JP2015504407A - トリハロシランの精製装置 - Google Patents
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Abstract
Description
0.0132P3−0.624P2+12.673P+41.371≦Tm≦0.0132P3−0.624P2+12.673P+51.371
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図4に示された構造のように、分離壁型蒸留塔31、第1蒸留塔32、第2蒸留塔33及び第3蒸留塔34が連結された精製装置を使用して通常の方式で製造されたものであって、トリクロロシランを含むフィードを精製する工程をシミュレートした。前記シミュレートは、Aspen Plusを使用して行い、そのシミュレートの条件は、下記表1及び表2に記載した。前記工程で分離壁型蒸留塔31に導入されるフィードは、前記蒸留塔31の予備分離領域の上部(塔頂領域側)からその長さの3/10地点に設置された流出口に導入し、トリクロロシランを含む流出物は、前記蒸留塔31の分離壁区間の上部(塔頂領域側)からその長さの7/9地点に設置された第2流出口から流出させた。前記精製装置において分離壁型蒸留塔31の分離壁の長さは、前記蒸留塔31の全体理論段数の30%程度の水準とし、シミュレート時に、前記蒸留塔31の塔頂圧力は、5.8Kg/sqcmG程度に維持されるようにした。
図5に示されたように、通常の蒸留塔5機が連結された精製装置を使用して実施例1と同一のフィード内でトリクロロシランを精製する過程をシミュレートした。前記シミュレートは、実施例1と同一のAspen Plusを使用して行い、そのシミュレートの条件は、下記表5に記載した。
101 分離壁
102 凝縮器
103 再沸器
104 塔頂領域
105 塔底領域
106 予備分離領域
107 主分離領域
F フィード
EU、EM、ED 流出物
DW 分離壁区間、予備または主分離領域またはその長さ
32〜34 実施例1の第1〜第3蒸留塔
41〜45 比較例1の第1〜第5蒸留塔
A〜K 実施例1または比較例1での各ストリーム(stream)
Claims (16)
- 内部に塔頂領域、予備分離領域、主分離領域及び塔底領域が形成されていて、前記予備分離領域にトリハロシランを含むフィードを導入することができるように設置された流入口、第1流出口、第2流出口及び第3流出口を含む分離壁型蒸留塔と、前記分離壁型蒸留塔に連結されている第1蒸留塔とを含むトリハロシランの精製装置であって、前記第2流出口は、前記主分離領域の分離壁区間の1/9〜8/9区間に形成されているトリハロシランの精製装置。
- 前記塔頂領域または前記塔底領域のオープン長さは、800mm〜3,500mmである、請求項1に記載のトリハロシランの精製装置。
- 前記分離壁型蒸留塔の前記分離壁の長さは、前記分離壁型蒸留塔の全体理論段数の30%以上である、請求項1または2に記載のトリハロシランの精製装置。
- 前記流入口は、前記予備分離領域の1/10〜9/10区間に設置されている、請求項1から3の何れか1項に記載のトリハロシランの精製装置。
- 前記第1蒸留塔は、前記第2流出口から流出される成分が導入され得るように前記分離壁型蒸留塔に連結されている、請求項1から4の何れか1項に記載のトリハロシランの精製装置。
- 前記第3流出口は、前記塔底領域の成分が流出され得るように設置されていて、前記第3流出口から流出される成分が導入され得るように前記分離壁型蒸留塔に連結されている第2蒸留塔をさらに含む、請求項1から5の何れか1項に記載のトリハロシランの精製装置。
- 前記第1蒸留塔の下部で流出される成分が導入され得るように設置された第3蒸留塔をさらに含む、請求項1から6の何れか1項に記載のトリハロシランの精製装置。
- 内部に塔頂領域、予備分離領域、主分離領域及び塔底領域が形成されていて、前記予備分離領域にトリハロシランを含むフィードを導入することができるように設置された流入口、第1流出口、第2流出口及び第3流出口を含む分離壁型蒸留塔の前記流入口にトリハロシランを含むフィードを導入し、前記主分離領域の分離壁区間の1/9〜8/9区間に形成されている前記第2流出口から流出される成分を第1蒸留塔に導入することを含むトリハロシランの精製方法。
- 前記フィードを前記予備分離領域の1/10〜9/10区間に設置されている流入口に導入する、請求項8に記載のトリハロシランの精製方法。
- 前記第2流出口またはそれから流出される流出物の温度を5.8Kg/sqcmGの圧力で86.4℃〜116.4℃に維持する、請求項8または9に記載のトリハロシランの精製方法。
- 前記第1蒸留塔の運転圧力及び運転温度をそれぞれ−0.6Kg/sqcmG〜9.0Kg/sqcmG及び37℃〜145℃に維持する、請求項8から10の何れか1項に記載のトリハロシランの精製方法。
- 前記第3流出口は、前記塔底領域の成分が流出され得るように前記分離壁型蒸留塔に設置されていて、前記第3流出口から流出される成分を第2蒸留塔に導入することをさらに含む、請求項8から11の何れか1項に記載のトリハロシランの精製方法。
- 前記第3流出口またはそれから流出される流出物の温度を5.8Kg/sqcmGの圧力で129.9℃〜159.9℃に維持する、請求項12に記載のトリハロシランの精製方法。
- 前記第2蒸留塔の運転圧力及び運転温度をそれぞれ0.1Kg/sqcmG〜52.5Kg/sqcmG及び37℃〜223.5℃に維持する、請求項12または13に記載のトリハロシランの精製方法。
- 前記第1蒸留塔の下部流出物を第3蒸留塔に導入することをさらに含む、請求項8から14の何れか1項に記載のトリハロシランの精製方法。
- 前記第3蒸留塔の運転圧力及び運転温度をそれぞれ0.1Kg/sqcmG〜50.5Kg/sqcmG及び37℃〜219.5℃に維持する、請求項15に記載のトリハロシランの精製方法。
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