JP2016013192A5 - - Google Patents

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本願において、「最大スリット間距離」とは、スリットと前記スリットの長手方向に隣接するスリットとの間の距離のうち、その長さが最も長い距離をいう。
ここで、「長手方向に隣接するスリット」とは、1つのスリットに着目し、そのスリット上の点Xから長手方向に平行な直線を引き、その直線が他のスリットと交差する点Yを求めたときに、線分XYの長さが最も短くなるような他のスリットをいう。
図4は、千鳥配列のスリットの例である。図4中、矢印は長手方向を示す。スリット6aに着目し、スリット6a上の点から長手方向に平行な直線を引くと、その直線はスリット6b、6c、6d、6e、6f、6gのいずれかと交差する。スリット6a上の点Xbから引いた長手方向に平行な直線がスリット6bと交差する点Ybと前記スリット6a上の点Xbとを結ぶ線分Xbbの長さと、スリット6a上の点Xcから引いた長手方向に平行な直線がスリット6cと交差する点Ycと前記スリット6a上の点Xcとを結ぶ線分Xccの長さと、スリット6a上の点Xdから引いた長手方向に平行な直線がスリット6dと交差する点Ydと前記スリット6a上の点Xdとを結ぶ線分Xddの長さと、スリット6a上の点Xeから引いた長手方向に平行な直線がスリット6eと交差する点Yeと前記スリット6a上の点Xeとを結ぶXeeの長さは等しく、スリット6a上の点 fから引いた長手方向に平行な直線がスリット6fと交差する点Yfと前記スリット6a上の点Xfとを結ぶ線分Xffの長さおよびスリット6a上の点 gから引いた長手方向に平行な直線がスリット6gと交差する点Ygと前記スリット6a上の点Xgとを結ぶ線分Xggの長さは、線分Xbb、線分Xcc、線分Xdd、線分Xeeの長さよりも長い。すなわち、最も短い線分XYは、線分Xbb、線分Xcc、線分Xdd、線分Xeeであり、線分XYの長さが最も短くなるような他のスリットは、スリット6b、6c、6d、6eである。したがって、このスリット配列では、長手方向に隣接するスリットはスリット6b、6c、6d、6eの4つであり、スリット6f、6gは長手方向に隣接するスリットではない。
In the present application, the “maximum distance between slits” refers to a distance having the longest length among distances between a slit and a slit adjacent in the longitudinal direction of the slit.
Here, “a slit adjacent in the longitudinal direction” refers to one slit, draws a straight line parallel to the longitudinal direction from a point X on the slit, and obtains a point Y where the straight line intersects with another slit. Other slits in which the length of the line segment XY is the shortest.
FIG. 4 is an example of a staggered slit. In FIG. 4, the arrow indicates the longitudinal direction. When paying attention to the slit 6a and drawing a straight line parallel to the longitudinal direction from a point on the slit 6a, the straight line intersects any one of the slits 6b, 6c, 6d, 6e, 6f, and 6g. The length of the line segment X b Y b connecting the point Y b where the straight line parallel to the longitudinal direction drawn from the point X b on the slit 6a intersects the slit 6b and the point X b on the slit 6a, and the slit 6a The length of a line segment X c Y c connecting a point Y c where a straight line parallel to the longitudinal direction drawn from the point X c intersects the slit 6c and the point X c on the slit 6a, and a point X on the slit 6a The length of a line segment X d Y d connecting a point Y d where a straight line parallel to the longitudinal direction drawn from d intersects the slit 6d and the point X d on the slit 6a and the point X e on the slit 6a are drawn. The lengths of X e Y e connecting the point Y e where the straight line parallel to the longitudinal direction intersects the slit 6 e and the point X e on the slit 6 a are equal, and the longitudinal direction drawn from the point X f on the slit 6 a forming a point X f on the slit 6a and the point Y f of parallel straight lines intersecting the slit 6f to Line X f Y line segments parallel to the length and longitudinally drawn from a point X g on the slit 6a straight f is connecting the point X g on the slit 6a and the point Y g which intersects the slit 6 g X the length of g Y g is the line segment X b Y b, the line segment X c Y c, the line segment X d Y d, longer than the length of the line segment X e Y e. That is, the shortest line segment XY is the line segment X b Y b , line segment X c Y c , line segment X d Y d , line segment X e Y e , and the length of the line segment XY is the shortest. The other slits are slits 6b, 6c, 6d, and 6e. Therefore, in this slit arrangement, there are four slits 6b, 6c, 6d and 6e adjacent in the longitudinal direction, and the slits 6f and 6g are not slits adjacent in the longitudinal direction.

次に、「スリットと前記スリットの長手方向に隣接するスリットとの間の距離のうち、その長さが最も長い距離」について説明する。
図4、図5のスリット配列のように、どのスリットに着目したときも、スリットと前記スリットの長手方向に隣接するスリットとの間の距離が等しい場合は、その距離が「スリットと前記スリットの長手方向に隣接するスリットとの間の距離のうち、その長さが最も長い距離」である。図4のスリット配列では、線分Xbb、線分Xcc、線分Xdd、線分Xeeの長さが「スリットと前記スリットの長手方向に隣接するスリットとの間の距離のうち、その長さが最も長い距離」であり、すなわち「最大スリット間距離」である。図5のスリット配列では、線分Xi i 、線分Xj j 、線分Xk k 、線分Xl l の長さが「スリットと前記スリットの長手方向に隣接するスリットとの間の距離のうち、その長さが最も長い距離」であり、すなわち「最大スリット間距離」である。
図6は、千鳥配列の別の変形例であり、下から上にいくほど、スリットと前記スリットの長手方向に隣接するスリットとの間の距離が大きくなっている。図6中、矢印は長手方向を示す。スリット6qとスリット6qの長手方向に隣接するスリットとの間の距離は、線分Xoo、線分Xpp、線分Xrr、線分Xssの長さである。スリット6tとスリット6tの長手方向に隣接するスリットとの間の距離は、線分Xr′Yr′、線分Xs′Ys′、線分Xuu、線分Xvvの長さであり、スリット6qとスリット6qの長手方向に隣接するスリットとの間の距離よりも長い。スリット6wとスリット6wの長手方向に隣接するスリットとの間の距離は、線分Xu′Yu′、線分Xv′Yv′、線分Xxx、線分Xyyの長さであり、スリット6tとスリット6tの長手方向に隣接するスリットとの間の距離よりも長い。したがって、この配列の場合は、スリットと前記スリットの長手方向に隣接するスリットとの間の距離は、線分Xoo、線分Xpp、線分Xrr、線分Xssの長さと、線分Xu′Yu′、線分Xv′Yv′、線分Xxx、線分Xyyの長さと、線分Xu′Yu′、線分Xv′Yv′、線分Xxx、線分Xyyの長さの3種類があることになり、この3種類の長さのうちで、線分Xu′Yu′、線分Xv′Yv′、線分Xxx、線分Xyyの長さが最も長い。したがって、この配列の場合は、線分Xu′Yu′、線分Xv′Yv′、線分Xxx、線分Xyyの長さが、「スリットと前記スリットの長手方向に隣接するスリットとの間の距離のうち、その長さが最も長い距離」すなわち「最大スリット間距離」である。図6の配列の場合は、スリットと前記スリットの長手方向に隣接するスリットとの間の距離が3種類であるが、スリットとそれと長手方向に隣接するスリットとの間の距離が4種類以上ある場合は、4種類以上の距離のうち最も長いものが最大スリット間距離となる。
Next, “the distance having the longest length among the distances between the slit and the slit adjacent in the longitudinal direction of the slit” will be described.
4 and 5, when the distance between the slit and the slit adjacent in the longitudinal direction of the slit is the same regardless of which slit is focused as in the slit arrangement of FIGS. Among the distances between adjacent slits in the longitudinal direction, the length is the longest distance ”. In the slit arrangement of FIG. 4, the lengths of the line segment X b Y b , the line segment X c Y c , the line segment X d Y d , and the line segment X e Y e are “the slit and the slit adjacent to the longitudinal direction of the slit”. Is the longest distance among the distances between the two, that is, the “maximum distance between slits”. In the slit arrangement of FIG. 5, the lengths of the line segment X i Y i , line segment X j Y j , line segment X k Y k , line segment X l Y l Among the distances between the slits adjacent in the longitudinal direction of the slit, the length is the longest distance, that is, the “maximum distance between slits”.
FIG. 6 shows another modification of the staggered arrangement, and the distance between the slit and the slit adjacent in the longitudinal direction of the slit increases from the bottom to the top. In FIG. 6, the arrow indicates the longitudinal direction. The distance between the slit adjacent to the longitudinal direction of the slit 6q and the slit 6q may line X o Y o, the line segment X p Y p, the line segment X r Y r, the length of the line segment X s Y s is there. The distance between the slit adjacent to the longitudinal direction of the slit 6t and slits 6t is a line segment X r 'Y r', the line segment X s 'Y s', the line segment X u Y u, the line segment X v Y v And longer than the distance between the slit 6q and the slit adjacent to the longitudinal direction of the slit 6q. The distance between the slit 6w and the slit adjacent to the longitudinal direction of the slit 6w is as follows: line segment X u ′ Y u ′, line segment X v ′ Y v ′, line segment X x Y x , line segment X y Y y It is longer than the distance between the slit 6t and the slit adjacent to the longitudinal direction of the slit 6t. Therefore, in this arrangement, the distance between the slit and the slit adjacent in the longitudinal direction of the slit is the line segment X o Y o , line segment X p Y p , line segment X r Y r , line segment X s Y s length, line segment X u ′ Y u ′, line segment X v ′ Y v ′, line segment X x Y x , line segment X y Y y length, and line segment X u ′ Y u ′ , Line segment X v ′ Y v ′, line segment X x Y x , and line segment X y Y y , there are three types of lengths, and among these three lengths, line segment X u ′ The lengths of Y u ′, line segment X v ′ Y v ′, line segment X x Y x , and line segment X y Y y are the longest. Therefore, in this arrangement, the lengths of the line segment X u ′ Y u ′, line segment X v ′ Y v ′, line segment X x Y x , and line segment X y Y y are “ Among the distances between adjacent slits in the longitudinal direction, the distance is the longest length, that is, the “maximum distance between slits”. In the case of the arrangement of FIG. 6, there are three types of distances between the slits and the slits adjacent in the longitudinal direction of the slits, but there are four or more types of distances between the slits and the slits adjacent to the slits in the longitudinal direction. In this case, the longest of the four or more types of distances is the maximum slit distance.

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