JP2015188768A - Ink supply device, ink cartridge, ink cartridge mounting method, and deposition system - Google Patents

Ink supply device, ink cartridge, ink cartridge mounting method, and deposition system Download PDF

Info

Publication number
JP2015188768A
JP2015188768A JP2014065737A JP2014065737A JP2015188768A JP 2015188768 A JP2015188768 A JP 2015188768A JP 2014065737 A JP2014065737 A JP 2014065737A JP 2014065737 A JP2014065737 A JP 2014065737A JP 2015188768 A JP2015188768 A JP 2015188768A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ink cartridge
ink
magnetic force
supply device
cartridge
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2014065737A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
園山　卓也
Takuya Sonoyama
卓也 園山
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Seiko Epson Corp filed Critical Seiko Epson Corp
Priority to JP2014065737A priority Critical patent/JP2015188768A/en
Publication of JP2015188768A publication Critical patent/JP2015188768A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Electroluminescent Light Sources (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ink supply device capable of suppressing a dust emission, an ink cartridge capable of suppressing the dust emission, and an ink cartridge mounting method, and a manufacturing system.SOLUTION: An ink supply device transfers an unused ink cartridge 150 reserved with ink, to a liquid droplet discharge device for discharging liquid droplets of ink thereby to feed the ink. The ink supply device comprises: the ink cartridge 150; a carriage 200A for transporting the ink cartridge 150. The carriage 200A has an electromagnet 211. The ink cartridge 150 has a magnet 152.

Description

本発明は、インク供給装置、インクカートリッジ、インクカートリッジ取付け方法および成膜システムに関するものである。   The present invention relates to an ink supply device, an ink cartridge, an ink cartridge mounting method, and a film forming system.

従来、基板と液滴吐出ヘッドとを相対的に移動させながら、液滴吐出ヘッドが備える複数のノズルからインクの液滴を吐出させ、基板の成膜面にインクを配置する液滴吐出装置が知られている。このような装置では、基板上の近接した位置に異なる種類の任意のインクを吐出し、基板上を塗り分けることが可能である。そのため、例えば、カラーフィルターや有機エレクトロニクス装置の画素に対応した複数種のインクを用い、基板上にインクを成膜することで、カラーフィルターや有機エレクトロニクス装置を製造する製造装置として用いられている（例えば、特許文献１参照）。   2. Description of the Related Art Conventionally, there is a liquid droplet ejection apparatus that ejects ink droplets from a plurality of nozzles provided in a liquid droplet ejection head while moving the substrate and the liquid droplet ejection head relatively, and places the ink on the film formation surface of the substrate. Are known. In such an apparatus, it is possible to discharge different types of arbitrary inks at positions close to each other on the substrate and separately coat the substrate. Therefore, for example, it is used as a manufacturing apparatus for manufacturing a color filter or an organic electronics device by using a plurality of types of ink corresponding to pixels of a color filter or an organic electronics device, and forming an ink film on a substrate ( For example, see Patent Document 1).

特開２０１２−０４９２８３号公報JP 2012-049283 A

上述のような液滴吐出装置を用いた製造工程では、インクを少量ずつインクカートリッジ（以下、カートリッジ）に密封保存し、使用時には開封したカートリッジから液滴吐出装置にインクを供給する、というインクの供給方法を採用することがある。このようにすることで、例えばインク（インク）が劣化しやすい場合に、インクが過度に劣化する前にインクを使い切ることが可能となり、インクの品質を担保することが可能となる。また、インクが不足した場合には、カートリッジを交換することで容易にインクを供給することが可能となる。   In the manufacturing process using the droplet discharge device as described above, the ink is stored in an ink cartridge (hereinafter referred to as a cartridge) in small amounts, and the ink is supplied from the opened cartridge to the droplet discharge device in use. A supply method may be adopted. By doing so, for example, when the ink (ink) is likely to deteriorate, the ink can be used up before the ink is excessively deteriorated, and the quality of the ink can be ensured. Further, when the ink is insufficient, the ink can be easily supplied by replacing the cartridge.

しかし、カートリッジに貯留するインクが少量である場合、カートリッジの交換が頻発することが考えられる。そのため、製造工程においては、例えばロボットアームのような装置を用いて、カートリッジの交換を自動化することがある。   However, when the amount of ink stored in the cartridge is small, it is conceivable that the cartridge is frequently replaced. Therefore, in the manufacturing process, cartridge replacement may be automated using a device such as a robot arm.

このように自動化されたシステムでは、ロボットアームがカートリッジの保存位置からカートリッジを持ち上げる際、ロボットアームごとカートリッジが揺れ、周囲のカートリッジに接触し、擦れ合うおそれがある。   In such an automated system, when the robot arm lifts the cartridge from the cartridge storage position, the cartridge may shake with the robot arm, and may touch and rub against the surrounding cartridge.

また、カートリッジは、転倒防止のための枠状の治具（ガイド）に囲まれて保存されることがあるが、この場合には、ロボットアームがカートリッジを持ち上げる際に、カートリッジが周囲のガイドに接触するおそれがある。   In addition, the cartridge may be stored surrounded by a frame-shaped jig (guide) for preventing overturning. In this case, when the robot arm lifts the cartridge, the cartridge is moved to the surrounding guide. There is a risk of contact.

このような接触により、小さなゴミ（塵）が発生する（発塵する）と、塵は、空調が発生させる気流により移動してインクの塗布面である基板上に付着し、塗膜の品質を低下させるおそれがある。
そのため、このような発塵を抑制可能な技術が求められていた。 When small dust (dust) is generated due to such contact (dust generation), the dust is moved by the air flow generated by the air conditioning and adheres to the substrate on which the ink is applied, thereby improving the quality of the coating film. May decrease.
Therefore, a technique capable of suppressing such dust generation has been demanded.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、発塵を抑制することが可能なインク供給装置を提供することを目的とする。また、発塵を抑制することが可能なインクカートリッジ、インクカートリッジ取付け方法および製造システムを提供することをあわせて目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an object thereof is to provide an ink supply device capable of suppressing dust generation. Another object of the present invention is to provide an ink cartridge, an ink cartridge mounting method, and a manufacturing system that can suppress dust generation.

上記の課題を解決するため、本発明の一態様は、インクの液滴を吐出する液滴吐出装置に対し、前記インクが貯留された未使用のインクカートリッジを搬送して前記インクを供給するインク供給装置であって、前記インクカートリッジと、前記インクカートリッジを搬送する搬送手段と、を有し、前記インクカートリッジおよび前記搬送手段のいずれか一方は第１磁力発生手段を有し、他方は前記第１磁力発生手段から発生する磁力に吸引される第１被吸引部を有するインク供給装置を提供する。
この構成によれば、第１磁力発生手段と第１被吸引部との間の引力により、搬送中のインクカートリッジの転倒を防止することができる。そのため、転倒防止のためにインクカートリッジの周囲に設けている構造を減らす、またはなくすことも可能となり、これらの構造とインクカートリッジとの接触による発塵を抑制することが可能となる。 In order to solve the above problems, according to one embodiment of the present invention, ink that supplies an ink by transporting an unused ink cartridge in which the ink is stored is supplied to a droplet discharge device that discharges ink droplets. A supply device, comprising: the ink cartridge; and a transport unit that transports the ink cartridge, wherein one of the ink cartridge and the transport unit includes a first magnetic force generating unit, and the other includes the first cartridge. An ink supply apparatus having a first attracted portion that is attracted by a magnetic force generated from one magnetic force generating means.
According to this configuration, the ink cartridge that is being transported can be prevented from being overturned by the attractive force between the first magnetic force generating means and the first attracted portion. Therefore, it is possible to reduce or eliminate the structure provided around the ink cartridge in order to prevent toppling, and to suppress dust generation due to contact between these structure and the ink cartridge.

本発明の一態様においては前記第１磁力発生手段が電磁石である構成としてもよい。
この構成によれば、第１被吸引部との間に生じる磁力の強度、磁力を発生させるタイミングを変更制御可能となる。そのため、使用場面に応じて適切な強度、タイミングで磁力を生じさせ、インクカートリッジの転倒を好適に防止することができ、発塵を抑制することができる。また、第１被吸引部が永久磁石である場合、斥力を発生させることもでき、インクカートリッジの交換時にインクカートリッジを制震することができる。 In one aspect of the present invention, the first magnetic force generating means may be an electromagnet.
According to this configuration, it is possible to change and control the strength of the magnetic force generated between the first attracted portion and the timing for generating the magnetic force. Therefore, a magnetic force can be generated at an appropriate strength and timing according to the usage scene, the ink cartridge can be suitably prevented from falling, and dust generation can be suppressed. Further, when the first attracted portion is a permanent magnet, repulsive force can be generated, and the ink cartridge can be damped when the ink cartridge is replaced.

本発明の一態様においては、前記第１被吸引部が永久磁石である構成としてもよい。
この構成によれば、第１磁力発生手段との間に生じる引力により、インクカートリッジの転倒を防止することができ、発塵を抑制することができる。 In one aspect of the present invention, the first attracted portion may be a permanent magnet.
According to this configuration, the ink cartridge can be prevented from overturning by the attractive force generated between the first magnetic force generating means and dust generation can be suppressed.

本発明の一態様においては、前記インクカートリッジおよび前記搬送手段の少なくとも一方は、永久磁石を含む第２磁力発生手段を有し、他方は前記第２磁力発生手段から発生する磁力に吸引される第２被吸引部を有する構成としてもよい。
この構成によれば、インクカートリッジの転倒防止を補助することができる。 In one aspect of the present invention, at least one of the ink cartridge and the transport unit includes a second magnetic force generation unit including a permanent magnet, and the other is attracted by a magnetic force generated from the second magnetic force generation unit. It is good also as a structure which has 2 to-be-sucked parts.
According to this configuration, it is possible to assist in preventing the ink cartridge from falling.

本発明の一態様においては、前記インクカートリッジおよび前記搬送手段の載置面のいずれか一方に凹部が設けられ、他方に前記凹部と係合する凸部が設けられている構成としてもよい。
この構成によれば、凹部と凸部とが係合することでインクカートリッジが搬送手段に係止される。そのため、インクカートリッジの転倒防止を補助することができる。 In one aspect of the present invention, a concave portion may be provided on one of the placement surfaces of the ink cartridge and the transport unit, and a convex portion that engages with the concave portion may be provided on the other.
According to this configuration, the ink cartridge is locked to the transport unit by engaging the concave portion and the convex portion. Therefore, it is possible to assist in preventing the ink cartridge from falling.

本発明の一態様においては、前記凹部および前記凸部のいずれか一方は、永久磁石を含む第２磁力発生手段を有し、他方は前記第２磁力発生手段から発生する磁力に吸引される第２被吸引部である構成としてもよい。
この構成によれば、インクカートリッジの転倒防止を補助することができる。 In one aspect of the present invention, one of the concave portion and the convex portion has second magnetic force generation means including a permanent magnet, and the other is attracted by magnetic force generated from the second magnetic force generation means. It is good also as a structure which is 2 to-be-sucked parts.
According to this configuration, it is possible to assist in preventing the ink cartridge from falling.

本発明の一態様においては、前記インクカートリッジは、前記インクを貯留する貯留部を有する容器と、前記容器の下方に設けられ前記第１磁力発生手段を有する載置台と、を含む構成としてもよい。
この構成によれば、通常用いられているインクカートリッジについても転倒を防止することができ、発塵を抑制することができる。 In one aspect of the present invention, the ink cartridge may include a container having a storage part for storing the ink, and a mounting table provided below the container and having the first magnetic force generation unit. .
According to this configuration, a normally used ink cartridge can be prevented from falling and dust generation can be suppressed.

本発明の一態様においては、基板に対してインクの液滴を吐出し電子部品を製造する液滴吐出装置において交換可能に設けられ、前記インクを貯留するインクカートリッジであって、前記インクを貯留する貯留部と、前記貯留部の下方に設けられた磁力発生手段と、を有するインクカートリッジを提供する。
この構成によれば、磁力発生手段が形成する磁界によりインクカートリッジと周囲の構造との間に引力を生じさせ、当該引力により自身の転倒を抑制することができ、発塵を抑制することができる。 In one aspect of the present invention, an ink cartridge is provided that can be replaced in a droplet discharge device that discharges ink droplets to a substrate and manufactures an electronic component, and stores the ink. There is provided an ink cartridge having a storage section that performs the above and a magnetic force generation means provided below the storage section.
According to this configuration, an attractive force is generated between the ink cartridge and the surrounding structure by the magnetic field generated by the magnetic force generating means, and the overturning of the ink cartridge can be suppressed by the attractive force, and dust generation can be suppressed. .

本発明の一態様においては、前記貯留部を有する容器と、前記磁力発生手段を有し、前記容器が載置される載置台と、を有する構成としてもよい。
この構成によれば、通常用いられているインクカートリッジについても転倒を防止することができ、発塵を抑制することができる。 In one aspect of the present invention, the container may include the storage unit, and a mounting table that includes the magnetic force generation unit and on which the container is mounted.
According to this configuration, a normally used ink cartridge can be prevented from falling and dust generation can be suppressed.

また、本発明の一態様は、インクカートリッジの搬送手段からインクカートリッジを持ち上げる工程と、前記インクカートリッジを、インクの液滴を吐出する液滴吐出装置における所定位置まで移送し、前記所定位置に取り付ける工程と、を有し、前記インクカートリッジおよび前記搬送手段のいずれか一方が電磁石を有し、他方が磁石を有しており、前記持ち上げる工程では、前記電磁石と前記磁石との間で生じる磁力により前記インクカートリッジを制震するインクカートリッジ取付け方法を提供する。
この構成によれば、電磁石を駆動させて磁石との間に磁力を発生させ、生じる磁力によりインクカートリッジの制震が可能となる。すなわち、インクカートリッジを液滴吐出装置に取り付ける際、インクカートリッジを持ち上げる操作においてインクカートリッジが揺れ、周囲の構造と接触して発塵するおそれがあるが、電磁石を用いることにより、磁力の強度、磁力を発生させるタイミング、磁極の向きを適宜制御し、インクカートリッジを制震することができる。 According to another aspect of the present invention, the step of lifting the ink cartridge from the ink cartridge conveying means, and the ink cartridge is transferred to a predetermined position in a droplet discharge device that discharges ink droplets and attached to the predetermined position. A step, wherein one of the ink cartridge and the transport means has an electromagnet, the other has a magnet, and in the lifting step, the magnetic force generated between the electromagnet and the magnet An ink cartridge mounting method for damping the ink cartridge is provided.
According to this configuration, the electromagnet is driven to generate a magnetic force with the magnet, and the ink cartridge can be damped by the generated magnetic force. That is, when the ink cartridge is attached to the droplet discharge device, the ink cartridge may shake during the operation of lifting the ink cartridge and may come into contact with the surrounding structure to generate dust. However, by using an electromagnet, the strength of the magnetic force, The ink cartridge can be controlled by properly controlling the timing of generating the magnetic field and the direction of the magnetic pole.

本発明の一態様においては、前記持ち上げる工程では、前記インクカートリッジを持ち上げるときに、前記電磁石との間で斥力を生じるように前記電磁石に磁力を発生させる方法としてもよい。
この構成によれば、インクカートリッジを持ち上げる際に持ち上げ動作を補助することができるため、スムーズに持ち上げることができ、インクカートリッジの揺れを抑えることが可能となる。 In one aspect of the present invention, the lifting step may be a method of generating a magnetic force in the electromagnet so as to generate a repulsive force with the electromagnet when the ink cartridge is lifted.
According to this configuration, since the lifting operation can be assisted when lifting the ink cartridge, it can be lifted smoothly and the shaking of the ink cartridge can be suppressed.

本発明の一態様においては、前記持ち上げる工程では、持ち上げた前記インクカートリッジの揺れを検知したときに、前記電磁石との間で引力を生じるように前記電磁石に磁力を発生させる方法としてもよい。
この構成によれば、インクカートリッジが揺れていたとしても、インクカートリッジは下方に引かれるため、揺れが低減する。 In one aspect of the present invention, the lifting step may be a method of generating a magnetic force in the electromagnet so as to generate an attractive force with the electromagnet when the shaking of the lifted ink cartridge is detected.
According to this configuration, even if the ink cartridge is shaken, the ink cartridge is pulled downward, so that the shake is reduced.

また、本発明の一態様は、インクカートリッジに貯留されたインクの液滴を吐出し前記インクの塗膜を成膜する液滴吐出装置と、上述のインク供給装置と、前記インク供給装置が搬送する前記インクカートリッジを保持し、前記液滴吐出装置における所定位置まで前記インクカートリッジを移送する移送手段と、前記液滴吐出装置において使用する前記インクカートリッジにおいて、貯留する前記インクの量が予め設定した閾値を下回ったときに、前記インク供給装置と前記移送手段とにより、前記液滴吐出装置において使用していた前記インクカートリッジと、前記インク供給装置において搬送する前記インクカートリッジとを交換するように、前記液滴吐出装置と前記インク供給装置と前記移送手段とを制御する制御手段と、を有する成膜システムを提供する。
この構成によれば、発塵を抑制し、高品質の成膜が可能な成膜システムを提供することができる。 According to one embodiment of the present invention, a droplet discharge device that discharges ink droplets stored in an ink cartridge to form a film of the ink, the above-described ink supply device, and the ink supply device carry Holding the ink cartridge and transferring the ink cartridge to a predetermined position in the droplet discharge device; and the amount of the ink stored in the ink cartridge used in the droplet discharge device is preset. When the ink supply device and the transfer means are used to replace the ink cartridge used in the droplet discharge device and the ink cartridge transported in the ink supply device when the threshold value is below A control unit that controls the droplet discharge device, the ink supply device, and the transfer unit. To provide a system.
According to this configuration, it is possible to provide a film forming system capable of suppressing dust generation and forming a high quality film.

本実施形態に係る成膜システムについて説明する模式図である。It is a schematic diagram explaining the film-forming system which concerns on this embodiment. 本実施形態に係るインク供給装置の説明図である。It is explanatory drawing of the ink supply apparatus which concerns on this embodiment. インクカートリッジ取付け方法について説明する説明図である。It is explanatory drawing explaining the ink cartridge attachment method. 本実施形態に係るインクカートリッジの変形例を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the modification of the ink cartridge which concerns on this embodiment.

以下、図を参照しながら、本実施形態に係るインク供給装置、インクカートリッジ、インクカートリッジ取付け方法および成膜システムについて説明する。なお、以下の全ての図面においては、図面を見やすくするため、各構成要素の寸法や比率などは適宜異ならせてある。   Hereinafter, an ink supply device, an ink cartridge, an ink cartridge mounting method, and a film forming system according to the present embodiment will be described with reference to the drawings. In all the drawings below, the dimensions and ratios of the constituent elements are appropriately changed in order to make the drawings easy to see.

図１は、本実施形態に係る成膜システムについて説明する模式図である。本実施形態に係る成膜システム１０００は、例えば、インクジェット方式により基板Ｐ上の所定位置に有機ＥＬ材料の液滴（インク）を吐出して有機ＥＬ層を形成し、有機ＥＬパネル（電子部品）を製造する際に用いられる。   FIG. 1 is a schematic diagram for explaining a film forming system according to the present embodiment. The film forming system 1000 according to this embodiment forms an organic EL layer by ejecting droplets (ink) of an organic EL material at a predetermined position on the substrate P by, for example, an inkjet method, and forms an organic EL panel (electronic component). Used when manufacturing.

図に示すように、本実施形態の成膜システム１０００は、液滴吐出装置１００、インク供給装置２００、ロボットアーム（移送手段）３００、制御部（制御手段）４００を有している。   As shown in the figure, a film forming system 1000 of this embodiment includes a droplet discharge device 100, an ink supply device 200, a robot arm (transfer means) 300, and a control unit (control means) 400.

液滴吐出装置１００は、ステージ１１０、ステージ移動装置１２０、キャリッジ１３０、キャリッジ移動装置１４０、インクカートリッジ１５０、チューブ１６０、架台１７０を有している。   The droplet discharge device 100 includes a stage 110, a stage moving device 120, a carriage 130, a carriage moving device 140, an ink cartridge 150, a tube 160, and a mount 170.

ステージ１１０は、上面に基板Ｐを載置し、載置した基板Ｐをキャリッジ１３０に対して相対的に移動させる。   The stage 110 places the substrate P on the upper surface and moves the placed substrate P relative to the carriage 130.

ステージ移動装置１２０は、ボールネジまたはリニアガイド等の軸受け機構を有し、一方向に帯状に延在した一対のレール１２１を備えている。ステージ移動装置１２０は、ステージ１１０をレール１２１の延在方向に移動させる。   The stage moving device 120 has a bearing mechanism such as a ball screw or a linear guide, and includes a pair of rails 121 extending in a strip shape in one direction. The stage moving device 120 moves the stage 110 in the extending direction of the rail 121.

キャリッジ１３０は、ステージ移動装置１２０により移動される基板Ｐに対向する下面に、複数の液滴吐出ヘッド（不図示）を保持している。液滴吐出ヘッドは、基板Ｐに対してインクの液滴Ｄを吐出する。   The carriage 130 holds a plurality of droplet discharge heads (not shown) on the lower surface facing the substrate P moved by the stage moving device 120. The droplet discharge head discharges ink droplets D onto the substrate P.

キャリッジ移動装置１４０は、一対のレール１２１両側に設けられた一対の橋脚１４１と、レール１２１の上方を跨ぐよう一対の橋脚１４１に掛け渡されたガイド１４２と、を有している。キャリッジ移動装置１４０は、キャリッジ１３０をガイド１４２に沿って、基板Ｐの搬送方向と交差する方向に移動可能に設けられている。また、キャリッジ移動装置１４０は、キャリッジ１３０を液滴Ｄの吐出方向に上下移動可能に設けられている。   The carriage moving device 140 includes a pair of bridge piers 141 provided on both sides of the pair of rails 121, and a guide 142 spanned between the pair of bridge piers 141 so as to straddle the upper side of the rail 121. The carriage moving device 140 is provided so as to be able to move the carriage 130 along the guide 142 in a direction intersecting the transport direction of the substrate P. The carriage moving device 140 is provided so that the carriage 130 can be moved up and down in the ejection direction of the droplets D.

インクカートリッジ１５０は、例えば赤色発光材料、緑色発光材料、青色発光材料など各々の材料を含むインクに対応して、インクの種類ごとに設けられている。インクカートリッジ１５０は、それぞれチューブ１６０を介して、キャリッジ１３０が備える液滴吐出ヘッドと接続されている。   The ink cartridge 150 is provided for each type of ink corresponding to ink containing each material such as red light emitting material, green light emitting material, and blue light emitting material. Each ink cartridge 150 is connected to a droplet discharge head provided in the carriage 130 via a tube 160.

架台１７０は、上面に複数のインクカートリッジ１５０を載置する載置台である。架台１７０上にインクカートリッジ１５０を載置し、キャリッジ１３０よりもインクカートリッジ１５０内の液面を高くしておくことで、インクの塗布時にインクカートリッジ１５０からインクを吸い出すための動力を抑制することができる。   The gantry 170 is a mounting table on which a plurality of ink cartridges 150 are mounted. By placing the ink cartridge 150 on the mount 170 and keeping the liquid level in the ink cartridge 150 higher than that of the carriage 130, the power for sucking out ink from the ink cartridge 150 during ink application can be suppressed. it can.

インク供給装置２００は、未使用のインクカートリッジ１５０と、インクカートリッジ１５０を搬送する台車（搬送手段）２００Ａとを有している。インク供給装置２００は、インクカートリッジ１５０の保管場所から未使用のインクカートリッジ１５０を液滴吐出装置１００の近傍まで搬送する。また、液滴吐出装置１００において使用した使用済みのインクカートリッジ１５０を載置し、適宜所定の保管場所に搬送する。   The ink supply device 200 includes an unused ink cartridge 150 and a carriage (conveying means) 200 </ b> A that conveys the ink cartridge 150. The ink supply device 200 conveys an unused ink cartridge 150 from the storage location of the ink cartridge 150 to the vicinity of the droplet discharge device 100. In addition, the used ink cartridge 150 used in the droplet discharge device 100 is placed and appropriately transported to a predetermined storage location.

インク供給装置２００の動作は、制御部４００から供給される制御信号に基づいて自動化されている。もちろん、搬送動作については、作業者が人の手で行ってもよい。インク供給装置２００の構成については、後に詳述する。   The operation of the ink supply device 200 is automated based on a control signal supplied from the control unit 400. Of course, the operator may perform the transfer operation manually. The configuration of the ink supply device 200 will be described in detail later.

ロボットアーム３００は、インクカートリッジ１５０を把持可能な把持部３１０と、把持部３１０が接続された多関節のアーム３２０と、アーム３２０が接続された基台３３０とを有している。アーム３２０は、円筒状の軸部３２１と、軸部３２１を連結する複数の関節部３２２とを有している。関節部３２２は、軸部３２１の延在方向に沿って設定された回転軸の回りを回転可能に設けられている。また、関節部３２２は、連結する２つの軸部３２１の開き角を変更可能となっている。   The robot arm 300 includes a grip portion 310 that can grip the ink cartridge 150, an articulated arm 320 to which the grip portion 310 is connected, and a base 330 to which the arm 320 is connected. The arm 320 includes a cylindrical shaft portion 321 and a plurality of joint portions 322 that connect the shaft portion 321. The joint part 322 is provided so as to be rotatable around a rotation axis set along the extending direction of the shaft part 321. The joint portion 322 can change the opening angle of the two shaft portions 321 to be connected.

このようなロボットアーム３００は、架台１７０上のインクカートリッジ１５０を持ち上げ台車２００Ａ上に載置する。また、インク供給装置２００が搬送する未使用のインクカートリッジ１５０を持ち上げ、架台１７０上の所定の位置にインクカートリッジ１５０を載置する。   Such a robot arm 300 lifts the ink cartridge 150 on the gantry 170 and places it on the carriage 200A. Further, the unused ink cartridge 150 transported by the ink supply device 200 is lifted, and the ink cartridge 150 is placed at a predetermined position on the mount 170.

制御部４００は、液滴吐出装置１００、インク供給装置２００およびロボットアーム３００の動作を制御する。制御部４００には、液滴吐出装置１００、インク供給装置２００およびロボットアーム３００に設けられたセンサーからの信号や、使用者の入力装置による指示が入力され、これらの入力信号に基づいて、各装置のそれぞれの動作、および各装置の連動した動作を制御する制御信号を、各装置に供給する。液滴吐出装置１００、インク供給装置２００およびロボットアーム３００においては、供給される制御信号に基づいて、インクの塗布、インクカートリッジの搬送、移送などの動作を行う。   The control unit 400 controls operations of the droplet discharge device 100, the ink supply device 200, and the robot arm 300. The control unit 400 receives signals from sensors provided in the droplet discharge device 100, the ink supply device 200, and the robot arm 300, and instructions from the user's input device. Based on these input signals, A control signal for controlling the operation of each device and the linked operation of each device is supplied to each device. The droplet discharge device 100, the ink supply device 200, and the robot arm 300 perform operations such as ink application, ink cartridge transport, and transfer based on the supplied control signal.

例えば、制御部４００は、液滴吐出装置１００において使用するインクカートリッジ１５０において、貯留するインクの内容量が予め設定した閾値を下回ったときに、液滴吐出装置１００、インク供給装置２００およびロボットアーム３００に、インクカートリッジ１５０交換の指示を出す。すなわち、液滴吐出装置１００において使用していたインクカートリッジ１５０と、インク供給装置２００において搬送するインクカートリッジ１５０とを交換するように、液滴吐出装置１００とインク供給装置２００とロボットアーム３００とを制御し、ロボットアーム３００でインクカートリッジ１５０を持ち上げて交換する。   For example, in the ink cartridge 150 used in the droplet discharge device 100, the control unit 400 detects the droplet discharge device 100, the ink supply device 200, and the robot arm when the volume of the stored ink falls below a preset threshold value. An instruction to replace the ink cartridge 150 is issued to 300. That is, the droplet discharge device 100, the ink supply device 200, and the robot arm 300 are exchanged so that the ink cartridge 150 used in the droplet discharge device 100 and the ink cartridge 150 conveyed in the ink supply device 200 are exchanged. The ink cartridge 150 is lifted and replaced by the robot arm 300.

図２は、本実施形態に係るインク供給装置２００の説明図である。図２（ａ）はインクカートリッジ１５０の説明図であり、図２（ｂ）は台車２００Ａの説明図である。   FIG. 2 is an explanatory diagram of the ink supply apparatus 200 according to the present embodiment. FIG. 2A is an explanatory diagram of the ink cartridge 150, and FIG. 2B is an explanatory diagram of the carriage 200A.

図２（ａ）に示すように、インクカートリッジ１５０は、筐体１５１と、筐体１５１内部の下方に配置された磁石（磁力発生手段）１５２と、筐体１５１の下面１５１ｘに設けられた複数（図では４つ）の凸部１５３と、を有している。   As shown in FIG. 2A, the ink cartridge 150 includes a housing 151, a magnet (magnetic force generating means) 152 disposed below the housing 151, and a plurality of ink cartridges 150 provided on the lower surface 151 x of the housing 151. (Four in the figure) convex portions 153.

ここで、「下方」「下面」との記載における「下」とは、インクカートリッジ１５０を台車２００Ａで搬送する時、およびインクカートリッジ１５０を液滴吐出装置１００に設置した時の重力方向下方のことを指す。   Here, “lower” in the descriptions of “downward” and “lower surface” means below in the gravity direction when the ink cartridge 150 is transported by the carriage 200A and when the ink cartridge 150 is installed in the droplet discharge device 100. Point to.

筐体１５１は、インクカートリッジ１５０の外形を規定する。図では、筐体１５１は、高さ方向に長い直方体状の形状を呈することとしている。筐体の形成材料は、ロボットアーム３００で無理なく把持可能であれば、金属材料であってもよく、樹脂材料であってもよい。   The casing 151 defines the outer shape of the ink cartridge 150. In the figure, the casing 151 has a rectangular parallelepiped shape that is long in the height direction. As long as the forming material of the housing can be easily gripped by the robot arm 300, it may be a metal material or a resin material.

筐体１５１内には、インクを貯留する空間である貯留部１５１ａが設けられている。貯留部１５１ａでは、インクを直接貯留することとしてもよく、ガスバリア性を有するフィルム材料で形成された袋状のインクバックにインクを収容し、当該インクバックを貯留部１５１ａに収容することとしてもよい。   A storage unit 151 a that is a space for storing ink is provided in the housing 151. In the storage unit 151a, the ink may be stored directly, the ink may be stored in a bag-like ink bag formed of a film material having gas barrier properties, and the ink bag may be stored in the storage unit 151a. .

磁石１５２は、貯留部１５１ａの下方に設けられている。磁石１５２は永久磁石であり、Ｎ極とＳ極とのいずれか一方の極が貯留部１５１ａに面し、他方の極が下面１５１ｘに面している。   The magnet 152 is provided below the storage part 151a. The magnet 152 is a permanent magnet, and one of the N and S poles faces the storage portion 151a, and the other pole faces the lower surface 151x.

凸部１５３は、下面１５１ｘの四隅に設けられた半球状の形状を呈する部分である。４つの凸部１５３は、下面１５１ｘから下方に同じ高さだけ突出している。これにより、インクカートリッジ１５０は、平らな床面等においても、ガタ付きなく安定に保管することができる。また、４つの凸部１５３は、それぞれ鉄など磁力に吸引される材料で形成されている。   The convex portions 153 are portions exhibiting a hemispherical shape provided at the four corners of the lower surface 151x. The four convex portions 153 protrude downward from the lower surface 151x by the same height. As a result, the ink cartridge 150 can be stably stored without play even on a flat floor surface. The four convex portions 153 are each formed of a material that is attracted by a magnetic force such as iron.

図２（ｂ）に示すように、台車２００Ａは、上面にインクカートリッジ１５０を載置する載置面２１０ａを有する載置部２１０と、載置面２１０ａに設けられ載置面２１０ａを複数（図では４つ）の区画２０１に分割するガイド２２０と、載置部２１０の下面（載置面２１０ａとは反対側の面）に設けられた車輪２３０と、を有している。   As shown in FIG. 2B, the carriage 200A has a placement portion 210 having a placement surface 210a on which the ink cartridge 150 is placed on the upper surface, and a plurality of placement surfaces 210a provided on the placement surface 210a (see FIG. 2B). , The guide 220 is divided into four sections 201, and the wheel 230 is provided on the lower surface of the mounting portion 210 (the surface opposite to the mounting surface 210a).

このような台車２００Ａは、４つの区画２０１にそれぞれ１対１でインクカートリッジ１５０を収容して搬送する。   Such a carriage 200 </ b> A accommodates and transports the ink cartridges 150 in four compartments 201 on a one-on-one basis.

載置部２１０は、平面視において４つの区画２０１それぞれの中央位置に、電磁石２１１を有している。また、載置面２１０ａには、４つの区画２０１のそれぞれに、４つの凹部２１２が設けられている。   The placement unit 210 has an electromagnet 211 at the center position of each of the four sections 201 in plan view. The mounting surface 210a is provided with four recesses 212 in each of the four sections 201.

電磁石２１１は、区画２０１にインクカートリッジ１５０を収容したときに、インクカートリッジ１５０が有する磁石１５２と対向する位置に設けられている。電磁石２１１には不図示の電流供給部が接続され、制御部４００からの入力信号に基づいて、載置面２１０ａ側にＮ極またはＳ極のいずれか一方の磁極が生じるように設けられている。   The electromagnet 211 is provided at a position facing the magnet 152 included in the ink cartridge 150 when the ink cartridge 150 is accommodated in the section 201. A current supply unit (not shown) is connected to the electromagnet 211, and is provided so that either the N pole or the S pole is generated on the mounting surface 210 a side based on an input signal from the control unit 400. .

凹部２１２は、区画２０１にインクカートリッジ１５０を収容したときに、インクカートリッジ１５０が有する凸部１５３と係合する位置に設けられた、平面視円形の椀型の窪みである。これにより、台車２００Ａは、載置されたインクカートリッジ１５０を安定に搬送することができる。   The concave portion 212 is a bowl-shaped depression having a circular shape in plan view, provided at a position where the concave portion 212 engages with the convex portion 153 of the ink cartridge 150 when the ink cartridge 150 is accommodated in the compartment 201. Accordingly, the carriage 200A can stably transport the placed ink cartridge 150.

また、凹部２１２には、永久磁石が設けられている。そのため、区画２０１にインクカートリッジ１５０を収容したときに、凹部２１２内の永久磁石は、インクカートリッジ１５０が有する凸部１５３を吸引し、インクカートリッジを固定する。これにより、台車２００Ａは、載置されたインクカートリッジ１５０を安定に搬送することができる。   The recess 212 is provided with a permanent magnet. Therefore, when the ink cartridge 150 is accommodated in the compartment 201, the permanent magnet in the recess 212 attracts the convex portion 153 of the ink cartridge 150 and fixes the ink cartridge. Accordingly, the carriage 200A can stably transport the placed ink cartridge 150.

なお、図では、凹部２１２が平面視円形の椀型の窪みであることとしたが、凸部１５３を収容可能であれば、凹部２１２の形状は他の形状であってもよい。   In the figure, the concave portion 212 is a bowl-shaped depression having a circular shape in plan view, but the concave portion 212 may have another shape as long as the convex portion 153 can be accommodated.

ガイド２２０は、載置面２１０ａに載置されたインクカートリッジ１５０の周囲を囲むように設けられる。ガイド２２０は、インクカートリッジ１５０の転倒を防止する機能を有する。図では、ガイド２２０が板状の部材であり、連続した構造として示したが、これに限らず、例えば、板状部材の代わりに複数のピンを枠状に立てるような不連続な構造であってもよい。   The guide 220 is provided so as to surround the periphery of the ink cartridge 150 placed on the placement surface 210a. The guide 220 has a function of preventing the ink cartridge 150 from overturning. In the figure, the guide 220 is a plate-like member and is shown as a continuous structure. However, the guide 220 is not limited to this, and for example, has a discontinuous structure in which a plurality of pins are raised in a frame shape instead of the plate-like member. May be.

車輪２３０は、不図示のモーターと接続されており、制御部４００の指示に基づいて台車２００Ａを移動させる。   The wheel 230 is connected to a motor (not shown), and moves the carriage 200 </ b> A based on an instruction from the control unit 400.

本実施形態において、インクカートリッジ１５０が有する磁石１５２は、本発明における第１被吸引部に該当する。また、台車２００Ａが有する電磁石は、本発明における第１磁力発生手段に該当する。   In the present embodiment, the magnet 152 included in the ink cartridge 150 corresponds to the first attracted portion in the present invention. Further, the electromagnet included in the carriage 200A corresponds to the first magnetic force generation means in the present invention.

また、本実施形態において、凹部２１２に設けられた永久磁石は、本発明における第２磁力発生手段に該当し、磁力に吸引される材料で形成された凸部１５３は、本発明における第２被吸引部に該当する。
本実施形態の成膜システム１０００、インクカートリッジ１５０およびインク供給装置２００は、以上のような構成となっている。 In the present embodiment, the permanent magnet provided in the concave portion 212 corresponds to the second magnetic force generating means in the present invention, and the convex portion 153 formed of a material attracted by the magnetic force is the second covered member in the present invention. Corresponds to the suction part.
The film forming system 1000, the ink cartridge 150, and the ink supply device 200 of the present embodiment are configured as described above.

図３は、上述のインク供給装置２００を用いたインクカートリッジ取付け方法について説明する説明図であり、図１の線分III−IIIにおける矢視断面図である。   FIG. 3 is an explanatory diagram for explaining an ink cartridge mounting method using the ink supply device 200 described above, and is a cross-sectional view taken along line III-III in FIG.

本実施形態のインクカートリッジ取付け方法は、インク供給装置２００を用いて搬送したインクカートリッジを、ロボットアーム３００を用いて持ち上げ（持ち上げる工程）、インクカートリッジ１５０を液滴吐出装置１００の架台（所定位置）１０７に取り付ける（取り付ける工程）を有する。   In the ink cartridge mounting method of the present embodiment, the ink cartridge transported using the ink supply device 200 is lifted (lifted) using the robot arm 300, and the ink cartridge 150 is mounted on the platform (predetermined position) of the droplet discharge device 100. 107 (attaching step).

まず、インク供給装置２００を用いて、不図示の保管場所からインクカートリッジ１５０をロボットアーム３００の近傍にまで搬送する。インクカートリッジ１５０の搬送中には、インクカートリッジ１５０の磁石１５２と台車２００Ａの電磁石２１１との間に引力を生じるように電磁石２１１に磁力を発生させていてもよい。これにより、インクカートリッジ１５０を下方に引き寄せ、搬送中の転倒を防止することができる。   First, the ink supply device 200 is used to transport the ink cartridge 150 from a storage location (not shown) to the vicinity of the robot arm 300. During the conveyance of the ink cartridge 150, a magnetic force may be generated in the electromagnet 211 so as to generate an attractive force between the magnet 152 of the ink cartridge 150 and the electromagnet 211 of the carriage 200A. As a result, the ink cartridge 150 can be drawn downward to prevent the cartridge from falling during conveyance.

次いで、ロボットアーム３００を用いて、インクカートリッジ１５０を持ち上げる。この際、インクカートリッジ１５０に設けられた磁石１５２と、台車２００Ａに設けられた電磁石２１１とは、インクカートリッジ１５０を持ち上げる際の制震手段として用いることができる。   Next, the ink cartridge 150 is lifted using the robot arm 300. At this time, the magnet 152 provided in the ink cartridge 150 and the electromagnet 211 provided in the carriage 200 </ b> A can be used as vibration control means when lifting the ink cartridge 150.

図３（ａ）は、インクカートリッジ１５０を持ち上げるときの揺れを抑える制御方法について示す図である。図に示すように、インク供給装置２００がインクカートリッジ１５０を所定の位置まで搬送すると、ロボットアーム３００が動作し、把持部３１０でインクカートリッジ１５０の上方側面を把持する。このとき、インクカートリッジ１５０の凸部１５３は、台車２００Ａの凹部２１２に係合し、凹部２１２に設けられた永久磁石が凸部１５３を磁力で吸引している。図では、磁力を符号Ｆ１で示している。   FIG. 3A is a diagram illustrating a control method for suppressing shaking when the ink cartridge 150 is lifted. As shown in the drawing, when the ink supply device 200 transports the ink cartridge 150 to a predetermined position, the robot arm 300 operates and the grip portion 310 grips the upper side surface of the ink cartridge 150. At this time, the convex portion 153 of the ink cartridge 150 is engaged with the concave portion 212 of the carriage 200 </ b> A, and the permanent magnet provided in the concave portion 212 attracts the convex portion 153 with a magnetic force. In the figure, the magnetic force is indicated by a symbol F1.

ロボットアーム３００は、インクカートリッジ１５０に加わる重力Ｇと磁力Ｆ１との合力を超える力Ｆをインクカートリッジ１５０に加えることで、インクカートリッジ１５０を持ち上げることが可能である。本実施形態のインク供給装置２００においては、インクカートリッジ１５０を持ち上げる時に、電磁石２１１と磁石１５２との間に斥力Ｆ２を生じるように電磁石２１１に磁力を発生させる。これにより、ロボットアーム３００の補助をすることができ、インクカートリッジ１５０をスムーズに持ち上げることができ、インクカートリッジ１５０の揺れを抑えることが可能となる。   The robot arm 300 can lift the ink cartridge 150 by applying a force F exceeding the resultant force of the gravity G and the magnetic force F <b> 1 applied to the ink cartridge 150 to the ink cartridge 150. In the ink supply apparatus 200 of the present embodiment, when the ink cartridge 150 is lifted, a magnetic force is generated in the electromagnet 211 so as to generate a repulsive force F <b> 2 between the electromagnet 211 and the magnet 152. Thereby, the robot arm 300 can be assisted, the ink cartridge 150 can be lifted smoothly, and the shaking of the ink cartridge 150 can be suppressed.

斥力Ｆ２の強さは、適宜設定することができる。例えば、磁力Ｆ１を相殺する程度の強度としてもよく、磁力Ｆ１よりも大きい強度としてもよい。また、ロボットアーム３００でインクカートリッジ１５０を持ち上げるまでの間、一定の強度の斥力Ｆ２を発生させてもよく、持ち上げ動作の開始時からインクカートリッジ１５０が浮き上がるまで斥力Ｆ２を漸減させてもよい。   The strength of the repulsive force F2 can be set as appropriate. For example, it is good also as intensity | strength of the grade which cancels out magnetic force F1, and good also as intensity | strength larger than magnetic force F1. Further, the repulsive force F2 having a constant strength may be generated until the ink cartridge 150 is lifted by the robot arm 300, or the repulsive force F2 may be gradually decreased from the start of the lifting operation until the ink cartridge 150 is lifted.

図３（ｂ）は、インクカートリッジ１５０を持ち上げる後に揺れを低減させる制御方法について示す図である。図に示すように、持ち上げたインクカートリッジ１５０が揺れてしまった場合（揺れたインクカートリッジ１５０を二点鎖線で示す）、電磁石２１１と磁石１５２との間に引力Ｆ３を生じるように電磁石２１１に磁力を発生させる。これにより、インクカートリッジ１５０は下方に引かれ、揺れが低減する。   FIG. 3B is a diagram illustrating a control method for reducing shaking after the ink cartridge 150 is lifted. As shown in the figure, when the lifted ink cartridge 150 is shaken (the shaken ink cartridge 150 is indicated by a two-dot chain line), a magnetic force is applied to the electromagnet 211 so as to generate an attractive force F3 between the electromagnet 211 and the magnet 152. Is generated. As a result, the ink cartridge 150 is pulled downward, and shaking is reduced.

電磁石２１１は、インクカートリッジ１５０の揺れを検知した時に引力Ｆ３を生じるように動作させる。インクカートリッジ１５０の揺れは、通常知られた方法により検知することができる。例えば、ロボットアーム３００に取り付けられたカメラなどの光学的なセンサーにより揺れを検出することとしてもよく、把持部３１０に設けられた加速度センサーにより把持部３１０の揺れを検知し、間接的にインクカートリッジ１５０の揺れを検出することとしてもよい。制御部４００は、検知した揺れに基づいて電磁石２１１を動作させる制御信号を供給する。   The electromagnet 211 is operated so as to generate the attractive force F3 when the shaking of the ink cartridge 150 is detected. The shaking of the ink cartridge 150 can be detected by a generally known method. For example, the shaking may be detected by an optical sensor such as a camera attached to the robot arm 300, and the shaking of the gripping portion 310 is detected by an acceleration sensor provided in the gripping portion 310, and the ink cartridge is indirectly detected. It is good also as detecting 150 shaking. The control unit 400 supplies a control signal for operating the electromagnet 211 based on the detected shaking.

引力Ｆ３の強さは、適宜設定することができる。例えば、検知するインクカートリッジ１５０の揺れが収まるまで一定強度の引力Ｆ３を発生させてもよく、揺れが収まるまでの間に引力Ｆ３を漸減させてもよい。   The strength of the attractive force F3 can be set as appropriate. For example, the attractive force F3 having a constant strength may be generated until the shaking of the ink cartridge 150 to be detected is settled, or the attractive force F3 may be gradually decreased until the shake is settled.

その後、ロボットアーム３００は、持ち上げたインクカートリッジ１５０を液滴吐出装置１００の架台１７０に配置する。架台１７０には、インクカートリッジ１５０の凸部１５３が係合する凹部が設けられていてもよい。   Thereafter, the robot arm 300 places the lifted ink cartridge 150 on the mount 170 of the droplet discharge device 100. The gantry 170 may be provided with a concave portion with which the convex portion 153 of the ink cartridge 150 is engaged.

なお、上記図３（ａ）の制御と図３（ｂ）の制御は、それぞれ一方のみ行ってもよく、インクカートリッジ１５０を持ち上げ始めてから、持ち上げたインクカートリッジ１５０の揺れが収まるまでの連続した制御して両方を行ってもよい。
本実施形態のインクカートリッジ取付け方法は、以上のような構成となっている。 Note that only one of the control in FIG. 3A and the control in FIG. 3B may be performed, and continuous control from when the ink cartridge 150 starts to be lifted until the shaking of the lifted ink cartridge 150 is settled. You may do both.
The ink cartridge mounting method of this embodiment is configured as described above.

以上のような構成のインク供給装置２００によれば、電磁石２１１によって発生する磁力で、搬送中のインクカートリッジ１５０の転倒を防止することができる。そのため、転倒防止のために設けているガイド２２０を減らす、またはガイド２２０をなくすことも可能となる。   According to the ink supply device 200 having the above-described configuration, the magnetic cartridge generated by the electromagnet 211 can prevent the ink cartridge 150 from being overturned. For this reason, it is possible to reduce the number of guides 220 provided for preventing overturning or to eliminate the guides 220.

また、インク供給装置２００において、磁石１５２と電磁石２１１との間に生じる斥力により、インクカートリッジ１５０を持ち上げる動作を補助し、スムーズな持ち上げ動作を実現することができる。これにより、インクカートリッジ１５０を持ち上げる際の揺れを抑制し、インクカートリッジ１５０とガイド２２０との衝突・擦れによる発塵を抑制することができる。   Further, in the ink supply device 200, the repulsive force generated between the magnet 152 and the electromagnet 211 can assist the operation of lifting the ink cartridge 150, and a smooth lifting operation can be realized. Thereby, it is possible to suppress shaking when the ink cartridge 150 is lifted, and to suppress dust generation due to collision and rubbing between the ink cartridge 150 and the guide 220.

さらに、インク供給装置２００において、磁石１５２と電磁石２１１との間に生じる引力により、インクカートリッジ１５０を持ち上げた後のインクカートリッジ１５０の揺れを抑制し、インクカートリッジ１５０とガイド２２０との衝突・擦れによる発塵を抑制することができる。   Further, in the ink supply device 200, the attractive force generated between the magnet 152 and the electromagnet 211 suppresses the shaking of the ink cartridge 150 after the ink cartridge 150 is lifted, and the ink cartridge 150 and the guide 220 are caused to collide and rub. Dust generation can be suppressed.

以上により、本実施形態のインク供給装置２００によれば、発塵を抑制することが可能となる。   As described above, according to the ink supply device 200 of the present embodiment, it is possible to suppress dust generation.

また、本実施形態のインクカートリッジ１５０によれば、発塵を抑制することが可能となる。   Further, according to the ink cartridge 150 of the present embodiment, dust generation can be suppressed.

また、本実施形態の成膜システム１０００によれば、発塵を抑制し、高品質の成膜が可能となる。   Moreover, according to the film forming system 1000 of the present embodiment, dust generation is suppressed and high quality film formation is possible.

なお、本実施形態においては、第１磁力発生手段が電磁石２１１であることとしたが、第１磁力発生手段が永久磁石であってもよい。また、第１被吸引部が磁石１５２であることとしたが、第１被吸引部が第１磁力発生手段から発生する磁力に吸引される磁石または鉄などの金属材料であることとしてもよい。このような構成であっても、搬送中のインクカートリッジ１５０の転倒を抑制することができ、発塵を抑制することができる。これらの採用可能な構成は、適宜組み合わせて採用することができる。   In the present embodiment, the first magnetic force generation means is the electromagnet 211, but the first magnetic force generation means may be a permanent magnet. In addition, the first attracted portion is the magnet 152, but the first attracted portion may be a magnet attracted by the magnetic force generated from the first magnetic force generating means or a metal material such as iron. Even with such a configuration, the ink cartridge 150 being transported can be prevented from overturning, and dust generation can be suppressed. These adoptable configurations can be used in appropriate combination.

第１被吸引部が、永久磁石や磁力に吸引される材料で形成され、台車２００Ａに設けられる場合、第１被吸引部は区画２０１ごとに設けられることなく、隣り合う区画２０１にまたがって形成されていてもよい。   When the first attracted part is formed of a permanent magnet or a material attracted by a magnetic force and is provided in the carriage 200A, the first attracted part is not provided for each of the partitions 201 and is formed across the adjacent partitions 201. May be.

また、本実施形態においては、第１磁力発生手段が台車２００Ａに設けられ、第１被吸引部がインクカートリッジ１５０に設けられることとしたが、これは逆でもよい。インクカートリッジ１５０に第１磁力発生手段として電磁石を設ける場合、インクカートリッジ１５０にはバッテリーを搭載することが望ましく、また、電磁石を操作するための通信手段や操作手段を有することが望ましい。   In the present embodiment, the first magnetic force generating means is provided in the carriage 200A and the first suction target is provided in the ink cartridge 150, but this may be reversed. When the ink cartridge 150 is provided with an electromagnet as the first magnetic force generating means, the ink cartridge 150 is preferably equipped with a battery, and preferably has a communication means and an operating means for operating the electromagnet.

また、本実施形態においては、凸部１５３および凸部１５３に係合する凹部２１２を設けることとしたが、これらはなくてもよい。凸部１５３および凹部２１２を設けない場合であっても、台車２００Ａにインクカートリッジ１５０を磁力で吸引するための構成として、例えば凸部１５３および凹部２１２と同じ位置に永久磁石（第２磁力発生手段）と、永久磁石や鉄など磁力に吸引される材料で形成される部材（第２被吸引部）を設けてもよい。   Moreover, in this embodiment, although the convex part 153 and the recessed part 212 engaged with the convex part 153 were provided, these may not be provided. Even when the convex portion 153 and the concave portion 212 are not provided, as a configuration for attracting the ink cartridge 150 to the carriage 200A with a magnetic force, for example, a permanent magnet (second magnetic force generating means) is provided at the same position as the convex portion 153 and the concave portion 212. ) And a member (second attracted part) formed of a material attracted by a magnetic force such as a permanent magnet or iron.

また、本実施形態においては、凹部２１２に設けられた第２磁力発生手段が永久磁石であることとしたが、第１磁力発生手段は電磁石であっても機能する。まだ凸部１５３は、鉄など磁力に吸引される材料で形成されることとしたが、永久磁石や電磁石であっても機能する。   In the present embodiment, the second magnetic force generation means provided in the recess 212 is a permanent magnet. However, the first magnetic force generation means functions even if it is an electromagnet. The convex portion 153 is still formed of a material that is attracted by a magnetic force such as iron, but functions even if it is a permanent magnet or an electromagnet.

また、本実施形態においては、インクカートリッジ１５０に凸部１５３を設け、台車２００Ａに凹部２１２を設けることとしたが、互いに係合する位置に設けられて入れば、インクカートリッジ１５０が凹部を有し、台車２００Ａが凸部を有することとしてもよい。インクカートリッジ１５０が凹部を有する構成では、凹部の位置や形成位置によらず、平らな床面等において、ガタ付きなく安定に保管することができる。   In the present embodiment, the convex portion 153 is provided in the ink cartridge 150 and the concave portion 212 is provided in the carriage 200A. However, if the ink cartridge 150 is provided at a position where it is engaged with each other, the ink cartridge 150 has a concave portion. The carriage 200A may have a convex portion. With the configuration in which the ink cartridge 150 has a recess, the ink cartridge 150 can be stably stored without play on a flat floor surface or the like regardless of the position or formation position of the recess.

また、本実施形態においては、インクカートリッジ１５０は、貯留部１５１ａを有する筐体１５１が磁石１５２と凸部１５３とを有することとして示したが、これに限らない。   Further, in the present embodiment, the ink cartridge 150 is shown as having the casing 151 having the storage portion 151 a having the magnet 152 and the convex portion 153, but is not limited thereto.

図４は、インクカートリッジの変形例を示す説明図であり、図２（ａ）に対応する図である。   FIG. 4 is an explanatory diagram showing a modified example of the ink cartridge, and corresponds to FIG.

図４（ａ）に示すように、変形例のインクカートリッジ１５５は、容器１５６と、容器１５６が載置される載置台１５７と、を有している。   As shown in FIG. 4A, the ink cartridge 155 according to the modification includes a container 156 and a mounting table 157 on which the container 156 is mounted.

容器１５６は、インクを貯留する貯留部１５６ａを有している。容器１５６としては、例えば従来用いられていたインクカートリッジを流用することが可能である。   The container 156 has a storage unit 156a that stores ink. For example, a conventionally used ink cartridge can be used as the container 156.

載置台１５７は、磁石（磁力発生手段）１５８を有し、下面に４つの凸部１５９を有している。磁石１５８は、上述の磁石１５２に対応し、凸部１５９は、上述の凸部１５３に対応する構成であり、同様の構成を採用することができる。   The mounting table 157 has a magnet (magnetic force generating means) 158 and has four convex portions 159 on the lower surface. The magnet 158 corresponds to the magnet 152 described above, and the convex portion 159 corresponds to the above-described convex portion 153, and a similar configuration can be adopted.

このような載置台１５７には、上面の載置面１５７ａに容器１５６を載置し（図４（ａ））、容器１５６と載置台１５７とを一体に固定する。これにより、貯留部１５６ａと、貯留部１５６ａの下方に設けられた磁力発生手段である磁石１５８を有するインクカートリッジ１５５として用いることができる（図４（ｂ））。   In such a mounting table 157, the container 156 is mounted on the mounting surface 157a on the upper surface (FIG. 4A), and the container 156 and the mounting table 157 are fixed integrally. Thereby, it can be used as an ink cartridge 155 having a reservoir 156a and a magnet 158 which is a magnetic force generating means provided below the reservoir 156a (FIG. 4B).

このような構成のインクカートリッジ１５５においては、汎用のインクカートリッジを容器１５６として用いることで、従来のインクカートリッジを用いても発塵を抑制することが可能となる。   In the ink cartridge 155 having such a configuration, by using a general-purpose ink cartridge as the container 156, dust generation can be suppressed even when a conventional ink cartridge is used.

以上、添付図面を参照しながら本発明に係る好適な実施の形態例について説明したが、本発明は係る例に限定されないことは言うまでもない。上述した例において示した各構成部材の諸形状や組み合わせ等は一例であって、本発明の主旨から逸脱しない範囲において設計要求等に基づき種々変更可能である。   The preferred embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, but it goes without saying that the present invention is not limited to such examples. Various shapes, combinations, and the like of the constituent members shown in the above-described examples are examples, and various modifications can be made based on design requirements and the like without departing from the gist of the present invention.

例えば、本実施形態においては、成膜システム１０００を用いて有機ＥＬパネルを製造することとしたが、これに限らず、例えばカラーフィルター（電子部品）も製造することができる。   For example, in the present embodiment, the organic EL panel is manufactured using the film forming system 1000. However, the present invention is not limited thereto, and for example, a color filter (electronic component) can also be manufactured.

１００…液滴吐出装置、１５０，１５５…インクカートリッジ、１５１ａ，１５６ａ…貯留部、１５２，１５８…磁石（磁力発生手段）、１５３，１５９…凸部、１５６…容器、１５７…載置台、１７０…架台（所定位置）、２１０ａ…載置面、２００…インク供給装置、２００Ａ…台車（搬送手段）、２１１…電磁石、２１２…凹部、３００…ロボットアーム（移送手段）、４００…制御部（制御手段）、１０００…成膜システム、Ｄ…液滴、Ｆ…力、Ｐ…基板、Ｆ２…斥力、Ｆ３…引力   DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ... Droplet discharge apparatus, 150, 155 ... Ink cartridge, 151a, 156a ... Storage part, 152, 158 ... Magnet (magnetic force generation means), 153, 159 ... Convex part, 156 ... Container, 157 ... Mounting table, 170 ... Base (predetermined position), 210a ... mounting surface, 200 ... ink supply device, 200A ... cart (conveying means), 211 ... electromagnet, 212 ... concave, 300 ... robot arm (transfer means), 400 ... control unit (control means) ), 1000 ... Film formation system, D ... Droplet, F ... Force, P ... Substrate, F2 ... Repulsive force, F3 ... Attraction

Claims (13)

インクの液滴を吐出する液滴吐出装置に対し、前記インクが貯留された未使用のインクカートリッジを搬送して前記インクを供給するインク供給装置であって、
前記インクカートリッジと、
前記インクカートリッジを搬送する搬送手段と、を有し、
前記インクカートリッジおよび前記搬送手段のいずれか一方は第１磁力発生手段を有し、他方は前記第１磁力発生手段から発生する磁力に吸引される第１被吸引部を有するインク供給装置。 An ink supply device that transports an unused ink cartridge in which the ink is stored and supplies the ink to a droplet discharge device that discharges ink droplets,
The ink cartridge;
Transport means for transporting the ink cartridge,
One of the ink cartridge and the transport means has a first magnetic force generating means, and the other has an ink supply device having a first sucked portion that is attracted by the magnetic force generated from the first magnetic force generating means. 前記第１磁力発生手段が電磁石である請求項１に記載のインク供給装置。   The ink supply device according to claim 1, wherein the first magnetic force generation unit is an electromagnet. 前記第１被吸引部が永久磁石である請求項１または２に記載のインク供給装置。   The ink supply device according to claim 1, wherein the first attracted portion is a permanent magnet. 前記インクカートリッジおよび前記搬送手段の少なくとも一方は、永久磁石を含む第２磁力発生手段を有し、他方は前記第２磁力発生手段から発生する磁力に吸引される第２被吸引部を有する請求項１から３のいずれか１項に記載のインク供給装置。   The at least one of the ink cartridge and the transport unit includes a second magnetic force generation unit including a permanent magnet, and the other includes a second attracted portion that is attracted by a magnetic force generated from the second magnetic force generation unit. The ink supply device according to any one of 1 to 3. 前記インクカートリッジおよび前記搬送手段の載置面のいずれか一方に凹部が設けられ、他方に前記凹部と係合する凸部が設けられている請求項１から４のいずれか１項に記載のインク供給装置。   The ink according to any one of claims 1 to 4, wherein a concave portion is provided on one of the placement surfaces of the ink cartridge and the transport unit, and a convex portion that engages with the concave portion is provided on the other. Feeding device. 前記凹部および前記凸部のいずれか一方は、永久磁石を含む第２磁力発生手段を有し、他方は前記第２磁力発生手段から発生する磁力に吸引される第２被吸引部である請求項５に記載のインク供給装置。   One of the concave portion and the convex portion has a second magnetic force generating means including a permanent magnet, and the other is a second attracted portion attracted by a magnetic force generated from the second magnetic force generating means. The ink supply device according to 5. 前記インクカートリッジは、前記インクを貯留する貯留部を有する容器と、前記容器の下方に設けられ前記第１磁力発生手段を有する載置台と、を含む請求項１から６のいずれか１項に記載のインク供給装置。   The said ink cartridge contains the container which has the storage part which stores the said ink, and the mounting base provided in the downward direction of the said container and having the said 1st magnetic force generation means. Ink supply device. 基板に対してインクの液滴を吐出し電子部品を製造する液滴吐出装置において交換可能に設けられ、前記インクを貯留するインクカートリッジであって、
前記インクを貯留する貯留部と、
前記貯留部の下方に設けられた磁力発生手段と、を有するインクカートリッジ。 An ink cartridge that is provided in a droplet discharge device that discharges ink droplets to a substrate and that can be replaced in a droplet discharge device that manufactures electronic components, and stores the ink,
A reservoir for storing the ink;
An ink cartridge having magnetic force generating means provided below the reservoir. 前記貯留部を有する容器と、
前記磁力発生手段を有し、前記容器が載置される載置台と、を有する請求項８に記載のインクカートリッジ。 A container having the storage part;
The ink cartridge according to claim 8, further comprising: a mounting table having the magnetic force generation unit on which the container is mounted. インクカートリッジの搬送手段からインクカートリッジを持ち上げる工程と、
前記インクカートリッジを、インクの液滴を吐出する液滴吐出装置における所定位置まで移送し、前記所定位置に取り付ける工程と、を有し、
前記インクカートリッジおよび前記搬送手段のいずれか一方が電磁石を有し、他方が磁石を有しており、
前記持ち上げる工程では、前記電磁石と前記磁石との間で生じる磁力により前記インクカートリッジを制震するインクカートリッジ取付け方法。 Lifting the ink cartridge from the ink cartridge transport means;
Transferring the ink cartridge to a predetermined position in a droplet discharge device that discharges ink droplets, and attaching the ink cartridge to the predetermined position.
One of the ink cartridge and the transport means has an electromagnet, the other has a magnet,
An ink cartridge mounting method for controlling the ink cartridge by a magnetic force generated between the electromagnet and the magnet in the lifting step. 前記持ち上げる工程では、前記インクカートリッジを持ち上げるときに、前記電磁石との間で斥力を生じるように前記電磁石に磁力を発生させる請求項１０に記載のインクカートリッジ取付け方法。   The ink cartridge mounting method according to claim 10, wherein in the lifting step, when the ink cartridge is lifted, a magnetic force is generated in the electromagnet so as to generate a repulsive force with the electromagnet. 前記持ち上げる工程では、持ち上げた前記インクカートリッジの揺れを検知したときに、前記電磁石との間で引力を生じるように前記電磁石に磁力を発生させる請求項１０または１１に記載のインクカートリッジ取付け方法。   The ink cartridge mounting method according to claim 10 or 11, wherein in the lifting step, a magnetic force is generated in the electromagnet so as to generate an attractive force with the electromagnet when the shaking of the lifted ink cartridge is detected. インクカートリッジに貯留されたインクの液滴を吐出し前記インクの塗膜を成膜する液滴吐出装置と、
請求項１から７のいずれか１項のインク供給装置と、
前記インク供給装置が搬送する前記インクカートリッジを保持し、前記液滴吐出装置における所定位置まで前記インクカートリッジを移送する移送手段と、
前記液滴吐出装置において使用する前記インクカートリッジにおいて、貯留する前記インクの量が予め設定した閾値を下回ったときに、前記インク供給装置と前記移送手段とにより、前記液滴吐出装置において使用していた前記インクカートリッジと、前記インク供給装置において搬送する前記インクカートリッジとを交換するように、前記液滴吐出装置と前記インク供給装置と前記移送手段とを制御する制御手段と、を有する成膜システム。 A droplet discharge device that discharges ink droplets stored in an ink cartridge and forms a film of the ink; and
An ink supply device according to any one of claims 1 to 7,
Transfer means for holding the ink cartridge transported by the ink supply device and transporting the ink cartridge to a predetermined position in the droplet discharge device;
In the ink cartridge used in the droplet discharge device, the ink supply device and the transfer means are used in the droplet discharge device when the amount of the stored ink falls below a preset threshold value. And a control unit that controls the droplet discharge device, the ink supply device, and the transfer unit so that the ink cartridge and the ink cartridge transported in the ink supply device are exchanged. .
JP2014065737A 2014-03-27 2014-03-27 Ink supply device, ink cartridge, ink cartridge mounting method, and deposition system Pending JP2015188768A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014065737A JP2015188768A (en) 2014-03-27 2014-03-27 Ink supply device, ink cartridge, ink cartridge mounting method, and deposition system

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014065737A JP2015188768A (en) 2014-03-27 2014-03-27 Ink supply device, ink cartridge, ink cartridge mounting method, and deposition system

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2015188768A true JP2015188768A (en) 2015-11-02

Family

ID=54423774

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014065737A Pending JP2015188768A (en) 2014-03-27 2014-03-27 Ink supply device, ink cartridge, ink cartridge mounting method, and deposition system

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2015188768A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110421969A (en) * 2018-09-19 2019-11-08 广东聚华印刷显示技术有限公司 Fill ink element carrier and its control method, device and computer equipment

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110421969A (en) * 2018-09-19 2019-11-08 广东聚华印刷显示技术有限公司 Fill ink element carrier and its control method, device and computer equipment

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11338568B2 (en) Storage device and printing system
JP2013056466A (en) Modeling apparatus, powder removing apparatus, modeling system, and method of manufacturing model
KR101374665B1 (en) Mask supplying system
JP6105608B2 (en) Board work machine
JP2007244973A (en) Liquid droplet spraying apparatus, and method of manufacturing coated body
JPWO2015033399A1 (en) Board work equipment
JP2016215096A (en) Ink drying preventing device
JP2010089835A (en) Storing container for substrate
JP2015188768A (en) Ink supply device, ink cartridge, ink cartridge mounting method, and deposition system
JP2009274377A (en) Droplet discharging head supporting stand, droplet discharging unit, droplet discharging device and droplet discharging head
JP6372085B2 (en) Liquid ejector
JP2015142104A (en) Purge device, purge stocker, and container
JP5365585B2 (en) Droplet ejector
JP4032942B2 (en) Discharge functional liquid weight measurement device, droplet discharge device including the same, electro-optical device, method of manufacturing electro-optical device, and electronic apparatus
JP2019119136A (en) Inkjet recording device
JP2017185674A (en) Printing device
JP2010158807A (en) Liquid drop ejection head and liquid drop ejector
JP6760357B2 (en) Recording device, suction mechanism, and control method of suction part in recording device
JP2010027765A (en) Ball loading apparatus
CN218486434U (en) Viscose spraying equipment
JP6454976B2 (en) Recording device
JP5131402B1 (en) Component conveying device and component conveying method
TWI541076B (en) Coating apparatus and coating method
JP5655753B2 (en) Inkjet recording device
WO2023286231A1 (en) Viscous fluid feeding apparatus