JP2015168716A - protective sheet - Google Patents

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真生子 早田
Maiko Hayata
真生子 早田
真人 山形
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真人 山形
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Mitsuru Naito
満 内藤
健太 山下
Kenta Yamashita
健太 山下
長津 秀樹
Hideki Nagatsu
秀樹 長津
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a protective sheet having excellent workability, in a configuration having a base material of a multilayer structure.SOLUTION: A protective sheet with a release liner includes: a sheet-like base material having a multilayer structure with three or more layers; an adhesive layer disposed on one side of the sheet-like base material; and a release liner for protecting an adhesive face of the adhesive layer. The sheet-like base material includes a first layer, and a second layer made from a material different from the first layer. The tensile elasticity of the sheet-like base material is within a range of 1000-4000 MPa. In the protective sheet with a release liner, curl height is less than 3 mm when measured using a test piece of a 60×60 mm square shape.

Description

本発明は、保護シートに関する。より詳しくは、被着体を薬液で処理する際に非処理対象部分(薬液の影響を排除したい部分)をマスクする薬液処理用途に好適な保護シートに関する。   The present invention relates to a protective sheet. More specifically, the present invention relates to a protective sheet suitable for a chemical treatment process that masks a non-treatment target portion (a portion where the influence of the chemical solution is to be excluded) when the adherend is treated with the chemical solution.

従来より、被着体を保護する目的で、粘着(感圧接着ともいう。)シート(以下、保護シートともいう。)が用いられている。例えば、ガラス板等の被処理材(被着体)をエッチング液等の薬液で処理する際に、該被着体の非処理対象部分(薬液の影響を排除したい部分)をマスクするための薬液処理用保護シートとして、粘着シートが利用されている。この種の保護シートは、典型的には、基材とその片面に設けられた粘着剤層とを備える構成を有しており、上記粘着剤層の粘着面を被着体の非処理対象部分に貼り合わせて使用される。薬液処理用保護シートに関する従来技術を開示する文献として特許文献1が挙げられる。   Conventionally, an adhesive (also referred to as pressure-sensitive adhesive) sheet (hereinafter also referred to as a protective sheet) has been used for the purpose of protecting an adherend. For example, when a material to be processed (adhered body) such as a glass plate is processed with a chemical solution such as an etching solution, a chemical solution for masking a non-processing target portion (a portion where the influence of the chemical solution is desired to be removed) of the adherend is masked. An adhesive sheet is used as a protective sheet for processing. This type of protective sheet typically has a configuration comprising a substrate and a pressure-sensitive adhesive layer provided on one side thereof, and the pressure-sensitive adhesive layer of the pressure-sensitive adhesive layer is a non-processed portion of an adherend. Used to paste together. Patent document 1 is mentioned as a literature which discloses the prior art regarding the protective sheet for chemical | medical solution processing.

特開2013−040323号公報JP2013-040323A

上記保護シートには、当該保護シートが適用される用途に応じて、種々の特性を有することが要求される。また、要求特性に加えて、使用態様に応じて作業性等に寄与し得る他の特性を有することが望ましい。そのような各種特性を実現、向上する手法の一例として、異なる特性を有する複数の層を積層した基材を採用する方法が挙げられる。例えば、貼り付け時における縒れや皺の発生を防止して貼り合わせ性を向上するために、所定の引張弾性率を有する層を含む構成とし、さらに薬液浸入防止性に優れる層を配置することで、貼り合わせ性と薬液浸入防止性とを両立した保護シートが得られることが期待できる。しかし、そのような多層構造の基材を用いると、各層の構成材料の物性の違いによって、保護シートがカールしてしまい、作業性が低下する事象が起こり得る。例えば、保護シートを真空吸着台に吸着させてから被着体に貼り合わせる方法を採用する場合、保護シートが真空吸着台上でカールすると上記台に保護シートが吸着せず、貼り合わせ作業性は低下する。   The protective sheet is required to have various characteristics depending on the application to which the protective sheet is applied. In addition to the required characteristics, it is desirable to have other characteristics that can contribute to workability and the like according to the usage mode. As an example of a method for realizing and improving such various characteristics, there is a method of employing a base material in which a plurality of layers having different characteristics are laminated. For example, in order to prevent the occurrence of wrinkles and wrinkles at the time of pasting and improve the bonding property, it is configured to include a layer having a predetermined tensile elastic modulus, and further, a layer excellent in chemical solution intrusion preventing property is disposed. Thus, it can be expected that a protective sheet having both bonding property and chemical solution penetration preventing property can be obtained. However, when such a base material having a multilayer structure is used, the protective sheet may be curled due to the difference in physical properties of the constituent materials of the respective layers, and an event that the workability is lowered may occur. For example, when the method of adhering the protective sheet to the vacuum suction table and then bonding it to the adherend is adopted, if the protective sheet curls on the vacuum adsorption table, the protective sheet does not adsorb to the above table, and the bonding workability is descend.

本発明は、上記の事情に鑑みて創出されたものであり、多層構造の基材を備える構成において、作業性に優れた保護シートを提供することを目的とする。   The present invention has been created in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a protective sheet excellent in workability in a configuration including a base material having a multilayer structure.

本発明によると、3層以上の多層構造を有するシート状基材と、該シート状基材の片面に設けられた粘着剤層と、該粘着剤層の粘着面を保護する剥離ライナーと、を備える剥離ライナー付き保護シートが提供される。前記シート状基材は、第一層と、該第一層とは異なる材料から形成された第二層と、を含む。また、前記シート状基材の引張弾性率は、1000〜4000MPaの範囲内である。そして、前記剥離ライナー付き保護シートは、60mm×60mmの正方形状の試験片を用いて測定されるカール高さが3mm未満である。   According to the present invention, a sheet-like substrate having a multilayer structure of three or more layers, an adhesive layer provided on one side of the sheet-like substrate, and a release liner that protects the adhesive surface of the adhesive layer, A protective sheet with a release liner is provided. The sheet-like base material includes a first layer and a second layer formed from a material different from the first layer. Moreover, the tensile elasticity modulus of the said sheet-like base material exists in the range of 1000-4000 MPa. The protective sheet with a release liner has a curl height of less than 3 mm measured using a 60 mm × 60 mm square test piece.

また、本発明によると、3層以上の多層構造を有するシート状基材と、該シート状基材の片面に設けられた粘着剤層と、を備える保護シートが提供される。前記シート状基材は、第一層と、該第一層とは異なる材料から形成された第二層と、を含む。また、前記シート状基材の引張弾性率は、1000〜4000MPaの範囲内である。そして、前記保護シートは、60mm×60mmの正方形状の試験片を用いて測定されるカール高さが10mm以下である。   Moreover, according to this invention, a protective sheet provided with the sheet-like base material which has a multilayered structure of three or more layers, and the adhesive layer provided in the single side | surface of this sheet-like base material is provided. The sheet-like base material includes a first layer and a second layer formed from a material different from the first layer. Moreover, the tensile elasticity modulus of the said sheet-like base material exists in the range of 1000-4000 MPa. The protective sheet has a curl height of 10 mm or less measured using a 60 mm × 60 mm square test piece.

上記の構成によると、多層基材を構成する第一層と第二層とは互いに異なる材料から形成されているので、これら異なる材料の特長をそれぞれ生かして、単層構造では実現しにくい複数の特性を実現したり、該特性を向上させたりすることが可能である。具体的には、シート状基材の引張弾性率を所定の範囲とすることで、貼り付け時における縒れや皺の発生を防止して貼り合わせ性を向上させるとともに、例えば薬液浸入防止性等の他の特性を向上させ得る。そして、シート状基材を3層以上の多層構造とすることにより、上記カール高さが所定値以下の構成を実現することができる。この保護シートは、多層構造であるにもかかわらず、カールが抑制されており、作業性に優れたものとなる。特に、保護シートを真空吸着台に吸着させてから被着体に貼り合わせる方法を採用する場合に、優れた貼り合わせ作業性が実現される。なお、本明細書において「保護シートのカール」とは、保護シートが平坦ではなく、一方の表面側に曲がることを指し、典型的には、反ること(すなわち、カールすること)およびその状態を包含する。   According to the above configuration, since the first layer and the second layer constituting the multilayer base material are formed from different materials, the characteristics of these different materials are utilized, and a plurality of layers that are difficult to realize with a single layer structure are provided. It is possible to realize the characteristics or improve the characteristics. Specifically, by setting the tensile elastic modulus of the sheet-like base material within a predetermined range, it is possible to prevent the occurrence of wrinkles and wrinkles at the time of pasting and improve the bonding property, for example, the prevention of chemical solution intrusion, etc. Other properties can be improved. And the structure where the said curl height is below a predetermined value is realizable by making a sheet-like base material into the multilayered structure of three or more layers. Although this protective sheet has a multilayer structure, curling is suppressed and the workability is excellent. In particular, when the method of adhering the protective sheet to the adherend after adsorbing the protective sheet to the vacuum adsorption table is realized, excellent bonding workability is realized. In the present specification, “curling of the protective sheet” means that the protective sheet is not flat but bends to one surface side, and typically warps (that is, curls) and its state. Is included.

ここに開示される保護シートの好ましい一態様では、前記シート状基材は、第一表面を構成する第一表面層と、該第一表面の反対側の表面(第二面)を構成する第二表面層と、該第一表面層と該第二表面層との間に配置された中間層と、を備える。このように構成することで、作業性(典型的には貼り合わせ作業性)に優れる保護シートが好適に得られる。この保護シートは、前記シート状基材の第一表面には前記粘着剤層が配置されており、前記シート状基材の第二表面は前記保護シートの外表面を構成することが好ましい。   In a preferred embodiment of the protective sheet disclosed herein, the sheet-like base material includes a first surface layer constituting the first surface and a surface (second surface) opposite to the first surface. A two-surface layer, and an intermediate layer disposed between the first surface layer and the second surface layer. By comprising in this way, the protective sheet which is excellent in workability | operativity (typically bonding workability | operativity) is obtained suitably. In this protective sheet, it is preferable that the pressure-sensitive adhesive layer is disposed on the first surface of the sheet-like substrate, and the second surface of the sheet-like substrate constitutes the outer surface of the protective sheet.

ここに開示される保護シートの好ましい一態様では、前記第一表面層の引張弾性率E1Lと前記第二表面層の引張弾性率E2Lとの比(E1L:E2L)が、1:0.5〜1:2の範囲内である。 In a preferred embodiment of the protective sheet disclosed herein, a ratio (E 1L : E 2L ) between the tensile elastic modulus E 1L of the first surface layer and the tensile elastic modulus E 2L of the second surface layer is 1: It is in the range of 0.5 to 1: 2.

ここに開示される保護シートの好ましい一態様では、前記第二表面層の厚さT2Lに対する前記第一表面層の厚さT1Lの比(T1L/T2L)は、0.7〜1.3の範囲内である。 In a preferred embodiment of the protective sheet disclosed herein, the ratio (T 1L / T 2L ) of the thickness T 1L of the first surface layer to the thickness T 2L of the second surface layer is 0.7-1. Within the range of .3.

ここに開示される保護シートの好ましい一態様では、前記中間層の引張弾性率は、2500〜5000MPaの範囲内である。このように構成することで、所定の引張弾性率を有するシート状基材が好適に得られる。   In a preferred embodiment of the protective sheet disclosed herein, the tensile modulus of the intermediate layer is in the range of 2500 to 5000 MPa. By comprising in this way, the sheet-like base material which has a predetermined tensile elasticity modulus is obtained suitably.

ここに開示される保護シートの好ましい一態様では、前記シート状基材を構成する第一表面層、中間層および第二表面層は、いずれも樹脂層である。シート状基材を樹脂層の積層体とすることで、良好な保護機能を発揮する保護シートとなり得る。   In a preferred embodiment of the protective sheet disclosed herein, the first surface layer, the intermediate layer, and the second surface layer constituting the sheet-like substrate are all resin layers. By making a sheet-like base material into a laminate of resin layers, a protective sheet that exhibits a good protective function can be obtained.

ここに開示される保護シートの好ましい一態様では、前記第二表面層は、ポリオレフィン系樹脂層である。保護シートの外表面を構成する第二表面層をポリオレフィン系樹脂層とすることで、保護シートは耐酸性に優れたものとなる。この構成の保護シートは、例えば、フッ酸溶液等の酸性薬液の浸入防止性に優れるので、当該薬液に曝される用途の保護シートとして好ましく利用され得る。   In a preferred embodiment of the protective sheet disclosed herein, the second surface layer is a polyolefin resin layer. By making the second surface layer constituting the outer surface of the protective sheet a polyolefin-based resin layer, the protective sheet has excellent acid resistance. The protective sheet having this configuration is excellent in the invasion prevention property of an acidic chemical solution such as a hydrofluoric acid solution, and can be preferably used as a protective sheet for applications exposed to the chemical solution.

ここに開示される保護シートは、作業性(典型的には貼り合わせ作業性)に優れ、かつ多層構造の基材を備えることで他の特性(例えば薬液浸入防止性)にも優れたものとなり得る。したがって、例えば、貼り合わせ作業性と薬液浸入防止性とが両立された保護シートは、薬液処理時に非薬液処理部分をマスクするための薬液処理用保護シートとして好ましく用いられる。   The protective sheet disclosed here is excellent in workability (typically bonding workability), and has other characteristics (for example, prevention of chemical solution intrusion) by providing a base material having a multilayer structure. obtain. Therefore, for example, a protective sheet in which the bonding workability and the chemical solution intrusion preventing property are compatible is preferably used as a chemical solution protective sheet for masking a non-chemical solution treated portion during chemical treatment.

保護シートの一構成例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically the example of 1 structure of a protection sheet. 保護シートの他の構成例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows the other structural example of a protective sheet typically. カール高さの評価方法を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the evaluation method of curl height.

以下、本発明の好適な実施形態を説明する。本明細書において特に言及している事項以外の事柄であって本発明の実施に必要な事柄は、当該分野における従来技術に基づく当業者の設計事項として把握され得る。本発明は、本明細書に開示されている内容と当該分野における技術常識とに基づいて実施することができる。なお、本明細書における「シート」は、シートより厚さが相対的に薄いとされるフィルムや、一般的に粘着テープと称されるようなテープを包含する。   Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described. Matters necessary for the implementation of the present invention other than matters specifically mentioned in the present specification can be grasped as design matters of those skilled in the art based on the prior art in this field. The present invention can be carried out based on the contents disclosed in this specification and common technical knowledge in the field. The “sheet” in this specification includes a film whose thickness is relatively thinner than the sheet and a tape generally referred to as an adhesive tape.

この明細書において「粘着剤」とは、前述のように、室温付近の温度域において柔らかい固体(粘弾性体)の状態を呈し、圧力により簡単に被着体に接着する性質を有する材料をいう。ここでいう粘着剤は、「C. A. Dahlquist, “Adhesion : Fundamental and Practice”, McLaren & Sons, (1966) P. 143」に定義されているとおり、一般的に、複素引張弾性率E(1Hz)<10dyne/cmを満たす性質を有する材料(典型的には、25℃において上記性質を有する材料)である。
また、この明細書において「主成分」とは、特記しない場合、50重量%を超えて含まれる成分を指す。
In this specification, the “pressure-sensitive adhesive” refers to a material that exhibits a soft solid (viscoelastic body) state in a temperature range near room temperature and has a property of easily adhering to an adherend by pressure as described above. . The adhesive here is generally defined as “CA Dahlquist,“ Adhesion: Fundamental and Practice ”, McLaren & Sons, (1966) P. 143”, and generally has a complex tensile modulus E * (1 Hz). <10 < 7 > dyne / cm < 2 > material (typically a material having the above properties at 25 [deg.] C.).
Further, in this specification, “main component” refers to a component contained in an amount exceeding 50% by weight unless otherwise specified.

<保護シートの構成>
ここに開示される保護シートは、基材と、該基材の一方の表面に設けられた粘着剤層と、を備える。保護シートの形態は、例えばロール状やセパレータ付きの単板状等であってもよい。
<Configuration of protective sheet>
The protective sheet disclosed herein includes a base material and a pressure-sensitive adhesive layer provided on one surface of the base material. The form of the protective sheet may be, for example, a roll or a single plate with a separator.

保護シートの典型的な構成例を図1に模式的に示す。この保護シート1は、シート状の基材(例えば樹脂製のシート状基材)10と、その一方の面(片面)に設けられた粘着剤層20と、を備える。シート状基材10は、A層11と、B層12と、A層11とB層12とのあいだに配置された中間層15と、の積層構造を有する。A層11は、シート状基材10の一方の表面(第一表面)10Aを構成しており、B層12は、シート状基材10の他方の表面(第二表面。シート状基材において第一表面の反対側の表面)10Bを構成している。シート状基材10の第一表面10Aには粘着剤層20が配置されており、第二表面10Bは保護シート1の外表面となっている。この保護シート1は、その粘着剤層20側の表面を被着体の保護対象部分に貼り付けて使用される。使用前(すなわち被着体への貼付前)の保護シート1は、典型的には図2に示すように、粘着剤層20の表面(被着体への貼付面。以下、粘着面ともいう。)が、少なくとも粘着剤層20側が剥離面となっている剥離ライナー30によって保護された形態であり得る。あるいは、基材10の背面(第二表面)10Bが剥離面となっており、保護シート10がロール状に巻回されることにより該背面10Bに粘着剤層20が当接してその表面(粘着面)が保護された形態であってもよい。   A typical configuration example of the protective sheet is schematically shown in FIG. This protective sheet 1 includes a sheet-like substrate (for example, a resin-made sheet-like substrate) 10 and an adhesive layer 20 provided on one surface (one surface) thereof. The sheet-like base material 10 has a laminated structure of an A layer 11, a B layer 12, and an intermediate layer 15 disposed between the A layer 11 and the B layer 12. The A layer 11 constitutes one surface (first surface) 10A of the sheet-like base material 10, and the B layer 12 is the other surface (second surface. In the sheet-like base material). The surface opposite to the first surface) 10B is configured. The pressure-sensitive adhesive layer 20 is disposed on the first surface 10 </ b> A of the sheet-like substrate 10, and the second surface 10 </ b> B is the outer surface of the protective sheet 1. This protective sheet 1 is used by sticking the surface on the pressure-sensitive adhesive layer 20 side to a portion to be protected of an adherend. As shown in FIG. 2, the protective sheet 1 before use (that is, before application to an adherend) typically has a surface of an adhesive layer 20 (applied surface to the adherend. Hereinafter, also referred to as an adhesive surface). .) May be protected by a release liner 30 having at least a pressure-sensitive adhesive layer 20 side as a release surface. Alternatively, the back surface (second surface) 10B of the base material 10 is a release surface, and the protective layer 10 is wound in a roll shape so that the pressure-sensitive adhesive layer 20 comes into contact with the back surface 10B and the surface (adhesion). The surface may be protected.

<保護シートの特性>
ここに開示される保護シートは、60mm×60mmの正方形状の試験片のカール高さが10mm以下であることによって特徴づけられる。これによって、保護シートは、例えばロール状で保管された場合であっても、優れた作業性(典型的には貼り合わせ作業性)を発揮する。また、上記のようにカールが抑制された保護シートは、被着体に貼り合わせた後に端部が剥がれる事象が発生し難い。したがって、ここに開示される保護シートを例えば薬液処理用途に適用した場合には、端部剥がれが防止されていることから、端部からの薬液浸入を好適に防ぐことができる。上記カール高さは、5mm未満(例えば3mm未満、典型的には1mm未満)であることが好ましい。カール高さは実質的に0〜0.5mmの範囲内であることが特に好ましい。
<Characteristics of protective sheet>
The protective sheet disclosed herein is characterized by the curl height of a 60 mm × 60 mm square test piece being 10 mm or less. Thereby, even when the protective sheet is stored in a roll shape, for example, it exhibits excellent workability (typically bonding workability). Moreover, the protective sheet in which curling is suppressed as described above is unlikely to cause an event in which an end portion is peeled off after being bonded to an adherend. Therefore, when the protective sheet disclosed here is applied to, for example, a chemical solution processing application, since the end portion is prevented from peeling off, it is possible to suitably prevent the chemical solution from entering the end portion. The curl height is preferably less than 5 mm (eg, less than 3 mm, typically less than 1 mm). It is particularly preferable that the curl height is substantially in the range of 0 to 0.5 mm.

ここに開示される保護シートが、粘着面を保護する剥離ライナーを備える場合には、剥離ライナーを備える剥離ライナー付き保護シートは、60mm×60mmの正方形状の試験片のカール高さが3mm未満であることによって特徴づけられる。これによって得られる利点は上記のとおりである。上記カール高さは、2mm未満(例えば1mm未満)であることが好ましい。カール高さは実質的に0〜0.5mmの範囲内であることが特に好ましい。   When the protective sheet disclosed here includes a release liner that protects the adhesive surface, the protective sheet with a release liner provided with the release liner has a curl height of a 60 mm × 60 mm square test piece of less than 3 mm. Characterized by being. The advantages obtained by this are as described above. The curl height is preferably less than 2 mm (for example, less than 1 mm). It is particularly preferable that the curl height is substantially in the range of 0 to 0.5 mm.

上記カール高さは、保護シートまたは剥離ライナー付き保護シートを例えばカットする等して60mm×60mmの正方形サイズとし、これを試験片として用いて、当該試験片を水平面においたときの最大カール高さを測定することにより求められる。具体的には、図1に示すように、試験片100がカールしている場合は、試験片端部が反り上がるように載置する。通常、試験片の四隅のいずれかがカール高さの最大値hを示すので、上記四隅のカール高さを測定することにより、カール高さの最大値hは得られる。カール高さは、より具体的には後述の実施例に記載の方法で測定される。   The curl height is a maximum curl height when a protective sheet or a protective sheet with a release liner is cut into a square size of 60 mm × 60 mm, for example, and used as a test piece, and the test piece is placed on a horizontal plane. It is calculated | required by measuring. Specifically, as shown in FIG. 1, when the test piece 100 is curled, it is placed so that the end of the test piece is warped. Usually, any one of the four corners of the test piece shows the maximum value h of the curl height. Therefore, the maximum value h of the curl height can be obtained by measuring the curl height of the four corners. More specifically, the curl height is measured by the method described in Examples described later.

ここに開示される好ましい一態様では、保護シートのガラスに対する粘着力(対ガラス粘着力)は0.05N/20mm以上(例えば0.1N/20mm以上、典型的には0.2N/20mm以上)であることが好ましい。上記対ガラス粘着力を示す保護シートは、ガラスに貼り付ける用途に好ましく利用され得る。特に、例えばガラスを薬液処理する際に薬液処理非対象部分を保護する薬液処理用保護シートとして利用する場合に、薬液処理工程中に保護シートが剥離してしまうといった不具合をより好適に防止することができる。上記粘着力は3N/20mm以下(例えば2.5N/20mm以下、典型的には2N/20mm以下)であることが好ましい。これによって、粘着力が高くなりすぎず、例えば薬液処理時における保護目的を達成した後に保護シートを剥離する際に、被着体が破壊される(例えばガラスが割れる、ITO膜等が剥がれる)不具合がより好適に防止される。   In a preferable embodiment disclosed herein, the adhesive strength of the protective sheet to glass (to glass) is 0.05 N / 20 mm or more (for example, 0.1 N / 20 mm or more, typically 0.2 N / 20 mm or more). It is preferable that The protective sheet exhibiting the above-mentioned adhesive strength to glass can be preferably used for applications to be attached to glass. In particular, for example, when the glass is used as a protective sheet for chemical treatment that protects a non-target part of the chemical treatment when the chemical treatment is performed on the glass, the problem that the protective sheet is peeled off during the chemical treatment process is more preferably prevented. Can do. The adhesive strength is preferably 3 N / 20 mm or less (for example, 2.5 N / 20 mm or less, typically 2 N / 20 mm or less). As a result, the adhesive strength does not become too high, and the adherend is destroyed (for example, glass breaks, ITO film etc. peels off) when the protective sheet is peeled off after achieving the protection purpose during chemical treatment, for example. Is more preferably prevented.

ガラスに対する粘着力(対ガラス粘着力)は、以下の方法によって測定することができる。測定に供する保護シートを、MD方向を長手方向とする20mm×60mmの方形状にカットして試験片を作製する。この試験片の粘着面をガラス基板に2kgのローラーを1往復させて貼り付ける。これを25℃、RH50%の環境下に30分間保持した後、引張試験機(商品名「テンシロン」、島津製作所社製)を用い、JIS Z0237に準拠して、25℃、RH50%の環境下、剥離角度180°、引張速度300mm/分の条件にて、ガラスに対する180°引き剥がし粘着力を測定する。ガラス基板としては、松浪硝子社製「MICROSLIDE GLASS」(65mm×165mm×1.3mm)を用いることができる。   The adhesion to glass (vs. glass adhesion) can be measured by the following method. A protective sheet to be used for measurement is cut into a 20 mm × 60 mm square with the MD direction as the longitudinal direction to produce a test piece. The adhesive surface of this test piece is attached to a glass substrate by reciprocating a 2 kg roller once. After holding this in an environment of 25 ° C. and RH 50% for 30 minutes, using a tensile tester (trade name “Tensilon”, manufactured by Shimadzu Corporation), in an environment of 25 ° C. and RH 50% in accordance with JIS Z0237. The 180 ° peel adhesion to glass is measured under the conditions of a peel angle of 180 ° and a tensile speed of 300 mm / min. As the glass substrate, “MICROSLIDE GLASS” (65 mm × 165 mm × 1.3 mm) manufactured by Matsunami Glass Co., Ltd. can be used.

ここに開示される好ましい一態様では、保護シートは、薬液浸入防止性評価において、封止されたpH試験紙のpHの変化が、HF溶液に浸漬してから3時間後において1未満であり得る。この特性を満たす保護シートは、保護対象部分への薬液浸入を充分に防止することができる。上記評価試験において、HF溶液に浸漬してから3時間後におけるpH試験紙の色(pH)が実質的に変化しないことがより好ましい。   In a preferred embodiment disclosed herein, the protective sheet may have a change in pH of the sealed pH test paper of less than 1 in 3 hours after being immersed in the HF solution in the evaluation of chemical solution penetration prevention. . The protective sheet satisfying this characteristic can sufficiently prevent the chemical solution from entering the portion to be protected. In the above evaluation test, it is more preferable that the color (pH) of the pH test paper after 3 hours from being immersed in the HF solution does not substantially change.

薬液浸入防止性評価は、下記の方法で測定される。すなわち、保護シートを80mm×30mmのサイズにカットする。次いで、ガラス基板の中央に5mm×5mmサイズのpH試験紙を載置し、このpH試験紙が中央にくるように、上記カットした保護シートをその粘着面が下方となるように重ねて、ハンドローラを一往復させて貼り合わせる。このようにしてpH試験紙を保護シートで完全に封止することにより評価用サンプルを作製する。30分静置した後、プラスチック容器(縦100mm×横100mm×深さ30mm)に、HF20mol%溶液を100mL注入し、このHF溶液中に上記で得た評価用サンプルを浸漬する。上記浸漬から所定時間後(1時間後、3時間後)におけるpH試験紙の色変化(pH変化)を目視で確認し、pHを記録する。上記確認は、ポリエチレン製のピンセットで評価用サンプルをHF溶液から取り出し、十分に水洗した後、50℃で2時間乾燥してから行うものとする。ガラス基板としては、例えば、松浪硝子社製「MICROSLIDE GLASS」(76mm×26mm×1.3mm)を用いればよい。   The chemical solution intrusion prevention evaluation is measured by the following method. That is, the protective sheet is cut into a size of 80 mm × 30 mm. Next, a 5 mm × 5 mm size pH test paper is placed in the center of the glass substrate, and the cut protective sheet is stacked so that the adhesive surface faces downward so that the pH test paper comes to the center. Paste the roller back and forth. In this way, a sample for evaluation is produced by completely sealing the pH test paper with the protective sheet. After leaving still for 30 minutes, 100 mL of HF20 mol% solution is inject | poured into a plastic container (length 100mm x width 100mm x depth 30mm), and the sample for evaluation obtained above is immersed in this HF solution. The color change (pH change) of the pH test paper after a predetermined time (1 hour and 3 hours) after the immersion is visually confirmed, and the pH is recorded. The above confirmation is performed after taking the sample for evaluation from the HF solution with polyethylene tweezers, washing it thoroughly with water, and drying it at 50 ° C. for 2 hours. As the glass substrate, for example, “MICROSLIDE GLASS” (76 mm × 26 mm × 1.3 mm) manufactured by Matsunami Glass Co., Ltd. may be used.

<シート状基材>
保護シートに用いられるシート状基材は多層構造を有する。また、上記多層構造のシート状基材は、第一層と、該第一層とは異なる材料から形成された第二層と、を含む。これによって、単層構造では実現しにくい複数の特性を実現したり、該特性を向上させたりすることができる。シート状基材の層数は、複数の特性をバランスよく向上する観点から、典型的には3層以上(例えば3〜9層)であり、好ましくは3層、4層または5層(より好ましくは3層または5層)である。
<Sheet substrate>
The sheet-like substrate used for the protective sheet has a multilayer structure. Moreover, the sheet-like base material having the multilayer structure includes a first layer and a second layer formed of a material different from the first layer. As a result, a plurality of characteristics that are difficult to realize with a single-layer structure can be realized, or the characteristics can be improved. The number of layers of the sheet-like substrate is typically 3 or more (for example, 3 to 9 layers), preferably 3 layers, 4 layers, or 5 layers (more preferably) from the viewpoint of improving a plurality of properties in a balanced manner. Is 3 layers or 5 layers).

シート状基材の引張弾性率は、1000〜4000MPaの範囲内である。上記引張弾性率を示すシート状基材は、適度なコシを有するので、貼り付け時における縒れや皺の発生が防止されて貼り合わせ性が向上する。上記引張弾性率は、貼り合わせ性向上の観点から、好ましくは1100MPa以上(例えば1200MPa以上、典型的には1300MPa以上)である。また、被着体表面への追従性の観点から、上記引張弾性率は3800MPa以下(例えば3500MPa以下、典型的には3000MPa以下)とすることが好ましい。上記引張弾性率が2300MPa以下(例えば2100MPa以下、典型的には1500MPa以下)のシート状基材を使用することが特に好ましい。好ましい一態様では、シート状基材は、室温(23℃)におけるMD(Machine Direction)への引張弾性率および同温度におけるTD(Transverse Direction;MDに直交する方向)への引張弾性率の少なくとも一方(例えばMDへの引張弾性率、好ましくは両方)が、上記の引張弾性率を示すものであり得る。   The tensile elastic modulus of the sheet-like substrate is in the range of 1000 to 4000 MPa. Since the sheet-like base material exhibiting the above-described tensile elastic modulus has an appropriate stiffness, it is possible to prevent the occurrence of wrinkles and wrinkles at the time of sticking and improve the bonding property. The tensile elastic modulus is preferably 1100 MPa or more (for example, 1200 MPa or more, typically 1300 MPa or more) from the viewpoint of improving the bonding property. Further, from the viewpoint of followability to the adherend surface, the tensile elastic modulus is preferably 3800 MPa or less (for example, 3500 MPa or less, typically 3000 MPa or less). It is particularly preferable to use a sheet-like substrate having a tensile modulus of 2300 MPa or less (for example, 2100 MPa or less, typically 1500 MPa or less). In a preferred embodiment, the sheet-like substrate has at least one of a tensile elastic modulus to MD (Machine Direction) at room temperature (23 ° C.) and a tensile elastic modulus to TD (Transverse Direction) at the same temperature. (E.g., tensile modulus to MD, preferably both) may be indicative of the above tensile modulus.

シート状基材の引張弾性率は、シート状基材から任意の一方向(例えばMDまたはTD)に沿って所定幅の試験片を切り出し、JIS K7161:1994に準拠して、室温(23℃)にて試験片を引張速度300mm/分の条件で上記一方向に延伸して得られた応力−ひずみ曲線の線形回帰から算出することができる。具体的には、後述の実施例に記載の方法で測定される。   The tensile elastic modulus of the sheet-like base material is a room temperature (23 ° C.) in accordance with JIS K7161: 1994 by cutting out a test piece having a predetermined width along an arbitrary direction (for example, MD or TD) from the sheet-like base material. Can be calculated from linear regression of a stress-strain curve obtained by stretching the test piece in the above-mentioned one direction under the condition of a tensile speed of 300 mm / min. Specifically, it is measured by the method described in Examples described later.

保護シートに用いられるシート状基材としては、公知のフィルム状やシート状等の基材を適宜選択して使用することができる。シート状基材の材質は特に限定されない。例えば金属材料(アルミニウム等)から形成されたシート状基材、樹脂材料から形成されたシート状基材(樹脂シート基材)、これらの複合材料から形成されたシート状基材(例えば、片面に金属を蒸着したプラスチックシート)等を使用し得る。なお、本明細書において「樹脂シート」とは、典型的には非多孔質の樹脂膜を指し、織布や不織布とは区別される概念である。ここに開示される樹脂シートとしては、無延伸樹脂シートおよび延伸(一軸延伸または二軸延伸)樹脂シートのいずれも使用可能である。   As a sheet-like substrate used for the protective sheet, a known film-like or sheet-like substrate can be appropriately selected and used. The material of the sheet-like substrate is not particularly limited. For example, a sheet-like substrate formed from a metal material (aluminum, etc.), a sheet-like substrate formed from a resin material (resin sheet substrate), a sheet-like substrate formed from these composite materials (for example, on one side) For example, a plastic sheet on which a metal is deposited can be used. In the present specification, the “resin sheet” typically refers to a non-porous resin film, and is a concept that is distinguished from a woven fabric or a non-woven fabric. As the resin sheet disclosed herein, any of an unstretched resin sheet and a stretched (uniaxially stretched or biaxially stretched) resin sheet can be used.

ここに開示されるシート状基材に用いられ得る樹脂成分としては、ポリオレフィン系樹脂;ポリエステル系樹脂;ポリ塩化ビニル(PVC)系樹脂;ポリアミド系樹脂;ポリイミド系樹脂;ポリフェニレンサルファイド系樹脂;ポリカーボネート系樹脂;ポリウレタン系樹脂;エチレン−酢酸ビニル系樹脂;ポリテトラフルオロエチレン等のフッ素含有樹脂;アクリル系樹脂;等の樹脂成分が挙げられる。これらは1種を単独でまたは2種以上を組み合わせて使用することができる。   The resin component that can be used for the sheet-like base material disclosed herein includes polyolefin resin; polyester resin; polyvinyl chloride (PVC) resin; polyamide resin; polyimide resin; polyphenylene sulfide resin; Resin; Polyurethane resin; Ethylene-vinyl acetate resin; Fluorine-containing resin such as polytetrafluoroethylene; Acrylic resin; These can be used alone or in combination of two or more.

シート状基材に用いられ得る樹脂成分の好適例として、ポリオレフィン系樹脂およびポリエステル系樹脂が挙げられる。ポリオレフィン系樹脂やポリエステル系樹脂は、適度な可撓性を有するので、表面形状追従性に優れる傾向がある。そのため、ここに開示される保護シートを薬液処理用保護シートとして用いる場合には、保護シートの粘着剤と被着体との間に薬液の浸入経路(空隙)を作り難いという利点が得られる。   Preferable examples of the resin component that can be used for the sheet-like substrate include polyolefin resins and polyester resins. Since polyolefin-based resins and polyester-based resins have moderate flexibility, they tend to be excellent in surface shape followability. Therefore, when the protective sheet disclosed here is used as a protective sheet for chemical treatment, there is an advantage that it is difficult to form a chemical solution intrusion path (void) between the adhesive of the protective sheet and the adherend.

好ましい一態様では、被着体表面への追従性の観点から、シート状基材に用いられ得る樹脂として、ポリオレフィン系樹脂が用いられる。ポリオレフィン系樹脂は、耐酸性にも優れ、酸性薬液の浸入を阻止するうえで有利な材料である。上記酸性薬液としては、例えば、ガラスのエッチングに用いられるフッ酸溶液や、クロムめっき液、硫酸銅めっき液、ニッケルめっき液、酸性無電解ニッケルめっき液、酸性錫めっき液等の酸性のめっき液が挙げられる。   In a preferred embodiment, a polyolefin resin is used as the resin that can be used for the sheet-like base material from the viewpoint of followability to the adherend surface. Polyolefin resins are excellent in acid resistance, and are advantageous materials for preventing the penetration of acidic chemicals. Examples of the acidic chemical solution include a hydrofluoric acid solution used for glass etching, and an acidic plating solution such as a chromium plating solution, a copper sulfate plating solution, a nickel plating solution, an acidic electroless nickel plating solution, and an acidic tin plating solution. Can be mentioned.

ポリオレフィン系樹脂は、例えばα−オレフィンのホモポリマー、2種以上のα−オレフィンの共重合体、1種または2種以上のα−オレフィンと他のビニルモノマーとの共重合体等であり得る。具体的には、ポリエチレン(PE)、ポリプロピレン(PP)、エチレンプロピレンゴム(EPR)等のエチレン−プロピレン共重合体、エチレン−プロピレン−ブテン共重合体、エチレン−エチルアクリレート共重合体等を使用することができる。より具体的には、2軸延伸ポリプロピレン、低密度ポリエチレン(LDPE)、直鎖状低密度ポリエチレン(LLDPE)、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレン(HDPE)、2種以上のPEをブレンドしたPE樹脂、PEとPPとをブレンドしたPE/PPブレンド樹脂、各種軟質ポリオレフィン等のポリオレフィン系樹脂が挙げられる。これらは1種を単独でまたは2種以上を組み合わせて使用することができる。   The polyolefin resin may be, for example, an α-olefin homopolymer, a copolymer of two or more α-olefins, a copolymer of one or two or more α-olefins and another vinyl monomer, and the like. Specifically, an ethylene-propylene copolymer such as polyethylene (PE), polypropylene (PP), ethylene propylene rubber (EPR), an ethylene-propylene-butene copolymer, an ethylene-ethyl acrylate copolymer, or the like is used. be able to. More specifically, biaxially stretched polypropylene, low density polyethylene (LDPE), linear low density polyethylene (LLDPE), medium density polyethylene, high density polyethylene (HDPE), PE resin blended with two or more types of PE, Examples thereof include PE / PP blend resins obtained by blending PE and PP, and polyolefin resins such as various soft polyolefins. These can be used alone or in combination of two or more.

ポリオレフィン系樹脂の好適例としては、PE系樹脂が挙げられる。PE系樹脂は、可撓性に優れ、段差を有する被着体表面への追従性に優れる傾向がある。上記PE系樹脂は、エチレンを成分とする種々のポリマー(エチレン系ポリマー)を主成分とするものであり得る。1種または2種以上のエチレン系ポリマーから実質的に構成されるPE系樹脂であってもよい。上記エチレン系ポリマーは、エチレンのホモポリマーであってもよく、主モノマーとしてのエチレンに、副モノマーとして他のα−オレフィンを共重合(ランダム共重合、ブロック共重合等)させたものであってもよい。上記α−オレフィンの好適例としては、プロピレン、1−ブテン(分岐1−ブテンであり得る。)、1−ヘキセン、4−メチル−1−ペンテン、1−オクテン等の、炭素原子数3〜10のα−オレフィンが挙げられる。例えば、上記副モノマーとしてのα−オレフィンが10重量%以下(典型的には5重量%以下)の割合で共重合されたエチレン系ポリマーを主成分とするPE系樹脂を好ましく採用し得る。   A preferred example of the polyolefin resin is a PE resin. The PE-based resin is excellent in flexibility and tends to have excellent followability to the adherend surface having a step. The PE-based resin may be composed mainly of various polymers (ethylene-based polymer) containing ethylene as a component. It may be a PE resin substantially composed of one or two or more ethylene polymers. The ethylene-based polymer may be a homopolymer of ethylene, and is obtained by copolymerizing ethylene as a main monomer with another α-olefin as a secondary monomer (random copolymerization, block copolymerization, etc.). Also good. Preferable examples of the α-olefin include 3 to 10 carbon atoms such as propylene, 1-butene (may be branched 1-butene), 1-hexene, 4-methyl-1-pentene, 1-octene and the like. Of the α-olefin. For example, a PE resin mainly composed of an ethylene polymer in which the α-olefin as the sub-monomer is copolymerized at a ratio of 10 wt% or less (typically 5 wt% or less) can be preferably used.

また、重合性官能基に加えて別の官能基を有するモノマー(官能基含有モノマー)とエチレンとのコポリマーを含むPE系樹脂や、かかる官能基含有モノマーをエチレン系ポリマーに共重合させたPE系樹脂等であってもよい。エチレンと官能基含有モノマーとのコポリマーとしては、例えば、エチレン−酢酸ビニル共重合体、エチレン−アクリル酸共重合体、エチレン−メタクリル酸共重合体、エチレン−アクリル酸メチル共重合体、エチレン−アクリル酸エチル共重合体、エチレン−メタクリル酸メチル共重合体、エチレン−(メタ)アクリル酸(すなわち、アクリル酸および/またはメタクリル酸)共重合体が金属イオンで架橋されたもの等が挙げられる。   In addition, a PE resin containing a copolymer of a monomer having another functional group in addition to a polymerizable functional group (functional group-containing monomer) and ethylene, or a PE system obtained by copolymerizing such a functional group-containing monomer with an ethylene polymer It may be a resin or the like. Examples of the copolymer of ethylene and a functional group-containing monomer include, for example, ethylene-vinyl acetate copolymer, ethylene-acrylic acid copolymer, ethylene-methacrylic acid copolymer, ethylene-methyl acrylate copolymer, ethylene-acrylic. Examples include an ethyl acid copolymer, an ethylene-methyl methacrylate copolymer, and an ethylene- (meth) acrylic acid (that is, acrylic acid and / or methacrylic acid) copolymer crosslinked with a metal ion.

PE系樹脂の密度は特に限定されず、表面追従性等の観点から、例えば0.90〜0.94g/cm程度であり得る。好ましいPE系樹脂として、LDPEおよびLLDPEが挙げられる。上記PE系樹脂は、1種または2種以上のLDPEと、1種または2種以上のLLDPEとを含むものであってもよい。 The density of the PE resin is not particularly limited, and may be, for example, about 0.90 to 0.94 g / cm 3 from the viewpoint of surface followability. Preferred PE resins include LDPE and LLDPE. The PE resin may contain one or more LDPE and one or more LLDPE.

ポリオレフィン系樹脂の他の好適例として、PP系樹脂が挙げられる。上記PP系樹脂は、プロピレンを主モノマー(主構成単量体、すなわち単量体全体の50重量%を超える成分)とする種々のポリマー(プロピレン系ポリマー)であり得る。ここでいうプロピレン系ポリマーの概念には、アイソタクチックポリプロピレン、シンジオタクチックポリプロピレン、アタクチックポリプロピレン等のホモポリプロピレン;プロピレンと他のα−オレフィン(典型的には、エチレンおよび炭素原子数4〜10のα−オレフィンから選択される1種または2種以上)とのランダム共重合体(ランダムポリプロピレン);プロピレンに他のα−オレフィン(典型的には、エチレンおよび炭素原子数4〜10のα−オレフィンから選択される1種または2種以上)をブロック共重合した共重合体(ブロックポリプロピレン);等が含まれる。   Another preferred example of the polyolefin resin is a PP resin. The PP-based resin may be various polymers (propylene-based polymers) containing propylene as a main monomer (main constituent monomer, that is, a component exceeding 50% by weight of the whole monomer). The concept of the propylene-based polymer here includes homopolypropylene such as isotactic polypropylene, syndiotactic polypropylene, and atactic polypropylene; propylene and other α-olefins (typically ethylene and 4 to 10 carbon atoms). Random copolymer (random polypropylene) with one or more selected from among α-olefins of propylene; other α-olefins (typically ethylene and α-having 4 to 10 carbon atoms) A copolymer obtained by block copolymerization of one or more selected from olefins (block polypropylene); and the like.

上記PP系樹脂は、樹脂成分のうちの主成分が上述のようなプロピレン系ポリマーであり、副成分として他のポリマーがブレンドされた樹脂(PP樹脂)であり得る。上記他のポリマーは、プロピレン以外のα−オレフィン、例えば炭素原子数2または4〜10のα−オレフィンを主モノマー(主構成単量体、すなわち単量体全体の50重量%を超える成分)とするポリオレフィンの1種または2種以上であり得る。上記PP樹脂は、上記副成分として少なくともPEを含む組成であり得る。PEの含有量は、例えばPP100重量部当たり3〜50重量部(典型的には5〜30重量部)とすることができる。樹脂成分が実質的にPPとPEとからなるPP樹脂であってもよい。また、副成分として少なくともPEとEPRとを含むPP樹脂(例えば樹脂成分が実質的にPPとPEとEPRとからなるPP樹脂)であってもよい。この場合、EPRの含有量は例えばPP100重量部当たり3〜50重量部(典型的には5〜30重量部)とすることができる。   The PP resin may be a resin (PP resin) in which the main component of the resin component is a propylene polymer as described above and another polymer is blended as a subcomponent. The other polymer is composed of an α-olefin other than propylene, for example, an α-olefin having 2 or 4 to 10 carbon atoms as a main monomer (main constituent monomer, that is, a component exceeding 50% by weight of the whole monomer). One or more of the polyolefins to be treated. The PP resin may have a composition containing at least PE as the accessory component. The PE content can be, for example, 3 to 50 parts by weight (typically 5 to 30 parts by weight) per 100 parts by weight of PP. The resin component may be a PP resin substantially composed of PP and PE. Further, it may be a PP resin containing at least PE and EPR as subcomponents (for example, a PP resin whose resin component is substantially composed of PP, PE, and EPR). In this case, the content of EPR can be, for example, 3 to 50 parts by weight (typically 5 to 30 parts by weight) per 100 parts by weight of PP.

また、保護シート(例えば薬液処理用保護シート)に好適な可撓性とコシを付与する観点から、シート状基材に用いられ得る樹脂として、ポリエステル系樹脂を用いることが好ましい。ポリエステル系樹脂を使用することにより、所定の引張弾性率を示すシート状基材が好適に実現される。ポリエステル系樹脂の具体例としては、ポリエチレンテレフタレート(PET)系樹脂、ポリブチレンテレフタレート系樹脂、ポリエチレンナフタレート系樹脂等が挙げられる。これらは1種を単独でまたは2種以上を組み合わせて使用することができる。なかでも、PET系樹脂が好ましい。   Moreover, it is preferable to use a polyester-type resin as resin which can be used for a sheet-like base material from a viewpoint which provides the flexibility suitable for a protection sheet (for example, protection sheet for chemical | medical solution processing), and elasticity. By using a polyester-based resin, a sheet-like base material having a predetermined tensile elastic modulus is suitably realized. Specific examples of the polyester resin include polyethylene terephthalate (PET) resin, polybutylene terephthalate resin, polyethylene naphthalate resin, and the like. These can be used alone or in combination of two or more. Of these, a PET resin is preferable.

シート状基材を構成する層の少なくとも一層は、樹脂材料から構成された樹脂層であることが好ましい。シート状基材を構成する複数の層(例えば2層または3層以上、典型的には第一層や第二層、A層、B層、中間層)が樹脂層であることがより好ましく、シート状基材を構成する全ての層が樹脂層であることがさらに好ましい。樹脂材料としては、目的に応じて、上述したもののなかの1種または2種以上を適宜選択して使用することができる。   It is preferable that at least one layer constituting the sheet-like substrate is a resin layer made of a resin material. It is more preferable that a plurality of layers (for example, two layers or three layers or more, typically the first layer, the second layer, the A layer, the B layer, the intermediate layer) constituting the sheet-like base material are resin layers, It is more preferable that all the layers constituting the sheet-like substrate are resin layers. As the resin material, one or more of the above-mentioned materials can be appropriately selected and used depending on the purpose.

ここに開示されるシート状基材は、上記ポリオレフィン系樹脂(例えばPE系樹脂)を主成分として含む樹脂材料から形成されたポリオレフィン系樹脂層(例えばPE系樹脂)を含むことが好ましい。上記樹脂材料におけるポリオレフィン系樹脂(例えばPE系樹脂)の割合は、好ましくは70重量%以上(例えば90重量%以上、典型的には95〜100重量%)である。なお、ポリオレフィン系樹脂層は、当該樹脂層の作用を著しく損なわない範囲でポリオレフィン系樹脂以外の樹脂成分を含有してもよく、上記ポリオレフィン系樹脂以外の樹脂成分を実質的に含まなくてもよい。   It is preferable that the sheet-like base material disclosed here includes a polyolefin resin layer (for example, PE resin) formed from a resin material containing the polyolefin resin (for example, PE resin) as a main component. The proportion of the polyolefin resin (for example, PE resin) in the resin material is preferably 70% by weight or more (for example, 90% by weight or more, typically 95 to 100% by weight). The polyolefin-based resin layer may contain a resin component other than the polyolefin-based resin as long as the function of the resin layer is not significantly impaired, and may not substantially contain a resin component other than the polyolefin-based resin. .

ここに開示されるシート状基材は、ポリエステル系樹脂(例えばPET系樹脂)を主成分として含む樹脂材料から形成されたポリエステル系樹脂層(例えばPET系樹脂)を含むことが好ましい。これにより、所定の引張弾性率を示すシート状基材が好適に実現される。上記樹脂材料におけるポリエステル系樹脂の割合は、好ましくは70重量%以上(例えば90重量%以上、典型的には95〜100重量%)である。なお、ポリエステル系樹脂層は、当該樹脂層の作用を著しく損なわない範囲でポリエステル系樹脂以外の樹脂成分を含有してもよく、上記ポリエステル系樹脂以外の樹脂成分を実質的に含まなくてもよい。   It is preferable that the sheet-like base material disclosed here includes a polyester resin layer (for example, a PET resin) formed from a resin material containing a polyester resin (for example, a PET resin) as a main component. Thereby, the sheet-like base material which shows a predetermined tensile elasticity modulus is implement | achieved suitably. The proportion of the polyester resin in the resin material is preferably 70% by weight or more (for example, 90% by weight or more, typically 95 to 100% by weight). The polyester-based resin layer may contain a resin component other than the polyester-based resin within a range that does not significantly impair the action of the resin layer, and may not substantially contain a resin component other than the polyester-based resin. .

ここに開示されるシート状基材は、段差追従性を向上する観点から、樹脂成分(ポリマー成分)の主成分がPVCである樹脂材料から形成されたPVC系樹脂層を含んでもよい。   The sheet-like base material disclosed here may include a PVC-based resin layer formed from a resin material in which the main component of the resin component (polymer component) is PVC from the viewpoint of improving the step following ability.

また、ここに開示されるシート状基材は、例えばオレフィン系ポリマーアロイと、分子骨格中にカルボニル(C=O)単位を含む熱可塑性樹脂(カルボニル単位含有熱可塑性樹脂)とを含有する層を含んでもよい。上記ポリマーアロイは、例えば2段以上の多段重合により重合された多段重合オレフィン共重合体(好ましくはエチレン/プロピレン共重合体)であり得る。上記カルボニル単位含有熱可塑性樹脂は、例えばエチレン/ビニルエステル系共重合体(例えばエチレン−酢酸ビニル共重合体)、エチレン/不飽和カルボン酸系共重合体(例えばエチレン−アクリル酸共重合体)およびそれらの金属塩であり得る。上記樹脂材料は、無機系難燃剤を含有するものであり得る。   Moreover, the sheet-like base material disclosed here includes, for example, a layer containing an olefin-based polymer alloy and a thermoplastic resin (carbonyl unit-containing thermoplastic resin) containing a carbonyl (C═O) unit in the molecular skeleton. May be included. The polymer alloy may be, for example, a multistage polymerized olefin copolymer (preferably an ethylene / propylene copolymer) polymerized by two or more stages of multistage polymerization. Examples of the carbonyl unit-containing thermoplastic resin include ethylene / vinyl ester copolymers (for example, ethylene-vinyl acetate copolymers), ethylene / unsaturated carboxylic acid copolymers (for example, ethylene-acrylic acid copolymers) and These metal salts can be used. The resin material may contain an inorganic flame retardant.

シート状基材(典型的には、シート状基材の各層)には、保護シート(例えば薬液処理用保護シート)の基材に用いられ得る公知の添加剤を必要に応じて含有させることができる。例えば、ラジカル捕捉剤や紫外線吸収剤等の光安定剤、酸化防止剤、帯電防止剤、着色剤(染料、顔料等)、充填材、可塑剤、スリップ剤、アンチブロッキング剤等の添加剤を適宜配合することができる。これら添加剤は、それぞれ1種を単独でまたは2種以上を組み合わせて用いることができる。添加剤の配合量は、保護シートの用途(例えば薬液処理用途)に応じて、当該用途においてシート状基材に用いられる樹脂材料における通常の配合量と同程度とすることができる。   The sheet-like base material (typically, each layer of the sheet-like base material) may contain a known additive that can be used for a base material of a protective sheet (for example, a protective sheet for chemical treatment) as necessary. it can. For example, additives such as light stabilizers such as radical scavengers and UV absorbers, antioxidants, antistatic agents, colorants (dyes, pigments, etc.), fillers, plasticizers, slip agents, antiblocking agents, etc. Can be blended. Each of these additives can be used alone or in combination of two or more. The compounding amount of the additive can be set to the same level as the usual compounding amount in the resin material used for the sheet-like substrate in the application depending on the use of the protective sheet (for example, chemical solution treatment).

ここに開示される技術は、例えば、シート状基材を構成する第一層がポリオレフィン系樹脂(例えばPE系樹脂)を含む樹脂材料からなる層であり、第二層がポリエステル系樹脂(例えばPET樹脂)を含む樹脂材料からなる層である態様で好ましく実施され得る。   In the technology disclosed herein, for example, the first layer constituting the sheet-like base material is a layer made of a resin material containing a polyolefin resin (for example, PE resin), and the second layer is a polyester resin (for example, PET). (Resin) and a layer made of a resin material.

好ましい一態様では、シート状基材は、A層と、B層と、A層とB層とのあいだに配置された中間層と、を備える構成を有する。A層、B層および中間層は、それぞれ上述した樹脂材料から形成された層であり得る。   In a preferred embodiment, the sheet-like base material has a configuration including an A layer, a B layer, and an intermediate layer disposed between the A layer and the B layer. Each of the A layer, the B layer, and the intermediate layer may be a layer formed from the resin material described above.

A層を構成する樹脂材料は、被着体表面への追従性や保護特性(典型的には薬液浸入防止性)の観点から、ポリオレフィン系樹脂(より好ましくはPE系樹脂)を含むことが好ましい。典型的には、A層はポリオレフィン系樹脂層(より好ましくはPE系樹脂層)であり得る。また、被着体表面への追従性等を好適に発揮する観点から、上記A層は、シート状基材の第一表面を構成する層(第一表面層)であることが好ましい。その場合、上記A層の表面には、粘着剤層が配置され得る。   The resin material constituting the A layer preferably contains a polyolefin-based resin (more preferably a PE-based resin) from the viewpoint of followability to the adherend surface and protective properties (typically, prevention of chemical solution intrusion). . Typically, the A layer may be a polyolefin resin layer (more preferably a PE resin layer). Moreover, it is preferable that the said A layer is a layer (1st surface layer) which comprises the 1st surface of a sheet-like base material from a viewpoint of exhibiting the followable | trackability to a to-be-adhered body surface suitably. In that case, an adhesive layer may be disposed on the surface of the A layer.

A層(例えば第一表面層)の引張弾性率は、特に限定されないが、凡そ50MPa以上(例えば100MPa以上、典型的には150MPa以上)であり、凡そ5000MPa以下(例えば4200MPa以下、典型的には4000MPa以下)であることが適当である。A層の引張弾性率は、表面形状追従性の観点から、凡そ1000MPa以下(例えば600MPa以下、典型的には300MPa以下)であってもよい。A層の引張弾性率は、A層から任意の一方向(好ましくはMD)に沿って所定幅の試験片を切り出し、JIS K7161:1994に準拠して、室温(23℃)にて試験片を引張速度300mm/分の条件で上記一方向に延伸して得られた応力−ひずみ曲線の線形回帰から算出することができる。具体的には、後述の実施例に記載の方法で測定される。後述のB層および中間層についても同様である。   The tensile elastic modulus of the A layer (for example, the first surface layer) is not particularly limited, but is about 50 MPa or more (for example, 100 MPa or more, typically 150 MPa or more), and about 5000 MPa or less (for example, 4200 MPa or less, typically It is appropriate that the pressure is 4000 MPa or less. The tensile modulus of the A layer may be about 1000 MPa or less (for example, 600 MPa or less, typically 300 MPa or less) from the viewpoint of surface shape followability. The tensile modulus of the A layer is determined by cutting out a test piece having a predetermined width along an arbitrary direction (preferably MD) from the A layer, and observing the test piece at room temperature (23 ° C.) in accordance with JIS K7161: 1994. It can be calculated from a linear regression of a stress-strain curve obtained by stretching in the above-mentioned one direction under the condition of a tensile speed of 300 mm / min. Specifically, it is measured by the method described in Examples described later. The same applies to the later-described B layer and intermediate layer.

A層(例えば第一表面層)の厚さは、取扱い性や保護特性(例えば薬液浸入防止性)、被着体表面への追従性等の観点から、5〜300μm(例えば10〜150μm、典型的には15〜80μm)程度であることが好ましい。   The thickness of the A layer (for example, the first surface layer) is 5 to 300 μm (for example, 10 to 150 μm, typical) from the viewpoints of handleability, protective properties (for example, prevention of chemical solution intrusion), and followability to the adherend surface. Specifically, it is preferably about 15 to 80 μm.

B層を構成する樹脂材料も、被着体表面への追従性や保護特性(典型的には薬液浸入防止性)の観点から、ポリオレフィン系樹脂(より好ましくはPE系樹脂)を含むことが好ましい。典型的には、B層はポリオレフィン系樹脂層(より好ましくはPE系樹脂層)であり得る。また、薬液浸入防止性等の保護特性を好適に発揮する観点から、上記B層は、シート状基材の第二面(第一表面の反対側の表面)を構成する層(第二表面層)であることが好ましい。その場合、シート状基材の第二表面は保護シートの外表面を構成し得る。例えば、保護シートを薬液処理用保護シートとして利用する場合には、上記第二表面層をポリオレフィン系樹脂(例えばPE系樹脂)を含む樹脂材料から構成することで、薬液(典型的には酸性薬液)の浸入を保護シートの外表面で好適に阻止することができる。   The resin material constituting the layer B also preferably contains a polyolefin resin (more preferably a PE resin) from the viewpoint of followability to the surface of the adherend and protection properties (typically, prevention of chemical solution penetration). . Typically, the B layer may be a polyolefin resin layer (more preferably a PE resin layer). In addition, from the viewpoint of suitably exhibiting protective properties such as chemical solution penetration prevention properties, the B layer is a layer (second surface layer) constituting the second surface (surface opposite to the first surface) of the sheet-like substrate. ) Is preferable. In that case, the 2nd surface of a sheet-like base material can comprise the outer surface of a protection sheet. For example, when a protective sheet is used as a protective sheet for chemical treatment, the second surface layer is made of a resin material containing a polyolefin resin (for example, a PE resin), so that a chemical solution (typically an acidic chemical solution) is used. ) Can be suitably prevented at the outer surface of the protective sheet.

B層(例えば第二表面層)を構成する樹脂は、A層(例えば第一表面層)を構成する樹脂と同種であることが好ましい。これにより、作業性(典型的には貼り合わせ作業性)がより向上する。被着体表面への追従性や保護特性(典型的には薬液浸入防止性)の観点から、A層(例えば第一表面層)およびB層(例えば第二表面層)を構成する樹脂は、ポリオレフィン系樹脂であることが好ましく、PE系樹脂であることがさらに好ましい。また、優れた作業性(典型的には貼り合わせ作業性)をより好適に実現する観点から、A層(例えば第一表面層)を構成する樹脂材料は、B層(例えば第二表面層)を構成する樹脂材料と同種(典型的には同一組成)であることが好ましい。   The resin constituting the B layer (for example, the second surface layer) is preferably the same type as the resin constituting the A layer (for example, the first surface layer). Thereby, workability | operativity (typically bonding workability | operativity) improves more. From the viewpoint of followability to the adherend surface and protective properties (typically, prevention of chemical solution penetration), the resin constituting the A layer (for example, the first surface layer) and the B layer (for example, the second surface layer) A polyolefin resin is preferable, and a PE resin is more preferable. Further, from the viewpoint of more suitably realizing excellent workability (typically bonding workability), the resin material constituting the A layer (for example, the first surface layer) is the B layer (for example, the second surface layer). It is preferable that it is the same kind (typically the same composition) as the resin material which comprises.

B層(例えば第二表面層)の引張弾性率は、特に限定されないが、凡そ50MPa以上(例えば100MPa以上、典型的には150MPa以上)であり、凡そ5000MPa以下(例えば4200MPa以下、典型的には4000MPa以下)であることが適当である。上記引張弾性率は、表面形状追従性の観点から、凡そ1000MPa以下(例えば600MPa以下、典型的には300MPa以下)であってもよい。   The tensile elastic modulus of the B layer (for example, the second surface layer) is not particularly limited, but is about 50 MPa or more (for example, 100 MPa or more, typically 150 MPa or more), and about 5000 MPa or less (for example, 4200 MPa or less, typically It is appropriate that the pressure is 4000 MPa or less. The tensile elastic modulus may be about 1000 MPa or less (for example, 600 MPa or less, typically 300 MPa or less) from the viewpoint of surface shape followability.

B層(例えば第二表面層)の厚さは、取扱い性や保護特性(例えば薬液浸入防止性)、被着体表面への追従性等の観点から、5〜300μm(例えば10〜150μm、典型的には15〜80μm)程度であることが好ましい。B層が保護シートの外表面を構成する第二表面層である場合、B層による保護特性(例えば薬液浸入防止性)を好適に発揮させる観点から、上記厚さは20μm以上(例えば35μm以上、典型的には50μm以上)であることがより好ましい。   The thickness of the B layer (for example, the second surface layer) is 5 to 300 μm (for example, 10 to 150 μm, typical) from the viewpoints of handleability, protective properties (for example, prevention of chemical solution intrusion), and followability to the adherend surface. Specifically, it is preferably about 15 to 80 μm. In the case where the B layer is the second surface layer constituting the outer surface of the protective sheet, the thickness is 20 μm or more (for example, 35 μm or more, for example) from the viewpoint of suitably exerting the protective properties (for example, prevention of chemical solution intrusion) by the B layer. (Typically 50 μm or more) is more preferable.

好ましい一態様では、作業性(典型的には貼り合わせ作業性)の観点から、A層(例えば第一表面層)の引張弾性率E1LとB層(例えば第二表面層)の引張弾性率E2Lとの比(E1L:E2L)は、1:0.5〜1:2の範囲内である。上記比(E1L:E2L)は、好ましくは1:0.7〜1:1.4(例えば1:0.9〜1:1.1、典型的には1:0.95〜1:1.05)の範囲内である。 In a preferred embodiment, from the viewpoint of workability (typically bonding workability), the tensile elastic modulus E1L of the A layer (for example, the first surface layer) and the tensile elastic modulus of the B layer (for example, the second surface layer). The ratio to E 2L (E 1L : E 2L ) is in the range of 1: 0.5 to 1: 2. The ratio (E 1L : E 2L ) is preferably 1: 0.7 to 1: 1.4 (eg 1: 0.9 to 1: 1.1, typically 1: 0.95 to 1: 1.05).

好ましい一態様では、作業性(典型的には貼り合わせ作業性)の観点から、B層(例えば第二表面層)の厚さT2Lに対するA層(例えば第一表面層)の厚さT1Lの比(T1L/T2L)は、0.5〜2の範囲内である。比(T1L/T2L)は、好ましくは0.7〜1.3(例えば0.9〜1.1、典型的には0.95〜1.05)の範囲内である。B層が保護シートの外表面を構成する第二表面層である場合、B層による保護特性(例えば薬液浸入防止性)を好適に発揮させる観点から、上記比(T1L/T2L)を0.8以下(例えば0.7以下)とすることも好ましい。 In a preferred embodiment, from the viewpoint of workability (typically bonding workability), the thickness T 1L of the A layer (eg, the first surface layer) with respect to the thickness T 2L of the B layer (eg, the second surface layer). The ratio (T 1L / T 2L ) is in the range of 0.5-2. The ratio (T 1L / T 2L ) is preferably in the range of 0.7 to 1.3 (eg 0.9 to 1.1, typically 0.95 to 1.05). In the case where the B layer is the second surface layer constituting the outer surface of the protective sheet, the ratio (T 1L / T 2L ) is set to 0 from the viewpoint of suitably exhibiting the protective properties (for example, prevention of chemical solution intrusion) by the B layer. It is also preferable to set it to 8 or less (for example, 0.7 or less).

中間層を構成する樹脂材料は、所定の引張弾性率を示す保護シートを得る観点から、ポリエステル系樹脂を含むことが好ましく、PET系樹脂を含むことがさらに好ましい。好ましい一態様では、中間層はポリエステル系樹脂層(例えばPET系樹脂層)である。   The resin material constituting the intermediate layer preferably includes a polyester-based resin, and more preferably includes a PET-based resin, from the viewpoint of obtaining a protective sheet exhibiting a predetermined tensile elastic modulus. In a preferred embodiment, the intermediate layer is a polyester resin layer (for example, a PET resin layer).

中間層の引張弾性率は、特に限定されないが、凡そ50MPa以上(例えば100MPa以上、典型的には150MPa以上)であり、凡そ5000MPa以下(例えば4200MPa以下、典型的には4000MPa以下)であることが適当である。引張弾性率は、貼り合わせ性等の観点から、凡そ500MPa以上(例えば1200MPa以上、典型的には2200MPa以上)であってもよい。好ましい一態様では、中間層の引張弾性率は、凡そ2500MPa以上(より好ましくは2800MPa以上、例えば3200MPa以上、典型的には3500MPa以上)である。中間層の引張弾性率を上記の範囲とすることで、シート状基材の引張弾性率も好適な範囲となり得る。   The tensile elastic modulus of the intermediate layer is not particularly limited, but is about 50 MPa or more (for example, 100 MPa or more, typically 150 MPa or more), and about 5000 MPa or less (for example, 4200 MPa or less, typically 4000 MPa or less). Is appropriate. The tensile elastic modulus may be about 500 MPa or more (for example, 1200 MPa or more, typically 2200 MPa or more) from the viewpoint of bonding properties and the like. In a preferred embodiment, the intermediate layer has a tensile modulus of about 2500 MPa or more (more preferably 2800 MPa or more, such as 3200 MPa or more, typically 3500 MPa or more). By setting the tensile elastic modulus of the intermediate layer within the above range, the tensile elastic modulus of the sheet-like substrate can also be in a suitable range.

また、中間層の引張弾性率を調整(典型的には高める)ことでシート状基材の引張弾性率を所定の範囲とする場合には、中間層の引張弾性率と他の層(例えばA層やB層)の引張弾性率との差は100MPa以上(例えば800MPa以上、典型的には2200MPa以上)であってもよい。これにより、中間層以外の他の層(例えばA層やB層)に、例えば、低引張弾性率ではあるが他の特性(例えば薬液浸入防止性)に優れる材料を採用しやすくなる。   Further, when the tensile elastic modulus of the sheet-like base material is set within a predetermined range by adjusting (typically increasing) the tensile elastic modulus of the intermediate layer, the tensile elastic modulus of the intermediate layer and other layers (for example, A The difference from the tensile elastic modulus of the layer or the B layer may be 100 MPa or more (for example, 800 MPa or more, typically 2200 MPa or more). Thereby, it becomes easy to employ | adopt the material which is excellent in other characteristics (for example, chemical solution penetration prevention property), for example, although it is a low tensile elasticity modulus for layers other than an intermediate | middle layer (for example, A layer and B layer).

中間層の厚さは、貼り合わせ性や取扱い性等の観点から、3〜300μm(例えば10〜150μm、典型的には30〜80μm)程度であることが好ましい。   The thickness of the intermediate layer is preferably about 3 to 300 μm (for example, 10 to 150 μm, typically 30 to 80 μm) from the viewpoints of bonding properties and handleability.

ここに開示されるシート状基材は、上記A層、B層、中間層に加えて、それらとは異なる追加の層をさらに含んでもよい。上記追加の層は、特に限定されず、シート状基材に採用され得る上述の材料の1種または2種以上から構成された層であり得る。上記追加の層の配置箇所も特に限定されず、例えば、A層(例えば第一表面層)と中間層との密着性や、B層(例えば第二表面層)と中間層との密着性、さらにはシート状基材への粘着剤層の投錨性、を高めるために、それらの間に配置される層(例えば下塗り層、接着剤層)であり得る。さらには、例えば薬液浸入防止性等の表面保護の目的で、シート状基材の外表面に配置される層も追加の層となり得る。   The sheet-like base material disclosed here may further include an additional layer different from them in addition to the A layer, the B layer, and the intermediate layer. The additional layer is not particularly limited, and may be a layer composed of one or more of the above-described materials that can be employed for the sheet-like substrate. The arrangement position of the additional layer is not particularly limited, for example, the adhesion between the A layer (for example, the first surface layer) and the intermediate layer, the adhesion between the B layer (for example, the second surface layer) and the intermediate layer, Furthermore, in order to improve the anchoring property of the pressure-sensitive adhesive layer to the sheet-like substrate, it may be a layer (for example, an undercoat layer or an adhesive layer) disposed between them. Furthermore, a layer disposed on the outer surface of the sheet-like substrate can be an additional layer for the purpose of surface protection such as chemical solution intrusion prevention.

多層構造のシート状基材(例えば樹脂シート)は、従来公知の一般的なシート成形方法(押出成形、インフレーション成形等)および積層方法(共押出し法、ドライラミネート法、ホットメルト法)を適宜採用して製造することができる。好ましい一態様では、ドライラミネート法によって多層構造のシート状基材は作製され得る。ドライラミネート法によってシート状基材を積層する場合には、ドライラミネート用接着剤として、ポリエステル系やウレタン系、ゴム系の接着剤を用いることができる。上記接着剤の具体例としては、例えば、東洋モートン社製の商品名「TM−250HV/CAT−RT86−L60」、商品名「TM−569/CAT−RT37−0.8K」、三井化学社製の商品名「タケラックシリーズ」や「タケネートシリーズ」、大日精化工業社製の商品名「セイカボンドシリーズ」等の二液硬化型のドライラミネート用接着剤が挙げられる。あるいは、耐薬液性を有する粘着テープと各層(例えばA層、B層、中間層)とを貼りあわせることによっても、多層構造のシート状基材を得ることができる。上記粘着テープは、耐薬液性を有するものであれば特に限定されないが、支持基材の少なくとも一方の面(好ましくは片面)に粘着剤層を有するものが好適である。支持基材としては、上述のシート状基材に用いられ得る材料(典型的には樹脂成分)から形成されたものを用いることができる。この支持基材は、シート状基材を構成する層(例えばA層、B層、中間層)ともなり得る。また、粘着剤層を構成する粘着剤としては、特に限定されないが、例えば後述のアクリル系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、ゴム系粘着剤等が好ましく用いられ得る。   Multi-layered sheet-like substrates (for example, resin sheets) appropriately employ conventionally known general sheet molding methods (extrusion molding, inflation molding, etc.) and lamination methods (co-extrusion method, dry lamination method, hot melt method). Can be manufactured. In a preferred embodiment, a sheet-like substrate having a multilayer structure can be produced by a dry laminating method. When laminating a sheet-like substrate by the dry laminating method, a polyester-based, urethane-based or rubber-based adhesive can be used as an adhesive for dry laminating. Specific examples of the adhesive include, for example, trade name “TM-250HV / CAT-RT86-L60” manufactured by Toyo Morton, trade name “TM-569 / CAT-RT37-0.8K”, manufactured by Mitsui Chemicals, Inc. Two-curing type dry laminate adhesives such as “Takelac Series” and “Takenate Series”, and “Seika Bond Series” manufactured by Dainichi Seika Kogyo Co., Ltd. Alternatively, a sheet-like base material having a multilayer structure can also be obtained by laminating an adhesive tape having chemical resistance and each layer (for example, A layer, B layer, and intermediate layer). The pressure-sensitive adhesive tape is not particularly limited as long as it has chemical resistance, but one having a pressure-sensitive adhesive layer on at least one surface (preferably one surface) of the support base material is suitable. As a support base material, what was formed from the material (typically resin component) which can be used for the above-mentioned sheet-like base material can be used. This support base material can also be a layer (for example, A layer, B layer, intermediate | middle layer) which comprises a sheet-like base material. Moreover, it does not specifically limit as an adhesive which comprises an adhesive layer, For example, the below-mentioned acrylic adhesive, polyester adhesive, urethane adhesive, rubber adhesive, etc. may be used preferably.

シート状基材のうち粘着剤層が設けられる側の表面(粘着剤層側表面、粘着剤を塗付する面)には、該粘着剤層との接着性を向上させるための処理(粘着剤の投錨性を得るための処理)として、例えばコロナ放電処理、酸処理、紫外線照射処理、プラズマ処理、下塗剤(プライマー)塗付等の表面処理が施されていてもよい。シート状基材のうち上記粘着剤層側表面とは反対側の面(背面)には、必要に応じて帯電防止処理、剥離処理等の表面処理が施されていてもよい。剥離処理としては、例えば基材の粘着剤と接しない面(粘着剤層側表面の反対側表面)に長鎖アルキル系、シリコーン系の剥離処理層を設けることで、保護シートの巻戻し力を軽くすることができる。例えば、粘着剤層の表面(粘着面)をシート状基材の背面に当接させることで保護シートの使用時まで粘着面を保護する形態の保護シートでは、上記シート状基材の背面の算術平均表面粗さは0.05〜0.75μm(例えば凡そ0.05〜0.5μm、典型的には凡そ0.1〜0.3μm)であることが好ましい。これによって、保護シートの使用時まで粘着剤表面(粘着面)の平滑性を高く維持することができ、粘着剤と被着体との界面からの薬液浸入を好適に防止することができる。   Treatment (pressure-sensitive adhesive) for improving the adhesiveness to the pressure-sensitive adhesive layer on the surface of the sheet-like substrate on which the pressure-sensitive adhesive layer is provided (the surface on the pressure-sensitive adhesive layer side, the surface to which the pressure-sensitive adhesive is applied) For example, corona discharge treatment, acid treatment, ultraviolet irradiation treatment, plasma treatment, and surface treatment such as primer coating (primer) coating may be performed. A surface treatment such as an antistatic treatment or a peeling treatment may be applied to the surface (rear surface) of the sheet-like substrate opposite to the surface on the pressure-sensitive adhesive layer side, as necessary. As the release treatment, for example, by providing a long-chain alkyl-based or silicone-based release treatment layer on the surface of the base material that is not in contact with the adhesive (the surface opposite to the adhesive layer side surface), the unwinding force of the protective sheet can be increased. Can be lightened. For example, in the protection sheet of the form that protects the adhesive surface until the protective sheet is used by bringing the surface (adhesive surface) of the adhesive layer into contact with the back surface of the sheet-like substrate, the arithmetic on the back surface of the sheet-like substrate The average surface roughness is preferably 0.05 to 0.75 μm (for example, about 0.05 to 0.5 μm, typically about 0.1 to 0.3 μm). Thereby, the smoothness of the pressure-sensitive adhesive surface (pressure-sensitive adhesive surface) can be maintained high until the protective sheet is used, and chemical liquid intrusion from the interface between the pressure-sensitive adhesive and the adherend can be suitably prevented.

また、シート状基材のうち粘着剤層が設けられる側の表面は、粘着剤層の表面状態(粘着面の表面粗さ)に影響を及ぼさない程度(すなわち、粘着面の算術平均表面粗さを上昇させる要因とならない程度)の平滑性を有することが好ましい。例えば、シート状基材の粘着剤層側表面の算術平均表面粗さは1μm以下であることが好ましく、0.05〜0.75μm(例えば凡そ0.05〜0.5μm、典型的には凡そ0.1〜0.3μm)であることがより好ましい。これにより、粘着面の平滑性も高くなり、当該粘着面と被着体との界面から薬液が浸入するような不具合の発生が防止される。   In addition, the surface of the sheet-like base material on which the pressure-sensitive adhesive layer is provided does not affect the surface state of the pressure-sensitive adhesive layer (the surface roughness of the pressure-sensitive adhesive surface) (that is, the arithmetic average surface roughness of the pressure-sensitive adhesive surface) It is preferable to have smoothness that does not cause an increase in For example, the arithmetic average surface roughness of the surface of the sheet-like substrate on the pressure-sensitive adhesive layer side is preferably 1 μm or less, and is 0.05 to 0.75 μm (for example, approximately 0.05 to 0.5 μm, typically approximately 0.1 to 0.3 μm) is more preferable. Thereby, the smoothness of the pressure-sensitive adhesive surface is also improved, and the occurrence of a problem that the chemical solution enters from the interface between the pressure-sensitive adhesive surface and the adherend is prevented.

シート状基材の総厚さは、使用する樹脂シートの可撓性(硬度)等に応じて適宜選択することができる。被着体表面への追従性等の観点から、通常は、シート状基材の総厚さは500μm以下が適当であり、好ましくは300μm以下であり、より好ましくは200μm以下である。また、剥離作業性その他の取扱い性(ハンドリング性)の観点から、上記総厚さは、10μm以上が適当であり、好ましくは50μm以上であり、より好ましくは90μm以上(例えば100μm以上、典型的には130μm以上)である。シート状基材の総厚さが大きくなると、保護シート表面からの薬液の浸入を防ぎやすくなる傾向にある。   The total thickness of the sheet-like substrate can be appropriately selected according to the flexibility (hardness) of the resin sheet used. In general, the total thickness of the sheet-like base material is suitably 500 μm or less, preferably 300 μm or less, more preferably 200 μm or less, from the viewpoint of followability to the adherend surface and the like. Further, from the viewpoint of peeling workability and other handling properties (handling properties), the total thickness is suitably 10 μm or more, preferably 50 μm or more, more preferably 90 μm or more (for example, 100 μm or more, typically Is 130 μm or more). When the total thickness of the sheet-like substrate is increased, it tends to be easy to prevent the infiltration of the chemical solution from the surface of the protective sheet.

<粘着剤層>
シート状基材上に設けられる粘着剤層を構成する粘着剤の種類は特に限定されない。例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤(天然ゴム系、合成ゴム系、これらの混合系等)、シリコーン系粘着剤、ウレタン系粘着剤、ポリエステル系粘着剤、ポリエーテル系粘着剤、フッ素系粘着剤等の公知の各種粘着剤から選択される1種または2種以上の粘着剤であり得る。なかでも、粘着特性や薬液浸入防止性等の観点から、アクリル系粘着剤、ゴム系粘着剤、シリコーン系粘着剤が好ましい。
<Adhesive layer>
The kind of adhesive which comprises the adhesive layer provided on a sheet-like base material is not specifically limited. For example, acrylic adhesives, rubber adhesives (natural rubbers, synthetic rubbers, mixed systems thereof), silicone adhesives, urethane adhesives, polyester adhesives, polyether adhesives, fluorine adhesives It may be one type or two or more types of pressure-sensitive adhesives selected from various known pressure-sensitive adhesives such as pressure-sensitive adhesives. Of these, acrylic pressure-sensitive adhesives, rubber-based pressure-sensitive adhesives, and silicone-based pressure-sensitive adhesives are preferable from the viewpoints of pressure-sensitive adhesive properties and chemical solution intrusion prevention properties.

好ましい一態様では、粘着剤層を構成する粘着剤は、ベースポリマーとしてアクリル系ポリマーを含有するアクリル系粘着剤である。なお、粘着剤の「ベースポリマー」とは、該粘着剤に含まれるゴム状ポリマーの主成分をいう。上記ゴム状ポリマーとは、室温付近の温度域においてゴム弾性を示すポリマーをいう。上記アクリル系ポリマーとしては、例えば、アルキル(メタ)アクリレートを主モノマーとして含み、該主モノマーと共重合性を有する副モノマーをさらに含み得るモノマー成分の重合物が好ましい。ここで主モノマーとは、上記モノマー成分におけるモノマー組成の50重量%超を占める成分をいう。   In a preferred embodiment, the pressure-sensitive adhesive constituting the pressure-sensitive adhesive layer is an acrylic pressure-sensitive adhesive containing an acrylic polymer as a base polymer. The “base polymer” of the pressure-sensitive adhesive refers to the main component of the rubbery polymer contained in the pressure-sensitive adhesive. The rubbery polymer refers to a polymer that exhibits rubber elasticity in a temperature range near room temperature. As the acrylic polymer, for example, a polymer of a monomer component that includes an alkyl (meth) acrylate as a main monomer and may further include a submonomer copolymerizable with the main monomer is preferable. Here, the main monomer means a component occupying more than 50% by weight of the monomer composition in the monomer component.

アルキル(メタ)アクリレートとしては、例えば下記式(1)で表される化合物を好ましく用いることができる。
CH=C(R)COOR (1)
ここで、上記式(1)中のRは水素原子またはメチル基である。また、Rは炭素原子数1〜20の鎖状アルキル基(以下、このような炭素原子数の範囲を「C1−20」と表すことがある。)である。粘着剤の貯蔵弾性率等の観点から、RがC1−14(例えばC2−12、典型的にはC4−8)の鎖状アルキル基であるアルキル(メタ)アクリレートが好ましく、Rが水素原子でRがC4−8の鎖状アルキル基であるアルキルアクリレート(以下、単にC4−8アルキルアクリレートともいう。)がより好ましい。上記RがC1−20の鎖状アルキル基であるアルキル(メタ)アクリレートは、1種を単独でまたは2種以上を組み合わせて用いることができる。好ましいアルキル(メタ)アクリレートとして、n−ブチルアクリレート(BA)および2−エチルヘキシルアクリレート(2EHA)が挙げられる。
As the alkyl (meth) acrylate, for example, a compound represented by the following formula (1) can be preferably used.
CH 2 = C (R 1 ) COOR 2 (1)
Here, R 1 in the above formula (1) is a hydrogen atom or a methyl group. R 2 is a chain alkyl group having 1 to 20 carbon atoms (hereinafter, such a range of the number of carbon atoms may be represented as “C 1-20 ”). From the viewpoint of the storage elastic modulus and the like of the pressure-sensitive adhesive, an alkyl (meth) acrylate in which R 2 is a chain alkyl group of C 1-14 (eg, C 2-12 , typically C 4-8 ) is preferable, and R Alkyl acrylates in which 1 is a hydrogen atom and R 2 is a C 4-8 chain alkyl group (hereinafter also simply referred to as C 4-8 alkyl acrylate) are more preferable. The alkyl (meth) acrylate in which R 2 is a C 1-20 chain alkyl group can be used alone or in combination of two or more. Preferred alkyl (meth) acrylates include n-butyl acrylate (BA) and 2-ethylhexyl acrylate (2EHA).

より好ましい一態様では、上記式(1)中のRが炭素原子数6以上(例えば7以上、典型的には8以上)のアルキル基であるモノマーを用いることができる。このモノマーは、アルキル基の炭素原子数が比較的多いので疎水性が高く、薬液(特に、フッ酸溶液等の酸性溶液)浸入防止性に優れる。例えば、Rがヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、ノニル基、2−エチルヘキシル基、プロピルヘキシル基、ラウリル等であるアルキル(メタ)アクリレートが好ましい。特に好ましいアルキル(メタ)アクリレートとして2EHAが挙げられる。 In a more preferred embodiment, a monomer in which R 2 in the above formula (1) is an alkyl group having 6 or more carbon atoms (for example, 7 or more, typically 8 or more) can be used. Since this monomer has a relatively large number of carbon atoms in the alkyl group, it is highly hydrophobic, and has excellent chemical solution (especially acidic solution such as hydrofluoric acid solution) infiltration prevention properties. For example, alkyl (meth) acrylates in which R 2 is a hexyl group, heptyl group, octyl group, nonyl group, 2-ethylhexyl group, propylhexyl group, lauryl or the like are preferable. A particularly preferred alkyl (meth) acrylate is 2EHA.

全モノマー成分中における主モノマーの配合割合は70重量%以上(例えば85重量%以上、典型的には90重量%以上)であることが好ましい。主モノマーの配合割合の上限は特に限定されないが、99.5重量%以下(例えば99重量%以下)とすることが好ましい。ここに開示される技術は、アルキル(メタ)アクリレートとして、上記式(1)で表されるアルキル(メタ)アクリレートのうち、炭素原子数7以下のアルキル基を有するアルキル(メタ)アクリレートの割合が15重量%以下(例えば10重量%以下、典型的には5重量%以下)である態様でも好ましく実施され得る。アクリル系ポリマーのモノマー組成は、上記RがC1−7のアルキル基であるアルキル(メタ)アクリレートを実質的に含まない組成であってもよい。 The blending ratio of the main monomer in all monomer components is preferably 70% by weight or more (for example, 85% by weight or more, typically 90% by weight or more). The upper limit of the mixing ratio of the main monomer is not particularly limited, but is preferably 99.5% by weight or less (for example, 99% by weight or less). In the technique disclosed herein, as the alkyl (meth) acrylate, the ratio of the alkyl (meth) acrylate having an alkyl group having 7 or less carbon atoms in the alkyl (meth) acrylate represented by the above formula (1) is as follows. An embodiment in which the amount is 15% by weight or less (for example, 10% by weight or less, typically 5% by weight or less) can be preferably implemented. The monomer composition of the acrylic polymer may be a composition that substantially does not contain an alkyl (meth) acrylate in which R 2 is a C 1-7 alkyl group.

主モノマーであるアルキル(メタ)アクリレートと共重合性を有する副モノマーは、アクリル系ポリマーに架橋点を導入したり、アクリル系ポリマーの凝集力を高めたりするために役立ち得る。副モノマーとして、例えばカルボキシ基含有モノマー、水酸基含有モノマー、酸無水物基含有モノマー、アミド基含有モノマー、アミノ基含有モノマー、ケト基含有モノマー、窒素原子含有環を有するモノマー、アルコキシシリル基含有モノマー、イミド基含有モノマー、エポキシ基含有モノマー等の官能基含有モノマーの1種または2種以上を使用することができる。例えば、凝集力向上の観点から、上記副モノマーとしてカルボキシ基含有モノマーおよび/または水酸基含有モノマーが共重合されたアクリル系ポリマーが好ましい。上記カルボキシ基含有モノマーの好適例としては、アクリル酸、メタクリル酸等が例示される。上記水酸基含有モノマーとしては、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート等のヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート類や不飽和アルコール類等が挙げられる。なかでも、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートが好ましく、2−ヒドロキシエチルアクリレート(HEA)、4−ヒドロキシブチルアクリレート(4HBA)がより好ましい。   A submonomer having copolymerizability with the main monomer, alkyl (meth) acrylate, can be useful for introducing a crosslinking point into the acrylic polymer or increasing the cohesive strength of the acrylic polymer. As a secondary monomer, for example, a carboxy group-containing monomer, a hydroxyl group-containing monomer, an acid anhydride group-containing monomer, an amide group-containing monomer, an amino group-containing monomer, a keto group-containing monomer, a monomer having a nitrogen atom-containing ring, an alkoxysilyl group-containing monomer, One type or two or more types of functional group-containing monomers such as imide group-containing monomers and epoxy group-containing monomers can be used. For example, from the viewpoint of improving cohesive strength, an acrylic polymer obtained by copolymerizing a carboxy group-containing monomer and / or a hydroxyl group-containing monomer as the submonomer is preferable. Preferable examples of the carboxy group-containing monomer include acrylic acid and methacrylic acid. Examples of the hydroxyl group-containing monomer include 2-hydroxyethyl (meth) acrylate, 2-hydroxypropyl (meth) acrylate, 3-hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-hydroxybutyl (meth) acrylate, and 4-hydroxybutyl (meth). Examples thereof include hydroxyalkyl (meth) acrylates such as acrylates and unsaturated alcohols. Of these, hydroxyalkyl (meth) acrylate is preferable, and 2-hydroxyethyl acrylate (HEA) and 4-hydroxybutyl acrylate (4HBA) are more preferable.

上記副モノマーの量は、所望の凝集力が実現されるように適宜選択すればよく、特に限定されない。通常は、凝集力と他の粘着特性(例えば粘着力)とをバランス良く両立させる観点から、副モノマーの量は、アクリル系ポリマーの全モノマー成分中の0.5重量%以上とすることが適当であり、好ましくは1重量%以上である。また、副モノマーの量は、全モノマー成分中の30重量%以下が適当であり、好ましくは10重量%以下(例えば5重量%以下)である。   The amount of the submonomer may be appropriately selected so as to achieve a desired cohesive force, and is not particularly limited. Usually, from the viewpoint of achieving a good balance between cohesive strength and other adhesive properties (for example, adhesive strength), the amount of secondary monomer is suitably 0.5% by weight or more based on the total monomer components of the acrylic polymer. And preferably 1% by weight or more. Further, the amount of the submonomer is suitably 30% by weight or less, preferably 10% by weight or less (for example, 5% by weight or less) in the total monomer components.

ここに開示されるアクリル系ポリマーには、本発明の効果を顕著に損なわない範囲で、上記以外のモノマー(共重合可能なその他のモノマー)が共重合されていてもよい。上記その他のモノマーは、例えば、アクリル系ポリマーのガラス転移温度の調整、粘着性能(例えば剥離性)の調整等の目的で使用することができる。例えば、粘着剤の凝集力や耐熱性を向上させ得るモノマーとして、酢酸ビニル等のビニルエステル類、スルホン酸基含有モノマー、リン酸基含有モノマー、シアノ基含有モノマー、芳香族ビニル化合物等が挙げられる。また、アクリル系ポリマーの架橋処理等を目的として、多官能性モノマーを共重合性成分として用いてもよい。これらその他のモノマーは1種を単独でまたは2種以上を組み合わせて用いることができる。上記その他のモノマーの量は、目的および用途に応じて適宜選択すればよく特に限定されないが、例えば、アクリル系ポリマーの全モノマー成分中の30重量%以下(例えば20重量%以下、典型的には10重量%以下)とすることが適当である。   The acrylic polymer disclosed herein may be copolymerized with a monomer other than the above (other copolymerizable monomers) as long as the effects of the present invention are not significantly impaired. The other monomers can be used for the purpose of adjusting the glass transition temperature of the acrylic polymer, adjusting the adhesive performance (for example, peelability), and the like. Examples of monomers that can improve the cohesive strength and heat resistance of the pressure-sensitive adhesive include vinyl esters such as vinyl acetate, sulfonic acid group-containing monomers, phosphoric acid group-containing monomers, cyano group-containing monomers, and aromatic vinyl compounds. . Moreover, you may use a polyfunctional monomer as a copolymerizable component for the objective of the crosslinking process of an acrylic polymer, etc. These other monomers can be used alone or in combination of two or more. The amount of the other monomer may be appropriately selected depending on the purpose and application, and is not particularly limited. For example, it is 30% by weight or less (for example, 20% by weight or less, typically 20% by weight or less in the total monomer component of the acrylic polymer). 10% by weight or less) is appropriate.

アクリル系ポリマーを得る方法は特に限定されず、溶液重合法、乳化重合法、塊状重合法、懸濁重合法等の、アクリル系ポリマーの合成手法として知られている各種の重合方法を適宜採用することができる。なかでも、耐水性および薬液浸入防止性の観点から、溶液重合法を好ましく用いることができる。溶液重合を行う際のモノマー供給方法や重合温度は、目的や使用材料等に応じて適宜選択すればよい。溶液重合に用いる溶媒(重合溶媒)の好適例としては、トルエン等の芳香族化合物類(典型的には芳香族炭化水素類)や、酢酸エチル等の脂肪族または脂環式炭化水素類、アセチルアセトン等のケトン類等が挙げられる。重合に用いる開始剤は、重合方法の種類に応じて、従来公知の重合開始剤から適宜選択することができる。例えば、2,2’−アゾビスイソブチロニトリル、2,2′−アゾビス−2−メチルプロピオニトリル等のアゾ系重合開始剤の1種または2種以上を好ましく使用し得る。重合開始剤の使用量は、通常の使用量であればよく、例えば、全モノマー成分100重量部に対して0.005〜1重量部程度の範囲から選択することができる。   The method for obtaining the acrylic polymer is not particularly limited, and various polymerization methods known as synthetic methods for acrylic polymers, such as solution polymerization, emulsion polymerization, bulk polymerization, and suspension polymerization, are appropriately employed. be able to. Among these, the solution polymerization method can be preferably used from the viewpoint of water resistance and chemical solution penetration prevention. What is necessary is just to select the monomer supply method and polymerization temperature at the time of performing solution polymerization suitably according to the objective, the material to be used, etc. Preferred examples of the solvent (polymerization solvent) used for solution polymerization include aromatic compounds such as toluene (typically aromatic hydrocarbons), aliphatic or alicyclic hydrocarbons such as ethyl acetate, and acetylacetone. And ketones. The initiator used for the polymerization can be appropriately selected from conventionally known polymerization initiators according to the type of the polymerization method. For example, one or more azo polymerization initiators such as 2,2'-azobisisobutyronitrile and 2,2'-azobis-2-methylpropionitrile can be preferably used. The usage-amount of a polymerization initiator should just be a normal usage-amount, for example, can be selected from the range of about 0.005-1 weight part with respect to 100 weight part of all the monomer components.

ここに開示される粘着剤層(粘着剤からなる層)は、水系粘着剤組成物、溶剤型粘着剤組成物、ホットメルト型粘着剤組成物、活性エネルギー線硬化型粘着剤組成物から形成された粘着剤層であり得る。水系粘着剤組成物とは、水を主成分とする溶媒(水系溶媒)中に粘着剤(粘着剤層形成成分)を含む形態の粘着剤組成物のことをいい、典型的には、水分散型粘着剤組成物(粘着剤の少なくとも一部が水に分散した形態の組成物)等と称されるものが含まれる。また、溶剤型粘着剤組成物とは、有機溶媒中に粘着剤を含む形態の粘着剤組成物のことをいう。ここに開示される技術は、粘着特性等の観点から、溶剤型粘着剤組成物から形成された粘着剤層を備える態様で好ましく実施され得る。   The pressure-sensitive adhesive layer (layer made of pressure-sensitive adhesive) disclosed herein is formed from a water-based pressure-sensitive adhesive composition, a solvent-type pressure-sensitive adhesive composition, a hot-melt pressure-sensitive adhesive composition, and an active energy ray-curable pressure-sensitive adhesive composition. It can be an adhesive layer. The water-based pressure-sensitive adhesive composition refers to a pressure-sensitive adhesive composition in a form containing a pressure-sensitive adhesive (pressure-sensitive adhesive layer forming component) in a water-based solvent (water-based solvent), and is typically dispersed in water. What is called a type pressure-sensitive adhesive composition (a composition in which at least a part of the pressure-sensitive adhesive is dispersed in water) and the like are included. Moreover, a solvent-type adhesive composition means the adhesive composition of the form which contains an adhesive in an organic solvent. The technique disclosed here can be preferably implemented in an aspect including a pressure-sensitive adhesive layer formed from a solvent-type pressure-sensitive adhesive composition from the viewpoint of pressure-sensitive adhesive properties and the like.

好ましい一態様では、粘着剤層を形成するために用いられる粘着剤組成物は架橋剤を含む。架橋剤の種類は特に制限されず、従来公知の架橋剤から適宜選択して用いることができる。そのような架橋剤としては、例えば、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、オキサゾリン系架橋剤、アジリジン系架橋剤、メラミン系架橋剤、金属キレート系架橋剤等が挙げられる。架橋剤は、1種を単独でまたは2種以上を組み合わせて用いることができる。密着性と軽剥離性とを高度に両立し得ることから、イソシアネート系架橋剤、エポキシ系架橋剤、メラミン系架橋剤が好ましい。イソシアネート系架橋剤は、水酸基と好適に架橋することができ、また貯蔵性に優れるため取扱いがしやすく、耐酸性にも優れるという利点がある。上記粘着剤組成物に含まれる架橋剤の量は特に限定されないが、上記アクリル系ポリマー100重量部に対し、凡そ0.01〜10重量部程度(例えば0.1〜7重量部、典型的には0.5〜5重量部)とすることが適当である。   In a preferred embodiment, the pressure-sensitive adhesive composition used for forming the pressure-sensitive adhesive layer contains a crosslinking agent. The kind in particular of a crosslinking agent is not restrict | limited, It can select from a conventionally well-known crosslinking agent suitably and can be used. Examples of such a crosslinking agent include an isocyanate crosslinking agent, an epoxy crosslinking agent, an oxazoline crosslinking agent, an aziridine crosslinking agent, a melamine crosslinking agent, and a metal chelate crosslinking agent. A crosslinking agent can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types. An isocyanate-based cross-linking agent, an epoxy-based cross-linking agent, and a melamine-based cross-linking agent are preferable because adhesion and light peelability can be highly compatible. Isocyanate-based crosslinking agents can be suitably cross-linked with hydroxyl groups, and also have the advantage of being easy to handle and excellent in acid resistance because of excellent storage properties. The amount of the crosslinking agent contained in the pressure-sensitive adhesive composition is not particularly limited, but is about 0.01 to 10 parts by weight (for example, 0.1 to 7 parts by weight, typically 100 parts by weight of the acrylic polymer). Is suitably 0.5-5 parts by weight).

上記粘着剤組成物は架橋促進剤をさらに含んでもよい。架橋促進剤の種類は、使用する架橋剤の種類に応じて適宜選択することができる。なお、本明細書において架橋促進剤とは、架橋剤による架橋反応の速度を高める触媒を指す。かかる架橋促進剤としては、例えばジオクチル錫ジラウレート、ジブチル錫ジラウレート、ジブチル錫ジアセテート、ジブチル錫ジアセチルアセトナート、テトラ−n−ブチル錫、トリメチル錫ヒドロキシド等の錫(Sn)含有化合物;N,N,N’,N’−テトラメチルヘキサンジアミンやトリエチルアミン等のアミン類、イミダゾール類等の窒素(N)含有化合物;が例示される。なかでも、Sn含有化合物が好ましい。上記粘着剤組成物に含まれる架橋促進剤の量は、上記アクリル系ポリマー100重量部に対し、例えば0.001〜0.5重量部程度(好ましくは0.001〜0.1重量部程度)とすることができる。   The pressure-sensitive adhesive composition may further contain a crosslinking accelerator. The kind of crosslinking accelerator can be suitably selected according to the kind of crosslinking agent to be used. In the present specification, the crosslinking accelerator refers to a catalyst that increases the speed of the crosslinking reaction by the crosslinking agent. Examples of the crosslinking accelerator include tin (Sn) -containing compounds such as dioctyltin dilaurate, dibutyltin dilaurate, dibutyltin diacetate, dibutyltin diacetylacetonate, tetra-n-butyltin, and trimethyltin hydroxide; N, N , N ′, N′-tetramethylhexanediamine, amines such as triethylamine, and nitrogen (N) -containing compounds such as imidazoles. Of these, Sn-containing compounds are preferred. The amount of the crosslinking accelerator contained in the pressure-sensitive adhesive composition is, for example, about 0.001 to 0.5 parts by weight (preferably about 0.001 to 0.1 parts by weight) with respect to 100 parts by weight of the acrylic polymer. It can be.

また、保護時(例えば薬液処理時)のシール性と保護後(例えば薬液処理後)の剥離性とを両立するため、保護シートを貼り付けた後、放射線・熱等の処理(粘着力低下処理)により粘着剤の粘着力が低下する粘着剤組成物を用いてもよい。そのような粘着剤組成物としては、例えばアクリル系ポリマーの側鎖、主鎖中または主鎖末端に炭素−炭素二重結合を導入した内在型の放射線・熱硬化型粘着剤組成物が挙げられる。上記放射線・熱硬化型粘着剤組成物は、該組成物を用いて形成した粘着剤層を備える保護シートを被着体に貼り付け、その後、放射線照射・加熱により硬化させることで粘着力を低下させることができる。また、紫外線硬化性のモノマー成分やオリゴマー成分を配合した添加型の放射線硬化型粘着剤組成物を使用することも可能である。当該放射線硬化型(典型的には紫外線硬化型)の粘着剤組成物には、光重合開始剤を含有させることが好ましい。   In addition, in order to achieve both sealability during protection (for example, during chemical treatment) and releasability after protection (for example, after treatment with chemical), after applying a protective sheet, treatment such as radiation and heat (adhesion reduction processing) ) May be used to reduce the adhesive strength of the adhesive. Examples of such a pressure-sensitive adhesive composition include an internal radiation / thermosetting pressure-sensitive adhesive composition in which a carbon-carbon double bond is introduced into the side chain, main chain or main chain terminal of an acrylic polymer. . The radiation / thermosetting pressure-sensitive adhesive composition has a pressure-sensitive adhesive strength that is reduced by applying a protective sheet having a pressure-sensitive adhesive layer formed using the composition to an adherend and then curing it by irradiation / heating. Can be made. It is also possible to use an additive type radiation curable pressure-sensitive adhesive composition containing an ultraviolet curable monomer component or oligomer component. The radiation curable (typically ultraviolet curable) pressure-sensitive adhesive composition preferably contains a photopolymerization initiator.

さらに、加熱により発泡または膨張する成分を含有させ、所定の温度で粘着剤を膨張させ粘着力を低下させるような粘着剤組成物も好適例として挙げられる。そのような粘着剤組成物としては、例えばイソブタン、プロパン等の加熱により容易にガス化する物質を、弾性を有する殻内に内包させた熱膨張性微小球(例えば、商品名「マイクロスフィア」、松本油脂製薬社製等)を配合したものが挙げられる。さらに、アクリル系ポリマーの主鎖を構成する主モノマーとして炭素数12以上のアルキル基を有するアルキル(メタ)アクリレートを使用することにより、粘着剤を結晶化させて加熱により粘着力を低減するような構成を採用することも可能である。   Furthermore, a pressure-sensitive adhesive composition that contains a component that foams or expands by heating, expands the pressure-sensitive adhesive at a predetermined temperature, and reduces the pressure-sensitive adhesive force is also preferred. As such a pressure-sensitive adhesive composition, for example, thermally expandable microspheres (for example, trade name “Microsphere”) in which a substance that is easily gasified by heating, such as isobutane and propane, is encapsulated in an elastic shell. Matsumoto Yushi Seiyaku Co., Ltd. and the like) are included. Further, by using an alkyl (meth) acrylate having an alkyl group having 12 or more carbon atoms as a main monomer constituting the main chain of the acrylic polymer, the pressure-sensitive adhesive is reduced by heating by crystallizing the pressure-sensitive adhesive. It is also possible to adopt a configuration.

上記粘着剤組成物は、必要に応じて、ロジン系樹脂等の粘着付与剤、剥離調整剤、帯電防止剤、スリップ剤、アンチブロッキング剤、レベリング剤、可塑剤、充填材、着色剤(顔料、染料等)、pH調整剤、分散剤、安定剤、防腐剤、老化防止剤等の、粘着剤の分野において一般的に使用される各種添加剤を必要に応じてさらに含有してもよい。このような各種添加剤については、従来公知のものを常法により使用すればよい。   The above-mentioned pressure-sensitive adhesive composition includes a rosin-based resin tackifier, a release modifier, an antistatic agent, a slip agent, an anti-blocking agent, a leveling agent, a plasticizer, a filler, a colorant (pigment, Dyes, etc.), pH adjusters, dispersants, stabilizers, preservatives, anti-aging agents, and the like, may optionally further contain various additives generally used in the field of pressure-sensitive adhesives. About such various additives, a conventionally well-known thing should just be used by a conventional method.

ここに開示される粘着剤層は、従来公知の方法によって形成することができる。粘着剤組成物の塗付は、例えばグラビアロールコーター等の慣用のコーターを用いて行うことができる。架橋反応の促進、製造効率向上等の観点から、粘着剤組成物の乾燥は加熱下で行うことが好ましい。粘着剤組成物が塗付される支持体の種類にもよるが、例えば凡そ40℃〜150℃程度の乾燥温度を採用することができる。乾燥後、架橋反応がさらに進むようにエージング処理を施してもよい。なお、ここに開示される粘着剤層は典型的には連続的に形成されるが、このような形態に限定されるものではなく、例えば点状、ストライプ状等の規則的あるいはランダムなパターンに形成された粘着剤層であってもよい。   The pressure-sensitive adhesive layer disclosed herein can be formed by a conventionally known method. The pressure-sensitive adhesive composition can be applied using a conventional coater such as a gravure roll coater. From the viewpoint of promoting the crosslinking reaction and improving the production efficiency, the pressure-sensitive adhesive composition is preferably dried under heating. Depending on the type of support to which the pressure-sensitive adhesive composition is applied, for example, a drying temperature of about 40 ° C. to 150 ° C. can be employed. After drying, an aging treatment may be performed so that the crosslinking reaction further proceeds. The pressure-sensitive adhesive layer disclosed herein is typically formed continuously, but is not limited to such a form, for example, a regular or random pattern such as a dot or stripe. The formed adhesive layer may be sufficient.

粘着剤層の厚さは特に限定されず、目的に応じて適宜調整することができる。粘着剤層の厚さは、例えば1〜100μm程度であり得る。被着体表面との密着性の観点から好適な厚さは3μm以上(例えば5μm以上、典型的には10μm以上)である。また、剥離作業性の観点から、粘着剤層の厚さは40μm以下(典型的には30μm以下)が好ましい。粘着剤層の厚さが大きすぎないことは、粘着剤の膨潤による薬液浸入を抑制する観点からも好ましい。   The thickness of an adhesive layer is not specifically limited, It can adjust suitably according to the objective. The thickness of the pressure-sensitive adhesive layer can be, for example, about 1 to 100 μm. A suitable thickness from the viewpoint of adhesion to the adherend surface is 3 μm or more (for example, 5 μm or more, typically 10 μm or more). From the viewpoint of peeling workability, the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer is preferably 40 μm or less (typically 30 μm or less). It is preferable that the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer is not too large from the viewpoint of suppressing the infiltration of the chemical liquid due to the swelling of the pressure-sensitive adhesive.

保護シートを構成する粘着剤のゲル分率は特に限定されず、例えば20重量%以上(例えば25重量%以上、典型的には30重量%以上)であり得る。これにより、保護シートの外縁からの薬液浸入防止性が向上する。また、粘着剤の凝集力が高まり、保護シートを剥離する際に糊残り等の汚染が発生しにくくなる。ゲル分率の上限は特に限定されないが、凡そ80重量%以下(例えば70重量%以下、典型的には60重量%未満)であり得る。ゲル分率が高すぎると、粘着剤の構成によっては被着体表面との密着性が低下しやすくなり、粘着剤と被着体との界面からの薬液浸入が起こりやすくなることがあり得る。ゲル分率は、アクリル系ポリマーの共重合組成(例えば、官能基含有モノマーや多官能性モノマーの使用)や分子量、架橋剤その他の添加剤等により調節することができる。   The gel fraction of the pressure-sensitive adhesive constituting the protective sheet is not particularly limited, and may be, for example, 20% by weight or more (for example, 25% by weight or more, typically 30% by weight or more). Thereby, the chemical solution intrusion prevention property from the outer edge of the protective sheet is improved. Further, the cohesive force of the pressure-sensitive adhesive is increased, and contamination such as adhesive residue is less likely to occur when the protective sheet is peeled off. The upper limit of the gel fraction is not particularly limited, but may be about 80% by weight or less (eg, 70% by weight or less, typically less than 60% by weight). When the gel fraction is too high, depending on the configuration of the pressure-sensitive adhesive, the adhesion to the adherend surface tends to be reduced, and chemical liquid intrusion from the interface between the pressure-sensitive adhesive and the adherend may easily occur. The gel fraction can be adjusted by copolymerization composition of acrylic polymer (for example, use of functional group-containing monomer or polyfunctional monomer), molecular weight, cross-linking agent and other additives.

ゲル分率は、重さW1の測定サンプルをテトラフルオロエチレン樹脂製多孔質シートに包んで室温で1週間酢酸エチルに浸漬した後、その測定サンプルを乾燥させて酢酸エチル不溶解分の重さW2を計測し、W1およびW2を次式:ゲル分率[%]=W2/W1×100;に代入することにより求められる。上記テトラフルオロエチレン樹脂製多孔質シートとしては、日東電工社製の商品名「ニトフロン(登録商標)NTF1122」を使用することができる。   The gel fraction was measured by wrapping a measurement sample having a weight W1 in a porous sheet made of tetrafluoroethylene resin and immersing the sample in ethyl acetate for 1 week at room temperature, then drying the measurement sample and weighing the weight W2 of the ethyl acetate insoluble matter. And W1 and W2 are calculated by substituting into the following formula: gel fraction [%] = W2 / W1 × 100; As the porous sheet made of tetrafluoroethylene resin, a trade name “Nitoflon (registered trademark) NTF1122” manufactured by Nitto Denko Corporation can be used.

<剥離ライナー>
保護シートは、その使用前(被着体への貼付け前)には、粘着剤層の表面上に剥離ライナーが配置された剥離ライナー付き保護シートの形態であり得る。剥離ライナーとしては、慣用の剥離紙等を使用することができ、特に限定されない。例えば、PET等の樹脂シートや紙等のライナー基材の表面に剥離処理層を有する剥離ライナーや、フッ素系ポリマー(ポリテトラフルオロエチレン等)やポリオレフィン系樹脂(ポリエチレン、ポリプロピレン等)の低接着性材料からなる剥離ライナー等を用いることができる。上記剥離処理層は、例えば、シリコーン系、長鎖アルキル系、フッ素系、硫化モリブデン等の剥離処理剤により上記ライナー基材を表面処理して形成されたものであり得る。剥離ライナーの厚さは特に限定されず、凡そ5〜500μm(例えば凡そ10〜200μm、典型的には凡そ30〜200μm)であり得る。
<Release liner>
The protective sheet may be in the form of a protective sheet with a release liner in which a release liner is disposed on the surface of the pressure-sensitive adhesive layer before use (before application to an adherend). A conventional release paper or the like can be used as the release liner, and is not particularly limited. For example, a low-adhesiveness of a release liner having a release treatment layer on the surface of a liner substrate such as a resin sheet such as PET or paper, or a fluorine-based polymer (polytetrafluoroethylene, etc.) or a polyolefin resin (polyethylene, polypropylene, etc.) A release liner made of a material can be used. The release treatment layer may be formed, for example, by surface-treating the liner base material with a release treatment agent such as silicone-based, long-chain alkyl-based, fluorine-based, or molybdenum sulfide. The thickness of the release liner is not particularly limited, and may be about 5 to 500 μm (for example, about 10 to 200 μm, typically about 30 to 200 μm).

また、剥離ライナーの表面のうち粘着剤層上に配置される側の表面の算術平均表面粗さは、0.05〜0.75μm(例えば凡そ0.05〜0.5μm、典型的には凡そ0.1〜0.3μm)であることが好ましい。これによって、保護シートの使用時まで粘着剤表面(粘着面)の平滑性を高く維持することができる。粘着面の平滑性が高いことは、粘着剤と被着体との界面からの薬液浸入を防止するうえで有利である。   In addition, the arithmetic average surface roughness of the surface of the release liner that is disposed on the pressure-sensitive adhesive layer is 0.05 to 0.75 μm (for example, approximately 0.05 to 0.5 μm, typically approximately 0.1 to 0.3 μm) is preferable. Thereby, the smoothness of the pressure-sensitive adhesive surface (adhesive surface) can be kept high until the protective sheet is used. High smoothness of the pressure-sensitive adhesive surface is advantageous in preventing chemical solution from entering from the interface between the pressure-sensitive adhesive and the adherend.

ここに開示される保護シート(粘着剤層とシート状基材とを含むが、剥離ライナーは含まない。)の総厚さは特に限定されず、保護特性(例えば薬液浸入防止性)や取扱い性等の観点から、凡そ10〜1000μm(例えば30〜300μm、典型的には60〜180μm)の範囲とすることが適当である。   The total thickness of the protective sheet disclosed here (including the pressure-sensitive adhesive layer and the sheet-like base material, but not including the release liner) is not particularly limited, and protective properties (for example, prevention of chemical penetration) and handling properties In view of the above, it is appropriate to set the thickness in the range of about 10 to 1000 μm (for example, 30 to 300 μm, typically 60 to 180 μm).

<用途>
ここに開示される保護シートは、被着体(例えばガラス基板)の所望の部位に貼り付け、その部位を保護するための保護シートとして使用することができる。特に、真空吸着台に吸着させてから被着体への貼り合わせる態様で使用される保護シートとして好ましい。このような貼り合わせ方法を採用する場合に、ここに開示される技術による優れた貼り合わせ作業性が好適に実現される。
<Application>
The protective sheet disclosed here can be used as a protective sheet for affixing a desired part of an adherend (for example, a glass substrate) and protecting the part. In particular, it is preferable as a protective sheet that is used in a mode of adhering to an adherend after being adsorbed on a vacuum adsorption table. When such a bonding method is adopted, excellent bonding workability by the technique disclosed herein is suitably realized.

ここに開示される保護シートは、上述したような特長を活かして、例えば、被着体(典型的にはガラス基板)の表面を薬液処理(例えばエッチング処理)する際に、当該薬液(例えばフッ酸溶液等のエッチング液)の影響を排除したい部分をマスクする薬液処理用保護シートとして好ましく使用され得る。具体的には例えば、ガラスの厚さ調整やガラスの切断端面に形成されたバリやマイクロクラックを除去するためにガラスを薬液(エッチング液)で溶解するエッチング処理、金属の表面を薬液(エッチング液)で部分的に腐食させるエッチング処理、回路基板(プリント基板、フレキシブルプリント基板(FPC)等)の接続端子部等を薬液(めっき液)で部分的にめっきするめっき処理等において好適に利用され得る。なかでも、フッ酸溶液等の酸性薬液を用いてエッチング処理を行う用途に特に好ましく適用され得る。上記被着体としてのガラス基板は、例えば、タブレット型パソコンや携帯電話、有機LED(発光ダイオード)等に用いられるような、透明導電膜(例えばITO(酸化インジウムスズ)膜)やFPCが部分的に設けられた表面を有するガラス基板であり得る。   The protective sheet disclosed here takes advantage of the above-described features, for example, when the surface of an adherend (typically a glass substrate) is subjected to a chemical treatment (eg, an etching treatment), for example, It can be preferably used as a protective sheet for chemical treatment that masks a portion where it is desired to eliminate the influence of an etching solution such as an acid solution. Specifically, for example, an etching process for dissolving glass with a chemical solution (etching solution) in order to adjust the thickness of the glass or remove burrs and microcracks formed on the cut end surface of the glass, a chemical solution (etching solution) on the metal surface ) Can be suitably used in etching processes that partially corrode, and plating processes in which connection terminals of circuit boards (printed boards, flexible printed circuit boards (FPC), etc.) are partially plated with a chemical solution (plating solution). . Especially, it can apply especially preferably for the use which etches using acidic chemical | medical solutions, such as a hydrofluoric acid solution. The glass substrate as the adherend is partially made of, for example, a transparent conductive film (for example, ITO (indium tin oxide) film) or FPC, such as those used in tablet computers, mobile phones, and organic LEDs (light emitting diodes). It may be a glass substrate having a surface provided on the surface.

以下、本発明に関するいくつかの実施例を説明するが、本発明をかかる具体例に示すものに限定することを意図したものではない。なお、以下の説明中の「部」および「%」は、特に断りがない限り重量基準である。   Several examples relating to the present invention will be described below, but the present invention is not intended to be limited to the specific examples. In the following description, “parts” and “%” are based on weight unless otherwise specified.

<例1>
[シート状基材の作製]
低密度ポリエチレン(LDPE、商品名「ペトロセン180」、東ソー社製)をインフレーション成形機によりダイス温度160℃の条件で成形し、厚さ55μmのLDPEシートと、厚さ40μmのLDPEシートとを得た。また、厚さ50μmのポリエチレンテレフタレート(PET)シート(商品名「ルミラーS10 #50」、東レ社製)を用意した。
上記のLDPEシート、PETシートを用いて、第一表面層としてのLDPE層(厚さ40μm)、中間層としてのPET層(厚さ50μm)および第二表面層としてのLDPE層(厚さ55μm)が順に積層された樹脂シート基材をドライラミネート法により作製した。具体的には、第二表面層となるLDPEシートの片面にコロナ放電処理を施し、当該LDPEシートのコロナ処理面を、接着剤を用いて中間層となるPETシートの一方の表面にラミネートした。また、第一表面層となるLDPEシートの片面にコロナ放電処理を施し、当該LDPEシートのコロナ処理面を接着剤を用いてPETシートの他方の表面(第二表面層となるLDPEシートがラミネートされた面とは反対側の表面)にラミネートした。このようにして、例1に係るシート状基材を作製した。
<Example 1>
[Preparation of sheet-like substrate]
Low density polyethylene (LDPE, trade name “Petrocene 180”, manufactured by Tosoh Corporation) was molded with an inflation molding machine at a die temperature of 160 ° C. to obtain an LDPE sheet having a thickness of 55 μm and an LDPE sheet having a thickness of 40 μm. . Also, a polyethylene terephthalate (PET) sheet (trade name “Lumirror S10 # 50”, manufactured by Toray Industries, Inc.) having a thickness of 50 μm was prepared.
Using the above LDPE sheet and PET sheet, an LDPE layer (thickness 40 μm) as a first surface layer, a PET layer (thickness 50 μm) as an intermediate layer, and an LDPE layer (thickness 55 μm) as a second surface layer The resin sheet base material in which was laminated in order was produced by a dry laminating method. Specifically, one side of the LDPE sheet serving as the second surface layer was subjected to corona discharge treatment, and the corona treated surface of the LDPE sheet was laminated on one surface of the PET sheet serving as the intermediate layer using an adhesive. In addition, a corona discharge treatment is performed on one side of the LDPE sheet serving as the first surface layer, and the other surface of the PET sheet (the LDPE sheet serving as the second surface layer is laminated on the corona treated surface of the LDPE sheet using an adhesive). The surface on the opposite side of the surface was laminated. In this way, a sheet-like substrate according to Example 1 was produced.

[粘着剤組成物の調製]
冷却管、窒素導入管、温度計、滴下ロートおよび撹拌装置を備えた反応容器に、重合溶媒としてのトルエン、2−エチルヘキシルアクリレート100部および2−ヒドロキシエチルアクリレート4部、アゾ系重合開始剤としての2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオニトリル)0.2部を入れ、トルエン中で重合を行い、アクリル系ポリマーのトルエン溶液を得た。このようにして得たアクリル系ポリマーのトルエン溶液の固形分100部に対し、架橋剤としてイソシアネート系架橋剤(商品名「コロネートL」、日本ポリウレタン工業社製)2部、架橋促進剤としてジオクチルスズジラウレート(商品名「エンビライザーOL−1」、東京ファインケミカル社製)0.02部を配合し、溶剤としてアセチルアセトンを全溶剤量の4%となるように加え、さらに固形分を調整するためトルエンを加えて粘着剤組成物を得た。
[Preparation of pressure-sensitive adhesive composition]
In a reaction vessel equipped with a cooling pipe, a nitrogen introduction pipe, a thermometer, a dropping funnel and a stirring device, toluene as a polymerization solvent, 100 parts of 2-ethylhexyl acrylate and 4 parts of 2-hydroxyethyl acrylate, and an azo polymerization initiator 0.2 part of 2,2′-azobis (2-methylpropionitrile) was added, and polymerization was performed in toluene to obtain a toluene solution of an acrylic polymer. 2 parts of an isocyanate-based crosslinking agent (trade name “Coronate L”, manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.) as a crosslinking agent and dioctyltin as a crosslinking accelerator for 100 parts of a solid content of an acrylic polymer toluene solution thus obtained. 0.02 part of dilaurate (trade name “Environizer OL-1”, manufactured by Tokyo Fine Chemical Co., Ltd.) is blended, acetylacetone is added as a solvent so as to be 4% of the total amount of solvent, and toluene is further added to adjust the solid content. In addition, an adhesive composition was obtained.

[保護シートの作製]
上記で得たシート状基材の片面(第一表面)にコロナ放電処理を施し、当該シート状基材のコロナ処理面に粘着剤組成物を塗付し、80℃で1分間乾燥させて、厚さ約20μmの粘着剤層を形成した。この粘着剤層に、片面がシリコーン系剥離剤で処理された厚さ38μmのPETシート(商品名「ダイアホイルMRF38」、三菱化学ポリエステルフィルム社製)のシリコーン処理面を貼り合わせ、25℃で4日間エージングして本例に係る保護シートを得た。
[Preparation of protective sheet]
Corona discharge treatment is performed on one side (first surface) of the sheet-like substrate obtained above, the pressure-sensitive adhesive composition is applied to the corona-treated surface of the sheet-like substrate, and dried at 80 ° C. for 1 minute. An adhesive layer having a thickness of about 20 μm was formed. A silicone-treated surface of a PET sheet (trade name “Diafoil MRF38”, manufactured by Mitsubishi Chemical Polyester Film Co., Ltd.) having a thickness of 38 μm treated on one side with a silicone-based release agent is bonded to this pressure-sensitive adhesive layer. A protective sheet according to this example was obtained after aging for a day.

<例2>
LDPE(商品名「ペトロセン180」、東ソー社製)をインフレーション成形機によりダイス温度160℃の条件で成形し、厚さ20μmのLDPEシートを2枚作製した。また、厚さ50μmのPETシート(商品名「ルミラーS10 #50」、東レ社製)を用意した。上記のLDPEシート、PETシートを用いて、例1と同様にして、第一表面層としてのLDPE層(厚さ20μm)、中間層としてのPET層(厚さ50μm)および第二表面層としてのLDPE層(厚さ20μm)が順に積層された樹脂シート基材を作製した。
上記で得たシート状基材を用いた他は例1と同様にして本例に係る保護シートを得た。
<Example 2>
LDPE (trade name “Petrocene 180”, manufactured by Tosoh Corporation) was molded by an inflation molding machine at a die temperature of 160 ° C. to produce two LDPE sheets having a thickness of 20 μm. Moreover, a PET sheet (trade name “Lumirror S10 # 50”, manufactured by Toray Industries, Inc.) having a thickness of 50 μm was prepared. Using the above LDPE sheet and PET sheet, in the same manner as in Example 1, the LDPE layer (thickness 20 μm) as the first surface layer, the PET layer (thickness 50 μm) as the intermediate layer, and the second surface layer A resin sheet base material in which LDPE layers (thickness 20 μm) were sequentially laminated was produced.
A protective sheet according to this example was obtained in the same manner as in Example 1 except that the sheet-like substrate obtained above was used.

<例3>
LDPE(商品名「ペトロセン180」、東ソー社製)をインフレーション成形機によりダイス温度160℃の条件で成形し、厚さ40μmのLDPEシートを2枚作製した。また、厚さ75μmのPETシート(商品名「ルミラーS10 #75」、東レ社製)を用意した。上記のLDPEシート、PETシートを用いて、例1と同様にして、第一表面層としてのLDPE層(厚さ40μm)、中間層としてのPET層(厚さ75μm)および第二表面層としてのLDPE層(厚さ40μm)が順に積層された樹脂シート基材を作製した。
上記で得たシート状基材を用いた他は例1と同様にして本例に係る保護シートを得た。
<Example 3>
LDPE (trade name “Petrocene 180”, manufactured by Tosoh Corporation) was molded by an inflation molding machine at a die temperature of 160 ° C. to produce two LDPE sheets having a thickness of 40 μm. Moreover, a PET sheet (trade name “Lumirror S10 # 75”, manufactured by Toray Industries, Inc.) having a thickness of 75 μm was prepared. Using the above LDPE sheet and PET sheet, in the same manner as in Example 1, the LDPE layer (thickness 40 μm) as the first surface layer, the PET layer (thickness 75 μm) as the intermediate layer, and the second surface layer A resin sheet base material in which LDPE layers (thickness 40 μm) were sequentially laminated was produced.
A protective sheet according to this example was obtained in the same manner as in Example 1 except that the sheet-like substrate obtained above was used.

<例4>
LDPE(商品名「ペトロセン180」、東ソー社製)をインフレーション成形機によりダイス温度160℃の条件で成形し、厚さ65μmのLDPEシートを得た。また、厚さ50μmのPETシート(商品名「ルミラーS10 #50」、東レ社製)を用意した。上記のLDPEシート、PETシートを用いて、第一表面層としてのPET層(厚さ50μm)と、第二表面層としてのLDPE層(厚さ65μm)とが積層された樹脂シート基材をドライラミネート法により作製した。
上記で得たシート状基材を用いた他は例1と同様にして本例に係る保護シートを得た。
<Example 4>
LDPE (trade name “Petrocene 180”, manufactured by Tosoh Corporation) was molded by an inflation molding machine at a die temperature of 160 ° C. to obtain an LDPE sheet having a thickness of 65 μm. Moreover, a PET sheet (trade name “Lumirror S10 # 50”, manufactured by Toray Industries, Inc.) having a thickness of 50 μm was prepared. Using the above LDPE sheet and PET sheet, a resin sheet substrate in which a PET layer (thickness: 50 μm) as a first surface layer and an LDPE layer (thickness: 65 μm) as a second surface layer are laminated is dried. The laminate method was used.
A protective sheet according to this example was obtained in the same manner as in Example 1 except that the sheet-like substrate obtained above was used.

<例5>
LDPE(商品名「ペトロセン180」、東ソー社製)をインフレーション成形機によりダイス温度160℃の条件で成形し、厚さ80μmのLDPEシートを得た。また、厚さ100μmのPETシート(商品名「ルミラーS10 #100」、東レ社製)を用意した。上記のLDPEシート、PETシートを用いて、例4と同様にして、第一表面層としてのPET層(厚さ100μm)と、第二表面層としてのLDPE層(厚さ80μm)とが積層された樹脂シート基材を作製した。
上記で得たシート状基材を用いた他は例1と同様にして本例に係る保護シートを得た。
<Example 5>
LDPE (trade name “Petrocene 180”, manufactured by Tosoh Corporation) was molded by an inflation molding machine at a die temperature of 160 ° C. to obtain an LDPE sheet having a thickness of 80 μm. In addition, a PET sheet having a thickness of 100 μm (trade name “Lumirror S10 # 100”, manufactured by Toray Industries, Inc.) was prepared. Using the above LDPE sheet and PET sheet, a PET layer (thickness 100 μm) as the first surface layer and an LDPE layer (thickness 80 μm) as the second surface layer were laminated in the same manner as in Example 4. A resin sheet substrate was prepared.
A protective sheet according to this example was obtained in the same manner as in Example 1 except that the sheet-like substrate obtained above was used.

<例6>
高密度ポリエチレン(HDPE、商品名「ハイゼックス3300F」、プライムポリマー社製)をインフレーション成形機によりダイス温度200℃の条件で成形し、厚さ50μmのHDPEシートを得た。また、厚さ75μmのPETシート(商品名「ルミラーS10 #75」、東レ社製)を用意した。上記のHDPEシート、PETシートを用いて、例4と同様にして、第一表面層としてのPET層(厚さ75μm)と、第二表面層としてのHDPE層(厚さ50μm)とが積層された樹脂シート基材を作製した。
上記で得たシート状基材を用いた他は例1と同様にして本例に係る保護シートを得た。
<Example 6>
High-density polyethylene (HDPE, trade name “Hi-Zex 3300F”, manufactured by Prime Polymer Co., Ltd.) was molded by an inflation molding machine at a die temperature of 200 ° C. to obtain an HDPE sheet having a thickness of 50 μm. Moreover, a PET sheet (trade name “Lumirror S10 # 75”, manufactured by Toray Industries, Inc.) having a thickness of 75 μm was prepared. Using the above HDPE sheet and PET sheet, a PET layer (thickness 75 μm) as the first surface layer and an HDPE layer (thickness 50 μm) as the second surface layer were laminated in the same manner as in Example 4. A resin sheet substrate was prepared.
A protective sheet according to this example was obtained in the same manner as in Example 1 except that the sheet-like substrate obtained above was used.

[引張弾性率]
各例に係るシート状基材および該シート状基材を構成する各層を、MDを長手方向として幅10mmの短冊状にカットして試験片を作製した。この試験片を、JIS K7161:1994に準拠して、下記条件で延伸することにより応力−ひずみ曲線を得た。
延伸条件:
測定温度 23℃;
引張速度 300mm/分;
チャック間距離 50mm;
引張弾性率は、規定された2点のひずみε1およびε2の間の曲線の線形回帰によって求めた。異なる箇所から切り出した3つの試験片を用いて上記測定を行い、それらの平均値をMDへの引張弾性率(MPa)とした。結果を表1に示す。
[Tensile modulus]
The sheet-like base material according to each example and each layer constituting the sheet-like base material were cut into strips having a width of 10 mm with MD as a longitudinal direction to prepare test pieces. A stress-strain curve was obtained by stretching this test piece under the following conditions in accordance with JIS K7161: 1994.
Drawing conditions:
Measuring temperature 23 ° C;
Tensile speed 300 mm / min;
Distance between chucks 50mm;
The tensile modulus was determined by linear regression of the curve between the two defined strains ε1 and ε2. The above measurement was performed using three test pieces cut out from different locations, and the average value thereof was taken as the tensile elastic modulus (MPa) to MD. The results are shown in Table 1.

[カール高さ]
各例に係る保護シートにつき、剥離ライナーがついた状態のものと、剥離ライナーを剥がした状態のものの両方のカール高さを測定した。具体的には、保護シートまたは剥離ライナー付き保護シートを60mm×60mmの正方形サイズにカットして試験片を得た。この試験片を水平面を有する台の該水平面上に載置し、23℃で10分間放置した後、最大カール高さ(mm)を測定した。試験片がカールしている場合は、端部が反り上がるように載置して測定した。結果を表1に示す。
[Curl height]
For the protective sheet according to each example, the curl heights of both the sheet with the release liner attached and the sheet with the release liner peeled off were measured. Specifically, a protective sheet or a protective sheet with a release liner was cut into a 60 mm × 60 mm square size to obtain a test piece. The test piece was placed on the horizontal surface of a table having a horizontal surface, left at 23 ° C. for 10 minutes, and then the maximum curl height (mm) was measured. When the test piece was curled, the test piece was placed so that the end was warped and measured. The results are shown in Table 1.

[貼り合わせ作業性]
保護シートを真空吸着台に吸着固定した後、該固定された状態で被着体への貼り合わせを行う使用態様を想定して、真空吸着台への吸着固定が円滑になされるものは貼り合わせ作業性に優れるものとみなして下記の評価を行った。すなわち、各例に係る保護シートを125mm×65mmの矩形状にカットして試験片を得た。この試験片から剥離ライナーを剥がし、シート状基材側が下方となるように真空吸着台上に載置した。そして、約30kPaの吸引力で試験片を吸引させた。このときの試験片の状態を観察し、下記の基準で評価した。結果を表1に示す。
○:真空吸着台に吸着した。
×:真空吸着台に吸着しなかった。
[Lamination workability]
Assuming a usage mode in which the protective sheet is fixed to the vacuum suction table and then bonded to the adherend in the fixed state, the one that is smoothly fixed to the vacuum suction table is bonded. The following evaluation was performed considering that it was excellent in workability. That is, the protective sheet according to each example was cut into a rectangular shape of 125 mm × 65 mm to obtain a test piece. The release liner was peeled off from the test piece, and the sample was placed on a vacuum suction table so that the sheet-like substrate side was downward. And the test piece was attracted | sucked with the suction force of about 30 kPa. The state of the test piece at this time was observed and evaluated according to the following criteria. The results are shown in Table 1.
○: Adsorbed on the vacuum adsorption table.
X: It did not adsorb | suck to a vacuum adsorption stand.

Figure 2015168716
Figure 2015168716

表1に示されるように、例1〜3に係る保護シートのカール高さは、剥離ライナー付きの場合で3mm未満、剥離ライナーなしの場合で10mm以下であり、真空吸着台に良好に吸着した。これらの結果から、カール高さが所定値以下の保護シートは貼り合わせ作業性に優れることがわかる。また、例1〜3に係る保護シートの引張弾性率は1000〜4000MPaの範囲内であるので、貼り付け時における縒れや皺の発生が防止され得ると考えられる。一方、例4〜6に係る保護シートは、引張弾性率が1000〜4000MPaの範囲内であったが、カール高さが剥離ライナー付きの場合で3mm以上、剥離ライナーなしの場合で10mmを超え、良好な貼り合わせ作業性を実現できなかった。これらは作業性に劣ると推察される。   As shown in Table 1, the curl height of the protective sheets according to Examples 1 to 3 was less than 3 mm when the release liner was provided and 10 mm or less when the release liner was not provided, and was well adsorbed to the vacuum suction table. . From these results, it can be seen that a protective sheet having a curl height of not more than a predetermined value is excellent in bonding workability. Moreover, since the tensile elasticity modulus of the protective sheet which concerns on Examples 1-3 is in the range of 1000-4000 Mpa, it is thought that generation | occurrence | production of the wrinkles and wrinkles at the time of affixing can be prevented. On the other hand, the protective sheets according to Examples 4 to 6 had a tensile elastic modulus in the range of 1000 to 4000 MPa, but the curl height exceeded 3 mm when the release liner was provided, and exceeded 10 mm when the release liner was not provided. Good bonding workability could not be realized. These are assumed to be inferior in workability.

以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。   Specific examples of the present invention have been described in detail above, but these are merely examples and do not limit the scope of the claims. The technology described in the claims includes various modifications and changes of the specific examples illustrated above.

1,2 保護シート
10 シート状基材
11 A層(第一表面層)
12 B層(第二表面層)
15 中間層
20 粘着剤層
30 剥離ライナー
1, 2 Protective sheet 10 Sheet-like base material 11 A layer (first surface layer)
12 B layer (second surface layer)
15 Intermediate layer 20 Adhesive layer 30 Release liner

Claims (10)

3層以上の多層構造を有するシート状基材と、該シート状基材の片面に設けられた粘着剤層と、該粘着剤層の粘着面を保護する剥離ライナーと、を備える剥離ライナー付き保護シートであって、
前記シート状基材は、第一層と、該第一層とは異なる材料から形成された第二層と、を含み、
前記シート状基材の引張弾性率は、1000〜4000MPaの範囲内であり、
前記剥離ライナー付き保護シートは、60mm×60mmの正方形状の試験片を用いて測定されるカール高さが3mm未満である、剥離ライナー付き保護シート。
Protection with a release liner comprising: a sheet-like substrate having a multilayer structure of three or more layers; an adhesive layer provided on one side of the sheet-like substrate; and a release liner for protecting the adhesive surface of the adhesive layer A sheet,
The sheet-like base material includes a first layer and a second layer formed of a material different from the first layer,
The tensile elastic modulus of the sheet-like substrate is in the range of 1000 to 4000 MPa,
The protective sheet with a release liner is a protective sheet with a release liner having a curl height of less than 3 mm measured using a 60 mm × 60 mm square test piece.
3層以上の多層構造を有するシート状基材と、該シート状基材の片面に設けられた粘着剤層と、を備える保護シートであって、
前記シート状基材は、第一層と、該第一層とは異なる材料から形成された第二層と、を含み、
前記シート状基材の引張弾性率は、1000〜4000MPaの範囲内であり、
前記保護シートは、60mm×60mmの正方形状の試験片を用いて測定されるカール高さが10mm以下である、保護シート。
A protective sheet comprising a sheet-like substrate having a multilayer structure of three or more layers, and an adhesive layer provided on one side of the sheet-like substrate,
The sheet-like base material includes a first layer and a second layer formed of a material different from the first layer,
The tensile elastic modulus of the sheet-like substrate is in the range of 1000 to 4000 MPa,
The said protective sheet is a protective sheet whose curl height measured using a 60 mm x 60 mm square test piece is 10 mm or less.
前記シート状基材は、第一表面を構成する第一表面層と、該第一表面の反対側の表面(第二面)を構成する第二表面層と、該第一表面層と該第二表面層との間に配置された中間層と、を備える、請求項1または2に記載の保護シート。   The sheet-like substrate includes a first surface layer constituting a first surface, a second surface layer constituting a surface (second surface) opposite to the first surface, the first surface layer, and the first surface layer. The protective sheet of Claim 1 or 2 provided with the intermediate | middle layer arrange | positioned between two surface layers. 前記シート状基材の第一表面には前記粘着剤層が配置されており、前記シート状基材の第二表面は前記保護シートの外表面を構成する、請求項3に記載の保護シート。   The protective sheet according to claim 3, wherein the pressure-sensitive adhesive layer is disposed on a first surface of the sheet-like base material, and a second surface of the sheet-like base material constitutes an outer surface of the protective sheet. 前記第一表面層の引張弾性率E1Lと前記第二表面層の引張弾性率E2Lとの比(E1L:E2L)が、1:0.5〜1:2の範囲内である、請求項3または4に記載の保護シート。 The ratio (E 1L : E 2L ) between the tensile elastic modulus E 1L of the first surface layer and the tensile elastic modulus E 2L of the second surface layer is in the range of 1: 0.5 to 1: 2. The protective sheet according to claim 3 or 4. 前記第二表面層の厚さT2Lに対する前記第一表面層の厚さT1Lの比(T1L/T2L)は、0.7〜1.3の範囲内である、請求項3〜5のいずれか一項に記載の保護シート。 The ratio of the thickness T 1L of the first surface layer to the thickness T 2L of the second surface layer (T 1L / T 2L) is in the range of 0.7 to 1.3, according to claim 3-5 The protective sheet according to any one of the above. 前記中間層の引張弾性率は、2500〜5000MPaの範囲内である、請求項3〜6のいずれか一項に記載の保護シート。   The protective sheet according to any one of claims 3 to 6, wherein a tensile elastic modulus of the intermediate layer is within a range of 2500 to 5000 MPa. 前記シート状基材を構成する第一表面層、中間層および第二表面層は、いずれも樹脂層である、請求項3〜7のいずれか一項に記載の保護シート。   The protective sheet according to any one of claims 3 to 7, wherein the first surface layer, the intermediate layer, and the second surface layer constituting the sheet-like substrate are all resin layers. 前記第二表面層は、ポリオレフィン系樹脂層である、請求項4に記載の保護シート。   The protective sheet according to claim 4, wherein the second surface layer is a polyolefin-based resin layer. 薬液処理時に非薬液処理部分をマスクするための薬液処理用保護シートとして用いられる、請求項1〜9のいずれか一項に記載の保護シート。   The protective sheet as described in any one of Claims 1-9 used as a protective sheet for chemical | medical solution processing for masking a non-chemical-solution process part at the time of chemical | medical solution processing.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018097720A (en) * 2016-12-15 2018-06-21 Necネッツエスアイ株式会社 Evacuation person confirmation system
JP2019070123A (en) * 2018-11-15 2019-05-09 リンテック株式会社 Surface protective film
WO2020262356A1 (en) * 2019-06-27 2020-12-30 日東電工株式会社 Low-E GLASS PLATE PROTECTION METHOD, GLASS UNIT PRODUCTION METHOD, LAYERED BODY, AND Low-E GLASS PLATE PROTECTION SHEET
WO2020262357A1 (en) * 2019-06-27 2020-12-30 日東電工株式会社 METHOD FOR PROTECTING Low-E GLASS PLATE, METHOD FOR PRODUCING GLASS UNIT, LAMINATE, AND PROTECTION SHEET FOR Low-E GLASS PLATE

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018097720A (en) * 2016-12-15 2018-06-21 Necネッツエスアイ株式会社 Evacuation person confirmation system
JP2019070123A (en) * 2018-11-15 2019-05-09 リンテック株式会社 Surface protective film
WO2020262356A1 (en) * 2019-06-27 2020-12-30 日東電工株式会社 Low-E GLASS PLATE PROTECTION METHOD, GLASS UNIT PRODUCTION METHOD, LAYERED BODY, AND Low-E GLASS PLATE PROTECTION SHEET
WO2020262357A1 (en) * 2019-06-27 2020-12-30 日東電工株式会社 METHOD FOR PROTECTING Low-E GLASS PLATE, METHOD FOR PRODUCING GLASS UNIT, LAMINATE, AND PROTECTION SHEET FOR Low-E GLASS PLATE
US11760066B2 (en) 2019-06-27 2023-09-19 Nitto Denko Corporation Method for protecting Low-E glass plate, method for producing glass unit, laminate and protective sheet for Low-E glass plate

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