JP2015190916A - phosphor screen and flat panel detector - Google Patents

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一海 堀田
Kazumi Hotta
一海 堀田
健 栗和田
Takeshi Kuriwada
健 栗和田
実 鳥越
Minoru Torigoe
実 鳥越
中村 正明
Masaaki Nakamura
正明 中村
康嗣 山内
Yasutsugu Yamauchi
康嗣 山内
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a phosphor screen that achieves both excellent sensitivity and definition, which are a trade-off in the prior art.SOLUTION: This invention provides a phosphor screen, wherein each of areas that are formed on a substrate 4 through cushioning materials 5 and are partitioned by a layer 6 comprising phosphors, is filled with a layer 7 comprising phosphors, with the layer 6 comprising phosphors comprising white pigment.

Description

本発明は、蛍光体スクリーン及びフラットパネルディテクターに存する。   The present invention resides in a phosphor screen and a flat panel detector.

従来、医療現場において、フィルムを用いたX線画像が広く用いられてきた。しかし、フィルムを用いたX線画像はアナログ画像情報であるため、近年、コンピューテッドラジオグラフィ(computed radiography:CR)やフラットパネル型の
放射線ディテクタ(flat panel detector:FPD)等のデジタル方式のフラットパネルディテクターが開発されている。
Conventionally, an X-ray image using a film has been widely used in a medical field. However, since an X-ray image using a film is analog image information, in recent years, digital-type flats such as computed radiography (CR) and flat panel type radiation detectors (FPD) have been developed. Panel detectors are being developed.

平板フラットパネルディテクター(FPD:フラットパネルディテクター)においては、放射線を可視光に変換するために、蛍光体スクリーンが使用される。蛍光体スクリーンは、ヨウ化セシウム(CsI)やGdS:Tb(GOS)等のX線蛍光体を含み、照射されたX線に応じて、該X線蛍光体が可視光を発光して、その発光をTFTやCCDで電気信号に変換することにより、X線の情報をデジタル画像情報に変換する。 In a flat plate flat panel detector (FPD: flat panel detector), a phosphor screen is used to convert radiation into visible light. The phosphor screen contains an X-ray phosphor such as cesium iodide (CsI) or Gd 2 O 2 S: Tb (GOS), and the X-ray phosphor emits visible light according to the irradiated X-ray. Then, the light emission is converted into an electrical signal by a TFT or CCD, thereby converting X-ray information into digital image information.

近年、FPDには、より照射X線に対する感度が高く、かつボケの少ない高鮮鋭度のものが望まれている。感度を高めるためには蛍光体スクリーンにおける蛍光体量を多くすることが有効であるが、蛍光体量を多くすると、蛍光体スクリーンの厚みが増して蛍光体から発光した可視光がより広がりやすくなり鮮鋭度が低下する。この光の拡散の影響を抑え、鮮鋭度を保ったまま感度を向上させるために、隔壁で仕切られたセル内に蛍光体を充填する方法が提案されてきた(特許文献1〜4)。   In recent years, FPDs with higher sensitivity to irradiated X-rays and higher sharpness with less blur have been desired. Increasing the amount of phosphor in the phosphor screen is effective to increase the sensitivity, but increasing the phosphor amount increases the thickness of the phosphor screen and makes the visible light emitted from the phosphor more easily spread. Sharpness decreases. In order to suppress the influence of this light diffusion and improve sensitivity while maintaining sharpness, a method of filling a phosphor in a cell partitioned by partition walls has been proposed (Patent Documents 1 to 4).

例えば、特許文献1では、隔壁を形成する方法として、顔料またはセラミック粉末と低融点ガラス粉末との混合物であるガラスペーストをスクリーン印刷法を用いて多層にパターン印刷した後、焼成して隔壁パターンを形成する方法について開示している。
また特許文献2では、アルカリ金属酸化物を含有する低融点ガラスを主成分とする材料により、隔壁を形成する方法について開示している。
For example, in Patent Document 1, as a method of forming partition walls, glass paste, which is a mixture of pigment or ceramic powder and low-melting glass powder, is subjected to pattern printing in multiple layers using a screen printing method, and then fired to form partition walls. A method of forming is disclosed.
Patent Document 2 discloses a method for forming a partition wall using a material mainly composed of a low melting point glass containing an alkali metal oxide.

一方、特許文献3及び4では、蛍光体を用いて隔壁を形成する方法について開示している。   On the other hand, Patent Documents 3 and 4 disclose a method of forming barrier ribs using a phosphor.

特開2011−007552号公報JP 2011-007552 A 特許第5110230号公報Japanese Patent No. 5110230 米国特許第7442938号明細書US Pat. No. 7,442,938 specification 米国特許代5302324号明細書US Patent No. 5302324

しかしながら、特許文献1〜4に記載の蛍光体スクリーンでは、感度及び鮮鋭度が不十分である場合があった。この要因について、下記の通り推測する。
特許文献1〜2のように、蛍光体以外の金属酸化物微粒子などを隔壁として用いる場合、鮮鋭度を向上させるために隔壁パターンの幅を広くすると、隔壁を有さない蛍光体スクリーンに比べて蛍光体量が少なくなるため、感度が低下する。一方、蛍光体量を確保する為に隔壁パターンの幅を狭くすると、隔壁を用いたことによる鮮鋭度の向上効果が十分に
得られない。
However, the phosphor screens described in Patent Documents 1 to 4 sometimes have insufficient sensitivity and sharpness. This factor is estimated as follows.
As in Patent Documents 1 and 2, when using metal oxide fine particles other than the phosphor as the partition, if the width of the partition pattern is widened in order to improve the sharpness, compared to a phosphor screen having no partition Since the amount of phosphor is reduced, the sensitivity is lowered. On the other hand, if the width of the barrier rib pattern is narrowed in order to secure the phosphor amount, the sharpness improvement effect due to the use of the barrier ribs cannot be sufficiently obtained.

また、特許文献3〜4のように蛍光体を隔壁として用いる場合、隔壁における反射率を高め、鮮鋭度を向上させるためには、粒径1μm以下の小粒子蛍光体を用いることが好ま
しいが、粒径の小さな蛍光体においては、より粒径の大きな粒子に比べて発光効率が低くなる場合があり、このケースにおいても感度と鮮鋭度がトレードオフの関係になる。
本発明は上記に鑑みてなされたものであり、即ち、本発明は、トレードオフの関係にある感度及び鮮鋭度を両立した蛍光体スクリーンを提供する。
Moreover, when using a fluorescent substance as a partition like patent documents 3-4, in order to raise the reflectance in a partition and improve sharpness, it is preferred to use a small particle fluorescent substance with a particle size of 1 micrometer or less, In a phosphor having a small particle size, the luminous efficiency may be lower than that of a particle having a larger particle size. In this case also, sensitivity and sharpness are in a trade-off relationship.
The present invention has been made in view of the above, that is, the present invention provides a phosphor screen that achieves both trade-off sensitivity and sharpness.

また、本発明は、上記蛍光体スクリーンを含む、高品質なフラットパネルディテクターを提供する。   The present invention also provides a high quality flat panel detector including the phosphor screen.

本発明者等は鋭意検討を行った結果、隔壁を有する蛍光体スクリーンにおいて、該隔壁に特定材料を組み合わせることによって、上記課題を解決し得ることを見出して、本発明に到達した。
即ち、本発明の要旨は、蛍光体(B)を含む層によって区画された領域に、蛍光体(A)を含む層を有する蛍光体スクリーンであって、蛍光体(B)を含む層が、白色顔料を含むことを特徴とする蛍光体スクリーン、及びフラットパネルディテクターに存する。
As a result of intensive studies, the present inventors have found that the above problem can be solved by combining a specific material with the partition in the phosphor screen having the partition, and reached the present invention.
That is, the gist of the present invention is a phosphor screen having a layer containing the phosphor (A) in a region partitioned by the layer containing the phosphor (B), and the layer containing the phosphor (B) It exists in the phosphor screen characterized by including a white pigment, and a flat panel detector.

本発明は、トレードオフの関係にある感度及び鮮鋭度を両立した蛍光体スクリーンを提供することが可能となる。
また、本発明は、上記蛍光体スクリーンを含む、高品質なフラットパネルディテクターを提供することが可能となる。
The present invention can provide a phosphor screen having both sensitivity and sharpness in a trade-off relationship.
In addition, the present invention can provide a high-quality flat panel detector including the phosphor screen.

本発明の蛍光体スクリーンを含むフラットパネルディテクターの構成を模式的に表した断面図である。It is sectional drawing which represented typically the structure of the flat panel detector containing the phosphor screen of this invention. 本発明の蛍光体スクリーンの構成の一例を模式的に表した斜視図である。It is the perspective view which represented typically an example of the structure of the phosphor screen of this invention.

以下、本発明について実施形態や例示物を示して説明するが、本発明は以下の実施形態や例示物等に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において任意に変形して実施することができる。
尚、本明細書において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値及び上限値として含む範囲を意味する。
Hereinafter, the present invention will be described with reference to embodiments and examples. However, the present invention is not limited to the following embodiments and examples, and may be arbitrarily modified without departing from the gist of the present invention. Can be implemented.
In the present specification, a numerical range expressed using “to” means a range including numerical values described before and after “to” as a lower limit value and an upper limit value.

以下、図1を用いて本発明の蛍光体スクリーンおよびそれを用いたフラットパネルディテクター(以下、あ「FPD」と称する場合がある)の好ましい構成について説明するが、本発明はこれらに限定されない。
フラットパネルディテクター1は、蛍光体スクリーン2、出力基板3、および電源部12からなる。蛍光体スクリーン2は、蛍光体(A)を含む層7と蛍光体(B)を含む層6を含み、X線等の入射された放射線のエネルギーを吸収して、波長が300nmから800nmの範囲の電磁波、すなわち、可視光線を中心に紫外光から赤外光にわたる範囲の電磁波(光)を発光する。
Hereinafter, preferred configurations of the phosphor screen of the present invention and a flat panel detector using the phosphor screen of the present invention (hereinafter sometimes referred to as “FPD”) will be described with reference to FIG. 1, but the present invention is not limited thereto.
The flat panel detector 1 includes a phosphor screen 2, an output substrate 3, and a power supply unit 12. The phosphor screen 2 includes a layer 7 containing the phosphor (A) and a layer 6 containing the phosphor (B), and absorbs incident radiation energy such as X-rays, and has a wavelength in the range of 300 nm to 800 nm. Of electromagnetic waves, that is, electromagnetic waves (light) in a range from ultraviolet light to infrared light centering on visible light.

蛍光体スクリーン2は、基板4と、蛍光体(A)を含む層7と蛍光体(B)を含む層6とを有し、該蛍光体(B)を含む層により区画された領域に、蛍光体(A)を含む層を有する。
尚、本発明において、蛍光体(A)を含む層7と蛍光体(B)を含む層6とを、「蛍光体層」と総称する場合がある。
The phosphor screen 2 has a substrate 4, a layer 7 containing the phosphor (A), and a layer 6 containing the phosphor (B). In the region partitioned by the layer containing the phosphor (B), It has a layer containing phosphor (A).
In the present invention, the layer 7 containing the phosphor (A) and the layer 6 containing the phosphor (B) may be collectively referred to as “phosphor layer”.

図2に示す断面図では、蛍光体(B)を含む層が格子状に形成された空間内に、蛍光体(A)を含む層を有する構成となる。
図1中の出力基板3は、基板11上にフォトセンサとTFTからなる画素が2次元状に形成された光電変換層9および出力層10を有する。蛍光体スクリーン2の出光面と出力基板3の光電変換層9とを、隔膜層8を介して、接着又は密着させることでフラットパネルディテクター1となる。蛍光体スクリーン2で発光した光が光電変換層9に到達し、光電変換層9で光電変換を行い、出力する。
これらについて、順次説明していく。
In the cross-sectional view shown in FIG. 2, the phosphor (B) layer is formed in a lattice-shaped space, and the phosphor (A) layer is included.
An output substrate 3 in FIG. 1 includes a photoelectric conversion layer 9 and an output layer 10 in which pixels including photosensors and TFTs are two-dimensionally formed on a substrate 11. The flat panel detector 1 is obtained by adhering or bringing the light-emitting surface of the phosphor screen 2 and the photoelectric conversion layer 9 of the output substrate 3 into contact with each other via the diaphragm layer 8. The light emitted from the phosphor screen 2 reaches the photoelectric conversion layer 9, performs photoelectric conversion at the photoelectric conversion layer 9, and outputs it.
These will be described sequentially.

<蛍光体スクリーン>
本発明における蛍光体スクリーンは、前記基板上に形成され、蛍光体(B)を含む層によって区画された領域に、蛍光体(A)を含む層を有する。
尚、本発明における蛍光体とは、X線等の入射された放射線のエネルギーを吸収して、波長が300nmから800nmの電磁波、すなわち、可視光線を中心に紫外光から赤外光にわたる電磁波(光)を発光する物質をいう。
<Phosphor screen>
The phosphor screen in the present invention has a layer containing the phosphor (A) in a region formed on the substrate and partitioned by the layer containing the phosphor (B).
The phosphor in the present invention absorbs the energy of incident radiation such as X-rays, and has an electromagnetic wave with a wavelength of 300 nm to 800 nm, that is, an electromagnetic wave (light light ranging from ultraviolet light to infrared light centering on visible light). ).

[基板]
本発明の蛍光体スクリーンに用いられる基板は、放射線透過性を有する基板であれば特に制限はなく、公知の材料、例えば、各種のガラス、高分子材料、金属等を用いることができる。
例えば、石英、ホウ珪酸ガラス、化学的強化ガラスなどのガラスからなる板ガラス;サファイア、チッ化珪素、炭化珪素などのセラミックからなるセラミック基板;シリコン、ゲルマニウム、ガリウム砒素、ガリウム燐、ガリウム窒素などの半導体からなる半導体基板;セルロースアセテートフィルム、ポリエステルフィルム、ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリアミドフィルム、ポリイミドフィルム、トリアセテートフィルム、ポリカーボネートフィルム、炭素繊維強化樹脂シート等の高分子フィルム(プラスチックフィルム);アルミニウムシート、鉄シート、銅シート等の金属シート;金属酸化物の被覆層を有する金属シートやアモルファスカーボン基板などを用いることができる。蛍光体スクリーンの持ち運びの利便性の点で蛍光体スクリーンの軽量化が進められていることから、基板の厚みは2.0mm以下であることが好ましく、さらに好ましくは1.0mm以下である。
[substrate]
The substrate used for the phosphor screen of the present invention is not particularly limited as long as it is a radiation-transmitting substrate, and known materials such as various types of glass, polymer materials, metals and the like can be used.
For example, plate glass made of glass such as quartz, borosilicate glass, chemically tempered glass; ceramic substrate made of ceramic such as sapphire, silicon nitride, silicon carbide; semiconductor such as silicon, germanium, gallium arsenide, gallium phosphorus, gallium nitrogen Semiconductor substrate comprising: cellulose acetate film, polyester film, polyethylene terephthalate film, polyamide film, polyimide film, triacetate film, polycarbonate film, carbon fiber reinforced resin sheet and other polymer films (plastic film); aluminum sheet, iron sheet, copper A metal sheet such as a sheet; a metal sheet having a metal oxide coating layer, an amorphous carbon substrate, or the like can be used. In light of the convenience of carrying around the phosphor screen, the weight of the phosphor screen is being reduced, so that the thickness of the substrate is preferably 2.0 mm or less, and more preferably 1.0 mm or less.

また、基板が高反射率であると、蛍光体によって発光した可視光を光電変換素子の方向に反射することによって蛍光体スクリーンの発光輝度が高くなりやすい点で好ましい。反射率を高くするために、上述のガラスや高分子フィルム中に顔料やセラミックス粉末を分散させた基板を用いることが可能であるし、基板と蛍光体層との間に、反射率の高いセラミックスや金属膜などの緩衝層を有していてもよい。   Further, it is preferable that the substrate has a high reflectance in that the light emission luminance of the phosphor screen is likely to be increased by reflecting visible light emitted by the phosphor in the direction of the photoelectric conversion element. In order to increase the reflectivity, it is possible to use a substrate in which a pigment or ceramic powder is dispersed in the glass or polymer film described above, and a ceramic having a high reflectivity between the substrate and the phosphor layer. Or a buffer layer such as a metal film.

[蛍光体層]
(蛍光体(A)を含む層)
(1.蛍光体(A)の材料について)
1)蛍光体(A)の材料について
蛍光体(A)として用いられる蛍光体は、本発明の効果を損なわない限り特に制限はないが、X線吸収率やX線から可視光への変換効率が高く、また発光された可視光を吸収しにくいものが好ましい。
[Phosphor layer]
(Layer containing phosphor (A))
(1. Material of phosphor (A))
1) Regarding the material of the phosphor (A) The phosphor used as the phosphor (A) is not particularly limited as long as the effects of the present invention are not impaired, but the X-ray absorption rate and the conversion efficiency from X-rays to visible light are not limited. It is preferable that it is high and hardly absorbs the visible light emitted.

例えば、特開2000−162394号や特開2003−82347号の各公報に記載
の如く、酸硫化ガドリニウム蛍光体(GdS)に、テルビウム(Tb)、ジルプロシウム(Dy)、セシウム(Ce)などの賦活物質を含有するものを用いることができる。
また、特開2011−7522号公報に記載の如く、CsIや、CsIとヨウ化ナトリウム(NaI)を任意のモル比で混合したものや、特開2001−59899号公報に記載の如く、CsIにンジウム(In)、タリウム(Tl)、リチウム(Li)、カリウム(K)、ルビジウム(Rb)、ナトリウム(Na)などの賦活物質を含有するCsIを用いてもよい。
上記した蛍光体は、1種を単独で用いてもよく、異なる2種以上を併用してもよい。
For example, as described in JP-A-2000-162394 and JP-A-2003-82347, gadolinium oxysulfide phosphor (Gd 2 O 2 S) is replaced with terbium (Tb), zircprosium (Dy), cesium (Ce). ) And the like containing an activating substance can be used.
Further, as described in JP 2011-7522 A, CsI, a mixture of CsI and sodium iodide (NaI) at an arbitrary molar ratio, or CsI as described in JP 2001-59899 A, are described. CsI containing an activating substance such as indium (In), thallium (Tl), lithium (Li), potassium (K), rubidium (Rb), or sodium (Na) may be used.
The phosphors described above may be used alone or in combination of two or more different types.

2)蛍光体の平均粒径について
蛍光体(A)の平均粒径Rは、通常3μm以上、好ましくは9μm以上、更に好ましくは13μm以上、また通常30μm以下、好ましくは20μm以下、更に好ましくは15μm以下である。
2) the average particle size R a phosphor average particle size phosphor for the (A) is usually 3μm or more, preferably 9μm or more, more preferably 13μm or more, and usually 30μm or less, preferably 20μm or less, more preferably 15 μm or less.

上記範囲内であると、蛍光体の光散乱による感度および鮮鋭度の低下が抑制され、更に、蛍光体(A)を密に充填し易い点で好ましい。
[蛍光体の平均粒径の測定方法]
蛍光体の平均粒径は、下記のように測定する。
蛍光体粒子をアイソトンII-pc(ベックマン・コールター社製)などの電解液中に分散し
た蛍光体分散液を調液し、コールターカウンターを用いて蛍光体粒子の粒径分布を測定する。求めた粒径分布から以下の式により体積平均粒径Raveを算出する。
ave = ∫R * p(R)dR
ここで R は蛍光体粒径、p(R) は粒径Rの蛍光体の体積頻度を表す。
(2.蛍光体(A)を含む層について)
Within the above range, the sensitivity and sharpness reduction due to light scattering of the phosphor are suppressed, and further, it is preferable in that the phosphor (A) is easily packed densely.
[Measurement method of average particle diameter of phosphor]
The average particle diameter of the phosphor is measured as follows.
A phosphor dispersion liquid in which phosphor particles are dispersed in an electrolyte such as Isoton II-pc (manufactured by Beckman Coulter) is prepared, and the particle size distribution of the phosphor particles is measured using a Coulter counter. The volume average particle size R ave is calculated from the obtained particle size distribution by the following formula.
R ave = ∫R * p (R) dR
Here, R represents the phosphor particle diameter, and p (R) represents the volume frequency of the phosphor having the particle diameter R.
(2. About the layer containing phosphor (A))

1)膜厚
蛍光体(A)を含む層の膜厚は、通常100nm以上、好ましくは200nm以上、更に好ましくは300nm以上、また通常1000nm以下、好ましくは800nm以下、更に好ましくは600nm以下である。
1) Film thickness The film thickness of the layer containing the phosphor (A) is usually 100 nm or more, preferably 200 nm or more, more preferably 300 nm or more, and usually 1000 nm or less, preferably 800 nm or less, more preferably 600 nm or less.

上記範囲内であると、感度と鮮鋭度を適切なバランスに調節できる点で好ましい。すなわち上記範囲より膜厚が薄いと感度が十分でなく、膜厚が厚いと鮮鋭度が低下する。
2)充填率
蛍光体(A)を含む層において、蛍光体(A)の体積分率が、通常30%以上、好ましくは50%以上、更に好ましくは60%以上、また通常100%以下である。
Within the above range, it is preferable in that sensitivity and sharpness can be adjusted to an appropriate balance. That is, if the film thickness is thinner than the above range, the sensitivity is not sufficient, and if the film thickness is thick, the sharpness decreases.
2) Filling ratio In the layer containing the phosphor (A), the volume fraction of the phosphor (A) is usually 30% or more, preferably 50% or more, more preferably 60% or more, and usually 100% or less. .

上記範囲内であると、入射するX線を効率的に可視光に変換できる点で好ましい。
尚、体積分率の測定方法は、下記の通り行う。
塗布前の基板の重さ(W)と、蛍光体(A)を含む層を形成した後の重さ(W)を測定する。形成された蛍光体(A)を含む層の膜厚及び面積と、測定した膜の重さ(W−W)から、単位体積当りの重さを算出する。
一方、蛍光体と媒質の重さの比より、層中に含有される蛍光体(A)の単位体積当りの重さを算出する。算出された蛍光体(A)の単位体積当りの含有量と、蛍光体の比重から、蛍光体の体積分率(体積%)を算出することが可能となる。
Within the above range, it is preferable in that incident X-rays can be efficiently converted into visible light.
The volume fraction measurement method is as follows.
The weight (W 0 ) of the substrate before coating and the weight (W 1 ) after forming the layer containing the phosphor (A) are measured. The weight per unit volume is calculated from the film thickness and area of the layer containing the formed phosphor (A) and the measured film weight (W 1 -W 0 ).
On the other hand, the weight per unit volume of the phosphor (A) contained in the layer is calculated from the ratio of the weight of the phosphor and the medium. The volume fraction (volume%) of the phosphor can be calculated from the calculated content per unit volume of the phosphor (A) and the specific gravity of the phosphor.

3)層の形成方法
蛍光体(A)を含む層の形成方法としては、真空蒸着法により層を形成する方法や湿式成膜法が挙げられる。
以下、蛍光体(A)を含む組成物(以下、「蛍光体(A)用組成物」と称する場合があ
る)を用いる湿式成膜法の形成方法について詳説するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
尚、本発明における組成物は、形状は粉末であってもスラリー状のものであってもよい。
3) Formation method of layer As a formation method of a layer containing fluorescent substance (A), the method of forming a layer by a vacuum evaporation method, and the wet film-forming method are mentioned.
Hereinafter, a method for forming a wet film-forming method using a composition containing the phosphor (A) (hereinafter may be referred to as a “phosphor (A) composition”) will be described in detail, but the present invention is not limited thereto. Is not to be done.
The composition of the present invention may be in the form of powder or slurry.

湿式成膜法で形成する場合、前記蛍光体(A)の材料と必要に応じてその他の媒質、例えば、バインダー樹脂、分散剤、可塑剤、光重合性開始剤/熱重合開始剤等を含む組成物を用いる。
また、必要に応じて、組成物の粘度を調整する為に、有機溶剤などを含んでいてもよい。
In the case of forming by a wet film forming method, the material of the phosphor (A) and other medium as necessary, for example, binder resin, dispersant, plasticizer, photopolymerization initiator / thermal polymerization initiator, etc. are included. Use the composition.
Moreover, in order to adjust the viscosity of a composition, the organic solvent etc. may be included as needed.

上記の蛍光体(A)用組成物に含有されていてもよいバインダー樹脂としては、本発明の効果を損なわない限り特に制限はないが、例えば、硝化綿の外に酢酸セルロース、エチルセルロース、ポリビニルブチラール、線状ポリエステル、ポリ酢酸ビニル、塩化ビニリデン・塩化ビニルコポリマー、塩化ビニル・酢酸ビニルコポリマー、ポリアルキル−(メタ)アクリレート、ポリカーボネート、ポリウレタン、セルロースアセテートブチレート、ポリビニルアルコール、ゼラチン、デキストリン等のポリサッカライド、アラビアゴムなどが挙げられる。   The binder resin that may be contained in the phosphor (A) composition is not particularly limited as long as the effects of the present invention are not impaired. For example, cellulose acetate, ethyl cellulose, polyvinyl butyral in addition to nitrified cotton , Linear polyester, polyvinyl acetate, vinylidene chloride / vinyl chloride copolymer, vinyl chloride / vinyl acetate copolymer, polyalkyl- (meth) acrylate, polycarbonate, polyurethane, cellulose acetate butyrate, polyvinyl alcohol, gelatin, dextrin, etc. And gum arabic.

また、分散剤としては、本発明の効果を損なわない限り特に制限はないが、例えば、フタル酸、ステアリン酸などが挙げられる。
更に、可塑剤としては、リン酸トリフェニル、フタル酸ジエチルなどが挙げられる。
これら材料は、1種を単独で用いてもよく、異なる2種以上を併用してもよい。
光重合開始剤は、活性光源の照射によってラジカルを発生する化合物である。具体的な例として、ベンゾフェノン、o−ベンゾイル安息香酸メチル、4,4−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4−ジクロロベンゾフェノン、4−ベンゾイル−4−メチルジフェニルケトン、ジベンジルケトン、フルオレノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチルプロピオフェノン、チオキサントン、2−メチルチオキサントン、2−クロロチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、ジエチルチオキサントン、ベンジル、ベンジルメトキシエチルアセタール、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、アントラキノン、2−t−ブチルアントラキノン、アントロン、ベンズアントロン、ジベンゾスベロン、メチレンアントロン、4−アジドベンザルアセトフェノン、2,6−ビス(p−アジドベンジリデン)シクロヘキサノン、2,6−ビス(p−アジドベンジリデン)−4−メチルシクロヘキサノン、1−フェニル−1,2−ブタジオン−2−(O−メトキシカルボニル)オキシム、1−フェニル−1,2−プロパンジオン−2−(O−エトキシカルボニル)オキシム、1,3−ジフェニルプロパントリオン−2−(O−エトキシカルボニル)オキシム、1−フェニル−3−エトキシプロパントリオン−2−(O−ベンゾイル)オキシム、ミヒラーケトン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノ−1−プロパノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1、ナフタレンスルホニルクロライド、キノリンスルホニルクロライド、N−フェニルチオアクリドン、ベンズチアゾールジスルフィド、トリフェニルホルフィン、過酸化ベンゾインおよびエオシン、メチレンブルーなどの光還元性の色素とアスコルビン酸、トリエタノールアミンなどの還元剤の組合せなどがあげられる。また、これらを2種以上組み合わせて使用してもよい。
Further, the dispersant is not particularly limited as long as the effects of the present invention are not impaired, and examples thereof include phthalic acid and stearic acid.
Furthermore, examples of the plasticizer include triphenyl phosphate and diethyl phthalate.
One of these materials may be used alone, or two or more different materials may be used in combination.
A photopolymerization initiator is a compound that generates radicals upon irradiation with an active light source. Specific examples include benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4,4-bis (dimethylamino) benzophenone, 4,4-bis (diethylamino) benzophenone, 4,4-dichlorobenzophenone, 4-benzoyl-4-methyl. Diphenyl ketone, dibenzyl ketone, fluorenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-methylpropiophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, diethylthioxanthone Benzyl, benzylmethoxyethyl acetal, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin butyl ether, anthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, anthrone, benzanthrone, di Nzosberon, methyleneanthrone, 4-azidobenzalacetophenone, 2,6-bis (p-azidobenzylidene) cyclohexanone, 2,6-bis (p-azidobenzylidene) -4-methylcyclohexanone, 1-phenyl-1,2- Butadion-2- (O-methoxycarbonyl) oxime, 1-phenyl-1,2-propanedione-2- (O-ethoxycarbonyl) oxime, 1,3-diphenylpropanetrione-2- (O-ethoxycarbonyl) oxime 1-phenyl-3-ethoxypropanetrione-2- (O-benzoyl) oxime, Michler's ketone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-1-propanone, 2-benzyl-2 -Dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) butano -1, Naphthalenesulfonyl chloride, quinolinesulfonyl chloride, N-phenylthioacridone, benzthiazole disulfide, triphenylformine, benzoin peroxide and eosin, methylene blue and other photoreductive dyes and ascorbic acid, triethanolamine, etc. Examples include a combination of reducing agents. Moreover, you may use these in combination of 2 or more types.

蛍光体(A)用組成物に含有されていてもよい有機溶剤としては、上記蛍光体(A)及び媒質を溶解又は分散できるものであれば特に制限はないが、例えば、エタノール、メチルエチルエーテル、酢酸ブチル、酢酸エチル、エチルエーテル、キシレンなどが挙げられる。
有機溶剤は、1種を単独で用いてもよく、異なる2種以上を併用してもよい。
The organic solvent that may be contained in the phosphor (A) composition is not particularly limited as long as it can dissolve or disperse the phosphor (A) and the medium. For example, ethanol, methyl ethyl ether Butyl acetate, ethyl acetate, ethyl ether, xylene and the like.
One organic solvent may be used alone, or two or more different organic solvents may be used in combination.

尚、蛍光体(A)と媒質との屈折率が近いほど、蛍光体(A)における光散乱や光吸収による感度および鮮鋭度の低下が抑制しうる点で、媒質の屈折率は、1.3以上が好ましく、1.5以上が更に好ましい。
上記した通り、媒質と蛍光体との屈折率が近い程好ましいため、上限は特にないが、通常2以下である。
The closer the refractive index between the phosphor (A) and the medium is, the lower the sensitivity and sharpness of the phosphor (A) due to light scattering and light absorption can be suppressed. 3 or more is preferable, and 1.5 or more is more preferable.
As described above, the closer the refractive index of the medium and the phosphor, the better. Therefore, there is no particular upper limit, but it is usually 2 or less.

上記の様に調整した組成物(又は塗布液)を用いて塗膜を形成する。
塗膜の形成方法としては、本発明の効果を損なわない限り特に制限はなく公知の技術が適用可能であるが、例えば、ダイコート法、スクリーン印刷法、インクジェット法、スピンコーター法などが挙げられる。
塗膜を形成した後、光硬化性組成物(又は塗布液)の場合は、必要に応じて加熱乾燥工程を経て、紫外線照射装置などを用いて塗膜を硬化させる方法が挙げられる。
また、熱硬化性組成物(又は塗布液)の場合、ホットプレートや温風乾燥機等を使って硬化させる方法が挙げられる。
A coating film is formed using the composition (or coating solution) prepared as described above.
The method for forming the coating film is not particularly limited as long as the effects of the present invention are not impaired, and a known technique can be applied. Examples thereof include a die coating method, a screen printing method, an ink jet method, and a spin coater method.
In the case of a photocurable composition (or coating solution) after forming a coating film, a method of curing the coating film using an ultraviolet irradiation device or the like through a heat drying step as necessary may be mentioned.
In the case of a thermosetting composition (or coating solution), a method of curing using a hot plate, a hot air dryer or the like can be used.

4)その他
蛍光体(A)を含む層は、異なる2種以上の膜を重畳して複数の膜で、層を形成していてもよい。
異なる2種以上の層とは、例えば、蛍光体(A)の平均粒径や粒度分布、又は含有される媒質などが異なるものが挙げられる。
中でも、平均粒径が異なる蛍光体(A)を含む膜が重畳される場合、基板側(最下層)の蛍光体(A)を含む膜から発光を取り出す表面側(最上層)の蛍光体(A)を含む膜に向かって、蛍光体(A)の平均粒径が次第に大となるような順序に各蛍光体層を配置すると、蛍光体スクリーンの発光輝度、感度や鮮鋭度が高く、更に、画質が向上し易い点で好ましい。
4) Others The layer containing the phosphor (A) may be formed of a plurality of films by overlapping two or more different films.
Examples of the different two or more layers include those in which the average particle diameter and particle size distribution of the phosphor (A) or the contained medium are different.
In particular, when a film containing a phosphor (A) having a different average particle size is superimposed, a surface-side (uppermost layer) phosphor that takes out light emission from a film containing the phosphor (A) on the substrate side (lowermost layer) ( When the phosphor layers are arranged in such an order that the average particle diameter of the phosphor (A) gradually increases toward the film containing A), the emission brightness, sensitivity, and sharpness of the phosphor screen are high. This is preferable because the image quality is easily improved.

例えば、基板から順に、膜(1)に含まれる蛍光体(A)の平均粒径が3μmで、該膜(1)の上に隣接して形成される膜(2)の平均粒径が4μmで、更に該膜(2)の上に隣接して形成される膜(3)が5μmなど、複数層を形成してもよい。
平均粒径が異なる蛍光体(A)含む膜が重畳される場合、その製造方法としては、別々の組成物(又は塗布液)を調製し、後述の基板上に順次形成・積層する方法が挙げられる。
For example, in order from the substrate, the average particle diameter of the phosphor (A) contained in the film (1) is 3 μm, and the average particle diameter of the film (2) formed adjacent to the film (1) is 4 μm. Further, a plurality of layers such as 5 μm may be formed on the film (3) formed adjacent to the film (2).
In the case where films containing phosphors (A) having different average particle diameters are superposed, the production method includes a method of preparing separate compositions (or coating solutions) and sequentially forming and laminating them on a substrate described later. It is done.

また、この方法とは別に、例えば、異なる平均粒径の蛍光体を混合した混合蛍光体からなり、しかも比較的粘度の低い蛍光体塗布液を調製し、これを基板上に塗布してから静置してストークスの法則に従って大きい粒子の蛍光体から順次基板上に沈降させながらこれをゆっくり乾燥することにより、基板上に該基板に接する側から表面側に向かって次第に粒径が小となるような順序で蛍光体粒子を配列させた蛍光体層を別途形成した後、この蛍光体層を基板から剥離し、剥離した蛍光体層の該基板と接していなかった側の面(表面側であった面)と製造しようとする蛍光体スクリーンの支持体とを接着することにより、蛍光体層内の蛍光体粒子が基板側(最下層側)から発光を取り出す側(最上層側)に向かってその粒径が連続的に大となるように蛍光体粒子を配列した蛍光体層(多重層構造の蛍光体層)を有する蛍光体スクリーンとしてもよい。   In addition to this method, for example, a phosphor coating solution made of a mixed phosphor in which phosphors having different average particle diameters are mixed and having a relatively low viscosity is prepared, and this is applied to a substrate and then statically applied. Then, according to Stokes's law, the particles are gradually dried on the substrate while being gradually settled on the substrate so that the particle diameter gradually decreases from the side in contact with the substrate toward the surface side. After separately forming a phosphor layer in which phosphor particles are arranged in a proper order, the phosphor layer is peeled off from the substrate, and the surface of the peeled phosphor layer that is not in contact with the substrate (on the surface side). The phosphor particles in the phosphor layer are bonded to the substrate side (lowermost layer side) and the side from which light emission is extracted (uppermost layer side). Its particle size increases continuously Uni phosphor phosphor layer particles were sequenced (phosphor layer having the multiple layer structure) may be a phosphor screen having a.

(蛍光体(B)を含む層)
(1.蛍光体(B)の材料について)
1)蛍光体(B)の材料について
蛍光体(B)として用いる蛍光体は、上記(蛍光体(A)を含む層)の項で記載したも
のと同様のものが用いられる。具体例及び好ましい態様も同様である。
(Layer containing phosphor (B))
(1. Material of phosphor (B))
1) Regarding the material of the phosphor (B) As the phosphor used as the phosphor (B), the same materials as those described in the above section (Layer containing phosphor (A)) are used. Specific examples and preferred embodiments are also the same.

2)粒径について
蛍光体(B)の平均粒径Rは、通常13μm以下、好ましくは9μm以下、更に好ましくは6μm以下、また通常1μm以上、好ましくは3μm以上である。
上記範囲内であると、光を後方に散乱する効果と発光効率を両立させやすく、感度を落とさずに鮮鋭度を向上させやすい点で好ましい。
2) Particle Size The average particle size Rb of the phosphor (B) is usually 13 μm or less, preferably 9 μm or less, more preferably 6 μm or less, and usually 1 μm or more, preferably 3 μm or more.
Within the above range, it is preferable in that it is easy to achieve both the effect of scattering light backward and the light emission efficiency, and the sharpness is easily improved without degrading the sensitivity.

(2.蛍光体(B)を含む層を形成する組成物)
蛍光体(B)を含む層を形成する組成物としては、上記(蛍光体(A)を含む層)の項で記載したものと同様のものを用いることに加えて、白色顔料を用いる。
即ち、本発明における蛍光体(B)を含む層は、白色顔料を含む。
本発明における白色顔料とは、可視光領域で光吸収を示さない粒径数10nm 〜 数μmの微粒子で、蛍光体(A)および(B)から発光された光に対する屈折率が1.5以上のものを示す。
(2. Composition for forming a layer containing phosphor (B))
As a composition for forming the layer containing the phosphor (B), a white pigment is used in addition to the same as described in the above section (Layer containing the phosphor (A)).
That is, the layer containing the phosphor (B) in the present invention contains a white pigment.
The white pigment in the present invention is a fine particle having a particle size of several tens of nm to several μm that does not absorb light in the visible light region, and has a refractive index of 1.5 or more for the light emitted from the phosphors (A) and (B). The thing is shown.

白色顔料は、上記のものであれば、本発明の効果を損なわない限り特に制限はないが、例えば、酸化アルミニウム(Al)、硫酸バリウム(BaSO)、炭酸カルシウム(CaCO)などが好ましく挙げられ、より好ましくは酸化亜鉛(ZnO)、酸化ジルコニウム(ZrO)、最も好ましくは酸化チタン(TiO)が挙げられる。
白色顔料の平均粒径は、通常1μm以下、好ましくは0.5μm以下、更に好ましくは0.3μm以下、また通常0.05μm以上、好ましくは0.2μm以上である。
The white pigment is not particularly limited as long as it is the above-described one, but for example, aluminum oxide (Al 2 O 3 ), barium sulfate (BaSO 4 ), calcium carbonate (CaCO 3 ) and the like. More preferred are zinc oxide (ZnO), zirconium oxide (ZrO 2 ), and most preferred titanium oxide (TiO 2 ).
The average particle size of the white pigment is usually 1 μm or less, preferably 0.5 μm or less, more preferably 0.3 μm or less, and usually 0.05 μm or more, preferably 0.2 μm or more.

上記範囲内であると、光を後方に散乱する効果が大きく、鮮鋭度を向上させやすい点で好ましい。
蛍光体(B)を含む層においては、蛍光体(B)と媒質との屈折率差が大きいほど、蛍光体(B)により光を後方に散乱する効果が高く、効率的に蛍光体(A)を含む層に光を閉じ込めることができるため、該媒質の屈折率は、1.3以下が好ましく、1.1以下が更に好ましい。また通常1.0以上である。
その為、蛍光体塗布液に用いられる媒質は、屈折率が上記範囲内となるとように、適宜調整して用いることが好ましい。
Within the above range, the effect of scattering light backward is large, which is preferable in terms of easy improvement of sharpness.
In the layer containing the phosphor (B), the greater the difference in refractive index between the phosphor (B) and the medium, the higher the effect of scattering light backward by the phosphor (B), and the more efficiently the phosphor (A ), The refractive index of the medium is preferably 1.3 or less, and more preferably 1.1 or less. Moreover, it is 1.0 or more normally.
Therefore, it is preferable that the medium used for the phosphor coating solution is appropriately adjusted so that the refractive index is within the above range.

(2.蛍光体(B)を含む層について)
1)膜厚
蛍光体スクリーンにおける感度及び鮮鋭度が向上し易い点で、蛍光体(B)を含む層の膜厚と蛍光体層(A)を含む層の膜厚との膜厚差は、好ましくは±2μm以下、更に好ましくは±1μm以下である。
蛍光体(A)を含む層の膜厚と蛍光体(B)を含む層の膜厚は等しいことが好ましい為、理想的には0である。
(2. About the layer containing phosphor (B))
1) Film thickness The film thickness difference between the film thickness of the layer containing the phosphor (B) and the film thickness of the layer containing the phosphor layer (A) is that the sensitivity and sharpness in the phosphor screen are easily improved. Preferably it is ± 2 μm or less, more preferably ± 1 μm or less.
Since the film thickness of the layer containing the phosphor (A) and the film thickness of the layer containing the phosphor (B) are preferably equal, it is ideally zero.

2)充填率
蛍光体(B)を含む層において、蛍光体(B)の体積分率が、通常50%〜100%、好ましくは60%〜100%、更に好ましくは70%〜100%である。
上記範囲より充填率が小さいと、十分な光の反射効果が得られず画像の鮮鋭度を向上することができない上、X線から可視光への変換効率も低下する。
また、蛍光体(B)を含む層において、白色顔料の体積分率が、通常3v/v%以上、好ましくは5v/v%以上、また通常20v/v%以下、好ましくは10v/v%以下である。
上記範囲内であると、本発明の効果が良好に得られやすい点で好ましい。
2) Filling ratio In the layer containing the phosphor (B), the volume fraction of the phosphor (B) is usually 50% to 100%, preferably 60% to 100%, more preferably 70% to 100%. .
If the filling rate is smaller than the above range, a sufficient light reflection effect cannot be obtained and the sharpness of the image cannot be improved, and the conversion efficiency from X-rays to visible light is also lowered.
In the layer containing the phosphor (B), the volume fraction of the white pigment is usually 3 v / v% or more, preferably 5 v / v% or more, and usually 20 v / v% or less, preferably 10 v / v% or less. It is.
Within the above range, it is preferable in that the effect of the present invention is easily obtained.

(白色顔料の体積分率の測定方法)
白色顔料の体積分率の測定方法は、蛍光体(A)を含む層における蛍光体(A)の体積分率の測定と同様、下記の通り行う。
塗布前の基板の重さ(W)と、蛍光体(B)を含む層を形成した後の重さ(W)を測定する。形成された蛍光体(B)を含む層の膜厚及び面積と、測定した膜の重さ(W−W)から、単位体積当りの重さを算出する。
(Measurement method of volume fraction of white pigment)
The measurement method of the volume fraction of the white pigment is performed as follows, similarly to the measurement of the volume fraction of the phosphor (A) in the layer containing the phosphor (A).
The weight (W 0 ) of the substrate before coating and the weight (W 1 ) after forming the layer containing the phosphor (B) are measured. The weight per unit volume is calculated from the film thickness and area of the layer containing the formed phosphor (B) and the measured film weight (W 1 -W 0 ).

一方、蛍光体と白色顔料および媒質の重さの比より、層中に含有される蛍光体(B)および白色顔料の単位体積当りの重さを算出する。算出された単位体積当りの含有量と、蛍光体および白色顔料の比重から、蛍光体(B)および白色顔料の体積分率(体積%)を算出することが可能となる。   On the other hand, the weight per unit volume of the phosphor (B) and the white pigment contained in the layer is calculated from the weight ratio of the phosphor, the white pigment and the medium. From the calculated content per unit volume and the specific gravity of the phosphor and the white pigment, the volume fraction (volume%) of the phosphor (B) and the white pigment can be calculated.

3)層の形成方法
蛍光体(B)を含む層の形成方法としては、前記(蛍光体(A)を含む層)の項に記載の方法と同様である。好ましい態様も同様である。
3) Method for forming layer The method for forming the layer containing the phosphor (B) is the same as the method described in the above section (Layer containing the phosphor (A)). The preferred embodiment is also the same.

4)蛍光体(B)のパターン形状
蛍光体(B)を含む層のパターン形状は、特に限定されないが、格子状もしくはストライプ状が好ましい。格子状のパターンを形成する場合、蛍光体(B)を含む層のピッチ(P)は30μm〜500μmであることが好ましい。ピッチが30μm未満であると、加工時のパターン形成が困難となる。また、ピッチが大きすぎると、得られるシンチレータパネルを用いて高精度の画像撮影を行うことが困難となる。
4) Pattern shape of phosphor (B) The pattern shape of the layer containing the phosphor (B) is not particularly limited, but a lattice shape or a stripe shape is preferable. When forming a lattice pattern, the pitch (P) of the layer containing the phosphor (B) is preferably 30 μm to 500 μm. When the pitch is less than 30 μm, pattern formation during processing becomes difficult. On the other hand, if the pitch is too large, it is difficult to perform high-accuracy image capturing using the obtained scintillator panel.

格子状の蛍光体(B)を含む層により区画されたセルの形状としては、正方形、長方形、平行四辺形、台形などの形状が、適宜選択可能である。本発明の蛍光体スクリーンにおいては、蛍光体(B)を含む層底部幅の均一性や、1画素内における蛍光体発光強度の均一性の観点から、セルの形状が正方形となるような格子状の蛍光体(B)を含む層が好ましいが、これに限定されるものではない。   As the shape of the cell partitioned by the layer containing the lattice-like phosphor (B), a shape such as a square, a rectangle, a parallelogram, and a trapezoid can be appropriately selected. In the phosphor screen of the present invention, from the viewpoint of the uniformity of the bottom width of the layer containing the phosphor (B) and the uniformity of the phosphor emission intensity within one pixel, the lattice shape is such that the cell has a square shape. Although the layer containing the phosphor (B) is preferred, it is not limited thereto.

尚、領域を区画する、蛍光体(B)を含む層は、層が途切れていても、連続していてもよい。つまり、層が断続的に形成されていても、蛍光体(A)を含む層の周りに形成されている場合も、本発明における「蛍光体(B)により区画されている」場合に該当する。
本発明の蛍光体スクリーンは、光反射効果の小さな蛍光体(A)を含む層の周りを、白色顔料を含み光反射効果の大きな蛍光体(B)を含む層が取り囲んでいる。その為、蛍光体(A)を含む層のピッチが、格子状に配置された光電変換層の画素ピッチの整数倍あるいは整数分の1であることにより、得られる蛍光体スクリーンの鮮鋭度及び感度が良好な点で好ましい。
The layer containing the phosphor (B) that divides the region may be continuous or continuous. That is, even if the layer is formed intermittently, the case where the layer is formed around the layer containing the phosphor (A) corresponds to the case of “partitioned by the phosphor (B)” in the present invention. .
In the phosphor screen of the present invention, a layer containing a phosphor (B) containing a white pigment and having a large light reflection effect is surrounded by a layer containing a phosphor (A) having a small light reflection effect. Therefore, the sharpness and sensitivity of the obtained phosphor screen can be obtained when the pitch of the layer containing the phosphor (A) is an integral multiple or a fraction of the pixel pitch of the photoelectric conversion layers arranged in a grid pattern. Is preferable in terms of good.

これによって光拡散による画像のボケが低減でき、高精度の撮影が可能になる。また、当該蛍光体スクリーンにおいては、蛍光体(B)を含む層が光拡散を抑制する隔壁として作用するだけでなく、それ自身がX線を可視光に変換する変換素子として作用するため、感度をロスすることなく鮮鋭度を向上することができる。   As a result, blurring of the image due to light diffusion can be reduced, and high-accuracy shooting is possible. In the phosphor screen, the layer containing the phosphor (B) not only functions as a partition wall that suppresses light diffusion, but also functions as a conversion element that converts X-rays into visible light. The sharpness can be improved without losing.

(蛍光体(A)と(B)との関係について)
本発明の蛍光体スクリーンは、下記式(I)を満たすことが好ましい。
1≦R/R≦30 (I)
(上記式(I)において、
は、蛍光体(A)の平均粒径を表し、
は、蛍光体(B)の平均粒径を表す。)
/Rは、通常1≦R/R≦30を満たす値であり、その下限は好ましくは1、
より好ましくは3、またその上限値は好ましくは30、より好ましくは10である。
/Rが大きいほど、蛍光体(A)を含む層と蛍光体(B)を含む層における光散乱効果の差が大きいため、蛍光体の発光の、基板と平行方向への広がりが抑えられるため、鮮鋭度の高い画像が得られる。
(Relationship between phosphors (A) and (B))
The phosphor screen of the present invention preferably satisfies the following formula (I).
1 ≦ R a / R b ≦ 30 (I)
(In the above formula (I),
R a represents the average particle diameter of the phosphor (A),
R b represents the average particle diameter of the phosphor (B). )
R a / R b is a value that usually satisfies 1 ≦ R a / R b ≦ 30, and the lower limit thereof is preferably 1.
More preferably, the upper limit is preferably 30, and more preferably 10.
The larger R a / R b , the greater the difference in light scattering effect between the layer containing the phosphor (A) and the layer containing the phosphor (B), so that the emission of the phosphor spreads in the direction parallel to the substrate. Therefore, an image with high sharpness can be obtained.

[本発明の蛍光体スクリーンの製造方法]
本発明の蛍光体スクリーンを製造する方法としては、蛍光体(B)を含む層を形成後、該蛍光体(B)を含む層により区画された領域内に、蛍光体(A)を含む層を形成してもよい。また、先に、蛍光体(A)を含む層を形成した後、蛍光体(B)を含む層を形成してもよい。
パターン形成方法として、下記に一例を示すが、本発明はこれに限定されるものではない。
[Method for Producing Phosphor Screen of the Present Invention]
As a method for producing the phosphor screen of the present invention, a layer containing the phosphor (A) is formed in a region partitioned by the layer containing the phosphor (B) after forming the layer containing the phosphor (B). May be formed. Moreover, after forming the layer containing phosphor (A) first, the layer containing phosphor (B) may be formed.
Although an example is shown below as a pattern formation method, this invention is not limited to this.

(サンドブラスト法)
以下、蛍光体(B)を含む層を形成した後、蛍光体(A)を含む層を形成する場合の一例について説明する。逆の順序で形成する場合も、下記の方法に準じて形成することができる。
(Sandblasting method)
Hereinafter, an example of forming the layer containing the phosphor (A) after forming the layer containing the phosphor (B) will be described. Also when forming in the reverse order, it can be formed according to the following method.

前記した蛍光体(B)を含む層を形成後、例えば、サンドブラスト法により、パターン形状を作成する。
より具体的には、基板上に塗布などで形成した蛍光体(B)を含む層の上に、所望の開口部を有するマスクを形成し、そのマスクを介した蛍光体(B)を含む層に研磨剤粒子を混合したエアーあるいは水を噴射する。
After forming the layer containing the phosphor (B) described above, a pattern shape is created by, for example, sandblasting.
More specifically, a layer having a desired opening is formed on a layer containing the phosphor (B) formed on the substrate by coating or the like, and the layer containing the phosphor (B) through the mask. Then, air or water mixed with abrasive particles is sprayed.

これにより、蛍光体(B)を含む層における、マスク開口部の領域を削り取り、その後マスクを剥離することで、蛍光体(B)を含む層により区画された領域を形成できる。
蛍光体(B)を含む層により区画された領域に、蛍光体(A)を含む層を形成する方法としては、前記した湿式成膜法で行ってもよく、また蛍光体(A)の粉末のみを充填する、乾式成膜法であってもよい。
尚、蛍光体(B)を含む塗布膜を形成した後、膜を削るなどの方法でパターンを形成する方法としては、上記したサンドブラスト法の他に、ダイシングSaw法、レーザーカット法などが挙げられる。
Thereby, the area | region divided by the layer containing fluorescent substance (B) can be formed by scraping off the area | region of the mask opening part in the layer containing fluorescent substance (B), and peeling a mask after that.
As a method of forming the layer containing the phosphor (A) in the region partitioned by the layer containing the phosphor (B), the above-described wet film forming method may be used, and the phosphor (A) powder Alternatively, a dry film forming method may be used.
In addition, as a method of forming a pattern by a method such as shaving the film after forming the coating film containing the phosphor (B), a dicing saw method, a laser cutting method, or the like can be cited in addition to the above-described sandblasting method. .

(スクリーン印刷)
以下、蛍光体(A)を含む層を形成した後、蛍光体(B)を含む層を形成する場合の一例について説明する。逆の順序で形成する場合も、下記の方法に準じて形成することができる。
蛍光体(A)を含む層の所望のパターンを有するスクリーン版(A)と、それに対応する蛍光体(B)を含む層のパターンを有するスクリーン版(B)を形成する。
該スクリーン版は、樹脂または、金属の繊維を編みこんだ沙の上に、感光性乳剤でインク通過部をパターンニングしたタイプでもよく、また所定の厚みの薄板にインク通過部となるパターンを開口せしめたメタルマスクタイプであってもよい。
蛍光体(A)を含む組成物(又は塗布液)を用いて塗膜を形成後、硬化させて蛍光体(A)を含む層を形成する。
(Screen printing)
Hereinafter, an example of forming a layer containing the phosphor (B) after forming a layer containing the phosphor (A) will be described. Also when forming in the reverse order, it can be formed according to the following method.
A screen plate (A) having a desired pattern of the layer containing the phosphor (A) and a screen plate (B) having a pattern of the layer containing the phosphor (B) corresponding thereto are formed.
The screen plate may be of a type in which an ink passage portion is patterned with a photosensitive emulsion on a resin or metal fiber braid, and a pattern that becomes an ink passage portion is opened on a thin plate of a predetermined thickness. A metal mask type may be used.
A coating film is formed using the composition (or coating solution) containing the phosphor (A), and then cured to form a layer containing the phosphor (A).

次に、蛍光体(B)を含む組成物(又は塗布液)とスクリーン版(B)を用いて、蛍光体(A)を含む層の周りを埋めるようにして印刷し、硬化させる。
スクリーン印刷法の場合、層を形成中にパターンが崩れる場合がある為、数回に分けて層を形成する積層印刷する方法を用いてもよい。
Next, using the composition (or coating solution) containing the phosphor (B) and the screen plate (B), printing is performed so as to fill the periphery of the layer containing the phosphor (A), and curing is performed.
In the case of the screen printing method, the pattern may be collapsed during the formation of the layer. Therefore, a method of laminating printing in which the layer is formed in several times may be used.

[効果を奏する理由について]
本発明の構成とすることで、トレードオフの関係にある感度及び鮮鋭度を両立しうるとの効果を奏する理由について、下記の通り推測する。
蛍光体スクリーンは、照射された放射線を蛍光体スクリーンが吸収し、該蛍光体スクリーンが可視光を発光して、それを画像情報等に変換する。つまり、発光量が多いと、より感度が向上する。このため、感度を向上させるためには、蛍光体スクリーン中の蛍光体量を増やすことが有効である。しかしながら、蛍光体スクリーン中の蛍光体量が増えると、蛍光体スクリーンの膜厚が増えて、蛍光体によって変換された光が光電変換層に到達するまでに基板と水平方向に広がりやくすなるため鮮鋭度が低下する。
[Reason for the effect]
The reason why it is possible to achieve both the sensitivity and the sharpness in a trade-off relationship by using the configuration of the present invention is estimated as follows.
In the phosphor screen, the irradiated radiation is absorbed by the phosphor screen, and the phosphor screen emits visible light, which is converted into image information or the like. That is, when the amount of light emission is large, the sensitivity is further improved. For this reason, in order to improve sensitivity, it is effective to increase the amount of phosphor in the phosphor screen. However, as the amount of phosphor in the phosphor screen increases, the thickness of the phosphor screen increases, and light converted by the phosphor spreads in the horizontal direction with the substrate before reaching the photoelectric conversion layer. Sharpness decreases.

以上より、感度と鮮鋭度を両立させるためには、蛍光体量を減らすことなく、かつ蛍光体からの発光の基板と平行方向への広がりを抑えることが必要である。また、感度を向上させるためには、蛍光体や媒質、基板などにおける吸収による光のロスを抑制することも重要である。
本発明の蛍光体スクリーンは、蛍光体(B)を含む層により区画される領域に、蛍光体(A)を含む層を有し、該蛍光体(B)を含む層が白色顔料を含む。
From the above, in order to achieve both sensitivity and sharpness, it is necessary to suppress the spread of light emitted from the phosphor in the direction parallel to the substrate without reducing the amount of the phosphor. In order to improve sensitivity, it is also important to suppress light loss due to absorption in a phosphor, a medium, a substrate, and the like.
The phosphor screen of the present invention has a layer containing the phosphor (A) in a region partitioned by the layer containing the phosphor (B), and the layer containing the phosphor (B) contains a white pigment.

蛍光体(B)を含む層に、光を後方に散乱しやすい白色顔料を含むことにより、該蛍光体を含む層の光反射率を更に向上させることができる。
従って、蛍光体(B)と白色顔料とを含む層により区画された領域に、蛍光体(A)を含む層を有することによって、蛍光体からの発光を蛍光体(A)を含む層に閉じ込めることができ、鮮鋭度の高い蛍光体スクリーンを得ることができる。
When the layer containing the phosphor (B) contains a white pigment that easily scatters light backward, the light reflectance of the layer containing the phosphor can be further improved.
Therefore, by having the layer containing the phosphor (A) in the region partitioned by the layer containing the phosphor (B) and the white pigment, light emission from the phosphor is confined in the layer containing the phosphor (A). And a phosphor screen with high sharpness can be obtained.

また、蛍光体(B)を含む層は光を蛍光体層(A)を含む層に閉じ込める反射壁として機能するだけでなく、それ自身が発光する。このため、白色顔料のみで隔壁を作った場合に比べ感度を保ったまま鮮鋭度を向上することができる。
さらに、蛍光体(A)を含む層においては、光が後方に散乱されにくく、蛍光体からの発光を効率よく光電変換層に伝播させることができるため、蛍光体や媒質、基板等における光吸収に基づく感度の低下を抑制することができる。
In addition, the layer containing the phosphor (B) not only functions as a reflection wall that confines light in the layer containing the phosphor layer (A), but also emits itself. For this reason, it is possible to improve the sharpness while maintaining the sensitivity as compared with the case where the partition walls are made of only the white pigment.
Furthermore, in the layer containing the phosphor (A), light is not easily scattered back, and light emitted from the phosphor can be efficiently propagated to the photoelectric conversion layer, so that light absorption in the phosphor, medium, substrate, etc. It is possible to suppress a decrease in sensitivity based on the above.

[保護層]
上記蛍光体(A)を含む層及び蛍光体(B)を含む層を形成後、更に保護層を形成していてもよい。
保護層を形成する材料は、本発明の効果を損なわない限り特に制限はないが、例えば、(A)ウレタン(メタ)アクリレート、(B)単官能(メタ)アクリレート、(C)多官能(メタ)アクリレートを含有する放射線硬化性組成物の硬化物等や、粘着層を有するPET等のフィルムがある。前述の放射線硬化性組成物中には、必要に応じて適宜上記以外の材料が含有されていてもよい。
[Protective layer]
After forming the layer containing the phosphor (A) and the layer containing the phosphor (B), a protective layer may be further formed.
The material for forming the protective layer is not particularly limited as long as the effects of the present invention are not impaired. For example, (A) urethane (meth) acrylate, (B) monofunctional (meth) acrylate, (C) polyfunctional (meta) ) There are cured products of radiation-curable compositions containing acrylates, and films such as PET having an adhesive layer. In the above-mentioned radiation curable composition, materials other than the above may be appropriately contained as required.

以下、本発明を実施例によりさらに具体的に説明するが、本発明はその要旨を逸脱しない限り、以下の実施例に限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples without departing from the gist thereof.

<シミュレーションによる蛍光体スクリーンの評価>
本実施形態におけるフラットパネルディテクター1について、種々の蛍光体スクリーン2を想定し、各フラットパネルディテクターの感度および鮮鋭度特性を光線追跡シミュレーションによって算出し、当該算出結果(シミュレーション結果) の評価を行った。蛍光
体(A)および(B)の屈折率は2.2、X線に対する線吸収係数は60 cm-1 、吸
収した X 線の可視光への変換効率は蛍光体粒径に関わらず一定とした。光電変換層9における画素間隔は127μm、一画素における光電変換素子のサイズは100 μm×1
00μm、光電変換層の光電変換素子以外の部分の可視光に対する反射率は50% とし
た。また、蛍光体(A)および(B)を含む層のパターンピッチと蛍光体(B)を含む層の幅は、光電変換層9の画素間隔に合わせてそれぞれ127μmおよび27μmとし、蛍光体(A)を含む層の中心が光電変換素子の中心と一致するように位置合わせした。さらに、隔膜層7の膜厚は6μm、屈折率は1.45、基板4の変換光に対する反射率は90
%とした。また、蛍光体(A)を含む層における蛍光体(A)の粒径、体積分率および
媒質屈折率をそれぞれ13μm、65v/v%、1.5に、蛍光体(B)を含む層におけ
る蛍光体(B)の体積分率と媒質屈折率をそれぞれ65v/v%および1.0に設定した
。そして、蛍光体(B)を含む層における蛍光体(B)の粒径および白色顔料の体積分率として種々の場合を想定し、Synopsis社の照明設計解析ソフトウェアであるLightTools(登録商標)を用いて、光線追跡法によりシミュレーションを実施した。シミュレーションにおける鮮鋭度の評価は幅10μmのスリットを用いたスリット法によって Modulated Tranfer Function(MTF) を算出することで行い、感度の評価は一定量のX線照射に対し、光電変換層9の受光部に到達した変換光の総量を比較することで行った。
<Evaluation of phosphor screen by simulation>
Assuming various phosphor screens 2 for the flat panel detector 1 in this embodiment, the sensitivity and sharpness characteristics of each flat panel detector were calculated by ray tracing simulation, and the calculation results (simulation results) were evaluated. . Phosphors (A) and (B) have a refractive index of 2.2, a linear absorption coefficient for X-rays of 60 cm −1 , and the conversion efficiency of absorbed X-rays into visible light is constant regardless of the phosphor particle size did. The pixel interval in the photoelectric conversion layer 9 is 127 μm, and the size of the photoelectric conversion element in one pixel is 100 μm × 1.
The reflectance with respect to visible light of the part other than the photoelectric conversion element of 00 μm and the photoelectric conversion layer was 50%. The pattern pitch of the layers containing the phosphors (A) and (B) and the width of the layer containing the phosphors (B) are set to 127 μm and 27 μm, respectively, according to the pixel interval of the photoelectric conversion layer 9. ) Are aligned so that the center of the layer containing) coincides with the center of the photoelectric conversion element. Further, the thickness of the diaphragm layer 7 is 6 μm, the refractive index is 1.45, and the reflectance of the substrate 4 with respect to the converted light is 90.
%. Further, the particle size, volume fraction and medium refractive index of the phosphor (A) in the layer containing the phosphor (A) are 13 μm, 65 v / v% and 1.5, respectively, and in the layer containing the phosphor (B). The volume fraction and medium refractive index of the phosphor (B) were set to 65 v / v% and 1.0, respectively. Then, assuming various cases as the particle size of the phosphor (B) and the volume fraction of the white pigment in the layer containing the phosphor (B), LightTools (registered trademark), which is illumination design analysis software of Synopsys, is used. The simulation was performed by the ray tracing method. The evaluation of the sharpness in the simulation is performed by calculating Modulated Transfer Function (MTF) by a slit method using a slit having a width of 10 μm, and the sensitivity is evaluated for the light receiving portion of the photoelectric conversion layer 9 for a certain amount of X-ray irradiation. This was done by comparing the total amount of converted light that reached.

参考実施例として、蛍光体(A)および(B)を含む層をパターニングした蛍光体スクリーン2を有し、蛍光体(B)を含む層に白色顔料を含むフラットパネルディテクターの感度と鮮鋭度をシミュレーションによって算出した。参考比較例1〜3および参考実施例1〜6は蛍光体(B)を含む層における、蛍光体(B)の粒径および白色顔料の体積分率を変更させたフラットパネルディテクターについての計算結果である。尚、蛍光体スクリーンの膜厚は全て200μmとして計算した。また、白色顔料として、粒径0.3μm、屈折率2.5の白色粒子を想定した。   As a reference example, a phosphor screen 2 having a layer containing phosphors (A) and (B) is patterned, and the sensitivity and sharpness of a flat panel detector containing a white pigment in the layer containing phosphor (B) are shown. Calculated by simulation. Reference Comparative Examples 1 to 3 and Reference Examples 1 to 6 are calculation results for a flat panel detector in which the particle size of the phosphor (B) and the volume fraction of the white pigment are changed in the layer containing the phosphor (B). It is. In addition, all the film thicknesses of the phosphor screen were calculated as 200 μm. In addition, white particles having a particle diameter of 0.3 μm and a refractive index of 2.5 were assumed as white pigments.

以下の表1に、参考比較例1〜3および参考実施例1〜6における「蛍光体(B) の
平均粒径 (μm)」、「蛍光体(B)を含む層における白色顔料の体積分率 (v/v%
)」、「フラットパネルディテクター(FPD)の感度」、「フラットパネルディテクターのMTF (2lp/mm)」を示す。ここで「フラットパネルディテクターの感度」とは蛍光体(B)の平均粒径が1.0μmで、蛍光体(B)を含む層に白色顔料を含まないフラットパネルディテクター (参考比較例1) において光電変換素子に到達した変換光量を1として計算した、各試料において受光部に到達した変換光量の相対値である。
Table 1 below shows the volume fraction of the white pigment in the layer containing the phosphor (B), “average particle size (μm) of phosphor (B)” in Reference Comparative Examples 1 to 3 and Reference Examples 1 to 6 Rate (v / v%
) ”,“ Sensitivity of flat panel detector (FPD) ”, and“ MFF of flat panel detector (2 lp / mm) ”. Here, “sensitivity of the flat panel detector” means that the average particle size of the phosphor (B) is 1.0 μm and the layer containing the phosphor (B) does not contain a white pigment (Reference Comparative Example 1). It is a relative value of the converted light amount reaching the light receiving part in each sample, calculated with the converted light amount reaching the photoelectric conversion element as 1.

表1に示すように、蛍光体(B)を含む層に白色顔料を加えることで、特にMTFが顕著に向上した。白色顔料添加によるMTFの向上率は、蛍光体(B)の粒径が大きいほど大きく、白色顔料を10v/v%添加することで、蛍光体(B)の粒径が大きく、もとも
とのMTFが低い参考実施例4および参考実施例6においても、蛍光体(B)の小さな参
考実施例2とほぼ同等の感度-鮮鋭度特性得られていることが判る。
As shown in Table 1, the MTF was particularly improved by adding a white pigment to the layer containing the phosphor (B). The improvement rate of MTF by adding white pigment is larger as the particle size of phosphor (B) is larger. By adding 10 v / v% of white pigment, the particle size of phosphor (B) is larger, and the original MTF is It can be seen that also in the low reference example 4 and the reference example 6, the sensitivity-sharpness characteristic almost equal to that of the reference example 2 having a small phosphor (B) is obtained.

次に、参考比較例4〜6として、蛍光体スクリーン2における蛍光体(B)を含む層が蛍光体(B)を含まず、白色顔料のみを含む場合のフラットパネルディテクターの感度と鮮鋭度をシミュレーションによって算出した。尚、白色顔料を含む層の媒質屈折率は参考実施例1〜6と同様1.0として計算した
以下の表2に、参考比較例4〜6における、「蛍光体(B)を含む層における白色顔料の充填率 (v/v%)」、「フラットパネルディテクターの感度」、「フラットパネルディテクターのMTF (2lp/mm)」を示す。尚、「フラットパネルディテクターの感度」とは表1における定義と同義である。
Next, as Reference Comparative Examples 4 to 6, the sensitivity and sharpness of the flat panel detector when the layer containing the phosphor (B) in the phosphor screen 2 does not contain the phosphor (B) and contains only the white pigment. Calculated by simulation. The medium refractive index of the layer containing the white pigment was calculated as 1.0 in the same manner as in Reference Examples 1 to 6. In Table 2 below, in Reference Comparative Examples 4 to 6, “in the layer containing phosphor (B)” The white pigment filling rate (v / v%), “flat panel detector sensitivity”, and “flat panel detector MTF (2 lp / mm)” are shown. The “sensitivity of the flat panel detector” has the same definition as in Table 1.

表2と表1の結果を比較すると、表2のように蛍光体(B)を含む層が、白色顔料のみ含む参考比較例4〜6では、蛍光体(B)と白色顔料とを含む参考実施例1〜6に比べ、感度が顕著に低下することが判る。   Comparing the results in Table 2 and Table 1, in Reference Comparative Examples 4 to 6 in which the layer containing the phosphor (B) as shown in Table 2 contains only the white pigment, the reference containing the phosphor (B) and the white pigment It can be seen that the sensitivity is significantly reduced as compared with Examples 1-6.

1 放射線検出装置
2 シンチレータパネル
3 出力基板
4 基板
5 緩衝層
6 蛍光体(B)を含む層
7 蛍光体(A)を含む層
8 保護膜
9 光電変換層
10 出力層
11 基板
12 電源部
1 Radiation detector
2 Scintillator panel
3 Output board
4 Substrate
DESCRIPTION OF SYMBOLS 5 Buffer layer 6 Layer containing fluorescent substance (B) 7 Layer containing fluorescent substance (A) 8 Protective film 9 Photoelectric conversion layer
10 Output layer
11 Substrate
12 Power supply

Claims (7)

蛍光体(B)を含む層によって区画された領域に、蛍光体(A)を含む層を有する蛍光体スクリーンであって、
蛍光体(B)を含む層が、白色顔料を含むことを特徴とする、蛍光体スクリーン。
A phosphor screen having a layer containing phosphor (A) in a region partitioned by a layer containing phosphor (B),
The phosphor screen, wherein the layer containing the phosphor (B) contains a white pigment.
蛍光体(B)を含む層における白色顔料の体積分率が、3v/v%以上、20v/v%以下であることを特徴とする、請求項1に記載の蛍光体スクリーン。   The phosphor screen according to claim 1, wherein the volume fraction of the white pigment in the layer containing the phosphor (B) is 3 v / v% or more and 20 v / v% or less. 前記白色顔料が、酸化アルミニウム、酸化チタン、及び酸化ジルコニウムからなる群から選ばれる1種以上であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の蛍光体スクリーン。   The phosphor screen according to claim 1 or 2, wherein the white pigment is at least one selected from the group consisting of aluminum oxide, titanium oxide, and zirconium oxide. 前記蛍光体(A)の平均粒径が、3μm以上、30μm以下であることを特徴とする、請求項1〜3のいずれか一項に記載の蛍光体スクリーン。   The phosphor screen according to any one of claims 1 to 3, wherein the phosphor (A) has an average particle diameter of 3 µm or more and 30 µm or less. 前記蛍光体(B)の平均粒径が、1μm以上、13μm以下であることを特徴とする、請求項1〜4のいずれか一項に記載の蛍光体スクリーン。   5. The phosphor screen according to claim 1, wherein the phosphor (B) has an average particle size of 1 μm or more and 13 μm or less. 下記式(I)を満たすことを特徴とする、請求項1〜5のいずれか一項に記載の蛍光体スクリーン。
1≦R/R≦30 (I)
(上記式(I)において、
は、蛍光体(A)の平均粒径(μm)を表し、
は、蛍光体(B)の平均粒径(μm)を表す。)
The phosphor screen according to any one of claims 1 to 5, wherein the following formula (I) is satisfied.
1 ≦ R a / R b ≦ 30 (I)
(In the above formula (I),
R a represents the average particle size (μm) of the phosphor (A),
R b represents the average particle size (μm) of the phosphor (B). )
請求項1〜6のいずれか一項に記載の蛍光体スクリーンを含むことを特徴とする、フラットパネルディテクター。   A flat panel detector comprising the phosphor screen according to claim 1.
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