JP2016012611A - 半導体発光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】発光効率が向上し、信頼性も向上した半導体発光装置を提供できる。【解決手段】基板と、前記基板上に配設された、第1導電型の第1の半導体層、この第1の半導体層上に配設された前記第1導電型とは逆の第2導電型の第2の半導体層を有する主半導体領域と、 前記主半導体領域上に形成される光透過性導電膜と、前記光透過性導電膜上に形成される絶縁膜とを有し、前記光透過性導電膜は、前記絶縁膜に近い側の第1の領域と、前記主半導体領域に近い側の第2の領域を有し、前記第1の領域の面内方向全体における膜中キャリア濃度が、前記第2の領域における膜中キャリア濃度よりも低いことを特徴とする。【選択図】図1
Description
本発明は、半導体発光装置に関する。
近年、半導体発光素子用の半導体材料として、窒化物半導体材料が多く用いられている。窒化物半導体材料は、SiやSiC、サファイア、酸化物、I I I-V族化合物を基板とし、その上にMOCVD法やMBE法によって形成される。
しかし、p型窒化物半導体材料は移動度が小さいため、横方向への電流拡散が小さい。このため、半導体発光素子に電圧を印加しても、発光領域は電極直下に限定され、半導体発光素子の表面全域に電流が拡散しにくい。したがって、このような半導体発光素子に使用される電極には、p型窒化物半導体材料とオーミック接触が可能で、かつ半導体発光素子が発する光に対して透明な材料として、例えばITO(Indium−Tin−Oxide)やZnO(Zinc−Oxide)等で構成される(特許文献1参照)。
しかし、p型窒化物半導体材料は移動度が小さいため、横方向への電流拡散が小さい。このため、半導体発光素子に電圧を印加しても、発光領域は電極直下に限定され、半導体発光素子の表面全域に電流が拡散しにくい。したがって、このような半導体発光素子に使用される電極には、p型窒化物半導体材料とオーミック接触が可能で、かつ半導体発光素子が発する光に対して透明な材料として、例えばITO(Indium−Tin−Oxide)やZnO(Zinc−Oxide)等で構成される(特許文献1参照)。
ITOやZnOなどの光透過性導電膜は、本来半導体でありバンドギャップを有している。また、一般的な製法では酸素欠損に起因するn型半導体特性となる。故にp型窒化物半導体上にITOやZnOなどを形成すると、p型窒化物半導体上にn型半導体を形成することになる。このとき窒化物半導体機能層に発光のための駆動電流を流す場合、前記p型窒化物半導体と光透過性導電膜の界面では、n型半導体からp型半導体に電流を流すため、通常の拡散電流機構では電流は流れず、やはり接合界面に存在するポテンシャル障壁を通過するトンネル電流による電流が流れると考えられる。よって前述と同様その界面に存在する結晶欠陥もまたトンネル電流に大きく寄与する。
特にITOやZnOなどの場合、バンドギャップを持つ点と金属よりキャリア密度が低い点で、界面に存在する結晶欠陥がトンネル電流に影響する割合が大きくなる。
特にITOやZnOなどの場合、バンドギャップを持つ点と金属よりキャリア密度が低い点で、界面に存在する結晶欠陥がトンネル電流に影響する割合が大きくなる。
本発明では、p型窒化物半導体上の電極として、ITO、ZnOなどの光透過性導電膜を用いた場合、その接触抵抗を飛躍的に低下させ、かつ光取出し効率も向上させ、さらに透明導電膜の劣化を抑制出来る構造を提案する。
上記課題を解決するため、本発明は、基板と、前記基板上に配設された、第1導電型の第1の半導体層、この第1の半導体層上に配設された前記第1導電型とは逆の第2導電型の第2の半導体層を有する主半導体領域と、 前記主半導体領域上に形成される光透過性導電膜と、前記光透過性導電膜上に形成される絶縁膜とを有し、前記光透過性導電膜は、前記絶縁膜に近い側の第1の領域と、前記主半導体領域に近い側の第2の領域を有し、前記第1の領域の面内方向全体における膜中キャリア濃度が、前記第2の領域における膜中キャリア濃度よりも低いことを特徴とする。
発光効率が向上し、信頼性も向上した半導体発光装置を提供できる。
次に、本発明の実施形態を、図面を参照して具体的に説明する。なお、ここで示す実施形態は一例であって、本発明はここに示す実施形態に限定される趣旨ではない。
図1に、本発明の実施形態に従う半導体発光装置を示す。
本発明の第1の実施の形態に係る半導体発光装置は、半導体基板1と、半導体基板1上に配設された第1導電型の第1の半導体層(n型半導体層)11、この第1の半導体層11上に活性層12を介して配設された第1導電型とは逆の第2導電型の第2の半導体層(p型半導体層)13を有する主半導体領域2とを備える。また、主半導体領域2上には光透過性導電膜14が形成される。光透過性導電膜14上の一部の領域には第1の電極(上側電極)3が設けられる。
光透過性導電膜14上のうち、第1の電極(上側電極)3が形成されない領域には、
保護膜15が覆うようにして形成される。
半導体基板1の裏面(主半導体領域2が形成されない側)には、第2の電極(基板電極)4が形成される。
本発明の第1の実施の形態に係る半導体発光装置は、半導体基板1と、半導体基板1上に配設された第1導電型の第1の半導体層(n型半導体層)11、この第1の半導体層11上に活性層12を介して配設された第1導電型とは逆の第2導電型の第2の半導体層(p型半導体層)13を有する主半導体領域2とを備える。また、主半導体領域2上には光透過性導電膜14が形成される。光透過性導電膜14上の一部の領域には第1の電極(上側電極)3が設けられる。
光透過性導電膜14上のうち、第1の電極(上側電極)3が形成されない領域には、
保護膜15が覆うようにして形成される。
半導体基板1の裏面(主半導体領域2が形成されない側)には、第2の電極(基板電極)4が形成される。
半導体基板1は導電型決定用不純物としてボロン等の3族元素を含むp型単結晶シリコン基板から成る。半導体基板1のp型不純物濃度は、例えば5×1018〜5×1019cm-3程度あり、抵抗率は0.0001Ω・cm〜0.01Ω・cm程度である。従って、半導体基板1は導電性基板であり、発光素子の電流通路として機能する。半導体基板1は、主半導体領域2のエピタキシャル成長のための基板としての機能、及び発光素子を構成するための主半導体領域2と第1の電極3との支持体としての機能を有する。半導体基板1の好ましい厚みは比較的厚い100〜500μmである。なお、半導体基板1の導電型をn型にすることもできる。
発光素子の主要部を構成するための主半導体領域2は、シリコン半導体基板1と異種の3−5族化合物半導体から成る複数の層を有し、シリコン半導体基板1の上に周知の気相成長法によって形成されている。更に詳細には、主半導体領域2は、ダブルヘテロ接合発光ダイオードを構成するためにn型半導体層11と活性層12とp型半導体層13とを順次に有している。なお、n型半導体層11をn型クラッド層と呼び、p型半導体層13をp型クラッド層と呼ぶことがある。発光ダイオードは原理的にn型半導体層11とp型半導体層13のみで構成できる。従って、主半導体領域2から活性層12を省くことができる。また、必要に応じてバッファ層10等を主半導体領域2に付加することができる。
光透過性導電膜14は主半導体領域2上、即ちp型半導体層13の表面のほぼ全部に配置され、ここにオーミック接触している。従って、既に説明したように光透過性導電膜14は主半導体領域2に電流を均一に流すために寄与し、且つ主半導体領域2から放射された光の取り出しを可能にする。この実施例の光透過性導電膜14は厚さ1800オングストローム程度のITO(インジウム・錫・オキサイド)から成る。なお、光透過性導電膜14を亜鉛(Zn)、インジウム(In)、スズ(Sn)、及びマグネシウム(Mg)よりなる群から選択された少なくとも一種の元素を含む酸化物によって形成することもできる。
また、光透過性導電膜14をITO以外のNi、Pt、Pd,Rh,Ru,Os,Ir,Au、Ag等から選択された材料で形成することもできる。しかし、いずれの材料で形成する場合であっても光透過性導電膜14の光透過性を高めることが必要であり、光透過性導電膜14をあまり厚く形成することができず、例えば500〜5000オングストローム、好ましくは1800オングストローム程度に形成される。
また、光透過性導電膜14をITO以外のNi、Pt、Pd,Rh,Ru,Os,Ir,Au、Ag等から選択された材料で形成することもできる。しかし、いずれの材料で形成する場合であっても光透過性導電膜14の光透過性を高めることが必要であり、光透過性導電膜14をあまり厚く形成することができず、例えば500〜5000オングストローム、好ましくは1800オングストローム程度に形成される。
光透過性導電膜14は、図1に示す断面図で見たときに、絶縁膜15に近い側(第1の領域)14aと、主半導体領域2に近い側(第2の領域)14bとが形成される。第1の領域14aは、第2の領域14bよりも、面内方向全体における膜中キャリア濃度が低く形成される。また、第1の領域14aは、第2の領域14bよりも、面内方向全体における膜中酸素濃度が高く形成される。
このように、光透過性導電膜14の第1の領域14aの膜中酸素濃度を高く形成すると、結晶欠陥が少なく、水分による信頼性低下を防止できる。逆にIn、Snが十分な酸素と結び付かないと、結晶欠陥となり、欠陥部分と水分が反応して光透過性導電膜14の導電性と透明性を低下させる。
光透過性導電膜14の第1の領域14aの膜中酸素濃度が高いと、絶縁膜(例えばSiOx)15の酸素濃度の低下を抑制でき、信頼性の高い保護膜特性を形成できる。逆に、第1の領域14aの膜中酸素濃度が低いと、絶縁膜15内の酸素がプロセス中の熱処理により酸素原子が光透過性導電膜14に移動して絶縁膜15内の酸素欠損が多くなる。そうなるとパシベーション膜として効果的に機能せずに、素子の水分による劣化などが発生する。
また、光透過性導電膜14の膜中酸素濃度が高いと、光透過性導電膜14の光透過率が向上し、発光効率が向上する。逆に光透過性導電膜14の膜中酸素濃度が低いと、酸素欠損に起因する光透過率の低下が起こり、発光効率が低下する。
ただし、光透過性導電膜14の膜中酸素濃度が高いと、酸素欠損密度の低下によるキャリア密度低下により、主半導体領域2との界面での接触抵抗が上昇する。これはキャリア濃度低下によるポテンシャル障壁幅の増加により、トンネル電流が流れにくくなると考えられる。
そこで、第1の領域14aの面内方向全体における膜中キャリア濃度を、第2の領域14bの膜中キャリア濃度よりも低くし、第2の領域14bの面内方向全体における膜中キャリア濃度を第1の領域14aの膜中キャリア濃度よりも高くすることで、前記発光効率向上と主半導体領域2との界面での接触抵抗低減を両立することが出来る。
ただし、光透過性導電膜14の膜中酸素濃度が高いと、酸素欠損密度の低下によるキャリア密度低下により、主半導体領域2との界面での接触抵抗が上昇する。これはキャリア濃度低下によるポテンシャル障壁幅の増加により、トンネル電流が流れにくくなると考えられる。
そこで、第1の領域14aの面内方向全体における膜中キャリア濃度を、第2の領域14bの膜中キャリア濃度よりも低くし、第2の領域14bの面内方向全体における膜中キャリア濃度を第1の領域14aの膜中キャリア濃度よりも高くすることで、前記発光効率向上と主半導体領域2との界面での接触抵抗低減を両立することが出来る。
光透過性導電膜14は、例えば周知のスパッタ法などにより、第1の領域14aと第2の領域14bを1工程で成膜できる。具体的にはスパッタ装置を用いて、第1の領域14aは、Ar:20sccm、O2:0.5sccmの条件で成膜し、第2の領域14bは、Ar:20sccm、O2:0.1sccmの条件で成膜する。なお、特に限定されるものではないが、第1の領域14aは、光透過性導電膜14全膜厚の75%で形成している。
第1の電極(上側電極)3は金属層からなり、光透過性導電膜14上の一部の領域に形成される。
絶縁膜15は、光透過性導電膜14よりも光透過性が良い材料であり、酸化物及び窒化物よりなる発光に対して透過性を有する。例えば酸化シリコン(SiO2)や窒化シリコン(SiN)によって、光透過性導電膜14上の第1の電極(上側電極)3が配置されていない領域の表面を覆うように形成されている。絶縁膜15は光透過性導電膜14よりも光透過性が良い材料から成るので、この厚みを光透過性導電膜14よりも厚い例えば1500〜10000オングストロームとすることができる。
第2の電極(基板電極)4は金属層からなり、半導体基板1の裏面全面に形成されている。
上記のように、本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者は様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
本発明はここでは記載していない様々な実施形態を含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
本発明はここでは記載していない様々な実施形態を含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。
1 半導体基板
2 主半導体領域
3 第1の電極
4 第2の電極
10 バッファ層
11 n型半導体層
12 活性層
13 p型半導体層
14 光透過性導電膜
14a 第1の領域
14b 第2の領域
15 絶縁膜
2 主半導体領域
3 第1の電極
4 第2の電極
10 バッファ層
11 n型半導体層
12 活性層
13 p型半導体層
14 光透過性導電膜
14a 第1の領域
14b 第2の領域
15 絶縁膜
Claims (3)
- 基板と、
前記基板上に配設された、第1導電型の第1の半導体層、この第1の半導体層上に配設された前記第1導電型とは逆の第2導電型の第2の半導体層を有する主半導体領域と、
前記主半導体領域上に形成される光透過性導電膜と、
前記光透過性導電膜上に形成される絶縁膜と、を有し、
前記光透過性導電膜は、前記絶縁膜に近い側の第1の領域と、前記主半導体領域に近い側の第2の領域を有し、
前記第1の領域の面内方向全体における膜中キャリア濃度が、前記第2の領域における膜中キャリア濃度よりも低いことを特徴とする半導体発光装置。 - さらに、前記第1の領域の面内方向全体における膜中酸素濃度が、前記第2の領域における膜中酸素濃度よりも高いことを特徴とする請求項1に記載の半導体発光装置。
- さらに、前記光透過性導電膜は、亜鉛(Zn)、インジウム(In)、スズ(Sn)、及びマグネシウム(Mg)よりなる群から選択された少なくとも一種の元素を含む酸化物によって形成されたことを特徴とする請求項1または2に記載の半導体発光装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2022052085A1 (zh) * | 2020-09-14 | 2022-03-17 | 厦门乾照光电股份有限公司 | 一种具有改性层的led芯片及其制作方法 |
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2014
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