JP2015144165A - 回路モジュール及びその製造方法 - Google Patents

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Abstract

【課題】マイグレーション不良が低減された回路モジュール及びその製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】回路モジュールM101は、複数の絶縁層R9及び配線層S9が積層された多層基板19と、多層基板19の一面19aに配置された電子部品12と、電子部品12を被覆する被覆絶縁層14と、被覆絶縁層14の外側に形成されたシールド層16と、多層基板19の他面19zに設けられた配線層S9の表面実装用電極S9eと、を備え、多層基板19が、内層に形成された接地パターンS9gと接地パターンS9gと接続され多層基板19の一面19aに向けて形成されたフィルドビアS9fとを有し、シールド層16がフィルドビアS9fを介して接地パターンS9gと接続されていることを特徴とし、その製造方法は、準備工程PA、部品実装工程PB、パッケージ工程PC、溝加工工程PD、シールド層形成工程PE及び切断工程PFを有している。【選択図】図4

Description

本発明は、多層基板上に複数の電子部品が搭載された回路モジュールに関し、特に、外部からの電磁波を遮蔽するシールド部材を有する回路モジュール及びその製造方法に関する。
近年、配線基板上に複数の電子部品を搭載してなる小型の回路モジュールが急速に普及してきた。この種の回路モジュールには、抵抗やコンデンサ等の受動部品やトランジスタや集積回路(IC、integrated circuit)等の能動部品が高密度に搭載されている。このような回路モジュールに対して、外部からの電磁波による悪影響を防止するため、シールド部材を用いる場合が多い。
このような回路モジュールとして、特許文献1(従来例)では、回路モジュール900が提案されている。図5は、従来例の回路モジュール900の製造方法を説明した構成断面図である。図5(d)に示す回路モジュール900は、プリント配線が形成された回路基板911と、回路基板911の上面に搭載される半導体素子やコンデンサや抵抗等の要素部品912と、要素部品912を覆うように回路基板911の上面に形成された封止樹脂層(第1樹脂モールド層)914と、封止樹脂層914の表面に形成された静電や電磁界からの影響をシールド遮蔽するシールド層(第2樹脂モールド層)919と、を有して構成される。
また、回路基板911には、要素部品912と接続され上面に設けられた信号パターンと、内層に設けられた内層パターン916と、内層パターン916と接続され下面に設けられた接地用電極917aと、信号パターンと接続され下面に設けられた信号電極(I/O電極)917bと、を有している。そして、回路基板911の側面に露出した内層パターン916と回路基板911の側面に形成されたシールド層919とを電気的に接続させている。これにより、シールド性を有し小型化が図れた回路モジュール900を提供できるとしている。
また、回路モジュール900の製造方法は、先ず、複数の回路モジュール900の回路基板911がマトリクス状に連設された集合基板921を準備し、この集合基板921の上面に要素部品912を実装した後、封止樹脂層914を形成する(図5(a)を参照)。次に、図5(b)に示すように、ダイサー等で個片化する分離ラインSPに沿って回路基板911をハーフカットし、溝又は穴920を形成する。次に、図5(c)に示すように、封止樹脂層914を覆い溝又は穴920を埋めるようにして、導電性のシールド層919を形成する。この際に、回路基板911の側面に露出した内層パターン916と回路基板911の側面に形成されたシールド層919とが電気的に接続される。最後に、ハーフカット幅よりも狭い幅のダイサー等で、分離ラインSPに沿ってシールド層919及び残りの回路基板911を切断して個片化し、図5(d)に示す回路モジュール900が得られる。
特開2004−172176号公報
しかしながら、従来例の構成では、回路基板911に設けられた内層パターン916を回路基板911の側面に露出させ、シールド層919と接続させているため、シールド層919は内層パターン916と確実に接続できるように内層パターン916より充分に下面側まで伸びている必要がある。このため、シールド層919と信号電極917bとの距離が短くなり、シールド層919と信号電極917bとの間でマイグレーションを引き起こしやすくなってしまうという課題があった。特に、回路モジュール900を実装するセット側基板では、はんだ付け状態を確認しやすくするために、セット側基板のはんだ付けランドをモジュールの外側まで引き出す場合がり、その際には、はんだ付けランドとシールド層919との間でもマイグレーションを引き起こしやすくなっていた。
本発明は、上述した課題を解決するもので、マイグレーション不良が低減された回路モジュール及びその製造方法を提供することを目的とする。
この課題を解決するために、本発明の回路モジュールは、複数の絶縁層及び配線層が積層された多層基板と、前記多層基板の一面に配置された複数の電子部品と、前記複数の電子部品を被覆する被覆絶縁層と、前記被覆絶縁層の外側に形成されたシールド層と、前記多層基板の他面に設けられた前記配線層の表面実装用電極と、を具備する回路モジュールであって、前記多層基板が、前記配線層の内の内層に形成された接地パターンと、前記接地パターンと接続され前記多層基板の前記一面に向けて形成されたフィルドビアと、を有しており、前記シールド層が、前記フィルドビアを介して前記接地パターンと接続されていることを特徴としている。
これによれば、本発明の回路モジュールは、シールド層を表面実装用電極と離れた位置に形成することができる。このことにより、従来例の構成と比較して、シールド層と表面実装用電極との距離を長くすることができ、マイグレーションの発生を低減することができる。
また、本発明の回路モジュール及びその製造方法は、前記接地パターン或いは前記フィルドビアが前記多層基板の側面に露出していないことを特徴としている。
これによれば、シールド層と等電位の接地パターン或いはフィルドビアと表面実装用の電極との間でマイグレーションが発生することがない。このことにより、シールド層と表面実装用の電極との距離を確実に確保することで、マイグレーションの発生を確実に低減することができる。
また、本発明の回路モジュールは、前記フィルドビアが前記多層基板の外周端部に複数設けられていることを特徴としている。
これによれば、複数のフィルドビアと接地パターン及びシールド層との電気的接続を確実にとることができる。このことにより、シールド層を確実に接地することができ、実装された電子部品や配線層のシールドを確実に行うことができる。しかも、フィルドビアが多層基板の外周端部に設けられているので、電子部品を多層基板の内側領域に効率良く配設することができる。
また、本発明の回路モジュール及びその製造方法は、複数の絶縁層及び配線層が積層された多層基板と、前記多層基板の一面に配置された複数の電子部品と、前記複数の電子部品を被覆する被覆絶縁層と、前記被覆絶縁層の外側に形成されたシールド層と、前記多層基板の他面に設けられた前記配線層の表面実装用電極と、を具備する回路モジュールを複数個作製する回路モジュールの製造方法であって、前記回路モジュールの前記多層基板が、前記配線層の内の内層に形成された接地パターンと、前記接地パターンと接続され前記多層基板の前記一面に向けて形成されたフィルドビアと、を備えており、前記多層基板が複数形成された大判多層基板を準備する準備工程と、複数の前記回路モジュールに対応した前記複数の電子部品を前記大判多層基板に搭載する部品実装工程と、前記複数の電子部品を前記被覆絶縁層で被覆するパッケージ工程と、前記多層基板のそれぞれを仕切る位置に前記被覆絶縁層及び前記大判多層基板に溝部を設け、前記フィルドビアを前記溝部に露出させる溝加工工程と、前記溝部及び前記被覆絶縁層を覆う前記シールド層を形成するシールド層形成工程と、前記溝部の部分を切断し、前記回路モジュールを個別にする切断工程と、を有したことを特徴としている。
これによれば、シールド層と表面実装用電極とが離れた位置に形成されている回路モジュールを容易に作製することができる。しかも、従来例と比較して、大判多層基板の厚みに対して溝部の深さの割合を小さくすることができるので、大判多層基板の厚みが薄い場合であっても、大判多層基板の全体の強度が増し、製造工程での取り扱いが容易になる。
本発明の回路モジュールは、シールド層を表面実装用電極と離れた位置に形成することができる。このことにより、従来例の構成と比較して、シールド層と表面実装用電極との距離を長くすることができ、マイグレーションの発生を低減することができる。
また、本発明の回路モジュールの製造方法は、シールド層と表面実装用電極とが離れた位置に形成されている回路モジュールを容易に作製することができる。しかも、従来例と比較して、大判多層基板の厚みに対して溝部の深さの割合を小さくすることができるので、大判多層基板の厚みが薄い場合であっても、大判多層基板の全体の強度が増し、製造工程での取り扱いが容易になる。
本発明の第1実施形態の回路モジュールを説明する断面構成図である。 本発明の第1実施形態の回路モジュールを説明する図であって、多層基板が複数形成された大判多層基板の上面図である。 本発明の第1実施形態に係わる回路モジュールの効果を説明する側面構成図であって、図3(a)は、本案の回路モジュールであり、図3(b)は、従来技術による回路モジュールである。 本発明の第1実施形態に係わる回路モジュールの製造方法を説明する工程図である。 従来例の回路モジュールの製造方法を説明した構成断面図である。
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
[第1実施形態]
図1は、本発明の第1実施形態の回路モジュールM101を説明する断面構成図である。図2は、本発明の第1実施形態の回路モジュールM101を説明する図であって、多層基板19が複数形成された大判多層基板CN9の上面図である。図2中に示す2点鎖線は、回路モジュールM101が個片化された際の多層基板19の外周19tを示すものである。また、図2の大判多層基板CN9には、複数の電子部品12が多層基板19のそれぞれに対応して配置されている。図3は、本発明の第1実施形態に係わる回路モジュールM101の効果を説明する側面構成図であって、図3(a)は、本発明の回路モジュールM101であり、図3(b)は、回路モジュールM101と比較した従来技術による回路モジュールJ01である。
本発明の第1実施形態の回路モジュールM101は、図1に示すように、絶縁層R9及び配線層S9が積層された多層基板19と、多層基板19の一面19aに配置された複数の電子部品12と、複数の電子部品12を被覆する被覆絶縁層14と、被覆絶縁層14の外側に形成されたシールド層16と、を具備して構成されている。
回路モジュールM101の多層基板19は、図1に示すように、ガラス繊維にエポキシ樹脂が含浸された絶縁層R9と銅の配線層S9が複数交互に積層された多層のプリント配線基板(PWB、printed wiring board)であり、本発明の第1実施形態では、4層のプリント配線板を用いている。
また、多層基板19の配線層S9は、図1に示すように、複数の電子部品12を実装するための一面19aに設けられた実装用電極S9eと、他面19zに設けられた表面実装用電極S9mと、内層に設けられた接地パターンS9g及び内層パターンS9hと、各電極及びパターンとを接続する内層接続電極S9cと、を有している。そして、実装用電極S9eは、図示していないが、内層パターンS9h及び内層接続電極S9cを介して表面実装用電極S9mに電気的に接続されている。
また、配線層S9の内層接続電極S9cは、図1に示すように、多層基板19の一面19aに向けて形成されたフィルドビアS9fを有しており、このフィルドビアS9fは、接地パターンS9gと電気的に接続されている。そして、このフィルドビアS9fと接地パターンS9gは、多層基板19の側面に露出していない。
また、内層接続電極S9cのフィルドビアS9fは、本発明の第1実施形態では、図2に示すように、多層基板19の外周端部に複数個設けられている。これにより、複数個のフィルドビアS9fと接地パターンS9g及びシールド層16との電気的接続を確実にとることができる。更に、フィルドビアS9fが多層基板19の外周端部に設けられているので、電子部品12を多層基板19の内側領域に効率良く配設することができる。
回路モジュールM101の電子部品12は、抵抗やコンデンサ等の受動部品やトランジスタや集積回路(IC)等の能動部品から構成されており、図1に示すように、多層基板19の一面19a側に高密度に搭載されている。そして、電子部品12は、ボンディングワイヤやハンダ等により、多層基板19の実装用電極S9eと電気的に接続されている。
回路モジュールM101の被覆絶縁層14は、エポキシ樹脂等の合成樹脂を用い、図1に示すように、複数の電子部品12を被覆して形成され、電子部品12を封止している。
回路モジュールM101のシールド層16は、外部からの静電や電界等の影響から電子部品12を保護するためのシールドの機能を有し、銀粉が分散された導電性樹脂を用い、図1に示すように、被覆絶縁層14を覆うようにして外側に形成されている。
また、シールド層16は、フィルドビアS9fと電気的に接続されており、このフィルドビアS9fを介して内層の接地パターンS9gと接続されて、更に、内層接続電極S9c、表面実装用電極S9mを介して、セット側基板のグランドに電気的に接続されている。これにより、実装された電子部品12や配線層S9に対するシールド性が確保される。
また、シールド層16は、導電性樹脂でのモールド形成により、上面が平坦面に形成されており、回路モジュールM101をセット側基板に実装する際に、吸着による取扱いが容易に行えるようにしている。
以上のように構成された第1実施形態の回路モジュールM101は、シールド層16が内層に形成された接地パターンS9gとフィルドビアS9fを介して接続されているので、シールド層16を表面実装用電極S9mと離れた位置に形成することができる。例えば、図3を用いて説明すると、第1実施形態の回路モジュールM101は、図3(a)に示すように、シールド層16と表面実装用電極S9m或いはセット側基板MBのはんだ付けのためのランドRDとの距離は、図3(a)に示すMZ1となる。一方、従来技術を用いた場合、図3(b)に示すように、シールド層J16と表面実装用電極S9m或いはセット側基板MBのはんだ付けのためのランドRDとの距離は、図3(b)に示すJZ1となり、JZ1よりMZ1の方が長い距離となっている。このため、回路モジュールM101は、従来例の構成と比較して、シールド層16と表面実装用電極S9mとの距離を長くすることができる。これにより、シールド層16と表面実装用電極S9m或いはセット側基板MBのランドRDとの間でのマイグレーションの発生を低減することができる。
更に、図1及び図3(a)に示すように、接地パターンS9g或いはフィルドビアS9fが多層基板19の側面に露出していないので、シールド層16と等電位の接地パターンS9g或いはフィルドビアS9fと表面実装用電極S9m或いはセット側基板MBのランドRDとの間で、マイグレーションが発生することがない。このことにより、シールド層16と表面実装用電極S9mとの距離を確実に確保することで、マイグレーションの発生を確実に低減することができる。
また、従来技術では、図3(b)に示すように、シールド層J16と表面実装用電極S9mとの距離をできるだけ離すために、内層に形成された接地パターンJ9gを多層基板19の一面19a側に近い内層にしている。何故なら、接地パターンJ9gの露出した側面とシールド層J16とを接続しているので、接地パターンJ9gの内層での位置がシールド層J16の位置を決定するからである。しかしながら、本発明の回路モジュールでは、必ずしも第1実施形態の回路モジュールM101の内層(接地パターンS9g、内層パターンS9h)の順番にする必要がなく、例えば接地パターンS9gを多層基板19の他面19z側に近い内層にしても良い。これは、シールド層16の下方側端面と表面実装用電極S9mとの距離が、配線層S9の内層の構成に影響されないためである。
次に本発明の回路モジュールM101の製造方法について、図2及び図4を用いて説明する。図4は、本発明の第1実施形態に係わる回路モジュールM101の製造方法を説明する工程図であり、図4(a)は、準備工程PA後を示す図であり、図4(b)は、部品実装工程PB後を示す図であり、図4(c)は、パッケージ工程PC後を示す図であり、図4(d)は、溝加工工程PD後を示す図であり、図4(e)は、シールド層形成工程PE後を示す図であり、図4(f)は、切断工程PF後を示す図である。
回路モジュールM101の製造方法は、図4に示すように、準備工程PA、部品実装工程PB、パッケージ工程PC、溝加工工程PD、シールド層形成工程PE及び切断工程PFを備えている。
先ず、準備工程PAで、回路モジュールM101を構成する多層基板19が複数形成された大判多層基板CN9(図2及び図4(a)を参照)を準備する。この大判多層基板CN9は、複数の多層基板19がマトリックス状に連接されて形成されている。多層基板19は、前述したように、絶縁層R9と配線層S9が複数交互に積層されて形成されており、この配線層S9は、一面19aに設けられた実装用電極S9eと、他面19zに設けられた表面実装用電極S9mと、内層に設けられた接地パターンS9g、内層パターンS9h及びフィルドビアS9fと、を有して構成されている。なお、この大判多層基板CN9の製造工程については、一般的な所謂ビルドアップ工法を用いているので、詳細な説明は省略する。
次に、部品実装工程PBで、複数の電子部品12を大判多層基板CN9に搭載する。その際には、1つの回路モジュールM101に対応した複数の電子部品12を、回路モジュールM101の個数に応じて、それぞれ実装する(図2及び図4(b)を参照)。この部品実装工程PBには、大判多層基板CN9にはんだペーストを塗布する印刷工程と、複数の電子部品12を大判多層基板CN9に実装する実装工程と、はんだペーストを硬化するリフロー工程を有している。
部品実装工程PBの印刷工程は、メタルマスクを用いて、はんだペーストを大判多層基板CN9に印刷することによって、容易に達成できる。また、部品実装工程PBの実装工程は、マウンタ装置を用いることにより、複数の電子部品12を高速で実装することができる。また、部品実装工程PBのリフロー工程は、リフロー炉を用いることにより、はんだペーストを容易に硬化することができる。
次に、複数の電子部品12を被覆絶縁層14で被覆するパッケージ工程PCを行う(図4(c)を参照)。このパッケージ工程PCは、複数の電子部品12が搭載された大判多層基板CN9上に、封止樹脂を塗布して、その後封止樹脂を硬化することにより、被覆絶縁層14を形成する工程である。封止樹脂の塗布には、ポッティング法或いは真空印刷法等を用いている。なお、被覆絶縁層14の形成に、封止樹脂の塗布、硬化する方法を用いたが、これに限らず、例えばトランスファーモールド法を用いても良い。
次に、大判多層基板CN9に溝部49rを設ける溝加工工程PDを行う(図4(c)を参照)。この溝加工工程PDは、ダイシング装置を用い、多層基板19のそれぞれを仕切る位置(図2に示すDS)の被覆絶縁層14及び大判多層基板CN9をダイシングし、被覆絶縁層14及び大判多層基板CN9の一面19aに溝部49rを設ける工程である。この際には、大判多層基板CN9をハーフカットし、フィルドビアS9fの上方側(多層基板19の一面19a側)を溝部49rに露出させるようにする。
また、この大判多層基板CN9のハーフカットは、フィルドビアS9fの上方側を露出させるだけなので、従来例と比較して、大判多層基板CN9の厚みに対して、溝部49rの深さの割合を小さくすることができる。このことにより、大判多層基板CN9の厚みが薄い場合であっても、大判多層基板CN9の全体の強度が増し、製造工程での取り扱いが容易になる。また、溝部49rの底面がフィルドビアS9fの上面から下面までの範囲であれば、後の工程で形成するシールド層16とフィルドビアS9fとの導通がとれるため、ハーフカット加工を行う際の溝深さのバラツキも広い範囲で許容することができる。
次に、シールド層16を形成するシールド層形成工程PEを行う(図4(c)を参照)。このシールド層形成工程PEは、銀粉が分散された導電性樹脂を用い、溝部49r及び被覆絶縁層14を覆うようにして、導電性樹脂を塗布して、その後導電性樹脂を硬化することにより、シールド層16を形成する工程である。導電性樹脂の塗布には、ポッティング法或いは真空印刷法等を用いている。
最後に、切断工程PFで、シールド層16も合わせて溝部49rの部分を切断し、回路モジュールM101を個別にする。この際には、ダイシング装置を用い、多層基板19の一面19a側から、それぞれの回路モジュールM101の外周19t(図2を参照)に沿って切断するようにする。なお、この切断工程PFでの大判多層基板CN9の切断には、ダイシング装置の他に、レーザ装置、ウオ−ター装置或いはワイヤー装置等が用いられる。多層基板19の他面19z側から切断するようにしても良い。
以上の工程により、シールド層16と表面実装用電極S9mとが離れた位置に形成されている回路モジュールM101を容易に作製することができる。
以上のように構成された本発明の第1実施形態の回路モジュールM101及びその製造方法における、効果について、以下に纏めて説明する。
本発明の第1実施形態の回路モジュールM101は、シールド層16がフィルドビアS9fを介して内層に形成された接地パターンS9gと接続されているので、シールド層16を表面実装用電極S9mと離れた位置に形成することができる。このことにより、従来例の構成と比較して、シールド層16と表面実装用電極S9mとの距離を長くすることができ、マイグレーションの発生を低減することができる。
また、接地パターンS9g或いはフィルドビアS9fが多層基板19の側面に露出していないので、シールド層16と等電位の接地パターンS9g或いはフィルドビアS9fと表面実装用電極S9m或いはセット側基板MBのはんだ付けのためのランドRDとの間で、マイグレーションが発生することがない。このことにより、シールド層16と表面実装用電極S9mとの距離を確実に確保することで、マイグレーションの発生を確実に低減することができる。
また、フィルドビアS9fが複数設けられているので、フィルドビアS9fと接地パターンS9g及びシールド層16との電気的接続を確実にとることができる。このことにより、シールド層16を確実に接地することができ、実装された電子部品12や配線層S9のシールドを確実に行うことができる。しかも、フィルドビアS9fが多層基板19の外周端部に設けられているので、電子部品12を多層基板19の内側領域に効率良く配設することができる。
本発明の第1実施形態の回路モジュールM101の製造方法は、被覆絶縁層14及び大判多層基板CN9に溝部49rを設ける溝加工工程PDと、溝部49r及び被覆絶縁層14を覆うシールド層16を形成するシールド層形成工程PEと、溝部49rの部分を切断して回路モジュールM101を個別にする切断工程PFと、を有して構成されている。このことにより、シールド層16と表面実装用電極S9mとが離れた位置に形成されている回路モジュールM101を容易に作製することができる。しかも、従来例と比較して、大判多層基板CN9の厚みに対して溝の深さの割合を小さくできるので、大判多層基板CN9の厚みが薄い場合でも、大判多層基板CN9の全体の強度が増し、製造工程での取り扱いが容易になる。
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、例えば次のように変形して実施することができ、これらの実施形態も本発明の技術的範囲に属する。
<変形例1>
上記第1実施形態では、多層基板19に4層のプリント配線板を用いたが、4層に限るものではない。
<変形例2>
上記第1実施形態では、シールド層16に、銀粉が分散された導電性樹脂を用いたが、これに限るものではなく、導電性を有したものであれば良い。
本発明は上記実施の形態に限定されず、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更することが可能である。
12 電子部品
14 被覆絶縁層
16 シールド層
19 多層基板
19a 一面
19z 他面
49r 溝部
S9f フィルドビア
S9g 接地パターン
S9m 表面実装用電極
R9 絶縁層
S9 配線層
CN9 大判多層基板
PA 準備工程
PB 部品実装工程
PC パッケージ工程
PD 溝加工工程
PE シールド層形成工程
PF 切断工程
M101 回路モジュール

Claims (4)

  1. 複数の絶縁層及び配線層が積層された多層基板と、前記多層基板の一面に配置された複数の電子部品と、前記複数の電子部品を被覆する被覆絶縁層と、前記被覆絶縁層の外側に形成されたシールド層と、前記多層基板の他面に設けられた前記配線層の表面実装用電極と、を具備する回路モジュールであって、
    前記多層基板は、前記配線層の内の内層に形成された接地パターンと、前記接地パターンと接続され前記多層基板の前記一面に向けて形成されたフィルドビアと、を有しており、
    前記シールド層が、前記フィルドビアを介して前記接地パターンと接続されていることを特徴とする回路モジュール。
  2. 前記接地パターンと前記フィルドビアが前記多層基板の側面に露出していないことを特徴とする請求項1に記載の回路モジュール。
  3. 前記フィルドビアが前記多層基板の外周端部に複数設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の回路モジュール。
  4. 複数の絶縁層及び配線層が積層された多層基板と、前記多層基板の一面に配置された複数の電子部品と、前記複数の電子部品を被覆する被覆絶縁層と、前記被覆絶縁層の外側に形成されたシールド層と、前記多層基板の他面に設けられた前記配線層の表面実装用電極と、を具備する回路モジュールを複数個作製する回路モジュールの製造方法であって、
    前記回路モジュールの前記多層基板が、前記配線層の内の内層に形成された接地パターンと、前記接地パターンと接続され前記多層基板の前記一面に向けて形成されたフィルドビアと、を備えており、
    前記多層基板が複数形成された大判多層基板を準備する準備工程と、
    複数の前記回路モジュールに対応した前記複数の電子部品を前記大判多層基板に搭載する部品実装工程と、
    前記複数の電子部品を前記被覆絶縁層で被覆するパッケージ工程と、
    前記多層基板のそれぞれを仕切る位置に前記被覆絶縁層及び前記大判多層基板に溝部を設け、前記フィルドビアを前記溝部に露出させる溝加工工程と、
    前記溝部及び前記被覆絶縁層を覆う前記シールド層を形成するシールド層形成工程と、
    前記溝部の部分を切断し、前記回路モジュールを個別にする切断工程と、を有したことを特徴とする回路モジュールの製造方法。
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