JP2015195306A - substrate processing apparatus - Google Patents
substrate processing apparatus Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015195306A JP2015195306A JP2014073215A JP2014073215A JP2015195306A JP 2015195306 A JP2015195306 A JP 2015195306A JP 2014073215 A JP2014073215 A JP 2014073215A JP 2014073215 A JP2014073215 A JP 2014073215A JP 2015195306 A JP2015195306 A JP 2015195306A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- phosphoric acid
- acid solution
- concentration
- unit
- silica
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
Description
本発明の実施形態は、基板処理装置に関する。 Embodiments described herein relate generally to a substrate processing apparatus.
半導体装置の一例である半導体デバイスを製造する工程において、半導体基板上にはエッチング対象膜となる窒化膜(例えば、Si3N4膜)が塗布されている。この窒化膜に対して選択的にエッチングが行われる。 In a process of manufacturing a semiconductor device which is an example of a semiconductor device, a nitride film (for example, a Si3N4 film) serving as an etching target film is applied on a semiconductor substrate. This nitride film is selectively etched.
当該窒化膜に対するエッチングには、エッチング処理液として高温高濃度のリン酸(H3PO4)の溶液が使用される。当該リン酸溶液中には、主要成分となるリン酸とシリコン(Si)が溶解している。 For etching the nitride film, a high-temperature and high-concentration phosphoric acid (H3PO4) solution is used as an etching treatment solution. In the phosphoric acid solution, phosphoric acid and silicon (Si) as main components are dissolved.
ここでリン酸用液中のシリカの濃度を決定する方法として、例えば、以下の特許文献1に記載されている発明がある。特許文献1に記載されている発明は、例えば、所定体積のエッチング溶液を含む試験溶液に、所定濃度のフッ化物イオンを添加し、当該フッ化物イオンの濃度を計測することでエッチング溶液中の低濃度シリカを分析する方法である。具体的には、試験溶液中に化学量論的に過剰にフッ化物イオンを添加し、Siイオンとの反応によりフッ化物イオンの濃度が低下する様子を、所定濃度と測定濃度の差からエッチング溶液中のシリカ濃度を算出するものである。 Here, as a method for determining the concentration of silica in the phosphoric acid solution, for example, there is an invention described in Patent Document 1 below. The invention described in Patent Document 1, for example, adds a predetermined concentration of fluoride ions to a test solution containing a predetermined volume of an etching solution, and measures the concentration of the fluoride ions to reduce the concentration of the etching solution. This is a method for analyzing concentration silica. Specifically, an excessive amount of fluoride ions is added stoichiometrically to the test solution, and the fluoride ion concentration decreases due to the reaction with Si ions. The silica concentration in the inside is calculated.
また、別の方法として、例えば、化学エッチングプロセスをリアルタイムに動的に化学分析を行うための方法が提示されている(以下の特許文献2参照)。この方法では、近赤外線分光法を採用し、サンプル液に関するデータを集めるために、サンプル液の光学的特性と標準試料の光学的特性とを比較する。事前に成分値と吸光度を関連付けた計算式の作成が必要とされるが、演算手段によってケモメトリックスの手法を用いて行われる。
As another method, for example, a method for dynamically performing chemical analysis of a chemical etching process in real time has been proposed (see
しかしながら、上述した特許文献1、或いは、特許文献2に記載の発明では、以下のような不具合が生じ得る。
However, in the invention described in Patent Document 1 or
すなわち、例えば、特許文献1に記載の発明を実施すると、試験溶液に所定濃度のフッ化物イオンを添加してから十分な反応時間を取らなければならず(例えば、7〜15分程度)、枚葉処理においては時間が掛かりすぎる。また、エッチング処理ごとにシリカ濃度を算出することにすると、フッ化物イオンの使用量が膨大になってしまう可能性が高い。 That is, for example, when the invention described in Patent Document 1 is carried out, a sufficient reaction time must be taken after adding a predetermined concentration of fluoride ions to the test solution (for example, about 7 to 15 minutes). It takes too much time for leaf processing. Moreover, if the silica concentration is calculated for each etching process, there is a high possibility that the amount of fluoride ions used will be enormous.
また、特許文献2に記載の発明では、解析を行うためには、事前に既知のマトリックスデータを取得する必要があるが、そのための適切な標準試薬によるモデルを形成することができず、近赤外線分光法によって正確にリン酸やシリカの濃度を計測することはできないとの問題が生じうる。
In addition, in the invention described in
そして何よりエッチング処理液としてリン酸溶液が使用される場合、リン酸溶液の濃度や組成が変化してしまうと、エッチング処理が適切な制御の下、行われなくなってしまう。そのためには、エッチング処理液であるリン酸溶液内のリン酸及びシリカの濃度を厳格に制御する必要がある。 Above all, when a phosphoric acid solution is used as an etching treatment solution, if the concentration or composition of the phosphoric acid solution changes, the etching treatment cannot be performed under appropriate control. For this purpose, it is necessary to strictly control the concentrations of phosphoric acid and silica in the phosphoric acid solution that is an etching treatment solution.
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、本発明の目的は、エッチング処理液として使用されるリン酸溶液内のシリカ濃度を精度良く計測することで適切なリン酸溶液を提供することによって、エッチング処理の精度向上、歩留まりの向上を図るとともに、エッチング処理液の無駄を排除することができる基板処理装置を提供することにある。 The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to provide an appropriate phosphoric acid solution by accurately measuring the silica concentration in the phosphoric acid solution used as an etching treatment liquid. Accordingly, an object of the present invention is to provide a substrate processing apparatus capable of improving the accuracy of the etching process and improving the yield and eliminating the waste of the etching process liquid.
実施形態に係る基板処理装置は、リン酸供給部と、シリカ供給部と、純水供給部とからそれぞれリン酸、シリカ、純水の供給を受けて、エッチング処理液として使用されるリン酸溶液を生成するリン酸溶液浴槽と、生成されたリン酸溶液に含まれるリン酸の濃度を計測するリン酸濃度計測部と、リン酸溶液浴槽内で生成されるリン酸溶液に純水を加えてリン酸溶液を希釈するリン酸溶液希釈部と、リン酸溶液希釈部において生成されるシリカ濃度計測用液を基に、リン酸溶液に含まれるシリカの濃度を計測するシリカ濃度計測部と、リン酸溶液を使用してエッチング処理を行う処置部と、リン酸溶液浴槽と、リン酸濃度計測部と、リン酸溶液希釈部と、シリカ濃度計測部と、処置部の働きを制御するとともに、これら各部をつなぐ配管内の液体を移動させるポンプの駆動や配管に設けられているバルブの開閉を制御する制御部とを備える。 The substrate processing apparatus according to the embodiment includes a phosphoric acid solution used as an etching treatment liquid by receiving phosphoric acid, silica, and pure water from a phosphoric acid supply unit, a silica supply unit, and a pure water supply unit, respectively. A phosphoric acid solution bath that generates water, a phosphoric acid concentration measuring unit that measures the concentration of phosphoric acid contained in the generated phosphoric acid solution, and pure water added to the phosphoric acid solution generated in the phosphoric acid solution bath A phosphoric acid solution diluting part for diluting the phosphoric acid solution, a silica concentration measuring part for measuring the concentration of silica contained in the phosphoric acid solution based on the silica concentration measuring liquid generated in the phosphoric acid solution diluting part, Control the action of the treatment part that performs the etching process using the acid solution, the phosphoric acid solution bath, the phosphoric acid concentration measurement part, the phosphoric acid solution dilution part, the silica concentration measurement part, and the treatment part. Liquid in piping connecting each part It controls the opening and closing of the valve provided in the drive and piping of the pump to move the and a control unit.
本発明によれば、エッチング処理液として使用されるリン酸溶液内のシリカ濃度を精度良く計測することで適切なリン酸溶液を提供することによって、エッチング処理の精度向上、歩留まりの向上を図るとともに、エッチング処理液の無駄を排除することができる基板処理装置を提供することができる。 According to the present invention, by providing an appropriate phosphoric acid solution by accurately measuring the silica concentration in a phosphoric acid solution used as an etching treatment solution, the etching treatment accuracy is improved and the yield is improved. Further, it is possible to provide a substrate processing apparatus that can eliminate waste of the etching processing solution.
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
(第1の実施の形態)
図1は、第1の実施形態に係る基板処理装置S1の全体構成を示すブロック図である。第1の実施形態に係る基板処理装置S1は、エッチング処理液であるリン酸溶液を生成するリン酸溶液浴槽1と、リン酸溶液中のリン酸の濃度を計測するリン酸濃度計測部2と、リン酸溶液内のシリカ濃度を計測するために利用されるシリカ濃度計測用液を生成するリン酸溶液希釈部3と、シリカ濃度を計測するシリカ濃度計測部4と、リン酸溶液を使用してエッチング処理を行う処置部5とから構成されている。
(First embodiment)
FIG. 1 is a block diagram showing the overall configuration of the substrate processing apparatus S1 according to the first embodiment. The substrate processing apparatus S1 according to the first embodiment includes a phosphoric acid solution bath 1 that generates a phosphoric acid solution that is an etching processing liquid, and a phosphoric acid
そしてこれら各部を制御するための制御部6が併せて設けられている。制御部6は、基板処理装置S1の全体を制御する。そのため、基板処理装置S1を構成する各部とは電気的に接続されており、制御部6と各部との間で信号のやり取りがなされることを可能としている。
And the
なお、図面に示す制御部6からは各部との接続を示す矢印が上方へ1つのみ示されており、いずれの各部とも接続されていないように示されているが、これはあくまでも図示の都合上このように示されているに過ぎず、実際には上述したように制御部6と基板処理装置S1を構成する各部とが電気的に接続されている。
In addition, from the
リン酸溶液は、リン酸供給部11から供給されるリン酸と、純水供給部12から供給される純水と、シリカ供給部13から供給されるシリカがリン酸溶液浴槽1内で混ぜ合わせられることによって生成される。すなわち、リン酸溶液浴槽1は、リン酸溶液を生成する場所、或いは装置である。例えば、リン酸溶液浴槽1はタンクであり、図1において図示していないが、リン酸やシリカ等を混ぜ合わせるための機構を備えている。
In the phosphoric acid solution, phosphoric acid supplied from the phosphoric
リン酸溶液におけるリン酸の濃度、シリカの濃度は予め規定されている。そのため、当該規定に従った濃度のリン酸溶液を生成するべく、制御部6から各供給部に対してリン酸溶液浴槽1へ供給される量が指示される。具体的には、制御部6が、リン酸溶液浴槽1とリン酸供給部11とをつなぐ配管上に設けられている第1のバルブA1、リン酸溶液浴槽1と純水供給部12とをつなぐ配管上に設けられている第2のバルブA2、リン酸溶液浴槽1とシリカ供給部13とをつなぐ配管上に設けられている第3のバルブA3の各バルブの開閉を制御することによって、リン酸溶液浴槽1にリン酸等が適切な量、供給されることになる。
The concentration of phosphoric acid and the concentration of silica in the phosphoric acid solution are defined in advance. Therefore, in order to generate a phosphoric acid solution having a concentration according to the regulations, the amount supplied to the phosphoric acid solution bath 1 is instructed from the
また、生成されたリン酸溶液は、リン酸溶液浴槽1からリン酸溶液加熱部14に送られて、エッチング処理に使用される際の温度(約160℃)まで加熱される。加熱されたリン酸溶液は、リン酸溶液浴槽1とリン酸溶液加熱部14との間をつなぐ循環路Cを介してリン酸溶液浴槽1へと戻る。すなわち、リン酸溶液は、リン酸溶液浴槽1を基点とする循環路C内を加熱され、攪拌された状態で循環している。
Moreover, the produced | generated phosphoric acid solution is sent to the phosphoric acid solution heating
当該循環路C内、例えば、リン酸溶液浴槽1とリン酸溶液加熱部14とをつなぐ配管の途中には、リン酸溶液を循環路C内において循環させるための送液機構、例えば、ポンプP1が設けられている。当該ポンプP1が制御部6の制御により駆動されることによって、リン酸溶液は循環路C内を循環する。
In the circulation path C, for example, in the middle of a pipe connecting the phosphoric acid solution bath 1 and the phosphoric acid
循環路Cのうちリン酸溶液加熱部14において加熱されたリン酸溶液がリン酸溶液浴槽1へと戻る経路上には、リン酸濃度計測部2と、リン酸溶液温度計測部15が設けられている。リン酸溶液温度計測部15は、リン酸溶液加熱部14において加熱されリン酸溶液浴槽1との間を循環しているリン酸溶液の温度が所定の温度を保持しているか否かを確認するべく、リン酸溶液の温度を計測する。計測されたリン酸溶液の温度は、制御部6へと送信される。制御部6では送信された温度情報を基に、例えば、リン酸溶液加熱部14に対して加熱処理を行うように指示する。
A phosphoric acid
なお、本発明の実施の形態においては、リン酸溶液を循環路C内を循環させる間に加熱し攪拌することを前提に説明を行う。すなわち、循環路C内をリン酸溶液が循環する間に、加熱され所定の温度が維持されるとともに、リン酸溶液を生成する上で混ぜ合わせるリン酸と純水とが攪拌され、設定通りのリン酸溶液が生成される。但し必ずしもこの構成を採用しなければならないわけではなく、例えば、リン酸溶液浴槽1自体が加熱機構や攪拌機構を備え設定された通りのリン酸溶液を生成することとしても良い。また、リン酸濃度計測部2やリン酸溶液温度計測部15もリン酸溶液浴槽1に設けられている構成を採用しても良い。
In the embodiment of the present invention, the description will be made on the assumption that the phosphoric acid solution is heated and stirred while circulating in the circulation path C. That is, while the phosphoric acid solution is circulated in the circulation path C, the phosphoric acid solution is heated and maintained at a predetermined temperature, and the phosphoric acid and pure water that are mixed together to produce the phosphoric acid solution are stirred, A phosphoric acid solution is produced. However, this configuration is not necessarily adopted. For example, the phosphoric acid solution bath 1 itself may include a heating mechanism and a stirring mechanism to generate a phosphoric acid solution as set. Moreover, you may employ | adopt the structure by which the phosphoric acid
リン酸濃度計測部2は、リン酸溶液中のリン酸の濃度を計測する。計測されたリン酸の濃度に関する情報は、制御部6へと送信され、予め設定されている濃度となっているか、判断される。もし適切な濃度ではない場合は、制御部6は、リン酸供給部11、或いは、純水供給部12とリン酸溶液浴槽1とをつなぐ配管に設けられている、第1のバルブA1、或いは第2のバルブA2に対してバルブ開閉の指示を出し、リン酸溶液浴槽1に対して所定量のリン酸、或いは、純水が供給され、適切な濃度のリン酸溶液が生成されるようにする。
The phosphoric acid
リン酸濃度計測部2では、ラマンスペクトル法を利用してリン酸の濃度を計測する。従ってここでのリン酸濃度計測部2としては、ラマン散乱分光分析装置が採用される。計測方法としてラマンスペクトル法を採用することから、リン酸溶液浴槽1とリン酸溶液加熱部14との間で循環している高温・高濃度のリン酸溶液内のリン酸の濃度を、温度を低下させずそのままの状態で、かつ、非接触で略リアルタイムに計測することができる。
The phosphoric acid
リン酸溶液希釈部3は、シリカ濃度を計測するために利用されるシリカ濃度計測用液を生成する。シリカ濃度計測部4がリン酸溶液中のシリカの濃度を計測する際、生成されたリン酸溶液をそのまま使用することができれば良いが、現状ではリン酸溶液をそのまま計測の対象として使用することできない。
The phosphoric acid
なぜならば、後述するシリカ濃度計測部4は、発光分光分析法を採用しており、当該計測方法を採用する場合、計測対象となる溶液を純水にて希釈する必要があるからである。すなわち、シリカ濃度計測部4では、計測対象であるリン酸溶液中のシリカをイオン化して計測することになるが、このシリカ(珪酸)をイオン化するには純水での希釈が求められる。
This is because the silica
そのため、リン酸溶液希釈部3においてリン酸溶液に純水を混ぜて希釈し、シリカの濃度を計測するために利用されるシリカ濃度計測用液を生成する。そのため、リン酸溶液希釈部3には、リン酸溶液浴槽1からリン酸溶液が供給され、希釈するために利用される純水が純水供給部12から供給される。
Therefore, the phosphoric acid
制御部6では、予め設定されている希釈率でシリカ濃度計測用液が生成されるように、リン酸溶液浴槽1及び純水供給部12に対してリン酸溶液希釈部3に供給するリン酸溶液の量と純水の量を制御する。すなわち、リン酸溶液浴槽1とリン酸溶液希釈部3とをつなぐ配管の途中に設けられている第4のバルブA4と、純水供給部11とリン酸溶液希釈部3とをつなぐ配管の途中に設けられている第5のバルブA5の開閉を制御することで、それぞれの供給量を制御する。
In the
また、上述した理由からリン酸溶液浴槽1から供給されるリン酸溶液に純水を混ぜて希釈し、シリカ濃度計測用液を生成する必要があるが、後述するシリカ濃度計測部4は、計測対象が高温の状態にあると計測できない。従ってこの点に鑑みれば、純水を用いた希釈は、併せて高温のリン酸溶液を冷却する役割も担っていることになる。 Further, for the reason described above, it is necessary to mix and dilute the phosphoric acid solution supplied from the phosphoric acid solution bath 1 to produce a silica concentration measuring solution. Measurement is not possible if the target is in a high temperature state. Therefore, in view of this point, dilution with pure water also plays a role of cooling the high-temperature phosphoric acid solution.
シリカ濃度計測部4は、リン酸溶液中に含まれているシリカの濃度を計測する。但し上述したように、リン酸溶液浴槽1に貯留されているリン酸溶液そのものを利用することができないことから、リン酸溶液希釈部3において所定の希釈率となるように希釈されたシリカ濃度計測用液を利用する。
The silica
制御部6は、リン酸溶液希釈部3とシリカ濃度計測部4とをつなぐ配管上に設けられている第6のバルブA6の開閉を制御することで、シリカ濃度計測用液をリン酸溶液希釈部3からシリカ濃度計測部4へ供給する。
The
シリカの濃度を計測する場合、本発明の実施の形態においては、発光分光分析法を採用している。具体的には、例えば、ICP−OES(Inductively Coupled Plasma Optical Emission Spectrometry)法やMP−OES(Microwave Plasma Optical Emission Spectrometry)法を採用することができる。 When measuring the concentration of silica, an emission spectroscopic analysis method is employed in the embodiment of the present invention. Specifically, for example, an ICP-OES (Inductively Coupled Plasma Optical Emission Spectrometry) method or an MP-OES (Microwave Plasma Optical Emission Spectrometry) method can be employed.
処置部5では、シリコンウェハに対してエッチング処理が行われる。リン酸濃度計測部2においてリン酸の濃度が計測され、シリカ濃度計測部4においてシリカの濃度が計測されると、それぞれの計測結果は、制御部6に送信される。制御部6では、受信したそれぞれの計測結果を基に、生成されたリン酸溶液をエッチング処理液として使用可能か判断する。リン酸の濃度及びシリカの濃度がリン酸溶液中において予め設定されている濃度であることが確認された場合には、リン酸溶液浴槽1と処置部5とをつなぐ配管に設けられている第7のバルブA7を開放するよう弁に指示し、リン酸溶液浴槽1から処置部5へリン酸溶液が供給される。
In the
処置部5では供給されたリン酸溶液を使用してシリコンウェハ上のSiN膜を選択的に除去するエッチング処理を行う。処置部5では、シリコンウェハ1枚1枚に対して個別にエッチング処理を行う、枚葉処理を行う。処置部5において使用されたリン酸溶液は、リン酸溶液回収部16において回収される。回収されたリン酸溶液は、リン酸溶液回収部16とリン酸溶液加熱部14とをつなぐ配管上に設けられているポンプP2によってリン酸溶液加熱部14に送られて再度加熱、再使用される。
The
なお、制御部6においてリン酸溶液中のリン酸の濃度、或いは、シリカの濃度のいずれか一方の濃度が予め設定されている濃度と異なる場合には、制御部6は、リン酸溶液浴槽1からリン酸溶液の処置部5への供給を停止する。
In addition, in the
以上で第1の実施形態に係る基板処理装置S1の全体構成を説明した。次に、図2に示すフローチャートを利用してリン酸溶液中のリン酸の濃度及びシリカの濃度を計測する流れを説明する。 The overall configuration of the substrate processing apparatus S1 according to the first embodiment has been described above. Next, a flow for measuring the concentration of phosphoric acid and the concentration of silica in the phosphoric acid solution using the flowchart shown in FIG. 2 will be described.
図2は、第1の実施形態に係るエッチング処理液を生成し処置部5に供給するまでの流れの中で、リン酸溶液中のリン酸の濃度及びシリカの濃度を計測する流れを示すフローチャートである。
FIG. 2 is a flowchart showing a flow of measuring the concentration of phosphoric acid and the concentration of silica in the phosphoric acid solution in the flow until the etching processing liquid according to the first embodiment is generated and supplied to the
基板処理装置S1では、リン酸供給部11からリン酸を、純水供給部12から純水を、シリカ供給部13からシリカを、それぞれ定められた量リン酸溶液浴槽1に供給するよう、制御部6から指示を受ける。制御部6によってリン酸溶液浴槽1と各部とを結ぶ配管に設けられているバルブA(以下、それぞれのバルブをまとめて表記する場合には、このように「バルブA」と表わす)の開閉が制御されることで、各部はそれぞれ指定されている量をリン酸溶液浴槽1に供給し、リン酸溶液浴槽1ではエッチング処理液となるリン酸溶液を生成する(ST1)。また、生成されるリン酸溶液は、エッチング処理の際には略160℃の高温の状態で使用されることから、循環路Cを循環させ、経路上に設けられているリン酸溶液加熱部14にて設定されている温度まで加熱される(ST2)。
In the substrate processing apparatus S <b> 1, control is performed so that phosphoric acid is supplied from the phosphoric
循環路Cには、リン酸溶液温度計測部15が設けられており、このリン酸溶液温度計測部15において循環路C内を循環するリン酸溶液の温度を計測する(ST3)。計測された結果は、制御部6へと送信され、適切な温度まで加熱されているか否か確認される(ST4)。
The circulation path C is provided with a phosphoric acid solution
その結果リン酸溶液の温度が適切ではない、すなわち、設定されている温度まで加熱されていない、設定されている温度が維持されていないと判断された場合には(ST4のNO)、循環路C内を循環させる中で加熱、温度計測を繰り返して、最終的にリン酸溶液を設定されている温度にまで加熱する。 As a result, when it is determined that the temperature of the phosphoric acid solution is not appropriate, that is, the temperature is not heated to the set temperature or the set temperature is not maintained (NO in ST4), the circulation path While circulating through C, heating and temperature measurement are repeated, and finally the phosphoric acid solution is heated to a set temperature.
循環路Cには、リン酸溶液温度計測部15とともに、リン酸濃度計測部2も設けられている。リン酸濃度計測部2では、ラマンスペクトル法を用いて、リン酸溶液中のリン酸の濃度を計測する(ST5)。計測されたリン酸の濃度は、制御部6に送信される(ST6)。
In the circulation path C, the phosphoric acid
一方、リン酸溶液中に含まれるシリカの濃度は、リン酸溶液そのものを利用して計測することができないことから、シリカ濃度計測部4は循環路Cには設けられず、別途リン酸溶液浴槽1からリン酸溶液の供給を受けて計測することになる。シリカの濃度を計測するに当たっては、計測対象となるシリカ濃度計測用液の生成が必要となる。
On the other hand, since the concentration of silica contained in the phosphoric acid solution cannot be measured using the phosphoric acid solution itself, the silica
リン酸溶液希釈部3では、制御部6の指示に従い、リン酸溶液浴槽1からリン酸溶液の供給を受け、併せて純水供給部12からは純水の供給を受ける(ST7)。具体的には、リン酸溶液希釈部3は、加熱された状態のリン酸溶液のサンプルをリン酸溶液浴槽1から採取する。ここで本発明の実施の形態においては、図1に示すように、リン酸溶液希釈部3はリン酸溶液浴槽1から直接リン酸溶液を採取しているが、例えば、循環路Cにつながる配管がリン酸溶液希釈部3に接続されることで、循環路Cから加熱された状態のリン酸溶液を採取することとしても良い。
The phosphoric acid
リン酸溶液希釈部3は、リン酸溶液を所定の希釈率に沿って希釈する(ST8)。この希釈されたリン酸溶液がシリカ濃度計測部4においてシリカの濃度を計測する際に用いるシリカ濃度計測用液となる。
The phosphoric acid
リン酸溶液希釈部3では、リン酸溶液に純水を加えて希釈することで、リン酸溶液中のシリカの析出を抑制してイオン化を維持するとともにリン酸溶液の温度を下げる。希釈処理を行うに当たっては、採取されたリン酸溶液と純水とが均質となるように攪拌し、シリカ濃度計測用液を生成する。
In the phosphoric acid
なおここでは、リン酸溶液希釈部3においてリン酸溶液と純水とが均質となるように攪拌することを前提として、以下説明を行うが、例えばリン酸溶液浴槽1においてシリカ濃度計測用液を生成するべく、リン酸溶液と純水を攪拌する処理を行うこととしても良い。
Here, the following description will be made on the assumption that the phosphoric acid solution and the pure water are agitated in the phosphoric acid
また、シリカ濃度計測用液を生成するに当たって、リン酸溶液に純水を混ぜることによって希釈するが、純水を利用する理由の1つとして高温のリン酸溶液を冷却することが挙げられる。但し、ここではリン酸溶液中のシリカは十分にリン酸溶液中に溶け込んでいる状態であることから、純水を入れてリン酸溶液が冷却されてもシリカが析出することはない。 Moreover, in producing the silica concentration measurement liquid, dilution is performed by mixing pure water into the phosphoric acid solution. One of the reasons for using pure water is to cool the high-temperature phosphoric acid solution. However, since the silica in the phosphoric acid solution is sufficiently dissolved in the phosphoric acid solution here, no silica is deposited even if pure water is added and the phosphoric acid solution is cooled.
シリカ濃度計測用液が生成されると、第6のバルブA6が制御部6の制御によって開かれ、リン酸溶液希釈部3内のシリカ濃度計測用液がシリカ濃度計測部4に導入される。シリカ濃度計測部4では、当該シリカ濃度計測用液を利用して、リン酸溶液中に含まれるシリカの濃度を計測する(ST9)。
When the silica concentration measurement liquid is generated, the sixth valve A6 is opened under the control of the
シリカ濃度計測部4では、リン酸溶液希釈部3からシリカ濃度計測用液を採取した後、採取されたシリカ濃度計測用液を用いて、この中に含まれるシリカをイオン化する。イオン化されたシリカの原子は励起されて当該原子の発光強度が計測され、この発光強度を基にシリカの濃度が算出される。このようにシリカ濃度計測部4は、上述した、ICP−OES、或いは、MP−OESといった計測方法を用いてシリカの濃度を計測し、計測されたシリカの濃度を制御部6に送信する(ST10)。
In the silica
このようにリン酸溶液中のリン酸及びシリカの濃度が計測されて、その結果が制御部6に集まる。制御部6では、まず、リン酸の濃度が設定されている濃度となっているか否か確認する(ST11)。設定される濃度は、ある特定の値であっても、上限値、下限値で規定されるある領域内に含まれる値であっても良い。
Thus, the concentrations of phosphoric acid and silica in the phosphoric acid solution are measured, and the results are collected in the
制御部6がリン酸の濃度をリン酸濃度計測部2からの計測結果に基づいて判断した結果、適切であると判断した場合には(ST11のYES)、次に、シリカの濃度について判断する。
When the
一方、リン酸の濃度について確認した結果、適切な値となっていないと判断した場合には(ST11のNO)、生成されたリン酸溶液がエッチング処理液として使用するに不適である旨、基板処理装置S1の操作者に対して報知する(ST12)。併せて、このようなリン酸溶液を処置部5へ供給することを停止する(ST13)。リン酸の濃度が制御されていないリン酸溶液をエッチング処理液として使用すると、エッチング処理を制御することができず、歩留まりを悪化させることになるからである。
On the other hand, if it is determined that the concentration of phosphoric acid is not an appropriate value as a result of the confirmation (NO in ST11), the generated phosphoric acid solution is unsuitable for use as an etching solution, The operator of the processing device S1 is notified (ST12). In addition, the supply of such a phosphoric acid solution to the
そして、このようなリン酸溶液は、エッチング処理液として使用することができないことから、再度リン酸溶液を生成するよう、制御部6は各部に指示を出す(ST14)。基板処理装置S1では、再びステップST1に戻り、リン酸溶液を再生成する。
Since such a phosphoric acid solution cannot be used as an etching treatment solution, the
リン酸の濃度が適切であった場合には、次に制御部6はシリカの濃度が適切であるか否か確認する(ST15)。ここでシリカの濃度が適切ではないと判断した場合には(ST15のNO)、リン酸の濃度が適切でない場合と同様、リン酸溶液としては不適と判断できるので、その旨を報知し、リン酸溶液を処置部5に供給することを停止した上で、リン酸溶液の再生成を行う(ST12ないしST14)。
If the concentration of phosphoric acid is appropriate, the
リン酸の濃度が適切であり、かつ、シリカの濃度も適切であったと制御部6において判断した場合には、生成されたリン酸溶液をエッチング処理液として使用することが可能となる(ST16)。そこで、制御部6はリン酸溶液浴槽1と処置部5とをつなぐ配管に設けられている第7のバルブA7を開放し、リン酸溶液浴槽1から処置部5へリン酸溶液の供給を行う(ST17)。処置部5では、供給されたリン酸溶液をエッチング処理液として使用し、エッチング処理を行う。
When the
以上説明した通り、エッチング処理液として使用されるリン酸溶液内のリン酸の濃度のみならず、シリカ濃度を精度良く計測することで適切なリン酸溶液を提供することによって、エッチング処理の精度向上、歩留まりの向上を図るとともに、エッチング処理液の無駄を排除することができる基板処理装置を提供することができる。 As described above, the accuracy of the etching process is improved by providing an appropriate phosphoric acid solution by accurately measuring not only the concentration of phosphoric acid in the phosphoric acid solution used as the etching solution but also the silica concentration. It is possible to provide a substrate processing apparatus capable of improving the yield and eliminating the waste of the etching processing solution.
なお、シリカ濃度計測部4によってリン酸溶液希釈部3からシリカ濃度計測用液が採取された後、次にシリカ濃度計測部4によって採取されるまでの間に、リン酸溶液希釈部3では、その内部の洗浄が行われる。すなわち、制御部6が第5のバルブA5を開放する制御を行うことによって、純水供給部12から純水がリン酸溶液希釈部3に供給されてその内部が洗浄される。洗浄後、洗浄に利用された純水は、リン酸溶液希釈部3と配管によって接続されている排液部16へ送られ排液される。この際、制御部6の制御によって、リン酸溶液希釈部3と排液部16とをつなぐ配管の途中に設けられている第8のバルブA8は開放となる。
In addition, after the silica concentration measurement solution is collected from the phosphoric acid
(第2の実施の形態)
次に本発明における第2の実施の形態について説明する。なお、第2の実施の形態において、上述の第1の実施の形態において説明した構成要素と同一の構成要素には同一の符号を付し、同一の構成要素の説明は重複するので省略する。
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described. In the second embodiment, the same components as those described in the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description of the same components is omitted because it is duplicated.
第2の実施の形態における基板処理装置S2は、その構成要素として第1の実施の形態における基板処理装置S1に校正液供給部20を追加したものである。第1の実施の形態においては、エッチング処理液として利用するリン酸溶液中のリン酸の濃度をラマンスペクトル法にて、また、シリカの濃度をICP−OES、或いは、MP−OESといった方法を用いて計測することで、リン酸溶液中のリン酸及びシリカの濃度を厳密に制御する説明を行った。第2の実施の形態においては、特にリン酸溶液中のシリカの濃度を如何に制御するかという観点で、シリカの濃度を計測する際の精度を向上させる方法について説明する。
The substrate processing apparatus S2 in the second embodiment is obtained by adding a calibration
図3は、第2の実施形態に係る基板処理装置S2の全体構成を示すブロック図である。上述したように、第2の実施の形態における基板処理装置S2には、校正液供給部20が設けられている。
FIG. 3 is a block diagram showing the overall configuration of the substrate processing apparatus S2 according to the second embodiment. As described above, the calibration
シリカの濃度を精度良く計測するためには、シリカの濃度を計測するシリカ濃度計測部4における計測精度の向上が欠かせない。シリカ濃度計測部4におけるシリカの濃度の計測精度が低い、或いは、ばらつくといった状態にあっては、リン酸溶液中のシリカの濃度を正確に計測することは不可能である。リン酸溶液中のシリカの濃度が正確に計測できなければ、リン酸溶液が設定された通りの濃度をもって生成されているか確認できず、ひいてはエッチング処理の工程に多大なる影響を与え歩留まりが悪化することにもなりかねない。そこで、まず、リン酸溶液中のシリカの濃度を計測する、シリカ濃度計測部4の計測精度を確認する。
In order to accurately measure the silica concentration, it is essential to improve the measurement accuracy in the silica
校正液は、このようにシリカ濃度計測部4の計測精度を確認する際に用いられるものである。校正液としては、例えば、純水にシリコンが含まれているSi標準試薬が用いられる。校正液中に含まれるシリコンの量(濃度)は初めから明らかになっており、計測の都度、その濃度が変化することは考えられない。このように溶液中にシリコンを含むものを校正液として利用し、含まれるシリコンの濃度を計測し確認することで、シリカ濃度計測部4の計測精度が低下したか、或いは、ばらつきがあるかをすぐに把握することができる。
The calibration solution is used when confirming the measurement accuracy of the silica
基板処理装置S2においては、シリカの濃度を計測するためのシリカ濃度計測用液が生成される。当該シリカ濃度計測用液は、リン酸溶液浴槽1からリン酸溶液が、及び純水供給部12から純水がリン酸溶液希釈部3に供給され、所定の希釈率をもって希釈されることで生成される。このようにして希釈されて生成されたシリカ濃度計測用液を用いてシリカ濃度計測部4ではリン酸溶液中に含まれるシリカの濃度を計測する。そこで、別途シリカ濃度計測部4に対して校正液供給部20から校正液を供給し、シリカ濃度計測部4に校正液中のシリコンの濃度を計測させる。
In the substrate processing apparatus S2, a silica concentration measurement liquid for measuring the silica concentration is generated. The silica concentration measurement liquid is generated by supplying a phosphoric acid solution from the phosphoric acid solution bath 1 and pure water from the pure
シリカ濃度計測部4に校正液中のシリコンの濃度を計測させる頻度は、例えば、シリカ濃度計測用液を計測する都度、とすることができる。すなわち、リン酸溶液中のシリカの濃度を計測した後、次は、校正液中のシリコンの濃度を計測してシリカ濃度計測部4の計測精度を確認し、その後改めてリン酸溶液中のシリカの濃度を計測するという流れである。
The frequency with which the silica
但し、シリカ濃度計測部4が校正液中のシリカの濃度を計測する頻度は、必ずしもこのような頻度である必要はなく、シリカ濃度計測部4の計測精度の状態が把握できているのであれば、その頻度を低くすることも可能である。
However, the frequency with which the silica
制御部6は、予め設定されている頻度でシリカ濃度計測用液、或いは、校正液をシリカ濃度計測部4へ供給するよう、第6のバルブA6、或いは、後述する第9のバルブA9の開閉を制御する。
The
図4は、第2の実施形態に係るエッチング処理液を生成し処置部5に供給するまでの流れの中で、リン酸溶液中のシリカの濃度を計測する流れを示すフローチャートである。
FIG. 4 is a flowchart showing a flow of measuring the concentration of silica in the phosphoric acid solution in the flow from the generation of the etching treatment liquid according to the second embodiment to the supply to the
まず、リン酸溶液浴槽1内にリン酸溶液を生成する(ST1)。この生成については上述した通りである。なお、以下においては、エッチング処理液を生成し処置部5に供給するまでの流れの中で、シリカの濃度を計測する流れだけを抜き出して説明し、リン酸の濃度を計測する流れについては割愛する。
First, a phosphoric acid solution is generated in the phosphoric acid solution bath 1 (ST1). This generation is as described above. In the following description, only the flow for measuring the concentration of silica is extracted from the flow until the etching processing solution is generated and supplied to the
シリカ濃度計測部4では、生成されたリン酸溶液中のシリカの濃度を計測するためのシリカ濃度計測用液が必要となる。そこで、シリカ濃度計測用液を生成するリン酸溶液希釈部3に対して、リン酸溶液浴槽1からリン酸溶液が供給されるとともに、純水供給部12から純水が供給される(ST21)。リン酸溶液希釈部3においては、両者を利用して所定の希釈率をもってリン酸溶液を希釈し、シリカ濃度計測用液を生成する(ST22)。
The silica
この段階で制御部6は、シリカ濃度計測部4に計測対象として、リン酸溶液希釈部3からシリカ濃度計測用液を供給するか、或いは、校正液供給部20から校正液を供給するか予め設定されている頻度に従って判断する。すなわちここではシリカ濃度計測部4の計測対象が校正液であるか否かを判断する(ST23)。
At this stage, the
その結果、制御部6において設定されている校正液の計測頻度から次にシリカ濃度計測部4が計測対象とするのが校正液であると判断した場合には(ST23のYES)、制御部6は校正液供給部20とシリカ濃度計測部4とをつなぐ配管に設けられている第9のバルブA9を開放し、校正液供給部20からシリカ濃度計測部4に校正液が供給されるよう制御する(ST24)。
As a result, if it is determined from the measurement frequency of the calibration liquid set in the
シリカ濃度計測部4では、供給された校正液を利用して、含まれているシリコンの濃度を計測する(ST25)。計測の結果については、シリカ濃度計測部4において、校正液に含まれるシリコンの濃度が予め把握されているシリコンの濃度と比較して適切であるか否かが判断される(ST26)。
The silica
校正液中のシリコンの濃度を計測した結果、適切に計測されていないと判断された場合には(ST26のNO)、シリカ濃度計測部4において何らかの不具合が生じている可能性が疑われる(ST27)。このままの状態でシリカ濃度計測部4を使用してシリカ濃度を計測しても、リン酸溶液中における正確なシリカ濃度を計測することはできないと考えられる。そこで、シリカ濃度計測部4は、自身に何らかの不具合が生じている旨、操作者に対して報知する(ST28)。
As a result of measuring the concentration of silicon in the calibration solution, if it is determined that the concentration is not properly measured (NO in ST26), it is suspected that some trouble has occurred in the silica concentration measuring unit 4 (ST27). ). Even if the silica concentration is measured using the silica
なお、不具合の情報が制御部6に送信され、制御部6においてシリカ濃度計測部4の不具合を報知することとしても良い。さらにこの段階で、リン酸溶液を処置部5に供給することを停止する処置も考えられる。
In addition, it is good also as notifying the malfunction information of the silica
一方、校正液中のシリコンの濃度を計測した結果、シリコンの濃度が適切に計測されていると判断された場合には(S26のYES)、その旨、制御部6に送信され、制御部6は当該送信結果に基づいて、再度、シリカ濃度計測部4において計測される対象が校正液であるか否か判断する(ST23)。なお、この場合には、校正液中のシリコンの濃度を適切に計測していることから、次はシリカ濃度計測用液を利用したリン酸溶液中のシリカ濃度の計測となる(ST23のNO)。
On the other hand, as a result of measuring the concentration of silicon in the calibration liquid, if it is determined that the concentration of silicon is appropriately measured (YES in S26), the fact is transmitted to the
制御部6では、シリカ濃度計測部4に対してリン酸溶液希釈部3において生成されたシリカ濃度計測用液を送るよう、シリカ濃度計測部4とリン酸溶液希釈部3とをつなぐ配管に設けられている第6のバルブA6に対して開放の指示を出し、シリカの濃度を計測するに必要な量をリン酸溶液希釈部3からシリカ濃度計測部4へと供給する(ST29)。シリカ濃度計測部4では、供給されたシリカ濃度計測用液を利用して、リン酸溶液中のシリカ濃度を計測する(ST30)。
The
計測結果は、制御部6に送信され(ST31)、その結果、計測されたシリカ濃度が適切であるか否か判断される(ST32)。すなわち制御部6では、これまで得られている校正液中のシリコンの濃度と計測されたシリカ濃度とを比較して、シリカ濃度が許容範囲に含まれていれば適切であると判断する。そのため校正液は、適切であると判断され得るリン酸溶液中のシリカの濃度を備えるサンプル溶液としての役割を果たすことになる。
The measurement result is transmitted to the control unit 6 (ST31), and as a result, it is determined whether or not the measured silica concentration is appropriate (ST32). That is, the
制御部6において判断し結果、計測されたシリカ濃度が適切である場合には(ST32のYES)、生成されたリン酸溶液をエッチング処理液としてエッチング処理に使用可能であると判断し(ST33)、リン酸溶液を処置部5へと供給するよう、リン酸溶液浴槽1と処置部5とをつなぐ配管に設けられている第7のバルブA7を開放とする制御を行う(ST34)。
If the measured silica concentration is appropriate (YES in ST32), it is determined that the generated phosphoric acid solution can be used for the etching process as an etching process liquid (ST33). In order to supply the phosphoric acid solution to the
なお、計測されたシリカ濃度が適切ではない場合には(ST32のNO)、図2のフローチャートに示すステップST12へと移り、生成されたリン酸溶液が不適であると通知し、当該リン酸溶液を処置部へ供給することを停止した上で、リン酸溶液を再生成する(ST12ないしST14)。 If the measured silica concentration is not appropriate (NO in ST32), the process proceeds to step ST12 shown in the flowchart of FIG. 2 to notify that the generated phosphoric acid solution is inappropriate and the phosphoric acid solution. Is stopped, and the phosphoric acid solution is regenerated (ST12 to ST14).
以上説明した通り、エッチング処理液として使用されるリン酸溶液内のリン酸の濃度のみならず、シリカ濃度を精度良く計測することで適切なリン酸溶液を提供することによって、エッチング処理の精度向上、歩留まりの向上を図るとともに、エッチング処理液の無駄を排除することができる基板処理装置を提供することができる。 As described above, the accuracy of the etching process is improved by providing an appropriate phosphoric acid solution by accurately measuring not only the concentration of phosphoric acid in the phosphoric acid solution used as the etching solution but also the silica concentration. It is possible to provide a substrate processing apparatus capable of improving the yield and eliminating the waste of the etching processing solution.
特にシリカの濃度を計測するシリカ濃度計測部の計測精度を校正液を利用して確認することで、より精度の良いシリカ濃度の計測を行うことが可能となる。 In particular, it is possible to measure the silica concentration with higher accuracy by checking the measurement accuracy of the silica concentration measuring unit that measures the concentration of silica by using the calibration liquid.
(第3の実施の形態)
次に本発明における第3の実施の形態について説明する。なお、第3の実施の形態において、上述の第1、或いは第2の実施の形態において説明した構成要素と同一の構成要素には同一の符号を付し、同一の構成要素の説明は重複するので省略する。
(Third embodiment)
Next, a third embodiment of the present invention will be described. In the third embodiment, the same components as those described in the first or second embodiment are denoted by the same reference numerals, and the description of the same components is duplicated. I will omit it.
上述した第2の実施の形態においては、校正液を利用してシリカ濃度計測部4の計測精度の維持、向上を行うことによって、シリカ濃度の計測を行う際の精度向上を図っている。一方第3の実施の形態においては、シリカ濃度計測部4がシリカの濃度を計測する際に利用するリン酸溶液の希釈液、すなわち、シリカ濃度計測用液が正確な希釈率をもって生成されているか否かを確認することでシリカ濃度の計測を行う際の精度向上を図ることとしている。
In 2nd Embodiment mentioned above, the precision improvement at the time of measuring a silica concentration is aimed at by maintaining and improving the measurement accuracy of the silica
また、例えば、純水供給部12からの純水の供給やリン酸溶液浴槽1からのリン酸溶液の供給が行われる場合、リン酸溶液希釈部3とリン酸溶液浴槽1、或いは、純水供給部12とをつなぐ配管内での圧力の異常、配管自体の劣化、さらには、リン酸溶液希釈部3内に設けられているリン酸溶液等の採取を行うポンプのシリンダの摩耗等の理由が発生すると、供給量が変化してしまい、結果として希釈率も変わってしまうことが考えられる。
Further, for example, when pure water is supplied from the pure
すなわち、リン酸溶液中のシリカの濃度を厳密に制御するべくシリカの濃度を計測しているが、その計測に当たってはリン酸溶液を直接使用することができないことから、リン酸溶液を所定の希釈率をもって希釈したシリカ濃度計測用液を生成し、利用している。ここで、リン酸溶液の希釈が定められた通りに行われないと、このようにして生成されたシリカ濃度計測用液をいくら計測しても正確なリン酸溶液中のシリカ濃度は計測することができない。そこで、第3の実施の形態においては、シリカ濃度の計測の基となるリン酸溶液の希釈が正確に行われているか否かを確認することで、シリカの濃度を計測する際の精度を向上させるものである。 That is, the concentration of silica is measured to strictly control the concentration of silica in the phosphoric acid solution, but the phosphoric acid solution cannot be used directly for the measurement. A silica concentration measurement solution diluted at a high rate is generated and used. Here, if the dilution of the phosphoric acid solution is not performed as prescribed, the silica concentration in the phosphoric acid solution must be accurately measured no matter how much the silica concentration measurement solution thus produced is measured. I can't. Therefore, in the third embodiment, the accuracy when measuring the silica concentration is improved by confirming whether or not the phosphoric acid solution, which is the basis for measuring the silica concentration, is diluted accurately. It is something to be made.
図5は、第3の実施形態に係る基板処理装置S3の全体構成を示すブロック図である。第3の実施の形態における基板処理装置S3は、その構成要素として第2の実施の形態における基板処理装置S2にGe内標準希釈液供給部30を追加したものである。第3の実施の形態においても、特にリン酸溶液中のシリカの濃度を如何に制御するかという観点で、シリカの濃度を計測する際の精度を向上させる方法について説明する。
FIG. 5 is a block diagram showing an overall configuration of the substrate processing apparatus S3 according to the third embodiment. The substrate processing apparatus S3 in the third embodiment is obtained by adding a Ge internal standard
Ge内標準希釈液供給部30は、リン酸溶液希釈部3にリン酸溶液を希釈する希釈液を供給する。ここでGe内標準希釈液供給部30から供給される希釈液は、Ge内標準希釈液であり、液中に「Ge(ゲルマニウム)」を含むものである。
The Ge standard
リン酸溶液希釈部3では、通常、リン酸溶液の希釈を行うに当たって、純水供給部12から純水の供給を受けている。リン酸溶液希釈部3においては純水を利用して所定の希釈率となるようリン酸溶液を希釈し、シリカ濃度計測用液を生成するが、リン酸溶液が所定の割合で希釈されなければ、シリカ濃度計測部4においてもリン酸溶液中の正確なシリカ濃度の計測を行うことができない。
In the phosphoric acid
そこで、所定の希釈率をもってシリカ濃度計測用液が生成されているか否かを確認するべく、上述したように通常であれば純水を用いてリン酸溶液の希釈を行うところ、純水に替えてGe内標準希釈液を用いてリン酸溶液の希釈を行う。希釈液となるGe内標準希釈液内に含まれるゲルマニウムの濃度を計測し、当該濃度の変化を確認することで、所定の希釈率をもってシリカ濃度計測用液が生成されているか否かを確認する。 Therefore, in order to confirm whether or not the silica concentration measurement liquid is produced at a predetermined dilution rate, the phosphoric acid solution is usually diluted with pure water as described above. Then, dilute the phosphoric acid solution using the standard dilution solution in Ge. By measuring the concentration of germanium contained in the standard dilution solution in Ge, which is a dilution solution, and confirming the change in the concentration, it is confirmed whether or not a silica concentration measurement solution is generated with a predetermined dilution rate. .
ここで希釈液としてゲルマニウムが含まれるGe内標準希釈液を利用するのは、ゲルマニウム(Ge)とシリコン(Si)とは同じ第14族元素を構成する元素であり、シリカ濃度計測部4において、シリコンの濃度のみならずゲルマニウムの濃度も計測することができるからである。すなわち、リン酸溶液の希釈率を確認するに当たって、別途新たな装置を用意する必要がない。
Here, the Ge standard dilution liquid containing germanium is used as the dilution liquid. Germanium (Ge) and silicon (Si) are elements constituting the
さらには、上述したSi標準試薬を校正液として利用する場合、このSi標準試薬には、シリコンが含まれている。また、大気中等、自然界にも存在していることから、厳密にリン酸溶液の希釈率を確認しようと思っても限界がある。一方で、ゲルマニウムは、自然界に存在しない元素であることから、より正確にゲルマニウムの濃度を計測することが可能である。従って、当該ゲルマニウムの濃度を利用することによってリン酸溶液の希釈率を確認することができる。 Furthermore, when the Si standard reagent described above is used as a calibration solution, the Si standard reagent contains silicon. In addition, since it exists in nature such as in the atmosphere, there is a limit even if it is intended to strictly check the dilution rate of the phosphoric acid solution. On the other hand, since germanium is an element that does not exist in nature, it is possible to measure the concentration of germanium more accurately. Therefore, the dilution rate of the phosphoric acid solution can be confirmed by utilizing the germanium concentration.
図6は、第3の実施形態に係るエッチング処理液を生成し処置部5に供給するまでの流れの中で、リン酸溶液中のシリカの濃度を計測する流れを示すフローチャートである。まず、リン酸溶液浴槽1内にリン酸溶液を生成する(ST1)。この生成については上述した通りである。また、以下においては、第2の実施の形態において説明した通り、エッチング処理液を生成し処置部5に供給するまでの流れの中で、シリカの濃度を計測する流れだけを抜き出して説明し、リン酸の濃度を計測する流れについては割愛する。
FIG. 6 is a flowchart showing a flow of measuring the concentration of silica in the phosphoric acid solution in the flow from the generation of the etching treatment liquid according to the third embodiment to the supply to the
リン酸溶液浴槽1においてリン酸溶液が生成されると、リン酸溶液希釈部3ではシリカ濃度計測部4においてリン酸溶液中のシリカの濃度を計測する際に用いるシリカ濃度計測用液を生成する。そのため、リン酸溶液希釈部3にリン酸溶液浴槽1からリン酸溶液が供給される。
When the phosphoric acid solution is generated in the phosphoric acid solution bath 1, the phosphoric acid
ここで通常であれば、第1、或いは、第2の実施の形態においては説明したように、リン酸溶液希釈部3においてシリカ濃度計測用液を生成する際には、純水が希釈液として使用されている。そのため純水供給部12から純水が供給されることになる。但し、リン酸溶液を純水で希釈して生成されたシリカ濃度計測用液の希釈率が正確か否かについては、シリカ濃度計測部4において純水で希釈されたシリカ濃度計測用液を計測しても把握することはできない。
Here, as usual, as described in the first or second embodiment, when the silica concentration measuring solution is generated in the phosphoric acid
そこで制御部6において、リン酸溶液の希釈が適切に行われているか否かの確認を行うか否か判断される(ST41)。リン酸溶液希釈部3におけるリン酸溶液の希釈率が適切であるか否かは、希釈液としてGe内標準希釈液を使用して生成される液体を利用して行われる。ここではこのようにして生成される液体を、以下、適宜「ゲルマニウム濃度計測用液」と表わす。そのため制御部6では、供給されたリン酸溶液を希釈する際に利用される希釈液を、通常通り純水とするか、Ge内標準希釈液とするかの判断が行われる。
Therefore, the
ここで制御部6が、リン酸溶液希釈部3においてシリカ濃度計測用液を生成する際のリン酸溶液の希釈率を確認する頻度は、任意に設定することができる。計測の頻度としては、例えば、1日に1度といった頻度が考えられる。校正液を使用してシリカ濃度計測部4の測定精度を確認する程頻繁にリン酸溶液の希釈率を確認しなくても足りると考えられることから、シリカ濃度計測部4の測定精度の場合に比べて頻度としては少なく設定することが可能である。
Here, the frequency with which the
制御部6が頻度を確認した結果、リン酸溶液希釈部3においてシリカ濃度計測用液を生成する際のリン酸溶液の希釈率を確認する場合に該当するときは(ST41のYES)、リン酸溶液を希釈するに当たって、純水ではなくGe内標準希釈液を利用する。そこで、Ge内標準希釈液供給部30からリン酸溶液希釈部3に純水に替えてGe内標準希釈液が供給される(ST42)。
As a result of the
制御部6は、リン酸溶液希釈部3と純水供給部12、Ge内標準希釈液供給部30それぞれと接続されている配管に設けられている第5のバルブA5,或いは、第10のバルブA10の開閉を制御する、具体的には、リン酸溶液希釈部3と純水供給部12とをつなぐ配管に設けられている第5のバルブA5を閉じ、リン酸溶液希釈部3とGe内標準希釈液供給部30とをつなぐ配管に設けられている第10のバルブA10を開放する。
The
リン酸溶液希釈部3では、リン酸溶液浴槽1から供給されたリン酸溶液を、Ge内標準希釈液供給部30から供給されるGe内標準希釈液を使用して所定の希釈率となるように希釈してゲルマニウム濃度計測用液を生成する(ST43)。ここでの希釈率は、例えば、純水を用いてシリカ濃度計測用液を生成する際と同様の希釈率である。生成されたゲルマニウム濃度計測用液は、リン酸溶液希釈部3からシリカ濃度計測部4へと供給される(ST44)。
In the phosphoric acid
シリカ濃度計測部4では、供給されたゲルマニウム濃度計測用液を利用して、ゲルマニウム濃度計測用液に含まれているゲルマニウムの濃度を計測する(ST45)。計測の結果については、シリカ濃度計測部4において、ゲルマニウム濃度計測用液に含まれるゲルマニウムの濃度が予め把握されているゲルマニウムの濃度と比較して適切であるか否かが判断される(ST46)。
The silica
ゲルマニウム濃度計測用液中のゲルマニウムの濃度を計測した結果、適切な濃度ではないと判断された場合には(ST46のNO)、シリカ濃度計測部4は通常行われている純水を用いてシリカ濃度計測用液を生成する際のリン酸溶液の希釈率が適切ではないと判断する(ST47)。シリカ濃度計測部4で希釈率が適切ではないリン酸溶液中のシリカ濃度を計測しても、リン酸溶液中における正確なシリカ濃度を計測することはできないと考えられる。
As a result of measuring the concentration of germanium in the germanium concentration measurement solution, if it is determined that the concentration is not appropriate (NO in ST46), the silica
そこで、シリカ濃度計測部4は、リン酸溶液の希釈率が不適である旨、操作者に対して報知する(ST48)。なお、リン酸溶液の希釈率が不適であるとの情報が制御部6に送信され、制御部6においてその通知を行うこととしても良い。
Therefore, the silica
そして、このような場合リン酸溶液中に含まれるシリカの濃度を正確に把握することは困難であることから、リン酸溶液自体が所定の濃度で生成されているかも不確かなものとなる。そのためこの場合には、リン酸溶液の処置部への供給を停止する(ST49)。 In such a case, since it is difficult to accurately grasp the concentration of silica contained in the phosphoric acid solution, it is uncertain whether the phosphoric acid solution itself is produced at a predetermined concentration. Therefore, in this case, the supply of the phosphoric acid solution to the treatment unit is stopped (ST49).
一方、ゲルマニウム濃度計測用液中のゲルマニウムの濃度を計測した結果、ゲルマニウムの濃度が適切な濃度であると判断された場合には(S46のYES)、その旨、制御部6に送信される。制御部6は当該送信結果に基づいて、リン酸溶液の希釈率は適切であると判断し、再度、シリカ濃度計測部4において計測される対象がシリカ濃度計測用液中のゲルマニウムであるか否か判断する(ST41)。
On the other hand, as a result of measuring the germanium concentration in the germanium concentration measuring solution, if it is determined that the germanium concentration is an appropriate concentration (YES in S46), the fact is transmitted to the
なお、この場合には、ゲルマニウム濃度計測用液中のゲルマニウムの濃度が適切であるので、この希釈率をもって純水を用いてリン酸溶液からシリカ濃度計測用液の生成を行うことが可能である。そのため、次は純水を希釈液としてシリカ濃度計測用液を生成し、当該シリカ濃度計測用液を利用したリン酸溶液中のシリカ濃度の計測が行われることになる(ST41のNO)。 In this case, since the germanium concentration in the germanium concentration measuring solution is appropriate, it is possible to generate the silica concentration measuring solution from the phosphoric acid solution using pure water with this dilution ratio. . Therefore, next, a silica concentration measurement solution is generated using pure water as a diluent, and the silica concentration in the phosphoric acid solution is measured using the silica concentration measurement solution (NO in ST41).
そこで、これまで通り、リン酸溶液希釈部3にリン酸溶液浴槽1内のリン酸溶液と純水供給部12から純水を供給するよう、制御部6が指示する(ST50)。具体的には、リン酸溶液希釈部3と純水供給部12とをつなぐ配管の第5のバルブA5を開放し、リン酸溶液希釈部3とGe内標準希釈液供給部30とをつなぐ第10のバルブA10を閉じる。リン酸溶液希釈部3では供給されたリン酸溶液と純水を利用して、シリカ濃度計測用液を生成する(ST51)。
Therefore, as before, the
制御部6では、シリカ濃度計測部4に対してリン酸溶液希釈部3において生成されたシリカ濃度計測用液を送るよう、シリカ濃度計測部4とリン酸溶液希釈部3とをつなぐ配管に設けられている第6のバルブA6に対して開放の指示を出し、シリカの濃度を計測するに必要な量をリン酸溶液希釈部3からシリカ濃度計測部4へと供給する(ST52)。シリカ濃度計測部4では、供給されたシリカ濃度計測用液を利用して、リン酸溶液中のシリカ濃度を計測する(ST53)。
The
計測結果は、制御部6に送信され(ST54)、その結果、計測されたシリカ濃度が適切であるか否か判断される(ST55)。その結果、計測されたシリカ濃度が適切である場合には(ST55のYES)、生成されたリン酸溶液をエッチング処理液としてエッチング処理に使用可能であると判断し(ST56)、リン酸溶液を処置部5へと供給するよう、リン酸溶液浴槽1と処置部5とをつなぐ配管に設けられている第7のバルブA7を開放とする制御を行う(ST57)。
The measurement result is transmitted to the control unit 6 (ST54), and as a result, it is determined whether or not the measured silica concentration is appropriate (ST55). As a result, when the measured silica concentration is appropriate (YES in ST55), it is determined that the generated phosphoric acid solution can be used for the etching process as an etching process liquid (ST56), and the phosphoric acid solution is used. Control is performed to open the seventh valve A7 provided in the pipe connecting the phosphoric acid solution bath 1 and the
なお、計測されたシリカ濃度が適切ではない場合には(ST55のNO)、図2のフローチャートに示すステップST12へと移り、生成されたリン酸溶液が不適である通知を行い、当該リン酸溶液を処置部へ供給することを停止した上で、リン酸溶液を再生成する(ST12ないしST14)。 If the measured silica concentration is not appropriate (NO in ST55), the process proceeds to step ST12 shown in the flowchart of FIG. 2 to notify that the generated phosphoric acid solution is inappropriate, and the phosphoric acid solution. Is stopped, and the phosphoric acid solution is regenerated (ST12 to ST14).
以上説明した通り、エッチング処理液として使用されるリン酸溶液内のリン酸の濃度のみならず、シリカ濃度を精度良く計測することで適切なリン酸溶液を提供することによって、エッチング処理の精度向上、歩留まりの向上を図るとともに、エッチング処理液の無駄を排除することができる基板処理装置を提供することができる。 As described above, the accuracy of the etching process is improved by providing an appropriate phosphoric acid solution by accurately measuring not only the concentration of phosphoric acid in the phosphoric acid solution used as the etching solution but also the silica concentration. It is possible to provide a substrate processing apparatus capable of improving the yield and eliminating the waste of the etching processing solution.
特に、本発明の実施の形態においては、ゲルマニウムを含むGe内標準希釈液をリン酸溶液を希釈する際の希釈液として使用し、生成されたゲルマニウム濃度計測用液中のゲルマニウムの濃度を計測する。このようにゲルマニウムの濃度を計測することで、生成されたシリカ濃度計測用液が適切な希釈率に則って生成されているかを確認することができる。リン酸溶液中に含まれるシリカの濃度を正確に計測するに当たっては、計測の対象となるシリカ濃度計測用液が適切に生成されていることが必須である。ゲルマニウムの濃度を計測することでこの点を簡易に確認することができるため、よりシリカ濃度を精度良く計測することが可能となり、適切なリン酸溶液を提供することができる。 In particular, in the embodiment of the present invention, the germanium standard diluted solution containing germanium is used as a diluted solution when diluting the phosphoric acid solution, and the concentration of germanium in the generated germanium concentration measuring solution is measured. . By measuring the concentration of germanium in this way, it can be confirmed whether the generated silica concentration measurement liquid is generated according to an appropriate dilution rate. In order to accurately measure the concentration of silica contained in the phosphoric acid solution, it is essential that the silica concentration measurement liquid to be measured is appropriately generated. Since this point can be easily confirmed by measuring the concentration of germanium, the silica concentration can be measured with higher accuracy, and an appropriate phosphoric acid solution can be provided.
なお、第3の実施の形態においては、図5の基板処理装置S3の全体構成を示すブロック図にも示されている通り、Ge内標準希釈液供給部30は純水供給部12と同じ配管を介してリン酸溶液希釈部3へとGe内標準希釈液を供給している。つまり、ここでリン酸溶液希釈部3へ供給されるGe内標準希釈液は、純水を基にした希釈液であるといえる。
In the third embodiment, as shown in the block diagram showing the overall configuration of the substrate processing apparatus S3 in FIG. 5, the Ge standard diluted
但し、リン酸溶液希釈部3において使用可能なGe内標準希釈液は、このような純水を基にした希釈液に限らず、例えば、リン酸を基にした希釈液であっても良い。この場合は、例えば、リン酸溶液浴槽1とリン酸溶液希釈部3とをつなぎ第4のバルブA4が設けられている配管を介して、リン酸溶液希釈部3にリン酸を基にしたGe内標準希釈液が供給されることになる。
However, the Ge standard dilution solution that can be used in the phosphoric acid
図7は、第3の実施形態に係る基板処理装置S3Aの別の全体構成を示すブロック図である。基板処理装置S3Aに示すGe内標準希釈液供給部31はリン酸を基にしたGe内標準希釈液をリン酸溶液希釈部3へと供給部する。制御部6は、リン酸溶液浴槽1とリン酸溶液希釈部3とをつなぐ配管に設けられている第4のバルブA4とGe内標準希釈液供給部31とリン酸溶液希釈部3とをつなぐ配管に設けられている第10aのバルブA10aの開閉を制御する。
FIG. 7 is a block diagram showing another overall configuration of the substrate processing apparatus S3A according to the third embodiment. The Ge standard dilution
制御部6が第4のバルブA4を閉止し、第10aのバルブA10aを開放する制御を行うと、リン酸溶液希釈部3へGe内標準希釈液供給部31からリン酸を基にしたGe内標準希釈液が供給される。リン酸溶液希釈部3では、図6に示すフローチャートを用いて説明した流れに沿ってゲルマニウム濃度計測用液を生成し、シリカ濃度計測部4においてゲルマニウムの濃度を計測する。
When the
なお、リン酸を基にしたGe内標準希釈液の供給は、ここではリン酸溶液浴槽1からリン酸溶液希釈部3へリン酸溶液が供給されることからリン酸溶液浴槽1とリン酸溶液希釈部3とをつなぐ配管を介して行われるが、例えば、リン酸溶液希釈部3に対して循環路Cからリン酸溶液が供給される場合には、当該循環路Cとリン酸溶液希釈部3とをつなぐ配管を介して供給されるように構成しても良い。
The supply of the Ge standard dilution solution based on phosphoric acid is performed here because the phosphoric acid solution is supplied from the phosphoric acid solution bath 1 to the phosphoric acid
また、基板処理装置S3と基板処理装置S3Aとを別の構成として図面も分けて説明したが、例えば、基板処理装置S3と基板処理装置S3Aの構成を合わせて、純水を基にしたGe内標準希釈液、リン酸を基にしたGe内標準希釈液のいずれもリン酸溶液希釈部3に対して供給することが可能な構成を採用しても良い。
In addition, the substrate processing apparatus S3 and the substrate processing apparatus S3A have been described separately as separate configurations. For example, the Ge processing unit S3 and the substrate processing apparatus S3A are combined in the Ge structure based on pure water. A configuration in which both the standard dilution solution and the standard dilution solution in Ge based on phosphoric acid can be supplied to the phosphoric acid
(第4の実施の形態)
次に本発明における第4の実施の形態について説明する。なお、第4の実施の形態において、上述の第1ないし第3の実施の形態において説明した構成要素と同一の構成要素には同一の符号を付し、同一の構成要素の説明は重複するので省略する。
(Fourth embodiment)
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. In the fourth embodiment, the same components as those described in the first to third embodiments are denoted by the same reference numerals, and the description of the same components is duplicated. Omitted.
第4の実施の形態における基板処理装置S4は、その構成要素として第3の実施の形態における基板処理装置S3にフッ化水素添加部40及びフッ化水素計測部41を追加したものである。第4の実施の形態においても、特にリン酸溶液中のシリカの濃度を如何に制御するかという観点で、シリカの濃度を計測する際の精度を向上させる方法について説明する。
The substrate processing apparatus S4 in the fourth embodiment is obtained by adding a hydrogen
シリカの濃度を計測するに当たって、リン酸溶液浴槽1からリン酸溶液希釈部3に対してリン酸溶液が供給される。これは、シリカ濃度計測部4においてシリカの濃度を計測する際に利用されるシリカ濃度計測用液を生成するためである。シリカ濃度計測用液はシリカ濃度計測部4がシリカの濃度を計測する都度、リン酸溶液希釈部3においてリン酸溶液を純水で希釈することによって生成される。そのため、リン酸溶液浴槽1からリン酸溶液希釈部3に対してのリン酸溶液の供給もリン酸溶液希釈部3においてシリカ濃度計測用液を生成する都度行われることになる。
In measuring the concentration of silica, a phosphoric acid solution is supplied from the phosphoric acid solution bath 1 to the phosphoric acid
そのため、常にリン酸溶液浴槽1からリン酸溶液希釈部3に対してリン酸溶液が供給されているわけではなく、リン酸溶液浴槽1とリン酸溶液希釈部3とをつなぐ配管内にリン酸溶液が留まった状態となることが考えられる。
Therefore, the phosphoric acid solution is not always supplied from the phosphoric acid solution bath 1 to the phosphoric acid
リン酸溶液は、途中にリン酸溶液加熱部14を備える循環路Cを循環していることから、リン酸溶液浴槽1内では、リン酸溶液が高温を維持したままの状態に保たれる。また、リン酸溶液は、エッチング処理液として処置部5に供給されるが、供給状態にあればリン酸溶液は常時配管内を移動しているため温度の低下は起こりにくい。一方で、配管内にリン酸溶液が留まる状態が作出されてしまうと、リン酸溶液の温度が低下し、リン酸溶液中のシリカが析出する可能性が考えられる。
Since the phosphoric acid solution circulates in the circulation path C including the phosphoric acid
リン酸溶液中にシリカが析出した状態でリン酸溶液中のシリカの濃度を計測すると、リン酸溶液中の正確なシリカの濃度を計測することが困難になってしまう。但しシリカ濃度計測部4でのシリカの濃度の計測頻度からすれば、リン酸溶液浴槽1とリン酸溶液希釈部3とをつなぐ配管内にリン酸溶液が留まった状態になる場合が短時間ではあるが作出されることは避けられない。
If the concentration of silica in the phosphoric acid solution is measured in a state where silica is deposited in the phosphoric acid solution, it becomes difficult to measure the exact concentration of silica in the phosphoric acid solution. However, according to the measurement frequency of the silica concentration in the silica
そこで第4の実施の形態においては、リン酸溶液浴槽1とリン酸溶液希釈部3とをつなぐ配管にフッ化水素を添加し、リン酸溶液中のシリカが析出してしまうことを防止することとしている。
Therefore, in the fourth embodiment, hydrogen fluoride is added to a pipe connecting the phosphoric acid solution bath 1 and the phosphoric acid
図8は、第4の実施形態に係る基板処理装置S4の全体構成を示すブロック図である。基板処理装置S4においては、新たにフッ化水素添加部40が設けられている。このフッ化水素添加部40は、リン酸溶液浴槽1とリン酸溶液希釈部3とをつなぐ配管にフッ化水素を添加する機能を有している。また当該配管には、制御部6の制御によって開閉される第11のバルブA11が設けられている。
FIG. 8 is a block diagram showing an overall configuration of a substrate processing apparatus S4 according to the fourth embodiment. In the substrate processing apparatus S4, a hydrogen
また併せてフッ化水素計測部41も設けられており、フッ化水素計測部41は、フッ化水素添加部40からリン酸溶液浴槽1とリン酸溶液希釈部3とをつなぐ配管に添加されたフッ化水素の添加量を計測する。適切な量のフッ化水素が添加されなければ、リン酸溶液中にシリカが析出してしまうことを防止することができないからである。
In addition, a hydrogen
なお、リン酸溶液浴槽1とリン酸溶液希釈部3とをつなぐ配管とフッ化水素添加部40とをつなぐ配管から分岐して、フッ化水素添加部40とフッ化水素計測部41も配管によって接続されている。このように構成されていることによって、上述したようにフッ化水素添加部40が添加したフッ化水素の添加量をフッ化水素添加部40において計測することができる。また、フッ化水素添加部40とフッ化水素計測部41とをつなぐ配管には、第12のバルブA12が設けられている。
In addition, it branches from the piping which connects the phosphoric acid solution bathtub 1 and the phosphoric acid
図9は、第4の実施形態に係るエッチング処理液を生成し処置部5に供給するまでの流れの中で、リン酸溶液中のシリカの濃度を計測する流れを示すフローチャートである。まず、リン酸溶液浴槽1内にリン酸溶液を生成する(ST1)。この生成については上述した通りである。また、以下においては、第2、或いは、第3の実施の形態において説明した通り、エッチング処理液を生成し処置部5に供給するまでの流れの中で、シリカの濃度を計測する流れだけを抜き出して説明し、リン酸の濃度を計測する流れについては割愛する。
FIG. 9 is a flowchart showing a flow of measuring the concentration of silica in the phosphoric acid solution in the flow from the generation of the etching treatment liquid according to the fourth embodiment to the supply to the
リン酸溶液浴槽1においてリン酸溶液が生成されると、リン酸溶液希釈部3ではシリカ濃度計測部4においてリン酸溶液中のシリカの濃度を計測する際に用いるシリカ濃度計測用液を生成する。そのため、リン酸溶液希釈部3にリン酸溶液浴槽1からリン酸溶液が供給される。
When the phosphoric acid solution is generated in the phosphoric acid solution bath 1, the phosphoric acid
このリン酸溶液浴槽1からリン酸溶液希釈部3にリン酸溶液が供給される配管に対して、制御部6が第11のバルブA11を開放する制御も行うことで、フッ化水素添加部40がフッ化水素を添加する(ST61)。ここでフッ化水素(HF)を添加するのは、リン酸溶液中に含まれるSi、或いは、Si化合物の全部または一部をSiF6イオンにして溶解させることが可能となるからである。なおフッ化水素添加部40が添加するのは、フッ化水素(HF)であってもフッ化水素酸(フッ酸)であっても良い。
The
フッ化水素添加部40がリン酸溶液浴槽1からリン酸溶液希釈部3に供給されるリン酸溶液に対してフッ化水素を添加すると、フッ化水素計測部41において添加された量が計測される(ST62)。すなわち、制御部6が第12のバルブA12を開放することで、フッ化水素添加部40が添加するフッ化水素がフッ化水素計測部41へと供給される。
When hydrogen fluoride is added to the phosphoric acid solution supplied from the phosphoric acid solution bath 1 to the phosphoric acid
フッ化水素計測部41で計測されたフッ化水素の量に関する情報は、制御部6に対して送信され(ST63)、制御部6において適量のフッ化水素が添加されたか否か、判断される(ST64)。
Information on the amount of hydrogen fluoride measured by the hydrogen
その結果、適量のフッ化水素が添加されていないと判断した場合には(ST64のNO)、制御部6からフッ化水素添加部40に対して適量のフッ化水素を添加するように指示が出される(ST65)。フッ化水素添加部40では、制御部6の指示に基づき、リン酸溶液浴槽1とリン酸溶液希釈部3とをつなぐ配管内のリン酸溶液に適量のフッ化水素を添加する(ST61)。
As a result, when it is determined that an appropriate amount of hydrogen fluoride has not been added (NO in ST64), the
なお、フッ化水素添加部40がリン酸溶液浴槽1からリン酸溶液希釈部3に供給されるリン酸溶液に対してフッ化水素を添加する頻度は、常時添加であるが、フッ化水素計測部41がフッ化水素添加部40によって添加されるフッ化水素の量を計測する頻度は、常時計測としても、或いは、適宜設定することもできる。 一方、制御部6がフッ化水素計測部41からのフッ化水素の添加量に関する情報を基に判断した結果、適量のフッ化水素が添加されていると判断した場合には(ST64のYES)、リン酸溶液浴槽1とリン酸溶液希釈部3とをつなぐ配管内のリン酸溶液においてシリカの析出が抑えられていると判断することができる。
The frequency of adding hydrogen fluoride to the phosphoric acid solution supplied from the phosphoric acid solution bath 1 to the phosphoric acid
そこで、制御部6は、第4のバルブA4と第5のバルブA5を開放し、リン酸溶液希釈部3に対して、リン酸溶液浴槽1からリン酸溶液を、また、純水供給部12から純水を、それぞれ供給するよう指示する(ST66、ST67)。
Therefore, the
この指示に基づき、リン酸溶液希釈部3には所定量のリン酸溶液と純水とが供給されることになり、シリカ濃度計測用液の生成が可能となる(ST51)。生成されたシリカ濃度計測用液は、シリカ濃度計測部4へと供給され(ST52)、リン酸溶液中のシリカの濃度が計測される(ST53)。この後の流れは、上述した通りである。
Based on this instruction, a predetermined amount of phosphoric acid solution and pure water are supplied to the phosphoric acid
以上説明した通り、エッチング処理液として使用されるリン酸溶液内のリン酸の濃度のみならず、シリカ濃度を精度良く計測することで適切なリン酸溶液を提供することによって、エッチング処理の精度向上、歩留まりの向上を図るとともに、エッチング処理液の無駄を排除することができる基板処理装置を提供することができる。 As described above, the accuracy of the etching process is improved by providing an appropriate phosphoric acid solution by accurately measuring not only the concentration of phosphoric acid in the phosphoric acid solution used as the etching solution but also the silica concentration. It is possible to provide a substrate processing apparatus capable of improving the yield and eliminating the waste of the etching processing solution.
リン酸溶液中のシリカの濃度を計測するに当たっては、リン酸溶液浴槽1内に貯留されているリン酸溶液の状態のままリン酸溶液に含まれるシリカの濃度を計測することが肝要である。なぜならばリン酸溶液浴槽1に貯留されているリン酸溶液がエッチング処理液として処置部5に提供されることになるからである。
In measuring the concentration of silica in the phosphoric acid solution, it is important to measure the concentration of silica contained in the phosphoric acid solution in the state of the phosphoric acid solution stored in the phosphoric acid solution bath 1. This is because the phosphoric acid solution stored in the phosphoric acid solution bath 1 is provided to the
従って、シリカ濃度計測部4において利用されるシリカ濃度計測用液の生成に当たってもリン酸溶液浴槽1内に貯留されている状態そのままのリン酸溶液を希釈する必要がある。そのためには、リン酸溶液浴槽1からリン酸溶液希釈部3にリン酸溶液が供給される間で余計なシリカの析出を生じさせてしまうと、正確なシリカの濃度を計測するという目的を達することができなくなってしまう。
Therefore, it is necessary to dilute the phosphoric acid solution as it is stored in the phosphoric acid solution bath 1 even when the silica concentration measuring liquid used in the silica
そこで、本発明の実施の形態において説明したように、リン酸溶液浴槽1から供給されるリン酸溶液にフッ化水素を添加することでシリカの析出を防止している。これにより、一層正確なシリカの濃度を計測することが可能となる。 Therefore, as described in the embodiment of the present invention, silica precipitation is prevented by adding hydrogen fluoride to the phosphoric acid solution supplied from the phosphoric acid solution bath 1. This makes it possible to measure the silica concentration more accurately.
また、別の方法ではあるが、例えば、配管内に貯留されるリン酸溶液を、シリカ濃度の計測の直前若しくは直後、またはその両方において、多量の純水を当該配管内に導入し、排液してしまう方法も考えられる。なお、この場合には、排液するためのバルブを別途設ける必要がある。 Moreover, although it is another method, for example, a phosphoric acid solution stored in a pipe is introduced into the pipe with a large amount of pure water immediately before or immediately after the measurement of the silica concentration, or both, and drained. A method of doing this is also conceivable. In this case, it is necessary to separately provide a valve for draining.
なおこれまでは説明の都合上、シリカの濃度を如何に正確に計測するかの方策を各実施の形態に分けて説明してきた。但し、各実施の形態において説明した方策については、それぞれ自由に組み合わせることが可能であることは言うまでもない。 Heretofore, for the convenience of explanation, the method of accurately measuring the silica concentration has been described separately for each embodiment. However, it goes without saying that the measures described in each embodiment can be freely combined.
本発明の実施形態を説明したが、この実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することを意図していない。この実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。この実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれると共に、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれる。 Although an embodiment of the present invention has been described, this embodiment is presented as an example and is not intended to limit the scope of the invention. This embodiment can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the spirit of the invention. This embodiment and its modifications are included in the scope and gist of the invention, and are included in the invention described in the claims and the equivalents thereof.
1 リン酸溶液浴槽
2 リン酸濃度計測部
3 リン酸溶液希釈部
4 シリカ濃度計測部
5 処置部
6 制御部
11 リン酸供給部
12 純水供給部
13 シリカ供給部
14 リン酸溶液加熱部
15 リン酸溶液温度計測部
16 リン酸溶液回収部
20 校正液供給部
30 Ge内標準希釈液供給部
40 フッ化水素添加部
41 フッ化水素計測部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Phosphoric
Claims (12)
生成された前記リン酸溶液に含まれる前記リン酸の濃度を計測するリン酸濃度計測部と、
前記リン酸溶液浴槽内で生成される前記リン酸溶液に純水を加えてリン酸溶液を希釈するリン酸溶液希釈部と、
前記リン酸溶液希釈部において生成されるシリカ濃度計測用液を基に、前記リン酸溶液に含まれる前記シリカの濃度を計測するシリカ濃度計測部と、
前記リン酸溶液を使用してエッチング処理を行う処置部と、
前記リン酸溶液浴槽と、前記リン酸濃度計測部と、前記リン酸溶液希釈部と、前記シリカ濃度計測部と、前記処置部の働きを制御するとともに、これら各部をつなぐ配管内の液体を移動させるポンプの駆動や前記配管に設けられているバルブの開閉を制御する制御部と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 A phosphoric acid solution bath that generates a phosphoric acid solution used as an etching solution by receiving phosphoric acid, silica, and pure water from a phosphoric acid supply unit, a silica supply unit, and a pure water supply unit, respectively;
A phosphoric acid concentration measuring unit that measures the concentration of the phosphoric acid contained in the generated phosphoric acid solution;
A phosphoric acid solution diluting section for diluting the phosphoric acid solution by adding pure water to the phosphoric acid solution generated in the phosphoric acid solution bath;
Based on the silica concentration measurement liquid generated in the phosphoric acid solution dilution unit, a silica concentration measuring unit that measures the concentration of the silica contained in the phosphoric acid solution;
A treatment section that performs an etching process using the phosphoric acid solution;
Controls the functions of the phosphoric acid solution bath, the phosphoric acid concentration measuring unit, the phosphoric acid solution diluting unit, the silica concentration measuring unit, and the treatment unit, and moves the liquid in the pipe connecting these units. A control unit for controlling the driving of the pump to be operated and the opening and closing of the valve provided in the pipe;
A substrate processing apparatus comprising:
前記シリカ濃度計測部は、供給された前記校正液を構成する元素の濃度を計測することを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 A calibration liquid supply unit that supplies a calibration liquid to the silica concentration measurement unit,
The substrate processing apparatus according to claim 1, wherein the silica concentration measuring unit measures a concentration of an element constituting the supplied calibration solution.
前記リン酸溶液希釈部では、純水に替えて前記Ge内標準希釈液供給部を使用して前記リン酸溶液を希釈し、ゲルマニウムを含む前記シリカ濃度計測用液を生成することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の基板処理装置。 A standard dilution solution supply unit in Ge for supplying a dilution solution containing germanium to the phosphoric acid solution dilution unit,
In the phosphoric acid solution dilution section, the silica concentration measurement liquid containing germanium is generated by diluting the phosphoric acid solution using the Ge standard dilution liquid supply section instead of pure water. The substrate processing apparatus according to claim 1.
前記リン酸溶液回収部にて回収された前記リン酸溶液は、前記リン酸溶液浴槽へと送液されることを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれかに記載の基板処理装置。 A phosphoric acid solution recovery unit that recovers the phosphoric acid solution used in the treatment unit;
The substrate processing apparatus according to claim 1, wherein the phosphoric acid solution recovered by the phosphoric acid solution recovery unit is sent to the phosphoric acid solution bath.
The substrate processing apparatus according to claim 1, wherein the silica concentration measuring unit measures the concentration of the silica using an emission spectroscopic analysis method.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014073215A JP2015195306A (en) | 2014-03-31 | 2014-03-31 | substrate processing apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014073215A JP2015195306A (en) | 2014-03-31 | 2014-03-31 | substrate processing apparatus |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015195306A true JP2015195306A (en) | 2015-11-05 |
Family
ID=54434087
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014073215A Pending JP2015195306A (en) | 2014-03-31 | 2014-03-31 | substrate processing apparatus |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2015195306A (en) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107895702A (en) * | 2016-10-04 | 2018-04-10 | 东京毅力科创株式会社 | Substrate liquid processing device, substrate liquid processing method and storage medium |
KR20180099523A (en) * | 2017-02-28 | 2018-09-05 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | Substrate liquid processing apparatus |
CN109585337A (en) * | 2017-09-28 | 2019-04-05 | 东京毅力科创株式会社 | Substrate board treatment, substrate processing method using same and storage medium |
JP2020064057A (en) * | 2018-10-08 | 2020-04-23 | イーシーアイ テクノロジー、インコーポレイテッド | Selective monitoring of multiple silicon compounds |
JP2022097363A (en) * | 2020-12-18 | 2022-06-30 | サムス カンパニー リミテッド | Device for supplying process liquid and method for supplying process liquid |
JP2022106653A (en) * | 2021-01-07 | 2022-07-20 | サムス カンパニー リミテッド | Treatment liquid supply device and solid removal method for treatment liquid supply device |
-
2014
- 2014-03-31 JP JP2014073215A patent/JP2015195306A/en active Pending
Cited By (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107895702B (en) * | 2016-10-04 | 2023-08-29 | 东京毅力科创株式会社 | Substrate liquid processing apparatus, substrate liquid processing method, and storage medium |
CN107895702A (en) * | 2016-10-04 | 2018-04-10 | 东京毅力科创株式会社 | Substrate liquid processing device, substrate liquid processing method and storage medium |
KR102469675B1 (en) * | 2017-02-28 | 2022-11-22 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | Substrate liquid processing apparatus |
KR20180099523A (en) * | 2017-02-28 | 2018-09-05 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | Substrate liquid processing apparatus |
JP2018142695A (en) * | 2017-02-28 | 2018-09-13 | 東京エレクトロン株式会社 | Substrate liquid processing apparatus |
JP7019430B2 (en) | 2017-02-28 | 2022-02-15 | 東京エレクトロン株式会社 | Substrate liquid processing equipment |
CN109585337A (en) * | 2017-09-28 | 2019-04-05 | 东京毅力科创株式会社 | Substrate board treatment, substrate processing method using same and storage medium |
CN109585337B (en) * | 2017-09-28 | 2023-11-28 | 东京毅力科创株式会社 | Substrate processing apparatus, substrate processing method, and storage medium |
TWI795600B (en) * | 2018-10-08 | 2023-03-11 | 美商Eci科技公司 | Methods and apparatuses for selective monitoring of multiple silicon compounds in etchant solutions |
US11555798B2 (en) | 2018-10-08 | 2023-01-17 | Eci Technology, Inc. | Selective monitoring of multiple silicon compounds |
JP7229315B2 (en) | 2018-10-08 | 2023-02-27 | イーシーアイ テクノロジー、インコーポレイテッド | Selective monitoring of multiple silicon compounds |
JP2022027752A (en) * | 2018-10-08 | 2022-02-14 | イーシーアイ テクノロジー、インコーポレイテッド | Selective monitoring of multiple silicon compounds |
JP2020064057A (en) * | 2018-10-08 | 2020-04-23 | イーシーアイ テクノロジー、インコーポレイテッド | Selective monitoring of multiple silicon compounds |
JP2022097363A (en) * | 2020-12-18 | 2022-06-30 | サムス カンパニー リミテッド | Device for supplying process liquid and method for supplying process liquid |
JP7303850B2 (en) | 2020-12-18 | 2023-07-05 | サムス カンパニー リミテッド | Treatment liquid supply device and treatment liquid supply method |
JP2022106653A (en) * | 2021-01-07 | 2022-07-20 | サムス カンパニー リミテッド | Treatment liquid supply device and solid removal method for treatment liquid supply device |
JP7274554B2 (en) | 2021-01-07 | 2023-05-16 | サムス カンパニー リミテッド | Treatment liquid supply device and solid removal method for treatment liquid supply device |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2015195306A (en) | substrate processing apparatus | |
WO2010038479A1 (en) | Steam characteristics automatic measuring device and geothermal power generating device | |
TWI585388B (en) | Measuring method for concentration of total oxidizing substance, substrate cleaning method and substrate cleaning system | |
US9499421B2 (en) | Method and apparatus for removing chloride from samples containing volatile organic carbon | |
JP2009058306A (en) | Method and device for measuring dissolved inorganic material concentration in liquid, and etching liquid regeneration system with the same device | |
CN107065950A (en) | A kind of control method based on mass spectrometer vacuum intracavitary air pressure change | |
US9852921B2 (en) | Substrate treating apparatus and method of treating substrate | |
JP2007132790A (en) | Quantitative analysis method of selenium by flame atomic absorption method | |
KR20160051953A (en) | Apparatus for doing quality control of water quality measuring apparatus | |
TW202020441A (en) | Methods and apparatuses for selective monitoring of multiple silicon compounds in etchant solutions | |
Bocca et al. | Uncertainty evaluation in the analysis of biological samples by sector field inductively coupled plasma mass spectrometry. Part A: measurements of Be, Cd, Hg, Ir, Pb, Pd, Pt, Rh, Sb, U, Tl and W in human serum | |
JP3611285B2 (en) | Concentration measurement system for components to be detected, and reactor cooling water concentration control method and apparatus using the concentration measurement system | |
JP4669286B2 (en) | A method for aligning the base point of the scale of a device that measures the amount of silicon dioxide by colorimetric determination with the standard | |
JP6390351B2 (en) | Analysis equipment | |
JP5277933B2 (en) | Condensate quality monitoring device | |
WO2010013586A1 (en) | Apparatus for measurement of silicon concentration | |
JP2009250760A (en) | Automatic component analyzing device for geothermal steam well | |
JP2011058981A (en) | Negative ion concentration measuring apparatus, power generation device, automatic steam property measuring apparatus, and geothermal power generation device | |
JP2006231197A (en) | Water quality control method based on heater drain iron concentration | |
US20230066692A1 (en) | Sample analysis apparatus and sample analysis method | |
CN105758839A (en) | Method for measuring content of lithium in glass | |
TWI776449B (en) | Flow analysis device and flow analysis method | |
JP2009098128A (en) | Liquid treatment device and treatment liquid supply method | |
CN109253984A (en) | The analytical equipment and its analysis method of water sample total content of organic carbon | |
JP2000193657A (en) | Oxygen analysis method in sample and device |