JP2015519705A - Electrothermal planar cathode - Google Patents
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Abstract
小型X線管用の電熱平面陰極は、粒子安定化特性を有する薄いタンタル合金リボン箔(116)からレーザーカットされたらせんデザインとすることができる。裸のリボンに最低の張力を与えるような方法によりそのリボンを窒化アルミニウム基板(110)の基板に取り付けてから、らせんパターン(118)に機械加工する。らせんパターンは、電気的特性、熱的特性および放出特性に関して最適化することができる。【選択図】図1CAn electrothermal planar cathode for a miniature X-ray tube can be a spiral design that is laser cut from a thin tantalum alloy ribbon foil (116) with particle stabilization properties. The ribbon is attached to the substrate of the aluminum nitride substrate (110) in such a way as to give the bare ribbon a minimum tension and then machined into a spiral pattern (118). The helical pattern can be optimized with respect to electrical, thermal and emission characteristics. [Selection] Figure 1C
Description
X線管は、X線を発生する真空管である。X線管は、電子を真空中に放出する陰極および電子を収集する陽極を含んでいる。電子を加速するために陰極と陽極の間に高電圧電源が接続される。ある装置においては、非常に高い解像度の画像を必要とし、かつ、非常に小さい焦点サイズを形成することができるX線管を必要とする。 An X-ray tube is a vacuum tube that generates X-rays. The x-ray tube includes a cathode that emits electrons into a vacuum and an anode that collects the electrons. A high voltage power source is connected between the cathode and the anode to accelerate the electrons. Some devices require X-ray tubes that require very high resolution images and that can form very small focus sizes.
ある種類の陰極は、電球のフィラメントと同様に、らせん形状にらせん巻きされたタングステン・フィラメントを含んでいる。巻かれたフィラメントの問題は、加速電界に垂直でない表面から電子が放出されることである。これは、X線ターゲット上のコンパクトなスポットに電子を集中することを非常に困難にする。 One type of cathode, like the bulb filament, contains a tungsten filament that is spirally wound. The problem with wound filaments is that electrons are emitted from surfaces that are not perpendicular to the accelerating field. This makes it very difficult to focus the electrons on a compact spot on the X-ray target.
小型X線管用の電熱平面陰極は、薄いタンタル合金リボン箔(それは、粒子安定化特性を有し得る)などの箔からレーザーカットされたらせんデザインを含んでいる。裸のリボンに最低の張力を与えるような方法により、そのリボンを窒化アルミニウム基板などの基板にろう付けしてから、幾何学的パターン、例えば、らせん状に機械加工する。これは、カットプロセスまたは取り扱いおよび実装による平面パターンのねじれを防止する。任意選択で、らせんパターンは、電気特性および熱的特性について最適化することができる。結果の陰極アセンブリをヘッダーに搭載し、X線管の他の構成要素と機械的および電気的に接続する。 Electrothermal planar cathodes for small x-ray tubes include spiral designs that are laser cut from foils such as thin tantalum alloy ribbon foils, which can have particle stabilization properties. The ribbon is brazed to a substrate, such as an aluminum nitride substrate, in such a way as to give the bare ribbon a minimum tension, and then machined into a geometric pattern, eg, a spiral. This prevents twisting of the planar pattern due to the cutting process or handling and mounting. Optionally, the helical pattern can be optimized for electrical and thermal properties. The resulting cathode assembly is mounted on the header and mechanically and electrically connected to other components of the x-ray tube.
小型X線管用の電熱平面陰極は、薄いタンタル合金リボン箔(粒子安定化特性を有する)からレーザーカットされたらせんデザインを含んでいる。裸のリボンに最低の張力を与えるような方法によりそのリボンを窒化アルミニウム基板にろう付けしてから、幾何学的パターン、例えば、らせん状に機械加工する。これは、カットプロセスまたは取り扱いおよび実装による平面パターンのねじれを防止する。らせんパターンは、電気特性および熱的特性について最適化することができる。結果の陰極アセンブリをヘッダー(「第1基板」と呼ばれることもある)に搭載し、X線管の他の構成要素と機械的および電気的に接続する。陰極らせんの外側の残ったタンタル・テープは等電位面を形成し、それは、平行度が非常に高く集束の容易な電子ビームの形成を助ける。 Electrothermal planar cathodes for small x-ray tubes include a spiral design that is laser cut from a thin tantalum alloy ribbon foil (having particle stabilization properties). The ribbon is brazed to the aluminum nitride substrate in such a way as to give the bare ribbon a minimum tension and then machined into a geometric pattern, for example a spiral. This prevents twisting of the planar pattern due to the cutting process or handling and mounting. The helical pattern can be optimized for electrical and thermal properties. The resulting cathode assembly is mounted on a header (sometimes referred to as a “first substrate”) and mechanically and electrically connected to other components of the x-ray tube. The remaining tantalum tape outside the cathode helix forms an equipotential surface, which helps form an electron beam that is very parallel and easy to focus.
特定の実装形態は、機械加工に先立つ箔の基板への実装により、このような構造の脆弱性の問題を解決する。粒子安定化タンタルなどの粒子安定化箔または粒子安定化金属の使用は、重要である。なぜなら、陰極が動作温度で働くときに誘起される粒子成長により機械的ねじれ又は歪みが生ずる可能性があるからである。このねじれは、らせんをタンタル・リボンの平面から引き離す。 Certain implementations solve this structural vulnerability problem by mounting the foil on the substrate prior to machining. The use of particle-stabilized foils or particle-stabilized metals such as particle-stabilized tantalum is important. This is because the grain growth induced when the cathode works at the operating temperature can cause mechanical twisting or distortion. This twist pulls the helix away from the plane of the tantalum ribbon.
図1Aは、カット前の平面陰極の構造を示している。AlN基板110は、任意選択のアラインメント機構112および穴114を含んでいる。AlN基板110にろう付けされるタンタル・リボン116は、穴114上に取り付けられる。リボン(例えば、タンタル)は基板とわずかに重なり合っており、動作時に基板が迷走放出電流を吸収することを可能にしている。穴114は、例示的に、必要な大きさより大きく示されている。
FIG. 1A shows the structure of a flat cathode before cutting. The
図1Bは、レーザーカット後の平面陰極構造を示している。らせん切込み(カット)118が導入されている。らせんカットの入口と出口は、鋭いコーナーを最小限に抑えるために丸められており又は曲線的であり、したがって迷走放出電流を低減する。この実施形態では、らせん切込みの入口と出口は、コーナーの最小化を分かりやすく示すために誇張されている。
FIG. 1B shows a planar cathode structure after laser cutting. A
この実例実施形態では、基板110は、窒化アルミニウム(AlN)製である。
In this illustrative embodiment,
この実施形態は基板110中の開口部114上に浮かせているタンタル・リボン116の幾何学的パターン(具体的には、らせんカットが示されている)を示しているが、開口部は任意選択である。幾何学的パターンと基板110の間に熱的分離を設ける必要がある。実例により説明すると、熱的分離は、開口部、空洞により、または隙間が生ずるようにパターンを基板110の上に浮かせることにより実現することができる。
Although this embodiment shows a geometric pattern of tantalum ribbon 116 floating over an opening 114 in substrate 110 (specifically, a spiral cut is shown), the opening is optional. It is. It is necessary to provide thermal isolation between the geometric pattern and the
図1Cは、典型的なヘッダー130に実装された平面陰極およびレンズ・アセンブリ120を示す。
FIG. 1C shows a planar cathode and lens assembly 120 mounted on a
図2は、図1Aおよび図1Bに示した平面陰極のプロセス・フロー・チャートである。ステップ12において、タンタル箔をAlN基板にろう付けする。このろう付けは、箔により、AlN基板に活性ろう付け材料を使用して積層板を形成することにより、または基板を金属化し、かつ、通常のろう付けプロセスを使用して積層板を形成することにより、行うことができる。ステップ14において、らせんパターンをレーザーカットするか、またはエッチングする。その結果の陰極は、基板のおかげで、らせんパターンを傷つけずに取り扱うことができる。任意選択のアライメント機構は、基板の製造中に付加する。なぜなら、ろう付けまたはカット後にそれを機械加工することは、らせんを損傷する恐れがあるからである。このプロセスでは、らせんをカットする前に、アラインメント機構を使用して位置を較正し、らせんがアラインメント機構の中間に位置するようにする。ステップ18において、アラインメント機構を介して陰極アセンブリをヘッダー130に取り付けることにより、陰極と他の電子光学構成要素との電気的接続および機械的整列を与える。
FIG. 2 is a process flow chart of the planar cathode shown in FIGS. 1A and 1B. In
説明のための実例において、タンタル・リボンは、AlN基板にろう付けされている。なぜならそれらは同様の熱膨張係数を有しているからである。陰極が裁断されると、それは平面のままである。 In the illustrative example, the tantalum ribbon is brazed to the AlN substrate. Because they have a similar coefficient of thermal expansion. When the cathode is cut it remains flat.
この概念は、時間の経過とともに蒸発もねじれもしないその他の材料に拡張することができる。箔材料は、タングステン・レニウム、トリエーテッド・タングステン、タングステン合金、ハフニウム、および6eV未満の電子仕事関数を示すその他のタンタル・ベース材料を含むがそれらには限られない。コーティングをらせんに付加してらせんの仕事関数を低減し、それにより種々のらせん材料の使用を可能とし、かつ、十分な電子束を形成するために必要な温度および電力を低減することができる。 This concept can be extended to other materials that do not evaporate or twist over time. Foil materials include, but are not limited to, tungsten rhenium, triated tungsten, tungsten alloys, hafnium, and other tantalum based materials that exhibit an electron work function of less than 6 eV. A coating can be added to the helix to reduce the work function of the helix, thereby allowing the use of a variety of helix materials and reducing the temperature and power required to form sufficient electron flux.
Claims (18)
箔および第2基板の積層板であって、前記箔および前記第2基板が一致する熱膨張係数を有し、前記積層板が前記第1基板に付着される、箔および第2基板の積層板と、
を含む平面陰極であって、
前記箔は、所定の幾何学的パターンに形成され、前記箔は、面積、電圧、電流、電力、および電子放出を含む群から選択された性能パラメータを有し、
前記幾何学的パターンと前記第1基板との間は、熱的に分離されている、平面陰極。 A first substrate;
A laminate of foil and a second substrate, wherein the foil and the second substrate have matching thermal expansion coefficients, and the laminate is attached to the first substrate When,
A planar cathode comprising:
The foil is formed in a predetermined geometric pattern, the foil having performance parameters selected from the group comprising area, voltage, current, power, and electron emission;
A planar cathode, wherein the geometric pattern and the first substrate are thermally separated.
前記アラインメント機構は、穴、機械的機構、および光学的機構を含む群から選択された、請求項1に記載の平面陰極。 The first substrate further includes an alignment mechanism,
The planar cathode of claim 1, wherein the alignment mechanism is selected from the group comprising a hole, a mechanical mechanism, and an optical mechanism.
前記積層板の前記箔を所定の幾何学的パターンに形成するステップと、
前記積層板をヘッダーに搭載するステップと、
を含む平面陰極を製造する方法。 Brazing the foil to the substrate to form a laminate;
Forming the foil of the laminate in a predetermined geometric pattern;
Mounting the laminate on a header;
A method for producing a flat cathode comprising:
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