JP2015169642A - 欠陥分類装置及びそのメンテナンス方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】分類欠陥装置は、検査対象を撮像して得られた画像の特徴量に基づいて当該検査対象の欠陥候補が属するクラスを判別するための統計モデルを用いて、前記検査対象の欠陥候補を各クラスに分類する。そして、欠陥分類装置は、基準となる期間において得られた複数の画像中の検査対象の欠陥候補についての分類手段による分類結果と、当該基準となる期間以降の評価期間において得られた複数の画像中の検査対象の欠陥候補についての前記分類手段による分類結果とに基づいて、当該評価期間における前記統計モデルの適否を示す分類結果データを生成しS14、これを表示するS15。
【選択図】図2
Description
図1は、欠陥分類装置1の構成を示すブロック図である。欠陥分類装置1は、コンピュータ1aによって実現される。図1に示すように、コンピュータ1aは、本体11と、画像表示部12と、入力部13とを備えている。本体11は、CPU11a、ROM11b、RAM11c、ハードディスク11d、入出力インタフェース11e、及び画像出力インタフェース11fを備えており、これらのCPU11a、ROM11b、RAM11c、ハードディスク11d、入出力インタフェース11e、及び画像出力インタフェース11fは、バス11gによって接続されている。
Logit=β0+β1X1+β2X2+・・・+βnXn … 式(1)
ここで、βは回帰係数を、Xは説明変数をそれぞれ示している。
上述したように構成された欠陥分類装置1は、上述した式(1)及び(2)に基づくロジスティック回帰分析にしたがって、欠陥候補の分類を実行し、良品/不良品の判別を実施する。その後、欠陥分類装置1のメンテナンスの際に、その時点で使用している統計モデルの適否を判定するための統計モデル適否判定処理を実行する。
上述した実施の形態では、レーダーチャートを用いて分類結果データを示しているが、その他の形式のグラフにより示してもよい。また、基準期間における欠陥発生確率の分布と評価期間における欠陥発生確率の分布との差を数値で表す等の手法によってもよい。なお、この差は、Logitで求めてもよく、Logitで算出する前の画像の各特徴量の計算値をベクトル化し、そのベクトルの分布の差として求めてもよい。この場合のベクトルの差は、例えば相関係数又はマハラノビス距離等を用いて計算することができる。
1a コンピュータ
11 本体
11a CPU
11b ROM
11c RAM
11d ハードディスク
11e 入出力インタフェース
11f 画像出力インタフェース
11g バス
12 画像表示部
13 入力部
14 コンピュータプログラム
101 画像データベース
Claims (6)
- 検査対象を撮像して得られた画像の特徴量に基づいて当該検査対象の欠陥候補が属するクラスを判別するための統計モデルを用いて、前記検査対象の欠陥候補を各クラスに分類する分類手段と、
基準となる期間において得られた複数の画像中の検査対象の欠陥候補についての前記分類手段による分類結果と、当該基準となる期間以降の評価期間において得られた複数の画像中の検査対象の欠陥候補についての前記分類手段による分類結果とに基づいて、当該評価期間における前記統計モデルの適否を示す適否情報を生成する生成手段と、
前記生成手段により生成された適否情報を出力する出力手段と
を備える、欠陥分類装置。 - 前記生成手段が、基準となる期間において得られた複数の画像中の検査対象の欠陥候補についての前記分類手段による分類結果と、異なる複数の評価期間のそれぞれにおいて得られた複数の画像中の検査対象の欠陥候補についての前記分類手段による分類結果とに基づいて、当該異なる複数の評価期間のそれぞれにおける前記統計モデルの適否を示す適否情報を生成するように構成されている、
請求項1に記載の欠陥分類装置。 - 前記生成手段が、前記評価期間において得られた複数の画像中の検査対象の欠陥候補のうち、分類に異常があった欠陥候補を特定し、その特定した欠陥候補を示す情報を含む適否情報を生成するように構成されている、
請求項1又は2に記載の欠陥分類装置。 - 前記クラスが、欠陥候補が実際の欠陥である確率に応じて設定されている、
請求項1乃至3の何れかに記載の欠陥分類装置。 - 前記分類手段が、画像の特徴量を変数とするロジスティック回帰分析によって検査対象の欠陥候補を各クラスに分類するように構成されている、
請求項1乃至4の何れかに記載の欠陥分類装置。 - 検査対象を撮像して得られた画像の特徴量に基づいて当該検査対象の欠陥候補が属するクラスを判別するための統計モデルを用いることによって、前記検査対象の欠陥候補を各クラスに分類する欠陥分類装置を、コンピュータを用いてメンテナンスする方法において、
前記コンピュータが、
基準となる期間において得られた複数の画像中の検査対象の欠陥候補についての前記欠陥分類装置による分類結果と、当該基準となる期間以降の評価期間において得られた複数の画像中の検査対象の欠陥候補についての前記欠陥分類装置による分類結果とに基づいて、前記評価期間における前記統計モデルの適否を示す適否情報を生成する生成工程と、
前記生成工程により生成された適否情報を出力する出力工程と
を有することを特徴とする、欠陥分類装置のメンテナンス方法。
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