JP2015502258A - Method and apparatus for optimally laser marking an object - Google Patents

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Abstract

本発明は、対象物へのレーザマーキングに関するものである。特に、本発明は、対象物に塗布されたコーティングをレーザアブレーティングすることによって対象物の下地表面を露出させ、これにより対象物の露出面と隣接する残存コーティングとの間で外観にコントラストをつけることによってマークを形成する、対象物へのレーザマーキングに関するものである。均一で商業的に望ましい外観とし、システムスループットを許容できる範囲に維持しつつ、下地表面にダメージを与えることのないようにレーザパラメータが選択される。特に、システムスループットを許容できる範囲に維持しつつ、望ましい外観を呈するようにレーザパルスエンベロープが調整される。The present invention relates to laser marking on an object. In particular, the present invention exposes the underlying surface of the object by laser ablating the coating applied to the object, thereby contrasting the appearance between the exposed surface of the object and the adjacent residual coating. It is related with the laser marking to the target object which forms a mark by this. The laser parameters are selected so that they have a uniform and commercially desirable appearance, maintain system throughput in an acceptable range, and do not damage the underlying surface. In particular, the laser pulse envelope is adjusted to give the desired appearance while maintaining system throughput in an acceptable range.

Description

本発明は、対象物へのレーザマーキングに関するものである。特に、本発明は、対象物に塗布されたコーティングをレーザアブレーティングすることによって対象物の下地表面を露出させ、これにより対象物の露出面と隣接する残存コーティングとの間で外観にコントラストをつけることによってマークを形成する、対象物へのレーザマーキングに関するものである。また、第1のコーティング又は最も上のコーティング層をレーザアブレーティングして第2のコーティング層の下地を露出させ、露出させた第2のコーティングと隣接する第1のコーティングとの間にコントラストをつけることでマークを形成することによって、このマークを形成してもよい。均一で商業的に望ましい外観とし、システムスループットを許容できる範囲に維持しつつ、下地表面にダメージを与えることのないようにレーザパラメータが選択される。特に、システムスループットを許容できる範囲に維持しつつ、望ましい外観を呈するようにレーザパルスエンベロープが調整される。   The present invention relates to laser marking on an object. In particular, the present invention exposes the underlying surface of the object by laser ablating the coating applied to the object, thereby contrasting the appearance between the exposed surface of the object and the adjacent residual coating. It is related with the laser marking to the target object which forms a mark by this. In addition, the first coating or the uppermost coating layer is laser ablated to expose the base of the second coating layer, and a contrast is provided between the exposed second coating and the adjacent first coating. This mark may be formed by forming a mark. The laser parameters are selected so that they have a uniform and commercially desirable appearance, maintain system throughput in an acceptable range, and do not damage the underlying surface. In particular, the laser pulse envelope is adjusted to give the desired appearance while maintaining system throughput in an acceptable range.

発明の背景Background of the Invention

販売されている製品は、一般に、商業目的、規制目的、装飾目的、又は機能目的のために製品上に何らかの種類のマーキングを必要とする。マークとは、隣接する表面に対して視覚的にコントラストのある対象物表面の連続領域又は範囲をいう。マーキングのために望ましい属性には、一貫した外観、耐久性、及び適用し易さが含まれる。外観とは、確実にかつ反復可能にマークに対して選択された形状、均一色、及び光学密度を持たせることができることをいう。耐久性とは、マークが付けられた表面に対する摩耗にも関わらず変更されないまま残る性質をいう。適用し易さとは、材料のコストや、プログラム可能であることを含む、マークを生成する時間と資源をいう。プログラム可能であるとは、画面やマスクなどのハードウェアを変更するのではなく、ソフトウェアを変更することによって、マークされる新しいパターンでマーキング装置をプログラミングできることをいう。   Products that are sold generally require some kind of marking on the product for commercial, regulatory, decorative, or functional purposes. A mark refers to a continuous region or range on the surface of an object that is visually contrasted with an adjacent surface. Desirable attributes for marking include consistent appearance, durability, and ease of application. Appearance refers to the ability to reliably and repeatably have a selected shape, uniform color, and optical density for a mark. Durability refers to the property of remaining unchanged despite wear on the marked surface. Ease of application refers to the time and resources to generate a mark, including the cost of the material and being programmable. Programmable means that the marking device can be programmed with a new pattern to be marked by changing the software rather than changing the hardware such as the screen or mask.

特に問題となるのは、コーティングされた対象物又は塗装された対象物上にマークを生成することである。金属や様々な種類のプラスチックからなる対象物は、その対象物の表面の外観を保護したり変化させたりするために、塗装されるか、あるいは様々な工業的コーティングに被覆されることが多い。コーティング、特にパターンをレーザアブレーティングしてコーティングを除去して対象物の下地表面を露出させることは、対象物にマークを付けるための望ましい方法である。対象物を2層以上のコーティングで被覆し、第1のコーティングをレーザアブレーティングして第2のコーティング下地を露出させることは、マークを付けるための別の望ましい方法である。レーザを使ってコーティングを除去し、対象物の下地を露出させることによって製品にマークを付けることが、2008年6月26日に公開された発明者長井将剛による米国特許出願公開第2008/0152859に述べられている。この方法は、対象物の表面よりも明るくしたコーティングの明るさを用いている。1992年10月29日に公開された発明者岩崎登による特願平03−150842は、レーザを用いて1層以上のコーティング層を除去し、コーティング層の下地を露出させることについて述べている。   Of particular concern is the creation of marks on coated or painted objects. Objects made of metal or various types of plastics are often painted or coated with various industrial coatings to protect or change the appearance of the surface of the object. Laser ablating the coating, particularly the pattern, to remove the coating and expose the underlying surface of the object is a desirable method for marking the object. Covering the object with two or more coatings and laser ablating the first coating to expose the second coating substrate is another desirable method for marking. Marking the product by using a laser to remove the coating and expose the substrate of the object is disclosed in US Patent Application Publication No. 2008/0152859 by inventor Shogo Nagai, published June 26, 2008. It is stated in. This method uses a coating brightness that is brighter than the surface of the object. Japanese Patent Application No. 03-150842 by inventor Noboru Iwasaki, published on October 29, 1992, describes using a laser to remove one or more coating layers and exposing the underlying layer of the coating layer.

これらの文献に共通していることは、除去されるコーティング層の下にある材料を除去することなくコーティングを除去するためには、除去される材料のレーザアブレーション閾値を材料の下地のレーザアブレーション閾値よりも低くしなければならないことである。レーザアブレーション閾値は、材料の除去のために必要な最小エネルギーである。この除去は、レーザにより十分なエネルギーが材料に注入され、材料がプラズマに解離するようなアブレーションを起こすものであってもよいし、あるいは、材料が本質的に溶融して蒸発する熱的なものであってもよいし、あるいはそれら2つを組み合わせたものであってもよい。アブレーション閾値に関係するものはダメージ閾値である。ダメージ閾値は、材料の外観に望ましくない変化を生じさせるのに必要な最小レーザエネルギーである。材料のダメージ閾値は、一般的にアブレーション閾値よりも低く、時としてアブレーション閾値よりも非常に低い。対象物や最上層のレーザ除去後の下地コーティングを構成する材料の外観の望ましくない変化をダメージとして定義する。   Common to these documents is that in order to remove the coating without removing the material underlying the removed coating layer, the laser ablation threshold of the material to be removed is set to the laser ablation threshold of the underlying material. It must be lower than that. The laser ablation threshold is the minimum energy required for material removal. This removal may be ablation in which sufficient energy is injected into the material by the laser and the material dissociates into a plasma, or a thermal one that the material essentially melts and evaporates. Or a combination of the two. What is related to the ablation threshold is the damage threshold. The damage threshold is the minimum laser energy required to cause an undesirable change in material appearance. Material damage thresholds are generally lower than ablation thresholds and sometimes much lower than ablation thresholds. Damage is defined as an undesirable change in the appearance of the material comprising the underlying coating after laser removal of the object or top layer.

対象物の表面にダメージを与えることなく、材料の最上層を綺麗にかつ完全に除去するためには、レーザフルエンスは、上にある材料のアブレーション閾値よりも大きく、下地材料又は対象物の表面のアブレーション閾値又はダメージ閾値よりも小さくなければならない。多くの場合において、この差は小さいので、レーザフルエンスを正確に制御する必要がある。加えて、これらの材料についてのアブレーション閾値及びダメージ閾値の実際の値は、適用例における位置やわずかな変化に依存する場合がある。また、これらの材料についてのアブレーション閾値及びダメージ閾値の実際の値は、時間の関数として変化し得る。対象物が加工される際に、レーザ除去プロセスにより生じた熱が、対象物又はコーティングにより保持されて、アブレーション閾値又はダメージ閾値に影響を与える場合がある。したがって、特定のレーザを用いた特定の時点での特定の対象物への商業的に望ましいマーキングを可能にする単一のレーザフルエンスを選択し得るが、対象物又はコーティング又はレーザにわずかな変化があれば、望ましい結果が得られないプロセスとなってしまう。所望の材料のアブレーションを生じる最小フルエンスと、下地材料に対するダメージを与えない最小フルエンスと間の差はプロセスウィンドウと呼ばれる。製造する際には、システムスループットに悪影響を与えるシステム調整を必要とすることなく、材料及び加工システムにおける変化に対処するためには、特定の対象物に対するプロセスウィンドウを大きくして、実際上最大限にマークを付けることが非常に望ましい。   In order to cleanly and completely remove the top layer of material without damaging the surface of the object, the laser fluence is greater than the ablation threshold of the overlying material and the surface of the underlying material or object. Must be less than the ablation threshold or damage threshold. In many cases this difference is small and the laser fluence needs to be accurately controlled. In addition, the actual values of the ablation threshold and damage threshold for these materials may depend on the location and slight changes in the application. Also, the actual values of ablation threshold and damage threshold for these materials can vary as a function of time. As the object is processed, the heat generated by the laser removal process may be retained by the object or coating and affect the ablation threshold or damage threshold. Thus, a single laser fluence can be selected that allows a commercially desirable marking on a particular object at a particular time using a particular laser, but there is a slight change in the object or coating or laser. If so, the process will not produce the desired results. The difference between the minimum fluence that causes ablation of the desired material and the minimum fluence that does not damage the underlying material is called the process window. When manufacturing, to accommodate changes in materials and processing systems without the need for system adjustments that adversely affect system throughput, the process window for a particular object can be increased to a practically maximum. It is highly desirable to mark

望まれているが従来技術に開示されていないことは、対象物の表面に望ましくない材料を残さずに、装置を頻繁に調整する必要のない、確実にかつ反復可能に材料を除去できる方法である。そして、必要とされていることは、レーザを用いて、システムスループットを許容できる範囲に維持しつつ、下地材料に望ましくない材料を残すことなくコーティング層を除去して、コーティングされた対象物上に望ましい外観を有するマークを確実にかつ繰り返し可能に生成するための方法である。   What is desired but not disclosed in the prior art is a method that allows material to be removed reliably and repeatably without leaving undesired material on the surface of the object and without the need for frequent adjustment of the device. is there. And what is needed is to use a laser to remove the coating layer without leaving an undesirable material in the underlying material while maintaining system throughput in an acceptable range, and onto the coated object. A method for reliably and repeatably generating marks having a desired appearance.

本発明の態様は、コーティングされた試料上にレーザマーキングシステムを用いて所望の特性を有するマークを生成する。このレーザマーキングシステムは、第1の減衰レベルでレーザビームを伝搬し、所定の時間間隔の後、上記減衰を第2の減衰レベルに変更する制御可能なビーム減衰器を備え、これにより所望の特性を有するレーザマークを生成する。制御可能なビーム減衰器を追加することによりレーザフルエンスが制御可能となる。フルエンスは、単位面積当たりに照射される累積レーザエネルギーとして定義され、ジュール/cm2の単位で測定される。本発明の態様は、マークの第1の部分に所望の特性を有するマークを生成することに関連付けられた第1のレーザフルエンスを提供する。そして、本発明の態様は、マークの第2の部分に所望の特性を有するマークを生成することに関連付けられた第2のレーザフルエンスを提供し、これにより所望の特性を有するマークを生成する。 Embodiments of the present invention use a laser marking system on a coated sample to produce marks having desired properties. The laser marking system includes a controllable beam attenuator that propagates a laser beam at a first attenuation level and changes the attenuation to a second attenuation level after a predetermined time interval, thereby providing desired characteristics. Is generated. Laser fluence can be controlled by adding a controllable beam attenuator. Fluence is defined as the cumulative laser energy irradiated per unit area and is measured in units of joules / cm 2 . Aspects of the invention provide a first laser fluence associated with generating a mark having a desired characteristic in a first portion of the mark. An aspect of the present invention then provides a second laser fluence associated with generating a mark having a desired characteristic in a second portion of the mark, thereby generating a mark having the desired characteristic.

上面コーティング層をアブレーティングして対象物の別のコーティング又は表面である下地層を露出させることによりコーティングされた対象物上にマークを形成するには、アブレーティングされる材料に対するアブレーション閾値が下地材料に対するアブレーション閾値よりも低くなければならない。多くの場合、これは材料を適切に選択することにより可能である。例えば、下地層よりも暗いかあるいは反射しにくい最も上面のコーティング又は塗料は、下地層よりも多くのレーザエネルギーを吸収し、典型的にはより低いフルエンス閾値でアブレーティングされる。   To form a mark on a coated object by ablating the top coating layer to expose another coating or surface of the object, the ablation threshold for the material to be ablated is Must be below the ablation threshold for. In many cases this is possible by appropriate selection of materials. For example, the top coating or paint that is darker or less reflective than the underlying layer absorbs more laser energy than the underlying layer and is typically ablated at a lower fluence threshold.

本発明の態様は、所望の外観を呈するマークを生成するために、マーキングを施す際のダメージ閾値を考慮する。効率的にマークを生成するために、下地材料にダメージを与えることなく材料除去速度を最大にするように照射密度が調整される。照射密度は対象物の表面に照射されたエネルギーの割合を測定するものであり、ツール経路はレーザビームがマーク上の各点に向けられる時間を示すものであるため、照射密度をツール経路と組み合わせることによりフルエンスが決まる。スループットを最大化するために対象物に対するレーザビームの移動速度を最大化しつつ、レーザビームの照射密度とツール経路は、除去される材料のアブレーション閾値よりも大きく、かつ下地材料のダメージ閾値よりも小さくなるように計算される。これらの閾値がマーキングプロセス中の異なる時点でマークの異なる領域に関して異なることがあるのが難しい点である。商業的に望ましい外観と許容可能な材料除去速度、ひいてはマークのある領域における許容可能なスループットを提供するレーザパラメータは、マークの他の領域における下地材料にダメージを与える可能性がある。図2は、単一の照射密度及び移動速度によって対象物をレーザマーキングした結果を示しており、その結果は不均一であり商業的に許容できないものである。商業的に望ましい外観のマークを生じる1組のレーザパラメータを選択することは可能であるかもしれないが、得られる材料除去速度は、マークのすべての部分についての許容可能な除去速度のうち最も速いものを上回ってはならず、これにより許容できないほどスループットが低くなる。本発明の態様は、単一のレーザフルエンスが用いられた場合には典型的に残ってしまう材料を除去するために、各組のレーザパルスの開始時にレーザフルエンスを大きくする。   Aspects of the present invention take into account the damage threshold at the time of marking in order to generate a mark that exhibits the desired appearance. In order to generate marks efficiently, the irradiation density is adjusted to maximize the material removal rate without damaging the underlying material. Irradiation density is a measure of the fraction of energy irradiated on the surface of the object, and the tool path indicates the time that the laser beam is directed to each point on the mark, so combine the irradiation density with the tool path. This determines the fluence. The laser beam illumination density and tool path are greater than the ablation threshold of the material to be removed and smaller than the damage threshold of the underlying material, while maximizing the speed of movement of the laser beam relative to the object to maximize throughput. Is calculated as follows. The difficulty is that these thresholds can be different for different areas of the mark at different times during the marking process. Laser parameters that provide a commercially desirable appearance and an acceptable material removal rate, and thus an acceptable throughput in certain areas of the mark, can damage the underlying material in other areas of the mark. FIG. 2 shows the result of laser marking an object with a single illumination density and moving speed, the result being non-uniform and commercially unacceptable. While it may be possible to select a set of laser parameters that produce a mark with a commercially desirable appearance, the resulting material removal rate is the fastest of the acceptable removal rates for all parts of the mark Do not exceed that, which will unacceptably reduce throughput. Aspects of the present invention increase the laser fluence at the start of each set of laser pulses to remove material that would typically remain if a single laser fluence was used.

特定の位置における材料に対するダメージ閾値は、その位置に現在向けられているレーザの照射密度に依存しているだけではなく、レーザ照射に対する曝露の最近の履歴にも依存している。したがって、単にレーザフルエンスを測定するだけでは、レーザ加工後の材料の外観を適切に予測できない。これは、その位置又はその近傍の位置における以前の照射が材料を加熱する傾向があるためである。計算された残留加熱に基づいて、本発明の態様は、レーザフルエンスを変化させて、レーザパルス群における初期レーザパルスのフルエンスを増加させることによって、以前のレーザ照射により低下したダメージ閾値を補償する。   The damage threshold for a material at a particular location is not only dependent on the irradiation density of the laser currently directed at that location, but also on the recent history of exposure to laser radiation. Therefore, the appearance of the material after laser processing cannot be appropriately predicted simply by measuring the laser fluence. This is because previous irradiation at or near that location tends to heat the material. Based on the calculated residual heating, aspects of the present invention compensate for the damage threshold reduced by previous laser irradiation by changing the laser fluence and increasing the fluence of the initial laser pulses in the group of laser pulses.

本発明の態様は、下地材料に対してダメージを与えることを避けつつレーザマーキングシステムのスループットを上げるために、パルス持続時間やパルス補充速度のようなレーザパルスパラメータ又はスポットサイズやレーザビーム位置、又はレーザビーム速度のようなツール経路パラメータをはじめとする種々のレーザパラメータを制御する。所望の材料除去速度が得られるようにレーザが選択され、パワーや繰り返し率、パルス時間的形状及びパルス持続時間が選択される。そして、下地材料にダメージを与えることを避けつつ所望の材料除去速度が得られるように、ツール経路、すなわちレーザが対象物を照射してマークを形成する位置と回数が計算される。ツール経路の計算の一例は、レーザパルスと対象物との間の相対運動の速度を変更することにより制御される、対象物上の後続パルス間の間隔である。ツール経路の計算の他の例は、焦点スポットを対象物の表面の上方又は下方の点までZ軸に移動させることにより照射密度を制御するスポットサイズである。ツール経路の計算のさらなる例は、パルス位置の隣り合う列間の間隔を計算する。ラスタ手法により移動されるライン内でマークされる領域をカバーするようなツール経路が選択される。   Aspects of the present invention provide laser pulse parameters such as pulse duration and pulse replenishment speed or spot size or laser beam position, or to increase laser marking system throughput while avoiding damage to the underlying material, or Control various laser parameters including tool path parameters such as laser beam velocity. The laser is selected to achieve the desired material removal rate, and the power, repetition rate, pulse time shape and pulse duration are selected. Then, the tool path, that is, the position where the laser irradiates the object to form the mark and the number of times are calculated so as to obtain a desired material removal speed while avoiding damage to the underlying material. An example of a tool path calculation is the spacing between subsequent pulses on the object that is controlled by changing the speed of relative motion between the laser pulse and the object. Another example of a tool path calculation is a spot size that controls the illumination density by moving the focal spot in the Z axis to a point above or below the surface of the object. A further example of calculating the tool path calculates the spacing between adjacent columns of pulse positions. A tool path is selected that covers the area to be marked in the line moved by the raster technique.

本発明の態様は、レーザの出力を制御する。ツール経路を本発明により選択され易いようにするために、レーザマーキングシステムの制御下においてレーザパルスフルエンスを非常に正確に減衰させる必要がある。本発明の態様は、商業的に望ましい均一性、色、テクスチュア、及び形状を有するマークを生成するツール経路を得るのに十分なほど正確にレーザ照射密度を制御する。レーザをオン及びオフすることなくレーザビームのオンとオフを高速で切り替えるために光スイッチが用いられる。本発明の態様は、音響光学変調器(AOM)を用いてビームを正確かつ高速に変調し、これによりビームを対象物に当てるか、あるいは悪影響を与えることなくビームダンプに伝搬するようにビームを方向付ける。   Aspects of the present invention control the laser output. In order for the tool path to be easily selected by the present invention, it is necessary to attenuate the laser pulse fluence very accurately under the control of the laser marking system. Aspects of the present invention control the laser illumination density accurately enough to obtain a tool path that produces marks having commercially desirable uniformity, color, texture, and shape. An optical switch is used to switch the laser beam on and off at high speed without turning the laser on and off. Aspects of the present invention use an acousto-optic modulator (AOM) to accurately and rapidly modulate a beam so that the beam is directed to an object or propagates to a beam dump without adverse effects. Orient.

本発明の態様は、既存のレーザ微細加工システム、米国,97229 オレゴン州,ポートランドのElectro Scientific Industries社により製造されるESIモデルML5900レーザ微細加工システムを改良することにより実現される。このシステムは、2009年10月に発行された、米国,97229 オレゴン州,ポートランドのElectro Scientific Industries社の「ESIサービスガイドML5900」第178472A号に詳細に述べられており、参照によりその全体が本明細書に含まれる。改良は、フルエンスの変化を制御するとともにリアルタイムにおけるレーザフルエンスのより正確な制御を可能とするために電子光学装置を追加することを含んでいる。   Embodiments of the present invention are realized by modifying an existing laser micromachining system, the ESI model ML5900 laser micromachining system manufactured by Electro Scientific Industries, Portland, Oregon, 97229, USA. This system is described in detail in “ESI Service Guide ML5900” No. 178472A, published in October 2009, by Electro Scientific Industries, Portland, Oregon, 97229, which is hereby incorporated by reference in its entirety. Included in the description. Improvements include adding electro-optic devices to control fluence changes and to allow more precise control of laser fluence in real time.

本明細書において具体的にかつ広く述べられた本発明の目的に係るこれらの側面及び他の側面により上述した事項を達成するために、望ましい商業的な品質を有する可視マークをコーティングされた対象物上に生成する方法及びその方法を実施するようにされた装置が本明細書に開示される。格納された所定のレーザパルスパラメータを有するコントローラに作用的に接続されているレーザと、レーザ光学系と、運動ステージとを有するレーザ加工システムが含まれる。格納されたレーザパルスパラメータは、加工されるマークの領域に応じて選択される所望のフルエンスに関連付けられ、商業的に望ましい特性を有するマークを生成する。   Objects that are coated with visible marks having a desired commercial quality to accomplish the above-described matters in accordance with these and other aspects specifically and broadly described herein for purposes of the present invention. Disclosed herein is a method of generating above and an apparatus adapted to perform the method. Included is a laser processing system having a laser operatively connected to a controller having stored predetermined laser pulse parameters, a laser optical system, and a motion stage. The stored laser pulse parameters are associated with a desired fluence that is selected depending on the area of the mark being processed to produce a mark having commercially desirable characteristics.

図1は、ツール経路を示す。FIG. 1 shows the tool path. 図2は、従来技術のマークを示す。FIG. 2 shows a prior art mark. 図3は、従来技術のレーザマークの顕微鏡写真である。FIG. 3 is a photomicrograph of a prior art laser mark. 図4aは、従来技術のレーザパルスを示す。FIG. 4a shows a prior art laser pulse. 図4bは、レーザパルスを示す。FIG. 4b shows the laser pulse. 図4cは、レーザパルスを示す。FIG. 4c shows the laser pulse. 図4dは、レーザパルスを示す。FIG. 4d shows the laser pulse. 図5は、レーザマークを示す。FIG. 5 shows a laser mark. 図6は、レーザマークの顕微鏡写真である。FIG. 6 is a photomicrograph of the laser mark. 図7は、改良レーザマーキングシステムを示す。FIG. 7 shows an improved laser marking system. 図8は、パルス回路を示す。FIG. 8 shows a pulse circuit. 図9は、パルス回路を示す。FIG. 9 shows a pulse circuit.

好ましい実施形態の詳細な説明Detailed Description of the Preferred Embodiment

本発明の実施形態は、コーティングされた試料上にレーザマーキングシステムを用いて所望の特性を有するマークを生成する。このレーザマーキングシステムは、制御可能なレーザフルエンス又は線量を有する。本発明の実施形態は、マークの第1の部分に所望の特性を有するマークを生成することに関連付けられた第1のレーザフルエンスを決定する。そして、本発明の態様は、マークの第2の部分に所望の特性を有するマークを生成することに関連付けられた第2のレーザフルエンスを決定する。そして、これらのフルエンスがレーザマーキングシステムの記憶装置に格納される。その後、マークの第1の部分に対して上記格納された第1のレーザフルエンスを用いて、またマークの第2の部分に対して上記格納された第2のーザフルエンスを用いて、対象物にマークを付けるようにレーザマーキングシステムが指示され、これにより所望の特性で対象物にマークを施す。本発明の実施形態は、下地材料に対してダメージを与えることを避けつつレーザマーキングシステムのスループットを上げるために、パルス持続時間やパルス補充速度のようなレーザパルスパラメータ及びスポットサイズやレーザビーム位置、又はレーザビーム速度のようなツール経路パラメータをはじめとする種々のレーザパラメータを制御することによってレーザフルエンスを制御する。典型的には、所望の材料除去速度が得られるようにレーザが選択され、パワーや繰り返し率、パルス時間的形状及びパルス持続時間が選択される。そして、下地材料にダメージを与えることを避けつつ所望の材料除去速度が得られるようなツール経路が計算される。特に、本発明の実施形態は、そうしなければ対象物の表面に残ってしまう材料を除去するために、1組のレーザパルスにおける最初の数個のレーザパルスに対するレーザパルスフルエンスを増加させる。   Embodiments of the present invention use a laser marking system on a coated sample to generate marks having desired properties. The laser marking system has a controllable laser fluence or dose. Embodiments of the present invention determine a first laser fluence associated with generating a mark having a desired characteristic in a first portion of the mark. An aspect of the invention then determines a second laser fluence associated with generating a mark having a desired characteristic in the second portion of the mark. These fluences are stored in the storage device of the laser marking system. The object is then marked using the stored first laser fluence for the first part of the mark and using the stored second user fluence for the second part of the mark. The laser marking system is instructed to mark the object with the desired characteristics. Embodiments of the present invention provide laser pulse parameters such as pulse duration and pulse replenishment rate and spot size and laser beam position to increase the throughput of the laser marking system while avoiding damage to the underlying material, Alternatively, the laser fluence is controlled by controlling various laser parameters including tool path parameters such as laser beam velocity. Typically, the laser is selected to achieve the desired material removal rate, and the power, repetition rate, pulse time shape, and pulse duration are selected. Then, a tool path is calculated so that a desired material removal rate can be obtained while avoiding damage to the underlying material. In particular, embodiments of the present invention increase the laser pulse fluence for the first few laser pulses in a set of laser pulses in order to remove material that would otherwise remain on the surface of the object.

本発明の実施形態は、レーザの出力を制御する。ツール経路を本発明により選択され易いようにするために、レーザマーキングシステムの制御下においてレーザパルスを非常に正確に減衰させる必要がある。本発明の態様は、商業的に望ましい均一性、色、テクスチュア、及び形状を有するマークを生成するツール経路を得るのに十分なほど正確にレーザ照射密度を制御する。本発明の態様は、音響光学変調器(AOM)を用いてレーザをオン及びオフすることなくビームを正確かつ高速に変調する。本発明の実施形態は、AOMを用いて、レーザビームを通常の経路から、レーザビームエネルギーが対象物の表面に方向付けられるのではなく、悪影響を与えることなく放出されるビームダンプに回折により方向付けし直すことによりレーザビームのフルエンスを変調する。AOMはレーザビームを非常に高速に変調することができるので使用される。高速変調によりレーザマーキングシステムがレーザ自体を妨害することなく、レーザビームのオンとオフを高速かつ正確に行うことができるようになるので、高速変調は本発明の実施形態に対しては有利である。   Embodiments of the present invention control the output of the laser. In order for the tool path to be easily selected by the present invention, it is necessary to attenuate the laser pulse very accurately under the control of the laser marking system. Aspects of the present invention control the laser illumination density accurately enough to obtain a tool path that produces marks having commercially desirable uniformity, color, texture, and shape. Aspects of the invention use an acousto-optic modulator (AOM) to modulate the beam accurately and quickly without turning the laser on and off. Embodiments of the present invention use AOM to direct the laser beam from the normal path by diffraction into a beam dump that is emitted without adversely affecting the laser beam energy to the surface of the object. Modulating the fluence of the laser beam by reattaching. AOM is used because it can modulate the laser beam very quickly. High speed modulation is advantageous for embodiments of the present invention because the laser marking system allows the laser beam to be turned on and off quickly and accurately without disturbing the laser itself. .

図1は、対象物からコーティングを除去するのに使用されるツール経路を示すものである。対象物30はコーティング31で被覆されており、整形領域32内のコーティング31が除去される。レーザは、開始点34からツール経路33に沿って材料を除去し始め、実線で表されるように点36まで移動する間に材料を除去する。点36では、レーザがオフにされ、レーザがオンになったときに点38で材料を除去し始めるように点線で表されるようにレーザビームを対象物に対して再度位置決めする。そして、レーザは、終点39に至るまで切断と再位置決めを継続する。図2は、図1に示されるように材料を除去した結果を示すものである。コーティング42を有する対象物40では、材料下地46が露出したマーク44の領域でコーティングが除去されている。被覆しているコーティングの一部が48で残っていることに留意されたい。これは、使用されたレーザ照射密度が、マークが施される領域の多くの部分では多くの材料を除去するのに最適なものであるものの、除去プロセスの最初の段階では材料を除去するのにそれほど有効ではないと考えられるからである。照射密度は、対象物の表面に照射されるレーザエネルギーの単位面積あたりの割合であり、ワット/cm2の単位で測定される。この問題に対する従来技術の解決方法の1つは、スループットを低減するかもしれないフルエンスと対象物に対するレーザの速度を調整することであり、望ましいことではない。調整自体が必要とされることもまたシステムスループットに悪影響を与えるので望ましいことではない。図3は、この影響を示す顕微鏡写真である。図3において、対象物50は、黒色塗料層51で覆われた銀コーティングで被覆されている。領域52の黒色塗料を除去するためにレーザが使用されている。レーザにより黒色塗料が除去されるべきであった領域52に一部の黒色塗料の残渣54が残っていることに留意されたい。 FIG. 1 shows the tool path used to remove the coating from the object. The object 30 is covered with a coating 31, and the coating 31 in the shaping region 32 is removed. The laser begins to remove material from the starting point 34 along the tool path 33 and removes material as it travels to point 36 as represented by the solid line. At point 36, the laser is turned off and the laser beam is repositioned relative to the object as represented by the dotted line so that it begins to remove material at point 38 when the laser is turned on. The laser continues to cut and reposition until reaching the end point 39. FIG. 2 shows the result of removing the material as shown in FIG. In the object 40 having the coating 42, the coating is removed in the region of the mark 44 where the material base 46 is exposed. Note that a portion of the coating being coated remains at 48. This is because the laser irradiation density used is optimal to remove a lot of material in many parts of the marked area, but the material is removed in the first stage of the removal process. It is because it is thought that it is not so effective. The irradiation density is a ratio per unit area of the laser energy irradiated on the surface of the object, and is measured in units of watts / cm 2 . One prior art solution to this problem is adjusting the fluence and the speed of the laser relative to the object, which may reduce throughput, which is undesirable. The need for adjustment itself is also undesirable because it adversely affects system throughput. FIG. 3 is a photomicrograph showing this effect. In FIG. 3, the object 50 is covered with a silver coating covered with a black paint layer 51. A laser is used to remove the black paint in region 52. Note that some black paint residue 54 remains in areas 52 where the black paint should have been removed by the laser.

図4aは、時間に対するパルスエネルギーのグラフであり、従来技術におけるレーザパルス群を示している。図1を参照すると、レーザパルスは、レーザビームが34に位置する62で開始し、このパルスは、レーザビームがこの行程36の最後に到達する64で終了する。レーザビームは38に再度位置決めされ、レーザパルスが66で再び開始する。このパルス群プロファイルでは、材料の除去は不完全なものとなる。デブリ54を残すことなく材料51を除去するパルスフルエンスも存在するが、図4aのマークを形成するために使用されるレーザフルエンスは、その特定のレーザを用いたその特定の時点のその特定の対象物のプロセスウィンドウ内にはない。本発明の実施形態は、パルス群プロファイルを調整して、ある行程の最初により多くのエネルギーを供給しつつ、この行程の残りの部分に対する特定のエネルギーを維持することにより、この問題を解決する。このようにパルス群エンベロープを調整して調整パルスプロファイルを形成すれば、予め選択された低いエネルギーを有するパルスに変更してパルス群を終了する前に、パルス群の最初に高いエネルギーのパルスを用いることにより、システムスループットを維持しつつ、商業的に望ましいマーキングが可能となる。この調整パルスプロファイルは、デブリを残すことなく低いレーザフルエンスの使用が可能となることで、より広いプロセスウィンドウを生成する。プロセスウィンドウがより広くなることにより、システム調整の必要性が低減し、システムスループットを上げることができる。例示の調整パルスプロファイルが図4bに示されている。図4bにおいては、2つのグループの調整パルス70が示されている。パルス群70は、パワーP2の3つのパルス72により時刻74で開始される。時刻76でパワーがP2に低減され、より多くの5つのパルス78が時刻80までワークピースに照射される。パルスのそれぞれのグループはこのように調整され、所定のエネルギーを有する所定の数のパルスをレーザビームの各行程の最初に照射する。   FIG. 4a is a graph of pulse energy against time, showing a group of laser pulses in the prior art. Referring to FIG. 1, the laser pulse begins at 62 where the laser beam is located at 34, and ends at 64 when the laser beam reaches the end of this stroke 36. The laser beam is repositioned at 38 and the laser pulse starts again at 66. With this pulse group profile, material removal is incomplete. There is also a pulse fluence that removes material 51 without leaving debris 54, but the laser fluence used to form the mark of FIG. 4a is the specific object at that particular point in time using that particular laser. It is not in the process window of the object. Embodiments of the present invention solve this problem by adjusting the pulse group profile to provide more energy at the beginning of a stroke while maintaining a specific energy for the rest of the stroke. If an adjustment pulse profile is formed by adjusting the pulse group envelope in this way, a high energy pulse is used at the beginning of the pulse group before changing to a preselected low energy pulse and ending the pulse group. This enables commercially desirable markings while maintaining system throughput. This tailored pulse profile creates a wider process window by allowing the use of low laser fluence without leaving debris. A wider process window reduces the need for system adjustment and increases system throughput. An exemplary adjustment pulse profile is shown in FIG. 4b. In FIG. 4b, two groups of adjustment pulses 70 are shown. The pulse group 70 starts at time 74 with three pulses 72 of power P2. At time 76, the power is reduced to P2, and more five pulses 78 are applied to the workpiece until time 80. Each group of pulses is adjusted in this manner, and a predetermined number of pulses having a predetermined energy are irradiated at the beginning of each step of the laser beam.

図5は、コーティング102で被覆された対象物100を示しており、形状の境界104が本発明の実施形態における調整パルス群によりレーザ加工されて境界194内のコーティング106が除去されている。外見上デブリは残っていないし、マーク上のいずれの箇所にもダメージが生じていないことに留意されたい。図6は、黒色塗料112でコーティングされた同様のコーティング対象物110の顕微鏡写真であり、本発明の実施形態によりレーザ加工されて所望の領域の黒色塗料112を綺麗にかつ素早く除去し、銀色塗料下地114を露出させたものである。外観上、下地面にデブリやダメージが見られないことに留意されたい。   FIG. 5 shows an object 100 coated with a coating 102 where the shape boundary 104 has been laser machined with a group of conditioning pulses in an embodiment of the present invention to remove the coating 106 within the boundary 194. Note that no apparent debris remains and no damage has occurred anywhere on the mark. FIG. 6 is a photomicrograph of a similar coating object 110 coated with a black paint 112, which is laser processed according to an embodiment of the present invention to cleanly and quickly remove the black paint 112 in a desired region, thereby producing a silver paint. The base 114 is exposed. Note that there is no debris or damage on the ground surface in appearance.

図7は、本発明の実施形態として対象物にマークを付けるのに適合した改良ESIモデルML5900レーザ微細加工システム120の図を示す。この適応例は、レーザ122とAOMフルエンス減衰器124とを含んでいる。レーザ122によりレーザパルスが発され、一連のミラーや他の光学要素(図示せず)によりAOMフルエンス減衰器124に向けられた後、他の一連のミラーや光学要素(図示せず)により光学ヘッド128に向けられる。AOMフルエンス減衰器は、コントローラ140の指示の下で伝搬されるレーザパルスのフルエンスを制御する制御電子部品を含んでいる。光学ヘッドは、X、Y、及びZ運動制御要素130とガルバノメータブロック132とを含んでいる。これらの要素を組み合わせてマークを付ける対象物138に対してレーザビーム(図示せず)を位置決めして対象物138の表面上にマークの2次元表示を生成する。対象物138は、ロード/アンロード位置から光学ヘッド138の下方まで対象物138の位置合わせを行う回転ステージ要素134に取り付けられる。光学ヘッド138において、対象物138にマークが付けられ、その後、アンロードのためにロード/アンロードステーションへ戻るための位置合わせが行われる前に対象物138の検査を行う光学検査ステーション136へ対象物138の位置合わせが行われる。これらの動作のすべてはコントローラ140の制御下で行われる。コントローラ140は、レーザ122、AOMフルエンス減衰器124、運動制御要素130、ガルバノメータブロック132、及び回転ステージ134の動作を調整して適切なレーザフルエンスを対象物136上の適切な位置に照射して商業的に望ましい外観を有するマークを生成する。   FIG. 7 shows a diagram of an improved ESI model ML5900 laser micromachining system 120 adapted to mark an object as an embodiment of the present invention. This example application includes a laser 122 and an AOM fluence attenuator 124. A laser pulse is emitted by the laser 122 and directed to the AOM fluence attenuator 124 by a series of mirrors and other optical elements (not shown) and then the optical head by another series of mirrors and optical elements (not shown). 128. The AOM fluence attenuator includes control electronics that control the fluence of the laser pulses that are propagated under the direction of the controller 140. The optical head includes X, Y, and Z motion control elements 130 and a galvanometer block 132. These elements are combined to position a laser beam (not shown) with respect to the object to be marked 138 to generate a two-dimensional display of the mark on the surface of the object 138. The object 138 is attached to a rotary stage element 134 that aligns the object 138 from the load / unload position to below the optical head 138. In the optical head 138, the object 138 is marked and then the object is sent to the optical inspection station 136 which inspects the object 138 before alignment to return to the load / unload station for unloading. The alignment of the object 138 is performed. All of these operations are performed under the control of the controller 140. Controller 140 adjusts the operation of laser 122, AOM fluence attenuator 124, motion control element 130, galvanometer block 132, and rotary stage 134 to irradiate the appropriate laser fluence to the appropriate location on object 136. A mark having a particularly desirable appearance is generated.

改良レーザ122は、355nm波長の3逓倍周波数で動作するダイオード励起Nd:YVO4固体レーザ、米国,95054 カリフォルニア州,サンタクララのSpectra-Physics社により製造されるモデルVanguardである。レーザ122は、2.5Wまで生じるように構成されているが、一般的には約1Wのパワーを生じる80MHzのモードロックパルス繰り返し率で動作する。本発明の実施形態においては、0.5ワット〜100ワット、より好ましくは0.5ワット〜12ワットのパワーを有するレーザを有利に使用することができる。10KHz〜500MHz、より好ましくは1MHz〜100MHzのレーザ繰り返し率を用いることができる。レーザ122は、コントローラ100と協働して約1ピコ秒〜1,000ナノ秒、より好ましくは100ピコ秒〜100ナノ秒の持続時間を有するレーザパルスを生成する。パルスの時間的及び空間的分布は典型的にはガウス形である。運動制御要素130及びガルバノメータブロック132を組み合わせることにより対象物に対するビーム位置決めが可能となる。本発明の実施形態では、対象物で測定された大きさが5ミクロン〜500ミクロンの範囲、より好ましくは10ミクロン〜100ミクロンの範囲にあるレーザスポットが用いられる。このシステムで用いられるビーム速度、すなわちレーザビームと対象物との間の相対運動は、10mm/s〜1m/sの範囲、より好ましくは50mm/s〜500mm/sの範囲にある。ピッチ、すなわちレーザパルスの隣接するライン間の間隔を1ミクロン〜250ミクロンの範囲、より好ましくは10ミクロン〜50ミクロンの範囲にできる。 The improved laser 122 is a diode-pumped Nd: YVO 4 solid state laser operating at a triple frequency of 355 nm wavelength, model Vanguard manufactured by Spectra-Physics, Santa Clara, Calif., USA. The laser 122 is configured to generate up to 2.5 W, but typically operates at an 80 MHz mode-locked pulse repetition rate that produces about 1 W of power. In embodiments of the present invention, lasers having a power of 0.5 watts to 100 watts, more preferably 0.5 watts to 12 watts, can be advantageously used. A laser repetition rate of 10 KHz to 500 MHz, more preferably 1 MHz to 100 MHz can be used. Laser 122 cooperates with controller 100 to generate a laser pulse having a duration of about 1 picosecond to 1,000 nanoseconds, more preferably 100 picoseconds to 100 nanoseconds. The temporal and spatial distribution of pulses is typically Gaussian. Combining the motion control element 130 and the galvanometer block 132 enables beam positioning relative to the object. In an embodiment of the present invention, a laser spot is used whose size measured on the object is in the range of 5 microns to 500 microns, more preferably in the range of 10 microns to 100 microns. The beam velocity used in this system, i.e. the relative movement between the laser beam and the object, is in the range of 10 mm / s to 1 m / s, more preferably in the range of 50 mm / s to 500 mm / s. The pitch, ie the spacing between adjacent lines of laser pulses, can be in the range of 1 micron to 250 microns, more preferably in the range of 10 microns to 50 microns.

図8は、レーザ加工システムを本発明の実施形態に従って動作させるようにするために用いられる電子回路を示している。図8は、レーザビーム行程の開始を示すコントローラ140からの入力信号150を示している。この信号は、典型的には、電圧レベルでTRUE又はFALSEを示す論理信号である。入力信号150がTRUEを示している場合、すなわち行程の開始時には、この信号がAOMコントローラ162に送られ、入力「T」をトリガする。これは、AOMがアクティブ状態であり、レーザパルスを伝搬するために通電されなければならないことを示している。また、AOMコントローラ162は、アナログ電圧入力「A」を有しており、これによりAOMコントローラ162に信号164をAOM(図示せず)に送信させ「A」で生じた電圧に比例したレーザエネルギーを伝搬させる。また、トリガ信号150がパルス回路154に送信され、パルス回路154はプログラミング可能な持続時間を有するパルスを生成する。このパルスは増幅器156に送られ、増幅器156はパルス回路154で生成されたパルスをプログラミング可能な電圧レベルに増幅する。この増幅されたパルスは、信号調整フィルタ158によって調整されて望ましくない成分が除去され、その後、加算回路160により、コントローラ140により出力されてAOMコントローラ162の「A」入力に送信された元のパルス電圧152と組み合わされて、AOM(図示せず)への最終的な出力164となる。   FIG. 8 illustrates electronic circuitry used to cause the laser processing system to operate in accordance with an embodiment of the present invention. FIG. 8 shows an input signal 150 from the controller 140 indicating the start of the laser beam stroke. This signal is typically a logic signal that indicates TRUE or FALSE at the voltage level. If the input signal 150 indicates TRUE, that is, at the start of the stroke, this signal is sent to the AOM controller 162 to trigger the input “T”. This indicates that the AOM is in an active state and must be energized to propagate the laser pulse. The AOM controller 162 also has an analog voltage input “A” that causes the AOM controller 162 to send a signal 164 to the AOM (not shown) to provide laser energy proportional to the voltage produced at “A”. Propagate. A trigger signal 150 is also sent to the pulse circuit 154, which generates a pulse having a programmable duration. This pulse is sent to amplifier 156, which amplifies the pulse generated by pulse circuit 154 to a programmable voltage level. This amplified pulse is adjusted by the signal conditioning filter 158 to remove unwanted components, and is then output by the adder circuit 160 by the controller 140 and sent to the “A” input of the AOM controller 162. Combined with voltage 152 is the final output 164 to an AOM (not shown).

図4b及び図4cは、図8のようなAOM制御回路により制御されるレーザから出力される調整レーザパルス群を示している。図4bにおいて、調整パルス群70は、グループの最初にエネルギーP1を有するパルス72と、グループの残りとしてエネルギーP2を有するパルス78を有している。図4cは、図8における回路へのアナログ入力152がエネルギーP3のレーザパルスを生成するレベルに低下した場合に生じる調整パルス群を示している。この実施形態では、行程の最初でのレーザパルスのエネルギーレベルは、増幅器156のプログラムされた設定により一定エネルギーであることに留意されたい。   4b and 4c show a group of adjusted laser pulses output from the laser controlled by the AOM control circuit as shown in FIG. In FIG. 4b, the adjustment pulse group 70 has a pulse 72 having energy P1 at the beginning of the group and a pulse 78 having energy P2 as the rest of the group. FIG. 4c shows the set of adjustment pulses that occur when the analog input 152 to the circuit in FIG. 8 drops to a level that produces a laser pulse of energy P3. Note that in this embodiment, the energy level of the laser pulse at the beginning of the stroke is constant energy due to the programmed setting of amplifier 156.

図9は、レーザ加工システムを本発明の実施形態に従って動作するようにするために用いられる付加的な電子回路を示している。この回路において、コントローラ140からのトリガ入力170は、AOMコントローラ182のトリガ入力「T」に送信されるとともに、トリガ信号の開始からプログラミング可能な持続時間を有するパルスを生成するパルス回路172に送信される。このパルスは、プログラミング可能な利得により増幅器176で増幅されたコントローラ140からのアナログ信号172をゲートとするアナログスイッチ174に送信される。アナログスイッチ174は、パルス回路172からのパルスが存在するときに174からアナログ信号を送信する。そして、信号は、その信号から望ましくない成分を除去する信号調整フィルタ178に送られ、コントローラ140からの元のアナログ電圧制御信号172と信号調整回路178からの増幅された信号とを一緒にして、AOM(図示せず)への出力184を得るためにAOMコントローラ182に送信されるアナログ制御信号を生成するコンバイナ180に送られる。この回路は、図4dに示されるような調整パルスを生成する。図4dは、各グループ90の最初の高エネルギーパルス92を所定のパルス94のエネルギーP3の所定倍P4にするパルス90の調整群を示している。   FIG. 9 illustrates additional electronic circuitry used to cause the laser processing system to operate in accordance with embodiments of the present invention. In this circuit, the trigger input 170 from the controller 140 is transmitted to the trigger input “T” of the AOM controller 182 and to a pulse circuit 172 that generates a pulse having a programmable duration from the start of the trigger signal. The This pulse is sent to an analog switch 174 that gates the analog signal 172 from the controller 140 amplified by the amplifier 176 with a programmable gain. The analog switch 174 transmits an analog signal from the 174 when a pulse from the pulse circuit 172 exists. The signal is then sent to a signal conditioning filter 178 that removes unwanted components from the signal, combining the original analog voltage control signal 172 from the controller 140 with the amplified signal from the signal conditioning circuit 178, Sent to a combiner 180 that generates an analog control signal that is sent to the AOM controller 182 to obtain an output 184 to an AOM (not shown). This circuit generates an adjustment pulse as shown in FIG. 4d. FIG. 4d shows an adjustment group of pulses 90 that makes the first high energy pulse 92 of each group 90 a predetermined multiple P4 of the energy P3 of the predetermined pulse 94.

本発明の基礎をなす原則から逸脱することなく上述した実施形態の詳細に対して多くの変更をなし得ることは、当業者であれば理解できるであろう。したがって、本発明の範囲は、特許請求の範囲によってのみ画定されるべきである。   It will be appreciated by those skilled in the art that many changes can be made to the details of the above-described embodiments without departing from the principles underlying the invention. Accordingly, the scope of the invention should be defined only by the claims.

Claims (11)

パルスレーザビームを有するレーザマーキングシステムを用いて試料上に所望の特性を有するレーザマークを生成する方法であって、
制御可能なビーム減衰器を有する前記レーザマーキングシステムを用意し、
前記レーザビームを第1の減衰レベルで伝搬するように前記制御可能なビーム減衰器に指示し、所定の時間間隔の後、前記減衰を第2の減衰レベルに変更し、これにより所望の特性を有するレーザマークを生成する、
方法。
A method of generating a laser mark having a desired property on a sample using a laser marking system having a pulsed laser beam, comprising:
Providing the laser marking system with a controllable beam attenuator;
Instructs the controllable beam attenuator to propagate the laser beam at a first attenuation level, and after a predetermined time interval, changes the attenuation to a second attenuation level, thereby providing a desired characteristic. Producing a laser mark having,
Method.
前記試料は、第1の層及び第2の層の塗布コーティングでコーティングされており、前記マークの前記所望の特性は、前記第2の層にダメージを与えることなく前記第1の層を除去することを含む、請求項1の方法。   The sample is coated with an application coating of a first layer and a second layer, and the desired property of the mark removes the first layer without damaging the second layer. The method of claim 1 comprising: 前記レーザフルエンスは、1.0×10-6ジュール/cm2〜1.0ジュール/cm2の範囲にある、請求項1の方法。 The method of claim 1, wherein the laser fluence is in the range of 1.0 × 10 −6 Joules / cm 2 to 1.0 Joules / cm 2 . 前記制御可能なビーム減衰器は音響光学変調器である、請求項4の方法。   The method of claim 4, wherein the controllable beam attenuator is an acousto-optic modulator. レーザビームを有し、所望の特性で試料にマークを付けるための改良レーザマーキング装置であって、該改良は、
第1の減衰レベルで前記レーザビームを減衰させ、所定の時間間隔の後、前記減衰を第2の減衰レベルに変更可能な、制御可能なビーム減衰器を前記レーザマーキング装置に設けたことを含む、改良レーザマーキング装置。
An improved laser marking apparatus for marking a sample with a laser beam and having desired characteristics, the improvement comprising:
Providing the laser marking device with a controllable beam attenuator capable of attenuating the laser beam at a first attenuation level and changing the attenuation to a second attenuation level after a predetermined time interval. Improved laser marking device.
前記試料は、第1の層及び第2の層の塗布コーティングでコーティングされており、前記マークの前記所望の特性は、前記第2の層にダメージを与えることなく前記第1の層を除去することを含む、請求項5の装置。   The sample is coated with an application coating of a first layer and a second layer, and the desired property of the mark removes the first layer without damaging the second layer. 6. The apparatus of claim 5, comprising: 前記パルスフルエンスは、1.0×10-6ジュール/cm2〜1.0ジュール/cm2の範囲にある、請求項5の装置。 The apparatus of claim 5, wherein the pulse fluence is in the range of 1.0 × 10 −6 Joules / cm 2 to 1.0 Joules / cm 2 . 前記制御可能なビーム減衰器は音響光学変調器である、請求項5の装置。   The apparatus of claim 5, wherein the controllable beam attenuator is an acousto-optic modulator. パルスレーザビームと制御可能なビーム減衰器とを有するレーザマーキングシステムにより試料上に生成された所望の特性を有するマークであって、
前記レーザマーキングシステムにより第1の減衰レベルでマーキングされた前記マークの第1の部分と、
前記レーザマーキングシステムにより第2の減衰レベルでマーキングされた前記マークの第2の部分と、
を備えたマーク。
A mark having a desired characteristic generated on a sample by a laser marking system having a pulsed laser beam and a controllable beam attenuator,
A first portion of the mark marked at a first attenuation level by the laser marking system;
A second portion of the mark marked at a second attenuation level by the laser marking system;
With a mark.
前記試料は、第1の層及び第2の層の塗布コーティングでコーティングされており、前記マークの前記所望の特性は、前記第2の層にダメージを与えることなく前記第1の層を除去することを含む、請求項9のマーク。   The sample is coated with an application coating of a first layer and a second layer, and the desired property of the mark removes the first layer without damaging the second layer. The mark of claim 9, comprising: 前記制御可能なビーム減衰器は、音響光学変調器である、請求項4の方法。   The method of claim 4, wherein the controllable beam attenuator is an acousto-optic modulator.
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