JP2015152674A - 光学素子駆動装置、カメラユニット、カメラ及び光照射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、光軸方向駆動用の磁石を不要とし良好な光軸直交方向の駆動がえられるとともに、圧電アクチュエータとは別途に直進案内軸を不要とし小型化を図り得る光学素子駆動装置、カメラユニット、カメラ及び光照射装置の提供を目的とする。【解決手段】本発明の光学素子駆動装置１０における圧電アクチュエータ５は、光軸方向に伸縮する圧電素子５１を備え、この圧電素子５１は、伸縮する方向の一端面５１ａが光軸方向からみて電磁式アクチュエータ６の磁石６１、６２の一部とオーバーラップするように配置されているとともに、そのオーバーラップするように配置された前記一端面が磁石６１、６２の一部と固定されるように構成されている。【選択図】図４

Description

本発明は、携帯電話機などに搭載可能な光学素子駆動装置、カメラユニット、カメラ及び光照射装置に関するものである。

近年、スマートフォンの普及もあり、カメラ機能の高度化、及びカメラの小型化、低背化への要求は益々高まってきている。その中で、携帯電話機での撮影シーンは、デジタルカメラなどと比べて、片手での撮影を行うことが多く、また、室内などの暗い場所での撮影機会が増えているため、撮影中に手振れが発生し、画像が劣化する問題が生じている。

このような手振れ補正としては、電子的な手振れ補正（ＥＩＳ）と光学式手振れ補正（ＯＩＳ）とが実用化されているが、より高画質の画像の取得が可能な光学式手振れ補正が望まれる。

又、光学式手振れ補正機構としては、カメラ全体をチルトさせて補正を行う全体振りの方式と、レンズを含むオートフォーカスユニットを光軸の直交方向に移動させるレンズシフト方式とがあるが、より低背化が可能なレンズシフト方式が望まれている。

レンズシフト方式の光学式手振れ補正機構は、アクチュエータとして、磁石とコイルとでなるＶＣＭ（ボイスコイルモータ…電磁式アクチュエータ）を用いれば、高い手振れ補正能力を確保することができる。

そのため、従来、例えば特許文献１に、光軸方向に駆動させるオートフォーカス駆動用にＶＣＭを用いるとともに、光軸の直交方向（以下、光軸直交方向）に駆動させる手振れ補正駆動用にＶＣＭを用いたレンズ駆動装置が提案されている。

又、特許文献２に、光軸直交方向に駆動させる手振れ補正駆動用にＶＣＭを用い、オートフォーカス駆動用に圧電アクチュエータ（超音波リニアモータ）で構成したレンズ駆動装置が提案されている。

特開２０１１−２４７９０９号公報 特開２０１１−２２７４２８号公報

しかしながら、特許文献１に記載のレンズ駆動装置では、光軸方向に駆動させるオートフォーカス駆動用の磁石が手振れ補正駆動の負荷となり、光軸直交方向に駆動させる手振れ補正駆動の負荷が増大する。

一方、特許文献２に記載のレンズ駆動装置では、オートフォーカス駆動用に超音波リニアモータを用いているため、圧電アクチュエータとは別途に直進案内軸が必要であり、光軸方向から見た投影面積が大きくなってしまい、その結果、小型化し難いという問題点がある。

本発明は、光軸方向駆動用の磁石を不要とし良好な光軸直交方向の駆動がえられるとともに、圧電アクチュエータとは別途に直進案内軸を不要とし小型化を図り得る光学素子駆動装置、カメラユニット、カメラ及び光照射装置の提供を目的とする。

本発明の光学素子駆動装置は、固定台と、１又は複数の光学素子を保持する光学素子保持部材と、前記光学素子保持部材を光軸方向に移動可能に保持し、前記固定台に前記光軸の直交方向に移動可能に支持された可動台と、前記固定台に保持されたコイル及び前記可動台に保持された磁石を有し、前記コイルと前記磁石とによって、前記可動台を前記固定台に対して前記直交方向に駆動させる電磁式アクチュエータと、前記可動台に保持され、前記光学素子保持部材を前記固定台に対して前記光軸方向に駆動させる圧電アクチュエータと、を備え、前記圧電アクチュエータは、前記光軸方向に伸縮する電気機械変換素子を備え、前記電気機械変換素子は、前記伸縮する方向の一端面の一部又は全体が前記光軸方向からみて前記磁石の一部とオーバーラップするように配置されるとともに、前記オーバーラップするように配置された前記電気機械変換素子の前記一端面の一部又は全体が前記磁石に、直接的にまたは間接的に固定されるように構成されていることを特徴とする。

これによれば、光軸方向に伸縮し得る電気機械変換素子を有する圧電アクチュエータを用いるため、光軸方向駆動用の磁石を不要にでき、良好な光軸直交方向の駆動がえられる。又、圧電アクチュエータの電気機械変換素子に、光学素子保持部材を駆動させる駆動軸を接合しその駆動軸に沿って移動させることで、圧電アクチュエータとは別途に直進案内軸を不要にでき、小型化を図り得る。

又、電気機械変換素子は伸縮する方向の一端面の一部又は全体が光軸方向からみて電磁式アクチュエータの磁石とオーバーラップするように配置されるとともに、そのオーバーラップするように配置された一端面の一部又は全体が磁石と直接的にまたは間接的に固定されるため、電磁式アクチュエータの磁石を圧電アクチュエータの錘として機能させることができる。

従って、電気機械変換素子を磁石と反対側に効率よく伸縮させることができ、オートフォーカスの駆動特性を良好なものにできる。又、圧電アクチュエータの高さを低くでき、光学素子駆動装置全体を低背化でき小型化を図ることができる。

他の一態様では、前記光学素子駆動装置において、前記可動台は、板状の可動台本体と、前記可動台本体に形成され前記電気機械変換素子を固定した電気機械変換素子固定部とを備え、前記電気機械変換素子固定部は、前記可動台本体における前記電気機械変換素子固定部以外の他の部分よりも厚さが薄く形成され、前記磁石の一部は、前記電気機械変換素子固定部の厚さ方向の一方側に配置され、前記電気機械変換素子の一部又は全体は、前記電気機械変換素子固定部を挟んで前記磁石の一部と間接的に固定されていることを特徴とする。

これによれば、電気機械変換素子固定部は可動台本体における電気機械変換素子固定部以外の他の部分よりも厚さが薄く形成されているため、電気機械変換素子と磁石との間に介在するばね定数を、可動台本体における電気機械変換素子固定部以外の他の部分よりも大きくでき、磁石が錘として効果的に機能できる。

他の一態様では、前記光学素子駆動装置において、前記可動台には、前記圧電アクチュエータを挿入する挿入孔が形成され、前記磁石の一部は、前記挿入孔の一部又は全体を塞ぐように配置され、前記電気機械変換素子の一部又は全体は、前記挿入孔を塞いだ前記磁石の一部と直接固定されていることを特徴とする。

これによれば、電気機械変換素子の一部又は全体は磁石の一部と直接固定されているため、磁石を圧電アクチュエータの錘として、より効率的に機能させることができ、オートフォーカス駆動特性をより一層、良好なものにできる。又、圧電アクチュエータの高さをより低くでき、光学素子駆動装置全体をより一層、低背化できる。

他の一態様では、前記光学素子駆動装置において、前記電気機械変換素子の一端面に固定され、前記可動台よりも比重及び弾性率の大きい板状の板状部材を、更に備え、前記可動台には、前記電気機械変換素子を挿入する挿入孔が形成され、前記磁石の一部は、前記挿入孔の一部又は全体を塞ぐように配置され、前記電気機械変換素子の一部又は全体は、前記板状部材を挟んで前記磁石の一部と間接的に固定されていることを特徴とする。

これによれば、電気機械変換素子の一部又は全体は、可動台よりも比重及び弾性率の大きい板状部材を挟んで磁石と間接的に固定されているため、板状部材が磁石と共に圧電アクチュエータの錘として機能し、光軸方向の駆動特性を良好なものにできる。

他の一態様では、前記光学素子駆動装置において、前記可動台は、金属製の板状部材と合成樹脂部とをインサート成型にて形成されており、前記板状部材を構成する金属材料は、前記樹脂部を構成する合成樹脂材料よりも大きい比重と弾性率を有し、前記合成樹脂部には、前記圧電アクチュエータを挿入する挿入孔が形成され、前記板状部材は、前記板状部材の厚さ方向の一方面が前記合成樹脂部から露出して、前記磁石を取り付ける磁石取付部を備え、前記板状部材の厚さ方向の他方面は、前記合成樹脂部の前記圧電アクチュエータを挿入する挿入孔の底に露出し、前記電気機械変換素子の一部又は全体は、前記板状部材を挟んで前記磁石の一部と間接的に固定されていることを特徴とする。

これによれば、板状部材は金属製であるため、磁石との接着強度を高めることができる。又、板状部材と合成樹脂部とをインサート成型にて形成されているため、板状部材の配設を容易に行うことができる。

他の一態様では、前記光学素子駆動装置において、前記電気機械変換素子の一端面に固定され、前記可動台よりも比重の大きい錘部材を、更に備え、前記可動台には、前記電気機械変換素子を挿入する挿入孔が形成され、前記磁石の一部は、前記挿入孔の一部を塞ぐように配置され、前記錘には、前記挿入孔の一部を塞いだ前記磁石の一部を受容する受容凹部が形成され、前記受容凹部は、前記錘の外周面から窪まされるように形成され、前記電気機械変換素子の一部又は全体は、前記受容凹部に受容した前記磁石の一部と直接に、又は前記錘を介して間接的に固定されていることを特徴とする。

これによれば、錘の受容凹部に磁石の一部を受容するため、例えば受容凹部を有しない場合の錘に近いものになり、受容凹部を有しない場合の錘に近い機能させ得る。又、錘の受容凹部に磁石の一部を受容することで、光学素子駆動装置全体の低背化を図ることができる。

他の一態様では、前記光学素子駆動装置において、前記磁石は、前記可動台を前記固定台に対して前記光軸直交方向であるＸ方向に移動させる第１磁石と、前記可動台を前記固定台に対して前記光軸直交方向且つ前記Ｘ方向に直交するＹ方向に移動させる第２磁石とを備え、前記第１磁石は、前記電気機械変換素子とオーバーラップする第１オーバーラップ部を備え、前記第２磁石は、前記電気機械変換素子とオーバーラップする第２オーバーラップ部とを備え、前記第１オーバーラップ部と第２オーバーラップ部とは、前記電気機械変換素子の軸心に対して点対称又は線対称になるように形成されていることを特徴とする。

これによれば、第１磁石オーバーラップ部と第２磁石オーバーラップ部とは、電気機械変換素子の軸心に対して点対称又は線対称に形成されているため、磁石を含めた振動系として見た場合の有害な振動モードの発生を有効に抑えることができる。

他の一態様では、前記光学素子駆動装置において、前記磁石は、磁石本体と、前記電気機械変換素子とオーバーラップするオーバーラップ片と、前記磁石本体と前記オーバーラップ片との境界に形成された仕切り溝とを備え、前記仕切り溝は、その厚さが前記磁石本体及びオーバーラップ片の厚さよりも薄く形成されていることを特徴とする。

これによれば、仕切り溝の厚さが磁石本体及び素子オーバーラップ片の厚さよりも薄く形成されているため、仕切り溝の曲げ剛性（断面二次モーメント）が磁石本体及び素子オーバーラップ片よりも小さく、撓み易い。これにより、電気機械変換素子を固定する素子オーバーラップ片を、磁石本体と振動的に疎遠にでき、有害振動モードの発生を更に有効に抑えることができる。

又、本発明のカメラユニットは、上述の何れかの光学素子駆動装置と、前記固定台に装着され、光学像を電気的な信号に変換する撮像素子と、１又は複数の光学素子を備え、物体の光学像を前記撮像素子の受光面上に結像する撮像光学系とを備え、前記撮像光学系における１又は複数の光学素子のうちの光軸方向に沿って移動する光学素子は、前記光学素子駆動装置の光学素子保持部材に取り付けられていることを特徴とする。

これによれば、光軸方向駆動用の磁石を不要にでき、良好な光軸直交方向の駆動がえられ、又、圧電アクチュエータの電気機械変換素子に、光学素子保持部材を駆動させる駆動軸を接合しその駆動軸に沿って移動させることで、圧電アクチュエータとは別途に直進案内軸を不要にでき、小型化を図り得るカメラユニットにできる。

又、電磁式アクチュエータの磁石を圧電アクチュエータの錘として機能させることができ、光軸方向の駆動特性を良好なものにできるとともに、圧電アクチュエータの高さを低くでき、カメラユニット全体を低背化でき小型化を図ることができる。

又、本発明のカメラは、上述のカメラユニットと、前記撮像素子から取り込んだ前記電気的な信号に所定の画像処理を行って画像を生成する画像生成部と、前記画像生成部で生成した画像を記憶する記憶部と、前記画像をカメラ外部に送信するインターフェイス部と、を備えていることを特徴とする。

これによれば、光軸方向駆動用の磁石を不要にでき、良好な光軸直交方向の駆動がえられ、又、圧電アクチュエータの電気機械変換素子に、光学素子保持部材を駆動させる駆動軸を接合しその駆動軸に沿って移動させることで、圧電アクチュエータとは別途に直進案内軸を不要にでき、小型化を図り得るカメラにできる。

又、電磁式アクチュエータの磁石を圧電アクチュエータの錘として機能させることができ、光軸方向の駆動特性を良好なものにできるとともに、圧電アクチュエータの高さを低くでき、カメラ全体を低背化でき小型化を図ることができる。

又、本発明の光照射装置は、上述の何れかの光学素子駆動装置と、前記光学素子保持部材に取り付けられた１又は複数の光学素子と、前記固定台に装着された光源と、を備えていることを特徴とする。

これによれば、光軸方向駆動用の磁石を不要にでき、良好な光軸直交方向の駆動がえられ、又、圧電アクチュエータの電気機械変換素子に、光学素子保持部材を駆動させる駆動軸を接合しその駆動軸に沿って移動させることで、圧電アクチュエータとは別途に直進案内軸を不要にでき、小型化を図り得る光照射装置にできる。

又、電磁式アクチュエータの磁石を圧電アクチュエータの錘として機能させることができ、光軸方向の駆動特性を良好なものにできるとともに、圧電アクチュエータの高さを低くでき、光照射装置全体を低背化でき小型化を図ることができる。

本発明の光学素子駆動装置、カメラユニット、カメラ及び光照射装置は、光軸方向駆動用の磁石を不要とし良好な光軸直交方向の駆動がえられるとともに、圧電アクチュエータとは別途に直進案内軸を不要とし小型化を図ることができる。

本発明の第１実施形態の光学素子駆動装置を有するカメラユニットの概略の分解斜視図である。 図１の光学素子駆動装置に用いられる圧電アクチュエータ及び光学素子保持部材の斜視図である。 図２の平面図である。 図１の光学素子駆動装置に用いられる圧電アクチュエータの圧電素子を表した可動台の一部の平面図である。 （ａ）は、図１の光学素子駆動装置に用いられる可動台の一部の平面図、（ｂ）は、図５（ａ）のＶ―Ｖ線断面図である。 第２実施形態の光学素子駆動装置における可動台の一部の平面図、（ｂ）は、図６（ａ）のＶＩ―ＶＩ線断面図である。 第３実施形態の光学素子駆動装置における可動台の一部の平面図、（ｂ）は、図７（ａ）のＶＩＩ―ＶＩＩ線断面図である。 第４実施形態の光学素子駆動装置における可動台の一部の平面図、（ｂ）は、図８（ａ）のＶＩＩＩ―ＶＩＩＩ線断面図である。 第５実施形態の光学素子駆動装置における可動台の一部の平面図、（ｂ）は、図９（ａ）のＩＸ―ＩＸ線断面図、（ｃ）は、図９（ｂ）のＸ―Ｘ線断面図である。 第５実施形態の光学素子駆動装置に用いられる圧電アクチュエータ及び錘部材の分解斜視図である。 第５実施形態の光学素子駆動装置に用いられる錘部材の変形例の説明図である。 （ａ）は、第６実施形態の光学素子駆動装置に用いられる圧電アクチュエータ及び磁石の平面図、（ｂ）は、図１２（ａ）のＸＩＩ―ＸＩＩ線断面図である。 光学素子駆動装置の電磁式アクチュエータの動作を説明する模式図にかかり、（ａ）は、電磁式アクチュエータに給電していない状態の模式図、（ｂ）は、電磁式アクチュエータへの給電により光学素子保持部材が光軸直交方向に駆動した状態の模式図である。 駆動回路に接続した圧電アクチュエータ及び圧電アクチュエータに係合した光学素子保持部材の一部を断面にした側面図である。 圧電アクチュエータに給電する鋸歯状の波形図の一例である。 （ａ）は、圧電アクチュエータの動作を説明するために錘を付設した状態の圧電アクチュエータの平面図、（ｂ）は、その側面図、（ｃ）は、その底面図である。 （ａ）は、圧電アクチュエータの動作を説明するために、図１６に示す錘よりも質量の小さい錘を付設した状態の圧電アクチュエータの平面図、（ｂ）は、その側面面図、（ｃ）は、その底面図である。 （ａ）は、カメラユニットを備えたカメラ付携帯電話機の正面図、（ｂ）は、その側面図に示すように、（ｃ）は、その背面図である。 図１８のカメラ付携帯電話機の構成を示すブロック図である。 光学素子駆動装置を有する光照射装置の分解斜視図である。 図２０の光学素子駆動装置の平面図である。 図２１のＸＸＩＩ−ＸＸＩＩ線断面図である。

以下、本発明を実施するための形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。図１は、本発明の第１実施形態の光学素子駆動装置を有するカメラユニットの概略の分解斜視図である。尚、以下の説明において、図１〜図２２におけるＺ方向を上下方向（光軸方向）とし、Ｘ方向を左右方向とし、Ｙ方向を前後方向として説明する。

この実施形態のカメラユニット１は、光学素子駆動装置１０と、撮像素子８と、レンズ（光学素子）９１とを備えている。光学素子駆動装置１０は、固定台２と、レンズ保持部材（光学素子保持部材）３と、可動台４と、圧電アクチュエータ５と、電磁式アクチュエータ６と、カバー７とを備えている。

固定台２は、ＬＣＰ（液晶ポリマー）などの樹脂材料からなり、平面視、即ち光軸方向（Ｚ方向）から見て矩形状を呈する板状体からなる。又、固定台２は、中心部に、光路となる固定台光路用貫通穴２１を備えている。

可動台４は、固定台２と略同じ大きさの平面視で矩形板状の可動台本体４０ａと、可動台本体４０ａの４つの隅角部に配設された柱部４０ｂとを備えている。

可動台本体４０ａは、ＬＣＰ（液晶ポリマー）などの樹脂材料から構成されている。又、可動台本体４０ａは、中心部に、光路となる可動台光路用貫通穴４１を備えている。

又、可動台本体４０ａは、図１、図４、図５に示すように、上面における左後方側の隅角部の柱部４０ｂと可動台光路用貫通穴４１と間に、圧電アクチュエータ５を保持する圧電アクチュエータ固定部（電気機械変換素子固定部）４４を備えている。

この圧電アクチュエータ固定部４４は、この実施形態では、可動台本体４０ａの上面から所定の深さで凹設されている。これにより、圧電アクチュエータ固定部４４の厚さｔ１が可動台本体４０ａの厚さｔ２よりも薄く形成されている。この実施形態では、可動台本体４０ａの厚さｔ２が０．３〜０．８ｍｍであり、圧電アクチュエータ固定部４４の厚さｔ１が０．１５ｍｍ程度とされている。

柱部４０ｂは、可動台本体４０ａの上面から上方に延ばされている。又、右前方側の柱部４０ｂには、レンズ保持部材３を案内する平面視でコの字状の案内溝４２を備えている。

このように構成された可動台４は、４本のサスペンションワイヤ２２によって固定台２の上方側に、光軸直交方向に移動可能に支持されている。

詳しくは、各サスペンションワイヤ２２は、例えば太さが８０μｍ〜１００μｍ程度の撓み可能なステンレス製の線材から構成されている。そして、サスペンションワイヤ２２は、それぞれ、その一端側が固定台２の４つの隅角部のそれぞれに固定され、他端側が光軸方向（Ｚ方向）に延ばされている。

そして、サスペンションワイヤ２２それぞれの他端側が、可動台４の柱部４０ｂのそれぞれに設けられたワイヤ固定部４３に固定されている。

そして、これらのサスペンションワイヤ２２がＸ方向及びＹ方向に撓むことにより、可動台４が固定台２に対して光軸直交方向に移動できるようになっている。

レンズ保持部材３は、図１〜図３に示すように、レンズ保持枠３１と、押圧バネ３２とを備えている。レンズ保持枠３１は、この実施形態では、ＬＣＰ（液晶ポリマー）などの樹脂材料からなり、射出成型により形成されている。

この実施形態のレンズ保持枠３１は、中心部に、後述のレンズバレル９のネジ部９２が螺合されるネジ孔３１ａを備えている。又、レンズ保持枠３１は、外周における一端側に、後述の圧電アクチュエータ５の駆動軸５２と係合する係合部３１ｂを備え、ネジ孔３１ａを挟んで係合部３１ｂと反対側となる外周の他端側に、可動台４の案内溝４２に光軸方向移動可能に嵌挿される嵌挿部３１ｃを備えている。

係合部３１ｂは、この実施形態では、押圧バネ３２を保持し、押圧バネ３２を介して駆動軸５２と摩擦係合している。

嵌挿部３１ｃは、両外側面のそれぞれに突起３１ｄを備え、可動台４の案内溝４２の内側面との当接抵抗を小さくできるようにしている。

押圧バネ３２は、所定幅の長尺状の板バネを折り返すようにして形成されており、一端側に、駆動軸５２を受けるＶ状の軸受け部３２ａと、軸受け部３２ａに駆動軸５２を押し付ける押圧部３２ｂとを備え、他端側に折り返し部３２ｃを備えている。

そして、この押圧バネ３２は、軸受け部３２ａがレンズ保持枠３１の係合部３１ｂを外周側から覆うように配設されてレンズ保持枠３１に保持されている。

圧電アクチュエータ５は、レンズ保持部材３を光軸方向に駆動させるためのもので、図１、図２、図５（ｂ）に示すように軸方向に伸縮する電気機械変換素子である圧電素子５１と、圧電素子５１の上端面（他端面）に接合された駆動軸５２とを備えている。

圧電素子５１は、入力の電気エネルギーを圧電効果によって、機械エネルギー、すなわち、機械的な運動に変換する素子であり、ここでは、入力の電気エネルギーを機械的な伸縮運動に変換するものである。このような圧電素子は、積層体と、一対の外部電極とを備えている。

積層体は、圧電材料から成る薄膜状（層状）の圧電層と導電性を有する薄膜状（層状）の内部電極層とを交互に複数積層して成るものである。積層体は、本実施形態では、四角柱形状となっているが、これに限定されるものではなく、例えば、多角柱状や円柱形状等であってよい。

複数の内部電極層は、その一部が互いに対向する一対の外周側面で外部に臨むようにそれぞれ構成されている。一対の外部電極は、積層体における前記一対の外周側面上に積層方向に沿って形成され、前記電気エネルギーを積層体に供給するものであり、前記複数の内部電極と順次交互に接続されている。

圧電材料は、例えば、いわゆるＰＺＴ、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ_３）、ニオブ酸タンタル酸カリウム（Ｋ（Ｔａ，Ｎｂ）Ｏ_３）、チタン酸バリウム（ＢａＴｉＯ_３）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ_３）およびチタン酸ストロンチウム（ＳｒＴｉＯ_３）等の無機圧電材料である。

駆動軸５２は、軸方向にカーボン繊維が配列するようにして樹脂により円柱状に成形されたＣＦＲＰ（炭素繊維強化樹脂）からなる。そして、駆動軸５２は、その下端面が圧電素子５１の上端面に、接着剤（例えばエポキシ系の接着剤）により接着されている。

そして、このように構成された圧電アクチュエータ５は、図５（ｂ）に示すように、圧電素子５１の下端面（一端面）５１ａを可動台４の圧電アクチュエータ固定部４４に接着剤によって接着されて固定されている。

又、このように可動台４の圧電アクチュエータ固定部４４に固定された圧電アクチュエータ５は、図１４に示すように圧電素子５１に給電経路５４を介して駆動回路５５から駆動パルスが供給されるようになっている。

電磁式アクチュエータ６は、可動台４を光軸直交方向に駆動させるためのもので、図１に示すように磁石６１、６２と、コイル６３とを備えている。磁石６１、６２は、可動台４を固定台２に対して光軸直交方向であるＸ方向に移動させる一対の第１磁石６１と、可動台４を固定台２に対して光軸直交方向且つＸ方向と直交するＹ方向に移動させる一対の第２磁石６２とを備えている。

第１磁石６１は、可動台４の下面における互いに向かい合う左右の対辺４ａ、４ｃに、それぞれ、接着剤によって取り付けられている。

第２磁石６２は、可動台４の下面における互いに向かい合う前後の対辺４ｂ、４ｄに、それぞれ、接着剤によって取り付けられている。

又、このようにして可動台４の左辺４ａに取り付けられた第１磁石６１は、図４に示すように、その一部が圧電アクチュエータ固定部４４に保持された圧電素子５１の下方側に配置されており、圧電素子５１と光軸方向から見てオーバーラップした第１磁石オーバーラップ部６１ａを有する。

又、可動台４の前辺４ｂに取り付けられた第２磁石６２も、その一部が圧電アクチュエータ固定部４４に保持された圧電素子５１の下方側に配置されており、圧電素子５１と光軸方向から見てオーバーラップした第２磁石オーバーラップ部６２ａを有する。

又、これらの第１磁石６１と第２磁石６２とは、第１磁石オーバーラップ部６１ａと第２磁石オーバーラップ部６２ａとが圧電素子５１の軸心Ｏ１に対して点対称になるように配設されている。

コイル６３は、図１に示すように、一対の第１磁石６１及び一対の第２磁石６２のそれぞれと対向するように、固定台２の上面に固定されている。

このように構成されたコイル６３に電流が流れていない非駆動時には磁石６１、６２とコイル６３の間には電磁力が発生せず、図１３（ａ）に示すように４本のサスペンションワイヤ２２は撓み変形せず、可動台４は移動しない。一方、コイル６３に電流が流されると、磁石６１、６２とコイル６３との間に電磁力が発生し、図１３（ｂ）に示すように４本のサスペンションワイヤ２２は撓み変形し、それに伴い、可動台４は、光軸直交方向に駆動される。

カバー７は、金属板金製であり、図１に示すように中心部に光路となるカバー光路用貫通穴７１を備えている。そして、カバー７は、可動台４の柱部４０ｂの上面に載置されるようにして接着され固定されている。

次に、撮像素子８について説明する。撮像素子８は、撮像光学系によって結像された物体（被写体）の光学像における光量に応じてＲ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の各成分の画像信号に光電変換して所定の画像処理回路（不図示）へ出力する素子である。撮像素子８は、例えば、ＣＣＤ型のイメージセンサや、ＣＭＯＳ型のイメージセンサ等である。

そして、この撮像素子８は、センサ基板８１に保持され、センサ基板８１を介して、固定台２における可動台４とは反対側の下面側に、固定台光路用貫通穴２１を塞ぐように配設されて固定的に装着されている。前記撮像光学系は、１または複数のレンズ（光学素子）９１を備え、物体の光学像を撮像素子８の受光面上に結像する。

レンズ９１は、例えば、フォーカシング（合焦）を行うために光軸に沿って移動するレンズであってよく、また例えば、ズーミング（変倍）を行うために光軸に沿って移動するレンズであってよい。このようなレンズ９１を備える撮像光学系によって物体の光学像が、撮像光学系によりその光軸に沿って撮像素子８の受光面まで導かれ、撮像素子８によって前記物体の光学像が撮像される。

このレンズ９１は、この実施形態では、円筒状のレンズバレル９の内部に保持されている。レンズバレル９は、外周に、ネジ部９２を備えている。そして、このネジ部９２がレンズ保持枠３１のネジ孔３１ａに螺合されることにより、レンズ９１がレンズバレル９を介してレンズ保持部材３に保持されている。

次に、本発明のカメラユニット１の光学素子駆動装置１０の動作について説明する。圧電アクチュエータ５及び電磁式アクチュエータ６に給電されていない図１３（ａ）の状態から、電磁式アクチュエータ６のコイル６３に電流が流されることにより、手振れ補正動作が行われる。

詳しくは、例えば図１の左右両側のコイル６３に電流が流されると、図１３（ｂ）に示すように、４本のサスペンションワイヤ２２がＸ方向に撓み変形し、それに伴い、可動台４が光軸直交方向であるＸ方向に駆動される。

一方、例えば前後両側のコイル６３に電流が流されると、図示しないが、同様に、４本のサスペンションワイヤ２２がＹ方向に撓み変形し、それに伴い、可動台４が光軸直交方向且つＸ方向と直交方向であるＹ方向に駆動される。

一方、圧電アクチュエータ５の圧電素子５１に電力が供給されることにより、オートフォーカス動作が次のように行われる。

即ち、圧電アクチュエータ５の圧電素子５１に、図１４に示すように駆動回路５５から、図１４に示すような鋸歯状電圧が印加されると、鋸歯状波形の緩やかな立ち上がり部分では、圧電素子５１が光軸方向（Ｚ方向）に緩やかに伸び変位し、駆動軸５２も同方向に緩やかに変位する。このとき、駆動軸５２に摩擦結合しているレンズ保持部材３は、駆動軸５２とともに変位する。

鋸歯状波形の急速な立ち下がり部では、圧電素子５１が光軸方向に急速に縮み変位し、駆動軸５２も同方向に急速に変位する。このとき、駆動軸５２に摩擦結合しているレンズ保持部材３は、慣性力で摩擦結合力に打ち勝って駆動軸５２との間にすべりを生じてその位置に留まり、実質的に移動しない。

この繰り返しにより、レンズ保持部材３は駆動軸５２に沿って、光軸方向に連続的に移動する。

ここで、レンズ保持部材３の光軸方向の移動速度は、駆動軸５２の変位振幅に大きく依存する。圧電素子５１の伸縮する方向の両端面のそれぞれがどれだけ変位するか、即ち、伸縮量がどう分配されるかは、圧電アクチュエータ５の重心の位置によって決定される。

圧電素子５１単体の場合、重心は伸縮方向である軸方向の中央にあり、両端面の変位量は等しくなる。一方、図１６に示すように圧電素子５１の軸方向の一端に駆動軸５２を取り付けるとともに、他端に錘５３を取り付け、錘５３によって全体の重心Ｇが錘５３寄りにすると、駆動軸５２に十分な変位量を与えて安定した高速な駆動を可能にする。

又、例えば図１７に示すように錘５３の長さ（厚さ）が短くなって錘５３の質量が十分でない場合であって、全体の重心Ｇが駆動軸５２寄りになると、錘５３の変位が大きくなって駆動軸５２の変位が小さくなってしまい、その結果、駆動速度の低下、駆動安定性の低下を招く。

又、圧電アクチュエータ５の駆動波形の周波数が極めて高いため、錘の効果は、動的な振動状態の中で考える必要がある。即ち、圧電素子５１と錘５３の間に弾性の低い部材が存在した場合にも、錘の機能が損なわれる。このことは、圧電素子５１と錘５３の間にきわめてバネ定数の低い、弱いバネが挿入された状態を想定すると容易に理解される。

この第１実施形態では、第１磁石６１の第１磁石オーバーラップ部６１ａと第２磁石６２の第２磁石オーバーラップ部６２ａと圧電素子５１とが圧電アクチュエータ固定部４４を介して固定されており、第１磁石６１及び第２磁石６２が圧電アクチュエータ５の錘として機能する。

従って、圧電素子５１を第１磁石６１及び第２磁石６２と反対側に効率よく伸縮させることができ、光軸方向の駆動、即ち、オートフォーカス駆動特性を良好なものにできる。

又、その際、圧電アクチュエータ固定部４４の厚さｔ１が可動台本体４０ａの厚さｔ２よりも薄く形成されているため、圧電素子５１と第１磁石６１及び第２磁石６２との間に介在するばね定数を、可動台本体４０ａよりも大きくでき、第１磁石６１及び第２磁石６２が錘として効果的に機能できる。

次に、第２実施形態のカメラユニットについて、図６に基づいて説明する。第２実施形態のカメラユニットにおける光学素子駆動装置１００の可動台１０４は、先の第１実施形態のものと同様に、可動台本体１４０ａと、柱部１４０ｂとを備えている。

柱部１４０ｂは、先の第１実施形態のものと同構成を採っているが、この第２実施形態の可動台本体１４０ａは、圧電素子を挿入する挿入孔１４５を備えている。

この挿入孔１４５は、柱部１４０ｂと可動台光路用貫通穴１４１と間に、可動台本体１４０ａの上面から下面を貫通するように形成されている。即ち、先の第１実施形態の圧電アクチュエータ固定部４４をカットするように形成されている。従って、この第２実施形態では、第１磁石６１の第１磁石オーバーラップ部６１ａと第２磁石６２の第２磁石オーバーラップ部６２ａとが挿入孔１４５に一部を塞いでおり、挿入孔１４５を介して可動台本体１４０ａの上方側から見えるようになっている。

そして、圧電アクチュエータ５の圧電素子５１は、可動台本体１４０ａの上方側から挿入孔１４５に挿入され、圧電素子５１の一端面５１ａが第１磁石６１の第１磁石オーバーラップ部６１ａと第２磁石６２の第２磁石オーバーラップ部６２ａとに接着剤によって接着されて固定されている。第２実施形態のカメラユニットの上記以外は、先の第１実施形態のものと同構成を採っている。

このように構成された第２実施形態では、圧電素子５１の一端面５１ａが第１磁石６１の第１磁石オーバーラップ部６１ａと第２磁石６２の第２磁石オーバーラップ部６２ａとに直接固定されているため、磁石６１、６２を圧電アクチュエータ５の錘として、より効率的に機能させることができ、オートフォーカス駆動特性をより一層、良好なものにできる。又、圧電アクチュエータ５の高さをより低くでき、光学素子駆動装置（カメラユニット）全体をより一層、低背化できる。

次に、第３実施形態のカメラユニットについて、図７に基づいて説明する。第３実施形態のカメラユニットでは、第２実施形態の圧電アクチュエータ５の圧電素子５１の一端面５１ａに、板状部材２５４が付設されている。この板状部材２５４は、可動台本体２４０ａよりも比重及び弾性率が大きい材料、例えばステンレス鋼板（比重約７．９、縦弾性係数約１９０Ｇｐａ）、リードフレーム用銅合金帯（比重約８．８、縦弾性係数約１２５Ｇｐａ）等から構成され、円形状に形成されている。

光学素子駆動装置２００の可動台２０４は、先の第２実施形態のものと同構成をとっており、可動台本体２４０ａは、圧電素子５１と圧電素子５１の一端面５１ａに付設されている板状部材２５４を挿入する挿入孔２４５を備えている。

そして、板状部材２５４は、厚さ方向の一方面が圧電素子５１の一端面５１ａに接着剤によって接着されて固定された状態で可動台本体１４０ａの上方側から挿入孔１４５に挿入され、板状部材２５４の厚さ方向の他方面が第１磁石６１の第１磁石オーバーラップ部６１ａと第２磁石６２の第２磁石オーバーラップ部６２ａとに接着されて固定されている。

従って、この実施形態では、圧電素子５１の一端面５１ａは、板状部材２５４を介して第１磁石６１の第１磁石オーバーラップ部６１ａと第２磁石６２の第２磁石オーバーラップ部６２ａと間接的に固定されている。第３実施形態のカメラユニットの上記以外は、先の第２実施形態のものと同構成を採っている。

このように構成された第３実施形態では、圧電素子５１の一端面５１ａが可動台本体（可動台）２４０ａよりも比重及び弾性率の大きい板状部材２５４を挟んで第１磁石６１の第１磁石オーバーラップ部６１ａと第２磁石６２の第２磁石オーバーラップ部６２ａとに間接的に固定されているため、板状部材２５４が磁石と共に圧電アクチュエータの錘として機能し、オートフォーカス駆動特性を、より一層、良好なものにできる。

次に、第４実施形態のカメラユニットについて、図８に基づいて説明する。第４実施形態のカメラユニットにおける光学素子駆動装置３００の可動台３０４は、主として液晶ポリマーなどの樹脂材料で構成されている。その樹脂部分（合成樹脂部）は、先の第３実施形態のものと同構成をとっており、可動台本体３４０ａの樹脂部分は、圧電素子５１を挿入する挿入孔３４５を備えている。

又、可動台本体３４０ａの下面には、板状部材３５４が付設されている。この第４実施形態の板状部材３５４は、その全体を表していないが、可動台本体３４０ａの下面のほぼ全体を覆う形状を呈しており、樹脂で形成された挿入孔３４５に底面を構成する。又、板状部材３５４は、第１磁石６１及び第２磁石６２と対向する一方面に、第１磁石６１及び第２磁石６２を取り付ける磁石取付部３５４ａを備えている。

このように構成された板状部材３５４は、予めインサート成形等によって可動台本体３４０ａと一体的に形成されている。尚、板状部材３５４は、先の第３実施形態の板状部材２５４と同じ材料である。

第１磁石６１及び第２磁石６２は、板状部材３５４の磁石取付部３５４ａに接着剤によって取り付けられている。又、圧電アクチュエータ５の圧電素子５１は、その一端面５１ａが挿入孔３４５に入れられて挿入孔３４５内で板状部材３５４の他方面に接着剤によって接着されて固定されている。第４実施形態のカメラユニットの上記以外は、先の第３実施形態のものと同構成を採っている。

このように構成された第４実施形態では、先の第３実施形態と同様に、板状部材３５４が磁石と共に圧電アクチュエータの錘として機能し、オートフォーカス駆動特性を、より一層、良好なものにできる。又、第４実施形態では、第１磁石６１及び第２磁石６２は、板状部材３５４の磁石取付部３５４ａに取り付けられるため、液晶ポリマーなどの難接着樹脂製の可動台本体３４０ａに接着する場合に比べて接着強度を得やすい。

次に、第５実施形態のカメラユニットについて、図９〜図１１に基づいて説明する。第５実施形態のカメラユニットにおける光学素子駆動装置４００の可動台４０４は、先の第３実施形態のものと同構成をとっており、可動台本体４４０ａは、圧電素子５１を挿入する挿入孔４４５を備えている。

又、図１０に示すように圧電アクチュエータ５の圧電素子５１の一端面５１ａに、錘部材４５４が付設されている。この錘部材４５４は、圧電素子５１の一端面５１ａに接合される接合部４５４ｃと、外周の一方側に形成され第１磁石６１の第１磁石オーバーラップ部６１ａを受容する第１受容部４５４ａと、外周の他方側に形成され第２磁石６２の第２磁石オーバーラップ部６２ａを受容する第２受容部４５４ｂとを備えている。

そして、この錘部材４５４は、接合部４５４ｃが圧電素子５１の一端面５１ａに接着剤によって固定されるとともに、第１磁石オーバーラップ部６１ａが第１受容部４５４ａに、第２磁石オーバーラップ部６２ａが第２受容部４５４ｂとに、それぞれ外周側から受容されて接着剤によって固定される。又、この状態で、第１受容部４５４ａと第２受容部４５４ｂとが、圧電素子５１の軸心Ｏ１に対して線対称になっている。第５実施形態のカメラユニットの上記以外は、先の第３実施形態のものと同構成を採っている。

このように構成された第５実施形態では、錘部材４５４と第１磁石オーバーラップ部６１ａ及び第２磁石オーバーラップ部６２ａとが、圧電アクチュエータの錘として機能する。従って、錘部材４５４は、第１受容部４５４ａや第２受容部４５４ｂを有しない場合に近いオートフォーカス駆動特性を維持でき、圧電アクチュエータ５の高さを抑えることでき、光学素子駆動装置（カメラユニット）全体を低背化できる。

なお、この錘部材４５４の第１受容部４５４ａ及び第２受容部４５４ｂは、上記実施形態では、錘部材４５４の厚さ方向の一方端面から他方端面にかけて形成されたが、この形態のものに限らず、適宜変更できる。例えば図１０に示すように錘部材４５４の厚さ方向の一方端面から所定の深さで形成されたが、この形態のものに限らず、適宜変更できる。例えば図１１に示すように錘部材５３３の厚さ方向の一方端から他方端面にかけて形成されたものでもよい。

次に、第６実施形態のカメラユニットについて、図１２に基づいて説明する。第６実施形態のカメラユニットにおける光学素子駆動装置５００の可動台５０４は、先の第３実施形態のものと同構成をとっており、可動台本体５４０ａは、圧電素子５１を挿入する挿入孔５４５を備えている。

又、第１磁石５６１は、磁石本体５６１１と、第１オーバーラップ部５６１２ａを有するオーバーラップ片５６１２と、磁石本体５６１１とオーバーラップ片５６１２との間に、仕切り溝５６１３ａを有する境界部５６１３とを備えている。

第２磁石５６２は、第１磁石５６１と同様に、磁石本体５６２１と、第１２オーバーラップ部５６２２ａを有するオーバーラップ片５６２２と、磁石本体５６２１とオーバーラップ片５６２２との間に、仕切り溝５６２３ａを有する境界部５６２３とを備えている。

これらの仕切り溝５６１３ａ、５６２３ａは、互いに同一構成を採っており、それぞれは、磁石本体５６１１、５６２１とオーバーラップ片５６１２、５６２２の厚さ方向の両面それぞれから所定の幅及び深さで形成されている。この実施形態では、仕切り溝５６１３ａ、５６２３ａの幅Ｌが、０．２ｍｍ程度に、深さｈが０．１ｍｍ程度に形成されている。第６実施形態のカメラユニットの上記以外は、先の第３実施形態のものと同構成を採っている。

このように構成された第６実施形態では、仕切り溝によって境界部５６１３、５６２３の厚さが磁石本体５６１１、５６２１とオーバーラップ片５６１２、５６２２の厚さよりも薄く形成されているため、境界部５６１３、５６２３の曲げ剛性（断面二次モーメント）が磁石本体５６１１、５６２１とオーバーラップ片５６１２、５６２２よりも小さく、撓み易い。これにより、圧電素子５１を固定するオーバーラップ片５６１２、５６２２を、磁石本体５６１１、５６２１と振動的に疎遠にでき、有害振動モードの発生を更に有効に抑えることができる。

次に、図１８を用いて、カメラユニット１（１００、２００、３００、４００、５００）を備えたカメラについて説明する。この実施形態では、カメラは、カメラ付携帯電話機７００として実施されている。

カメラ付携帯電話機７００は、携帯電話機本体７０１と、カメラユニット１（１００、２００、３００、４００、５００）とを備えている。カメラユニット１（１００、２００、３００、４００、５００）は、上述のものと同構成を採るものである。

携帯電話機本体７０１は、所定の情報を表示する表示部７５１や、図示しないが、所定の指示の入力を受け付ける入力操作部、携帯電話網を用いて通信を行って電話機能を実現する通信部等を備えている。

又、携帯電話機本体７０１は、撮像機能のために、図１９に示すように画像生成部７３１、制御部７３２、記憶部７３３およびインタフェース部（Ｉ／Ｆ部）７３４を備えている。

画像生成部７３１は、撮像素子８からのアナログ出力信号に対し、増幅処理、デジタル変換処理等を行うと共に、画像全体に対して適正な黒レベルの決定、γ補正、ホワイトバランス調整（ＷＢ調整）、輪郭補正および色ムラ補正等の周知の画像処理を行って、画像信号から画像データを生成する。画像生成部７３１で生成された画像データは、記憶部７３３に記憶される。

制御部７３２は、例えばマイクロプロセッサおよびその周辺回路などを備えて構成され、カメラユニット１、画像生成部７３１、記憶部７３３およびＩ／Ｆ部７３４の各部の動作をその機能に従って制御する。

記憶部７３３は、被写体の静止画撮影または動画撮影によって生成された画像データを記憶する記憶回路であり、例えば、書き換え可能な不揮発性の記憶素子であるＥＥＰＲＯＭ（Electrically Erasable Programmable Read Only Memory）や、ＲＡＭなどを備えて構成される。つまり、記憶部７３３は、静止画用および動画用のメモリとしての機能を有する。

Ｉ／Ｆ部７３４は、外部機器と画像データを送受信するインタフェースであり、例えば、ＵＳＢやＩＥＥＥ１３９４などの規格に準拠したインタフェースである。

次に、光学素子駆動装置を備えた光照射装置８００について、図２０〜図２２に基づいて説明する。光照射装置８００は、光学素子駆動装置８１０と、光源８０８と、レンズ（光学素子）９１とを備えている。

光学素子駆動装置８１０は、上述の第１実施形態の光学素子駆動装置１０と略同構成を採っており、固定台８０２と、レンズ保持部材８０３と、可動台８０４と、圧電アクチュエータ５と、電磁式アクチュエータ６と、カバー８０７とを備えている。

この光学素子駆動装置８１０の固定台８０２は、この実施形態では、円板状を呈するものから構成されている。

又、可動台８０４は、可動台本体８４０ａと、枠部８４０ｂとを備えている。可動台本体８４０ａは、可動台光路用貫通穴８４１と、圧電アクチュエータ５の圧電素子５１を挿入する挿入孔８４５とを備えている。

枠部８４０ｂは、可動台本体８４０ａの略全体を囲むように可動台本体８４０ａの外周縁の略全体から上方に延設されている。

圧電アクチュエータ５及び電磁式アクチュエータ６は、先の第１実施形態の光学素子駆動装置１０のものと略同構成を採っている。

ただし、この実施形態では、電磁式アクチュエータ６における右側の第１磁石６１が、可動台本体８４０ａの挿入孔８４５を塞ぐように可動台本体８４０ａの下面に固定されており、挿入孔８４５に挿入された圧電アクチュエータ５の圧電素子５１の一端面５１ａ全体とオーバーラップするオーバーラップ部８６１ａを備えている。そして、この第１磁石６１のオーバーラップ部８６１ａと圧電アクチュエータ５の圧電素子５１の一端面５１ａとが接着剤によって接着されて固定されている。

従って、この実施形態では、電磁式アクチュエータ６における右側の第１磁石６１だけがオーバーラップ部８６１ａを備え、第２磁石６２は、オーバーラップ部を有していない。

レンズ９１は、レンズ保持部材８０３内に保持されている。又、光源８０８は、放熱板８８１に保持され、放熱板８８１を介して固定台８０２に固定されている。

以上のように光照射装置８００を構成することにより、光軸方向駆動用の磁石を不要にでき、良好な光軸直交方向の駆動がえられる。又、圧電アクチュエータの圧電素子に接合した駆動軸に沿ってレンズ保持部材を移動させることで、圧電アクチュエータとは別途に直進案内軸を不要にでき、小型化を図り得る光照射装置にできる。

又、電磁式アクチュエータの磁石を圧電アクチュエータの錘として機能させることができ、光軸方向の駆動特性を良好なものにできるとともに、圧電アクチュエータの高さを低くでき、光照射装置全体を低背化でき小型化を図ることができる。

この実施様態では、光照射装置では、光源８０８はレーザーダイオードであり、出射された光は、レンズ９１の作用によりスクリーンなどの面上に輝点を形成する。レンズ９１の光軸方向への移動により輝点の大きさを変更することが可能である。また、レンズ９１の光軸直交方向への駆動によりスクリーン上に形成される輝点位置を移動させることが出来、例えばレーザーポインタなどでは、手ぶれによる輝点のぶれを軽減したり、コイル６３への通電を制御することにより、輝点を走査させて、任意のパターン、例えば矢印などを描画することが出来る。

なお、光源８０８は、光源に照明された液晶パネルなどの光変調素子としても良い。

１ カメラユニット
２ 固定台
３ レンズ保持部材
４ 可動台
５ 圧電アクチュエータ
６ 電磁式アクチュエータ
８ 撮像素子
１０ 光学素子駆動装置
５１ 圧電素子（電気機械変換素子）
６１ 第１磁石
６２ 第２磁石
６１ａ 第１磁石オーバーラップ部
６２ａ 第２磁石オーバーラップ部
６３ コイル
９１ レンズ（光学素子）

Claims (11)

1. 固定台と、
   １又は複数の光学素子を保持する光学素子保持部材と、
   前記光学素子保持部材を光軸方向に移動可能に保持し、前記固定台に前記光軸の直交方向に移動可能に支持された可動台と、
   前記固定台に保持されたコイル及び前記可動台に保持された磁石を有し、前記コイルと前記磁石とによって、前記可動台を前記固定台に対して前記直交方向に駆動させる電磁式アクチュエータと、
   前記可動台に保持され、前記光学素子保持部材を前記可動台に対して前記光軸方向に駆動させる圧電アクチュエータと、を備え、
   前記圧電アクチュエータは、前記光軸方向に伸縮する前記電気機械変換素子を備え、
   前記電気機械変換素子は、前記伸縮する方向の一端面の一部又は全体が前記光軸方向からみて前記磁石の一部とオーバーラップするように配置されるとともに、前記オーバーラップするように配置された前記一端面の一部又は全体が前記磁石に固定されるように構成されていることを特徴とする光学素子駆動装置。
2. 前記可動台は、板状の可動台本体と、前記可動台本体に形成され前記電気機械変換素子を固定した電気機械変換素子固定部とを備え、
   前記電気機械変換素子固定部は、前記可動台本体における前記電気機械変換素子固定部以外の他の部分よりも厚さが薄く形成され、
   前記磁石の一部は、前記電気機械変換素子固定部の厚さ方向の一方側に配置され、
   前記電気機械変換素子の一部又は全体は、前記電気機械変換素子固定部を挟んで前記磁石の一部と間接的に固定されていることを特徴とする請求項１記載の光学素子駆動装置。
3. 前記可動台には、前記圧電アクチュエータを挿入する挿入孔が形成され、
   前記磁石の一部は、前記挿入孔の一部又は全体を塞ぐように配置され、
   前記電気機械変換素子の一部又は全体は、前記挿入孔を塞いだ前記磁石の一部と直接固定されていることを特徴とする請求項１記載の光学素子駆動装置。
4. 前記電気機械変換素子の一端面に固定され、前記可動台よりも比重及び弾性率の大きい板状の板状部材を、更に備え、
   前記可動台には、前記電気機械変換素子と前記板状部材を挿入する挿入孔が形成され、
   前記磁石の一部は、前記挿入孔の一部又は全体を塞ぐように配置され、
   前記電気機械変換素子の一部又は全体は、前記板状部材を挟んで前記磁石の一部と間接的に固定されていることを特徴とする請求項１記載の光学素子駆動装置。
5. 前記可動台は、金属製の板状部材と合成樹脂部とをインサート成型にて形成されており、
   前記板状部材を構成する金属材料は、前記樹脂部を構成する合成樹脂材料よりも大きい比重と弾性率を有し、
   前記合成樹脂部には、前記圧電アクチュエータを挿入する挿入孔が形成され、
   前記板状部材は、前記板状部材の厚さ方向の一方面が前記合成樹脂部から露出して、前記磁石を取り付ける磁石取付部を備え、
   前記板状部材の厚さ方向の他方面は、前記合成樹脂部の前記圧電アクチュエータを挿入する挿入孔の底に露出し、
   前記電気機械変換素子の一部又は全体は、前記板状部材を挟んで前記磁石の一部と間接的に固定されていることを特徴とする請求項１記載の光学素子駆動装置。
6. 前記電気機械変換素子の一端面に固定され、前記可動台よりも比重の大きい錘部材を、更に備え、
   前記可動台には、前記電気機械変換素子を挿入する挿入孔が形成され、
   前記磁石の一部は、前記挿入孔の一部を塞ぐように配置され、
   前記錘には、前記挿入孔の一部を塞いだ前記磁石の一部を受容する受容凹部が形成され、
   前記受容凹部は、前記錘の外周面から窪まされるように形成され、
   前記電気機械変換素子の一部又は全体は、前記受容凹部に受容した前記磁石の一部と直接に、又は前記錘を介して間接的に固定されていることを特徴とする請求項１記載の光学素子駆動装置。
7. 前記磁石は、前記可動台を前記固定台に対して前記光軸の直交方向であるＸ方向に移動させる第１磁石と、前記可動台を前記固定台に対して前記光軸の直交方向且つ前記Ｘ方向に直交するＹ方向に移動させる第２磁石とを備え、
   前記第１磁石は、前記電気機械変換素子とオーバーラップする第１オーバーラップ部を備え、
   前記第２磁石は、前記電気機械変換素子とオーバーラップする第２オーバーラップ部とを備え、
   前記第１オーバーラップ部と第２オーバーラップ部とは、前記電気機械変換素子の軸心に対して点対称又は線対称になるように形成されていることを特徴とする請求項１〜６の何れか一項に記載の光学素子駆動装置。
8. 前記磁石は、磁石本体と、前記電気機械変換素子とオーバーラップ部を有するオーバーラップ片と、前記磁石本体とオーバーラップ片との境界に形成された仕切り溝とを備え、
   前記仕切り溝は、その厚さが前記磁石本体及びオーバーラップ片の厚さよりも薄く形成されていることを特徴とする請求項１〜７の何れか一項に記載の光学素子駆動装置。
9. 請求項１〜８の何れか一項に記載の光学素子駆動装置と、
   前記固定台に装着され、光学像を電気的な信号に変換する撮像素子と、
   １又は複数の光学素子を備え、物体の光学像を前記撮像素子の受光面上に結像する撮像光学系とを備え、
   前記撮像光学系における１又は複数の光学素子のうちの光軸方向に沿って移動する光学素子は、前記光学素子駆動装置の光学素子保持部材に取り付けられていること
   を特徴とするカメラユニット。
10. 請求項９に記載のカメラユニットと、
    前記撮像素子から取り込んだ前記電気的な信号に所定の画像処理を行って画像を生成する画像生成部と、
    前記画像生成部で生成した画像を記憶する記憶部と、
    前記画像をカメラ外部に送信するインターフェイス部と、
    を備えていることを特徴とするカメラ。
11. 請求項１〜８の何れか一項に記載の光学素子駆動装置と、
    前記レンズ保持枠に取り付けられた１又は複数の光学素子と、
    前記固定台に装着された光源と、
    を備えていることを特徴とする光照射装置。

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