JP2015190983A - エラー・フィードバックを有するmemsセンサ・フィルタリング - Google Patents
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Abstract
【課題】エラー・フィードバックを有するマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号のフィルタリングに関し、エラーの蓄積を低減させたシステムおよび方法を提供する。【解決手段】提供されたマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号102に対し、フィードバックループからのフィードバック信号103が、第1の結合信号104を出すために、マイクロ電気機械システム・センサ・レート信号102から減算される。第1の結合信号104は、フィルタ処理されたレート出力101を生成するためにフィルタ106でフィルタリングされる。誤差信号を生成するためにフィルタ処理レート出力101からマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号102が減算される。さらに、将来の時間ステップに関しフィードバック信号103を生成するために、誤差信号がフィードバックループで使われる。【選択図】図1A
Description
[0001] マイクロ電気機械システム(MEMS)は、各種センサ(例えばジャイロスコープ、加速度計および磁力計)を包含することがありえる。
これらのセンサは、さまざまな制御システムおよび慣性航法アプリケーション、例えばInertial Measurement Unit、IMUで実装されることがありえる。ショックまたは振動の極めて高レベルに従属するときに、MEMSセンサのオペレーションは破壊されることがありえるかまたは止められることがありえる。その結果、振動の間、パフォーマンスを高めて、環境に衝撃を与えることを、MEMSセンサは、フィルタリングがしばしば必要とする。
[0002] エラー・フィードバックを有するマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号をフィルタリングすることに関するシステムおよび方法は、提供される。ある例では、マイクロ電気機械システム・センサ・レート信号が提供される。次に、フィードバックループからのフィードバック信号は、第1の結合信号を出すために、マイクロ電気機械システム・センサ・レート信号から減算される。それから、第1の結合信号は、フィルタ処理レート出力を生じるためにフィルタリングされる。それから、マイクロ電気機械システム・センサ・レート信号は、誤差信号を生じるために、フィルタ処理レート出力から減算され、将来の時間ステップに関しフィードバック信号を生成するために、誤差信号が、フィードバックループで使われる。
[0003] 図面が例示的実施形態だけを表し、従って、範囲を制限すると考慮されないことになっていることを理解し、例示的実施形態は、添付の図面を用いることにより付加的な特性および詳細により記載される。
[0006] 一般の習慣に従って、さまざまな記載された特徴は、一定の比率で描かれず、例示的実施形態に関連する特定の特徴を強調するために描かれる。
[0007] MEMSセンサ・レート信号のフィルタリングが多くの有用な利点を提供することがありえると共に、エラーがレート信号にたまることがありえるので、それはいくつかのアプリケーションで有害でもありえる。例えば、フィルタがナビゲーション・オブジェクトに関しMEMSセンサにおいて、用いられるときに、フィルタの制限および他のタイプを評価することになっているかなりの角度はレート信号にたまることがありえる。そして、それによって、機首方位または姿勢問題が生じることがありえる。システムにおけるエラーの蓄積を低減させるために、本願明細書において、記載される実施形態は、フィルタリングのためシステムおよび供給後部の方法に関し信号エラーを提供する。その結果、提唱されたシステムおよび方法は、ナビゲーション・パフォーマンスに低下した衝撃を有する任意のセンサ・レート信号フィルタリングを可能にする。
[0007] MEMSセンサ・レート信号のフィルタリングが多くの有用な利点を提供することがありえると共に、エラーがレート信号にたまることがありえるので、それはいくつかのアプリケーションで有害でもありえる。例えば、フィルタがナビゲーション・オブジェクトに関しMEMSセンサにおいて、用いられるときに、フィルタの制限および他のタイプを評価することになっているかなりの角度はレート信号にたまることがありえる。そして、それによって、機首方位または姿勢問題が生じることがありえる。システムにおけるエラーの蓄積を低減させるために、本願明細書において、記載される実施形態は、フィルタリングのためシステムおよび供給後部の方法に関し信号エラーを提供する。その結果、提唱されたシステムおよび方法は、ナビゲーション・パフォーマンスに低下した衝撃を有する任意のセンサ・レート信号フィルタリングを可能にする。
[0008] 図1Aおよび1Bは、MEMSセンサ・レート信号をフィルターに通すことに関し例示の方法100のフロー図である。例示的実施形態において、方法100は、MEMSセンサ・レート信号を受信して、方法100の将来の繰り返しに関しフィルタ処理レート出力101ならびにフィードバック信号103を生成するために、MEMSセンサ・レート信号に作動する。方法100の所与の繰り返しは、本明細書において、方法100における「時間ステップ」とも称される。
[0009] MEMSセンサ・レート信号102に一つ以上のフィルタを適用することによって、フィルタ処理レート出力101は、生成される。フィードバック信号は、フィルタ処理レート出力101とMEMSセンサ・レート信号102(すなわち、入力信号と方法100の出力信号間の差分)の間に差分に基づいて生成される。MEMSセンサ・レート信号102とフィルタ処理レート出力101間の差分は、方法100における電流回のステップ(繰り返し)のフィルタによって、生じるMEMSセンサ・レート信号102の変化である。故意にフィルタによって、MEMSセンサ・レート信号102に適用されるにもかかわらず、MEMSセンサによって、得られた実際の測定値の全てを包含するというわけではないために、この変化はフィルタ処理レート出力101を生じさせる。MEMSセンサ・レート信号102が蓄積された信号(すなわち、現在の時刻のMEMSセンサ・レート信号102はMEMSセンサ・レートからの変化が前回に測定されることを表す)であるので、102の信号がフィルタによって、生じさせたMEMSセンサ・レートの変化は時間とともに蓄積する。従来のMEMSセンサのような、フィルタによって、生じる変化が無視される場合、変化はフィルタ処理レート出力101における測定エラーに結果としてなる。したがって、MEMSセンサ・レート信号102(すなわち、MEMSセンサ・レート信号102とフィルタ処理レート出力101間の差分)にフィルタにより適用される変化は、誤差信号である。この誤差信号に基づいて、フィルタ処理レート出力101におけるこのエラーの蓄積を低減させるために、方法100は、未来ステップ(s)に関しMEMSセンサ・レート信号102に、フィードバック信号を適用する。方法100に関するより多くの詳細は、下に提供される。
[0010] 方法100に関し入力信号は、MEMSセンサ・レート信号(ブロック102)である。既に知られているように、MEMSセンサがいずれに組み込まれるかについてシステムに関する情報を測定するために、MEMSセンサが、様々なアプリケーションで用いられることがありえる。例えば、MEMSセンサが、ジャイロスコープ、加速度計および磁力計において、用いられることがありえる。これらのアプリケーションにおいて、それぞれ、MEMSセンサは、MEMSの角度回転、線形加速度および方位を測定する。MEMSセンサからのこの測定値は、方法100(ブロック102)で作用されるレート信号である。方法100がレート信号のフィルタリングに関するにもかかわらず、レート信号の付加的なフィルタリングは方法100で行動される前に発生する場合がある。存在する場合、かかるフィルタリングは本願明細書において、述べられる方法100の一部でないだろう。従って、実施形態によっては、方法100に入力されるレート信号102は、MEMSセンサからの生のフィルタリングされていない信号である。他の実施態様において、MEMSレート信号102は方法100の使用の前にフィルターに通される。そして、方法100はフィルタ処理レート出力101を生成するために付加的なフィルタリングを適用して、更に付加的なフィルタリングに基づいてフィードバック信号を生成する。
[0011] 上記のように、一つ以上のフィルタは、信号102(ブロック106)をMEMSセンサ・レートに適用されて、例えば、MEMSセンサからの返答を滑らかにする。MEMSセンサ・レート信号102(ブロック106)をフィルターに通すことは、フィルタ処理レート出力101を生じる。MEMSセンサ・レート信号102をフィルターに通すことは、有限インパルス応答フィルタ、無限インパルス応答フィルタ、レートを制限しているフィルタ、クリップしているフィルタおよび平滑化フィルタを含むがこれに限らずいかなる適切なフィルタも適用することを包含することがありえる。更に、実施形態によっては、一つの以上フィルタは、第1の結合信号に適用されることがありえる。MEMSセンサが用いられるアプリケーションに、フィルタのタイプおよび使用するフィルタの数は、依存することがありえる。ナビゲーション・ソリューションを生成するために、フィルタ処理レート出力101は、例えば更なる処理に関し用いられることがありえる方法100の出力である。
[0012] 上で述べられもするように、MEMSが信号を送る(ブロック106)フィルタリングによって、生じるエラーに基づいてフィードバック信号103を生成することを、方法100は包含する。ブロック108―114に関して下に記載されるフィードバックループによって、フィードバック信号103は、生成される。
[0013] フィードバック信号103を生成するために、MEMSが信号を送る(ブロック106)フィルタリングによって、生じるエラーは、決定される(ブロック110)。フィルタ処理レート出力101とそのフィルタ処理レート出力101が一致するMEMSセンサ・レート信号102の間に差分を算出することによって、このエラーは、決定される。例において、誤差信号を生じるためにMEMSセンサ・レート信号102をフィルタ処理レート出力101から減算することによって、この差分は、算出される。これらの2つの信号間の差分は、フィルタがブロック106のそのフィルタリングのため除去した信号の量である。すなわち、それに適用されるフィルタがある場合、システムに蓄積が終わる可能性を占めていない場合に除去されるいくつかの情報があってもよく、速度測定センサにより行われるたびにある。例えば、フィルタがMEMSセンサにより経験される加速度に適用される場合、フィルタ処理出力は一部分の実際の加速度でありえる。フィルタ処理出力と実際の加速度間の差分は、誤差信号である。
[0014] フィルタ処理レート出力101に対応するMEMSセンサ・レート信号102は、MEMSセンサ・レート信号102の時間ステップまたは時間ステップの一つであり、フィルタ処理した出力信号101を生成するために、ブロック106において、フィルターをかけられる。いくつかのタイプのフィルタ(例えばレートを制限しているフィルタまたはクリップしているフィルタ)は、ブロック108において、用いられて、MEMSセンサ・レート信号102と関連して、フィルタ処理レート出力101のいかなる遅延も導かない。遅延を導入しないようなフィルタは、所与の時間ステップのためのフィルタリングレート出力101に対応するMEMSセンサレート信号102は、同じ時間ステップのためのMEMSセンサレート信号102である。ブロック106に適用されるフィルタのいずれも遅延を導入しない状況で、所与の時間ステップのための方法100にMEMSセンサレート信号102の入力は、同じ時間ステップのためのフィルタリングレート出力101と異なっていてもよい。
[0015] ブロック106(例えば有限インパルス応答フィルタまたは無限インパルス応答フィルタ)において、使用する他のタイプのフィルタは、グループ遅延をフィルタ処理レート出力にもたらす。ブロック106において、適用されるフィルタの一つ以上が遅延を導くかかる例において、フィルタ・レート出力101によって、差を計算される前に、ブロック102からのMEMSセンサ・レート信号は遅延する(ブロック108)。ブロック106のフィルタリングによって、導かれるグループ遅延に関し補償するために、ブロック108の遅れは、用いる。換言すると、ブロック108において、提供される遅延はブロック106からブロック102およびフィルタ処理レート出力からMEMSセンサ・レート信号を同期させることである。その結果、2つの信号は適時に等価なポイントに対応する。いずれにせよ、フィルタ処理レート出力101をMEMSセンサ・レート信号102と識別する結果は、フィードバック信号103を生成するために用いる誤差信号である。
[0016] 例示的実施形態において、誤差信号は、集積誤差信号(ブロック112)を生成するために集積される。ブロック112を方法100に組み込むことの利点は、フィードバック・ゲイン114により制御される時間枠を通じて再配布されることが、それにより蓄積されたフィルタリング・エラーができるということである。例えば、大きいポジティブなエラー出力が与えられたサンプル(ステップを時間)に関しあったと仮定する。インテグレータ112によって、その時間ステップにおいて、生じる大規模なポジティブなエラーを保持して、それが複数の未来ステップの上のフィルタ処理レート出力101の中へと戻して、再配布されることができる。統合なしで、所与の時間ステップに関しフィルタリング・エラーは将来の時間ステップに関し失われる。それによって、複数の未来ステップの上のフィルタリング・エラーを再配布する能力を除去する。
[0017] 例示的実施形態において、ブロック104(ブロック114)において、使用するフィードバック信号を生じるために、ゲインは、集積誤差信号112に適用される。フィードバックループの反応を制御するために当業者に公知の様に、かかるゲインは適用されることがありえる。フィルタリング・エラーがフィルタ処理レート出力101の中へと戻して、急速に再配布されるかについて、フィードバック・ゲインは、決定する。すぐにフィードバックするために与えられた時間ステップのフィルタリングにエラーを発生させたい場合たとえば(いくつかの将来の時間ステップにわたって)、その後、(多くの未来の時間ステップにわたって)利得はゆっくりとフィードバックする高く設定することができ、およびその逆を設定できる。すなわち、フィードバック信号103の信号一時的現象のサイズおよび期間を制限するために所望のフィードバック・レートを生成するために、フィードバック・ゲインはセットされ、それによって、システムに関し問題ならが生じることがありえ、フィルタが上記の通りにMEMSセンサにおいて、用いられる一つの理由である。それで、例えば、方法100が毎ミリ秒MEMSにより実行され、並びに、エラー出力が時間ステップの間、あまりに多く変化する場合、ブロック114において、適用されるゲインはこの時間ステップ中にシステムの中へフィードバックされ、エラー出力の量を制限できる。それから、フィードバック・ゲインにより制御されるレートで、残りは、未来の時間ステップ中、システムに加えられる。ゲインが設定されたレートは、MEMSの用途に依存する。
[0018] いずれにせよ、所与の時間ステップのフィードバックループにより生成されるフィードバック信号103は、次の時間ステップに関しMEMSセンサ信号102(ブロック104)に適用される。ブロック106において、フィルターに通されているMEMSセンサ信号102の前に、フィードバック信号103は、MEMSセンサ信号102に適用される。その結果、MEMSセンサに関しフィルタリング特性は、同じことのままである。例において、フィードバック信号103は、第1の結合信号を出すために、MEMSセンサ・レート信号102から減算される。この第1の結合信号は、ブロック106でフィルターに通される信号である。
[0019] 図2は、エラー・フィードバックを有するマイクロ電気機械システム(MEMS)センサ・フィルタリングに関し例示のシステム200である。システム200は、少なくとも一つのMEMSセンサ・レート信号204を生成するために構成される少なくともMEMSセンサ202と、フィルタリング命令210を記憶するために構成される少なくとも一つのメモリ・デバイス208と、通信で少なくとも一つのMEMSセンサ202および少なくとも一つのメモリ・デバイス208に連結する少なくとも一つの処理デバイス206とを包含する。更に、少なくとも一つの処理デバイス206がメモリ208に記憶されるフィルタリング命令210を実行するときに、第1の結合信号を出すために、処理デバイス206は信号204(フィードバックループからのフィードバック信号)を少なくとも一つのマイクロ電気機械システム・センサ・レートから減算する。更に、処理デバイス206により実行されるときに、フィルタリング命令210は少なくとも一つの処理デバイス206にフィルターを通したレート出力を生成するために第1の結合信号にフィルターをかけて、誤差信号を生成するために少なくとも一つのMEMSセンサ・レート信号をフィルターを通したレート出力から減算させる。そこにおいて、将来の時間ステップに関しフィードバック信号を生成するために、誤差信号がフィードバックループで使われる。それぞれ、誤差信号、MEMSセンサ202、MEMSセンサ202によって、生じるMEMSセンサ・レート信号204およびフィルタは、誤差信号、MEMS、MEMSによって、生じるMEMSセンサ・レート信号および図1において、上記のフィルタと同じ特性の一部もしくは全部を有することがありえる。
[0020] さらに、少なくとも一つの処理デバイス206により実行されるときに、フィルタリング命令210は少なくとも一つの処理デバイス206に将来の時間ステップに関しフィードバック信号を生成するために用いる集積誤差信号を生成するためにフィードバックループの誤差信号を集積させる。更に、フィルタリング命令は少なくとも一つの処理デバイス206に将来の時間ステップに関しフィードバック信号を生成するために誤差信号にゲインを適用させることがありえる。そして、それは将来の時間ステップの第1の結合信号を生成するために将来の時間ステップのMEMSセンサ・レート信号から減算される。同様に、ここで述べられる遅延およびゲインは、図1に関して上記の遅延およびゲインと同じ特性の一部もしくは全部を有することがありえる。
[0021] ある種の実施形態では、一つ以上の処理デバイス206は、中央演算処理装置(CPU)、マイクロコントローラ、マイクロプロセッサ(例えば、デジタル信号プロセッサ(DSP)、フィールド・プログラマブルゲートアレイ(FPGA)、特定用途向け集積回路(ASIC)または他の処理デバイスを包含する。ある種の実施形態では、メモリ208は、機械読み取り可読データおよび命令を記憶することに関し電子ハードウエア装置である。実施形態において、メモリ208は、コンピュータ可読命令またはデータ構造のストレージに関し、情報を使用するいかなる適切なコンピュータ可読媒体にも記憶する。一般的な目的または特別な目的コンピュータまたはプロセッサによって、アクセスされることがありえるいかなる利用できるメディアもまたはいかなるプログラム可能なロジック・デバイスとしても、コンピュータ可読媒体は、実装されることがありえる。適切なプロセッサで読取り可能なメディアは、ストレージまたはメモリ・メディア(例えば磁気であるか光学的メディア)を包含できる。例えば、ストレージまたはメモリ・メディアは従来のハードディスク(Compact Disk) ―読み取り専用メモリ(CD―ROM)、揮発性または不揮発性メディア(例えばRandom Access Memory(RAM)(Synchronous Dynamic Random Access Memory(SDRAM)、Double Data Rate(DDR)RAM、RAMBUSダイナミックRAM(RDRAM)、スタティックRAM(SRAM)などを含むがこれに限定せず)、読み取り専用メモリ(ROM)、Electrically Erasable Programmable ROM(EEPROM)およびフラッシュ・メモリなどを包含できる。
適切なプロセッサで読取り可能なメディアは伝送メディア(例えば電気であるか、電磁気、または、デジタル信号)を包含することもでき、通信媒体(例えばネットワークおよび/または無線リンク)を介して伝えられる。
適切なプロセッサで読取り可能なメディアは伝送メディア(例えば電気であるか、電磁気、または、デジタル信号)を包含することもでき、通信媒体(例えばネットワークおよび/または無線リンク)を介して伝えられる。
例示の実施形態
[0022] 例1は、マイクロ電気機械システム・センサ・レート信号に関するフィルタリング方法であって、マイクロ電気機械システム・センサ・レート信号を提供するステップと、第1の結合信号を出すために、マイクロ電気機械システム・センサ・レート信号(フィードバックループからのフィードバック信号)から減算するステップと、フィルターを通したレート出力を生成する第1の結合信号をフィルタリングするステップと、
誤差信号を生じるためにマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号をフィルタ処理レート出力から減算するステップと、を有し、将来の時間ステップに関しフィードバック信号を生成するために、誤差信号が、フィードバックループで使われる、ことを特徴とする。
[0022] 例1は、マイクロ電気機械システム・センサ・レート信号に関するフィルタリング方法であって、マイクロ電気機械システム・センサ・レート信号を提供するステップと、第1の結合信号を出すために、マイクロ電気機械システム・センサ・レート信号(フィードバックループからのフィードバック信号)から減算するステップと、フィルターを通したレート出力を生成する第1の結合信号をフィルタリングするステップと、
誤差信号を生じるためにマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号をフィルタ処理レート出力から減算するステップと、を有し、将来の時間ステップに関しフィードバック信号を生成するために、誤差信号が、フィードバックループで使われる、ことを特徴とする。
[0023] 例2は、例1のマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号に関するフィルタリング方法を包含し、将来の時間ステップに関しフィードバック信号を生成するために用いる集積誤差信号を生成するために、フィードバックループは、誤差信号を集積する。
[0024] 例3は、例1―2のいずれかのマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号に関し、フィルタリング方法を包含し、将来の時間ステップに関しフィードバック信号を生成するために、ゲインは誤差信号に適用される。そして、将来の時間ステップの第1の結合信号を生成するために、それは将来の時間ステップのマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号から減算される。
[0025] 例4は、例1―3のいずれかのマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号に関するフィルタ方法を包含し、フィルタ処理レート出力のフィルタによって、生じる遅延に関し補償するためにマイクロ電気機械システム・レート信号をフィルタ処理レート出力から減算する前にマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号を遅延させるステップを有する。
[0026] 例5は、例1―4のいずれかのマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号に関するフィルタリング方法を包含し、フィルタは、有限インパルス応答フィルタ、無限インパルス応答フィルタ、レートを制限しているフィルタ、クリップしているフィルタおよび平滑化フィルタのフィルタのうち少なくとも一つのを備える。
[0027] 例6は、例1―5のいずれかのマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号に関するフィルタリング方法を包含し、第1の結合信号をフィルターに通すステップは、フィルタ処理レート出力を生じるために第1の結合信号上の一つの以上フィルタを使用するステップを備える。
[0028] 例7は、マイクロ電気機械センサシステムであって、少なくとも一つのマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号を生成するために構成される少なくとも一つのマイクロ電気機械センサと、フィルタリング命令を記憶するために構成される少なくとも一つのメモリ・デバイスと、通信で少なくとも一つのマイクロ電気機械センサおよび少なくとも一つのメモリ・デバイスに連結する少なくとも一つの処理デバイスと、を包含し、
少なくとも一つの処理デバイスにより実行されるときに、フィルタリング命令は以下に少なくとも一つの処理デバイスを生じさせ、第1の結合信号を出すために、信号(フィードバックループからのフィードバック信号)を少なくとも一つのマイクロ電気機械システム・センサ・レートから減算し、フィルタ処理レート出力を生成するために、第1の結合信号をフィルタリングし、誤差信号を生成するために、少なくとも一つのマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号をフィルタ処理レート出力から減算し、将来の時間ステップに関しフィードバック信号を生成するために、誤差信号が、フィードバックループで使われることを特徴とする。
少なくとも一つの処理デバイスにより実行されるときに、フィルタリング命令は以下に少なくとも一つの処理デバイスを生じさせ、第1の結合信号を出すために、信号(フィードバックループからのフィードバック信号)を少なくとも一つのマイクロ電気機械システム・センサ・レートから減算し、フィルタ処理レート出力を生成するために、第1の結合信号をフィルタリングし、誤差信号を生成するために、少なくとも一つのマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号をフィルタ処理レート出力から減算し、将来の時間ステップに関しフィードバック信号を生成するために、誤差信号が、フィードバックループで使われることを特徴とする。
[0029] 例8は、例7のマイクロ電気機械センサシステムを包含し、少なくとも一つの処理デバイスにより実行されるときに、フィルタ命令は少なくとも一つの処理デバイスに将来の時間ステップに関しフィードバック信号を生成するために用いる集積誤差信号を生成するためにフィードバックループの誤差信号を集積させる。
[0030] 例9は、例7―8のいずれかのマイクロ電気機械センサシステムを包含し、
少なくとも一つの処理デバイスにより実行されるとき、フィルタ命令は少なくとも一つの処理デバイスに将来の時間ステップに関しフィードバック信号を生成するために誤差信号にゲインを適用させ、将来の時間ステップの第1の結合信号を生成するために、それは将来の時間ステップのマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号から減算される。
少なくとも一つの処理デバイスにより実行されるとき、フィルタ命令は少なくとも一つの処理デバイスに将来の時間ステップに関しフィードバック信号を生成するために誤差信号にゲインを適用させ、将来の時間ステップの第1の結合信号を生成するために、それは将来の時間ステップのマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号から減算される。
[0031] 例10は、例7―9のいずれかのマイクロ電気機械センサシステムを包含し、
少なくとも一つの処理デバイスにより実行されるときに、フィルタ命令は少なくとも一つの処理デバイスにフィルタ処理レート出力のフィルタによって、生じる遅延に関し補償するためにマイクロ電気機械システム・レート信号をフィルタ処理レート出力から減算する前にマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号に遅延を適用させる。
少なくとも一つの処理デバイスにより実行されるときに、フィルタ命令は少なくとも一つの処理デバイスにフィルタ処理レート出力のフィルタによって、生じる遅延に関し補償するためにマイクロ電気機械システム・レート信号をフィルタ処理レート出力から減算する前にマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号に遅延を適用させる。
[0032] 例11は、例7―10のいずれかのマイクロ電気機械センサシステムを包含し、
フィルタは、有限インパルス応答フィルタ、無限インパルス応答フィルタ、レートを制限しているフィルタ、クリップしているフィルタおよび平滑化フィルタのフィルタのうち少なくとも一つを備える。
フィルタは、有限インパルス応答フィルタ、無限インパルス応答フィルタ、レートを制限しているフィルタ、クリップしているフィルタおよび平滑化フィルタのフィルタのうち少なくとも一つを備える。
[0033] 例12は、例7―11のいずれかのマイクロ電気機械センサシステムを包含し、
フィルタは、フィルタ処理レート出力を生じるために第1の結合信号上の一つの以上フィルタを使用することを備える。
フィルタは、フィルタ処理レート出力を生じるために第1の結合信号上の一つの以上フィルタを使用することを備える。
[0034] 例13は、例7―12のいずれかのマイクロ電気機械センサシステムを包含し、少なくとも一つのマイクロ電気機械センサは、ジャイロスコープ、加速度計または磁力計のセンサのタイプの少なくとも一つである。
[0035] 例14は、マイクロ電気機械センサ装置を包含し、少なくとも一つのマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号を出し、最初に複合出力を生じるために、信号(フィードバックループからのフィードバック信号)をマイクロ電気機械システム・センサ・レートから減算し、フィルタ処理信号出力を生成するために、最初に複合出力をフィルタリングし、エラー出力を生じるために、少なくとも一つのマイクロ電気機械システム・センサ信号をフィルタ処理レート出力から減算する、ように構成される少なくとも一つのマイクロ電気機械センサを有し、将来の時間ステップに関しフィードバック信号を生成するために、誤差信号が、フィードバックループで使われることを特徴とする。
[0036] 例15は、例14のマイクロ電気機械センサ装置を包含し、
少なくとも一つのマイクロ電気機械センサは更に、将来の時間ステップに関しフィードバック信号を生成するために用いる集積誤差信号を生成するためにフィードバックループの誤差信号を集積するように構成される。
少なくとも一つのマイクロ電気機械センサは更に、将来の時間ステップに関しフィードバック信号を生成するために用いる集積誤差信号を生成するためにフィードバックループの誤差信号を集積するように構成される。
[0037] 例16は、例14―15のいずれかのマイクロ電気機械センサ装置を包含し、
将来の時間ステップに関しフィードバック信号を生成するために誤差信号にゲインを適用するために、少なくとも一つのマイクロ電気機械センサは更に構成され、将来の時間ステップの第1の結合信号を生成するために、それは将来の時間ステップのマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号から減算される。
将来の時間ステップに関しフィードバック信号を生成するために誤差信号にゲインを適用するために、少なくとも一つのマイクロ電気機械センサは更に構成され、将来の時間ステップの第1の結合信号を生成するために、それは将来の時間ステップのマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号から減算される。
[0038] 例17は、例14―16のいずれかのマイクロ電気機械センサ装置を包含し、
少なくとも一つのマイクロ電気機械センサは更に、フィルタ処理レート出力のフィルタによって、生じる遅延に関し補償するためにマイクロ電気機械システム・レート信号をフィルタ処理レート出力から減算する前にマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号に遅延を適用するように構成される。
少なくとも一つのマイクロ電気機械センサは更に、フィルタ処理レート出力のフィルタによって、生じる遅延に関し補償するためにマイクロ電気機械システム・レート信号をフィルタ処理レート出力から減算する前にマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号に遅延を適用するように構成される。
[0039] 例18は、例14―17のいずれかのマイクロ電気機械センサ装置を包含し、
フィルタは、有限インパルス応答フィルタ、無限インパルス応答フィルタ、レートを制限しているフィルタ、クリップしているフィルタおよび平滑化フィルタのフィルタのうちの少なくとも一つを備える。
フィルタは、有限インパルス応答フィルタ、無限インパルス応答フィルタ、レートを制限しているフィルタ、クリップしているフィルタおよび平滑化フィルタのフィルタのうちの少なくとも一つを備える。
[0040] 例19は、例14―18のいずれかのマイクロ電気機械センサ装置を包含し、
フィルタは、フィルタ処理レート出力を生じるために第1の結合信号上の一つの以上フィルタを使用することを備える。
フィルタは、フィルタ処理レート出力を生じるために第1の結合信号上の一つの以上フィルタを使用することを備える。
[0041] 例20は、例14―19のいずれかのマイクロ電気機械センサ装置を包含し、
少なくとも一つのマイクロ電気機械センサは、ジャイロスコープ、加速度計または磁力計のタイプのセンサの少なくとも一つである。
少なくとも一つのマイクロ電気機械センサは、ジャイロスコープ、加速度計または磁力計のタイプのセンサの少なくとも一つである。
[0042] 特定の実施形態を例示し、本願明細書において、記載されたにもかかわらず、当業者によって、いかなる配置(同じ目的を達成するために算出される)も特定の図示した実施形態に関し置換されることができると認められる。従って、本発明が請求項およびその均等の範囲だけにより制限されることが明白に意図される。
Claims (3)
- マイクロ電気機械システム・センサ・レート信号に関するフィルタリング方法(100)であって、
マイクロ電気機械システム・センサ・レート信号(102)を提供するステップと、
第1の結合信号(104)を生成するために、マイクロ電気機械システム・センサ・レート信号から、フィードバックループからのフィードバック信号を減算するステップと、
フィルタリングしたレート出力(106)生成するために第1の結合信号をフィルタリングするステップと、
誤差信号を生成するようにフィルタリングしたレート出力からマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号を減算するステップと、
を有し、
将来の時間ステップ(110)に関しフィードバック信号を生成するために、誤差信号が、フィードバックループで使われることを特徴とする方法(100)。 - フィードバックループは、将来の時間ステップ(112)に関しフィードバック信号を生成するために用いる集積誤差信号を生成するために誤差信号を集積し、
将来の時間ステップ(114)に関するフィードバック信号を生成するように、ゲインが誤差信号に適用され、将来の時間ステップ(104)の第1の結合信号を生成するように、将来の時間ステップのマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号から減算され、
フィルタ方法(100)は、フィルタリングされたレート出力のフィルタによって、生じた遅延を補償するために、フィルタリングされたレート出力(110)からマイクロ電気機械システム・レート信号を減算する前に、マイクロ電気機械システム・センサ・レート信号(108)を遅延させるステップを更に含む、
ことを特徴とする請求項1のマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号に関するフィルタリング方法(100)。 - マイクロ電気機械センサシステム(200)であって、
少なくとも一つのマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号(204)を生成するように構成される少なくとも一つのマイクロ電気機械センサ(202)と、
フィルタリング命令(210)を記憶するように構成される少なくとも一つのメモリ・デバイス(208)と、
少なくとも一つのマイクロ電気機械センサ(202)および少なくとも一つのメモリ・デバイス(208)に通信で連結する少なくとも一つの処理デバイス(206)と、
を有し、
少なくとも一つの処理デバイス(206)により実行されるとき、フィルタリング命令(210)は少なくとも一つの処理デバイス(206)によって、
第1の結合信号を出すために、フィードバックループからのフィードバック信号を少なくとも一つのマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号(204)から減算させ、
フィルタリングしたレート出力を生じるように、第1の結合信号をフィルタリングさせ、
誤差信号を生じるように、少なくとも一つのマイクロ電気機械システム・センサ・レート信号(204)をフィルタリングしたレート出力から減算させる、
ようにさせ、
将来の時間ステップに関しフィードバック信号を生成するように、誤差信号がフィードバックループで使われる、ことを特徴とするマイクロ電気機械センサシステム(200)。
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