JP2015509641A - 自己確認型質量流量制御器および自己確認型質量流量計を提供するためのシステムおよび方法 - Google Patents
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Abstract
Description
流入口であって、該流入口の上流に外部隔離バルブを有する気体供給ラインから前記流体を受け取る流入口と、前記流体が前記質量流量制御器を通過する通路と、前記通路を通る前記流体の質量流量に対応する信号を提供する質量流量センサーと、前記質量流量制御器の流出口から出る前記流体の前記流量を調節する調整可能バルブと、前記調整可能バルブを所望のバルブ位置に調整するバルブ制御信号を印加して、前記質量流量制御器の流出口から出る前記流体の前記流量を制御するコントローラーと、外部隔離バルブに結合されるように構成された継電器と、バルブ閉鎖信号を前記外部隔離バルブに送信することによって前記外部隔離バルブを閉鎖する命令を実行した後に、元の位置での減衰速度測定を実行する命令を実行する少なくとも1つの処理構成要素とを具備する装置も含む。
本発明の例示の実施形態は、添付図面の図を参照して以下で詳細に説明される。これらの図は、引用することによって本明細書の一部をなす。
102 センサーハウジング
108 基部
110 ステップ
112 圧力トランスデューサー
120 流体流入口
130 流体流出口
140 熱式質量流量計
140 質量流量センサー
142 バイパス
146 熱式流量センサー
146A センサー流入口部分
146B センサー流出口部分
146C センサー測定部分
147 抵抗器
148 抵抗器
150 制御バルブ組立体
158 電気導体
159 電気導体
160 閉ループシステムコントローラー
170 制御バルブ
180 継電器
190 電気構成要素
200 ツールコントローラー
202 内部バルブ
204 ツールパイロットバルブ
206 気体供給ライン
210 隔離バルブ
210M 隔離バルブ
211 バルブ
212 空気圧供給ライン
212i 第1の空気圧ライン
212o 第2の空気圧ライン
214 電気ライン
222 隔離バルブ
250 質量流量制御器
280 流入口ブロック
282 ピエゾバルブ
300 質量流量制御器
350 質量流量制御器
Claims (20)
- 上流側に外部隔離バルブを設けた気体供給ラインから流体を受け取る流入口と、
前記流体が該装置を通過する通路と、
前記通路を通る前記流体の質量流量に対応する信号を提供する質量流量センサーと、
前記通路に結合され該通路内の所定部位で圧力を測定する圧力トランスデューサーと、
ツールパイロットバルブに結合された第1の空気圧ラインを受容する内部バルブであって、該内部バルブからの第2の空気圧ラインを前記流入口の上流の外部隔離バルブに結合する内部バルブとを具備する装置。 - 前記内部バルブを用いて前記第1の空気圧ラインを通って受け取られる空気流を阻止することによって前記外部隔離バルブを閉鎖する命令を実行した後、元の位置での減衰速度測定を実行する命令を実行する少なくとも1つの処理構成要素を更に備える請求項1に記載の装置。
- 前記第1の空気圧ラインおよび前記第2の空気圧ラインは、該装置の上面上の開口を通る経路に設定されている請求項2に記載の装置。
- 前記第1の空気圧ラインおよび前記第2の空気圧ラインは、該装置の側面上の開口を通る経路に設定されている請求項2に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの処理構成要素は、減衰速度測定を完了するための時間の長さを特定する命令と、該装置を利用しているツールのプロセスを妨害することなく、該ツールの処理時間におけるパターンを解析して、該装置が前記減衰速度測定を完了することを可能にする処理時間セグメントを特定する命令と、特定された処理時間セグメント中に前記元の位置での減衰速度測定を実行する命令とを実行するように更に構成されている請求項3に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの処理構成要素は、該装置の特性が所与の時間期間に或る量だけ変化したことを前記元の位置での減衰速度測定が示している場合、アラームを発生する命令を実行するように更に構成されている請求項3に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの処理構成要素は、2つの異なる測定モードのうちの一方で前記元の位置での減衰速度測定を実行する命令を実行するように更に構成されている請求項3に記載の装置。
- 該装置の内部で実行された様々な測定の内部でのログ記録および傾向化のためのメモリを更に備える請求項3に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの処理構成要素は、前記元の位置での減衰速度測定の結果に基づいて該処理構成要素の較正およびオフセットを自己補正する命令を実行するように更に構成されている請求項3に記載の装置。
- 流入口であって、該流入口の上流に外部隔離バルブを有する気体供給ラインから前記流体を受け取る流入口と、
前記流体が該装置を通過する通路と、
前記通路を通る前記流体の質量流量に対応する信号を提供する質量流量センサーと、
前記通路内の地点における圧力を測定する、前記通路に結合された圧力トランスデューサーと、
ツールコントローラーからの第1の電気ラインとツールパイロットバルブへの第2の電気ラインとの間に結合されるように構成された継電器と、
を備える、装置。 - バルブ閉鎖信号を前記第2の電気ラインを介して前記ツールパイロットバルブに送信することによって前記外部隔離バルブを閉鎖する命令を実行した後に、元の位置での減衰速度測定を実行する命令を実行する少なくとも1つの処理構成要素を更に備える請求項10に記載の装置。
- 請求項11に記載の装置であって、前記少なくとも1つの処理構成要素は、減衰速度測定を完了するための時間の長さを特定する命令と、該装置を利用しているツールのプロセスを妨害することなく、該ツールの処理時間におけるパターンを解析して、該装置が前記減衰速度測定を完了することを可能にする処理時間セグメントを特定する命令と、特定された処理時間セグメント中に前記元の位置での減衰速度測定を実行する命令とを実行するように更に構成されている、装置。
- 前記少なくとも1つの処理構成要素は、2つの異なる測定モードのうちの一方で前記元の位置での減衰速度測定を実行する命令を実行するように更に構成されている請求項11に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの処理構成要素は、前記元の位置での減衰速度測定の結果に基づいて該処理構成要素の較正およびオフセットを自己補正する命令を実行するように更に構成されている請求項11に記載の装置。
- 上流側に外部隔離バルブが設けられている気体供給ラインから前記流体を受け取る流入口と、
前記流体が該装置を通過する通路と、
前記通路を通る前記流体の質量流量に対応する信号を提供する質量流量センサーと、
前記通路に結合され該通路内の所定部位で圧力を測定する圧力トランスデューサーと、
前記外部隔離バルブに結合されるように構成された継電器とを具備する装置。 - バルブ閉鎖信号を前記外部隔離バルブに送信することによって該外部隔離バルブを閉鎖する命令を実行した後に、元の位置での減衰速度測定を実行する命令を実行する少なくとも1つの処理構成要素を更に備える請求項15に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの処理構成要素は、減衰速度測定を完了するための時間の長さを特定する命令と、該装置を利用しているツールのプロセスを妨害することなく、該ツールの処理時間におけるパターンを解析して、該装置が前記減衰速度測定を完了することを可能にする処理時間セグメントを特定する命令と、特定された処理時間セグメント中に前記元の位置での減衰速度測定を実行する命令と、前記装置の特性が所与の時間期間で或る量だけ変化したことを前記元の位置での減衰速度測定が示している場合、アラームを発生する命令とを実行するように更に構成されている請求項16に記載の装置、
- 前記少なくとも1つの処理構成要素は、2つの異なる測定モードのうちの一方で前記元の位置での減衰速度測定を実行する命令を実行するように更に構成されている請求項16に記載の装置。
- 前記少なくとも1つの処理構成要素は、前記元の位置での減衰速度測定の結果に基づいて該処理構成要素の較正およびオフセットを自己補正する命令を実行するように更に構成されている請求項16に記載の装置。
- 空気圧ラインに結合され、該空気圧ラインからの空気流を受け取ったことに応答して開放する第1のバルブと、
電気信号を受信する第2のバルブであって、前記空気圧ラインからの前記空気流を阻止して前記第1のバルブを閉鎖させるように動作可能な第2のバルブとを具備する隔離バルブ。
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