JP2016020883A - 構造物や設備の状態監視・診断に用いる自己診断機能付き診断装置システムおよび自己診断方法。 - Google Patents

構造物や設備の状態監視・診断に用いる自己診断機能付き診断装置システムおよび自己診断方法。 Download PDF

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Abstract

【課題】大型構造物や設備の状態監視・診断を行うときに用いられる数多くのセンサに安定的な電力(電源)を適時に提供し、また、誤診断を防ぐために電源系統とセンサの異常を検知する有効な自己診断方法および診断装置システムを提供する。
【解決手段】本発明の診断装置システムにおいては、大型構造物(橋梁、トンネル、建物など)や設備(配管、タンク、港湾機械など)の状態監視・診断を行う場合、物理的な信号を計測する計測部分に必要な電源として光電池を用い、電力不足と判定したとき、投光器を用いて光電池に光を照射することにより計測部分に十分な電力を提供する。また、センサの異常の有無を検査するために、負荷発生素子を用いてセンサの動作を診断し、異常がないと判定した後、状態監視・診断のための信号を用いて状態診断器により対象物の状態監視・診断を行い、電池交換やセンサ・システム検査に伴うメンテナンス作業を最小限にすることができ、長期間にわたって診断装置システムの信頼性を向上することが可能となる。
【選択図】図2

Description

本発明は設備や施設などの状態監視・診断の分野において、人間が容易に届かない高所や人間にとって危険な場所などにおける診断信号を計測し、対象設備や施設の状態を効率良く監視・診断することに関するものである。
従来は設備や施設(特に大型設備・構造物)の状態監視・診断を行う場合、物理量(振動や歪など)を計測すべき箇所が多く、数多くのセンサと配線(電源・信号線)が必要であるが、ワイヤレス(無線)センサ・システムによる計測システムも多く提案されている。しかし、数多くのセンサやアンプなどにどのような手法で電源を長期間かつ確実に供給するかは大きな課題になっている。また、長期間設置されているセンサ自体に不備や故障が発生する可能性もある。たとえば、センサを固定する部分の緩み、センサを接着する接着剤の劣化、センサ自身の劣化による故障などの不具合が生じる。これらの不具合を検知しなければ、測定した信号は不備になり、誤診断をもたらすことになる。
例えば、特許文献1には、振動発電素子と、振動センサと、無線発信手段を備えた振動センサシステムが開示されている。特許文献1のセンサシステムは、測定対象物の振動エネルギーを電力に変え、その振動をセンサで検知し、振動データを無線送信するものである。また例えば、特許文献2には、圧力変動を検知するセンサを支持基板上に載置し、その上部に電子部品素子とアンテナパターンを設けたセンサモジュールが開示されている。特許文献2のセンサモジュールによれば、圧力センサモジュールの検知信号を小さい伝送損失でアンテナから送信するものである。特許文献3は機械エネルギーを交流電力に変換する発電素子と、交流電力を直流電力に変換する変換回路とを含めて構成するもので、発電素子は、振動エネルギーを交流電力に変換する振動発電素子を用いるものである。特許文献3は構造物の振動を利用して発電し、蓄積した電気エネルギーをセンサ等に利用する。特許文献5,6は無線センサー群によるデータ収集法に関するものである。
特開2008−292319号公報 特開2005−208055号公報 特開2013−122718号公報 特許第3984185号 特許第5145501号 特許公開2008−255570
しかしながら、特許文献1〜4に開示されたセンサ・システムは共に、対象物の振動という機械的なエネルギーを利用して発電し、センサ・システムに提供する方法であるが、振動レベルの小さい箇所においては発電に必要な機械的なエネルギーがセンサの電力供給に十分でない。また、一般に構造物や設備の振動レベルが変動するから、振動による発電で得られた電力は安定でない。電力を蓄積する装置も提案されているが、コストの増加や電力を蓄積する装置の劣化・故障も問題になる。特許文献5,6には多くの無線センサで構成される計測システムにどのように安定的な電力を提供するかを示されていない。
また、特許文献1〜6の無線センサに異常が発生した場合、簡便に確認できる手段が示されていない。もし、センサに異常(センサを固定する部分の緩み、接続線の不良、センサを接着する接着剤の劣化、センサ自身の劣化、アンプの故障など)が発生すれば、測定した信号は不備であり、誤った診断結果をもたらすことになる。
さらに、光電池を利用する場合、自然光が弱い箇所(トンネルの内部や橋梁の下など)や夜間において光電池の発電力が不足になる難点もある。
センサの自己診断に関しては、文献7にはオフラインで負荷発生器を用い、加速度センサに直接負荷を加え、センサが正常に反応するかどうか診断する発明が開示されている。文献8にはオフラインで、加速度センサが発生すると同じ疑似信号を回路に入力し、正常に作動するかどうか診断する発明が開示されている。文献9には、加速度センサからのデータをデータベース化し、基本周波数からのズレ度合から加速度センサの異常を判断する発明が開示されている。文献10にはオフラインで、圧電素子が発する超音波発をAEセンサに受信させ、この受信レベルに対応させて出力するAEセンサの出力レベルから異常を診断する発明が開示されている。
これら先行技術は文献9を除き何れもオフラインでの診断であり、本願発明が対象とする橋梁やトンネルなど、オフライン化の困難な対象物の診断には適用困難である。また、文献9の診断方法はデータの真偽をチェックするのみで、これだけでセンサ異常を診断することはできない。
実開平7−8776 特開2010−160112 特開2009−251822 特開平7−55651
本発明のセンサ検査方法では、センサの近傍または外部または内部に配置・実装される負荷発生素子を用いて、検査対象のセンサが検知できる負荷(振動など)を発生することによりセンサに異常があるか否かを診断現場のオンラインで検査するものであり、文献7〜10の方法とは異なる。
大型構造物や設備の状態監視・診断を行うときに用いられる数多くのセンサ・システムに安定的な電力(電源)を適時に提供し、また、誤診断を防ぐために電源系統とセンサの異常を検知する有効な方法を提供する。
上記に述べたような課題を解決するために、本発明では、大型構造物や設備の状態監視のための計測部分(1)に必要な電源として光電池(2)を用い、投光器(6)を用いて光電池(2)に光を照射することにより計測部分(1)に十分な電力を提供する。また、センサ(アンプや接続線を含む)(5)の異常の有無を検査するために、負荷発生素子(3,4)、無線受・発信器(7、10)、信号取集器(11)および状態診断器(13)を用いてセンサ(アンプや接続線を含む)(5)の動作を診断し、異常がないと判定した後、状態監視・診断のための信号を無線受・発信器(7、10)と信号取集器(11)を用いて計測・収集して、状態診断器(13)により状態診断を行う。
本発明によれば、大型構造物(橋梁、トンネル、建物など)や設備(配管、タンク、港湾機械など)の状態監視・診断する場合、診断信号(振動信号や歪信号など)を測定するために用いられる数多くの無線式センサに安定的な電力(電源)を適時に提供し、センサ(アンプや接続線を含む)に異常が発生したときに、その異常を検知することにより誤診断を防ぎ、電池交換やセンサ・システム検査に伴うメンテナンス作業を最小限にでき、長期間にわたって状態監視・診断装置システムの信頼性を向上することが可能となる。
本発明の無線式診断装置システムの構成要素である。 本発明における投光発電手段とセンサ検査手段を有する実施形態の流れである。 本発明における投光発電手段を有する実施形態の流れである。 本発明におけるセンサ検査手段を有する実施形態の流れである。 本発明の無線式診断装置システムの構成例(振動加速度センサおよび複数光電池を使用する例)である。 本発明の無線式診断装置システムの構成例(振動加速度センサおよび単一光電池を使用する例)である。 センサと負荷発生素子との位置関係を示すグラフである。 光電池に投光機の光を照射する前後の光電池の電圧例を示すグラフである。 振動信号による振動センサ(加速度センサ)を検査する例を示すグラフである。 振動信号によるAEセンサを検査する例を示すグラフである。
図1には本発明の診断装置システムの構成要素を示す。構成要素には大きく分けて計測部分(1)と診断部分(9)からなる。
計測部分(1)には、以下の要素が含まれるが、本発明が以下の構成要素によって限定されることはない。
(2)光電池
計測部分の各構成要素に必要な電力を供給するための光電池であり、必要な時に蓄電池を設けることもできる。
(3)負荷発生素子
センサに異常があるか否かを検査・確認するものである。すなわち、センサ(5)が負荷発生素子の負荷信号を検知でき、負荷発生素子の負荷信号を用いて、センサに異常があるか否かを検査・確認する。
(4)予備負荷発生素子
負荷発生素子の予備として用いられるものである。動作負荷発生素子が故障したとき、または負荷発生素子の負荷信号が検知できないときに、予備負荷発生素子を動作させ、負荷発生素子の負荷信号の検知を再び試みることにより、センサなどを含めた計測部分に異常があるか否かを検査・確認する。なお、予備負荷発生素子を複数設けることもできる。
(5)センサ(アンプや接続線を含む)
対象物の状態監視・診断のために、物理量の計測に用いられるものである。計測すべき物理量は診断対象によって異なるが、たとえば、振動加速度・速度・変位、歪み、温度、AEなどがある。
(6)投光器
光電池(2)へ照射することにより計測部に提供する十分な電力を発生させるものである。投光器(6)は特定方向に強い光が出るような照明器具(たとえば、探照灯,サーチライト、フラッドライト,スポットライトなど)である。
(7)無線受・発信部(計測部分)
診断部分からの指令(負荷発生素子の動作開始やセンサの計測開始など)を無線で受信し、計測部分の信号(計測信号や電圧信号)を診断部分へ送信するものである。
(8)無線中継器
計測部分と診断部分が遠く離れている場合、無線信号を確実に受送信するために、無線信号を中継するものである。なお、計測部分と診断部分との距離が比較的近く、無線信号を確実に受送信できる場合は無線中継器を省くこともできる。
診断部分(9)には、以下の要素が含まれる。
(10)無線受・発信部(診断部分)
計測部分に指令(負荷発生素子の動作開始やセンサの計測開始など)を送信し、計測部分からの信号(計測信号や電圧信号)を受信するものである。
(11)信号採集器
計測部分からの信号(計測信号や電圧信号)を採集・保存するものである。
(12)制御器
対象物の状態監視・診断のために、計測部分と診断部分の動作を制御するものである。
(13)状態診断器
計測部分からの信号(計測信号や電圧信号)に基づき、計測部分に異常があるか否かを診断し、対象物の状態を監視・診断するものである。
図2に示すように、本実施形態の流れは以下の通りである。
(a)光電池の電圧信号を測定し、無線受・発信部(計測部分)により診断部分へ送信する。
(b)無線受・発信部(診断部分)が受信する。
(c)信号採集器で電圧信号を収集した後、状態診断器により光電池の電圧値が基準値(計測部分に十分な電力を提供できる電圧値)範囲内であるか否かを検査・診断する。
(d)光電池の電圧値が基準値(計測部分に十分な電力を提供できる基準値)範囲内でなければ、投光器による光電池へ照射する。
(e)照射時間が規定時間(光電池の電力が十分なレベルになる照射時間)以上でなければ、(a)へ戻る。
(f)光電池の電圧値が基準値範囲内でなく、しかも照射時間が規定時間(光電池の電力が十分なレベルになる照射時間)以上であれば、光電池系統に異常が生じた可能性があるから、光電池の修理や交換などの対策措置をとる。
(g)光電池の電圧値が基準値範囲内であれば、負荷発生素子を動作させ、負荷を発生させる。
(h)センサによる負荷発生素子の負荷を検知・計測し、負荷信号を無線受・発信部(計測部分)により診断部分へ送信する。
(i)状態診断器が信号収集器で取集した前記の負荷信号の検査を行い、センサの動作を確認する。
(j)センサ・システムに異常があるか否かを判定する。
(k)センサ・システムに異常がないと判定されれば、センサで計測した状態監視・診断用の信号を無線受・発信部(診断部分)で受信し、信号採集器で計測信号を採集する。
(l)状態診断器が信号収集器で取集した前記の計測信号に基づき、対象物の状態を診断する。また、診断の結果に基づき、必要な対策措置をとる。
(m)センサ・システムに異常があると判定されれば、予備負荷発生素子を動作させる。
(n)センサによる予備負荷発生素子の負荷信号を検知・計測し、負荷信号を無線受・発信部(計測部分)により診断部分へ送信する。
(o)状態診断器が信号収集器で取集した前記の負荷信号の検査を行い、センサの動作を確認する。
(p)センサ・システムに異常があるか否かを判定する。
(q)センサ・システムに異常があると判定されれば、計測部分に異常発生の可能性があり、修復などの対策措置をとる。
(r)センサ・システムに異常がないと判定されれば、負荷発生素子に異常発生の可能性があり、修復などの対策措置をとる。また、センサ・システムに異常がないため、(k)へ進める。
図3は、本実施形態において、投光発電手段を有するが、センサ検査手段を有しない場合の流れを示す。この場合は、図3に示すように、計測や処理の流れは図2に示した(a),(b),(c),(d),(e),(f),(k),(l)と同じである。
図4は、本実施形態において、センサ検査手段を有するが、投光発電手段を有しない場合の流れを示す。この場合は、図4に示すように、計測や処理の流れは図2に示した(g)(h)、(i)、(j)、(k)、(l)、(m),(n),(o),(p),(q),(r)と同じである。なお、この場合は、計測部分に対して投光発電手段を実施しなくても十分な電力が得られているとする。
前記の実施形態に従って本発明の好適な実施例について、図面を参照しながら説明する。ただし、以下に述べる実施例は本発明を適用した形態の例であって、本発明が以下の実施例によって限定されることはない。
図5は振動センサあるいはAEセンサ(図5の中に「振動センサorAEセンサ」と表記する)および複数の光電池を用いた無線式診断装置システムの構成例を示す。この例では、振動センサあるいはAEセンサを用いて、対象物の振動信号あるいはAE信号を計測することにより対象物の状態を監視・診断する例である。以下、図2に照らして、図5に示す無線式診断装置システムの動作流れを説明する。
(a)光電池(2a)の電圧信号を測定し、無線受・発信部(7a)により診断部分へ送信する。
(b)無線受・発信部(10a)が受信する。
(c)信号採集器(11a)で電圧信号を収集した後、状態診断器(13a)により光電池(2a)の電圧値が基準値(計測部分に十分な電力を提供できる電圧値)範囲内であるか否かを検査・診断する。
(d)光電池(2a)の電圧値が基準値(計測部分に十分な電力を提供できる基準値)範囲内でなければ、投光器(6a)による光電池(2a)へ照射する。
(e)照射時間が規定時間(光電池の電力が十分なレベルになる照射時間)以上でなければ、(a)へ戻る。
(f)光電池(2a)の電圧値が基準値範囲内でなく、しかも照射時間が規定時間(光電池(2a)の電力が十分なレベルになる照射時間)以上であれば、光電池(2a)系統に異常が生じた可能性があるから、光電池(2a)の修理や交換などの対策措置をとる。
(g)光電池(2a)の電圧値が基準値範囲内であれば、負荷発生素子である振動発生器(3a)を動作させる。
(h)センサ(振動センサあるいはAEセンサ)(5a)による振動発生器(3a)の振動信号あるいはAE信号(図5の中に「振動orAE信号」と表記する)を検知・計測し、振動信号あるいはAE信号を無線受・発信部(7a)により診断部分へ送信する。
(i)状態診断部(13a)が信号収集器(11a)で取集した振動信号あるいはAE信号の検査を行い、センサ(振動センサあるいはAEセンサ)(5a)の動作を確認する。
(j)センサ(振動センサあるいはAEセンサ)(5a)に異常があるか否かを判定する。
(k)センサ(振動センサあるいはAEセンサ)(5a)に異常がないと判定されれば、センサ(振動センサあるいはAEセンサ)(5a)で計測した状態監視・診断用の信号を診断部分の無線受・発信部(10a)で受信し、信号採集器(11a)で計測信号を採集する。
(l)状態診断部(13a)が信号収集器(11a)で取集した振動信号あるいはAE信号に基づき、対象物の状態を診断する。また、診断の結果に基づき、必要な対策措置をとる。
(m)センサ(振動センサあるいはAEセンサ)(5a)に異常があると判定されれば、予備負荷発生素子である予備振動発生器(4a)を動作させる。
(n)センサ(振動センサあるいはAEセンサ)(5a)による予備振動発生器(4a)の負荷信号(振動信号あるいはAE信号)を検知・計測し、負荷信号を無線受・発信部(10a)により診断部分へ送信する。
(o)状態診断部(13a)が信号収集器(11a)で取集した負荷信号によりセンサ(振動センサあるいはAEセンサ)(5a)の動作を確認する。
(p)センサ(振動センサあるいはAEセンサ)(5a)に異常があるか否かを判定する。
(q)センサ(振動センサあるいはAEセンサ)(5a)に異常があると判定されれば、修復、交換、予備センサ適用などの対策措置をとる。
(r)センサ(振動センサあるいはAEセンサ)(5a)に異常がないと判定されれば、振動発生器(3a)に異常発生の可能性があり、修復などの対策措置をとる。また、センサ(振動センサあるいはAEセンサ)(5a)に異常がないため、センサ(振動センサあるいはAEセンサ)(5a)で計測した状態監視・診断用の信号を診断部分の無線受・発信部(10a)で受信し、信号採集器(11a)で計測信号(振動信号あるいはAE信号)を採集するとともに、状態診断部(13a)が信号収集器(11a)で取集した計測信号に基づき、対象物の状態を診断する。また、診断の結果に基づき、必要な対策措置をとる。
図6は振動センサあるいはAEセンサ(図6の中に「振動センサorAEセンサ」と表記する)および単一光電池を用いた無線式診断装置システムの構成例を示す。この例では、図5と同様に対象物の状態を、振動センサあるいはAEセンサを用いて、対象物の振動信号あるいはAE信号を計測することにより監視・診断する例であるが、図5の内容との違いは単一光電池を用いるところのみである。よって、図6の無線式診断装置システムの動作流れは図5と同じであるので、動作の流れの説明を省略する。
センサ(5a)と負荷発生素子(3a)・予備負荷発生素子(4a)との位置関係を図7に示す。図7(a)は負荷発生素子(3a)と予備負荷発生素子(4a)を重ねてセンサの上に設置しているのを示す。図7(b)は負荷発生素子(3a)と予備負荷発生素子(4a)を重ねてセンサの近傍に設置しているのを示す。図7(c)は負荷発生素子(3a)と予備負荷発生素子(4a)を重ねないでセンサの近傍に設置しているのを示す。図7(d)は負荷発生素子(3a)と予備負荷発生素子(4a)をセンサの内部に実装されているのを示す。
図8には光電池に投光機の光を照射する前後の光電池の電圧例を示す。光電池の電圧は投光機の光を照射する前に0.7V程度であったが、投光機の光を照射した後、センサ(アンプを含む)に必要な電圧5Vのまで上がった。
図9には図7(a)のように負荷発生素子(振動発生器)(3a)と予備負荷発生素子(予備振動発生器)(4a)を重ねて振動センサ(加速度センサ)の上に設置している場合、加速度センサが様々な状態において、振動発生器が動作する前後に加速度センサで検知した振動信号の時系列とスペクトルの例を示す。以下これらの例について説明する。
図9(a),(b)は振動発生器が動作する前に加速度センサで計測した時系列波形とスペクトルである。このとき、センサに異常が生じているか否かは分からない。
図9(c),(d)は振動発生器が動作した後、加速度センサで計測した時系列波形とスペクトルであり、センサに異常が発生していない例である。このとき、異常が発生していない根拠は、スペクトルのグラフにおいて、150Hzの処に2mvのピーク値があることである。
図9(e),(f)は振動発生器が動作した後、加速度センサで計測した時系列波形とスペクトルであり、センサに異常が発生している例(加速度センサのマグネット台座が緩んでいる例)である。このとき、異常が発生した根拠は、この時のスペクトルが正常時のスペクトル(d)に比べて、大きく変化したことである。すなわち、120Hzの処に2mvのピーク値があることである。
図9(g),(h)は振動発生器が動作した後、加速度センサで計測した時系列波形とスペクトルであり、センサに異常が発生している例(加速度センサが測定箇所から完全に脱落した例)である。このとき、異常が発生した根拠は、この時のスペクトルが正常時のスペクトル(d)に比べて、大きく変化したことである。すなわち、137Hzの処に26.9mvのピーク値があることである。
図9(g),(h)は振動発生器が動作した後、加速度センサで計測した時系列波形とスペクトルであり、センサに異常が発生している例(加速度センサの接続線の接触不良が発生例)である。このとき、異常が発生した根拠は、この時のスペクトルが正常時のスペクトル(d)に比べて、大きく変化したことである。すなわち、このときのスペクトルは、正常時のスペクトルにある150Hzの処の2mvのピーク値が無くなっていることである。
図10には図7(a)のように負荷発生素子(振動発生器)(3a)と予備負荷発生素子(予備振動発生器)(4a)を重ねないでAEセンサの近傍に設置している場合、AEセンサが様々な状態において、振動発生器が動作する前後にAEセンサで検知したAE信号の時系列とスペクトルの例を示す。以下これらの例について説明する。
図10(a),(b)は振動発生器が動作する前にAEセンサで計測した時系列波形とスペクトルである。このとき、センサに異常が生じているか否かは分からない。
図10(c),(d)は振動発生器が動作した後、AEセンサで計測した時系列波形とスペクトルであり、センサに異常が発生していない例である。このとき、異常が発生していない根拠は、スペクトルのグラフにおいて、62kHzの処に12mvのピーク値があることである。
図10(e),(f)は振動発生器が動作した後、AEセンサで計測した時系列波形とスペクトルであり、センサに異常が発生している例(AEセンサと被測体との間に接触不良が発生した例)である。このとき、異常が発生した根拠は、この時のスペクトルが正常時のスペクトル(d)に比べて、大きく変化したことである。すなわち、69kHzの処に1.9mvの最大なピーク値があることである。
図10(g),(h)は振動発生器が動作した後、AE度センサで計測した時系列波形とスペクトルであり、センサに異常が発生している例(AEセンサの接続線の接触不良が発生例)である。このとき、異常が発生した根拠は、この時のスペクトルが正常時のスペクトル(d)に比べて、大きく変化したことである。すなわち、23kHzの処に0.15mvの最大なピーク値があることである

Claims (8)

  1. 物理量を計測するセンサを内蔵して設備や構造物などの対象物の状態監視や診断を実施し、且つ、前記センサの自己診断を行う診断装置システムであって、
    前記センサに異常があるか否かを検査・診断するための負荷発生素子が前記センサの近傍または内部に配置・実装されることを特徴とする自己診断機能付き診断装置システム。
  2. 前記診断装置システムは計測部分と診断部分から構成された無線式診断装置システムであって、
    前記計測部分においては、
    物理量を計測する前記センサと、
    前記センサに異常があるか否かを検査するための前記負荷発生素子と、
    前記センサで計測した信号を無線信号に変換する無線受・発信部と、
    前記計測部分に電力を供給するための光電池と、
    前記光電池に電力を発生させるための投光器と、
    を備え、
    前記診断部分においては、
    前記計測部分に無線で指令を送信し、前記計測部分からの信号を受信する無線受・発信部と、
    前記計測部分からの信号に基づき、前記計測部分に提供すべき電力が十分であるか否か、および前記センサに異常があるか否かを診断し、対象物の状態を監視・診断する診断部と、
    を備えることを特徴とする構造物や設備などの対象物の状態監視・診断を行うための無線式診断装置システム。
  3. 下記a)および下記b)から選択される少なくとも一つの手段を有することを特徴とする請求項2に記載の無線式診断装置システム。
    a)前記投光器を一つ以上用いて前記光電池に光を照射することにより前記計測部分に十分な電力を発生・供給する投光発電手段;
    b)前記負荷発生素子を用いて前記センサに異常があるか否かを診断するセンサ検査手段。
  4. 請求項2に記載の無線式診断装置システムにおいて、
    下記A)および下記B)から選択される少なくとも一つの工程と、
    対象物の状態監視・診断を行う工程と、
    を有することを特徴とする構造物や設備の状態監視・診断方法。
    A)前記投光器による前記光電池へ照射して十分な電力を得るための投光発電工程;
    B)前記負荷発生素子により前記センサに異常があるか否かを検査するためのセンサ検査工程。
  5. 請求項3に記載の投光発電手段において、
    前記計測部分に電力を提供する前記光電池の発電量を検査・診断し、前記投光器を用いて、前記光電池に光を照射することにより十分な電力を発生させる電力補強方法。
  6. 請求項3に記載のセンサ検査手段において、
    前記センサの近傍または内部に少なくとも一つ配置・実装された前記負荷発生素子を用いて前記センサが検知できる負荷を発生し、前記センサで計測した前記負荷の信号を用いて前記センサに異常があるか否かを検査・診断するセンサ検査方法。
  7. 前記センサと、前記負荷発生素子とがモジュール化されて実装されることを特徴とする請求項1に記載の自己診断機能付き診断装置システム。
  8. 前記センサが振動センサまたはAEセンサであって、前記負荷発生素子が振動センサまたはAEセンサを検査するための振動発生器であることを特徴とする請求項1または、請求項2の何れか1項に記載の自己診断機能付き診断装置システム。
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