JP2016017822A - 赤外線センサー - Google Patents
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Abstract
【課題】赤外線センサーに入射する赤外線の光量を高めること。【解決手段】一側の面と他側の面との間を貫通する貫通孔が形成された基板と、基板の一側の面側に形成された赤外線吸収部とを有する赤外線センサーであって、赤外線吸収部は貫通孔の上に位置し、貫通孔の側壁面に反射防止膜が形成されている、赤外線センサーが提供される。【選択図】図1
Description
本発明は、赤外線センサーに関する。
近年、ボロメータ、サーモパイル、ダイオード等を使用した非冷却型の熱型赤外線アレイセンサー、熱型赤外線ラインセンサー等の開発が盛んに行われている。
熱型赤外線センサーとしては、例えば基板に形成された貫通孔により形成された空洞部によって基板とは分離された赤外線吸収部と、赤外線吸収部の温度変化を検出する温度センサー部とを備えた裏面照射型の熱型赤外線センサーが知られている。この構造では、貫通孔から赤外線が入射するため、赤外線センサーに入射する赤外線の光量が基板の厚さと貫通孔の開口サイズで制限される。
そこで、従来では、赤外線吸収部の裏面にサブ波長光構造からなる赤外線反射防止構造を設けることで、赤外線吸収部の裏面における赤外線の反射率を低減し、熱型赤外線センサーの感度を向上させている。(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、上述した従来の技術では、赤外線集光レンズを赤外線センサーに近接して配置する場合に、赤外線集光レンズから赤外線センサーへと入射する赤外線が赤外線センサーの視野角によって制限される。このため、実質的な赤外線集光レンズの有効径が減少して赤外線集光レンズの集光機能が十分に得られず、赤外線センサーに十分な光量の赤外線を入射させることが困難であった。
そこで、本発明の一つの案では、赤外線センサーに入射する赤外線の光量を高めることを目的とする。
一つの案では、一側の面と他側の面との間を貫通する貫通孔が形成された基板と、前記基板の一側の面側に形成された赤外線吸収部とを有する赤外線センサーであって、前記赤外線吸収部は前記貫通孔の上に位置し、前記貫通孔の側壁面に反射防止膜が形成されている、赤外線センサーが提供される。
一態様によれば、赤外線センサーに入射する赤外線の光量を高めることができる。
以下、本発明の実施形態について添付の図面を参照しながら説明する。なお、本明細書及び図面において、実質的に同一の機能構成を有する構成要素については、同一の符号を付することにより重複した説明を省く。
[第1実施形態]
まず、本発明の第1実施形態に係る赤外線センサーの概略構成の一例について、図1から図3を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る赤外線センサーを構成する基板の表面(裏面)と垂直な面であって、基板の層を貫通する貫通孔を通る面で切断した場合の断面図を示している。図2は、第1実施形態に係る赤外線センサーにおける赤外線センサー部の概略構成を例示する断面図である。図3は、第1実施形態に係る赤外線センサーにおける赤外線センサー部の概略構成を例示する平面図である。なお、図2は、図3のA−A'線における断面図である。
まず、本発明の第1実施形態に係る赤外線センサーの概略構成の一例について、図1から図3を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る赤外線センサーを構成する基板の表面(裏面)と垂直な面であって、基板の層を貫通する貫通孔を通る面で切断した場合の断面図を示している。図2は、第1実施形態に係る赤外線センサーにおける赤外線センサー部の概略構成を例示する断面図である。図3は、第1実施形態に係る赤外線センサーにおける赤外線センサー部の概略構成を例示する平面図である。なお、図2は、図3のA−A'線における断面図である。
第1実施形態に係る赤外線センサーは、裏面照射型の赤外線センサーであり、図1に示すように、表面と裏面との間を貫通する貫通孔12を有する基板1と、基板1の表面中央部に形成された赤外線センサー部10とを有する。また、赤外線センサー部10の周辺には、周辺回路11が形成されている。
赤外線センサー部10は、例えば図2に示すように、基板1の表面側に、赤外線吸収部3と温度センサー部4とが形成された構成とすることができる。
赤外線吸収部3は、基板1に形成された貫通孔12により基板1と分離されている。すなわち、赤外線吸収部3は、赤外線吸収部3の下部に貫通孔12が配置され、基板1と接しない構成とすることができる。
赤外線吸収部3は、赤外線を吸収する材料からなる薄膜であり、赤外線を吸収することにより温度変化を生じる材料であればよく、その材料は特に限定されるものではない。例えば、Si酸化膜、層間膜、Si窒化膜等を用いて構成することができる。また、赤外線吸収部3の裏面側に別途、金黒等の赤外線吸収膜を形成してもよい。
温度センサー部4は、赤外線吸収部3で赤外線を吸収したことによる温度変化を検出する。温度センサー部4は、サーモパイル、ダイオード、ボロメータ、焦電体等の温度変化を検知できるものであればどのような方式のものでもよく、その構成は特に限定されるものではない。図3においては、サーモパイル型の温度センサー部4を示しており、温度センサー部4は第1のサーモパイル材料8と第2のサーモパイル材料9とが交互に接続された構造となっている。なお、他方式の温度センサーを用いる場合も同様に、後述する断熱構造体2の薄膜部6上に温度センサーを形成することができる。
赤外線吸収部3及び温度センサー部4は、断熱構造体2上に形成することができる。
断熱構造体2は、赤外線センサーの感度を高める目的で、基板1との熱絶縁性を向上するために形成されており、断熱構造体2の下部の基板1は、例えばICP(Inductive Coupled Plasma)エッチング等の方法を用いて除去されている。断熱構造体2は、赤外線吸収部3と一体となった薄膜部6を中空状態に支持する構成であればよく、その具体的な構成は特に限定されるものではない。例えば図3に示すように、梁部5で薄膜部6を中空状態に支持する構成とすることができる。開口部7は、図3に示すように、四隅に設けられ、梁部5及び薄膜部6の形状を決めている。
そして、第1実施形態の赤外線センサーにおいては、図1に示すように、基板1に形成される貫通孔の側壁面22に反射防止膜25が形成されている。
反射防止膜25は、赤外線反射を抑制する材料からなる薄膜であり、赤外線反射を抑制する材料であればよく、その材料は特に限定されるものではない。例えば、DLC(ダイヤモンドライクカーボン)、硫化亜鉛等を用いて構成することができる。
ここで比較のため、従来の赤外線センサーの問題点について説明する。
例えば後述するように、基板の裏面23側に赤外線集光レンズ13等の光学部が形成されることにより、赤外線センサーの視野角が図1に示すように直線F、Gで規定される場合を考える。すなわち、直線F、Gの間の角度Eが赤外線センサーの視野角となる場合を考える。
このとき、赤外線センサー部10へと入射する赤外線のうち、基板の裏面23において貫通孔12の外周部から入射する赤外線は、基板1に対しては透過するが、空気と基板1との間の屈折率の差によって反射されて赤外線センサー部10に到達することができない。
空気と基板1との間での反射は、空気と基板1との境界における赤外線の入射角が大きい貫通孔の側壁面22で特に大きくなる。このため、基板の裏面23において貫通孔12の外周部から入射し、赤外線センサー部10に到達する赤外線の光量が減少する。すなわち、赤外線センサー部10は、貫通孔12の外周部から入射する赤外線を効率よく受光することができない。
しかしながら、第1実施形態に係る赤外線センサーは、貫通孔の側壁面22に反射防止膜25が形成されている。このため、貫通孔の側壁面22における赤外線の反射を抑制することができる。結果として、赤外線センサー部10(赤外線センサー)に入射する赤外線の光量を高めることができる。
また、反射防止膜25は、基板の裏面23において貫通孔12の外周部から入射する赤外線の入射経路に含まれる貫通孔の側壁面22に形成されていることが好ましい。これにより、貫通孔の側壁面22における赤外線の反射を効率よく抑制することができる。
なお、第1実施形態に係る赤外線センサーは、半導体プロセスの写真製版技術及びエッチング技術を用いて製造することができる。
以上に説明したように、第1実施形態に係る赤外線センサーによれば、基板の厚さを薄くすることなく、赤外線センサーに入射する赤外線の光量を高めることができる。
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態に係る赤外線センサーの概略構成の一例について、図4を参照しながら説明する。図4は、第2実施形態に係る赤外線センサーを構成する基板の表面(裏面)と垂直な面であって、基板の層を貫通する貫通孔を通る面で切断した場合の断面図を示している。
次に、本発明の第2実施形態に係る赤外線センサーの概略構成の一例について、図4を参照しながら説明する。図4は、第2実施形態に係る赤外線センサーを構成する基板の表面(裏面)と垂直な面であって、基板の層を貫通する貫通孔を通る面で切断した場合の断面図を示している。
第2実施形態に係る赤外線センサーは、第1実施形態で説明した赤外線センサーの基板の裏面23に、更に反射防止膜25が形成されていることを特徴とする。なお、他の構成は第1実施形態で説明した赤外線センサーと同様の構成とすることができるため、ここでは説明を省略する。
ここで比較のため、従来の赤外線センサーの問題点について説明する。
前述したように、赤外線センサー部10へと入射する赤外線のうち、基板の裏面23において貫通孔12の外周部から入射する赤外線は、空気と基板1との境界である貫通孔の側壁面22で特に反射される。
また、赤外線センサー部10へと入射する赤外線のうち、基板の裏面23において貫通孔12の外周部から入射する赤外線は、空気と基板1との境界である基板の裏面23においても反射される。
このため、基板の裏面23において貫通孔12の外周部から入射し、赤外線センサー部10に到達する赤外線の光量が減少する。すなわち、赤外線センサー部10は、貫通孔12の外周部から入射する赤外線を効率よく受光することができない。
しかしながら、第2実施形態に係る赤外線センサーは、貫通孔の側壁面22及び基板の裏面23に反射防止膜25が形成されている。このため、貫通孔の側壁面22及び基板の裏面23における赤外線の反射を抑制することができる。結果として、赤外線センサー部10(赤外線センサー)に入射する赤外線の光量をより高めることができる。
また、反射防止膜25は、基板の裏面23において貫通孔12の外周部から入射する赤外線の入射経路に含まれる基板の裏面23に形成されていることが好ましい。これにより、基板の裏面23における赤外線の反射を効率よく抑制することができる。
なお、第2実施形態に係る赤外線センサーは、第1実施形態と同様に半導体プロセスの写真製版技術及びエッチング技術を用いて製造することができる。
以上に説明したように、第2実施形態に係る赤外線センサーによれば、基板の厚さを薄くすることなく、赤外線センサーに入射する赤外線の光量を高めることができる。
[第3実施形態]
次に、本発明の第3実施形態に係る赤外線センサーの概略構成の一例について、図5を参照しながら説明する。図5は、第3実施形態に係る赤外線センサーを構成する基板の表面(裏面)と垂直な面であって、基板の層を貫通する貫通孔を通る面で切断した場合の断面図を示している。
次に、本発明の第3実施形態に係る赤外線センサーの概略構成の一例について、図5を参照しながら説明する。図5は、第3実施形態に係る赤外線センサーを構成する基板の表面(裏面)と垂直な面であって、基板の層を貫通する貫通孔を通る面で切断した場合の断面図を示している。
第3実施形態に係る赤外線センサーは、第2実施形態で説明した赤外線センサーの赤外線吸収部3の裏面(以下「センサー面26」という。)に、更に反射防止膜25が形成されていることを特徴とする。なお、他の構成は第2実施形態で説明した赤外線センサーと同様の構成とすることができるため、ここでは説明を省略する。
ここで比較のため、従来の赤外線センサーの問題点について説明する。
赤外線センサー部10へと入射する赤外線は、センサー面26に到達すると、その一部がセンサー面26で反射される。このため、赤外線センサー部10に到達する赤外線の光量が減少する。
しかしながら、第3実施形態に係る赤外線センサーは、センサー面26に反射防止膜25が形成されている。このため、センサー面26における赤外線の反射を抑制することができる。結果として、赤外線センサー部10(赤外線センサー)に入射する赤外線の光量をより高めることができる。
なお、第3実施形態に係る赤外線センサーは、第2実施形態と同様に半導体プロセスの写真製版技術及びエッチング技術を用いて製造することができる。
以上に説明したように、第3実施形態に係る赤外線センサーによれば、基板の厚さを薄くすることなく、赤外線センサーに入射する赤外線の光量を高めることができる。
[第4実施形態]
次に、本発明の第4実施形態に係る赤外線センサーについて説明する。
次に、本発明の第4実施形態に係る赤外線センサーについて説明する。
第4実施形態に係る赤外線センサーは、第1実施形態から第3実施形態で説明した赤外線センサーの基板の裏面23側に、更に赤外線集光レンズ13を有している。そして、基板の裏面23に形成された反射防止膜25が接合部材21が形成される部分に形成されていないことを特徴とする。
このため、赤外線集光レンズ13と基板1とを接合する接着強度が高い構造を形成することができ、より信頼性の高い赤外線センサーを製造することができる。
また、貫通孔の側壁面22及び基板の裏面23に形成されている反射防止膜25は、赤外線集光レンズ13の有効径の内部から赤外線センサーへと入射する赤外線の入射経路に含まれる貫通孔の側壁面22及び基板の裏面23に形成されていることが好ましい。
ここで比較のため、従来の赤外線集光レンズ13を有する赤外線センサーの問題点について、図6を参照しながら説明する。図6は、従来の赤外線集光レンズを有する赤外線センサーの概略構成を示す断面図である。
従来の赤外線センサーにおいては、前述したように、貫通孔12の幅が制約され、赤外線センサーの視野角が狭かった。このため、赤外線集光レンズ13を配置した場合においても、赤外線集光レンズ13からセンサーへと入射する赤外線のうち、基板の裏面23において貫通孔12の外周部からセンサーへと入射する赤外線は、空気と基板1又は赤外線集光レンズ13との間の屈折率の差によって反射されて、赤外線センサー部10に到達することができなかった。
空気と基板1との間での反射は、貫通孔の側壁面22及び基板の裏面23で生じる。また、空気と赤外線集光レンズ13と間での反射は、赤外線集光レンズ13の接合部材21が形成される面で生じる。このため、赤外線吸収部3は、赤外線集光レンズ13から入射する赤外線を効率よく受光することができない。したがって、赤外線集光レンズ13の有効径Cに対して、実質的には、赤外線センサーの視野角で決まる有効径Dしか使えておらず、赤外線の光量の損失が大きかった。
また、このような構成の場合には、赤外線センサー部10と赤外線集光レンズ13との距離Hや傾きの精度を得るために、基板1をそれらの基準として用いる必要がある。そのため、基板1の厚さを変えて貫通孔12のアスペクト比を変えることはできなかった。
次に、第4実施形態に係る赤外線センサーの一例について、図7を参照しながら説明する。図7は、第4実施形態に係る赤外線センサーを構成する基板の表面(裏面)と垂直な面であって、基板の層を貫通する貫通孔を通る面で切断した場合の断面図を示している。
図7に示す赤外線センサーは、基板の裏面23側に接合部材21を介して基板1と接合された赤外線集光レンズ13を有する。また、赤外線集光レンズ13の有効径は、図中Cで示した範囲である。そして、有効径を効率的に使用できるように、赤外線集光レンズ13の有効径の内部から赤外線センサーへと入射する赤外線の入射経路に含まれる貫通孔の側壁面22及び基板の裏面23に反射防止膜25が形成されている。
このため、貫通孔の側壁面22及び基板の裏面23での赤外線の反射を抑制することができる。より具体的には、赤外線集光レンズ13を通り、基板の裏面23において貫通孔12の外周部から入射する赤外線が、貫通孔の側壁面22及び基板の裏面23における基板1と空気との間の屈折率の差によって、貫通孔の側壁面22及び基板の裏面23で反射することを抑制することができる。結果として、赤外線センサー部10(赤外線センサー)に入射する赤外線の光量を高めることができる。また、本来の赤外線センサーに付加したレンズ性能を十分に発揮することが可能となる。
なお、他の構成は第2実施形態で説明した赤外線センサーと同様の構成とすることができるため、ここでは説明を省略する。
また、第4実施形態においては、反射防止膜25が、貫通孔の側壁面22及び基板の裏面23に形成された第2実施形態で説明した形態を用いて説明したが、係る形態に限定されるものではない。第1実施形態、第3実施形態で説明した各形態の赤外線センサーにおいても同様に赤外線集光レンズ13を配置し、基板の裏面23に形成された反射防止膜25が接合部材21が形成される部分に形成されていないようにすることで、第4実施形態の赤外線センサーとすることができる。
以上に説明したように、第4実施形態に係る赤外線センサーによれば、基板の厚さを薄くすることなく、赤外線センサーに入射する赤外線の光量を高めることができる。
[第5実施形態]
次に、本発明の第5実施形態に係る赤外線センサーについて説明する。
次に、本発明の第5実施形態に係る赤外線センサーについて説明する。
第5実施形態に係る赤外線センサーは、第4実施形態で説明した赤外線センサーの赤外線集光レンズ13の基板1と接合された側の面24に、反射防止膜25が形成されている。そして、反射防止膜25は、接合部材21が形成される部分に形成されていないことを特徴とする。なお、他の構成は第4実施形態で説明した赤外線センサーと同様の構成とすることができるため、ここでは説明を省略する。
以下、図8を参照しながら説明する。図8は、第5実施形態に係る赤外線センサーを構成する基板の表面(裏面)と垂直な面であって、基板の層を貫通する貫通孔を通る面で切断した場合の断面図を示している。
第5実施形態に係る赤外線センサーは、赤外線集光レンズ13の基板1と接合された側の面24に、反射防止膜25が形成されている。そして、反射防止膜25は、接合部材21が形成される部分に形成されていない。
このため、赤外線集光レンズ13の基板1と接合された側の面24での赤外線の反射を抑制することができる。より具体的には、赤外線集光レンズ13に入射した赤外線が、赤外線集光レンズ13の基板1と接合された側の面24における赤外線集光レンズ13と空気との間の屈折率の差によって、赤外線集光レンズ13の基板1と接合された側の面24で反射されることを抑制することができる。結果として、赤外線集光レンズ13における赤外線の光量の減少を抑制し、赤外線センサー部10(赤外線センサー)に入射する赤外線の光量を高めることができる。
また、反射防止膜25は、接合部材21が形成される部分に形成されていないため、基板1と赤外線集光レンズ13とを接合する接着強度が高い構造を形成することができ、より信頼性の高い赤外線センサーを形成することができる。
以上に説明したように、第5実施形態に係る赤外線センサーによれば、基板の厚さを薄くすることなく、赤外線センサーに入射する赤外線の光量を高めることができる。
以上、赤外線センサーを実施形態により説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲内で種々の変形及び改良が可能である。
1 基板
3 赤外線吸収部
12 貫通孔
13 赤外線集光レンズ
21 接合部材
22 貫通孔の側壁面
23 基板の裏面
25 反射防止膜
26 センサー面
3 赤外線吸収部
12 貫通孔
13 赤外線集光レンズ
21 接合部材
22 貫通孔の側壁面
23 基板の裏面
25 反射防止膜
26 センサー面
Claims (7)
- 一側の面と他側の面との間を貫通する貫通孔が形成された基板と、
前記基板の一側の面側に形成された赤外線吸収部とを有する赤外線センサーであって、
前記赤外線吸収部は前記貫通孔の上に位置し、
前記貫通孔の側壁面に反射防止膜が形成されている、
赤外線センサー。 - 前記貫通孔の側壁面に形成されている反射防止膜は、前記基板の他側の面において前記貫通孔の外周部から入射する赤外線の入射経路に含まれる前記貫通孔の側壁面に形成されている、
請求項1に記載の赤外線センサー。 - 前記基板の他側の面に反射防止膜が形成されている、
請求項1又は2に記載の赤外線センサー。 - 前記基板の他側の面に形成されている反射防止膜は、前記基板の他側の面において前記貫通孔の外周部から入射する赤外線の入射経路に含まれる前記基板の他側の面に形成されている、
請求項3に記載の赤外線センサー。 - 前記赤外線吸収部の裏面に反射防止膜が形成されている、
請求項3又は4に記載の赤外線センサー。 - 前記基板の他側の面側に接合部材を介して前記基板と接合された赤外線集光レンズを有し、
前記基板の他側の面に形成された反射防止膜は、前記接合部材が形成される部分に形成されていない、
請求項3乃至5のいずれか一項に記載の赤外線センサー。 - 前記赤外線集光レンズの前記基板と接合された側の面に反射防止膜が形成されている、
請求項6に記載の赤外線センサー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014140217A JP2016017822A (ja) | 2014-07-08 | 2014-07-08 | 赤外線センサー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014140217A JP2016017822A (ja) | 2014-07-08 | 2014-07-08 | 赤外線センサー |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016017822A true JP2016017822A (ja) | 2016-02-01 |
Family
ID=55233138
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014140217A Pending JP2016017822A (ja) | 2014-07-08 | 2014-07-08 | 赤外線センサー |
Country Status (1)
Country | Link |
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- 2014-07-08 JP JP2014140217A patent/JP2016017822A/ja active Pending
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