JP2015201468A - 基板洗浄装置および基板洗浄方法および半導体素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 洗浄中における絶縁性基板の帯電を防止する基板洗浄装置および基板洗浄方法および半導体素子の製造方法を提供することである。【解決手段】 基板洗浄装置100は、ウエハS1を保持する基板保持部120と、基板保持部120を回転駆動するモーター150と、ウエハS1の第1面S1aに第1の洗浄液を供給する第1の洗浄液供給部160と、ウエハS1の第2面S1bに第2の洗浄液を供給する第2の洗浄液供給部180と、を有する。また、基板洗浄装置100は、第1の洗浄液と第2の洗浄液とが合流する洗浄液合流領域R1を有する。そして、洗浄液合流領域R1は、ウエハS1の外側面S1cより外側に位置する。【選択図】図2
Description
本発明は、基板洗浄装置および基板洗浄方法および半導体素子の製造方法に関する。さらに詳細には、比抵抗の高い洗浄液を用いることのできる基板洗浄装置および基板洗浄方法および半導体素子の製造方法に関するものである。
半導体素子の製造工程には、各種のプロセスの後に基板を洗浄する洗浄工程がある。洗浄工程では種々の薬液が用いられるが、純水が用いられることがある。純水は比抵抗が比較的高い。そのため、絶縁性基板を洗浄する際に純水を用いると絶縁性基板の表面や半導体層が帯電しやすい。この帯電により、半導体層の静電破壊が生じることがある。または、絶縁性基板の表面の静電気により、異物粒子が絶縁性基板に付着することがある。
そのため、絶縁性基板を比抵抗の高い洗浄液で洗浄する際に、絶縁性基板の帯電を防止する方策がとられてきている。例えば、特許文献1には、比抵抗の高い洗浄水で絶縁性基板を洗浄した後に、比抵抗の低い洗浄水で絶縁性基板を洗浄する技術が開示されている(特許文献1の段落[0042]等参照)。これにより、絶縁性基板の帯電量を低減できるとしている。
しかし、特許文献1の洗浄方法を用いた場合、比抵抗の高い洗浄水を用いて絶縁性基板を洗浄する際には、一時的にであれ、絶縁性基板はやや強く帯電する。そのため、半導体層になんらかの損傷を与えるおそれがある。したがって、絶縁性基板の帯電をさらに抑制することが好ましい。
本発明は、前述した従来の技術が有する問題点を解決するためになされたものである。すなわちその課題とするところは、洗浄中における絶縁性基板の帯電を防止する基板洗浄装置および基板洗浄方法および半導体素子の製造方法を提供することである。
第1の態様における基板洗浄装置は、絶縁性基板を保持する基板保持部と、基板保持部を回転駆動する回転駆動部と、絶縁性基板の第1面に第1の洗浄液を供給する第1の洗浄液供給部と、絶縁性基板の第2面に第2の洗浄液を供給する第2の洗浄液供給部と、を有する。この基板洗浄装置は、第1の洗浄液と第2の洗浄液とが合流する洗浄液合流領域を有する。そして、洗浄液合流領域は、絶縁性基板の外側面より外側に位置する。
この基板洗浄装置は、絶縁性基板の第1面を洗浄する第1の洗浄液と、第2面を洗浄する第2の洗浄液と、を接触させる。これにより、洗浄液が電荷の通過経路の役割を果たす。そのため、比抵抗の高い洗浄液を用いたとしても、絶縁性基板をそれほど高く帯電させるおそれがない。このため、半導体層の帯電に起因する半導体層の損傷を防止することができる。また、異物粒子の絶縁性基板への再付着を防止することができる。また、絶縁性基板の上に半導体層を成長させる前後のいずれにおいても、絶縁性基板の洗浄を実施することができる。そのため、絶縁性基板の第1面とは、半導体層の形成されていない面と、半導体層の形成された面と、の両方を含むものとする。
第2の態様における基板洗浄装置は、合流した洗浄液を、絶縁性基板から遠ざかる向きに流す。
第3の態様における基板洗浄装置では、第2の洗浄液供給部は、接地されたバックリンスノズルである。
第4の態様における基板洗浄装置では、第1の洗浄液供給部は、第1の洗浄液として、洗浄水および有機溶剤のいずれも用いることができる。
第5の態様における基板洗浄方法は、絶縁性基板を洗浄する洗浄方法である。この洗浄方法では、絶縁性基板を回転させつつ、絶縁性基板の第1面に第1の洗浄液を供給するとともに、絶縁性基板の第2面に第2の洗浄液を供給する。そして、絶縁性基板の外側面より外側の洗浄液合流領域で、第1の洗浄液と第2の洗浄液とを合流させる。
この基板洗浄方法は、絶縁性基板の第1面を洗浄する第1の洗浄液と、第2面を洗浄する第2の洗浄液と、を接触させる。これにより、洗浄液が電荷の通過経路の役割を果たす。そのため、比抵抗の高い洗浄液を用いたとしても、絶縁性基板をそれほど高く帯電させるおそれがない。このため、半導体層の帯電に起因する半導体層の損傷を防止することができる。また、異物粒子の絶縁性基板への再付着を防止することができる。
第6の態様における基板洗浄方法において、洗浄液合流領域では、合流した洗浄液を、絶縁性基板から遠ざかる向きに流す。
第7の態様における基板洗浄方法では、接地されたバックリンスから第2の洗浄液を供給する。
第8の態様における基板洗浄方法は、第1の洗浄液の供給と、第2の洗浄液の供給とを、同時に行う。
第9の態様における半導体素子の製造方法は、絶縁性基板を洗浄する洗浄工程を有する。洗浄工程では、絶縁性基板を回転させつつ、絶縁性基板の第1面に第1の洗浄液を供給するとともに、絶縁性基板の第2面に第2の洗浄液を供給する。そして、絶縁性基板の外側面より外側の洗浄液合流領域で、第1の洗浄液と第2の洗浄液とを合流させる。
この半導体素子の製造方法は、絶縁性基板の洗浄工程において、絶縁性基板の帯電を抑制することができる。このため、半導体層の帯電に起因する半導体層の損傷を防止することができる。また、異物粒子の絶縁性基板への再付着を防止することができる。
第10の態様における半導体素子の製造方法において、洗浄工程では、洗浄液合流領域で合流した洗浄液を、絶縁性基板から遠ざかる向きに流す。
本発明では、洗浄中における絶縁性基板の帯電を防止する基板洗浄装置および基板洗浄方法および半導体素子の製造方法が提供されている。
以下、具体的な実施形態について、基板洗浄装置および基板洗浄方法を例に挙げて図を参照しつつ説明する。しかし、これらの実施形態に限定されるものではない。
(第1の実施形態)
1.基板洗浄装置の構成
図1は、本実施形態の基板洗浄装置100の概略構成を示す概念図である。基板洗浄装置100は、ウエハS1を一枚ずつジェット洗浄するジェット洗浄式の枚葉洗浄装置である。ウエハS1は、サファイア基板等の絶縁性基板である。図1に示すように、基板洗浄装置100は、チャンバー110と、基板保持部120と、回転軸130と、真空ポンプ140と、モーター150と、第1の洗浄液供給部160と、走査部170と、第2の洗浄液供給部180と、を有している。チャンバー100は、各部を収容するためのものである。
1.基板洗浄装置の構成
図1は、本実施形態の基板洗浄装置100の概略構成を示す概念図である。基板洗浄装置100は、ウエハS1を一枚ずつジェット洗浄するジェット洗浄式の枚葉洗浄装置である。ウエハS1は、サファイア基板等の絶縁性基板である。図1に示すように、基板洗浄装置100は、チャンバー110と、基板保持部120と、回転軸130と、真空ポンプ140と、モーター150と、第1の洗浄液供給部160と、走査部170と、第2の洗浄液供給部180と、を有している。チャンバー100は、各部を収容するためのものである。
基板保持部120は、ウエハS1を洗浄している期間内にウエハS1を保持するためのものである。基板保持部120は、開口部121と、開口部121と連通する連通部122と、を有する。基板保持部120は、真空ポンプ140による真空引きにより、ウエハS1を保持するためのものである。
回転軸130は、モーター150からの回転駆動を基板保持部120に伝達する回転駆動伝達部である。回転軸130は、連通部131を有している。開口部121と、連通部122と、連通部131とは連通している。そして、真空ポンプ140により、真空引きされる。真空ポンプ140は、ウエハS1を吸引することにより、ウエハS1を保持するためのものである。
モーター150は、基板保持部120を回転駆動するための回転駆動部である。ウエハS1は基板保持部120に保持されているため、基板保持部120とともに回転する。つまり、モーター150および回転軸130は、ウエハS1および基板保持部120を回転させる基板回転部である。
図2に示すように、第1の洗浄液供給部160は、第1の洗浄液をウエハS1の第1面S1aに供給するためのものである。第1の洗浄液供給部160は、第1の洗浄液として、洗浄水および有機溶剤のいずれも用いることができる。ここで、洗浄水は、比抵抗の高い洗浄水(例えば、RO水、イオン交換水、純水、超純水)のことをいう。また、洗浄水は、洗浄成分を含む水溶液であってもよい。
走査部170は、第1の洗浄液供給部160をウエハS1の第1面S1aに平行な方向に走査するためのものである。
第2の洗浄液供給部180は、第2の洗浄液をウエハS1の第2面S1bに供給するためのものである。第2の洗浄液供給部180は、第2の洗浄液として、洗浄水および有機溶剤のいずれも用いることができる。第2の洗浄液供給部180は、例えば、バックリンスノズルである。第2の洗浄液供給部180の先端部分は、回転軸130からチャンバー110の側壁に向かう向きを向いている。そのため、第2の洗浄液供給部180から供給される第2の洗浄液は、ウエハS1の外周側を洗浄する。
ここで、チャンバー110と、第1の洗浄液供給部160と、第2の洗浄液供給部180とは、接地されている。
また、基板洗浄装置100は、窒素ガスを噴出するためのエアノズル(図示せず)と、窒素ガスを供給するガス供給部(図示せず)と、を有している。エアノズルは、窒素ガスを洗浄後のウエハS1に供給する。これにより、ウエハS1は乾燥される。
2.基板洗浄方法
図3は、本実施形態の基板洗浄装置100の使用時における洗浄液の流れを説明するための図である。図3は、基板洗浄装置100を第2の洗浄液供給部180の側からみた図である。そのため、第1の洗浄液供給部160および第1の洗浄液の流れを示す矢印K1については、破線で描かれている。
図3は、本実施形態の基板洗浄装置100の使用時における洗浄液の流れを説明するための図である。図3は、基板洗浄装置100を第2の洗浄液供給部180の側からみた図である。そのため、第1の洗浄液供給部160および第1の洗浄液の流れを示す矢印K1については、破線で描かれている。
2−1.第1の洗浄液の流れ
第1の洗浄液供給部160は、第1の洗浄液をウエハS1の第1面S1aの上に供給する。第1の洗浄液供給部160が第1の洗浄液を供給する向きは、ウエハS1の第1面S1aにほぼ垂直な向きである。第1の洗浄液は、図3の矢印K1に示すように、ウエハS1の第1面S1aの上を放射状に広がる。そのため、第1の洗浄液は、ウエハS1の第1面S1aの全面にわたって洗浄する。実際には、ウエハS1は、基板保持部120の回転とともに矢印K3の向きに回転している。そのため、第1の洗浄液は、その回転の影響を受けて、やや渦巻き状に流れる。
第1の洗浄液供給部160は、第1の洗浄液をウエハS1の第1面S1aの上に供給する。第1の洗浄液供給部160が第1の洗浄液を供給する向きは、ウエハS1の第1面S1aにほぼ垂直な向きである。第1の洗浄液は、図3の矢印K1に示すように、ウエハS1の第1面S1aの上を放射状に広がる。そのため、第1の洗浄液は、ウエハS1の第1面S1aの全面にわたって洗浄する。実際には、ウエハS1は、基板保持部120の回転とともに矢印K3の向きに回転している。そのため、第1の洗浄液は、その回転の影響を受けて、やや渦巻き状に流れる。
2−2.第2の洗浄液の流れ
第2の洗浄液供給部180は、第2の洗浄液をウエハS1の第2面S1bの上に供給する。第2の洗浄液供給部180が第2の洗浄液を供給する向きは、ウエハS1の第2面S1bに交差するとともにウエハS1の外側面S1cに向かう向きである。第2の洗浄液は、図3の矢印K2に示すように、ウエハS1の第2面S1bの上を第2の洗浄液供給部180のノズルの向きに沿う向きに流れる。そして、第2の洗浄液は、ウエハS1に到達した後には、やや扇状に広がる。ここで、ウエハS1は、基板保持部120の回転とともに矢印K3の向きに回転している。そのため、第2の洗浄液は、ウエハS1におけるリング状の外周部分を洗浄することとなる。
第2の洗浄液供給部180は、第2の洗浄液をウエハS1の第2面S1bの上に供給する。第2の洗浄液供給部180が第2の洗浄液を供給する向きは、ウエハS1の第2面S1bに交差するとともにウエハS1の外側面S1cに向かう向きである。第2の洗浄液は、図3の矢印K2に示すように、ウエハS1の第2面S1bの上を第2の洗浄液供給部180のノズルの向きに沿う向きに流れる。そして、第2の洗浄液は、ウエハS1に到達した後には、やや扇状に広がる。ここで、ウエハS1は、基板保持部120の回転とともに矢印K3の向きに回転している。そのため、第2の洗浄液は、ウエハS1におけるリング状の外周部分を洗浄することとなる。
2−3.洗浄液合流領域
図3に示すように、基板洗浄装置100は、洗浄液合流領域R1を有している。洗浄液合流領域R1は、第1の洗浄液と第2の洗浄液とが接触するとともに合流する領域である。この洗浄液合流領域R1は、図2および図3に示すように、ウエハS1の外側面S1cより外側に位置している。また、図2に示すように、洗浄液合流領域R1は、ウエハS1が配置される高さと同程度の高さに位置している。洗浄液合流領域R1では、合流した洗浄液は、ウエハS1から遠ざかる向きに流れる。
図3に示すように、基板洗浄装置100は、洗浄液合流領域R1を有している。洗浄液合流領域R1は、第1の洗浄液と第2の洗浄液とが接触するとともに合流する領域である。この洗浄液合流領域R1は、図2および図3に示すように、ウエハS1の外側面S1cより外側に位置している。また、図2に示すように、洗浄液合流領域R1は、ウエハS1が配置される高さと同程度の高さに位置している。洗浄液合流領域R1では、合流した洗浄液は、ウエハS1から遠ざかる向きに流れる。
このように、洗浄液合流領域R1で第1の洗浄液と第2の洗浄液とが合流するためには、ウエハS1を回転させつつ、ウエハS1の第1面S1aに第1の洗浄液を供給すると同時に、ウエハS1の第2面S1bに第2の洗浄液を供給する。つまり、第1の洗浄液を供給する第1の供給期間と、第2の洗浄液を供給する第2の供給期間とは、一致している必要がある。つまり、第1の供給期間の少なくとも一部と、第2の供給期間の少なくとも一部とが、重なっている。このように、基板洗浄装置100は、第1の洗浄液と第2の洗浄液とを同時に供給することにより、これらの洗浄液を合流させる。
なお、第1の洗浄液と第2の洗浄液とを接触させるには、第2の洗浄液供給部180の機械的構成と、これらの洗浄液の流速等の条件を調整してやればよい。第2の洗浄液供給部180の機械的構成として、開口部の向きや角度、ウエハS1からの距離等が挙げられる。
2−4.洗浄液の合流による効果
図4は、第2の洗浄液供給部180の周辺を示す図である。図4に示すように、第1の洗浄液と第2の洗浄液とは洗浄液合流領域R1で合流する。第1の洗浄液は、矢印K1の向きに流れる。第2の洗浄液は、矢印K2の向きに流れる。第1の洗浄液は、例えば、純水等の比抵抗の高い溶液である。絶縁性基板であるウエハS1は、第1の洗浄液との間の摩擦で帯電しようとする。
図4は、第2の洗浄液供給部180の周辺を示す図である。図4に示すように、第1の洗浄液と第2の洗浄液とは洗浄液合流領域R1で合流する。第1の洗浄液は、矢印K1の向きに流れる。第2の洗浄液は、矢印K2の向きに流れる。第1の洗浄液は、例えば、純水等の比抵抗の高い溶液である。絶縁性基板であるウエハS1は、第1の洗浄液との間の摩擦で帯電しようとする。
しかし、第1の洗浄液と第2の洗浄液とが接触しているため、ウエハS1の第1面S1aの電荷は、図4の矢印KCの向きに移動する。つまり、ウエハS1の電荷は、第1の洗浄液を通過した後に第2の洗浄液を通過する。そして、第2の洗浄液供給部180に到達する。
このように、ウエハS1の第1面S1aの電荷は、まず、第1の洗浄液の流れに沿う向きに移動する。続いて、電荷は、第2の洗浄液の流れに逆らう向きに移動する。そして、第2の洗浄液供給部180に到達する。ここで、第2の洗浄液供給部180は接地されているため、電荷はすべて接地箇所に向かって逃げることができる。つまり、洗浄液合流領域R1があることにより、洗浄液が電荷の通過する経路となる。これにより、ウエハS1の帯電を抑制することができる。
このため、ウエハS1が帯電することによる半導体層の静電破壊を防止することができる。また、ウエハS1が帯電することによる汚れの再付着を防止することができる。実際に、本実施形態の洗浄方法を用いることにより、歩留りは、1%程度向上した。
3.第1の洗浄工程
ここで、基板洗浄装置100を用いた洗浄工程について説明する。図5は、基板洗浄装置100を用いた洗浄工程の一例を示すフローチャートである。この洗浄工程は、半導体層を形成する前のウエハS1を洗浄する場合に用いられる。
ここで、基板洗浄装置100を用いた洗浄工程について説明する。図5は、基板洗浄装置100を用いた洗浄工程の一例を示すフローチャートである。この洗浄工程は、半導体層を形成する前のウエハS1を洗浄する場合に用いられる。
図5に示すように、まず、S101では、ウエハS1をジェット洗浄により洗浄するジェット洗浄工程を実施する。S101では、第1の洗浄液供給部160が、第1の洗浄液を勢いよくウエハS1の第1面S1aに供給する。このジェット洗浄における洗浄液の水圧は、10MPa程度である。
一方、第2の洗浄液供給部180が、第2の洗浄液をウエハS1の第2面S1bに供給する。そして、第1の洗浄液と第2の洗浄液とは、洗浄液合流領域R1で合流する。S101では、第1の洗浄液および第2の洗浄液として、RO水を用いる。RO水とは、濾過装置を用いることにより濾過した水である。RO水の比抵抗は、0.1MΩ・cm程度である。
次に、S102では、塗布洗浄工程を実施する。S102では、第1の洗浄液供給部160が、第1の洗浄液をゆっくりとウエハS1の第1面S1aに供給する。一方、第2の洗浄液供給部180が、第2の洗浄液をウエハS1の第2面S1bに供給する。そして、第1の洗浄液と第2の洗浄液とは、洗浄液合流領域R1で合流する。S102では、第1の洗浄液および第2の洗浄液として、純水を用いる。純水とは、RO等によって一次処理し、さらにイオン交換を施すことにより精製された水である。純水の比抵抗は、10MΩ・cm以上である。
そして、S103では、ウエハS1を乾燥させる。その際に、窒素ガスをウエハS1に吹き付けるとよい。
4.第2の洗浄工程
図6は、基板洗浄装置100を用いた別の洗浄工程の一例を示すフローチャートである。この洗浄工程は、半導体層を形成した後のウエハS1を洗浄する場合に用いられる。例えば、ウエハS1からレジストを除去する場合である。この洗浄工程では、洗浄液として有機溶剤を用いる。
図6は、基板洗浄装置100を用いた別の洗浄工程の一例を示すフローチャートである。この洗浄工程は、半導体層を形成した後のウエハS1を洗浄する場合に用いられる。例えば、ウエハS1からレジストを除去する場合である。この洗浄工程では、洗浄液として有機溶剤を用いる。
図6に示すように、まず、S201では、塗布洗浄工程を実施する。S201では、第1の洗浄液供給部160が、第1の洗浄液をゆっくりとウエハS1の第1面S1aに供給する。一方、第2の洗浄液供給部180が、第2の洗浄液をウエハS1の第2面S1bに供給する。そして、第1の洗浄液と第2の洗浄液とは、洗浄液合流領域R1で合流する。S201では、第1の洗浄液および第2の洗浄液として、NMP(N−メチルピロリドン)を用いる。
次に、S202では、ウエハS1をジェット洗浄により洗浄するジェット洗浄工程を実施する。S202では、第1の洗浄液供給部160が、第1の洗浄液を勢いよくウエハS1の第1面S1aに供給する。一方、第2の洗浄液供給部180が、第2の洗浄液をウエハS1の第2面S1bに供給する。そして、第1の洗浄液と第2の洗浄液とは、洗浄液合流領域R1で合流する。S202では、第1の洗浄液および第2の洗浄液として、NMPを用いる。
次に、S203では、塗布洗浄工程を実施する。S203では、第1の洗浄液供給部160が、第1の洗浄液をゆっくりとウエハS1の第1面S1aに供給する。一方、第2の洗浄液供給部180が、第2の洗浄液をウエハS1の第2面S1bに供給する。そして、第1の洗浄液と第2の洗浄液とは、洗浄液合流領域R1で合流する。S203では、第1の洗浄液および第2の洗浄液として、IPA(イソプロピルアルコール)を用いる。
そして、S204では、塗布洗浄工程を実施する。S204では、第1の洗浄液供給部160が、第1の洗浄液をゆっくりとウエハS1の第1面S1aに供給する。一方、第2の洗浄液供給部180が、第2の洗浄液をウエハS1の第2面S1bに供給する。そして、第1の洗浄液と第2の洗浄液とは、洗浄液合流領域R1で合流する。S204では、第1の洗浄液および第2の洗浄液として、純水を用いる。
そして、S205では、ウエハS1を乾燥させる。その際に、窒素ガスをウエハS1に吹き付けるとよい。
このように本実施形態では、比抵抗の高い純水等から、比抵抗のそれほど高くない有機溶剤まで、多くの種類の洗浄液を用いることができる。特に、この基板洗浄装置100は、比抵抗がそれほど高くない有機溶剤と、比抵抗が0.1MΩ・cm以上20MΩ・cm以下の洗浄水と、の両方を用いることができる。そして、これらの洗浄液を用いることにより、半導体層の静電破壊を防止して、ウエハS1の洗浄を実施することができる。また、異物粒子のウエハS1への再付着を防止することができる。
なお、比抵抗の低い洗浄液を用いてウエハS1を洗浄する場合には、必ずしも第2の洗浄液を供給する必要はない。比抵抗の低い洗浄液を用いた場合には、比抵抗の高い洗浄液を用いた場合に比べて、ウエハS1はそれほど帯電しないからである。ここで、比抵抗の低い洗浄液とは、例えば、NMP、IPA等の有機溶剤が挙げられる。このように、基板洗浄装置100は、比抵抗の高い洗浄水を用いる場合に、特に適している。
5.変形例
5−1.他の洗浄液供給部
図7に示すように、基板洗浄装置200を用いてもよい。基板洗浄装置200は、図1の基板洗浄装置100の構成の他に、第3の洗浄液供給部260と、第4の洗浄液供給部280と、を有している。第3の洗浄液供給部260は、第3の洗浄液を供給する。第4の洗浄液供給部280は、第4の洗浄液を供給する。第3の洗浄液および第4の洗浄液は、上記のいずれの洗浄液であってもよい。
5−1.他の洗浄液供給部
図7に示すように、基板洗浄装置200を用いてもよい。基板洗浄装置200は、図1の基板洗浄装置100の構成の他に、第3の洗浄液供給部260と、第4の洗浄液供給部280と、を有している。第3の洗浄液供給部260は、第3の洗浄液を供給する。第4の洗浄液供給部280は、第4の洗浄液を供給する。第3の洗浄液および第4の洗浄液は、上記のいずれの洗浄液であってもよい。
第3の洗浄液供給部260は、ウエハS1の第1面S1aの側であってウエハS1の外縁と対面する位置に配置されている。第3の洗浄液供給部260が供給する第3の洗浄液は、ウエハS1の外側面S1cの周辺で第1の洗浄液を第2の洗浄液側に流れを変える。このため、第1の洗浄液と第2の洗浄液とは、より接触しやすい。
第4の洗浄液供給部280は、ウエハS1の第2面S1bの側であってウエハS1の外縁と対面する位置に配置されている。第4の洗浄液供給部280は、接地されている。第4の洗浄液供給部280は、ウエハS1の第2面S1b側からウエハS1の端部の周辺に第4の洗浄液を供給する。このため、第1の洗浄液と第4の洗浄液とは、洗浄液合流領域R1で合流する。また、第1の洗浄液は、第2の洗浄液と接触しやすい。したがって、よりウエハS1の帯電を抑制することができる。また、第2の洗浄液供給部180の代わりに、第4の洗浄液供給部280を設けることとしてもよい。
5−2.第1の洗浄液供給部の向き
図8に示すように、基板洗浄装置300を用いてもよい。基板洗浄装置300における第1の洗浄液供給部360は、洗浄液合流領域R1に向かう向きに傾斜している。そして、第1の洗浄液供給部360は、ウエハS1の板面に垂直な方向に対して、角度θだけ傾斜している。つまり、第1の洗浄液供給部360の傾斜によりその先端部分が向く向きと、第2の洗浄液供給部180の先端部分の向きと、をウエハS1に射影した場合、これらの向きは一致する。もしくは、ウエハS1に射影後におけるこれらの向きは、10°以下のずれであるとよい。これにより、第1の洗浄液供給部360から供給される第1の洗浄水は、洗浄液合流領域R1に流れやすい。そのため、第1の洗浄水と第2の洗浄水とが洗浄液合流領域R1でより合流しやすい。つまり、この場合には、ウエハS1は、さらに帯電しにくい。
図8に示すように、基板洗浄装置300を用いてもよい。基板洗浄装置300における第1の洗浄液供給部360は、洗浄液合流領域R1に向かう向きに傾斜している。そして、第1の洗浄液供給部360は、ウエハS1の板面に垂直な方向に対して、角度θだけ傾斜している。つまり、第1の洗浄液供給部360の傾斜によりその先端部分が向く向きと、第2の洗浄液供給部180の先端部分の向きと、をウエハS1に射影した場合、これらの向きは一致する。もしくは、ウエハS1に射影後におけるこれらの向きは、10°以下のずれであるとよい。これにより、第1の洗浄液供給部360から供給される第1の洗浄水は、洗浄液合流領域R1に流れやすい。そのため、第1の洗浄水と第2の洗浄水とが洗浄液合流領域R1でより合流しやすい。つまり、この場合には、ウエハS1は、さらに帯電しにくい。
6.本実施形態のまとめ
以上詳細に説明したように、本実施形態の基板洗浄装置100は、ウエハS1の第1面S1aに第1の洗浄液を供給する第1の洗浄液供給部160と、ウエハS1の第2面S1bに第2の洗浄液を供給する第2の洗浄液供給部180と、を有する。ここで、第2の洗浄液供給部180は、接地されている。また、基板洗浄装置100では、第1の洗浄液と第2の洗浄液とを接触させるようにしているため、ウエハS1の第1面S1a側の電荷および半導体層の電荷が、洗浄液を伝って逃げることができる。そのため、ウエハS1の帯電を抑制する基板洗浄装置100および基板洗浄方法が実現されている。
以上詳細に説明したように、本実施形態の基板洗浄装置100は、ウエハS1の第1面S1aに第1の洗浄液を供給する第1の洗浄液供給部160と、ウエハS1の第2面S1bに第2の洗浄液を供給する第2の洗浄液供給部180と、を有する。ここで、第2の洗浄液供給部180は、接地されている。また、基板洗浄装置100では、第1の洗浄液と第2の洗浄液とを接触させるようにしているため、ウエハS1の第1面S1a側の電荷および半導体層の電荷が、洗浄液を伝って逃げることができる。そのため、ウエハS1の帯電を抑制する基板洗浄装置100および基板洗浄方法が実現されている。
なお、本実施の形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではない。したがって本発明は当然に、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能である。例えば、本実施形態で挙げた洗浄フロー以外の洗浄フローを用いて、ウエハS1を洗浄することができる。
(第2の実施形態)
第2の実施形態について説明する。本実施形態では、第1の実施形態の基板の洗浄方法を用いて半導体素子を製造する。ここでは、III 族窒化物半導体発光素子の製造方法を例に挙げて説明する。
第2の実施形態について説明する。本実施形態では、第1の実施形態の基板の洗浄方法を用いて半導体素子を製造する。ここでは、III 族窒化物半導体発光素子の製造方法を例に挙げて説明する。
1.半導体発光素子の製造方法
1−1.成長基板洗浄工程(第1の洗浄工程)
まず、基板洗浄装置100を用いることにより、半導体層が形成されていないウエハS1を洗浄する。ここでは、第1の実施形態で説明した第1の洗浄工程を実施する。
1−1.成長基板洗浄工程(第1の洗浄工程)
まず、基板洗浄装置100を用いることにより、半導体層が形成されていないウエハS1を洗浄する。ここでは、第1の実施形態で説明した第1の洗浄工程を実施する。
1−2.半導体層形成工程
次に、MOCVD法により、ウエハS1の第1面S1aの上にIII 族窒化物半導体層を形成する。
次に、MOCVD法により、ウエハS1の第1面S1aの上にIII 族窒化物半導体層を形成する。
1−3.凹部形成工程
そして、半導体層の上に、公知のフォトレジストを用いてレジストのパターンを形成する。そして、ICP等を用いたエッチングにより、n型半導体層の一部を露出させる。この段階で、レジストは、ウエハS1の半導体層等の上に残留している。
そして、半導体層の上に、公知のフォトレジストを用いてレジストのパターンを形成する。そして、ICP等を用いたエッチングにより、n型半導体層の一部を露出させる。この段階で、レジストは、ウエハS1の半導体層等の上に残留している。
1−4.レジスト除去工程(第2の洗浄工程)
次に、基板洗浄装置100を用いることにより、ウエハS1からレジストを除去する。ここでは、第1の実施形態で説明した第2の洗浄工程を実施する。その際には、ウエハS1の第2面S1bを基板保持部120に保持させる。
次に、基板洗浄装置100を用いることにより、ウエハS1からレジストを除去する。ここでは、第1の実施形態で説明した第2の洗浄工程を実施する。その際には、ウエハS1の第2面S1bを基板保持部120に保持させる。
1−5.電極形成工程
次に、n型半導体層の上にn電極を形成する。また、p型半導体層の上にp電極を形成する。
次に、n型半導体層の上にn電極を形成する。また、p型半導体層の上にp電極を形成する。
1−6.素子区画工程
また、素子を区画する溝を形成する。そのために、ICP等のエッチングを実施すればよい。また、その際に、レジストを除去するために、第2の洗浄工程を実施してもよい。
また、素子を区画する溝を形成する。そのために、ICP等のエッチングを実施すればよい。また、その際に、レジストを除去するために、第2の洗浄工程を実施してもよい。
1−7.素子分離工程
次に、ウエハS1をチップサイズに分割する。そのために、レーザー照射装置や、ブレーキング装置を用いればよい。
次に、ウエハS1をチップサイズに分割する。そのために、レーザー照射装置や、ブレーキング装置を用いればよい。
2.変形例
2−1.製造工程
本実施形態では、n電極を形成するための凹部(n型半導体層の露出箇所)をエッチングにより設けた後に、素子区画工程を実施した。しかし、露出箇所を形成する工程と、素子区画工程とを、同一工程で実施してもよい。
2−1.製造工程
本実施形態では、n電極を形成するための凹部(n型半導体層の露出箇所)をエッチングにより設けた後に、素子区画工程を実施した。しかし、露出箇所を形成する工程と、素子区画工程とを、同一工程で実施してもよい。
2−2.半導体素子
本実施形態では、基板洗浄装置100を用いてIII 族窒化物半導体発光素子を製造することとした。しかし、もちろん、その他の半導体素子を製造するために用いることができる。例えば、III 族窒化物系以外の半導体層を有する発光素子である。また、HEMT等の半導体素子であってもよい。
本実施形態では、基板洗浄装置100を用いてIII 族窒化物半導体発光素子を製造することとした。しかし、もちろん、その他の半導体素子を製造するために用いることができる。例えば、III 族窒化物系以外の半導体層を有する発光素子である。また、HEMT等の半導体素子であってもよい。
2−3.組み合わせ
また、上記の変形例のそれぞれを自由に組み合わせてもよい。
また、上記の変形例のそれぞれを自由に組み合わせてもよい。
3.本実施形態のまとめ
以上詳細に説明したように、本実施形態の半導体発光素子の製造方法は、基板洗浄装置100を用いてウエハS1を洗浄する洗浄工程を有する。基板洗浄装置100では、第1の洗浄液と第2の洗浄液とを接触させるようにしているため、ウエハS1の第1面S1a側の電荷が、洗浄液を伝って逃げることができる。そのため、半導体層が帯電することを抑制することができる。これにより、半導体層が帯電することによる静電破壊を抑制することができる。また、ウエハS1に異物粒子が再付着することを防止することができる。これにより、半導体発光素子の歩留りは、向上している。
以上詳細に説明したように、本実施形態の半導体発光素子の製造方法は、基板洗浄装置100を用いてウエハS1を洗浄する洗浄工程を有する。基板洗浄装置100では、第1の洗浄液と第2の洗浄液とを接触させるようにしているため、ウエハS1の第1面S1a側の電荷が、洗浄液を伝って逃げることができる。そのため、半導体層が帯電することを抑制することができる。これにより、半導体層が帯電することによる静電破壊を抑制することができる。また、ウエハS1に異物粒子が再付着することを防止することができる。これにより、半導体発光素子の歩留りは、向上している。
なお、本実施の形態は単なる例示にすぎず、本発明を何ら限定するものではない。したがって本発明は当然に、その要旨を逸脱しない範囲内で種々の改良、変形が可能である。例えば、有機金属気相成長法(MOCVD法)に限らない。HVPE法等、その他の結晶成長方法を用いてもよい。
100…基板洗浄装置
110…チャンバー
120…基板保持部
130…回転軸
140…真空ポンプ
150…モーター
160…第1の洗浄液供給部
170…走査部
180…第2の洗浄液供給部
R1…洗浄液合流領域
S1…ウエハ
S1a…第1面
S1b…第2面
S1c…外側面
110…チャンバー
120…基板保持部
130…回転軸
140…真空ポンプ
150…モーター
160…第1の洗浄液供給部
170…走査部
180…第2の洗浄液供給部
R1…洗浄液合流領域
S1…ウエハ
S1a…第1面
S1b…第2面
S1c…外側面
Claims (10)
- 絶縁性基板を保持する基板保持部と、
前記基板保持部を回転駆動する回転駆動部と、
前記絶縁性基板の第1面に第1の洗浄液を供給する第1の洗浄液供給部と、
前記絶縁性基板の第2面に第2の洗浄液を供給する第2の洗浄液供給部と、
を有し、
前記第1の洗浄液と前記第2の洗浄液とが合流する洗浄液合流領域を有し、
前記洗浄液合流領域は、
前記絶縁性基板の外側面より外側に位置すること
を特徴とする基板洗浄装置。 - 請求項1に記載の基板洗浄装置において、
前記洗浄液合流領域では、
合流した洗浄液を、
前記絶縁性基板から遠ざかる向きに流すこと
を特徴とする基板洗浄装置。 - 請求項1または請求項2に記載の基板洗浄装置において、
前記第2の洗浄液供給部は、
接地されたバックリンスノズルであること
を特徴とする基板洗浄装置。 - 請求項1から請求項3までのいずれか1項に記載の基板洗浄装置において、
前記第1の洗浄液供給部は、
第1の洗浄液として、洗浄水および有機溶剤のいずれも用いることができること
を特徴とする基板洗浄装置。 - 絶縁性基板を洗浄する基板洗浄方法において、
前記絶縁性基板を回転させつつ、前記絶縁性基板の第1面に第1の洗浄液を供給するとともに、前記絶縁性基板の第2面に第2の洗浄液を供給し、
前記絶縁性基板の外側面より外側の洗浄液合流領域で、前記第1の洗浄液と前記第2の洗浄液とを合流させること
を特徴とする基板洗浄方法。 - 請求項5に記載の基板洗浄方法において、
前記洗浄液合流領域では、
合流した洗浄液を、
前記絶縁性基板から遠ざかる向きに流すこと
を特徴とする基板洗浄方法。 - 請求項5または請求項6に記載の基板洗浄方法において、
接地されたバックリンスから第2の洗浄液を供給すること
を特徴とする基板洗浄方法。 - 請求項5から請求項7までのいずれか1項に記載の基板洗浄方法において、
前記第1の洗浄液の供給と、前記第2の洗浄液の供給とを、同時に行うこと
を特徴とする基板洗浄方法。 - 絶縁性基板を洗浄する洗浄工程を有する半導体素子の製造方法において、
前記洗浄工程では、
前記絶縁性基板を回転させつつ、前記絶縁性基板の第1面に第1の洗浄液を供給するとともに、前記絶縁性基板の第2面に第2の洗浄液を供給し、
前記絶縁性基板の外側面より外側の洗浄液合流領域で、前記第1の洗浄液と前記第2の洗浄液とを合流させること
を特徴とする半導体素子の製造方法。 - 請求項9に記載の半導体素子の製造方法において、
前記洗浄工程では、
前記洗浄液合流領域で合流した洗浄液を、
前記絶縁性基板から遠ざかる向きに流すこと
を特徴とする半導体素子の製造方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014077532A JP2015201468A (ja) | 2014-04-04 | 2014-04-04 | 基板洗浄装置および基板洗浄方法および半導体素子の製造方法 |
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6232533U (ja) * | 1985-08-12 | 1987-02-26 | ||
JP2008004880A (ja) * | 2006-06-26 | 2008-01-10 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置の製造方法及び半導体装置の製造装置 |
WO2014050941A1 (ja) * | 2012-09-27 | 2014-04-03 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 処理液供給装置、基板処理装置、処理液供給方法、基板処理方法、処理液処理装置および処理液処理方法 |
-
2014
- 2014-04-04 JP JP2014077532A patent/JP2015201468A/ja not_active Withdrawn
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WO2014050941A1 (ja) * | 2012-09-27 | 2014-04-03 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 処理液供給装置、基板処理装置、処理液供給方法、基板処理方法、処理液処理装置および処理液処理方法 |
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