JP2016030836A - 冷却装置及び多室型熱処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】冷却室内において被処理物を冷却液に浸漬して冷却する冷却装置及び多室型熱処理装置において、効率的かつ均一に被処理物を冷却できる流れを冷却室内に提供する。【解決手段】冷却液Ｗに浸漬することにより被処理物Ｘの冷却を行う冷却装置であって、被処理物Ｘを収容すると共に内部に冷却液Ｗを貯留可能な冷却室１と、被処理物Ｘよりも下方から冷却室１に冷却液Ｗを供給する供給ノズル２と、被処理物Ｘよりも上方から冷却室１に貯留された冷却液Ｗを回収する回収配管７と、回収配管７によって回収した冷却液Ｗを供給ノズル２に圧送するポンプ４とを備える冷却装置。【選択図】図４

Description

本発明は、冷却装置及び多室型熱処理装置に関するものである。

例えば、特許文献１には、３つの加熱装置と１つの冷却装置とを備える多室型熱処理装置が開示されている。この多室型熱処理装置では、中間搬送室を介して加熱装置同士及び冷却装置が接続されており、例えば加熱装置で加熱した被処理物を冷却装置に搬送して冷却する。このような冷却装置では、例えば、冷却室内に冷却液を貯留し、この冷却室内で被処理物を冷却液に浸漬することで被処理物の冷却を行っている。

特開２０１４−０５１６９５号公報

ところで、被処理物の冷却速度を向上させるためには、被処理物の冷却中に、冷却室内に貯留された冷却液を循環させ、冷却液の流れを冷却室内に形成することが考えられる。この場合、特許文献１では、下方に設けられた排水配管で冷却室から冷却液を抜きつつ、被処理物の側方に配置されたノズルから冷却室に冷却液を供給することで、上記流れを形成することが考えられる。

しかしながら、被処理物を冷却することで熱せられた冷却液は、冷却室の上方に向けて流れる。このため、上述の方法では、ノズルから冷却室内に供給される冷却液と、熱せられて上方に向かう冷却液の流れとが干渉し、冷却室内での流れが乱れ、被処理物を均一に冷却することが困難である。また、ノズルから供給された冷却液が、被処理物に到達する前に熱せられてしまうことから、被処理物を効率的に冷却することが難しい。

本発明は、上述する問題点に鑑みてなされたもので、冷却室内において被処理物を冷却液に浸漬して冷却する冷却装置及び多室型熱処理装置において、効率的かつ均一に被処理物を冷却できる流れを冷却室内に形成することを目的とする。

本発明は、上記課題を解決するための手段として、以下の構成を採用する。

第１の発明は、冷却液に浸漬することにより被処理物の冷却を行う冷却装置であって、上記被処理物を収容すると共に内部に上記冷却液を貯留可能な冷却室と、上記被処理物よりも下方から上記冷却室に上記冷却液を供給する供給ノズルと、上記被処理物よりも上方から上記冷却室に貯留された上記冷却液を回収する回収配管と、上記回収配管によって回収した上記冷却液を上記供給ノズルに圧送するポンプとを備えるという構成を採用する。

第２の発明は、上記第１の発明において、上記供給ノズルが、上端が上記冷却液を噴出する開口端とされると共に側方に貫通する貫通孔を有する筒体からなるという構成を採用する。

第３の発明は、上記第１または第２の発明において、上記回収配管で回収した上記冷却液を冷却する熱交換器を備えるという構成を採用する。

第４の発明は、多室型熱処理装置であって、被処理物を加熱する加熱装置と、上記第１〜第３いずれかの発明である冷却装置とを備えることを特徴とする多室型熱処理装置。

本発明によれば、冷却室において、供給ノズルによって被処理物の下方から冷却液が供給され、この供給された冷却液が回収配管によって被処理物の上方から回収され、回収された冷却液がポンプによって供給ノズルに圧送される。このため、本発明によれば、供給ノズル、回収配管及びポンプによって、冷却室内に下方から上方に向かう流れが形成される。このような流れは、被処理物を冷却することで熱せられた冷却液と同一方向に向かうことから、冷却室内での流れの乱れを抑制することができる。したがって、本発明によれば、被処理物を均一に冷却することができる。また、供給ノズルから供給された冷却液が、被処理物に到達する前に熱せられることを防止し、被処理物を効率的に冷却することができる。よって、本発明によれば、冷却室内において被処理物を冷却液に浸漬して冷却する冷却装置及び多室型熱処理装置において、効率的かつ均一に被処理物を冷却できる流れを冷却室内に形成することが可能となる。

本発明の一実施形態に係る冷却装置及び多室型熱処理装置の全体構成を示す第１の縦断面図である。 本発明の一実施形態に係る冷却装置の全体構成を示す縦断面図である。 （ａ）が図２におけるＡ−Ａ線矢視図であり、（ｂ）が本発明の一実施形態に係る冷却装置の備える供給ノズルの斜視図である。 （ａ）が浸漬冷却の様子を示す説明図であり、（ｂ）がミスト冷却の様子を示す説明図である。

以下、図面を参照して、本発明に係る冷却装置及び多室型熱処理装置の一実施形態について説明する。なお、以下の図面において、各部材を認識可能な大きさとするために、各部材の縮尺を適宜変更している。

本実施形態の冷却装置を備える多室型熱処理装置は、図１に示すように、冷却装置Ｒ、中間搬送装置Ｈ及び２つの加熱装置（加熱装置Ｋ１及び加熱装置Ｋ２）を合体させた装置である。なお、加熱装置の数は、３つとすることも可能である。

冷却装置Ｒは、被処理物Ｘを冷却処理する装置であり、図１に示すように、冷却室１、複数の冷却ノズル２、複数のミストヘッダー３、冷却ポンプ４（ポンプ）、冷却排水管５、冷却水槽６、冷却循環管７（回収配管）、複数の供給ノズル８及び排水弁９等々を備えている。

冷却室１は、被処理物Ｘを収容する縦型円筒形の容器（中心軸線が鉛直方向となる容器）であり、内部空間が冷却領域ＲＳである。この冷却室１の上部は中間搬送装置Ｈに接続されており、冷却室１には冷却領域ＲＳを中間搬送装置Ｈの内部空間（搬送領域ＨＳ）に連通させる開口が形成されている。冷却領域ＲＳには、この開口を介して被処理物Ｘが搬入あるいは搬出される。この冷却室１には冷却液が貯留可能とされている。

複数の冷却ノズル２は、図１〜図３に示されているように、冷却領域ＲＳ内に収容された被処理物Ｘの周囲に離散配置されている。より具体的には、複数の冷却ノズル２は、被処理物Ｘの周囲において、鉛直方向に多段（具体的には５段）かつ冷却室１（冷却領域ＲＳ）の周方向に一定間隔を隔てた状態で、被処理物Ｘを全体として取り囲むように、かつ、被処理物Ｘとの距離が極力等距離となるように離散配置されている。

また、複数の冷却ノズル２は、所定数にグループ分けされている。すなわち、複数の冷却ノズル２は、冷却領域ＲＳの鉛直方向における段毎にグループ化され、また冷却室１（冷却領域ＲＳ）の周方向においても複数にグループ分けされている。このような複数のグループ（ノズルグループ）には、ミストヘッダー３が個別に設けられている。

ここで、冷却ノズル２から噴出される冷却液は、熱処理の冷却用に一般的に用いられる冷却油よりも粘性が低い液体であり、例えば水である。上記冷却ノズル２の噴射孔は、水等の冷却液が所定の噴霧角で均一かつ一定粒径の液滴となるように形状設定されている。また、各冷却ノズル２の噴霧角及び互いに隣り合う冷却ノズル２の間隔は、図１〜図５に示されているように、冷却ノズル２から噴き出た液滴のうち、外周側に位置する液滴が隣接する冷却ノズル２から噴き出た外周側の液滴と交差あるいは衝突するように設定されている。

すなわち、このような複数の冷却ノズル２は、被処理物Ｘを冷却液の液滴の集合体つまり冷却液のミスト（冷却液ミスト）で全体的に包囲するように冷却液を被処理物Ｘに向けて噴霧するものである。

本実施形態の冷却装置Ｒは、このような冷却液ミストを用いて被処理物Ｘを冷却するミスト冷却と、被処理物Ｘを冷却液に浸漬させる冷却（浸漬冷却）とが可能なものである。浸漬冷却では、複数の供給ノズル８から供給された冷却液によって冷却室１内の被処理物Ｘを浸漬状態にして冷却する。なお、この冷却装置Ｒにおける冷却温度や冷却時間等の冷却条件は、被処理物Ｘにおける熱処理の目的や被処理物Ｘの材質等に応じて適宜設定される。

冷却ポンプ４は、冷却水槽６に溜った冷却液をミストヘッダー３あるいは供給ノズル８に圧送するものである。ここで、ミストヘッダー３の上流には開閉バルブ３１が設けられ、供給ノズル８の上流には開閉バルブ３２が設けられている。ミスト冷却を行う場合には、開閉バルブ３１が開放されると共に開閉バルブ３２が閉じられ、冷却ポンプ４からミストヘッダー３に設けられた冷却ノズル２に対して冷却液が供給される。一方、浸漬冷却を行う場合には、開閉バルブ３１が閉じられると共に開閉バルブ３２が開放され、冷却ポンプ４から供給ノズル８に対して冷却液が供給される。なお、この冷却ポンプ４については、冷却液の吐出圧の時間変動が極力少ないものが選定される。また、冷却ポンプ４の下流には、熱交換器３０が設けられている。この熱交換器３０は、冷却ポンプ４から吐出された冷却液を冷却媒体との熱交換により冷却するものである。この熱交換器３０によって冷却液が冷却されることによって、冷却室１から回収された冷却液が冷却された後に、再び冷却ノズル２あるいは供給ノズル８から冷却室１に供給されることとなる。

冷却排水管５は、冷却室１の下部と冷却水槽６とを連通させる配管であり、途中部位に排水弁９が設けられている。冷却水槽６は、上記冷却排水管５あるいは冷却循環管７を介して冷却室１から排水された冷却液を貯留する液体容器である。冷却循環管７は、図２に示すように、冷却室１の上部と冷却水槽６の上部とを連通させる配管である。この冷却循環管７は、上述した浸漬冷却時において冷却室１からオーバーフローした冷却液を冷却水槽６に戻すためのものである。すなわち、冷却循環管７は、冷却室１に収容される被処理物Ｘよりも上方から冷却室１に貯留された冷却液を回収する。

図３（ａ）は、図２のＡ−Ａ線矢視図である。この図に示すように、複数の供給ノズル８は、冷却室１の下部に離散配置されており、浸漬冷却時において冷却液を上方に向けて噴射することにより冷却室１内に冷却液を供給する。このような複数の供給ノズル８は、冷却室１に収容される被処理物Ｘよりも下方から上方に向けて冷却室１に冷却液を供給する。

図３（ｂ）は、供給ノズル８の斜視図である。供給ノズル８は、この図に示すように、上端が冷却液を噴出する開口端８ａとされると共に側方に貫通する貫通孔８ｂを有する筒体からなる。このような供給ノズル８は、下端から供給された冷却液を上端の開口端８ａから噴出するときに、貫通孔８ｂから周囲の冷却液を取り込み、下端から供給された冷却液の数倍の流量で開口端８ａから冷却液を噴出する。

図１に戻り、中間搬送装置Ｈは、搬送室１０、搬送室載置台１１、冷却室昇降台１２、冷却室昇降シリンダー１３、一対の搬送レール１４、一対のプッシャーシリンダー（プッシャーシリンダー１５及びプッシャーシリンダー１６）、加熱室昇降台１７及び加熱室昇降シリンダー１８等々を備えている。搬送室１０は、冷却装置Ｒと加熱装置Ｋ１及び加熱装置Ｋ２との間に設けられた容器であり、内部空間が搬送領域ＨＳである。被処理物Ｘは、バスケット等の容器内に収容された状態で、外部の搬送装置によって搬入あるいは搬出口（図示略）から搬送室１０内に搬入される。

搬送室載置台１１は、冷却装置Ｒで被処理物Ｘを冷却する際に冷却室１と搬送室１０との受渡口を塞ぐ支持台であり、他の被処理物Ｘを載置可能とされている。冷却室昇降台１２は、冷却装置Ｒで被処理物Ｘを冷却する際に被処理物Ｘを載せる支持台であり、被処理物Ｘの底部が極力広く露出するように被処理物Ｘを支持する。この冷却室昇降台１２は、供給ノズル８に合わせて開口された複数の貫通孔１２ａ（図３（ａ）参照）を有しており、冷却室昇降シリンダー１３の可動ロッドの先端に固定されている。

冷却室昇降シリンダー１３は、上記冷却室昇降台１２を上下動（昇降）させるアクチュエータである。すなわち、冷却室昇降シリンダー１３及び上記冷却室昇降台１２は、冷却装置Ｒの専用搬送装置であり、冷却室昇降台１２上に載置された被処理物Ｘを搬送領域ＨＳから冷却領域ＲＳに搬送すると共に冷却領域ＲＳから搬送領域ＨＳに搬送する。

一対の搬送レール１４は、搬送室１０内の床部に水平方向に延在するように敷設されている。これら搬送レール１４は、冷却装置Ｒと加熱装置Ｋ１との間で被処理物Ｘを搬送させる際のガイド部材である。プッシャーシリンダー１５は、搬送室１０内の被処理物Ｘを加熱装置Ｋ１に向けて搬送する際に、被処理物Ｘを押圧するアクチュエータである。プッシャーシリンダー１６は、被処理物Ｘを加熱装置Ｋ１から冷却装置Ｒに搬送する際に、被処理物Ｘを押圧するアクチュエータである。

すなわち、一対の搬送レール１４、プッシャーシリンダー１５及びプッシャーシリンダー１６は、被処理物Ｘを加熱装置Ｋ１と冷却装置Ｒとの間に搬送する専用搬送装置である。なお、図１には一対の搬送レール１４、プッシャーシリンダー１５及びプッシャーシリンダー１６が示されているが、実際の中間搬送装置Ｈは、合計二対の搬送レール１４、プッシャーシリンダー１５及びプッシャーシリンダー１６を備えている。すなわち、搬送レール１４、プッシャーシリンダー１５及びプッシャーシリンダー１６は、加熱装置Ｋ１用だけではなく、加熱装置Ｋ２用にも設けられている。なお、３つ目の加熱装置を設ける場合には、合計二対の搬送レール１４、プッシャーシリンダー１５及びプッシャーシリンダー１６が設けられる。

加熱室昇降台１７は、被処理物Ｘを中間搬送装置Ｈから加熱装置Ｋ１に搬送する際に被処理物Ｘが載置される支持台である。すなわち、被処理物Ｘは、上記プッシャーシリンダー１５によって図１の右方向に押圧されることにより、加熱室昇降台１７の直上に搬送される。加熱室昇降シリンダー１８は、上記加熱室昇降台１７上の被処理物Ｘを上下動（昇降）させるアクチュエータである。すなわち、加熱室昇降台１７及び加熱室昇降シリンダー１８は、加熱装置Ｋ１の専用搬送装置であり、加熱室昇降台１７上に載置された被処理物Ｘを搬送領域ＨＳから加熱装置Ｋ１の内部（加熱領域ＫＳ）に搬送すると共に加熱領域ＫＳから搬送領域ＨＳに搬送する。

加熱装置Ｋ１及び加熱装置Ｋ２については基本的に同一構成を有するので、以下では代表して加熱装置Ｋ１の構成を説明する。加熱装置Ｋ１は、加熱室２０、断熱容器２１、複数の加熱ヒータ２２、真空排気管２３、真空ポンプ２４、攪拌翼２５及び攪拌モータ２６等々を備えている。

加熱室２０は、搬送室１０上に設けられた容器であり、内部空間が加熱領域ＫＳである。この加熱室２０は、上述した冷却室１と同様に縦型円筒形の容器（中心軸線が鉛直方向となる容器）であるが、冷却室１よりも小型に形成されている。断熱容器２１は、上記加熱室２０内に設けられた縦型円筒形の容器であり、所定の断熱性能を有する断熱材から形成されている。

複数の加熱ヒータ２２は、棒状の発熱体であり、垂直姿勢で断熱容器２１の内側かつ周方向に所定間隔で設けられている。これら複数の加熱ヒータ２２は、加熱領域ＫＳ内に収容された被処理物Ｘを所望温度（加熱温度）まで加熱する。なお、この加熱温度や加熱時間等の加熱条件は、被処理物Ｘに関する熱処理の目的や被処理物Ｘの材質等に応じて適宜設定される。

ここで、上記加熱条件には加熱領域ＫＳ（加熱室２０）内の真空度（圧力）が含まれる。真空排気管２３は、加熱領域ＫＳに連通する配管であり、一端が断熱容器２１の上部に接続され、他端が真空ポンプ２４に接続されている。真空ポンプ２４は、このような真空排気管２３を介して加熱領域ＫＳ内の空気を吸引する排気ポンプである。加熱領域ＫＳ内の真空度は、真空ポンプ２４による空気の排気量によって決定される。

攪拌翼２５は、断熱容器２１内の上部に、回転軸の方向が鉛直方向（上下方向）となる姿勢で設けられた回転翼である。この攪拌翼２５は、攪拌モータ２６によって駆動されることによって、加熱領域ＫＳ内の空気を攪拌する。攪拌モータ２６は、出力軸が鉛直方向（上下方向）となるように加熱室２０上に設けられた回転駆動源である。加熱室２０上に位置する攪拌モータ２６の出力軸は、加熱室２０内に位置する攪拌翼２５の回転軸に対して、加熱室２０の気密性（シール性）を損なわないように軸結合している。

なお、本実施形態に係る多室型熱処理装置は、不図示の制御盤（制御装置）を備えている。この制御盤は、ユーザが熱処理における各種条件を設定入力する操作部と、内部に予め記憶された制御プログラムに基づいて上記冷却ポンプ４、加熱ヒータ２２、各種シリンダー、真空ポンプ２４等の各駆動部を制御することにより、被処理物Ｘに対して上記設定情報に従った熱処理を実行させる制御部と、を備えている。

次に、このように構成された多室型熱処理装置の動作、特に冷却装置Ｒの動作について詳しく説明する。この多室型熱処理装置の動作は、上記制御盤が設定情報に基づいて主体的に実行するものである。なお、周知のように熱処理には目的に応じて種々のものがある。以下では、熱処理の一例として被処理物Ｘを焼入れする場合の動作について説明する。

焼入れは、例えば被処理物Ｘを温度Ｔ１に加熱した後に温度Ｔ２まで急速冷却し、当該温度Ｔ２で一定時間保持した後に緩やかに冷却することにより完了する。外部の搬送装置によって搬入あるいは搬出口から中間搬送装置Ｈ内に収容された被処理物Ｘは、例えばプッシャーシリンダー１５が作動することによって加熱室昇降台１７上に搬送され、さらに加熱室昇降シリンダー１８が作動することによって加熱領域ＫＳ内に収容される。

そして、被処理物Ｘは、加熱ヒータ２２が一定時間通電されることによって温度Ｔ１に加熱されると、加熱室昇降シリンダー１８、が作動することによってプッシャーシリンダー１６が作動することによって冷却室昇降台１２上に搬送され、さらに冷却室昇降シリンダー１３が作動することによって冷却領域ＲＳに搬送される。

ここで、浸漬冷却を行う場合には、図４（ａ）に示すように、供給ノズル８の上流に位置する開閉バルブ３２が開放されると共にミストヘッダー３の開閉バルブ３１が閉じられ、さらに排水弁９も閉じられる。そして、冷却ポンプ４が予め作動して複数の供給ノズル８から冷却液が供給されることにより、冷却領域ＲＳ内は冷却液Ｗで満たされた状態となる。被処理物Ｘが浸漬されている状態においても、供給ノズル８から連続的に冷却液Ｗを冷却室１の内部に供給する。そして、被処理物Ｘを冷却して上昇し、オーバーフローする冷却液Ｗを冷却循環管７で回収して冷却水槽６に貯留する。また、冷却水槽６で貯留された冷却液Ｗは、冷却ポンプ４によって再び供給ノズル８から冷却室１内に供給される。このとき、冷却液Ｗは熱交換器３０によって冷却される。

一方、ミスト冷却を行う場合には、図４（ｂ）に示すように、供給ノズル８の上流に位置する開閉バルブ３２が閉じされると共にミストヘッダー３の開閉バルブ３１が開放され、排水弁９が開放される。そして、ミストヘッダー３を通じて冷却ノズル２から被処理物Ｘに向けて冷却液Ｗが噴霧される。これによって、被処理物Ｘは、冷却ノズル２から噴射される冷却液Ｗの液滴によってミスト冷却される。また、冷却室１の底部に落下した冷却液Ｗは冷却排水管５を通じて冷却水槽６に貯留される。また、冷却水槽６で貯留された冷却液Ｗは、冷却ポンプ４によって再びミストヘッダー３の冷却ノズル２から冷却室１内に噴霧される。このとき、冷却液Ｗは熱交換器３０によって冷却される。

このような本実施形態の冷却装置Ｒを備える多室型熱処理装置によれば、冷却室１において、供給ノズル８によって被処理物Ｘの下方から冷却液Ｗが供給され、この供給された冷却液Ｗが冷却循環管７によって被処理物Ｘの上方から回収され、回収された冷却液Ｗが冷却ポンプ４によって供給ノズル８に圧送される。このため、本実施形態の冷却装置Ｒを備える多室型熱処理装置によれば、供給ノズル８、冷却循環管７及び冷却ポンプ４によって、冷却室１内に下方から上方に向かう流れが形成される。このような流れは、被処理物Ｘを冷却することで熱せられた冷却液Ｗと同一方向に向かうことから、冷却室１内で流れの乱れが生じるのを抑制することができる。したがって、本実施形態の冷却装置Ｒを備える多室型熱処理装置によれば、被処理物Ｘを均一に冷却することができる。また、供給ノズル８から供給された冷却液Ｗが、被処理物Ｘに到達する前に熱せられることを防止し、被処理物Ｘを効率的に冷却することができる。よって、本実施形態の冷却装置Ｒを備える多室型熱処理装置によれば、効率的かつ均一に被処理物Ｘを冷却できる流れを冷却室１内に形成することが可能となる。

また、本実施形態の冷却装置Ｒを備える多室型熱処理装置においては、供給ノズル８が、上端が冷却液Ｗを噴出する開口端８ａとされると共に側方に貫通する貫通孔８ｂを有する筒体からなっている。このため、供給ノズル８が貫通孔８ｂから周囲の冷却液を取り込み、下端から供給される冷却液Ｗの数倍の流量で開口端８ａから冷却液を噴出することができる。したがって、冷却室１における流速を増加させ、より効率的な冷却を行うことが可能となる。

また、本実施形態の冷却装置Ｒを備える多室型熱処理装置においては、冷却循環管７で回収した冷却液Ｗを冷却する熱交換器３０を備える。このため、冷却液Ｗを単に循環させる場合と比較して、より短時間で被処理物Ｘの冷却を行うことが可能となる。

以上、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではない。上述した実施形態において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の趣旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。

例えば、上記実施形態では、冷却装置Ｒ、中間搬送装置Ｈ及び２つの加熱装置を備える多室型熱処理装置について説明したが、本発明はこれに限定されない。本発明は、例えば冷却装置Ｒと単一の加熱室とが開閉扉を介して隣り合うタイプの多室型熱処理装置にも適用可能である。

また、上記実施形態の冷却装置Ｒは、被処理物Ｘを上方から冷却領域ＲＳ内に収容するものであるが、本発明はこれに限定されない。本発明は、被処理物Ｘを側方（水平方向）あるいは下方から冷却領域ＲＳ内に収容するものにも適用可能である。

また、上記実施形態の冷却装置Ｒは、ミスト冷却が可能なものであるとして説明した。しかしながら、本発明はこれに限定されるものではなく、ミスト冷却を行わない冷却装置に適用することも可能である。

１……冷却室、２……冷却ノズル、３……ミストヘッダー、４……冷却ポンプ（ポンプ）、５……冷却排水管、６……冷却水槽、７……冷却循環管（回収配管）、８……供給ノズル、８ａ……開口端、８ｂ……貫通孔、９……排水弁、１０……搬送室、１１……搬送室載置台、１２……冷却室昇降台、１２ａ……貫通孔、１３……冷却室昇降シリンダー、１４……搬送レール、１５……プッシャーシリンダー、１６……プッシャーシリンダー、１７……加熱室昇降台、１８……加熱室昇降シリンダー、２０……加熱室、２１……断熱容器、２２……加熱ヒータ、２３……真空排気管、２４……真空ポンプ、２５……攪拌翼、２６……攪拌モータ、３０……熱交換器、３１……開閉バルブ、３２……開閉バルブ、Ｈ……中間搬送装置、ＨＳ……搬送領域、Ｋ１……加熱装置、Ｋ２……加熱装置、ＫＳ……加熱領域、Ｒ……冷却装置、ＲＳ……冷却領域、Ｗ……冷却液、Ｘ……被処理物

Claims (4)

1. 冷却液に浸漬することにより被処理物の冷却を行う冷却装置であって、
   前記被処理物を収容すると共に内部に前記冷却液を貯留可能な冷却室と、
   前記被処理物よりも下方から前記冷却室に前記冷却液を供給する供給ノズルと、
   前記被処理物よりも上方から前記冷却室に貯留された前記冷却液を回収する回収配管と、
   前記回収配管によって回収した前記冷却液を前記供給ノズルに圧送するポンプと
   を備えることを特徴とする冷却装置。
2. 前記供給ノズルは、上端が前記冷却液を噴出する開口端とされると共に側方に貫通する貫通孔を有する筒体からなることを特徴とする請求項１記載の冷却装置。
3. 前記回収配管で回収した前記冷却液を冷却する熱交換器を備えることを特徴とする請求項１または２記載の冷却装置。
4. 被処理物を加熱する加熱装置と、
   請求項１〜３いずれか一項に記載の冷却装置と
   を備えることを特徴とする多室型熱処理装置。

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