JP2015225818A - Electron gun structure - Google Patents

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JP2015225818A JP2014111608A JP2014111608A JP2015225818A JP 2015225818 A JP2015225818 A JP 2015225818A JP 2014111608 A JP2014111608 A JP 2014111608A JP 2014111608 A JP2014111608 A JP 2014111608A JP 2015225818 A JP2015225818 A JP 2015225818A
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cathode
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昭人 原
Akito Hara
昭人 原
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Toshiba Electron Tubes and Devices Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electron gun structure capable of reducing a stress applied to a lead of a heater and increasing the intensity and reliability of a junction part.SOLUTION: An electron gun structure according to an embodiment comprises: a cathode which emits an electron; an anode provided on the electron emission surface side of the cathode; a grid provided between the cathode and the anode; a heater provided on the side opposite to the electron emission surface side of the cathode and including a first lead; a first terminal electrically connected to the first lead; and a first holding part which holds the first lead and the first terminal by an elastic force.

Description

本発明の実施形態は、電子銃構体に関する。   Embodiments described herein relate generally to an electron gun assembly.

電子銃構体は、クライストロンや進行波管などの直線ビームを利用する電子管に用いられている。
電子銃構体には、電子を放出するカソードと、カソードに対向させて設けられたグリッドと、グリッドのカソード側とは反対側に設けられたアノードと、カソードを加熱するヒータとが設けられている。
ここで、カソードは、900℃〜1100℃の範囲で動作させる。
そのため、カソードを加熱するヒータは、1200℃〜1500℃とさらに高温となる。
ヒータの温度が高温になると、ヒータのリードの膨張量が大きくなり、ヒータのリードと、ヒータのリードが通るリード管との間や、ヒータのリードと反射板との接合部において大きな熱応力が発生するおそれがある。
さらに、ヒータのオン・オフ動作が繰り返し行われると、リード管の端部や絶縁部材を起点としてヒータのリードが破断したり、ヒータのリードと反射板との接合が外れたりするおそれがある。
また、ヒータ端子のヒータ側とは反対側の端部と、端子とを白金リボンを介して接続する技術も提案されている。
しかしながら、この技術では、ヒータのリードにおける破断や接合の外れを抑制することができない。
The electron gun structure is used for an electron tube using a straight beam such as a klystron or a traveling wave tube.
The electron gun assembly is provided with a cathode that emits electrons, a grid that faces the cathode, an anode that is provided on the opposite side of the grid from the cathode, and a heater that heats the cathode. .
Here, the cathode is operated in the range of 900 ° C. to 1100 ° C.
Therefore, the heater for heating the cathode becomes a higher temperature of 1200 ° C to 1500 ° C.
When the heater temperature rises, the amount of expansion of the heater lead increases, and a large thermal stress is applied between the heater lead and the lead pipe through which the heater lead passes, or at the joint between the heater lead and the reflector. May occur.
Furthermore, if the heater is turned on and off repeatedly, the heater lead may break from the end of the lead tube or the insulating member, or the joint between the heater lead and the reflector may be disconnected.
In addition, a technique has been proposed in which the end of the heater terminal opposite to the heater side is connected to the terminal via a platinum ribbon.
However, this technique cannot suppress breakage or disconnection in the heater lead.

特開平2−10631号公報JP-A-2-10631

本発明が解決しようとする課題は、ヒータのリードにかかる応力の低減、接合部分における強度の向上、および、接合部分における信頼性の向上を図ることができる電子銃構体を提供することである。   The problem to be solved by the present invention is to provide an electron gun assembly capable of reducing the stress applied to the lead of the heater, improving the strength at the joint, and improving the reliability at the joint.

実施形態に係る電子銃構体は、電子を放出するカソードと、前記カソードの電子放射面側に設けられたアノードと、前記カソードと、前記アノードと、の間に設けられたグリッドと、前記カソードの前記電子放射面側とは反対側に設けられ、第1のリードを有するヒータと、前記第1のリードと電気的に接続される第1の端子と、前記第1のリードと、前記第1の端子と、を弾性力により保持する第1の保持部と、を備えている。   An electron gun assembly according to an embodiment includes a cathode that emits electrons, an anode provided on an electron emission surface side of the cathode, a grid provided between the cathode and the anode, and a cathode A heater provided on the side opposite to the electron emission surface side, having a first lead, a first terminal electrically connected to the first lead, the first lead, and the first lead And a first holding part that holds the terminal by elastic force.

本実施の形態に係る電子銃構体1を例示するための模式断面図である。1 is a schematic cross-sectional view for illustrating an electron gun assembly 1 according to the present embodiment. 保持部22aを例示するための模式断面図である。It is a schematic cross section for illustrating holding part 22a. 保持部22bおよび端子23を例示するための模式断面図である。4 is a schematic cross-sectional view for illustrating a holding portion 22b and a terminal 23. FIG. (a)、(b)は、保持部22aを例示するための模式図である。(A), (b) is a schematic diagram for demonstrating the holding | maintenance part 22a.

以下、図面を参照しつつ、実施の形態について例示をする。なお、各図面中、同様の構成要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1は、本実施の形態に係る電子銃構体1を例示するための模式断面図である。
電子銃構体1は、例えば、IOT(誘導出力増幅管)などの直線ビームを用いる電子管に用いることができる。
ただし、電子銃構体1の用途は、IOTに限定されるわけではない。
図1に示すように、電子銃構体1には、カソード11、グリッド12、アノード13、ウェーネルト電極14、ヒータ15、カソードスリーブ16、フランジ部17、支持筒18、反射板19、ヒータ端子20(第1または第2の端子の一例に相当する)、絶縁部21、保持部22a(第1または第2の保持部の一例に相当する)、保持部22b(第1または第2の保持部の一例に相当する)、絶縁筒24、カソード支持体25、および端子23(第1または第2の端子の一例に相当する)が設けられている。
Hereinafter, embodiments will be illustrated with reference to the drawings. In addition, in each drawing, the same code | symbol is attached | subjected to the same component and detailed description is abbreviate | omitted suitably.
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view for illustrating an electron gun assembly 1 according to the present embodiment.
The electron gun assembly 1 can be used for an electron tube using a linear beam such as an IOT (inductive output amplifier tube).
However, the use of the electron gun assembly 1 is not limited to the IOT.
As shown in FIG. 1, the electron gun assembly 1 includes a cathode 11, a grid 12, an anode 13, a Wehnelt electrode 14, a heater 15, a cathode sleeve 16, a flange portion 17, a support tube 18, a reflector 19, and a heater terminal 20 ( Corresponding to an example of the first or second terminal), the insulating portion 21, the holding portion 22a (corresponding to an example of the first or second holding portion), and the holding portion 22b (corresponding to the first or second holding portion). An insulating cylinder 24, a cathode support 25, and a terminal 23 (corresponding to an example of the first or second terminal).

カソード11は、電子(熱電子)を放出する。
カソード11は、板状を呈し、グリッド12側とは反対側に突出するように湾曲している。
カソード11の平面形状は、例えば、円形とすることができる。
この場合、カソード11の直径寸法は、例えば、40mm程度とすることができる。
カソード11のグリッド12側の面は、電子放射面11aとなっている。電子放射面11aは、所定の曲率を有する凹状の曲面となっている。
The cathode 11 emits electrons (thermoelectrons).
The cathode 11 has a plate shape and is curved so as to protrude to the side opposite to the grid 12 side.
The planar shape of the cathode 11 can be circular, for example.
In this case, the diameter dimension of the cathode 11 can be about 40 mm, for example.
The surface of the cathode 11 on the grid 12 side is an electron emission surface 11a. The electron emission surface 11a is a concave curved surface having a predetermined curvature.

また、カソード11は、例えば、含浸型カソードとすることができる。
カソード11が含浸型カソードである場合には、カソード11は、例えば、ポーラスタングステンからなる基体に電子放射物質を含浸することで形成されたものとすることができる。
この場合、ポーラスタングステンの気孔率は、例えば、20%程度とすることができる。
電子放射物質としては、例えば、酸化バリウム、酸化カルシウム、および酸化アルミニウムからなる金属酸化物を用いることができる。
The cathode 11 can be an impregnated cathode, for example.
When the cathode 11 is an impregnated cathode, the cathode 11 can be formed, for example, by impregnating a substrate made of porous tungsten with an electron emitting substance.
In this case, the porosity of porous tungsten can be about 20%, for example.
As the electron emitting substance, for example, a metal oxide composed of barium oxide, calcium oxide, and aluminum oxide can be used.

電子放射面11aには、イリジウム金属薄膜、あるいはオスミウム−ルテニウム合金薄膜が設けられている。イリジウム金属薄膜、あるいはオスミウム−ルテニウム合金薄膜は、例えば、スパッタリング法を用いて形成することができる。イリジウム金属薄膜、あるいはオスミウム−ルテニウム合金薄膜を設けるようにすれば、電子放射面11aの仕事関数を低減させることができる。   The electron emission surface 11a is provided with an iridium metal thin film or an osmium-ruthenium alloy thin film. The iridium metal thin film or the osmium-ruthenium alloy thin film can be formed by using, for example, a sputtering method. If an iridium metal thin film or an osmium-ruthenium alloy thin film is provided, the work function of the electron emission surface 11a can be reduced.

グリッド12は、カソード11とアノード13との間に設けられている。
グリッド12は、カソード11とアノード13の相互作用領域に設けられている。
グリッド12の平面形状は、例えば、円形とすることができる。
グリッド12と電子放射面11aとの間には、数十μmないし数百μmの隙間が設けられている。
グリッド12は、内周部と外周部を有する。
グリッド12の内周部は、例えば、編み目状を呈し、電子を通過させる複数の開口部を有している。
グリッド12の内周部は、電子放射面11aに沿うように湾曲している。
The grid 12 is provided between the cathode 11 and the anode 13.
The grid 12 is provided in the interaction region between the cathode 11 and the anode 13.
The planar shape of the grid 12 can be circular, for example.
A gap of several tens to several hundreds of μm is provided between the grid 12 and the electron emission surface 11a.
The grid 12 has an inner periphery and an outer periphery.
The inner peripheral portion of the grid 12 has, for example, a stitch shape and has a plurality of openings that allow electrons to pass therethrough.
The inner peripheral part of the grid 12 is curved so as to follow the electron emission surface 11a.

グリッド12の外周部は、内周部を囲むように設けられ、ビームを通過させる開口部を有していない。
グリッド12は、耐熱性と導電性を有する材料から形成されている。グリッド12は、例えば、パイロリティック・グラファイト(PG;Pyrolytic Graphite)などから形成することができる。
なお、グリッド12は、モリブデン、レニウム−モリブデン合金、タンタル、ニオブ、タングステンなどの高融点金属およびこれらの合金から形成することもできる。
グリッド12は、ウェーネルト電極14に電気的に接続されている。
また、カソード11とグリッド12は互いに接合され、グリッド・カソード一体型構造体が形成されている。
The outer peripheral part of the grid 12 is provided so as to surround the inner peripheral part, and does not have an opening through which the beam passes.
The grid 12 is formed from a material having heat resistance and conductivity. The grid 12 can be formed from, for example, pyrolytic graphite (PG).
The grid 12 can also be formed from molybdenum, a rhenium-molybdenum alloy, a refractory metal such as tantalum, niobium, tungsten, or an alloy thereof.
The grid 12 is electrically connected to the Wehnelt electrode 14.
Further, the cathode 11 and the grid 12 are joined to each other to form a grid / cathode integrated structure.

アノード13は、カソード11と対峙させて設けられている。
アノード13は、カソード11の電子放射面11a側に設けられている。
アノード13は、中央部分を貫通する孔部を有している。
例えば、電子銃構体1、図示しないドリフト管、および図示しないコレクタを有するIOTの場合には、アノード13は、図示しないドリフト管に設けることができる。
The anode 13 is provided to face the cathode 11.
The anode 13 is provided on the electron emission surface 11 a side of the cathode 11.
The anode 13 has a hole that passes through the central portion.
For example, in the case of an IOT having the electron gun assembly 1, a drift tube (not shown), and a collector (not shown), the anode 13 can be provided in a drift tube (not shown).

ウェーネルト電極14は、円筒状を呈している。
ウェーネルト電極14は、例えば、非磁性のステンレスやモリブデンなどから形成することができる。
ウェーネルト電極14の一方の端部の近傍には、カソード11とグリッド12が設けられている。
The Wehnelt electrode 14 has a cylindrical shape.
The Wehnelt electrode 14 can be formed from, for example, nonmagnetic stainless steel or molybdenum.
A cathode 11 and a grid 12 are provided in the vicinity of one end of the Wehnelt electrode 14.

ヒータ15は、カソード11の電子放射面11a側とは反対側に設けられている。
ヒータ15は、ジュール熱を発生させる。ヒータ15は、発生させた熱によりカソード11を加熱する。
ヒータ15は、例えば、モリブデン線、タングステン線、レニウム−タングステン合金線などから形成することができる。
ヒータ15は、例えば、直径寸法が1mm程度のタングステン線から形成することができる。
ヒータ15は、リード15a(第1または第2のリードの一例に相当する)、リード15b(第1または第2のリードの一例に相当する)、および発熱部15cを有する。
リード15aは、発熱部15cと一体に形成されている。リード15aは、ヒータ端子20に電気的に接続される。
リード15bは、発熱部15cと一体に形成されている。リード15bは、反射板19に電気的に接続される。
The heater 15 is provided on the opposite side of the cathode 11 from the electron emission surface 11a side.
The heater 15 generates Joule heat. The heater 15 heats the cathode 11 with the generated heat.
The heater 15 can be formed of, for example, a molybdenum wire, a tungsten wire, a rhenium-tungsten alloy wire, or the like.
The heater 15 can be formed from, for example, a tungsten wire having a diameter of about 1 mm.
The heater 15 includes a lead 15a (corresponding to an example of the first or second lead), a lead 15b (corresponding to an example of the first or second lead), and a heat generating portion 15c.
The lead 15a is formed integrally with the heat generating portion 15c. The lead 15 a is electrically connected to the heater terminal 20.
The lead 15b is formed integrally with the heat generating portion 15c. The lead 15 b is electrically connected to the reflector 19.

カソードスリーブ16は、円筒状を呈している。
カソードスリーブ16の一方の端部の内面には、カソード11の外周端面が接続されている。
カソードスリーブ16とカソード11は、例えば、高融点ロウ材を用いて接続されている。高融点ロウ材は、例えば、モリブデン−ルテニウム合金などである。
カソードスリーブ16は、例えば、モリブデンや、レニウム−モリブデン合金などから形成することができる。
The cathode sleeve 16 has a cylindrical shape.
The outer peripheral end surface of the cathode 11 is connected to the inner surface of one end of the cathode sleeve 16.
The cathode sleeve 16 and the cathode 11 are connected using, for example, a high melting point brazing material. The high melting point brazing material is, for example, a molybdenum-ruthenium alloy.
The cathode sleeve 16 can be formed from, for example, molybdenum or a rhenium-molybdenum alloy.

フランジ部17は、筒部と鍔部を有している。
筒部は、円筒状を呈している。
筒部は、カソードスリーブ16の他方の端部の内面に接続されている。
鍔部は、円板状を呈している。
鍔部は、筒部の一方の端部から外部に向けて突出している。
鍔部は、反射板19に接続されている。
筒部とカソードスリーブ16の接続は、例えば、前述した高融点ロウ材を用いて行うことができる。鍔部と反射板19の接続は、例えば、溶接により行うことができる。
カソードスリーブ16の一方の端部はカソード11により塞がれ、カソードスリーブ16の他方の端部は反射板19により塞がれる。
フランジ部17は、カソードスリーブ16と同じ材料から形成することができる。
The flange part 17 has a cylinder part and a collar part.
The cylinder part has a cylindrical shape.
The tube portion is connected to the inner surface of the other end portion of the cathode sleeve 16.
The buttocks have a disk shape.
The collar portion protrudes outward from one end of the cylindrical portion.
The collar portion is connected to the reflection plate 19.
The connection between the tube portion and the cathode sleeve 16 can be performed using, for example, the above-described high melting point brazing material. The connection between the flange portion and the reflection plate 19 can be performed by welding, for example.
One end of the cathode sleeve 16 is closed by the cathode 11, and the other end of the cathode sleeve 16 is closed by the reflection plate 19.
The flange portion 17 can be formed from the same material as the cathode sleeve 16.

支持筒18は、円筒状を呈している。
支持筒18の一端は、フランジ部17が接続される側とは反対側において、反射板19の面に溶接されている。
支持筒18の他端の近傍は、カソード支持体25に溶接されている。
支持筒18は、例えば、モリブデンなどから形成することができる。
The support cylinder 18 has a cylindrical shape.
One end of the support cylinder 18 is welded to the surface of the reflection plate 19 on the side opposite to the side to which the flange portion 17 is connected.
The vicinity of the other end of the support cylinder 18 is welded to the cathode support 25.
The support cylinder 18 can be formed from, for example, molybdenum.

反射板19は、板状を呈している。
反射板19は、例えば、モリブデンなどから形成することができる。
カソードスリーブ16、カソード11、および反射板19により画された空間には、ヒータ15が設けられている。
そのため、ヒータ15から反射板19に向けて放射された熱は、反射板19により反射されてカソード11に向かう。
また、画された空間にヒータ15が設けられているので、無駄な放熱を抑制することができる。
そのため、加熱の効率を向上させることができる。
The reflection plate 19 has a plate shape.
The reflector 19 can be formed from, for example, molybdenum.
A heater 15 is provided in a space defined by the cathode sleeve 16, the cathode 11, and the reflection plate 19.
Therefore, the heat radiated from the heater 15 toward the reflecting plate 19 is reflected by the reflecting plate 19 and travels toward the cathode 11.
Moreover, since the heater 15 is provided in the defined space, wasteful heat dissipation can be suppressed.
Therefore, the heating efficiency can be improved.

ヒータ端子20は、線状を呈している。
ヒータ端子20は、支持筒18の内部を軸方向に伸びている。
ヒータ端子20の先端部20aは、断面積が小さくなっている(図2を参照)。
この場合、ヒータ端子20の先端部20aの断面寸法(例えば、直径寸法)は、リード15aの断面寸法(例えば、直径寸法)と同じとすることができる。
ヒータ端子20は、例えば、モリブデン線、タングステン線、レニウム−タングステン合金線などから形成することができる。
The heater terminal 20 has a linear shape.
The heater terminal 20 extends in the axial direction inside the support cylinder 18.
The tip portion 20a of the heater terminal 20 has a small cross-sectional area (see FIG. 2).
In this case, the cross-sectional dimension (for example, diameter dimension) of the tip portion 20a of the heater terminal 20 can be the same as the cross-sectional dimension (for example, diameter dimension) of the lead 15a.
The heater terminal 20 can be formed from, for example, a molybdenum wire, a tungsten wire, a rhenium-tungsten alloy wire, or the like.

絶縁部21は、筒部および鍔部を有している。
筒部は、円筒状を呈している。
筒部は、反射板19に設けられた孔に嵌められている。
筒部の中心を軸方向に貫通する孔には、ヒータ端子20の先端部20aが通っている。
The insulating part 21 has a cylinder part and a collar part.
The cylinder part has a cylindrical shape.
The cylindrical portion is fitted in a hole provided in the reflection plate 19.
The tip 20a of the heater terminal 20 passes through a hole that penetrates the center of the tube portion in the axial direction.

鍔部は、円板状を呈している。
鍔部は、筒部の一方の端部から外部に向けて突出している。
鍔部は、フランジ部17が接続される側において、反射板19の面に接している。
絶縁部21は、耐熱性と、絶縁性を有する材料から形成されている。
絶縁部21は、例えば、セラミックスなどから形成することができる。
The buttocks have a disk shape.
The collar portion protrudes outward from one end of the cylindrical portion.
The flange portion is in contact with the surface of the reflection plate 19 on the side to which the flange portion 17 is connected.
The insulating part 21 is made of a material having heat resistance and insulating properties.
The insulating portion 21 can be formed from, for example, ceramics.

保持部22aは、リード15aと、ヒータ端子20(先端部20a)を弾性力により保持する。
保持部22bは、リード15bと、反射板19に接続された端子23を弾性力により保持する。
なお、保持部22aおよび保持部22bに関する詳細は後述する。
The holding portion 22a holds the lead 15a and the heater terminal 20 (tip portion 20a) with an elastic force.
The holding part 22b holds the lead 15b and the terminal 23 connected to the reflecting plate 19 by elastic force.
Details of the holding unit 22a and the holding unit 22b will be described later.

端子23は、接続部23aおよび鍔部23bを有している(図3を参照)。
接続部23aは、例えば、ピン状を呈するものとすることができる。
鍔部23bは、板状を呈している。
接続部23aは、鍔部23bの一方の端面から突出している。
接続部23aは、反射板19に設けられた孔を通り、反射板19から突出している。
鍔部23bは、反射板19に電気的に接続されている。
そのため、端子23、および端子23に電気的に接続される部材は、カソード11と同電位となる。
端子23は、例えば、モリブデンやタングステンなどから形成することができる。
The terminal 23 has a connection portion 23a and a flange portion 23b (see FIG. 3).
The connection part 23a can assume a pin shape, for example.
The collar portion 23b has a plate shape.
The connection part 23a protrudes from one end surface of the flange part 23b.
The connecting portion 23 a passes through a hole provided in the reflection plate 19 and protrudes from the reflection plate 19.
The flange portion 23 b is electrically connected to the reflector 19.
Therefore, the terminal 23 and the member electrically connected to the terminal 23 have the same potential as the cathode 11.
The terminal 23 can be formed from, for example, molybdenum or tungsten.

絶縁筒24は、外観が円錐台状の筒体とすることができる。
絶縁筒24の一端はウェーネルト電極14に接続されている。
絶縁筒24の他端は、カソード支持体25に接続されている。
絶縁筒24は、耐熱性と、絶縁性を有する材料から形成されている。
絶縁筒24は、例えば、セラミックスなどから形成することができる。
The insulating cylinder 24 can be a cylindrical body having a truncated cone appearance.
One end of the insulating cylinder 24 is connected to the Wehnelt electrode 14.
The other end of the insulating cylinder 24 is connected to the cathode support 25.
The insulating cylinder 24 is formed from a material having heat resistance and insulating properties.
The insulating cylinder 24 can be formed from, for example, ceramics.

カソード支持体25は、円筒状を呈している。
カソード支持体25は、金属などの導電性材料から形成されている。
The cathode support 25 has a cylindrical shape.
The cathode support 25 is made of a conductive material such as metal.

カソード11には、カソード支持体25、支持筒18、反射板19、およびカソードスリーブ16を介して、図示しない電源から所定の負の直流電圧が印加される。
アノード13には、図示しない電源から所定の正の直流電圧が印加される。
グリッド12には、ウェーネルト電極14を介して、図示しないバイアス電源から直流の負のバイアス電圧が印加される。
A predetermined negative DC voltage is applied to the cathode 11 from a power source (not shown) via the cathode support 25, the support cylinder 18, the reflection plate 19, and the cathode sleeve 16.
A predetermined positive DC voltage is applied to the anode 13 from a power source (not shown).
A negative DC bias voltage is applied to the grid 12 from a bias power source (not shown) via the Wehnelt electrode 14.

ヒータ15には、図示しない加熱電源から所定の電力が印加される。
図示しない加熱電源には、ヒータ端子20、保持部22a、およびリード15aを介して発熱部15cの一端が電気的に接続されている。
また、図示しない加熱電源には、カソード支持体25、支持筒18、反射板19、端子23、保持部22bおよびリード15bを介して発熱部15cの他端が電気的に接続されている。
A predetermined power is applied to the heater 15 from a heating power source (not shown).
One end of the heat generating part 15c is electrically connected to a heating power source (not shown) through the heater terminal 20, the holding part 22a, and the lead 15a.
The heating power source (not shown) is electrically connected to the other end of the heat generating portion 15c through the cathode support 25, the support tube 18, the reflection plate 19, the terminal 23, the holding portion 22b, and the lead 15b.

発熱部15cに印加された電力により、発熱部15cにおいてジュール熱が生じる。
発生したジュール熱によりカソード11が加熱される。
真空中において、カソード11が加熱されると、カソード11から電子が放出される。 カソード11から放出された電子は、グリッド12によりグリッド12を通過する量が制御される。
グリッド12を通過した電子は、アノード13により加速される。
Joule heat is generated in the heat generating portion 15c by the power applied to the heat generating portion 15c.
The cathode 11 is heated by the generated Joule heat.
When the cathode 11 is heated in a vacuum, electrons are emitted from the cathode 11. The amount of electrons emitted from the cathode 11 is controlled by the grid 12 through the grid 12.
The electrons that have passed through the grid 12 are accelerated by the anode 13.

次に、保持部22aおよび保持部22bについてさらに説明する。
図2は、保持部22aを例示するための模式断面図である。
図2は、図1におけるA部の模式拡大図である。
図2に示すように、保持部22aは、リード15aと、ヒータ端子20(先端部20a)を弾性力により保持する。
保持部22aは、例えば、線材を螺旋状に巻いたものとすることができる。
保持部22aは、図2に例示をしたもののように線材を密着させて巻いたものとすることもできるし、線材と線材との間に隙間をあけて巻いたものとすることもできる。
Next, the holding unit 22a and the holding unit 22b will be further described.
FIG. 2 is a schematic cross-sectional view for illustrating the holding portion 22a.
FIG. 2 is a schematic enlarged view of a portion A in FIG.
As shown in FIG. 2, the holding portion 22a holds the lead 15a and the heater terminal 20 (tip portion 20a) with an elastic force.
The holding | maintenance part 22a can be what wound the wire rod helically, for example.
The holding portion 22a may be wound with a wire rod in close contact like that illustrated in FIG. 2, or may be wound with a gap between the wire rod and the wire rod.

保持部22aの一方の端部からは、リード15aが挿入される。保持部22aの他方の端部からは、ヒータ端子20の先端部20aが挿入される。
保持部22aの内径寸法は、リード15aの外径寸法よりも僅かに短くなっている。
保持部22aの内径寸法は、ヒータ端子20の先端部20aの外径寸法よりも僅かに短くなっている。
そのため、保持部22aに、リード15aを挿入することで、弾性力を発生させることができる。
保持部22aに、ヒータ端子20の先端部20aを挿入することで、弾性力を発生させることができる。
保持部22aは、発生させた弾性力により、リード15aとヒータ端子20(先端部20a)を保持する。
A lead 15a is inserted from one end of the holding portion 22a. The tip end portion 20a of the heater terminal 20 is inserted from the other end portion of the holding portion 22a.
The inner diameter dimension of the holding portion 22a is slightly shorter than the outer diameter dimension of the lead 15a.
The inner diameter dimension of the holding portion 22 a is slightly shorter than the outer diameter dimension of the tip end portion 20 a of the heater terminal 20.
Therefore, an elastic force can be generated by inserting the lead 15a into the holding portion 22a.
By inserting the distal end portion 20a of the heater terminal 20 into the holding portion 22a, an elastic force can be generated.
The holding part 22a holds the lead 15a and the heater terminal 20 (tip part 20a) by the generated elastic force.

また、保持部22aの一方の端部の近傍において、保持部22aとリード15aとを接合することができる。
例えば、抵抗溶接、レーザ溶接、および高融点金属を用いたロー付けなどにより、保持部22aとリード15aとを接合することができる。
保持部22aの他方の端部の近傍において、保持部22aとヒータ端子20の先端部20aとを接合することができる。
例えば、抵抗溶接、レーザ溶接、および高融点金属を用いたロー付けなどにより、保持部22aとヒータ端子20の先端部20aとを接合することができる。
保持部22aの端部の近傍において、保持部22aとリード15a、あるいは、保持部22aとヒータ端子20の先端部20aを接合すれば、接合部分の強度や信頼性を向上させることができるとともに、弾性力に与える影響を抑制することができる。
Further, the holding portion 22a and the lead 15a can be joined in the vicinity of one end portion of the holding portion 22a.
For example, the holding portion 22a and the lead 15a can be joined by resistance welding, laser welding, brazing using a refractory metal, or the like.
In the vicinity of the other end of the holding portion 22a, the holding portion 22a and the tip portion 20a of the heater terminal 20 can be joined.
For example, the holding portion 22a and the tip portion 20a of the heater terminal 20 can be joined by resistance welding, laser welding, brazing using a refractory metal, or the like.
If the holding portion 22a and the lead 15a or the holding portion 22a and the tip 20a of the heater terminal 20 are joined in the vicinity of the end of the holding portion 22a, the strength and reliability of the joined portion can be improved. The influence on the elastic force can be suppressed.

なお、リード15aの端面と、ヒータ端子20の先端部20aの端面とを接触させても良いし、リード15aの端面と、ヒータ端子20の先端部20aの端面との間に僅かな隙間を設けても良い。
この場合、リード15aの端面と、ヒータ端子20の先端部20aの端面との間に隙間を設けるようにすれば、熱応力を緩和させる効果を向上させることができる。
The end surface of the lead 15a and the end surface of the tip portion 20a of the heater terminal 20 may be brought into contact with each other, or a slight gap is provided between the end surface of the lead 15a and the end surface of the tip portion 20a of the heater terminal 20. May be.
In this case, if a gap is provided between the end face of the lead 15a and the end face of the tip portion 20a of the heater terminal 20, the effect of relieving thermal stress can be improved.

図3は、保持部22bおよび端子23を例示するための模式断面図である。
図3は、図1におけるB部の模式拡大図である。
図3に示すように、保持部22bは、リード15bと、端子23(接続部23a)を弾性力により保持する。
保持部22bは、例えば、線材を螺旋状に巻いたものとすることができる。
保持部22bは、図3に例示をしたもののように線材を密着させて巻いたものとすることもできるし、線材と線材との間に隙間をあけて巻いたものとすることもできる。
FIG. 3 is a schematic cross-sectional view for illustrating the holding portion 22 b and the terminal 23.
FIG. 3 is a schematic enlarged view of a portion B in FIG.
As shown in FIG. 3, the holding portion 22b holds the lead 15b and the terminal 23 (connecting portion 23a) with an elastic force.
The holding | maintenance part 22b shall be what wound the wire rod helically, for example.
The holding portion 22b may be wound with a wire rod in close contact like that illustrated in FIG. 3, or may be wound with a gap between the wire rod and the wire rod.

保持部22bの一方の端部からは、リード15bが挿入される。保持部22bの他方の端部からは、端子23の接続部23aが挿入される。
保持部22bの内径寸法は、リード15bの外径寸法よりも僅かに短くなっている。
保持部22bの内径寸法は、端子23の接続部23aの外径寸法よりも僅かに短くなっている。
そのため、保持部22bに、リード15bを挿入することで、弾性力を発生させることができる。
保持部22bに、端子23の接続部23aを挿入することで、弾性力を発生させることができる。
保持部22bは、発生させた弾性力により、リード15bと端子23(接続部23a)を保持する。
A lead 15b is inserted from one end of the holding portion 22b. The connecting portion 23a of the terminal 23 is inserted from the other end of the holding portion 22b.
The inner diameter dimension of the holding portion 22b is slightly shorter than the outer diameter dimension of the lead 15b.
The inner diameter dimension of the holding part 22 b is slightly shorter than the outer diameter dimension of the connection part 23 a of the terminal 23.
Therefore, an elastic force can be generated by inserting the lead 15b into the holding portion 22b.
By inserting the connection portion 23a of the terminal 23 into the holding portion 22b, an elastic force can be generated.
The holding part 22b holds the lead 15b and the terminal 23 (connection part 23a) by the generated elastic force.

また、保持部22bの一方の端部の近傍において、保持部22bとリード15bとを接合することができる。
例えば、抵抗溶接、レーザ溶接、および高融点金属を用いたロー付けなどにより、保持部22bとリード15bとを接合することができる。
保持部22bの他方の端部の近傍において、保持部22bと端子23の接続部23aとを接合することができる。
例えば、抵抗溶接、レーザ溶接、および高融点金属を用いたロー付けなどを行うことにより、保持部22bと端子23の接続部23aとを接合することができる。
保持部22bの端部の近傍において、保持部22bとリード15b、あるいは、保持部22bと端子23の接続部23aを接合すれば、接合部分の強度や信頼性を向上させることができるとともに、弾性力に与える影響を抑制することができる。
Further, the holding portion 22b and the lead 15b can be joined in the vicinity of one end portion of the holding portion 22b.
For example, the holding portion 22b and the lead 15b can be joined by resistance welding, laser welding, brazing using a refractory metal, or the like.
In the vicinity of the other end of the holding portion 22b, the holding portion 22b and the connection portion 23a of the terminal 23 can be joined.
For example, the holding portion 22b and the connection portion 23a of the terminal 23 can be joined by performing resistance welding, laser welding, brazing using a refractory metal, or the like.
If the holding portion 22b and the lead 15b or the connecting portion 23a of the holding portion 22b and the terminal 23 are joined in the vicinity of the end portion of the holding portion 22b, the strength and reliability of the joined portion can be improved, and elasticity The influence on the force can be suppressed.

なお、リード15bの端面と、端子23の接続部23aの端面とを接触させても良いし、リード15bの端面と、端子23の接続部23aの端面との間に僅かな隙間を設けても良い。
この場合、リード15bの端面と、端子23の接続部23aの端面との間に隙間を設けるようにすれば、熱応力を緩和させる効果を向上させることができる。
Note that the end surface of the lead 15b and the end surface of the connection portion 23a of the terminal 23 may be brought into contact with each other, or a slight gap may be provided between the end surface of the lead 15b and the end surface of the connection portion 23a of the terminal 23. good.
In this case, if a gap is provided between the end face of the lead 15b and the end face of the connecting portion 23a of the terminal 23, the effect of relieving thermal stress can be improved.

保持部22aおよび保持部22bは、例えば、耐熱性および導電性を有する材料から形成することができる。
保持部22aおよび保持部22bは、例えば、ステンレス、鉄、白金、タンタル、ニオブ、レ二ウム、タングステン、モリブデン、レ二ウム−モリブデン合金、レ二ウム−タングステン合金などから形成することができる。
この場合、ヒータ15が高温となることを考慮すると、1500℃程度の熱に耐えうる材料を用いて保持部22aおよび保持部22bを形成するのが好ましい。
例えば、保持部22aおよび保持部22bは、白金、タンタル、ニオブ、レ二ウム、タングステン、モリブデン、レ二ウム−モリブデン合金、レ二ウム−タングステン合金などから形成することが好ましい。
The holding part 22a and the holding part 22b can be formed from a material having heat resistance and conductivity, for example.
The holding part 22a and the holding part 22b can be made of, for example, stainless steel, iron, platinum, tantalum, niobium, rhenium, tungsten, molybdenum, rhenium-molybdenum alloy, rhenium-tungsten alloy, or the like.
In this case, in consideration of the high temperature of the heater 15, it is preferable to form the holding portion 22 a and the holding portion 22 b using a material that can withstand heat of about 1500 ° C.
For example, the holding portion 22a and the holding portion 22b are preferably formed from platinum, tantalum, niobium, rhenium, tungsten, molybdenum, rhenium-molybdenum alloy, rhenium-tungsten alloy, or the like.

ヒータ端子20の先端部20aおよび端子23の接続部23aは、例えば、直径寸法が1.0mm、材料がモリブデンからなるものとすることができる。
また、リード15aおよびリード15bは、例えば、直径寸法が1.0mm、材料がタングステンからなるものとすることができる。
また、保持部22aおよび保持部22bは、例えば、直径寸法が0.5mm、材料が白金からなるものとすることができる。
ただし、寸法や材料は例示をしたものに限定されるわけではない。
For example, the tip portion 20a of the heater terminal 20 and the connection portion 23a of the terminal 23 may be 1.0 mm in diameter and made of molybdenum.
In addition, the lead 15a and the lead 15b can be, for example, 1.0 mm in diameter and made of tungsten.
Moreover, the holding part 22a and the holding part 22b can be made of, for example, a diameter of 0.5 mm and a material of platinum.
However, dimensions and materials are not limited to those illustrated.

ここで、ヒータ15の発熱部15cが発熱することでリード15aおよびリード15bが加熱される。
リード15aの熱膨張係数とヒータ端子20の熱膨張係数とには差がある。
リード15bの熱膨張係数と端子23の熱膨張係数とには差がある。
そのため、熱膨張係数の差に起因する熱応力が発生する。
また、電子銃構体1の設置環境や搬送環境などによっては、リード15a、リード15b、ヒータ端子20、および端子23に振動が加わる場合もある。
Here, the lead 15a and the lead 15b are heated by the heat generation part 15c of the heater 15 generating heat.
There is a difference between the thermal expansion coefficient of the lead 15 a and the thermal expansion coefficient of the heater terminal 20.
There is a difference between the thermal expansion coefficient of the lead 15 b and the thermal expansion coefficient of the terminal 23.
Therefore, thermal stress resulting from the difference in thermal expansion coefficient is generated.
Further, depending on the installation environment or the transport environment of the electron gun assembly 1, vibration may be applied to the lead 15 a, the lead 15 b, the heater terminal 20, and the terminal 23.

本実施の形態においては、保持部22aは、リード15aとヒータ端子20を弾性力により保持している。
そのため、保持部22aにより、熱応力や振動などを緩和することができる。
また、保持部22bは、リード15bと、端子23を弾性力により保持している。
そのため、保持部22bにより、熱応力や振動などを緩和することができる。
In the present embodiment, the holding portion 22a holds the lead 15a and the heater terminal 20 by elastic force.
Therefore, thermal stress, vibration, etc. can be relieved by the holding part 22a.
The holding portion 22b holds the lead 15b and the terminal 23 by elastic force.
Therefore, thermal stress, vibration, etc. can be relieved by the holding part 22b.

また、保持部22aの一方の端部の近傍において、リード15aと保持部22aが接合されている。
保持部22aの他方の端部の近傍において、ヒータ端子20と保持部22aが接合されている。
保持部22bの一方の端部の近傍において、リード15bと保持部22bが接合されている。
保持部22bの他方の端部の近傍において、端子23と保持部22bが接合されている。
そのため、リード15aとヒータ端子20の接合強度を高めることができる。
リード15bと端子23の接合強度を高めることができる。
本実施の形態によれば、ヒータ15のオン・オフ動作を繰り返しても、ヒータのリードが破断したり、ヒータのリードと相手部材との接合が外れたりするのを抑制することができる。
また、ヒータ15に電力を安定して供給できる。
また、保持部22aおよび保持部22bは、クーリングコイルの役割をも果たし、接合部分の温度上昇を低減できる。
Further, the lead 15a and the holding portion 22a are joined in the vicinity of one end of the holding portion 22a.
In the vicinity of the other end of the holding portion 22a, the heater terminal 20 and the holding portion 22a are joined.
In the vicinity of one end of the holding portion 22b, the lead 15b and the holding portion 22b are joined.
In the vicinity of the other end of the holding portion 22b, the terminal 23 and the holding portion 22b are joined.
Therefore, the bonding strength between the lead 15a and the heater terminal 20 can be increased.
The bonding strength between the lead 15b and the terminal 23 can be increased.
According to the present embodiment, even when the heater 15 is repeatedly turned on and off, it is possible to prevent the heater lead from being broken or from being disconnected from the heater lead and the mating member.
Further, power can be stably supplied to the heater 15.
Moreover, the holding | maintenance part 22a and the holding | maintenance part 22b also play the role of a cooling coil, and can reduce the temperature rise of a junction part.

なお、保持部22aおよび保持部22bのいずれかを設けるようにしても良い。
すなわち、保持部22aおよび保持部22bの少なくともいずれかが設けられるようにすればよい。
ただし、保持部22aおよび保持部22bの両方を設けるようにすることが好ましい。 本実施の形態によれば、ヒータのリードにかかる応力の低減、接合部分における強度の向上、および、接合部分における信頼性の向上を図ることができる。
Note that either the holding unit 22a or the holding unit 22b may be provided.
That is, at least one of the holding part 22a and the holding part 22b may be provided.
However, it is preferable to provide both the holding part 22a and the holding part 22b. According to the present embodiment, it is possible to reduce the stress applied to the lead of the heater, improve the strength at the joined portion, and improve the reliability at the joined portion.

図4(a)、(b)は、保持部22aを例示するための模式図である。
なお、図4(a)は、保持部22aを例示するための模式断面図である。
図4(b)は、図4(a)におけるC−C線断面図である。
図2に例示をしたものは、リード15aの端面と、ヒータ端子20の先端部20aの端面とを対峙させるようにしている。
図4(a)、(b)に例示をしたものは、リード15aの側面と、ヒータ端子20の先端部20aの側面とを対峙させるようにしている。
例えば、リード15aの側面と、ヒータ端子20の先端部20aの側面とを接触させるようにすることができる。
4A and 4B are schematic views for illustrating the holding portion 22a.
FIG. 4A is a schematic cross-sectional view for illustrating the holding portion 22a.
FIG.4 (b) is CC sectional view taken on the line in Fig.4 (a).
In the example illustrated in FIG. 2, the end surface of the lead 15 a and the end surface of the distal end portion 20 a of the heater terminal 20 are opposed to each other.
4A and 4B, the side surface of the lead 15a and the side surface of the tip 20a of the heater terminal 20 are opposed to each other.
For example, the side surface of the lead 15a and the side surface of the tip portion 20a of the heater terminal 20 can be brought into contact with each other.

保持部22aの内径寸法は、リード15aの外径寸法とヒータ端子20の先端部20aの外径寸法との和よりも僅かに短くなっている。
そのため、保持部22aに、リード15aおよびヒータ端子20の先端部20aを挿入することで、弾性力を発生させることができる。そして、保持部22aは、発生させた弾性力により、リード15aとヒータ端子20(先端部20a)を保持する。
The inner diameter dimension of the holding portion 22 a is slightly shorter than the sum of the outer diameter dimension of the lead 15 a and the outer diameter dimension of the tip end portion 20 a of the heater terminal 20.
Therefore, an elastic force can be generated by inserting the lead 15a and the tip 20a of the heater terminal 20 into the holding portion 22a. And the holding | maintenance part 22a hold | maintains the lead | read | reed 15a and the heater terminal 20 (front-end | tip part 20a) with the generated elastic force.

また、保持部22aの両端部の近傍において、保持部22aと、リード15aおよびヒータ端子20の先端部20aとをそれぞれ接合することができる。
例えば、抵抗溶接、レーザ溶接、および高融点金属を用いたロー付けなどにより、保持部22aと、リード15aおよびヒータ端子20の先端部20aとを接合することができる。
保持部22aの両端部の近傍において、保持部22aと、リード15aおよびヒータ端子20の先端部20aとをそれぞれ接合すれば、接合部分の強度や信頼性を向上させることができるとともに、弾性力に与える影響を抑制することができる。
Further, in the vicinity of both end portions of the holding portion 22a, the holding portion 22a can be joined to the lead 15a and the tip portion 20a of the heater terminal 20, respectively.
For example, the holding portion 22a, the lead 15a, and the tip portion 20a of the heater terminal 20 can be joined by resistance welding, laser welding, brazing using a refractory metal, or the like.
If the holding portion 22a, the lead 15a, and the tip portion 20a of the heater terminal 20 are joined in the vicinity of both end portions of the holding portion 22a, the strength and reliability of the joined portion can be improved and elastic force can be increased. The influence given can be suppressed.

本実施の形態によっても、前述した熱応力や振動などの緩和効果、クーリング効果などを享受することができる。
この場合、リード15aの側面と、ヒータ端子20の先端部20aの側面とを対峙させるようにしているので、リード15aとヒータ端子20とが相互に束縛されるのを抑制することができる。
そのため、熱応力や振動などの緩和効果をさらに向上させることができる。
Also according to the present embodiment, the above-described relaxation effect such as thermal stress and vibration, the cooling effect, and the like can be enjoyed.
In this case, since the side surface of the lead 15a and the side surface of the tip portion 20a of the heater terminal 20 are opposed to each other, it is possible to prevent the lead 15a and the heater terminal 20 from being bound to each other.
Therefore, the mitigation effects such as thermal stress and vibration can be further improved.

また、保持部22bに関しても同様とすることができる。
この場合は、リード15bの側面と、端子23の接続部23aの側面とを接触させるようにすればよい。
The same applies to the holding portion 22b.
In this case, the side surface of the lead 15b and the side surface of the connection portion 23a of the terminal 23 may be brought into contact with each other.

また、以上においては、保持部22aおよび保持部22bが、線材が螺旋状に巻かれた形態を有する場合を例示したが、弾性力を用いてリードと相手部材を保持するものであれば良い。
例えば、保持部22aおよび保持部22bは、スリットを有する円筒とし、板バネによる弾性力を用いるものであってもよい。
ただし、保持部22aおよび保持部22bが、線材が螺旋状に巻かれた形態を有するものとすれば、前述した熱応力や振動などの緩和効果をさらに高めることができる。
Moreover, although the case where the holding part 22a and the holding part 22b have a form in which the wire is wound spirally has been illustrated above, any means may be used as long as the lead and the counterpart member are held using elastic force.
For example, the holding part 22a and the holding part 22b may be cylinders having slits and may use elastic force by a leaf spring.
However, if the holding part 22a and the holding part 22b have a form in which the wire is wound spirally, the above-described mitigation effects such as thermal stress and vibration can be further enhanced.

以上、本発明のいくつかの実施形態を例示したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更などを行うことができる。これら実施形態やその変形例は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。また、前述の各実施形態は、相互に組み合わせて実施することができる。   As mentioned above, although several embodiment of this invention was illustrated, these embodiment is shown as an example and is not intending limiting the range of invention. These novel embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, changes, and the like can be made without departing from the spirit of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, and are included in the invention described in the claims and equivalents thereof. Further, the above-described embodiments can be implemented in combination with each other.

1 電子銃構体、11 カソード、11a 電子放射面、12 グリッド、13 アノード、14 ウェーネルト電極、15 ヒータ、15a リード、15b リード、15c 発熱部、19 反射板、20 ヒータ端子、20a 先端部、22a 保持部、22b 保持部、23 端子、23a 接続部   1 Electron Gun Structure, 11 Cathode, 11a Electron Emission Surface, 12 Grid, 13 Anode, 14 Wehnelt Electrode, 15 Heater, 15a Lead, 15b Lead, 15c Heating Part, 19 Reflector, 20 Heater Terminal, 20a Tip, 22a Holding Part, 22b holding part, 23 terminal, 23a connection part

Claims (5)

電子を放出するカソードと、
前記カソードの電子放射面側に設けられたアノードと、
前記カソードと、前記アノードと、の間に設けられたグリッドと、
前記カソードの前記電子放射面側とは反対側に設けられ、第1のリードを有するヒータと、
前記第1のリードと電気的に接続される第1の端子と、
前記第1のリードと、前記第1の端子と、を弾性力により保持する第1の保持部と、
を備えた電子銃構体。
A cathode that emits electrons;
An anode provided on the electron emission surface side of the cathode;
A grid provided between the cathode and the anode;
A heater provided on the opposite side of the cathode from the electron emission surface side and having a first lead;
A first terminal electrically connected to the first lead;
A first holding portion that holds the first lead and the first terminal by an elastic force;
An electron gun structure with
前記ヒータは、第2のリードをさらに有し、
前記第2のリードと電気的に接続される第2の端子と、
前記第2のリードと、前記第2の端子と、を弾性力により保持する第2の保持部と、
をさらに備えた請求項1記載の電子銃構体。
The heater further has a second lead,
A second terminal electrically connected to the second lead;
A second holding portion for holding the second lead and the second terminal by an elastic force;
The electron gun assembly according to claim 1, further comprising:
前記第1の保持部は、線材が螺旋状に巻かれた形態を有する請求項1または2に記載の電子銃構体。   The electron gun assembly according to claim 1, wherein the first holding unit has a form in which a wire is wound in a spiral shape. 前記第2の保持部は、線材が螺旋状に巻かれた形態を有する請求項2または3に記載の電子銃構体。   The electron gun assembly according to claim 2 or 3, wherein the second holding portion has a form in which a wire is wound in a spiral shape. 前記第1の保持部、および前記第2の保持部は、ステンレス、鉄、白金、タンタル、ニオブ、レ二ウム、タングステン、モリブデン、レ二ウム−モリブデン合金、およびレ二ウム−タングステン合金からなる群より選ばれた少なくとも1種を含む請求項1〜4のいずれか1つに記載の電子銃構体。   The first holding part and the second holding part are made of stainless steel, iron, platinum, tantalum, niobium, rhenium, tungsten, molybdenum, rhenium-molybdenum alloy, and rhenium-tungsten alloy. The electron gun assembly according to any one of claims 1 to 4, comprising at least one selected from the group.
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