JP2016012696A - Thermistor element and temperature sensor - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a thermistor element which can suppress reductive reaction of a thermistor main body and deterioration of temperature detection accuracy as for the thermistor element, and a temperature sensor.SOLUTION: In a thermosensor 21 of a temperature sensor 1, oxygen is supplied from a second coating layer 73 against an intruding gas that intrudes through a surface boundary between a leader line 25 and a first coating layer 71 into an element body part 22 so as to be capable of suppressing reductive reaction of the element body part 22 by the intruding gas. Even when a clearance gap exists in the surface boundary between the leader line 25 and the first coating layer 71, the second coating layer 73 can suppress the element body part 22 from being exposed to strong reduction atmosphere so that reduction reaction of the element body part 22 can be suppressed and change of electrical characteristic as for the thermosensor 21 can be suppressed. Therefore, the thermosensor 21 can suppress reductive reaction of the element body part 22 and deterioration of temperature detection accuracy as for the thermosensor 21.

Description

本発明は、温度変化に応じて電気的特性が変化するサーミスタ素子およびサーミスタ素子を用いた温度センサに関する。   The present invention relates to a thermistor element whose electrical characteristics change according to a temperature change, and a temperature sensor using the thermistor element.

温度変化に応じて電気的特性が変化するサーミスタ素子としては、導電性酸化物焼結体からなるサーミスタ本体と、サーミスタ本体の周囲を被覆する被覆層と、サーミスタ本体に接続されると共に被覆層を貫通して後端側に向けて延出する一組の引出線と、を備えるものが知られている。   The thermistor element whose electrical characteristics change in response to temperature changes includes a thermistor body made of a conductive oxide sintered body, a coating layer covering the periphery of the thermistor body, and a coating layer connected to the thermistor body. What is known is provided with a set of leader lines that penetrate and extend toward the rear end side.

このように被覆層を備えることで、サーミスタ本体に還元反応が生じるのを抑制でき、サーミスタ素子の耐還元性を向上できる。   By providing the coating layer in this way, it is possible to suppress the reduction reaction from occurring in the thermistor body and to improve the reduction resistance of the thermistor element.

特許第3806434号公報Japanese Patent No. 3806434

しかし、上記のサーミスタ素子においては、被覆層と引出線との界面を通じて還元性ガスがサーミスタ本体まで侵入してしまい、サーミスタ素子としての温度検出精度が低下する虞がある。   However, in the above thermistor element, the reducing gas may enter the thermistor body through the interface between the coating layer and the lead wire, and the temperature detection accuracy as the thermistor element may be reduced.

つまり、還元性ガスがサーミスタ本体に到達して、サーミスタ本体に還元反応が生じると、サーミスタ素子として温度検出特性が変化してしまい、温度検出精度が低下する可能性がある。   That is, when the reducing gas reaches the thermistor body and a reduction reaction occurs in the thermistor body, the temperature detection characteristic of the thermistor element changes, and the temperature detection accuracy may be lowered.

本発明は、サーミスタ本体に還元反応が生じることを抑制でき、サーミスタ素子としての温度検出精度が低下することを抑制できるサーミスタ素子を提供すること、およびそのようなサーミスタ素子を備える温度センサを提供すること、を目的とする。   The present invention provides a thermistor element that can suppress a reduction reaction from occurring in the thermistor body, and can suppress a decrease in temperature detection accuracy as the thermistor element, and a temperature sensor including such a thermistor element. The purpose.

本発明の1つの局面におけるサーミスタ素子は、サーミスタ本体と、第1被覆層と、一組の引出線と、を備えており、さらに、第2被覆層を備える。
サーミスタ本体は、導電性酸化物焼結体で形成されている。第1被覆層は、サーミスタ本体の周囲を被覆する。一組の引出線は、サーミスタ本体に接続されると共に、第1被覆層を貫通して後端側に向けて延出する。
A thermistor element according to one aspect of the present invention includes a thermistor body, a first coating layer, and a set of lead wires, and further includes a second coating layer.
The thermistor body is formed of a conductive oxide sintered body. The first coating layer covers the periphery of the thermistor body. The set of lead wires is connected to the thermistor body and extends through the first coating layer toward the rear end side.

また、第1被覆層は、ガラスあるいはガラスと金属酸化物粒子との混合物で形成されている。
第2被覆層は、第1被覆層の外表面のうちサーミスタ本体の中心よりも後端側領域において引出線の延出部分を取り囲む状態で形成される。また、第2被覆層は、酸素供給酸化物を主に含んで形成される。
The first coating layer is made of glass or a mixture of glass and metal oxide particles.
A 2nd coating layer is formed in the state which surrounds the extension part of a leader line in the rear end side area | region rather than the center of a thermistor main body among the outer surfaces of a 1st coating layer. The second coating layer is formed mainly including an oxygen supply oxide.

このような構成のサーミスタ素子においては、引出線と第1被覆層との界面を通じてサーミスタ本体に侵入する侵入ガスに対して、第2被覆層から酸素が供給されるため、侵入ガスによるサーミスタ本体の還元反応を抑制できる。   In the thermistor element having such a configuration, oxygen is supplied from the second coating layer to the intruding gas that enters the thermistor body through the interface between the lead wire and the first coating layer. Reduction reaction can be suppressed.

つまり、引出線と第1被覆層との界面に隙間が存在する場合であっても、第2被覆層を備えることで、サーミスタ本体が強い還元雰囲気に晒されるのを抑制でき、サーミスタ本体の還元反応を抑制できるとともに、サーミスタ素子としての電気的特性が変化することを抑制できる。   That is, even if there is a gap at the interface between the lead wire and the first coating layer, the second coating layer can be provided to prevent the thermistor body from being exposed to a strong reducing atmosphere, and the thermistor body can be reduced. The reaction can be suppressed, and the change in electrical characteristics as the thermistor element can be suppressed.

よって、このサーミスタ素子によれば、サーミスタ本体に還元反応が生じるのを抑制でき、サーミスタ素子としての温度検出精度が低下することを抑制できる。
なお、「酸素供給酸化物を主に含んで形成される」とは、第2被覆層を形成する成分の中で酸素供給酸化物が最も多いことを意味している。
Therefore, according to this thermistor element, it is possible to suppress a reduction reaction from occurring in the thermistor body, and it is possible to suppress a decrease in temperature detection accuracy as the thermistor element.
Note that “formed mainly including an oxygen supply oxide” means that the oxygen supply oxide is the most among the components forming the second coating layer.

上述のサーミスタ素子においては、第2被覆層を覆う状態に形成され、ガラスあるいはガラスと金属酸化物粒子との混合物で形成される第3被覆層を備えてもよい。
このような第3被覆層を備えることで、第2被覆層の酸素供給酸化物に含まれる酸素が周囲の金属部材などでの酸化反応で消費されることを抑制できる。
The above-described thermistor element may include a third coating layer that is formed so as to cover the second coating layer and is formed of glass or a mixture of glass and metal oxide particles.
By providing such a third coating layer, it is possible to suppress consumption of oxygen contained in the oxygen supply oxide of the second coating layer due to an oxidation reaction in a surrounding metal member or the like.

つまり、引出線と第1被覆層との界面を通じてサーミスタ本体に侵入する侵入ガスに対して、第2被覆層の酸素供給酸化物に含まれる酸素をより確実に供給することが可能となる。   That is, it becomes possible to more reliably supply oxygen contained in the oxygen supply oxide of the second coating layer to the intruding gas that enters the thermistor body through the interface between the lead wire and the first coating layer.

よって、このようなサーミスタ素子においては、より一層、サーミスタ本体に還元反応が生じるのを抑制でき、耐還元性を向上できる。
上述のサーミスタ素子においては、第2被覆層の酸素供給酸化物は、Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Ce,Prのうち少なくとも1つの酸化物を含む構成であってもよい。
Therefore, in such a thermistor element, the reduction reaction can be further suppressed from occurring in the thermistor body, and the reduction resistance can be improved.
In the above thermistor element, the oxygen supply oxide of the second coating layer may include at least one oxide of Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Ce, and Pr.

このような酸化物を含む酸素供給酸化物は、引出線と第1被覆層との界面を通じてサーミスタ本体に侵入する侵入ガスに対して、酸素を供給することができ、サーミスタ本体が強い還元雰囲気に晒されるのを抑制できる。   The oxygen supply oxide containing such an oxide can supply oxygen to the intrusion gas that enters the thermistor body through the interface between the lead wire and the first coating layer, and the thermistor body has a strong reducing atmosphere. It can suppress exposure.

よって、このサーミスタ素子によれば、サーミスタ本体に還元反応が生じるのを抑制でき、サーミスタ素子としての温度検出精度が低下することを抑制できる。
本発明の他の局面における温度センサは、上述のサーミスタ素子を備える。
Therefore, according to this thermistor element, it is possible to suppress a reduction reaction from occurring in the thermistor body, and it is possible to suppress a decrease in temperature detection accuracy as the thermistor element.
A temperature sensor according to another aspect of the present invention includes the thermistor element described above.

このような温度センサは、サーミスタ本体に還元反応が生じるのを抑制でき、サーミスタ素子としての温度検出精度の低下を抑制できるため、温度センサとしての温度検出精度が低下することを抑制できる。   Such a temperature sensor can suppress a reduction reaction from occurring in the thermistor body, and can suppress a decrease in temperature detection accuracy as a thermistor element, so that a decrease in temperature detection accuracy as a temperature sensor can be suppressed.

本発明のサーミスタ素子によれば、サーミスタ本体に還元反応が生じるのを抑制でき、サーミスタ素子としての温度検出精度が低下することを抑制できる。
本発明の温度センサによれば、サーミスタ素子としての温度検出精度の低下を抑制できるため、温度センサとしての温度検出精度が低下することを抑制できる。
According to the thermistor element of this invention, it can suppress that a reductive reaction arises in a thermistor main body, and can suppress that the temperature detection precision as a thermistor element falls.
According to the temperature sensor of the present invention, since a decrease in temperature detection accuracy as a thermistor element can be suppressed, it is possible to suppress a decrease in temperature detection accuracy as a temperature sensor.

温度センサの構造を示す部分破断断面図である。It is a fragmentary sectional view which shows the structure of a temperature sensor. 温度センサの先端側を破断し拡大して示す説明図である。It is explanatory drawing which fractures | ruptures and expands and shows the front end side of a temperature sensor. 第1被覆層、第2被覆層、第3被覆層を省略した状態の感温素子の斜視図である。It is a perspective view of a temperature sensing element in a state where a first covering layer, a second covering layer, and a third covering layer are omitted. 実施例1〜8における評価試験の試験結果である。It is a test result of the evaluation test in Examples 1-8. 実施例9〜13および比較例1〜2における評価試験の試験結果である。It is a test result of the evaluation test in Examples 9-13 and Comparative Examples 1-2. 第3被覆層を備えず、第1被覆層および第2被覆層を備える第2感温素子の内部構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the internal structure of a 2nd temperature sensing element which is not provided with a 3rd coating layer but is provided with a 1st coating layer and a 2nd coating layer. 第2被覆層が分散配置される構成の第3感温素子の内部構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the internal structure of the 3rd temperature sensing element of the structure by which a 2nd coating layer is dispersively arranged.

以下、本発明が適用された実施形態について、図面を用いて説明する。
尚、本発明は、以下の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の形態を採り得ることはいうまでもない。
Embodiments to which the present invention is applied will be described below with reference to the drawings.
In addition, this invention is not limited to the following embodiment at all, and it cannot be overemphasized that various forms may be taken as long as it belongs to the technical scope of this invention.

[1.第1実施形態]
[1−1.全体構成]
第1実施形態として、自動車などの内燃機関の排ガス温度検出に用いられる温度センサ1について説明する。
[1. First Embodiment]
[1-1. overall structure]
As a first embodiment, a temperature sensor 1 used for detecting an exhaust gas temperature of an internal combustion engine such as an automobile will be described.

図1は、温度センサ1の構造を示す部分破断断面図である。図2は、温度センサ1の先端側を破断し拡大して示す説明図である。
温度センサ1は、一対の金属製のシース芯線3(電極線3)を筒状部材5の内側にて絶縁保持したシース部材7と、先端側が閉塞した軸線方向に延びる筒状の金属チューブ9(ハウジング9)と、金属チューブ9を支持する取付部材11と、六角ナット部13およびネジ部15を有するナット部材17と、取付部材11の後端側に内嵌する外筒19と、サーミスタ素子で形成された感温素子21と、を備えている。
FIG. 1 is a partially broken cross-sectional view showing the structure of the temperature sensor 1. FIG. 2 is an explanatory diagram showing the tip side of the temperature sensor 1 in a broken and enlarged manner.
The temperature sensor 1 includes a sheath member 7 in which a pair of metal sheath core wires 3 (electrode wires 3) are insulated and held inside the cylindrical member 5, and a cylindrical metal tube 9 (in the axial direction with the distal end closed) ( A housing 9), a mounting member 11 that supports the metal tube 9, a nut member 17 having a hexagonal nut portion 13 and a screw portion 15, an outer cylinder 19 that fits in the rear end side of the mounting member 11, and a thermistor element. And the formed temperature sensing element 21.

なお、軸線方向とは、温度センサ1の長手方向であり、図1においては図の上下方向に相当する。また、温度センサ1における先端側は図1における下側であり、温度センサ1における後端側は図1における上側である。なお、図2では、後端側は図における右側であり、先端側は図における左側である。   The axial direction is the longitudinal direction of the temperature sensor 1 and corresponds to the vertical direction in the figure in FIG. Moreover, the front end side in the temperature sensor 1 is a lower side in FIG. 1, and the rear end side in the temperature sensor 1 is an upper side in FIG. In FIG. 2, the rear end side is the right side in the figure, and the front end side is the left side in the figure.

この温度センサ1は、例えば内燃機関の排気管などの流通管に装着され、自身の先端部が測定対象ガス(排気ガス)が流れる流通管内に配置されることにより、測定対象ガスの温度を検出する。   The temperature sensor 1 is attached to a flow pipe such as an exhaust pipe of an internal combustion engine, for example, and the temperature of the measurement target gas is detected by arranging the tip portion of the temperature sensor 1 in the flow pipe through which the measurement target gas (exhaust gas) flows. To do.

シース芯線3は、先端部が例えばレーザ溶接により感温素子21の引出線25(図2参照)と接続されており、後端部が例えば抵抗溶接により加締め端子27と接続されている。これにより、シース芯線3は、自身の後端側が加締め端子27を介して外部回路(例えば、車両の電子制御装置(ECU)等)接続用の外部リード線29と接続されている。   The sheath core wire 3 is connected to the lead wire 25 (see FIG. 2) of the temperature sensing element 21 by laser welding, for example, and the rear end is connected to the crimp terminal 27, for example, by resistance welding. Thus, the sheath core wire 3 is connected at its rear end side to an external lead wire 29 for connecting an external circuit (for example, an electronic control unit (ECU) of a vehicle) via the crimping terminal 27.

なお、一対のシース芯線3および一対の加締め端子27は、絶縁チューブ31により互いに絶縁され、外部リード線29は、導線を絶縁性の被覆材にて被覆され耐熱ゴム製のグロメット33の内部を貫通する状態で配置される。   The pair of sheath core wires 3 and the pair of crimping terminals 27 are insulated from each other by an insulating tube 31, and the external lead wire 29 covers the inside of a grommet 33 made of heat-resistant rubber with a conductive wire covered with an insulating covering material. Arranged in a penetrating state.

シース部材7は、金属製の筒状部材5と、導電性金属で形成された一対のシース芯線3と、筒状部材5と2本のシース芯線3との間を電気的に絶縁してシース芯線3を保持するシリカ等の絶縁粉末34(図2参照)と、を備えて構成される。   The sheath member 7 electrically insulates between the cylindrical member 5 made of metal, the pair of sheath cores 3 formed of a conductive metal, and the cylindrical member 5 and the two sheath cores 3. And an insulating powder 34 (see FIG. 2) such as silica for holding the core wire 3.

取付部材11は、径方向外側に突出する突出部35と、突出部35の後端側に位置すると共に軸線方向に延びる後端側鞘部37と、を有している。この取付部材11は、金属チューブ9の後端側の外周面を取り囲んで金属チューブ9を支持する。   The attachment member 11 includes a protruding portion 35 that protrudes radially outward, and a rear end-side sheath portion 37 that is positioned on the rear end side of the protruding portion 35 and extends in the axial direction. The attachment member 11 surrounds the outer peripheral surface on the rear end side of the metal tube 9 and supports the metal tube 9.

金属チューブ9は、耐腐食性金属(例えば、耐熱性金属でもあるSUS310Sなどのステンレス合金)で形成されており、鋼板の深絞り加工によりチューブ先端側が閉塞した軸線方向に延びる筒状をなし、筒状のチューブ後端側が開放した形態で構成されている。   The metal tube 9 is formed of a corrosion-resistant metal (for example, a stainless alloy such as SUS310S which is also a heat-resistant metal), and has a cylindrical shape extending in the axial direction in which the tube tip side is closed by deep drawing of a steel plate. It is comprised in the form which the shape tube rear end side opened.

この金属チューブ9は、図2に拡大して示す様に、径が小さく設定された先端側の小径部41と、径が小径部41よりも大きく設定された後端側の大径部43と、小径部41と大径部43との間の段差部45と、を備えている。   As shown in an enlarged view in FIG. 2, the metal tube 9 includes a small-diameter portion 41 on the front end side whose diameter is set small, and a large-diameter portion 43 on the rear end side whose diameter is set larger than the small-diameter portion 41. And a step 45 between the small-diameter portion 41 and the large-diameter portion 43.

この温度センサ1は、金属チューブ9の先端側の内部に、温度に応じて電気的特性が変化する感温素子21を備える。
また、金属チューブ9の先端側の内部には、感温素子21の他にセメント39が収納されている、セメント39は、感温素子21の周囲に充填されることで、感温素子21の揺動を防止している。なお、セメント39は、非晶質のシリカにアルミナ骨材を含有した絶縁材で形成されている。
The temperature sensor 1 includes a temperature-sensitive element 21 whose electrical characteristics change depending on the temperature inside the distal end side of the metal tube 9.
In addition to the temperature sensing element 21, cement 39 is housed inside the distal end side of the metal tube 9. The cement 39 is filled around the temperature sensing element 21, so It prevents rocking. The cement 39 is formed of an insulating material containing amorphous silica and amorphous aggregate.

そして、このような構成の温度センサ1は、例えば、排気管に設けられたセンサ取付部にネジ部15が螺合固定されて、自身の先端が排気管の内部に配置されることで、測定対象ガスの温度を検出する。   And the temperature sensor 1 of such a structure is measured, for example, by screwing and fixing the screw portion 15 to a sensor mounting portion provided in the exhaust pipe and arranging its tip inside the exhaust pipe. Detect the temperature of the target gas.

[1−2.感温素子]
図2に示すように、感温素子21は、素子本体部22、2つの電極部23、2本の引出線25、第1被覆層71、第2被覆層73、第3被覆層75を備えている。
[1-2. Temperature sensitive element]
As shown in FIG. 2, the temperature sensitive element 21 includes an element main body part 22, two electrode parts 23, two lead wires 25, a first covering layer 71, a second covering layer 73, and a third covering layer 75. ing.

素子本体部22は、温度によって電気的特性(電気抵抗値)が変化する導電性酸化物焼結体を主体に形成されている。
2つの電極部23は、素子本体部22の上面および下面に形成されている。
The element body 22 is mainly formed of a conductive oxide sintered body whose electrical characteristics (electrical resistance value) change with temperature.
The two electrode portions 23 are formed on the upper surface and the lower surface of the element main body portion 22.

2本の引出線25は、白金−ロジウム合金で形成された導電性部材である。2本の引出線25は、2つの電極部23にそれぞれ電気的に接続されるとともに、後端側に向けて延出するよう配置されている。   The two lead wires 25 are conductive members formed of a platinum-rhodium alloy. The two lead wires 25 are electrically connected to the two electrode portions 23, respectively, and are arranged to extend toward the rear end side.

第1被覆層71は、素子本体部22の周囲を被覆する状態で形成されており、結晶化ガラスと金属酸化物粒子との混合物で形成されている。本実施形態での結晶化ガラスの組成は、SiO−RO−Al−ZrO(Rはアルカリ土類金属)であり、金属酸化物粒子は、アルミナ(Al)である。 The 1st coating layer 71 is formed in the state which coat | covers the circumference | surroundings of the element main-body part 22, and is formed with the mixture of crystallized glass and a metal oxide particle. The composition of the crystallized glass in the present embodiment is SiO 2 —RO—Al 2 O 3 —ZrO 2 (R is an alkaline earth metal), and the metal oxide particles are alumina (Al 2 O 3 ). .

第2被覆層73は、酸素供給酸化物を主に含んで形成されている。本実施形態での酸素供給酸化物は、酸化セリウム(CeO)である。第2被覆層73は、第1被覆層71の外表面のうち素子本体部22の中心よりも後端側領域(図2では、仮想中心線Cよりも後端側の領域)において形成されている。また、第2被覆層73は、第1被覆層71の外表面のうち引出線25の延出部分を連続的に取り囲む状態で形成されている。 The second coating layer 73 is formed mainly including an oxygen supply oxide. The oxygen supply oxide in this embodiment is cerium oxide (CeO 2 ). The second coating layer 73 is formed in a rear end region of the outer surface of the first coating layer 71 from the center of the element body 22 (region in the rear end side from the virtual center line C in FIG. 2). Yes. Further, the second coating layer 73 is formed in a state of continuously surrounding the extended portion of the lead wire 25 in the outer surface of the first coating layer 71.

第3被覆層75は、非晶質ガラスで形成されている。本実施形態での非晶質ガラスは、SiO−RO−Al(Rはアルカリ土類金属)である。第3被覆層75は、第2被覆層73を覆う状態に形成されている。 The third coating layer 75 is made of amorphous glass. The amorphous glass in the present embodiment is SiO 2 —RO—Al 2 O 3 (R is an alkaline earth metal). The third covering layer 75 is formed so as to cover the second covering layer 73.

図3は、第1被覆層71、第2被覆層73、第3被覆層75を省略した状態の感温素子21の斜視図である。
図3に示すように、素子本体部22は、直方体形状であり、その上面および下面のそれぞれの電極部23に引出線25が電気的に接続されている。
FIG. 3 is a perspective view of the thermosensitive element 21 in a state where the first covering layer 71, the second covering layer 73, and the third covering layer 75 are omitted.
As shown in FIG. 3, the element main body 22 has a rectangular parallelepiped shape, and lead wires 25 are electrically connected to the electrode portions 23 on the upper surface and the lower surface thereof.

[1−3.感温素子の製造方法]
ここで、感温素子21の製造方法について説明する。
まず、素子本体部22を製造するためには、導電性酸化物焼結体で形成された大判のセラミック板において、表面および裏面のそれぞれの全面に電極部23となる白金層を形成することで、表裏の両面に電極部が形成されたセラミック板を得る。このセラミック板をダイシング加工によって直方体形状(例えば、0.6[mm]×0.6[mm]×0.5[mm]の直方体形状)に切断して切り出すことで、素子本体部22が得られる。このとき、素子本体部22の上面および下面のそれぞれに、電極部23が形成されている。
[1-3. Method for manufacturing temperature-sensitive element]
Here, a manufacturing method of the temperature sensitive element 21 will be described.
First, in order to manufacture the element main body 22, a large-sized ceramic plate formed of a conductive oxide sintered body is formed by forming a platinum layer serving as the electrode portion 23 on each of the front and back surfaces. A ceramic plate having electrode portions formed on both the front and back surfaces is obtained. By cutting this ceramic plate into a rectangular parallelepiped shape (for example, a rectangular parallelepiped shape of 0.6 [mm] × 0.6 [mm] × 0.5 [mm]) by dicing, the element body 22 is obtained. It is done. At this time, the electrode part 23 is formed on each of the upper surface and the lower surface of the element body 22.

電極部23および引出線25のそれぞれに対して、白金を含有するペーストを塗布した後、熱処理によって電極部23および引出線25を互いに接合する。
次に、引出線25が接合された素子本体部22を、SiO−RO−Al−ZrO(Rはアルカリ土類金属)からなる結晶化ガラス粉末および金属酸化物粒子(Al)を含むペーストにディップして、これを熱処理(1100℃で1時間)することで、第1被覆層71が形成される。
After applying a paste containing platinum to each of the electrode portion 23 and the lead wire 25, the electrode portion 23 and the lead wire 25 are joined to each other by heat treatment.
Next, the element main body 22 to which the lead wire 25 is joined is crystallized glass powder and metal oxide particles (Al 2 ) made of SiO 2 —RO—Al 2 O 3 —ZrO 2 (R is an alkaline earth metal). The first coating layer 71 is formed by dipping into a paste containing O 3 ) and heat-treating the paste (at 1100 ° C. for 1 hour).

続いて、第1被覆層71のうち引出線25の延出部分に対して、既知の液体定量吐出装置(ディスペンサ)を用いて、酸化セリウム(CeO)粉末を含むペーストを塗布する。塗布したペーストを乾燥させた後、これを熱処理(1000℃で1時間)することで、第2被覆層73が形成される。 Subsequently, a paste containing cerium oxide (CeO 2 ) powder is applied to the extended portion of the lead wire 25 of the first coating layer 71 using a known liquid dispensing device (dispenser). After the applied paste is dried, the second coating layer 73 is formed by heat-treating the paste (1000 ° C. for 1 hour).

続いて、第2被覆層73を覆うように、既知の液体定量吐出装置(ディスペンサ)を用いて、SiO−RO−Al(Rはアルカリ土類金属)からなる非晶質ガラス粉末を含むペーストを塗布する。塗布したペーストを乾燥させた後、これを熱処理(900℃で1時間)することで、第3被覆層75が形成される。 Subsequently, an amorphous glass powder made of SiO 2 —RO—Al 2 O 3 (R is an alkaline earth metal) is used by using a known liquid dispensing apparatus (dispenser) so as to cover the second coating layer 73. Apply paste containing. After the applied paste is dried, the third coating layer 75 is formed by heat-treating the paste (900 ° C. for 1 hour).

このような製造工程を経ることで、第1被覆層71、第2被覆層73、第3被覆層75を備える感温素子21が得られる。
[1−4.感温素子における耐還元性の評価試験]
ここで、感温素子21における耐還元性の評価試験の試験結果について説明する。
Through such a manufacturing process, the temperature sensitive element 21 including the first coating layer 71, the second coating layer 73, and the third coating layer 75 is obtained.
[1-4. Evaluation test of reduction resistance in temperature sensitive element]
Here, the test results of the reduction resistance evaluation test in the temperature sensitive element 21 will be described.

本評価試験では、感温素子を一定時間にわたり還元性ガス雰囲気に配置する前と後のそれぞれにおいて、感温素子の抵抗値を測定し、配置前後での抵抗値の変化量(抵抗値変化量)を得る。具体的には、まず、配置前の抵抗値として、900℃の大気環境下において感温素子の抵抗値を測定した。そして、配置後の抵抗値として、900℃の還元性ガス雰囲気(Ar:H=95:5)に5時間にわたり感温素子を配置した後、感温素子の抵抗値を測定した。得られた抵抗値変化量に基づいて指示温度変化量ΔTを演算して、指示温度変化量ΔTの絶対値の大きさに基づいて感温素子の耐還元性を評価した。この場合、指示温度変化量ΔTの絶対値が小さくなるほど、還元性ガスの影響による感温素子の特性変化が抑制できたと判断できるとともに、耐還元性に優れた感温素子と評価できる。 In this evaluation test, the resistance value of the temperature sensing element was measured before and after placing the temperature sensing element in the reducing gas atmosphere for a certain period of time, and the amount of change in resistance value before and after placement (resistance value variation amount). ) Specifically, first, the resistance value of the temperature sensing element was measured in an atmospheric environment of 900 ° C. as the resistance value before the placement. Then, as the resistance value after placement, the 900 ° C. reducing gas atmosphere (Ar: H 2 = 95: 5) after placing the temperature-sensitive element for 5 hours, to measure the resistance value of the temperature sensing element. The indicated temperature change amount ΔT was calculated based on the obtained resistance value change amount, and the reduction resistance of the temperature sensitive element was evaluated based on the magnitude of the absolute value of the indicated temperature change amount ΔT. In this case, as the absolute value of the indicated temperature change amount ΔT becomes smaller, it can be determined that the characteristic change of the temperature sensitive element due to the influence of the reducing gas can be suppressed, and it can be evaluated as a temperature sensitive element having excellent reduction resistance.

なお、本評価試験では、第1被覆層、第2被覆層、第3被覆層の各材質が異なる13種類の感温素子(実施例1〜13)を用いて、評価試験を実施した。このうち、実施例9が、第1実施形態の感温素子21に相当する。各感温素子の材質は、図4および図5に示すとおりである。   In addition, in this evaluation test, the evaluation test was implemented using 13 types of thermosensitive elements (Examples 1-13) from which each material of a 1st coating layer, a 2nd coating layer, and a 3rd coating layer differs. Of these, Example 9 corresponds to the temperature sensitive element 21 of the first embodiment. The material of each temperature sensing element is as shown in FIG. 4 and FIG.

また、13種類の感温素子のうち、実施例1は、第3被覆層を備えず、第1被覆層および第2被覆層を備える感温素子である。実施例1の感温素子(以下、第2感温素子81ともいう)の内部構成を示す断面図を、図6に示す。   Of the 13 types of temperature sensitive elements, Example 1 is a temperature sensitive element that does not include the third coating layer but includes the first coating layer and the second coating layer. FIG. 6 is a cross-sectional view showing the internal configuration of the temperature sensing element of Example 1 (hereinafter also referred to as the second temperature sensing element 81).

なお、第2感温素子81は、素子本体部22、2つの電極部23、2本の引出線25、第1被覆層71、第2被覆層73を備えている。第2感温素子81のうち、感温素子21と同様の構成については同一符号を付している。   The second temperature sensitive element 81 includes an element main body part 22, two electrode parts 23, two lead wires 25, a first covering layer 71, and a second covering layer 73. Among the second temperature sensing elements 81, the same reference numerals are given to the same configurations as those of the temperature sensing element 21.

さらに、本評価試験では、比較例として、第2被覆層および第3被覆層を備えず、第1被覆層のみを備える感温素子(比較例1)、および、第2被覆層を備えず、第1被覆層および第3被覆層を備える感温素子(比較例2)についても、評価試験を実施した。   Furthermore, in this evaluation test, as a comparative example, the second coating layer and the third coating layer are not provided, the temperature sensitive element including only the first coating layer (Comparative Example 1), and the second coating layer are not provided. An evaluation test was also conducted on the temperature sensitive element (Comparative Example 2) provided with the first coating layer and the third coating layer.

図4及び図5の試験結果に示すように、比較例1および比較例2の指示温度変化量ΔTの絶対値は、それぞれ50℃および18℃であるのに対して、実施例1〜13の指示温度変化量ΔTの絶対値は、9℃か9℃よりも小さい値を示す。つまり、実施例1〜13の感温素子は、比較例1および比較例2の感温素子に比べて、指示温度変化量ΔTの絶対値が小さくなっており、酸素供給酸化物を含む第2被覆層を備えることで、耐還元性が向上することが判る。   As shown in the test results of FIGS. 4 and 5, the absolute values of the indicated temperature change ΔT in Comparative Example 1 and Comparative Example 2 are 50 ° C. and 18 ° C., respectively, whereas in Examples 1 to 13 The absolute value of the indicated temperature change amount ΔT is 9 ° C. or a value smaller than 9 ° C. That is, in the temperature sensitive elements of Examples 1 to 13, the absolute value of the indicated temperature change amount ΔT is smaller than that of the temperature sensitive elements of Comparative Example 1 and Comparative Example 2, and the second temperature containing the oxygen supply oxide is second. It can be seen that the reduction resistance is improved by providing the coating layer.

すなわち、第2被覆層を備えない比較例1および比較例2においては、引出線と第1被覆層との界面を通じて侵入した還元性を有する侵入ガスが、その還元性を緩和されることなく素子本体部22に作用したと考えられる。これに対して、実施例1〜13では、酸素供給酸化物を含む第2被覆層を備えることで、引出線と第1被覆層との界面を通じて侵入する侵入ガスに対して、第2被覆層から酸素が供給されて、侵入ガスの還元性を緩和できたと考えられる。   That is, in Comparative Example 1 and Comparative Example 2 that do not include the second coating layer, the reducing gas that has entered through the interface between the lead wire and the first coating layer does not relax the reducing property. It is thought that it acted on the main body 22. On the other hand, in Examples 1-13, by providing the 2nd coating layer containing an oxygen supply oxide, it is the 2nd coating layer with respect to the intrusion gas which penetrates through the interface of a leader line and the 1st coating layer. It is thought that oxygen was supplied from the gas, and the reducibility of the intruding gas was alleviated.

また、第3被覆層を備える実施例2〜13は、第3被覆層を備えない実施例1と比べて、指示温度変化量ΔTが小さくなっている。このことから、第2被覆層を覆う第3被覆層を備えることで、第2被覆層に含まれる酸素供給酸化物の酸素が、感温素子の周囲の金属部品などの酸化反応に消費されることを抑制できると考えられる。つまり、第2被覆層に含まれる酸素供給酸化物の酸素が、引出線と第1被覆層との界面を通じて侵入する侵入ガスに対して有効に作用して、侵入ガスの還元性を効果的に緩和していると考えられる。   In addition, in Examples 2 to 13 including the third coating layer, the indicated temperature change amount ΔT is smaller than that in Example 1 including no third coating layer. Accordingly, by providing the third coating layer covering the second coating layer, oxygen of the oxygen supply oxide contained in the second coating layer is consumed for the oxidation reaction of the metal parts around the temperature sensitive element. It is thought that this can be suppressed. In other words, the oxygen of the oxygen supply oxide contained in the second coating layer effectively acts on the intrusion gas entering through the interface between the lead wire and the first coating layer, thereby effectively reducing the reduction property of the intrusion gas. It is thought that it has eased.

[1−5.効果]
以上説明したように、本実施形態の温度センサ1に備えられる感温素子21は、第1被覆層71、第2被覆層73、第3被覆層75を備えている。
[1-5. effect]
As described above, the temperature sensitive element 21 provided in the temperature sensor 1 of the present embodiment includes the first coating layer 71, the second coating layer 73, and the third coating layer 75.

第1被覆層71は、結晶化ガラス(SiO−RO−Al−ZrO(Rはアルカリ土類金属))と金属酸化物粒子(Al)との混合物で形成されている。
第2被覆層73は、第1被覆層71の外表面のうち素子本体部22の中心よりも後端側領域(図2では、仮想中心線Cよりも後端側の領域)において形成されている。また、第2被覆層73は、第1被覆層71の外表面のうち引出線25の延出部分を連続的に取り囲む状態で形成されている。さらに、第2被覆層73は、酸素供給酸化物(酸化セリウム(CeO))を主に含んで形成される。
The first coating layer 71 is formed of a mixture of crystallized glass (SiO 2 —RO—Al 2 O 3 —ZrO 2 (R is an alkaline earth metal)) and metal oxide particles (Al 2 O 3 ). Yes.
The second coating layer 73 is formed in a rear end region of the outer surface of the first coating layer 71 from the center of the element body 22 (region in the rear end side from the virtual center line C in FIG. 2). Yes. Further, the second coating layer 73 is formed in a state of continuously surrounding the extended portion of the lead wire 25 in the outer surface of the first coating layer 71. Further, the second coating layer 73 is formed mainly including an oxygen supply oxide (cerium oxide (CeO 2 )).

このような構成の感温素子21においては、引出線25と第1被覆層71との界面を通じて素子本体部22に侵入する侵入ガスに対して、第2被覆層73から酸素が供給されるため、侵入ガスによる素子本体部22の還元反応を抑制できる。   In the temperature sensitive element 21 having such a configuration, oxygen is supplied from the second covering layer 73 to the intruding gas that enters the element body 22 through the interface between the lead wire 25 and the first covering layer 71. The reduction reaction of the element main body 22 due to the intruding gas can be suppressed.

つまり、引出線25と第1被覆層71との界面に隙間が存在する場合であっても、第2被覆層73を備えることで、素子本体部22が強い還元雰囲気に晒されるのを抑制でき、素子本体部22の還元反応を抑制できるとともに、感温素子21としての電気的特性が変化することを抑制できる。   That is, even when there is a gap at the interface between the lead wire 25 and the first coating layer 71, the element body portion 22 can be prevented from being exposed to a strong reducing atmosphere by including the second coating layer 73. In addition, the reduction reaction of the element body 22 can be suppressed, and the change in electrical characteristics as the temperature sensitive element 21 can be suppressed.

よって、この感温素子21によれば、素子本体部22に還元反応が生じるのを抑制でき、感温素子21としての温度検出精度が低下することを抑制できる。
また、感温素子21は、第3被覆層75を備えており、第3被覆層75は、非晶質ガラス(SiO−RO−Al(Rはアルカリ土類金属))で形成されるとともに、第2被覆層73を覆う状態に形成されている。
Therefore, according to this temperature sensitive element 21, it can suppress that a reduction reaction arises in the element main-body part 22, and it can suppress that the temperature detection accuracy as the temperature sensitive element 21 falls.
The temperature sensitive element 21 includes a third coating layer 75, and the third coating layer 75 is formed of amorphous glass (SiO 2 —RO—Al 2 O 3 (R is an alkaline earth metal)). In addition, the second covering layer 73 is formed so as to cover the second covering layer 73.

このような第3被覆層75を備えることで、第2被覆層73の酸素供給酸化物に含まれる酸素が周囲の金属部材などでの酸化反応で消費されることを抑制できる。
つまり、引出線25と第1被覆層71との界面を通じて素子本体部22に侵入する侵入ガスに対して、第2被覆層73の酸素供給酸化物に含まれる酸素をより確実に供給することが可能となる。
By providing such a third coating layer 75, it is possible to suppress consumption of oxygen contained in the oxygen supply oxide of the second coating layer 73 due to an oxidation reaction in a surrounding metal member or the like.
That is, oxygen contained in the oxygen supply oxide of the second coating layer 73 can be more reliably supplied to the intruding gas that enters the element body 22 through the interface between the lead wire 25 and the first coating layer 71. It becomes possible.

よって、感温素子21においては、第3被覆層75を備えることで、より一層、素子本体部22に還元反応が生じるのを抑制でき、耐還元性を向上できる。
また、このような感温素子21を備える温度センサ1は、素子本体部22に還元反応が生じるのを抑制でき、感温素子21としての温度検出精度の低下を抑制できるため、温度センサとしての温度検出精度が低下することを抑制できる。
Therefore, in the temperature sensitive element 21, by providing the 3rd coating layer 75, it can suppress further that a reduction reaction arises in the element main-body part 22, and reduction resistance can be improved.
Moreover, since the temperature sensor 1 provided with such a temperature sensing element 21 can suppress a reduction reaction from occurring in the element body 22 and can suppress a decrease in temperature detection accuracy as the temperature sensing element 21, it can be used as a temperature sensor. It can suppress that temperature detection accuracy falls.

[1−6.特許請求の範囲との対応関係]
ここで、特許請求の範囲と本実施形態とにおける文言の対応関係について説明する。
感温素子21がサーミスタ素子の一例に相当し、素子本体部22がサーミスタ本体の一例に相当し、引出線25が引出線の一例に相当する。
[1-6. Correspondence with Claims]
Here, the correspondence of the words in the claims and the present embodiment will be described.
The temperature sensitive element 21 corresponds to an example of a thermistor element, the element body 22 corresponds to an example of a thermistor body, and the lead wire 25 corresponds to an example of a lead wire.

[2.他の実施形態]
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、様々な態様にて実施することが可能である。
[2. Other Embodiments]
As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to the said embodiment, In the range which does not deviate from the summary of this invention, it is possible to implement in various aspects.

例えば、第1被覆層は、結晶化ガラスと金属酸化物粒子との混合物で形成される構成に限られることはなく、第1被覆層がガラスのみで形成される構成であっても良い。具体的には、図4および図5に示す実施例1〜8,12,13は、第1被覆層が結晶化ガラスのみで形成されている。   For example, the first coating layer is not limited to a configuration formed of a mixture of crystallized glass and metal oxide particles, and the first coating layer may be configured of only glass. Specifically, in Examples 1 to 8, 12, and 13 shown in FIGS. 4 and 5, the first coating layer is formed only of crystallized glass.

また、第1被覆層に含まれる金属酸化物粒子は、アルミナ(Al)に限られることはなく、図5に示す実施例10,11のように、YやSiOであってもよい。
さらに、第2被覆層に含まれる酸素供給酸化物は、酸化セリウム(CeO)に限られることはなく、図4に示す実施例2〜8のように、Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Ce,Prのうち少なくとも1つの酸化物であってもよい。
In addition, the metal oxide particles contained in the first coating layer are not limited to alumina (Al 2 O 3 ), and may be Y 2 O 3 or SiO 2 as in Examples 10 and 11 shown in FIG. There may be.
Furthermore, the oxygen supply oxide contained in the second coating layer is not limited to cerium oxide (CeO 2 ), and Cr, Mn, Fe, Co, Ni, as in Examples 2 to 8 shown in FIG. , Ce, Pr may be at least one oxide.

また、第3被覆層は、非晶質ガラスのみで形成される構成に限られることはなく、図5に示す実施例12,13のように、結晶化ガラスと金属酸化物粒子との混合物で形成される構成であってもよい。なお、金属酸化物粒子としては、図5に示す実施例12,13のように、AlやYが挙げられる。 In addition, the third coating layer is not limited to a configuration formed only of amorphous glass, and is a mixture of crystallized glass and metal oxide particles as in Examples 12 and 13 shown in FIG. The structure formed may be sufficient. The metal oxide particles, as in Examples 12 and 13 shown in FIG. 5 include as Al 2 O 3 and Y 2 O 3.

さらに、上記実施形態では、第2被覆層73が1つの塊として備えられる構成について説明したが、第2被覆層はこのような構成に限られることはなく、複数に分かれて配置される構成であっても良い。   Furthermore, although the said embodiment demonstrated the structure with which the 2nd coating layer 73 was provided as one lump, a 2nd coating layer is not restricted to such a structure, It is the structure arrange | positioned in multiple parts. There may be.

例えば、図7に示す第3感温素子83のように、第1被覆層71の外表面のうち引出線25の延出部分である2カ所のそれぞれに、第2被覆層73を分散配置しても良い。また、第3感温素子83においては、第3被覆層75も2カ所に配置されている。   For example, like the third temperature sensing element 83 shown in FIG. 7, the second coating layer 73 is dispersedly arranged in each of two locations on the outer surface of the first coating layer 71 that are the extended portions of the lead wires 25. May be. Further, in the third temperature sensing element 83, the third covering layer 75 is also arranged at two places.

この第3感温素子83は、感温素子21と同様に、引出線25と第1被覆層71との界面に隙間が存在する場合であっても、第2被覆層73を備えることで、素子本体部22が強い還元雰囲気に晒されるのを抑制でき、素子本体部22の還元反応を抑制できるとともに、感温素子21としての電気的特性が変化することを抑制できる。よって、第3感温素子83によれば、素子本体部22に還元反応が生じるのを抑制でき、感温素子21としての温度検出精度が低下することを抑制できる。   This third temperature sensing element 83 is provided with the second coating layer 73 even when there is a gap at the interface between the lead wire 25 and the first coating layer 71, similarly to the temperature sensing element 21. Exposure of the element body 22 to a strong reducing atmosphere can be suppressed, the reduction reaction of the element body 22 can be suppressed, and changes in electrical characteristics as the temperature-sensitive element 21 can be suppressed. Therefore, according to the 3rd temperature sensing element 83, it can suppress that reductive reaction arises in the element main-body part 22, and can suppress that the temperature detection accuracy as the temperature sensing element 21 falls.

また、第2被覆層は、第1被覆層の外表面のうちサーミスタ本体の中心よりも後端側の領域(後端側領域)のみならず、後端側領域よりも先端側の領域(先端側領域)にも形成しても良く、例えば、第2被覆層は第1被覆層の外表面の全体を覆うように形成しても良い。   In addition, the second coating layer includes not only the region on the rear end side (rear end side region) from the center of the thermistor body on the outer surface of the first coating layer but also the region on the front end side (front end) from the rear end side region For example, the second coating layer may be formed so as to cover the entire outer surface of the first coating layer.

なお、第2被覆層は、第1被覆層の外表面のうち後端側領域のみに形成する形態を採ることで、自身の体積が小さくなり熱容量を小さくすることができ、サーミスタ素子としての温度変化の応答性への影響を小さくできる。さらに、第2被覆層は、層状に形成される形態を採ることで、自身の体積が小さくなり熱容量を小さくすることができ、サーミスタ素子としての温度変化の応答性への影響を小さくできる。なお、ここでの「層状」とは、第2被覆層の厚み寸法(第1被覆層の外表面に対する垂直方向)が第2被覆層の幅寸法(第1被覆層の外表面に平行な方向)よりも小さい形状を意味する。   The second coating layer is formed only in the rear end region of the outer surface of the first coating layer, so that the volume of the second coating layer can be reduced and the heat capacity can be reduced, and the temperature as the thermistor element can be reduced. The influence on the responsiveness of changes can be reduced. Furthermore, since the second coating layer takes a form formed in a layer shape, the volume of the second coating layer can be reduced, the heat capacity can be reduced, and the influence on the responsiveness of the temperature change as the thermistor element can be reduced. Here, “layered” means that the thickness dimension of the second coating layer (the direction perpendicular to the outer surface of the first coating layer) is the width dimension of the second coating layer (the direction parallel to the outer surface of the first coating layer). ) Means a smaller shape.

また、上記実施形態では、電極部23および引出線25を接合するための接合ロウ材として、白金を含有するペーストを熱処理することで得られる接合ロウ材を用いているが、この接合ロウ材に酸素供給物質を含有させても良い。具体的には、酸素供給酸化物を含有するペーストを熱処理することで、酸素供給酸化物を含有する接合ロウ材を得ることができる。   Moreover, in the said embodiment, although the joining brazing material obtained by heat-processing the paste containing platinum is used as a joining brazing material for joining the electrode part 23 and the leader line 25, This joining brazing material is used. An oxygen supply substance may be included. Specifically, the bonding brazing material containing the oxygen supply oxide can be obtained by heat-treating the paste containing the oxygen supply oxide.

このような接合ロウ材を備えるサーミスタ素子においては、引出線と第1被覆層との界面を通じてサーミスタ本体に侵入する侵入ガスに対して、接合ロウ材から酸素が供給されるため、侵入ガスによるサーミスタ本体の還元反応を抑制できる。つまり、引出線と第1被覆層との界面に隙間が存在する場合であっても、酸素供給酸化物を含有する接合ロウ材を備えることで、サーミスタ本体が強い還元雰囲気に晒されるのを抑制でき、サーミスタ本体の還元反応を抑制できるとともに、サーミスタ素子としての電気的特性が変化することを抑制できる。   In the thermistor element having such a bonding brazing material, oxygen is supplied from the bonding brazing material to the intruding gas that enters the thermistor body through the interface between the lead wire and the first coating layer. The reduction reaction of the main body can be suppressed. In other words, even if there is a gap at the interface between the lead wire and the first coating layer, by providing a bonding brazing material containing an oxygen supply oxide, the thermistor body is prevented from being exposed to a strong reducing atmosphere. In addition, the reduction reaction of the thermistor body can be suppressed, and changes in electrical characteristics as the thermistor element can be suppressed.

1…温度センサ、3…シース芯線(電極線)、5…筒状部材、7…シース部材、9…金属チューブ(ハウジング)、11…取付部材、13…六角ナット部、15…ネジ部、17…ナット部材、19…外筒、21…感温素子、22…素子本体部、23…電極部、25…引出線、71…第1被覆層、73…第2被覆層、75…第3被覆層、81…第2感温素子、83…第3感温素子。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Temperature sensor, 3 ... Sheath core wire (electrode wire), 5 ... Cylindrical member, 7 ... Sheath member, 9 ... Metal tube (housing), 11 ... Mounting member, 13 ... Hex nut part, 15 ... Screw part, 17 DESCRIPTION OF SYMBOLS ... Nut member, 19 ... Outer cylinder, 21 ... Temperature sensitive element, 22 ... Element main-body part, 23 ... Electrode part, 25 ... Lead wire, 71 ... 1st coating layer, 73 ... 2nd coating layer, 75 ... 3rd coating Layer, 81 ... second temperature sensing element, 83 ... third temperature sensing element.

Claims (4)

導電性酸化物焼結体からなるサーミスタ本体と、
前記サーミスタ本体の周囲を被覆する第1被覆層と、
前記サーミスタ本体に接続されると共に、前記第1被覆層を貫通して後端側に向けて延出する一組の引出線と、
を備えるサーミスタ素子であって、
前記第1被覆層は、ガラスあるいはガラスと金属酸化物粒子との混合物で形成されており、
前記第1被覆層の外表面のうち前記サーミスタ本体の中心よりも後端側領域において前記引出線の延出部分を取り囲み、酸素供給酸化物を主に含んで形成される第2被覆層を備えること、
を特徴とするサーミスタ素子。
A thermistor body made of a conductive oxide sintered body;
A first coating layer covering the periphery of the thermistor body;
A set of lead wires connected to the thermistor body and extending toward the rear end side through the first coating layer;
A thermistor element comprising:
The first coating layer is formed of glass or a mixture of glass and metal oxide particles,
A second coating layer is formed which surrounds the extension portion of the lead wire in the rear end region of the outer surface of the first coating layer from the center of the thermistor body and mainly contains oxygen-supplying oxide. about,
Thermistor element characterized by
請求項1に記載のサーミスタ素子であって、
前記第2被覆層を覆う状態に形成され、ガラスあるいはガラスと金属酸化物粒子との混合物で形成される第3被覆層を備えること、
を特徴とするサーミスタ素子。
The thermistor element according to claim 1,
A third covering layer formed to cover the second covering layer and formed of glass or a mixture of glass and metal oxide particles;
Thermistor element characterized by
請求項1または請求項2に記載のサーミスタ素子であって、
前記第2被覆層の前記酸素供給酸化物は、Cr,Mn,Fe,Co,Ni,Ce,Prのうち少なくとも1つの酸化物を含むこと、
を特徴とするサーミスタ素子。
The thermistor element according to claim 1 or 2,
The oxygen supply oxide of the second coating layer includes at least one oxide of Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Ce, and Pr;
Thermistor element characterized by
請求項1から請求項3のうちいずれか一項に記載のサーミスタ素子を備えること、
を特徴とする温度センサ。
Comprising the thermistor element according to any one of claims 1 to 3,
Temperature sensor.
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