JP2015136730A - heater chip polishing tool - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、被接合物を加圧しながら加熱するヒータチップを用いてリフロソルダリングや熱圧着等を行う接合技術に係り、特にヒータチップの先端を研磨する研磨工具に関するものである。 The present invention relates to a joining technique in which reflow soldering, thermocompression bonding, or the like is performed using a heater chip that heats an object to be joined while applying pressure, and particularly relates to a polishing tool that polishes the tip of a heater chip.
従来より、被接合物を局部的に加熱することによって厚膜、薄膜基板等へのリード線の熱圧着や、プリント基板へのICリード等のリフロソルダリングなどを行う接合装置があり、この接合装置で用いられる局部加熱法の1方式としてパルスヒート法がある。
パルスヒート法は、モリブデン等の高抵抗材料からなるヒータチップによって被接合物を加圧しながら、このヒータチップにパルス状の大電流を流して、そこで発生するジュール熱により被接合物を溶融させて接合を得るものである。接合装置は、例えばヒータチップの先端に取り付けられた熱電対によってヒータチップの温度を検出し、この温度が予め設定された温度になるようにヒータチップに供給する電流を制御していた。
Conventionally, there has been a joining device that locally heats the object to be joined to perform thermocompression bonding of lead wires to thick film and thin film substrates and reflow soldering of IC leads to printed circuit boards. One method of local heating used in the apparatus is a pulse heat method.
In the pulse heat method, a pressure is applied to a workpiece by a heater chip made of a high resistance material such as molybdenum, a large pulse current is passed through the heater chip, and the workpiece is melted by Joule heat generated there. A bond is obtained. For example, the joining device detects the temperature of the heater chip with a thermocouple attached to the tip of the heater chip, and controls the current supplied to the heater chip so that the temperature becomes a preset temperature.
このような接合装置では、接合の繰り返しによりヒータチップの先端にフラックスなどが付着する。フラックスなどが付着すると、熱伝導性が損なわれるため、ヒータチップの付着物を定期的に除去する必要がある。
従来、ヒータチップの先端を研磨する手段として、特許文献1に開示されたヒータチップ研磨機構が提案されている。特許文献1に開示されたヒータチップ研磨機構は、X−Yステージの一部に設けた研磨ステージにラッピングペーパを貼り付け、ヒーターチップを下降させてラッピングペーパに接触させた状態でX−Yテーブルを動作させることにより、ヒータチップの先端を研磨するようにしたものである。
In such a joining apparatus, flux or the like adheres to the tip of the heater chip by repeated joining. If flux or the like adheres, the thermal conductivity is impaired, so it is necessary to periodically remove the deposits on the heater chip.
Conventionally, a heater chip polishing mechanism disclosed in Patent Document 1 has been proposed as means for polishing the tip of a heater chip. In the heater chip polishing mechanism disclosed in Patent Document 1, the wrapping paper is attached to a polishing stage provided in a part of the XY stage, the heater chip is lowered, and the XY table is brought into contact with the wrapping paper. The tip of the heater chip is polished by operating the.
特許文献1に開示されたヒータチップ研磨機構は、ヒータチップの被接合物との接触面が平坦である場合に対応している。しかしながら、被接合物は平坦な形状とは限らない。例えば図6に示すように、基板100上の複数のパッド101に1本ずつワイヤ102をはんだ付けする場合、はんだとパッド101とワイヤ102とからなる被接合物が基板100上で凸部となるため、この被接合物を押さえてはんだ付けするために、ヒータチップ1の被接合物との接触面(下面)に凹部2を設ける必要がある。このように被接合物との接触面が平坦でないヒータチップ1の場合、特許文献1に開示されたヒータチップ研磨機構では対応することができず、凹部2に付着したフラックスなどを除去することはできない。
The heater chip polishing mechanism disclosed in Patent Document 1 corresponds to the case where the contact surface of the heater chip with the object to be joined is flat. However, the object to be joined is not necessarily flat. For example, as shown in FIG. 6, when the wires 102 are soldered to a plurality of pads 101 on the substrate 100 one by one, an object to be joined including the solder, the pads 101, and the wires 102 becomes a convex portion on the substrate 100. Therefore, in order to press and solder this object to be bonded, it is necessary to provide the
本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、先端が凹凸な形状のヒータチップを研磨することができるヒータチップ研磨工具を提供することを目的とする。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a heater chip polishing tool capable of polishing a heater chip having an uneven tip.
本発明は、先端面に被接合物を押さえる凹凸が設けられたヒータチップを研磨するヒータチップ研磨工具であって、ヒータチップの先端面と対向する受け面が前記先端面と嵌合する形状である治具と、前記ヒータチップの先端面と前記治具の受け面との間に配置される研磨シートとから構成されることを特徴とするものである。
また、本発明のヒータチップ研磨工具の1構成例は、さらに、前記研磨シートを前記治具に固定する固定機構を備えることを特徴とするものである。
The present invention is a heater chip polishing tool for polishing a heater chip provided with unevenness to hold an object to be joined on a tip surface, wherein a receiving surface facing the tip surface of the heater chip is fitted to the tip surface. It is comprised from a certain jig | tool and the polishing sheet arrange | positioned between the front end surface of the said heater chip | tip, and the receiving surface of the said jig | tool.
Moreover, one structural example of the heater chip polishing tool of the present invention further includes a fixing mechanism for fixing the polishing sheet to the jig.
また、本発明のヒータチップ研磨工具の1構成例は、さらに、前記ヒータチップを上下方向に移動させることが可能な上下機構と、前記研磨シートを間に挟んで前記ヒータチップの先端面と前記治具の受け面とが嵌合している状態で、前記治具を前記ヒータチップの移動方向と垂直な方向に動かすことが可能なステージとを備えることを特徴とするものである。
また、本発明のヒータチップ研磨工具の1構成例は、さらに、被接合物を前記ヒータチップで加熱して接合するときの前記ヒータチップの高さ方向の変位量を検出する変位検出部と、この変位検出部で検出される変位量が所定のしきい値以下となったときに、前記上下機構と前記ステージとを制御して、前記研磨シートを間に挟んだ状態で前記ヒータチップの先端面と前記治具の受け面とを嵌合させ、前記治具を動かすことで前記ヒータチップの先端面の研磨を開始させる制御部とを備えることを特徴とするものである。
In addition, one configuration example of the heater chip polishing tool of the present invention further includes a vertical mechanism capable of moving the heater chip in the vertical direction, a tip surface of the heater chip, and the tip surface of the heater chip with the polishing sheet interposed therebetween. And a stage capable of moving the jig in a direction perpendicular to the moving direction of the heater chip in a state where the receiving surface of the jig is fitted.
In addition, one configuration example of the heater chip polishing tool of the present invention further includes a displacement detection unit that detects a displacement amount in the height direction of the heater chip when the objects to be bonded are bonded by heating with the heater chip, When the amount of displacement detected by the displacement detector is below a predetermined threshold value, the top and bottom mechanisms and the stage are controlled so that the tip of the heater chip is sandwiched between the polishing sheets. And a controller that starts polishing of the tip surface of the heater chip by fitting the surface and the receiving surface of the jig and moving the jig.
また、本発明のヒータチップ研磨工具の1構成例は、さらに、前記ヒータチップを上下方向に移動させることが可能な上下機構と、前記治具を前記ヒータチップの移動方向と垂直な方向に動かすことが可能なステージと、前記研磨シートを間に挟んで前記ヒータチップの先端面と前記治具の受け面とが嵌合している状態で、前記研磨シートを前記ヒータチップの移動方向と垂直な方向に動かすことが可能な搬送機構とを備えることを特徴とするものである。
また、本発明のヒータチップ研磨工具の1構成例は、さらに、被接合物を前記ヒータチップで加熱して接合するときの前記ヒータチップの高さ方向の変位量を検出する変位検出部と、この変位検出部で検出される変位量が所定のしきい値以下となったときに、前記上下機構と前記ステージとを制御して、前記研磨シートを間に挟んだ状態で前記ヒータチップの先端面と前記治具の受け面とを嵌合させ、前記研磨シートを動かすことで前記ヒータチップの先端面の研磨を開始させる制御部とを備えることを特徴とするものである。
In addition, according to one configuration example of the heater chip polishing tool of the present invention, a vertical mechanism capable of moving the heater chip in the vertical direction, and the jig is moved in a direction perpendicular to the moving direction of the heater chip. The polishing sheet is perpendicular to the moving direction of the heater chip in a state in which the stage, the tip surface of the heater chip, and the receiving surface of the jig are fitted with the polishing sheet interposed therebetween. And a transport mechanism that can be moved in any direction.
In addition, one configuration example of the heater chip polishing tool of the present invention further includes a displacement detection unit that detects a displacement amount in the height direction of the heater chip when the objects to be bonded are bonded by heating with the heater chip, When the amount of displacement detected by the displacement detector is below a predetermined threshold value, the top and bottom mechanisms and the stage are controlled so that the tip of the heater chip is sandwiched between the polishing sheets. And a controller that starts the polishing of the front end surface of the heater chip by fitting the surface and the receiving surface of the jig and moving the polishing sheet.
本発明によれば、ヒータチップの先端面と治具の受け面との間に研磨シートを配置した状態で治具をヒータチップに押し付け、治具を動かすことにより、ヒータチップの先端面の付着物を除去することができる。 According to the present invention, the tip of the heater chip is attached by pressing the jig against the heater chip in a state where the polishing sheet is disposed between the tip surface of the heater chip and the receiving surface of the jig and moving the jig. The kimono can be removed.
また、本発明では、研磨シートを治具に固定する固定機構を設けることにより、より確実な研磨を行うことができる。 In the present invention, more reliable polishing can be performed by providing a fixing mechanism for fixing the polishing sheet to the jig.
また、本発明では、治具をヒータチップの移動方向と垂直な方向に動かすことが可能なステージを設けることにより、ステージを動かしてヒータチップの先端面を研磨することができる。 Further, in the present invention, by providing a stage that can move the jig in a direction perpendicular to the moving direction of the heater chip, the tip surface of the heater chip can be polished by moving the stage.
また、本発明では、研磨シートをヒータチップの移動方向と垂直な方向に動かすことが可能な搬送機構を設けることにより、搬送機構を動かしてヒータチップの先端面を研磨することができる。 Further, in the present invention, by providing a transport mechanism that can move the polishing sheet in a direction perpendicular to the moving direction of the heater chip, the front surface of the heater chip can be polished by moving the transport mechanism.
また、本発明では、変位検出部と制御部とを設けることにより、作業員の指示によらずに、ヒータチップの先端面の研磨を自動的に開始することができる。 Further, in the present invention, by providing the displacement detection unit and the control unit, it is possible to automatically start the polishing of the tip surface of the heater chip without depending on the instruction of the worker.
[第1の実施の形態]
以下、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。図1は本発明の第1の実施の形態に係るヒータチップ研磨工具の斜視図である。
本実施の形態のヒータチップ研磨工具は、ヒータチップ1の先端面(被接合物との接触面であり、下面)と対向する受け面(上面)が前記先端面と嵌合する形状である治具10と、ヒータチップ1と治具10との間に配置される研磨シート11とから構成される。
[First Embodiment]
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view of a heater chip polishing tool according to a first embodiment of the present invention.
In the heater chip polishing tool of the present embodiment, the receiving surface (upper surface) opposite to the front end surface (the contact surface with the object to be joined and the lower surface) of the heater chip 1 is shaped to fit the front end surface. It comprises a
ヒータチップ1の先端面には、図6で説明したとおり、被接合物を押さえるための複数の凹部2が形成されている。
治具10の受け面には、このヒータチップ1の先端面の凹部2に対応して、凹部2と同数の凸部12が設けられている。こうして、治具10は、ヒータチップ1と嵌合するようになっている。ヒータチップ1と治具10との嵌め合いには、凹部2の配列方向(図1X方向)と直交する方向(図1Y方向)に沿って治具10を動かすことができるように、若干のゆとりが設けられている。
As described with reference to FIG. 6, a plurality of
The receiving surface of the
ヒータチップ1を作製する際に、モリブデン製の板からワイヤカッタでヒータチップ1を切り出すと、板の残りが出るが、この残りの部分を治具10として利用すればよい。こうして、ヒータチップ1の先端面と凹凸が逆の受け面を備えた治具10を容易に作製することができる。ヒータチップ1は被接合物の種類によって先端面の凹凸の寸法が異なるが、以上のような作製方法によれば、ヒータチップ1と嵌合する治具10を容易に作製可能である。
研磨シート11としては、例えば表面に研磨粒子が塗布された市販のラッピングフィルムを用いることができる。
When the heater chip 1 is manufactured, if the heater chip 1 is cut out from a molybdenum plate with a wire cutter, the remainder of the plate comes out. This remaining portion may be used as the
As the abrasive sheet 11, for example, a commercially available wrapping film having abrasive particles coated on the surface can be used.
ヒータチップ1の先端面を研磨するには、図2に示すようにヒータチップ1と治具10との間に研磨シート11を配置した状態で治具10をヒータチップ1に押し付け、凹部2の配列方向と直交する方向(図1Y方向)に沿って治具10を動かす。こうして、ヒータチップ1の凹部2に付着したフラックスなどを除去することができる。
In order to polish the tip surface of the heater chip 1, the
なお、本実施の形態では、ヒータチップ1を切り出す板から治具10を作製しているため、治具10の厚さ(図1のt)がヒータチップ1の厚さ(例えば2mm程度)と同じになっているが、これに限るものではなく、治具10をヒータチップ1よりも厚くしてもよい。また、本実施の形態では、治具10をヒータチップ1と同じ金属製としているが、これに限るものではなく、樹脂製の治具10を用いてもよい。
In the present embodiment, since the
また、本実施の形態では、ヒータチップ1と治具10との間に研磨シート11を挟むだけにしているが、より確実な研磨を行うため、図3に示すように、研磨シート11を固定する固定機構13を治具10に設けるようにしてもよい。これにより、治具10の動きに合わせて研磨シート11を確実に動かすことができ、より効果的な研磨を行うことができる。固定機構13としては、例えば研磨シート11の端を挟んで固定する機構、あるいは粘着テープなどが考えられる。
Further, in the present embodiment, the polishing sheet 11 is merely sandwiched between the heater chip 1 and the
[第2の実施の形態]
次に、本発明の第2の実施の形態について説明する。第1の実施の形態では、作業員が治具10を動かしていたが、治具10をステージ上に設置してステージを動かすようにしてもよい。図4は本発明の第2の実施の形態に係るヒータチップ研磨工具の構成を示すブロック図であり、図1、図2と同様の構成には同一の符号を付してある。
[Second Embodiment]
Next, a second embodiment of the present invention will be described. In the first embodiment, the worker moves the
本実施の形態の治具10は、ヒータチップ1の凹部2の配列方向(X方向)および配列方向と直交する方向(図4の紙面と垂直な方向、図1Y方向)に移動可能なXYステージ14の上に設けられている。XYステージ13は、駆動源としてモータを備えている。
The
ヒータチップ1の先端面を研磨する場合、接合装置の制御部15は、作業員の指示に応じてXYステージ14を移動させて治具10をヒータチップ1の真下の位置に移動させる。ヒータチップ1と治具10との位置決めは、XYステージ14の移動による既存の位置決め技術で実現可能である。そして、制御部15は、上下機構16によりヒータチップ1を下降させる。これにより、研磨シート11を間に挟んだ状態でヒータチップ1の先端面と治具10の受け面とが嵌合し、図2に示したような状態となる。制御部15は、このような状態でY方向に沿ってXYステージ14を動かす。こうして、本実施の形態では、XYステージ14を動かすモータの動力を用いてヒータチップ1の先端面を研磨することができる。
When the front end surface of the heater chip 1 is polished, the
XYステージ14の動きは作業員の指示に応じて止めてもよいし、研磨を一定時間行った時点で制御部15が自動的に停止させるようにしてもよい。
なお、本実施の形態では、治具10をXYステージ14で動かすため、治具10の厚さ(図1のt)をヒータチップ1よりも厚くすることが望ましい。また、第1の実施の形態で説明したとおり、研磨シート11を固定する固定機構を治具10に設けることが望ましい。
The movement of the XY stage 14 may be stopped according to an instruction from the worker, or the
In the present embodiment, since the
また、本実施の形態では、ヒータチップ1の先端面を研磨する際に、作業員の指示に応じてXYステージ14を移動させるようにしているが、これに限るものではなく、ヒータチップ1の先端面を研磨するメンテナンスのタイミングを自動的に検出して、自動的に研磨を開始するようにしてもよい。
ヒータチップ1の上下機構16には図示しない変位センサが設けられており、被接合物を接合中のヒータチップ1の高さ方向(図4Z方向)の変位量を電気信号に変換できるようになっている。変位検出部17は、この変位センサの出力に基づいて、ヒータチップ1の高さ方向の変位量を検出する。
In the present embodiment, when the front end surface of the heater chip 1 is polished, the XY stage 14 is moved in accordance with an instruction from the worker. However, the present invention is not limited to this. It is also possible to automatically detect the maintenance timing for polishing the tip surface and automatically start polishing.
A displacement sensor (not shown) is provided in the vertical mechanism 16 of the heater chip 1 so that the displacement amount in the height direction (Z direction in FIG. 4) of the heater chip 1 that is joining the workpieces can be converted into an electrical signal. ing. The
接合装置の制御部15は、図6に示したような被接合物をはんだ付けする場合、被接合物を載せたXYステージ14を移動させて被接合物をヒータチップ1の真下の位置に移動させる。そして、制御部15は、上下機構16によりヒータチップ1を下降させて、ヒータチップ1によって被接合物を加圧しながら、電源18からヒータチップ1に電流を流して、はんだを溶融させる。
When soldering an object to be bonded as shown in FIG. 6, the
制御部15は、所定の終了条件が成立したときに、ヒータチップ1への通電を終了して、接合を終了させる。例えば、制御部15は、ヒータチップ1に取り付けられた熱電対(不図示)によってヒータチップ1の温度を検出し、この温度が予め設定された温度になるようにヒータチップ1に供給する電流を制御する。このような通電制御を一定時間行って接合を終了する。
When a predetermined end condition is satisfied, the
このとき、はんだの溶融により被接合物の高さが変化するので、被接合物を押さえているヒータチップ1の高さ方向の位置も変化する。変位検出部17は、このような接合中のヒータチップ1の高さ方向の変位量を検出するものである。ヒータチップ1の凹部2にフラックスなどが付着すると、この付着物の厚みによってヒータチップ1が被接合物から浮いた状態となり、変位検出部17で検出される変位量が小さくなる。
At this time, since the height of the object to be joined changes due to the melting of the solder, the position in the height direction of the heater chip 1 holding the object to be joined also changes. The
そこで、制御部15は、接合開始時から接合終了時までの変位量が所定のしきい値以下となったときに、メンテナンスを実施すべき時期と判断し、上記のようにXYステージ14を移動させて治具10をヒータチップ1の真下の位置に移動させ、ヒータチップ1の先端面の研磨を行う。こうして、作業員の指示によらずに、自動的に研磨を開始することができる。
Therefore, the
[第3の実施の形態]
次に、本発明の第3の実施の形態について説明する。第1、第2の実施の形態では、治具10またはXYステージ14を動かしてヒータチップ1の先端面を研磨していたが、研磨シート11を動かすようにしてもよい。図5は本発明の第3の実施の形態に係るヒータチップ研磨工具の構成を示すブロック図であり、図1〜図4と同様の構成には同一の符号を付してある。
[Third Embodiment]
Next, a third embodiment of the present invention will be described. In the first and second embodiments, the
本実施の形態では、研磨シート11をヒータチップ1の凹部2の配列方向と直交する方向(Y方向)に沿って動かす搬送機構19が設けられている。搬送機構19は、駆動源としてモータを備えている。
治具10と搬送機構19とは、第2の実施の形態で説明したXYステージに取り付けられている。ヒータチップ1の先端面を研磨する場合、接合装置の制御部15は、作業員の指示に応じてXYステージ14を移動させて治具10をヒータチップ1の真下の位置に移動させる。そして、制御部15は、上下機構16によりヒータチップ1を下降させる。このとき、制御部15は、ヒータチップ1と治具10との間を研磨シート11が滑り動くことができる程度のゆとりが生じるように、ヒータチップ1の加圧力を調節する。制御部15は、このような状態で搬送機構19によりY方向に沿って研磨シート11を動かす。
In the present embodiment, a transport mechanism 19 that moves the polishing sheet 11 along a direction (Y direction) orthogonal to the arrangement direction of the
The
こうして、本実施の形態では、搬送機構19を動かすモータの動力を用いてヒータチップ1の先端面を研磨することができる。研磨シート11の動きは作業員の指示に応じて止めてもよいし、研磨を一定時間行った時点で制御部15が自動的に停止させるようにしてもよい。
なお、本実施の形態の場合、治具10の厚さ(図1のt)はヒータチップ1の厚さと同じでもよいし、ヒータチップ1より厚くてもよい。また、第2の実施の形態で説明したとおり、変位検出部17で検出される変位量に応じて自動的に研磨を開始するようにしてもよい。
Thus, in the present embodiment, the tip surface of the heater chip 1 can be polished using the power of the motor that moves the transport mechanism 19. The movement of the polishing sheet 11 may be stopped according to an instruction from the worker, or the
In the case of this embodiment, the thickness of the jig 10 (t in FIG. 1) may be the same as the thickness of the heater chip 1 or may be thicker than the heater chip 1. Further, as described in the second embodiment, polishing may be automatically started according to the amount of displacement detected by the
第2、第3の実施の形態で説明した制御部15は、CPU(Central Processing Unit)、記憶装置及びインタフェースを備えたコンピュータと、これらのハードウェア資源を制御するプログラムによって実現することができる。CPUは、記憶装置に格納されたプログラムに従って第2、第3の実施の形態で説明した処理を実行する。
The
本発明は、被接合物を加圧しながら加熱するヒータチップの先端を研磨する技術に適用することができる。 The present invention can be applied to a technique for polishing the tip of a heater chip that heats an object to be bonded while applying pressure.
1…ヒータチップ、2…凹部、10…治具、11…研磨シート、12…凸部、13…固定機構、14…XYステージ、15…制御部、16…上下機構、17…変位検出部、18…電源、19…搬送機構。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Heater chip, 2 ... Concave part, 10 ... Jig, 11 ... Polishing sheet, 12 ... Convex part, 13 ... Fixing mechanism, 14 ... XY stage, 15 ... Control part, 16 ... Vertical mechanism, 17 ... Displacement detection part, 18 ... Power source, 19 ... Transport mechanism.
Claims (6)
ヒータチップの先端面と対向する受け面が前記先端面と嵌合する形状である治具と、
前記ヒータチップの先端面と前記治具の受け面との間に配置される研磨シートとから構成されることを特徴とするヒータチップ研磨工具。 A heater chip polishing tool for polishing a heater chip provided with unevenness to hold the object to be joined on the tip surface,
A jig whose receiving surface facing the tip surface of the heater chip fits the tip surface;
A heater chip polishing tool comprising a polishing sheet disposed between a tip surface of the heater chip and a receiving surface of the jig.
さらに、前記研磨シートを前記治具に固定する固定機構を備えることを特徴とするヒータチップ研磨工具。 The heater chip polishing tool according to claim 1,
The heater chip polishing tool further comprising a fixing mechanism for fixing the polishing sheet to the jig.
さらに、前記ヒータチップを上下方向に移動させることが可能な上下機構と、
前記研磨シートを間に挟んで前記ヒータチップの先端面と前記治具の受け面とが嵌合している状態で、前記治具を前記ヒータチップの移動方向と垂直な方向に動かすことが可能なステージとを備えることを特徴とするヒータチップ研磨工具。 In the heater chip polishing tool according to claim 1 or 2,
Furthermore, a vertical mechanism capable of moving the heater chip in the vertical direction;
The jig can be moved in a direction perpendicular to the moving direction of the heater chip in a state where the tip surface of the heater chip and the receiving surface of the jig are fitted with the polishing sheet interposed therebetween. A heater chip polishing tool, comprising a stage.
さらに、被接合物を前記ヒータチップで加熱して接合するときの前記ヒータチップの高さ方向の変位量を検出する変位検出部と、
この変位検出部で検出される変位量が所定のしきい値以下となったときに、前記上下機構と前記ステージとを制御して、前記研磨シートを間に挟んだ状態で前記ヒータチップの先端面と前記治具の受け面とを嵌合させ、前記治具を動かすことで前記ヒータチップの先端面の研磨を開始させる制御部とを備えることを特徴とするヒータチップ研磨工具。 In the heater chip polishing tool according to claim 3,
Furthermore, a displacement detector that detects the amount of displacement in the height direction of the heater chip when the object to be bonded is heated and bonded by the heater chip;
When the amount of displacement detected by the displacement detector is below a predetermined threshold value, the top and bottom mechanisms and the stage are controlled so that the tip of the heater chip is sandwiched between the polishing sheets. A heater chip polishing tool, comprising: a controller that engages a surface with a receiving surface of the jig and starts polishing of the tip surface of the heater chip by moving the jig.
さらに、前記ヒータチップを上下方向に移動させることが可能な上下機構と、
前記治具を前記ヒータチップの移動方向と垂直な方向に動かすことが可能なステージと、
前記研磨シートを間に挟んで前記ヒータチップの先端面と前記治具の受け面とが嵌合している状態で、前記研磨シートを前記ヒータチップの移動方向と垂直な方向に動かすことが可能な搬送機構とを備えることを特徴とするヒータチップ研磨工具。 The heater chip polishing tool according to claim 1,
Furthermore, a vertical mechanism capable of moving the heater chip in the vertical direction;
A stage capable of moving the jig in a direction perpendicular to the moving direction of the heater chip;
The polishing sheet can be moved in a direction perpendicular to the moving direction of the heater chip in a state where the front end surface of the heater chip and the receiving surface of the jig are fitted with the polishing sheet interposed therebetween. A heater chip polishing tool comprising:
さらに、被接合物を前記ヒータチップで加熱して接合するときの前記ヒータチップの高さ方向の変位量を検出する変位検出部と、
この変位検出部で検出される変位量が所定のしきい値以下となったときに、前記上下機構と前記ステージとを制御して、前記研磨シートを間に挟んだ状態で前記ヒータチップの先端面と前記治具の受け面とを嵌合させ、前記研磨シートを動かすことで前記ヒータチップの先端面の研磨を開始させる制御部とを備えることを特徴とするヒータチップ研磨工具。 The heater chip polishing tool according to claim 5,
Furthermore, a displacement detector that detects the amount of displacement in the height direction of the heater chip when the object to be bonded is heated and bonded by the heater chip;
When the amount of displacement detected by the displacement detector is below a predetermined threshold value, the top and bottom mechanisms and the stage are controlled so that the tip of the heater chip is sandwiched between the polishing sheets. A heater chip polishing tool, comprising: a controller that engages a surface with a receiving surface of the jig and starts polishing of a tip surface of the heater chip by moving the polishing sheet.
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JPH0563040U (en) * | 1992-01-31 | 1993-08-20 | 日本電気株式会社 | Heater chip polishing mechanism |
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2014
- 2014-01-24 JP JP2014010969A patent/JP6277003B2/en active Active
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