JP2015157322A - 放電加工機 - Google Patents

Abstract

【課題】 基板を冷却する冷却構造の小型化かつ簡素化を図り、かつ、維持管理に要する手間暇を低減しながらも冷却効率を高めることができる。
【解決手段】 放電回路の構成部品４０を実装した基板３０を備え、ワークＷと工具電極Ｅとの間に形成される極間９に電圧を印加して放電を発生させ放電加工を行う放電加工機１において、基板３０を冷却する冷却構造５０を備え、冷却構造５０は、冷却プレート６０とカバー７０を有し、冷却プレート６０は、平板状をなし、一方の面を基板３０と接触する接触面６１とし、かつ、他方の面を冷却液が流通し基板３０を冷却する冷却面６２とするとともに、カバー７０は、冷却プレート６０の冷却面６２を覆う被覆面７３を有し、冷却プレート６０の冷却面６２に冷却液が流通する溝６７が形成されることを特徴とする。
【選択図】 図３

Description

本発明は、放電加工機に関し、特に、放電回路や検出器の構成部品を実装した基板を冷却する冷却構造を備える放電加工機に関する。

放電加工方法は、被加工物と工具電極とで形成される加工間隙に放電を繰り返し発生させて、放電エネルギによって被加工物から材料を除去する加工方法である。望ましい加工を続けるためには、加工間隙に安定して電圧パルスを連続的に供給し所望の波形の放電電流パルスを繰返し供給することが要求される。

この放電加工方法は、放電加工機により行われ、放電加工機は、放電電流パルスを供給するための放電回路を有する。放電回路は、少なくとも、加工間隙に直列に接続される直流電源と、直流電源と加工間隙との間に設けられる逆流阻止ダイオード、電流制限抵抗、およびスイッチング素子を含んでなる。また、放電加工機は、サーボまたはいわゆる適応制御のために、電圧検出器ないしは電流検出器等の検出器を設ける。これら放電回路および検出器の構成部品は基板に配設された状態で可能な限り加工間隙に近い位置、例えば加工槽に設けられるようにされているが、構成部品の中には発熱して高温になるものも存在する。

このため、特許文献１には、スイッチング素子や抵抗素子を取り付けた基板を水密な箱状のケーシング内に密閉して収容し載物台の下部に配置して加工液に浸し基板を冷却する放電加工機が開示されている。また、特許文献２においては、金属片に基板を埋め込むとともに、冷却液を流通させるための蛇行した金属配管を金属片の表面に設け、或いは冷却液を流通させるための穴を金属片の内部に設け、または金属片を加工槽内の加工液に浸漬させて、それぞれ冷却する放電加工機が開示されている。

特開平４−２５０９２０号公報 特開平１０−３４４４５号公報

しかしながら、上述した特許文献１に開示された発明にあっては、基板をケーシングに収容した状態で加工液に浸すため、ケーシングを水密にする等、十分な防漏構造が必要になる。また、ケーシングが大掛かりなものになる等、冷却構造も大型化してしまう。更に、基板の構成部品が損傷した場合にあっては、ケーシングを開放して基板を取り出す必要があり、基板の維持管理が煩雑となる。

特許文献２に開示された発明においては、基板を金属片とともに加工槽内の加工液に浸漬させて冷却するため、同様に十分な防漏構造が必要となるとともに、冷却構造も大型化してしまう。更に、蛇行した金属配管や金属片の内部に設けられた穴に冷却液を流通させるため、構造が複雑となる。更にまた、金属片に基板を埋め込むため、構成部品が損傷した場合にあっては、金属片から基板を外す必要があり、同様に基板の維持管理が煩雑になる。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、基板を冷却する冷却構造の小型化かつ簡素化を図り、かつ、維持管理に要する手間暇を低減しながらも冷却効率を高めることができる放電加工機を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、放電加工機に係る請求項１の発明は、放電加工に用いられる放電回路または検出器の構成部品を実装した基板を備え、加工槽内においてワークを加工液に浸漬しつつ該ワークと工具電極との間に形成される極間に電圧を印加して放電を発生させ前記ワークの放電加工を行う放電加工機において、基板を冷却する冷却構造を有するとともに、冷却構造は、冷却プレートとカバーを有し、冷却プレートは、平板状をなし、一方の面を基板と接触する接触面とし、かつ、他方の面を冷却液が流通し基板を冷却する冷却面とするとともに、カバーは、冷却プレートの冷却面を覆う被覆面を有し、冷却プレートの冷却面およびカバーの被覆面の少なくともいずれか一方に冷却液が流通する溝が形成されることを特徴とする。

本発明によれば、基板を冷却する冷却構造を有するとともに、冷却構造は、冷却プレートとカバーを有し、冷却プレートは、平板状をなし、一方の面を基板と接触する接触面とし、かつ、他方の面を冷却液が流通し基板を冷却する冷却面とするとともに、カバーは、冷却プレートの冷却面を覆う被覆面を有し、冷却プレートの冷却面およびカバーの被覆面の少なくともいずれか一方に冷却液が流通する溝が形成されることとしたので、冷却構造を加工液に浸すことがなく基板の冷却を行うことができ構造の小型化を図ることができる。また、防漏構造の簡素化を図ることができ、冷却液を流通させる構造も冷却プレートの冷却面およびカバーの被覆面のうち少なくともいずれか一方に溝を形成すれば足りる等、簡素化を図ることができる。更に、冷却プレートの接触面に基板を単に接触させて冷却することとしたので、構成部品が損傷した場合にあっても簡単に冷却構造を基板等から外すことができ、基板の維持管理に要する手間暇も低減させることができる。更にまた、密閉して収容することなく基板を冷却するので、基板の通気性がよく冷却効率を高めることができる。

溝は、扁平状に形成されることとすれば、冷却構造を薄く成形することができ、設置スペースが狭小な場合にあっても容易に設置することができる。また、冷却面積も大きく設定され、冷却効率も更に高めることができる（請求項２）。

溝は、冷却液が供給される供給口となる始端と、冷却液が排出される排出口となる終端と、を有することとすれば、溝内の冷却液のスムーズな流れを実現して流通性を向上させることができる（請求項３）。
溝は、例えば、環状に形成（請求項４）、より詳しくは、更にＣ字状に形成されることとすることができる（請求項５）。

冷却プレートの接触面は、高熱伝導性の材料を介して基板と接触することとすれば、冷却プレートと基板等との間の伝熱を促進させることができる（請求項６）。

高熱伝導性の材料は、シート状またはグリース状とすることとすれば、基板を冷却プレートの接触面に隙間なく接触させることができ、熱の伝導性を向上させることができる（請求項７）。

冷却プレートの冷却面とカバーの被覆面との間にシール材を介在させることとすれば、冷却プレートとカバーとの間からの液漏れを確実に防止することができる（請求項８）。

シール材は、例えば、Ｏリングとしたり（請求項９）、冷却プレートの冷却面と、カバーの被覆面と、を接着する接着剤とすることができる（請求項１０）。
冷却プレートおよびカバーは、高熱伝導性の材料で形成されることとすれば、冷却効果を更に向上させることができる（請求項１１）。
高熱伝導性の材料は、例えば、アルミニウムとすることができる（請求項１２）。

冷却プレートおよびカバーは、アルマイト処理されることとすれば、基板の冷却構造の耐腐食性を向上させることができる（請求項１３）。
基板は、冷却構造とともに、加工槽の外壁側に設けられることとすれば、加工槽に満たされる加工液によっても基板が冷却され、かつ、基板の通気性も確保することができる（請求項１４）。

本発明によれば、基板を冷却する冷却構造の小型化かつ簡素化を図り、かつ、維持管理に要する手間暇を低減しながらも冷却効率を高めることができる。

本発明の実施形態に係る放電加工機の全体概要を示す構成図である。 同放電加工機の回路構成を示す図である。 基板の冷却構造の構成を示す平面図である。 基板の冷却構造の構成を示す側面図である。 基板の冷却構造の構成を示す分解側面図である。 本発明の冷却構造の取り付け方法を説明するための側面図である。 本発明の冷却構造の取り付け方法を説明するための図６に続く側面図である。 本発明の冷却構造の取り付け方法を説明するための図７に続く側面図である。 本発明の冷却構造の取り付け方法を説明するための図８に続く側面図である。 本発明の冷却構造の取り付け方法を説明するための図９に続く側面図である。 本発明の冷却構造の取り付け方法を説明するための図１０に続く側面図である。 本発明の第１の変形例を示す側面図である。 本発明の第２の変形例を示す側面図である。 本発明の第３の変形例を示す側面図である。 本発明の第４の変形例を示す側面図である。

以下、本発明の実施の形態について図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の実施形態を示す放電加工機の概略を示す構成図である。同図を参照して放電加工機１の概要を説明すると、放電加工機１は、工具電極をワイヤ電極Ｅとするワイヤ放電加工機であり、ベッド２、コラム３、加工ヘッド４、加工槽５、およびワークスタンド６の各構成を有している。ベッド２は、放電加工機１の基部をなし、コラム３は、ベッド２の後部から立設し、加工ヘッド４は、コラム３の前面上部に装着され、加工槽５は、サドル５ａおよびテーブル５ｂを介してベッド２の前部に載置され水系の加工液を満たし、ワークスタンド６は、加工槽５に収容されてワークＷを加工液に浸漬しつつ保持している。加工ヘッド４には上側アーム７ａを介して上側ガイド組体７が、コラム３の前面下部には下側アーム８ａを介して下側ガイド組体８が、ワークＷを挟むように備えられており、上側ガイド組体７と下側ガイド組体８との間にはワイヤ電極Ｅが連続的に供給される。

放電加工機１は、ワイヤ電極ＥとワークＷとの間に形成される極間９に放電を発生させてワークＷの放電加工を行う。実施の形態の放電加工機１では、図示しない荒加工用の放電回路と仕上げ加工用の放電回路２０とを具備し、放電回路２０を可能な限り極間９に近い加工槽５の側壁に設けるようにされている。仕上げ加工は、放電回路２０を動作させて極間９に所定の電圧パルスを印加して行われる。放電加工機１には、サーボまたは適応制御のための電圧検出器ないしは電流検出器が設けられている。なお、図１において、便宜上、放電回路２０と極間９までの配線が機体の外側に引き回すように示されているが、実際は、放電回路２０と極間９の間は、可能な限り短い距離で接続するようにされる。

図２に示すように、実施の形態のワイヤ放電加工機１における仕上げ加工用の放電回路２０は、主に直流電源２１、逆流阻止ダイオード２２、電流制限抵抗２３、およびスイッチング回路２４からなり、スイッチング回路２４は、４つのスイッチング素子２４Ａ乃至２４Ｄが図示の如くブリッジ接続されている。
すなわち、スイッチング回路２４は、スイッチング素子２４Ｂとスイッチング素子２４Ｄとの接続点Ａが直流電源２１のマイナス側に接続され、スイッチング素子２４Ａとスイッチング素子２４Ｃとの接続点Ｂが電流制限抵抗２３及び逆流阻止ダイオード２２を介して直流電源２１のプラス側と接続されている。そして、スイッチング素子２４Ａとスイッチング素子２４Ｂとの接続点Ｃが通電体７ｂ，８ｂを介してワイヤ電極Ｅと電気的に接続され、スイッチング素子２４Ｃとスイッチング素子２４Ｄとの接続点ＤがワークＷと電気的に接続されている。

つまり、スイッチング回路２４は、スイッチング素子２４Ａ、２４Ｄおよびスイッチング素子２４Ｂ，２４Ｃのオンオフ動作を交互に行うことで正極性および逆極性の両極性を有するパルス電圧を交互に出力して極間９に印加することができる。

この放電加工機１は、基板３０を備えており、図３乃至図５に示すように、基板３０には、放電回路２０の逆流阻止ダイオード２２、電流制限抵抗２３、スイッチング素子２４Ａ乃至２４Ｄ、および電圧検出器ないし電流検出器等の構成部品４０が実装されている。

また、放電加工機１は、基板３０を冷却する冷却構造５０を備えており、基板３０は冷却構造５０とともに、加工槽５の側壁の外壁側より詳しくは後壁の外壁側に取り付けられている。

冷却構造５０は、冷却プレート６０およびカバー７０を有している。
冷却プレート６０は、平板状（平板状とは略平板状も含む）をなし、一方の面を基板３０と接触する接触面６１とし、他方の面を基板３０を冷却する冷却面６２としている。

接触面６１には、第１乃至第３の凸部６３乃至６５が設けられている。すなわち、第１および第３の凸部６３，６５は、接触面６１の縁部に設けられ、構成部品４０のうち最大高さの構成部品４１と同一（同一とは略同一も含む）の高さに設定されている。また、第２の凸部６４は、構成部品４０のうち最大高さの構成部品４１よりも高さの低い構成部品４２の相当位置に設けられており、第２の凸部６４の高さは、最大高さの構成部品４１と高さの低い構成部品４２の高さの差と同一（同一とは略同一も含む）に設定されている。

つまり、冷却プレート６０を基板３０に取り付けたとき、第１および第３の凸部６３，６５は脚部として機能し、その凸面６３ａ，６５ａが基板３０の表面に接触しながら、接触面６１の凹面６１ａが構成部品４０のうち最大高さの構成部品４１の上面に接触し、第２の凸部６４の凸面６４ａが構成部品４０のうち高さの低い構成部品４２の上面に接触する等、接触面６１の凸面６３ａ，６４ａ，６５ａおよび凹面６１ａと基板３０の表面および構成部品４１，４２の上面を確実に接触させることができ、基板３０に対する冷却プレート６０の安定した取り付け状態を確保することができる。

ここで、接触面６１は、高熱伝導性の材料６６を介して構成部品４０と接触しており、これにより、冷却プレート６０と基板３０との間の伝熱が促進され、冷却効果を向上させることができる。

なお、第３の凸部６５は、基板３０の裏面側に設けられた構成部品４３の相当位置に設けられており、この第３の凸部６５の凸面６５ａと基板３０の表面との間にも高熱伝導性の材料６６が設けられている。これにより、裏面側の構成部品４３と冷却プレート６０との間の熱の伝達も高熱伝導性の材料６６を介して積極的に促進させることができる。高熱伝導性の材料６６は、シート状またはグリース状をなしており、接触面６１と基板３０の表面および構成部品４１，４２の上面とを隙間なく接触させることができ、熱の伝導性を向上させることができる。

一方、冷却面６２には、冷却液が流通する溝６７が形成されており、溝６７は、扁平状に形成されている。つまり、このような構成とすることで、冷却構造５０を薄く成形することができ、設置スペースが狭小な場合にあっても容易に設置することができる。また、冷却面積も大きく設定され、冷却効率も更に高めることができる。

更に溝６７は、冷却液が供給される供給口６７ａとなる始端と、冷却液が排出される排出口６７ｂとなる終端と、を有しており、溝６７内の冷却液のスムーズな流れを実現して流通性も向上させることができる。なお、溝６７は、円形（円形とは略円形を含む）の環状に形成より詳しくはＣ字状に形成されており、冷却液の流通性をより一層向上させることができるとともに、Ｃ字状の開口部分に溝６７を形成する必要がない等、溝６７の形成作業の簡略化を図ることができる。

カバー７０は、円形の平板状をなしており、カバー７０の裏面側は、冷却プレート６０の冷却面６２を覆う平坦な被覆面７３となっている。つまり、カバー７０の平坦な被覆面７３により冷却プレート６０の冷却面６２を覆うことにより、溝６７の上部側の開口が閉塞され、溝６７を冷却液が流通する流路として確実に機能させることができる。

このカバー７０には、冷却液を供給する供給路７４および冷却液を排出する排出路７５が内部に設けられ、供給路７４は、溝６７の供給口６７ａと連通し、排出路７５は、溝６７の排出口６７ｂと連通する。そして、供給路７４の始端７４ａおよび排出路７５の終端７５ａは、それぞれ外部に開口する開口部７４ａ，７５ａをなしている。これら開口部７４ａ，７５ａは、カバー７０の外部に設けられた冷却液の供給配管８０および排出配管９０と継ぎ手を介して液密に接続されている。なお、冷却液の供給は、加工槽５のサービスタンク（図示せぬ）から行われ、サービスタンクの液温は加工槽５の液温と同等となるように設定されている。

ここで、カバー７０の被覆面７３には、凹部７３ａが形成されており、凹部７３ａにはシール材１００が嵌め込まれている。すなわち、冷却プレート６０とカバー７０は、溝６７の内側の領域および溝６７の外側の領域において、締結具７６を用いて締結されており、この締結は、冷却プレート６０の上面からカバー７０の下面に至る貫通穴（図示せぬ）に貫通させて行われる。このため、貫通穴を介しての冷却液の液漏れを防止すべく、冷却プレート６０の冷却面６２とカバー７０の被覆面７３との間にはシール材１００を介在させている。シール材１００は、環状の溝６７の外側をシールする第１のシール材１０１と内側をシールする第２のシール材１０２からなり、第１のシール材１０１および第２のシール材１０２は、いずれもＯリングとしている。

なお、冷却プレート６０およびカバー７０は、高熱伝導性の材料で形成より詳しくはアルミニウムで形成されており、冷却効果を更に向上させることができる。また、冷却プレート６０およびカバー７０は、アルマイト処理されており、耐腐食性も向上させることができる。

以上の如く構成された冷却構造５０の基板３０への取り付け方法および冷却構造５０を取り付けた基板３０の加工槽５への取り付け方法は以下のように説明される。

すなわち、図６に示すように、まずカバー７０の凹部７３ａにシール材１０１，１０２を嵌め込み、次いで、図７に示すように、締結具７６を用いて冷却プレート６０にカバー７０を取り付ける。続いて、図８に示すように、基板３０の構成部品４１，４２の上面および基板３０の表面における構成部品４３の相当位置に高熱伝導性の材料６６を設け、次に、図９に示すように、基板３０上に冷却構造５０を載せ、更に図１０に示すように、スペーサ３３を介在させ、第１の取り付け具３１および締結具３２を用いて、基板３０に冷却構造５０を取り付ける。そして、図１１に示すように、冷却構造５０を取り付けた基板３０を第２の取り付け具３４および締結具３５を用いて加工槽５の側壁の外壁側に取り付ける。基板３０を加工槽５の外壁側に設けることにより、加工槽５に満たされる加工液によっても基板３０が冷却され、かつ、基板３０の通気性も確保することができる。

以上説明したように本発明によれば、基板３０を冷却する冷却構造５０を有するとともに、冷却構造５０は、冷却プレート６０とカバー７０を有し、冷却プレート６０は、平板状をなし、一方の面を基板３０と接触する接触面６１とし、かつ、他方の面を冷却液が流通し基板３０を冷却する冷却面６２とするとともに、カバー７０は、冷却プレート６０の冷却面６２を覆う被覆面７３を有し、冷却プレート６０の冷却面６２に冷却液が流通する溝６７が形成されることとしたので、冷却構造５０を加工液に浸すことがなく基板３０の冷却を行うことができ構造の小型化を図ることができる。また、防漏構造の簡素化を図ることができ、冷却液を流通させる構造も冷却プレート６０の冷却面６２に溝６７を形成すれば足りる等、簡素化を図ることができる。更に、冷却プレート６０の接触面６３に基板３０を単に接触させて冷却することとしたので、構成部品４０が損傷した場合にあっても簡単に冷却構造５０を基板６７等から外すことができ、基板６７の維持管理に要する手間暇も低減させることができる。更にまた、密閉して収容することなく基板６７を冷却するので、基板６７の通気性がよく冷却効率を高めることができる。

更に、冷却構造５０は、基板３０とともに、加工槽５の外壁に設けることとしたので、基板３０を確実に外気に晒すことができ、かつ、基板３０を加工槽５に満たされた加工液によっても冷却することができ、一層冷却効率を高めることができる。

なお、本発明は上述した実施形態に限定されることなく特許請求の範囲を逸脱しない範囲で種々の変更実施が可能である。
すなわち、図１２の第１の変形例に示すように、冷却液が流通する溝６７をカバー７０側に設けたり、或いは図１３の第２の変形例に示すように、冷却プレート６０およびカバー７０のいずれにも溝６７を設けることとしてもよい。すなわち、溝６７は、冷却プレート６０の冷却面６２およびカバー７０の被覆面７３のうち少なくともいずれか一方に設けることとすればよい。

また、図１４の第３の変形例に示すように、締結具７６による取り付けを、溝６７の外側の領域のみで行い、溝６７の内側の領域で行わない場合は、溝６７の内側をシールする第２のシール材１０２を省略することとしてもよい。
更に、図１５の第４の変形例に示すように、冷却プレート６０の冷却面６２とカバー７０の被覆面７３とを接着剤１０３を用いて接着することとすれば、つまりは、冷却プレート６０の冷却面６２とカバー７０の被覆面７３との間に介在させるシール材１００を接着剤１０３とすることとすれば、該接着剤１０３の効果により貫通穴を介しての外部への液漏れを確実に防止することができる。なお、この場合においては図１５から明らかなように上述したシール材１０１，１０２としてのＯリング１０１，１０２を省略することができる。

更にまた、上述した実施形態においては、放電加工機１をワイヤ放電加工機とし、ワイヤ放電加工機の基板を冷却することとしているが、形彫放電加工機の基板を冷却構造５０を用いて冷却することとしてもよい。この場合においても本発明の技術的効果を奏するのは勿論である。

本発明は、放電加工機において、放電回路や検出器の構成部品を実装した基板を冷却する場合に役立つ。

Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ：接続点
Ｅ：ワイヤ電極
Ｗ：ワーク
１：放電加工機
２：ベッド
３：コラム
４：加工ヘッド
５：加工槽
５ａ：サドル
５ｂ：テーブル
６：ワークスタンド
７：上側ガイド組体
７ａ：上側アーム
７ｂ：通電体
８：下側ガイド組体
８ａ：下側アーム
８ｂ：通電体
９：極間
２０：放電回路
２１：直流電源
２２：逆流阻止ダイオード
２３：電流制限抵抗
２４：スイッチング回路
２４Ａ，２４Ｂ，２４Ｃ，２４Ｄ：スイッチング素子
３０：基板
３１：第１の取り付け具
３２：締結具
３３：スペーサ
３４：第２の取り付け具
３５：締結具
４０：構成部品
４１：最大高さの構成部品
４２：高さの低い構成部品
４３：基板の裏面側に設けられた構成部品
５０：冷却構造
６０：冷却プレート
６１：接触面
６１ａ：凹面
６２：冷却面
６３：第１の凸部
６３ａ：凸面
６４：第２の凸部
６４ａ：凸面
６５：第３の凸部
６５ａ：凸面
６６：高熱伝導性の材料
６７：溝
６７ａ：供給口
６７ｂ：排出口
７０：カバー
７２：凸部
７３：被覆面
７３ａ：凹部
７４：供給路
７４ａ：始端（開口部）
７５：排出路
７５ａ：終端（開口部）
７６：締結具
８０：供給配管
９０：排出配管
１００：シール材
１０１：第１のシール材（Ｏリング）
１０２：第２のシール材（Ｏリング）
１０３：接着剤（シール材）

Claims (14)

1. 放電加工に用いられる放電回路または検出器の構成部品を実装した基板を備え、加工槽においてワークを加工液に浸漬しつつ該ワークと工具電極との間に形成される極間に電圧を印加して放電を発生させ前記ワークの放電加工を行う放電加工機において、
   前記基板を冷却する冷却構造を備えるとともに、前記冷却構造は、冷却プレートとカバーを有し、
   前記冷却プレートは、平板状をなし、一方の面を前記基板と接触する接触面とし、かつ、他方の面を冷却液が流通し前記基板を冷却する冷却面とするとともに、前記カバーは、前記冷却プレートの前記冷却面を覆う被覆面を有し、
   前記冷却プレートの冷却面および前記カバーの被覆面のうち少なくともいずれか一方に前記冷却液が流通する溝が形成されることを特徴とする放電加工機。
2. 前記溝は、扁平状に形成されることを特徴とする請求項１に記載の放電加工機。
3. 前記溝は、前記冷却液が供給される供給口となる始端と、前記冷却液が排出される排出口となる終端と、を有することを特徴とする請求項１に記載の放電加工機。
4. 前記溝は、環状に形成されることを特徴とする請求項１に記載の放電加工機。
5. 前記溝は、更にＣ字状に形成されることを特徴とする請求項４に記載の放電加工機。
6. 前記冷却プレートの接触面は、高熱伝導性の材料を介して前記基板と接触することを特徴とする請求項１に記載の放電加工機。
7. 前記高熱伝導性の材料は、シート状またはグリース状とすることを特徴とする請求項６に記載の放電加工機。
8. 前記冷却プレートの冷却面と前記カバーの被覆面との間にシール材を介在させることを特徴とする請求項１に記載の放電加工機。
9. 前記シール材は、Ｏリングとすることを特徴とする請求項８に記載の放電加工機。
10. 前記シール材は、前記冷却プレートの冷却面と、前記カバーの被覆面と、を接着する接着剤とすることを特徴とする請求項８に記載の放電加工機。
11. 前記冷却プレートおよび前記カバーは、高熱伝導性の材料で形成されることを特徴とする請求項１に記載の放電加工機。
12. 前記高熱伝導性の材料は、アルミニウムとすることを特徴とする請求項１１に記載の放電加工機。
13. 前記冷却プレートおよび前記カバーは、アルマイト処理されていることを特徴とする請求項１に記載の放電加工機。
14. 前記基板は、前記冷却構造とともに、前記加工槽の外壁側に取り付けられることを特徴とする請求項１に記載の放電加工機。

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