもよい。   In the above embodiment, the cleaning liquid is described as being the same liquid as the diluting liquid of the flux liquid, but a liquid different from the diluting liquid of the flux liquid may be employed as the cleaning liquid.

また、上記実施の形態では、ノズル2は、霧状のフラックス液を噴出するスプレーノズルであると説明したが、フラックス液を霧状にせずに噴出するものであってもよい。   Moreover, although the nozzle 2 demonstrated that it was a spray nozzle which ejects a mist-like flux liquid in the said embodiment, you may eject a flux liquid without making it a mist.

また、上記実施の形態では、三方弁33,34及び二方弁72,24の全ての動作は全体制御部10により制御されると説明したが、これらの一部をユーザが手動で動かしてもよい。   Further, in the above embodiment, it has been described that all the operations of the three-way valves 33 and 34 and the two-way valves 72 and 24 are controlled by the overall control unit 10, but even if the user manually moves some of them. Good.

1 塗布装置
2 ノズル
4 液剤タンク
5 洗浄液タンク
6 気体供給部
31 供給ホース
71 排出管
F1 フラックス液
F2 洗浄液
F3 気体
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Coating device 2 Nozzle 4 Liquid agent tank 5 Cleaning liquid tank 6 Gas supply part 31 Supply hose 71 Discharge pipe F1 Flux liquid F2 Cleaning liquid F3 Gas

Claims (6)

フラックス液を塗布する塗布装置であって、
前記フラックス液を噴出するノズルの内部に流体を導く導管と、
前記導管へ前記フラックス液を供給する供給手段と、
前記供給手段による前記導管への前記フラックス液の供給が停止した状態で、前記導管へ気体を供給して前記導管内の前記フラックス液を排出する排出手段と、
前記排出手段により前記フラックス液が排出された前記導管へ洗浄液を供給して、前記ノズルの内部を洗浄する洗浄手段と、
を備えることを特徴とする塗布装置。
An application device for applying a flux liquid,
A conduit for guiding fluid to the inside of the nozzle that ejects the flux liquid;
Supply means for supplying the flux liquid to the conduit;
A discharge means for supplying gas to the conduit and discharging the flux liquid in the conduit in a state where the supply of the flux liquid to the conduit by the supply means is stopped;
Cleaning means for supplying a cleaning liquid to the conduit from which the flux liquid has been discharged by the discharging means, and for cleaning the inside of the nozzle;
A coating apparatus comprising:
請求項1に記載の塗布装置において、
前記排出手段は、前記洗浄手段による前記導管への洗浄液の供給が停止した状態で、前記導管へ気体を供給して前記導管内の前記洗浄液を排出し、
前記供給手段は、前記排出手段により前記洗浄液が排出された前記導管へ前記フラックス液を供給することを特徴とする塗布装置。
The coating apparatus according to claim 1,
The discharge means supplies gas to the conduit to discharge the cleaning liquid in the conduit in a state where supply of the cleaning liquid to the conduit by the cleaning means is stopped,
The coating apparatus, wherein the supply means supplies the flux liquid to the conduit from which the cleaning liquid has been discharged by the discharge means.
請求項1または2に記載の塗布装置において、
前記排出手段は、前記導管内の流体を排出口へ導く排出管を経由して前記導管内の流体を排出し、
前記排出管の開口径は、前記ノズルの開口径よりも大きいことを特徴とする塗布装置。
The coating apparatus according to claim 1 or 2,
The discharge means discharges the fluid in the conduit via a discharge pipe that guides the fluid in the conduit to a discharge port;
The coating apparatus according to claim 1, wherein an opening diameter of the discharge pipe is larger than an opening diameter of the nozzle.
フラックス液を噴出するノズルの洗浄方法であって、
(a)前記ノズルの内部に流体を導く導管へ前記フラックス液を供給する工程と、
(b)前記工程(a)による前記導管への前記フラックス液の供給が停止した状態で、前記導管へ気体を供給して前記導管内の前記フラックス液を排出する工程と、
(c)前記工程(b)により前記フラックス液が排出された前記導管へ洗浄液を供給して、前記ノズルの内部を洗浄する工程と、
を備えることを特徴とする洗浄方法。
A method of cleaning a nozzle that ejects flux liquid,
(A) supplying the flux liquid to a conduit for introducing a fluid into the nozzle;
(B) supplying gas to the conduit and discharging the flux fluid in the conduit in a state where supply of the flux fluid to the conduit in step (a) is stopped;
(C) supplying a cleaning liquid to the conduit from which the flux liquid has been discharged in the step (b), and cleaning the inside of the nozzle;
A cleaning method comprising:
請求項4に記載の洗浄方法において、
(d)前記工程(c)による前記導管への洗浄液の供給が停止した状態で、前記導管へ気体を供給して前記導管内の前記洗浄液を排出する工程、
をさらに備え、
前記工程(a)は、前記工程(d)により前記洗浄液が排出された前記導管へ前記フラックス液を供給することを特徴とする洗浄方法。
The cleaning method according to claim 4, wherein
(D) supplying gas to the conduit and discharging the cleaning fluid in the conduit in a state where supply of the cleaning fluid to the conduit in step (c) is stopped;
Further comprising
In the step (a), the flux liquid is supplied to the conduit from which the cleaning liquid has been discharged in the step (d).
請求項4または5に記載の洗浄方法において、
前記工程(b)は、前記導管内の流体を排出口へ導く排出管を経由して前記導管内の流体を排出し、
前記排出管の開口径は、前記ノズルの開口径よりも大きいことを特徴とする洗浄方法。
The cleaning method according to claim 4 or 5,
The step (b) discharges the fluid in the conduit via a discharge pipe that guides the fluid in the conduit to a discharge port;
The cleaning method according to claim 1, wherein an opening diameter of the discharge pipe is larger than an opening diameter of the nozzle.
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