JP2016006014A5

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Info

Publication number: JP2016006014A5
Application number: JP2015172610A
Authority: JP
Filing date: 2015-09-02
Publication date: 2016-04-28
Anticipated expiration: 2032-09-28

Claims

成形体から熔融ガラスをオーバーフローさせてガラスシートを成形する成形工程と、
成形された前記ガラスシートを下方に引き延ばしながら冷却する冷却工程と、
冷却された前記ガラスシートを切断してガラス基板を得る切断工程と、
を備え、
前記成形体から離れた前記ガラスシートが徐冷点近傍になるまで冷却される空間の少なくとも一部において、前記ガラスシートの幅方向の中央領域の表面と対向する冷却速度制御部材が設けられ、
前記冷却速度制御部材を挟んで前記ガラスシートの反対側にある後方冷却空間は、前記ガラスシートの進行方向に沿って配置されている複数の冷却室から構成され、
前記冷却室の少なくとも一部は、冷却器によって冷却され、
前記冷却工程では、前記ガラスシートは、前記冷却室に接する前記冷却速度制御部材と対向しながら前記進行方向に沿って移動することで、段階的または連続的に冷却され、
前記冷却器の少なくとも一部は、
前記冷却室と、前記進行方向に沿って前記冷却室に隣接する空間との間の熱移動を抑制する断熱板と、
液体冷媒が内部を流れることで前記冷却室を冷却する冷媒管と、
を有し、
前記冷媒管は、前記断熱板の長手方向において複数回往復するように配置され、かつ、往復する前記冷媒管の列からなる平面である管平面を形成し、
前記管平面は、前記断熱板の下面と平行な平面である、
ガラス基板の製造方法。
前記冷却工程は、
前記ガラスシートの前記中央領域の温度が徐冷点になるまで、第１平均冷却速度で前記ガラスシートが冷却される第１冷却工程と、
前記ガラスシートの前記中央領域の温度が、徐冷点から、歪点より５０℃低い温度になるまで、第２平均冷却速度で前記ガラスシートが冷却される第２冷却工程と、
を有し、
前記第１平均冷却速度は、前記第２平均冷却速度より大きい、
請求項１に記載のガラス基板の製造方法。
前記冷却工程では、前記冷却速度制御部材によって、前記進行方向における前記ガラスシートの冷却速度が制御される、
請求項１または２に記載のガラス基板の製造方法。
前記成形体から離れた前記ガラスシートが冷却される空間において、前記ガラスシートの幅方向の端部を冷却する端部冷却装置が設けられ、
前記冷却工程では、前記端部冷却装置によって、前記ガラスシートの前記端部が、前記ガラスシートの前記中央領域よりも大きい速度で冷却されるように、前記ガラスシートが冷却される、
請求項１から３のいずれか１項に記載のガラス基板の製造方法。
前記冷却速度制御部材の、前記ガラスシートの対向面とは反対側の面には、前記ガラスシートの幅方向に沿って保温部材が設置され、
前記冷却工程では、前記保温部材によって、前記ガラスシートの幅方向の厚みおよび／または反りが制御される、
請求項１から４のいずれか１項に記載のガラス基板の製造方法。
前記冷却工程では、前記ガラスシートの前記中央領域の温度が軟化点近傍になるまでの空間の少なくとも一部において、前記保温部材の寸法の変更によって、前記ガラスシートの幅方向の板厚分布に応じて、前記ガラスシートの厚みが制御される、
請求項５に記載のガラス基板の製造方法。
前記冷却工程では、前記ガラスシートの厚みが制御された後、前記保温部材の寸法の変更によって、前記ガラスシートの前記中央領域から前記端部に向かって、前記ガラスシートの温度が段階的または連続的に下がるような温度プロファイルが形成されて、平面度が所定の範囲内となるように前記ガラスシートの反りが制御される、
請求項６に記載のガラス基板の製造方法。
成形体から熔融ガラスをオーバーフローさせてガラスシートを成形するための成形部と、
成形された前記ガラスシートを下方に引き延ばしながら冷却するための冷却部と、
冷却された前記ガラスシートを切断してガラス基板を得るための切断部と、
を備え、
前記成形体から離れた前記ガラスシートが徐冷点近傍になるまで冷却される空間の少なくとも一部において、前記ガラスシートの幅方向の中央領域の表面と対向する冷却速度制御部材が設けられ、
前記冷却速度制御部材を挟んで前記ガラスシートの反対側にある後方冷却空間を冷却するための冷却器を有し、
前記冷却器は、
前記空間を複数の冷却室に分割し、かつ、隣接する前記冷却室の間の熱移動を抑制する断熱板と、
液体冷媒が内部を流れることで前記冷却室を冷却する冷媒管と、
を備え、
前記冷媒管は、前記断熱板の長手方向において複数回往復するように配置され、かつ、往復する前記冷媒管の列からなる平面である管平面を形成し、
前記管平面は、前記断熱板の下面と平行な平面である、
ガラス基板の製造装置。
前記冷媒管は、その外径以上の間隔を空けて複数回往復するように配置され、
前記断熱板は、前記冷却室の壁面の内の一面を構成し、かつ、前記管平面に平行に、および、前記管平面に接しながら、前記冷媒管の列の上に、その自重を預けて設置される、
請求項８に記載のガラス基板の製造装置。
前記冷却器は、その両端部が支持された状態における、長手方向の中央部の自重によるたわみ量が、長手方向の長さに関わらず２０ｍｍ以下であるような剛性を有する、
請求項８または９に記載のガラス基板の製造装置。