JP2015111031A - Clean space maintenance device - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a clean space maintenance device which does not permit dust to enter a cleaning space and can recover dust attached to a workpiece without scattering the dust in a room.SOLUTION: A clean space maintenance device is placed on a desk, and includes a blow-out unit blowing out clean air and an intake unit recovering air having been blown out from the blow-out unit. The clean space maintenance device blows out air between both of the units in almost parallel to a top plate of the desk to maintain clean air between both of the units.

Description

本発明は、清浄空間を作り維持する清浄空間維持装置、さらに清浄空間内での作業中ワークに付着した異物を除去した際の異物の飛散を防止する空間を作る清浄空間維持装置に関する。 The present invention relates to a clean space maintaining apparatus that creates and maintains a clean space, and further relates to a clean space maintaining apparatus that creates a space that prevents scattering of foreign objects when foreign objects attached to a workpiece during work in the clean space are removed.

従来はクリーンベンチやクリーンブースと呼ばれる清浄環境維持装置で清浄環境を維持していた。また従来は、除塵BOXなどと呼ばれる除塵専用装置内でワークに付着した異物をエアブローして除去していた。 Conventionally, a clean environment has been maintained with a clean environment maintenance device called a clean bench or a clean booth. Conventionally, foreign matter adhering to the work is removed by air blowing in a dust removal apparatus called a dust removal BOX or the like.

このため、従来例ではクリーンベンチなどの清浄環境維持装置と除塵BOXなどの異物エアブロー装置の兼用はできなく両方の設備が必要であった。 For this reason, in the conventional example, a clean environment maintaining device such as a clean bench and a foreign matter air blowing device such as a dust removal BOX cannot be used together, and both facilities are required.

また、これらの装置は箱型の独立した装置であり、作業机などと一体になっていないため、該装置を置く別の机を用意したり、別の置きスペースを用意しなければならなかった。 In addition, since these devices are box-type independent devices and are not integrated with a work desk or the like, it is necessary to prepare another desk on which the device is placed or to prepare another storage space. .

また、従来例の清浄空間維持装置は空間の側壁が作業者に対し直角に配置され、かつ奥行が深いため、ワークの出し入れ時に側壁に当たり、ワークを痛めるなど不便であった。作業しやすいように、側壁を一部切欠いて形成した箱型の清浄空間維持装置の従来例を図13を参照して説明する。図13において、箱型の清浄空間維持装置(以下、単に装置という場合もある)10は上部、下部、背後に互いに連通するスペース12、14、16を有するように構成されており、背後スペース16に配置されたファン(送風機)18によって、上部スペース12から上部フィルタ24を通して箱内の作業空間に矢印で示すようにエアを吹出して、作業空間から下部フィルタ26を通して下部スペース14にエアを吸引し、背後スペース16を通して、再び上部スペース12にエアを循環させている。このため、上部、下部、背後スペースのエアは清浄に保たれ、作業空間の一部でもエアは清浄に保たれる。 Further, the clean space maintenance device of the conventional example is inconvenient because the side wall of the space is arranged at right angles to the worker and the depth is deep, and it hits the side wall when the work is put in and out and the work is damaged. A conventional example of a box-type clean space maintaining apparatus formed by partially cutting a side wall so as to facilitate work will be described with reference to FIG. In FIG. 13, a box-shaped clean space maintaining device (hereinafter also simply referred to as “device”) 10 is configured to have spaces 12, 14, 16 communicating with each other at the upper part, the lower part, and the rear side. The fan (blower) 18 disposed in the air blows air from the upper space 12 through the upper filter 24 to the work space in the box as indicated by an arrow, and sucks air from the work space through the lower filter 26 to the lower space 14. The air is circulated through the back space 16 to the upper space 12 again. For this reason, the air in the upper, lower, and back spaces is kept clean, and the air is kept clean even in a part of the work space.

この従来例の装置10では、図13に示すように、側壁20、22は作業者側に当たる前方が切欠かれている。このため、上部スペースから吹出されたエアは前方および側壁の切欠き部分を通して、外方に吹出すことになる。この結果、箱型の装置内の作業者側の空間では陽圧が維持できず、特に、下方では、エアの吸引があるので、塵(異物)50が作業者側の箱内に入り込み、作業しているワーク(図示せず)に塵が付着する恐れがある。   In the conventional apparatus 10, as shown in FIG. 13, the side walls 20 and 22 are notched in front of the worker side. For this reason, the air blown out from the upper space is blown outward through the front and side wall cutout portions. As a result, the positive pressure cannot be maintained in the space on the worker side in the box-type device, and in particular, since air is sucked in the lower part, dust (foreign matter) 50 enters the worker-side box and works. There is a risk of dust adhering to the workpiece (not shown).

このように、この従来例の清浄空間維持装置は濾過した清浄空気が一部空間外に溢れ出し、また外部の不浄な空気を一部空間内に引き込む現象が発生して、完全な清浄空間を維持するのか難しかった。 As described above, the clean space maintenance device of this conventional example causes a phenomenon that the filtered clean air overflows partly out of the space, and the outside unclean air is partly drawn into the space, and the complete clean space is formed. It was difficult to maintain.

さらに、他の従来例の装置10を図14を参照して説明する。この図14の従来例の箱型の装置10は、図13の従来例とは、側壁20、22に切欠きが設けられていない点で異なる。しかし、この従来例の装置10においても、エア(空気)が作業者に当たる前方側に吹出し、この結果、箱型の装置内の作業者側の空間では陽圧が維持できず、特に、下方では、エアの吸引があるので、塵50が作業者側の箱内に入り込み、作業しているワーク(図示せず)に塵が付着する恐れがある。   Further, another conventional apparatus 10 will be described with reference to FIG. The conventional box-type device 10 of FIG. 14 differs from the conventional example of FIG. 13 in that notches are not provided in the side walls 20 and 22. However, even in this conventional apparatus 10, air (air) is blown out to the front side where it hits the worker, and as a result, the positive pressure cannot be maintained in the space on the worker side in the box-type apparatus, particularly in the lower part. Since the air is sucked, the dust 50 may enter the box on the operator side and the dust may adhere to the work (not shown) being worked.

また、従来例の除塵BOXでは作業者(図示せず)が発するホコリを清浄空間内に吸入し清浄空間を汚していた。この従来例の除塵BOXを図15を参照して説明する。図15において、除塵BOX30は、箱型の装置として形成されており、上部壁に塵をワーク40から取り除くために、作業者が手に持ったワーク40にエアを噴出させるようにエアブロワ32が配置されており、箱の下部には除去した塵をファン34によってフィルタ36を通して背後に排出していた。しかし、作業者(図示せず)の衣服等に付着している塵50がファン34によって吸引され、そのため、塵が室内に吸引され、室内の清浄空間を汚していた。また、作業者がいる前面から汚れた空気を装置内部に吸引するため、折角きれいに除塵したワーク40に新たに異物を付着させてしまっていた。 Further, in the dust removal BOX of the conventional example, dust generated by an operator (not shown) is sucked into the clean space to contaminate the clean space. This conventional dust removal BOX will be described with reference to FIG. In FIG. 15, the dust removal BOX 30 is formed as a box-type device, and an air blower 32 is arranged so that air is ejected to the workpiece 40 held by the operator in order to remove dust from the workpiece 40 on the upper wall. In the lower part of the box, the removed dust was discharged to the back through the filter 36 by the fan 34. However, the dust 50 adhering to the clothes or the like of the operator (not shown) is sucked by the fan 34, so that the dust is sucked into the room and dirty the clean space in the room. In addition, since foreign air is sucked into the apparatus from the front surface where the worker is present, foreign matter is newly attached to the work 40 that has been cleanly dust-removed.

したがって、本発明の目的は、机上に清浄空気を吹き出す吹出しユニットとこれから吹き出した空気を回収する空気吸入ユニットとを配置して、両ユニット間に机上面に平行な風を吹かせ清浄空間を維持する清浄空間維持装置を提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to arrange a blow-out unit that blows clean air on the desk and an air suction unit that collects air blown from the desk, and blows air parallel to the desk surface between both units to maintain a clean space. An object of the present invention is to provide a clean space maintaining device.

また、本発明の他の目的は、前述の清浄空間維持装置の構成において、前記両ユニット間に作った清浄空間内に配置したエアブローでワークに付着した塵(異物)を除去し、除去した異物を吸入ユニットで回収し、ワークに付着した異物を除去する除塵機能を同時に兼ね備えた清浄空間維持装置を提供することにある。   Another object of the present invention is to remove dust (foreign matter) adhering to a workpiece by an air blow arranged in the clean space formed between the two units in the structure of the clean space maintenance device described above, and remove the removed foreign matter. An object of the present invention is to provide a clean space maintaining device that simultaneously has a dust removal function for collecting foreign matter with a suction unit and removing foreign matter adhering to a workpiece.

本発明の清浄空間維持装置は、机上に清浄空気を吹き出す吹出しユニットとこれから吹き出した空気を回収する空気吸入ユニットとを配置して、両ユニット間に机上面に平行な風を吹かせ清浄空間を維持することを特徴とする。   The clean space maintenance device of the present invention has a blow-out unit that blows clean air on a desk and an air suction unit that collects air blown from the air, and blows a parallel space on the desk surface between both units to create a clean space. It is characterized by maintaining.

また、本発明の清浄空間維持装置は、前述の清浄空間維持装置の構成において、前記両ユニット間に作った清浄空間内に配置したエアブローでワークに付着した塵(異物)を除去し、除去した異物を吸入ユニットで回収し、ワークに付着した異物を除去する除塵機能を同時に兼ね備えたことを特徴とする。   Further, the clean space maintenance device of the present invention removes and removes dust (foreign matter) adhering to the workpiece with an air blow arranged in the clean space formed between the two units in the configuration of the clean space maintenance device described above. It is characterized by having a dust removal function for collecting foreign matter with a suction unit and removing foreign matter adhering to the workpiece.

前述の清浄空間維持装置は、以下の構成であることが好ましい。
(1)吹出しユニットと吸入ユニットが別体になっている。
(2)空気を送出/回収する空気源ユニットが吹出しユニットおよび吸入ユニットと別体になっている。
(3)吹出しユニットと吸入ユニットは空気濾過装置(フィルタ)を有する。
(4)吹出しユニットと吸入ユニットのフィルタは前面(作業者側)から着脱、交換ができる。
(5)前記両ユニット間に作った清浄空間内でワークをエアブローして付着した異物を除去し、除去した異物を吸入ユニットで回収することで、清浄空間を作ると同時に、ワークに付着した異物を除去する。
(6)両ユニット間を結ぶ背後の壁面が清浄空間内部に向かって凸に配置されている。
(7)天井のシートは庇として前面に(作業者側に)張り出している。
(8)天井はシートまたは板で透明または半透明であり外部の照明光を内部に導入できる。
(9)机上には粘着シートを配置し、背後の壁面には粘着シートを配置し、天井の面に粘着シートを配置する。
(10)吹出しユニットの吹出し面と吸入ユニットの吸入面の間の角度θが可変である。
(11)複数の独立した清浄空間維持装置を並置した場合、隣接する清浄空間を接続するための接続用清浄空間を設ける。
The above-described clean space maintenance device preferably has the following configuration.
(1) The blowout unit and the suction unit are separate.
(2) The air source unit for sending / recovering air is separate from the blowing unit and the suction unit.
(3) The blow-out unit and the suction unit have an air filtering device (filter).
(4) The filters of the blowout unit and the suction unit can be attached / detached and replaced from the front (operator side).
(5) The workpiece is air blown in the clean space created between the two units to remove the adhered foreign matter, and the removed foreign matter is collected by the suction unit to create a clean space and at the same time foreign matter attached to the workpiece. Remove.
(6) A rear wall surface connecting the two units is disposed so as to protrude toward the inside of the clean space.
(7) The ceiling sheet projects as a ridge on the front (to the worker side).
(8) The ceiling is a sheet or plate that is transparent or translucent, and external illumination light can be introduced inside.
(9) An adhesive sheet is arranged on the desk, an adhesive sheet is arranged on the back wall, and an adhesive sheet is arranged on the ceiling surface.
(10) The angle θ between the blowing surface of the blowing unit and the suction surface of the suction unit is variable.
(11) When a plurality of independent clean space maintaining devices are juxtaposed, a connection clean space for connecting adjacent clean spaces is provided.

本発明によれば、机上を容易に清浄空間にでき、この清浄空間中でワークについた異物をエアブローでき、飛ばした異物は回収して外部環境を汚さないようにすることに寄与できる。 According to the present invention, the desk can be easily made into a clean space, foreign matters attached to the work can be blown in the clean space, and the blown foreign matters can be collected so as not to pollute the external environment.

作業机に本発明の清浄空間維持装置を配置して机上の作業域を制限することなく清浄空間を作る。またワークに異物を発見した場合には、その清浄空間でエアブローして異物を除去し、除去した異物は即本装置が回収して、環境を汚さないようにする。また除塵専用装置として用いる場合は、作業に邪魔にならない作業域の隅(作業机のコーナー)に本装置を置き、除塵する時だけ手を伸ばし本装置内でエアブローし除去した異物は即座に装置で回収して、環境を汚さないようにする。 The clean space maintenance device of the present invention is arranged on the work desk to create a clean space without limiting the work area on the desk. If foreign matter is found in the workpiece, the foreign matter is removed by air blowing in the clean space, and the removed foreign matter is immediately collected by the apparatus so as not to pollute the environment. When used as a dedicated dust removal device, place this device in the corner of the work area that does not interfere with work (the corner of the work desk), reach out only when dust is removed, blow out air in the device, and remove foreign matter immediately. Collect it with a so as not to pollute the environment.

実施例1を図1を参照して説明する。図1は本発明の清浄空間維持装置(以下、単に、装置という場合がある)を清浄環境維持装置(クリーンベンチなど)として使用している図である。図1において、作業机112上に装置100の吹出しユニット102と吸入ユニット104を(この実施例ではある角度をなすように)置き、作業者114は装置が作り出す清浄環境内で、ワーク110に対して清浄度を要求される作業をする。作業領域外に空気源ユニット(ファン、送風機)106を配置し、吹出しユニット102および吸入ユニット104と空気源ユニット106の間をダクト108で連結して、装置の吹出しユニット102に空気を送り、また吸入ユニット104から使用済み空気を回収する。吹出しユニット102と吸入ユニット104には空気中の異物をろ過するフィルタ(図示せず)が入っているのが好ましい。なお、吹出しユニット102と吸入ユニット104の頂部上には庇118が配置されている。 A first embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a diagram in which a clean space maintaining device (hereinafter, simply referred to as “device”) of the present invention is used as a clean environment maintaining device (clean bench or the like). In FIG. 1, the blowing unit 102 and the suction unit 104 of the apparatus 100 are placed on a work desk 112 (in this embodiment so as to form an angle), and an operator 114 is placed on the work 110 in a clean environment created by the apparatus. Work that requires cleanliness. An air source unit (fan, blower) 106 is disposed outside the work area, and the air blowing unit 102 and the suction unit 104 are connected to the air source unit 106 by a duct 108 to send air to the air blowing unit 102 of the apparatus. Used air is collected from the suction unit 104. The blowing unit 102 and the suction unit 104 preferably include a filter (not shown) for filtering foreign substances in the air. Note that a gutter 118 is disposed on tops of the blowout unit 102 and the suction unit 104.

実施例2を図2を参照して説明する。図2は装置に除塵機能を付加してワークからの異物を除去する異物除去装置として使用している図である。実施例2では、作業机112の隅に吹出しユニット102および吸入ユニット104を(この実施例ではある角度をなすように)置き、吹出しユニット102および吸入ユニット104の作業領域内にエアブロワ116を配置し、作業者114は装置が作り出す清浄環境内で、ワーク110に付着した異物をエアブロワ116でエアブローして除去する。作業領域外に空気源ユニット106を配置し、装置の吹出しユニット102に空気を送り、また吸入ユニット104から使用済み空気を回収する。吹出しユニット102と吸入ユニット104には空気中の異物をろ過するフィルタが入っているのが好ましい。なお、吹出しユニット102と吸入ユニット104の頂部上には庇118が配置されている。 A second embodiment will be described with reference to FIG. FIG. 2 is a diagram showing a foreign matter removing apparatus that removes foreign matter from a work by adding a dust removal function to the apparatus. In the second embodiment, the blowing unit 102 and the suction unit 104 are placed at the corners of the work desk 112 (to form an angle in this embodiment), and the air blower 116 is disposed in the work area of the blowing unit 102 and the suction unit 104. The worker 114 removes foreign matter adhering to the workpiece 110 by air blowing with an air blower 116 in a clean environment created by the apparatus. An air source unit 106 is disposed outside the work area, air is sent to the blowout unit 102 of the apparatus, and used air is collected from the suction unit 104. The blowout unit 102 and the suction unit 104 preferably include a filter for filtering foreign matter in the air. Note that a gutter 118 is disposed on tops of the blowout unit 102 and the suction unit 104.

実施例3を図3を参照して説明する。実施例3は吹出しユニット102の吹出し面の大きさが吸入ユニット104の吸入面の大きさより小さい点で、実施例1および実施例2(吹出しユニット102の吹出し面の大きさが吸入ユニット104の吸入面の大きさと同一)とは異なる。この場合、一部の風は床面と平行には吹かない。なお、図3においては、吹出しユニット102と吸入ユニット104の配置が図1、図2とは反対に表示されている。ここで、符号120は吹出しユニット102と吸入ユニット104の後部側同士を連結する部材を示している。   A third embodiment will be described with reference to FIG. The third embodiment is that the size of the blow-out surface of the blow-out unit 102 is smaller than the size of the suction surface of the suction unit 104. Is the same as the size of the surface). In this case, some winds do not blow parallel to the floor. In FIG. 3, the arrangement of the blowout unit 102 and the suction unit 104 is displayed opposite to those in FIGS. 1 and 2. Here, reference numeral 120 denotes a member for connecting the rear side of the blowout unit 102 and the suction unit 104 to each other.

実施例4を図4を参照して説明する。図4に示す装置では、吹出しユニット102の吹き出し空気量分布と吸入ユニット104の空気吸入量分布において、外周側が内周側より大きい。ここで吹き出しユニットの風量をVoとし、内側の風量をVoi、外側の風量をVooとし、吸入ユニットの風量をViとし、内側の風量をVii、外側の風量をVioとすると、
Voo>VoiおよびVio>Viiの方程式が成り立つことが好ましい。これにより清浄空間内の風を広範囲にわたり均一かつ安定に保つことができる。
A fourth embodiment will be described with reference to FIG. In the apparatus shown in FIG. 4, the outer peripheral side is larger than the inner peripheral side in the blowout air amount distribution of the blowout unit 102 and the air suction amount distribution of the suction unit 104. Here, if the air volume of the blowing unit is Vo, the inner air volume is Voi, the outer air volume is Voo, the air volume of the suction unit is Vi, the inner air volume is Vii, and the outer air volume is Vio,
It is preferred that the equations Voo> Voi and Vio> Vii hold. Thereby, the wind in the clean space can be kept uniform and stable over a wide range.

実施例5を図5を参照して説明する。実施例5では、吹出しユニット102と吸入ユニット104は平行に配置されている。吹出しユニット102と吸入ユニット104の頂部において、これらの間には、吹出しユニット102と吸入ユニット104の前部を結ぶ境界面より張り出した(好ましくは円弧状に張り出した)庇118が設けられている。吹出しユニット102と吸入ユニット104の底部には底板122が設けられてもよく、またはなにも設けないで、底板122の代わりに、作業机(図示せず)の机上面を利用してもよい。作業領域外に空気源ユニット(図示せず)を配置し、装置の吹出しユニット102に空気を送り、また吸入ユニット104から使用済み空気を回収する。吹出しユニット102と吸入ユニット104には空気中の異物をろ過するフィルタ(図示せず)が入っているのが好ましい。   A fifth embodiment will be described with reference to FIG. In the fifth embodiment, the blowing unit 102 and the suction unit 104 are arranged in parallel. At the top of the blowout unit 102 and the suction unit 104, a ridge 118 is provided between them, which is projected from the boundary surface connecting the blowout unit 102 and the front part of the suction unit 104 (preferably projecting in an arc shape). . A bottom plate 122 may be provided at the bottom of the blowout unit 102 and the suction unit 104, or a bottom surface of a work desk (not shown) may be used instead of the bottom plate 122 without providing any. . An air source unit (not shown) is disposed outside the work area, sends air to the blowout unit 102 of the apparatus, and collects used air from the suction unit 104. The blowing unit 102 and the suction unit 104 preferably include a filter (not shown) for filtering foreign substances in the air.

吹出しユニット102から出た陽圧の清浄空気は拡散しつつ前進して吸入ユニット104が作る負圧に吸引され遂に吸引ユニット104内に吸い込まれる。この時、前端部に近い一部の空気は陽圧により外部に押し出される。しかし、頂部に庇118があるため、上から押えられて上部には拡散できず、前側に押し出されてくる。一方、吸入ユニット104は負圧を作り吸引するが、やはり頂部の庇118により阻まれて、上部からは空気を吸引できないため、前端部から吸引する。陽圧により前方に出てきた清浄風は負圧により吸引されて回収される。こうして清浄空間は清浄度を維持できる。 The positive pressure clean air exiting from the blow-out unit 102 advances while diffusing and is sucked into the negative pressure created by the suction unit 104 and finally sucked into the suction unit 104. At this time, a part of the air close to the front end is pushed out by the positive pressure. However, since there is a ridge 118 at the top, it is pressed from above and cannot be diffused to the top, but is pushed forward. On the other hand, the suction unit 104 creates a negative pressure and sucks it. However, the suction unit 104 is also blocked by the top ridge 118 and cannot suck air from the upper part. The clean wind that has come forward due to the positive pressure is sucked and collected by the negative pressure. Thus, the clean space can maintain cleanliness.

仮に、この庇118が無ければ陽圧は上側と前側に拡散してしまい、負圧で回収しきれない。負圧側は回収できなかった分量と同量の汚れた空気を外部から清浄空間内に吸引する。こうして内部の清浄度が維持できなくなる。このように前に突き出た庇の意味(役割)は非常に大きい。本発明のもう一つの特徴は作業机の机上面を底板代わりに用いて、無限大に近い底面を得ていることである。 If this ridge 118 is not present, the positive pressure diffuses to the upper side and the front side, and cannot be recovered by the negative pressure. On the negative pressure side, the same amount of dirty air that cannot be recovered is sucked into the clean space from the outside. Thus, the internal cleanliness cannot be maintained. In this way, the meaning (role) of the spear protruding before is very large. Another feature of the present invention is that a bottom surface close to infinity is obtained by using the top surface of the work desk instead of the bottom plate.

実施例6を図6を参照して説明する。実施例6では、吹出しユニット102と吸入ユニット104はある角度θを持って配置されている。背後の壁面には粘着シート(図示せず)を有するのが好ましい。吹出しユニット102と吸入ユニット104の頂部には、吹出しユニット102と吸入ユニット104の前部を結ぶ境界面より張り出した(好ましくは円弧状に張り出した)庇118が設けられている。頂部の下面には粘着シート(図示せず)を有するのが好ましい。また、底板を設けてもよく、底板の代わりに、机上面を利用してもよい。底部机上面には粘着シートを有するのが好ましい。作業領域外に空気源ユニットを配置し、装置の吹出しユニット102に空気を送り、また吸入ユニット104から使用済み空気を回収する。吹出しユニット102と吸入ユニット104には空気中の異物をろ過するフィルタが入っているのが好ましい。   A sixth embodiment will be described with reference to FIG. In the sixth embodiment, the blowing unit 102 and the suction unit 104 are arranged with a certain angle θ. It is preferable to have an adhesive sheet (not shown) on the back wall. On tops of the blowout unit 102 and the suction unit 104, a ridge 118 is provided that projects from a boundary surface connecting the blowout unit 102 and the front part of the suction unit 104 (preferably projecting in an arc shape). It is preferable to have an adhesive sheet (not shown) on the lower surface of the top. Further, a bottom plate may be provided, and a desk surface may be used instead of the bottom plate. It is preferable to have an adhesive sheet on the bottom desk surface. An air source unit is arranged outside the work area, air is sent to the blowout unit 102 of the apparatus, and used air is recovered from the suction unit 104. The blowout unit 102 and the suction unit 104 preferably include a filter for filtering foreign matter in the air.

実施例6では、吹出しユニット102と吸入ユニット104はある角度θを持って配置されて間口が開いており、また清浄領域が作業者側に大きく突き出ているため、作業者はワーク(図示せず)の出し入れが容易である上に、広い清浄領域で大型ワークにも対応できる。 In the sixth embodiment, since the blowout unit 102 and the suction unit 104 are arranged with a certain angle θ, the frontage is open, and the cleaning area protrudes greatly toward the worker side, the worker is not allowed to work (not shown). ) Can be easily taken in and out and large workpieces can be handled in a wide clean area.

吹出しユニット102から出た陽圧の清浄空気は拡散しつつ前進して吸入ユニット104が作る負圧に吸引され遂に吸引ユニット内に吸い込まれる。この時、前端部に近い一部の空気は陽圧により外部に押し出される。しかし、頂部に庇118があるため、上から押えられて上部には拡散できず、前側に押し出されてくる。一方、吸入ユニット104は負圧を作り吸引するが、やはり頂部の庇118により阻まれて、上部からは空気を吸引できないため、前端部から吸引する。陽圧により前方に出てきた清浄風は負圧により吸引されて回収される。こうして清浄空間は清浄度を維持できる。 The positive pressure clean air that has flowed out of the blow-out unit 102 advances while diffusing and is sucked into the negative pressure created by the suction unit 104 and finally sucked into the suction unit. At this time, a part of the air close to the front end is pushed out by the positive pressure. However, since there is a ridge 118 at the top, it is pressed from above and cannot be diffused to the top, but is pushed forward. On the other hand, the suction unit 104 creates a negative pressure and sucks it. However, the suction unit 104 is also blocked by the top ridge 118 and cannot suck air from the upper part. The clean wind that has come forward due to the positive pressure is sucked and collected by the negative pressure. Thus, the clean space can maintain cleanliness.

仮に、この庇が無ければ陽圧は上側と前側に拡散してしまい、負圧で回収しきれない。負圧側は回収できなかった分量と同量の汚れた空気を外部から清浄空間内に吸引する。こうして内部の清浄度が維持できなくなる。このように前に突き出た庇の意味(役割)は非常に大きい。本発明のもう一つの特徴は作業机の机上面を底板代わりに用いて、無限大に近い底面を得ていることである。 If this wrinkle is not present, the positive pressure diffuses upward and forward, and cannot be recovered by negative pressure. On the negative pressure side, the same amount of dirty air that cannot be recovered is sucked into the clean space from the outside. Thus, the internal cleanliness cannot be maintained. In this way, the meaning (role) of the spear protruding before is very large. Another feature of the present invention is that a bottom surface close to infinity is obtained by using the top surface of the work desk instead of the bottom plate.

実施例7を図7を用いて説明する。実施例7では、清浄空間維持装置を除塵機能を有する装置として用いる形態を示す。好ましくは装置を作業机112の隅に置く。吹出しユニット102と吸入ユニット104はある角度θを持って配置する(好ましくは90度)。頂部には庇118を設ける。底部は作業机の机上面を利用する。作業領域外に空気源ユニットを配置し装置の吹出しユニット102に空気を送り、また吸入ユニット104から使用済み空気を回収する。吹出しユニット102と吸入ユニット104には空気中の異物をろ過するフィルタが入っているのが好ましい。エアブロワ116を有し、ワークの異物をエアブローする。 A seventh embodiment will be described with reference to FIG. Example 7 shows a form in which the clean space maintaining device is used as a device having a dust removal function. Preferably, the device is placed in the corner of work desk 112. The blowout unit 102 and the suction unit 104 are arranged with a certain angle θ (preferably 90 degrees). A trough 118 is provided on the top. The bottom uses the desk top of the work desk. An air source unit is arranged outside the work area, air is sent to the blowing unit 102 of the apparatus, and used air is collected from the suction unit 104. The blowout unit 102 and the suction unit 104 preferably include a filter for filtering foreign matter in the air. An air blower 116 is provided to air blow foreign matter on the workpiece.

装置では、吹出しユニット102と吸入ユニット104はある角度θ(好ましくは90度)を持って配置されて間口が開いており、また清浄領域が作業者側に大きく突き出ているため、作業者はワークの出し入れが容易である上に、広い清浄領域で大型ワークにも対応できる。 In the apparatus, the blow-out unit 102 and the suction unit 104 are arranged with a certain angle θ (preferably 90 degrees), the frontage is open, and the clean area protrudes greatly toward the worker side. In addition to easy loading and unloading, it can handle large workpieces in a wide clean area.

吹出しユニット102から出た陽圧の清浄空気は拡散しつつ前進して吸入ユニット104が作る負圧に吸引され遂に吸引ユニット内に吸い込まれる。この時、前端部に近い一部の空気は陽圧により外部に押し出される。しかし、頂部に庇118があるため、上から押えられて上部には拡散できず、前側に押し出されてくる。一方、吸入ユニット104は負圧を作り吸引するが、やはり頂部の庇により阻まれて、上部からは空気を吸引できないため、前端部から吸引する。陽圧により前方に出てきた清浄風は負圧により吸引されて回収される。こうして清浄空間は清浄度を維持できる。 The positive pressure clean air that has flowed out of the blow-out unit 102 advances while diffusing and is sucked into the negative pressure created by the suction unit 104 and finally sucked into the suction unit. At this time, a part of the air close to the front end is pushed out by the positive pressure. However, since there is a ridge 118 at the top, it is pressed from above and cannot be diffused to the top, but is pushed forward. On the other hand, the suction unit 104 creates a negative pressure and sucks it. However, the suction unit 104 is also blocked by the ridge at the top and cannot suck air from the upper part, so it sucks from the front end. The clean wind that has come forward due to the positive pressure is sucked and collected by the negative pressure. Thus, the clean space can maintain cleanliness.

仮に、この庇が無ければ陽圧は上側と前側に拡散してしまい、負圧で回収しきれない。負圧側は回収できなかった分量と同量の汚れた空気を外部から清浄空間内に吸引する。こうして内部の清浄度が維持できなくなる。このように前に突き出た庇の意味(役割)は非常に大きい。本発明のもう一つの特徴は作業机の机上面を底板代わりに用いて、無限大に近い底面を得ていることである。エアアブローにより導入された分量と同量の清浄空気が装置外に溢れるが、清浄空気であるため、外部環境を汚すこともなく問題にならない。 If this wrinkle is not present, the positive pressure diffuses upward and forward, and cannot be recovered by negative pressure. On the negative pressure side, the same amount of dirty air that cannot be recovered is sucked into the clean space from the outside. Thus, the internal cleanliness cannot be maintained. In this way, the meaning (role) of the spear protruding before is very large. Another feature of the present invention is that a bottom surface close to infinity is obtained by using the top surface of the work desk instead of the bottom plate. The same amount of clean air introduced by the air blower overflows outside the apparatus, but since it is clean air, it does not pollute the external environment and is not a problem.

以上に述べた実施例7の装置の三面図を図8に示す。図8aは平面図(断面図)で、図8bは右側側面図で、図8cは正面図で、図8dは右斜め側面図である。除塵機能を持たせるときには、作業領域内にエアブロワ116が配置されている。そして、好ましくは頂部、背後の壁面、底部には粘着シート130が設けられている。吹出しユニット102と吸入ユニット104はダクト108で空気源ユニット(ファン)106と連結されている。 A three-sided view of the apparatus of Example 7 described above is shown in FIG. 8a is a plan view (cross-sectional view), FIG. 8b is a right side view, FIG. 8c is a front view, and FIG. 8d is a right oblique side view. When the dust removal function is provided, an air blower 116 is disposed in the work area. And the adhesive sheet 130 is preferably provided in the top part, the wall surface behind, and the bottom part. The blowout unit 102 and the suction unit 104 are connected to an air source unit (fan) 106 by a duct 108.

実施例8を図9を用いて説明する。図9は装置の庇の形状を示す。庇の形状は前に張り出しているが、さらに吸入ユニット104側の張り出し率が吹出しユニット102側のそれより大きい方が好ましい。数式で表すと以下のようになる。

ここで、張り出し率は以下の式で定義する。
吹出しユニットの奥行をWo、庇の奥行をWo+a
吸入ユニットの奥行をWi、庇の奥行をWi+b
とすると
吹出しユニット側の庇の張り出し率Ao=(Wo+a)/Wo
吸入ユニット側の庇の張り出し率Ai=(Wi+b)/Wi
となる。
この時、
Ao≦Ai
であるのが好ましい。
Example 8 will be described with reference to FIG. FIG. 9 shows the shape of the bag of the device. Although the shape of the ridge is projected forward, it is preferable that the projection rate on the suction unit 104 side is larger than that on the blowout unit 102 side. This is expressed as follows:

Here, the overhang rate is defined by the following equation.
Depth of blowout unit is Wo, depth of ridge is Wo + a
The depth of the inhalation unit is Wi, the depth of the heel is Wi + b
Then, the overhang rate Ao = (Wo + a) / Wo on the blowing unit side
The overhang ratio Ai = (Wi + b) / Wi
It becomes.
At this time,
Ao ≦ Ai
Is preferred.

実施例9を図10、図11を参照して説明する。図10は実施例9の装置を示す斜視図であり、図11aはフェンスを用いないときを説明する平面図であり、図11bはフェンスを用いたときの平面図である。フェンス104aは作業者側に張り出すように吸入ユニットの前面側に取り付けられる。フェンス104aがない場合には、外気が吸入ユニット104に吸い込まれるが、フェンス104aがある場合には外気はフェンスに邪魔されて吸入ユニットに吸い込まれない。このため、外部からの塵が入り込まず、清浄度を高く保てる。   A ninth embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 10 is a perspective view showing the apparatus of Example 9, FIG. 11a is a plan view for explaining a case where no fence is used, and FIG. 11b is a plan view when a fence is used. The fence 104a is attached to the front side of the suction unit so as to project to the worker side. When there is no fence 104a, outside air is sucked into the suction unit 104, but when there is the fence 104a, outside air is disturbed by the fence and is not sucked into the suction unit. For this reason, dust from the outside does not enter and the cleanliness can be kept high.

実施例10を図12を用いて説明する。図12は清浄空間維持装置と除塵装置を示し、図12aは斜視図で、図12bは側面図(断面図)で、図12cは正面図である。この清浄空間維持装置は上部に吹出しユニット102を有し、かつ下部に吸入ユニット104を有し、上部と下部の中間部に清浄空間を有する箱型の装置(例えばクリーンベンチなど)である。左右の側壁132の前端部が前方に迫り出していて、吹出しユニット102から吹出した空気は全て吸入ユニット104に回収される。外部から汚れた空気を吸い込むことがないため、清浄空間を維持できる。左右の側壁の形状は、吸入ユニット104側でより前に張り出しているのが好ましい。 Example 10 will be described with reference to FIG. 12 shows a clean space maintaining device and a dust removing device, FIG. 12a is a perspective view, FIG. 12b is a side view (cross-sectional view), and FIG. 12c is a front view. This clean space maintenance device is a box-type device (for example, a clean bench) having a blow-out unit 102 at the top, a suction unit 104 at the bottom, and a clean space in the middle between the top and bottom. The front end portions of the left and right side walls 132 are pushed forward, and all the air blown out from the blowout unit 102 is collected by the suction unit 104. Clean air can be maintained because dirty air is not sucked in from the outside. It is preferable that the shape of the left and right side walls protrudes forward on the suction unit 104 side.

この清浄空間維持装置はエアブロワを装備すれば清浄空間を作る装置であると共にワークに付着した異物を除去する除塵装置として機能する。 This clean space maintenance device is a device that creates a clean space if equipped with an air blower and also functions as a dust removal device that removes foreign matter adhering to the workpiece.

実施例11を図17を参照して説明するが、比較例として図16を参照して最初に説明する。実際の作業現場では、複数の(この説明では、2台の例に挙げる)清浄空間維持装置100,100を並置して作業者が流れ作業をする場合がある。その場合、工程内を清浄空間にして、さらに工程間でワークの受け渡しを行うときには受け渡し空間も清浄空間にする必要がある。図16は単に清浄空間維持装置を2台、前工程と後工程に並べた状態を示す。空気源ユニット(風力エンジン)106、吹出し102、吸引ユニット104を流れる風量はすべてVoで同量である。前工程の作業が終わりワークを後工程に渡すとき、前後工程間の不浄空間を通過する。このとき、異物がワークに付着する。なお、符号は左図のみに付し、右図では省略している。符号110、114は、それぞれ、ワーク、作業者を示す。   Example 11 will be described with reference to FIG. 17, but will be described first as a comparative example with reference to FIG. In an actual work site, a plurality of clean space maintenance devices 100 and 100 (in this description, two examples) may be juxtaposed to perform a flow work. In that case, when the inside of a process is made into a clean space and workpieces are delivered between processes, the delivery space needs to be made into a clean space. FIG. 16 simply shows a state in which two clean space maintaining devices are arranged in a pre-process and a post-process. The amount of air flowing through the air source unit (wind power engine) 106, the air outlet 102, and the suction unit 104 is all equal to Vo. When the work of the previous process is over and the workpiece is passed to the subsequent process, it passes through the unclean space between the previous and subsequent processes. At this time, foreign matter adheres to the workpiece. In addition, the code | symbol is attached | subjected only to the left figure, and is abbreviate | omitting in the right figure. Reference numerals 110 and 114 denote a workpiece and an operator, respectively.

図17に示す実施例11は、図16の比較例の前述の欠点を解消する構成を示す。例えば、2台の清浄空気維持装置100、100の間に連結壁144を設け、物体センサ(好ましくは、受け渡し領域直前でワークを感知する)(図示せず)を設け、吸入ユニット104に、または空気源ユニット106の吸入ユニット104側のダクト108にまたは、空気源ユニット106の吸入側に外気取込用蓋140を設ける(この実施例では吸入ユニット104に外気取込用蓋を設けている)。物体センサがワークを感知したとき、外気取込用蓋140が開かれ、吸引ユニット104内に外気を取り込む。このときの取り込む外気の量をVeとすると、空気源ユニット(風力エンジン)を流れる風量は(Vo+Ve)であり、清浄空間を流れる風量も(Vo+Ve)である。吸引ユニット104はVoのみを吸引するから、結局、Veが溢れ、前後の清浄空間維持装置間に流れる。こうして、清浄空間維持装置間の清浄空間(拡張清浄域)142が創生される。この清浄空間142を通ってワークが後工程に渡されるので、異物のワークへの付着が回避される。   Example 11 shown in FIG. 17 shows a configuration that eliminates the above-described drawbacks of the comparative example of FIG. For example, a connecting wall 144 is provided between the two clean air maintaining devices 100, 100, an object sensor (preferably sensing a workpiece immediately before the transfer area) (not shown) is provided, and the suction unit 104 or An external air intake lid 140 is provided in the duct 108 on the intake unit 104 side of the air source unit 106 or on the intake side of the air source unit 106 (in this embodiment, the external air intake lid is provided in the intake unit 104). . When the object sensor senses a workpiece, the outside air taking-in lid 140 is opened, and outside air is taken into the suction unit 104. When the amount of outside air taken in at this time is Ve, the amount of air flowing through the air source unit (wind power engine) is (Vo + Ve), and the amount of air flowing through the clean space is also (Vo + Ve). Since the suction unit 104 sucks only Vo, eventually, Ve overflows and flows between the front and rear clean space maintaining devices. Thus, a clean space (extended clean zone) 142 between the clean space maintaining devices is created. Since the workpiece is passed through the clean space 142 to a subsequent process, the adhesion of foreign matter to the workpiece is avoided.

本発明の実施例1の装置を示す平面図である。It is a top view which shows the apparatus of Example 1 of this invention. 本発明の実施例2の装置を示す平面図である。It is a top view which shows the apparatus of Example 2 of this invention. 本発明の実施例3の装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the apparatus of Example 3 of this invention. 本発明の実施例4の装置を示す平面図である。It is a top view which shows the apparatus of Example 4 of this invention. 本発明の実施例5の装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the apparatus of Example 5 of this invention. 本発明の実施例6の装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the apparatus of Example 6 of this invention. 本発明の実施例7の装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the apparatus of Example 7 of this invention. 本発明の実施例7の装置を3面図で示す図である。It is a figure which shows the apparatus of Example 7 of this invention with a 3rd page figure. 本発明の実施例8の装置を示す平面図である。It is a top view which shows the apparatus of Example 8 of this invention. 本発明の実施例9の装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the apparatus of Example 9 of this invention. 本発明の実施例9を説明するための平面図である。It is a top view for demonstrating Example 9 of this invention. 本発明の実施例10の装置を示す斜視図、側面図、正面図である。It is the perspective view, side view, and front view which show the apparatus of Example 10 of this invention. 従来例の1つを示す斜視図、側面図、正面図である。It is the perspective view, side view, and front view which show one of the prior art examples. 従来例の他の1つを示す斜視図、側面図、正面図である。It is the perspective view, side view, and front view which show another one of a prior art example. 従来例のさらに他の1つを示す斜視図、側面図、正面図である。It is the perspective view, side view, and front view which show another one of a prior art example. 本発明の実施例11の装置を説明するための比較の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the comparison for demonstrating the apparatus of Example 11 of this invention. 本発明の実施例11の装置を示す平面図である。It is a top view which shows the apparatus of Example 11 of this invention.

100 清浄空間維持装置
102 吹出しユニット
104 吸引ユニット
106 ファン(送風機)
108 ダクト
110 ワーク
116 エアブロワ
140 外気取込用蓋
142 拡張清浄域
144 連結壁
100 Clean Space Maintenance Device 102 Blowout Unit 104 Suction Unit 106 Fan (Blower)
108 Duct 110 Workpiece 116 Air blower 140 External air intake lid 142 Extended clean area 144 Connection wall

Claims (23)

机上に配置されて清浄空気を吹き出す吹出しユニットと、机上に配置されて、吹出しユニットから吹き出した空気を回収する吸入ユニットと、を有し、両ユニット間に机上面にほぼ平行な風を吹かせて両ユニット間に清浄空気を維持することを特徴とする清浄空間維持装置。 A blow-out unit that is arranged on the desk and blows out clean air; and a suction unit that is placed on the desk and collects air blown from the blow-out unit. A clean space maintaining device characterized by maintaining clean air between both units. 請求項1記載の清浄空間維持装置において、吹出しユニットと吸入ユニットが別体になっていることを特徴とする清浄空間維持装置。   2. The clean space maintaining apparatus according to claim 1, wherein the blowout unit and the suction unit are separate. 請求項1、2記載の清浄空間維持装置において、空気を送出/回収する空気源ユニットが吹出しユニットおよび吸入ユニットと別体になっていることを特徴とする清浄空間維持装置。 3. The clean space maintaining apparatus according to claim 1, wherein an air source unit for sending / recovering air is separated from the blowout unit and the suction unit. 請求項1、2記載の清浄空間維持装置において、吹出しユニットと吸入ユニットはフィルタを有することを特徴とする清浄空間維持装置。 3. The clean space maintaining apparatus according to claim 1, wherein the blowout unit and the suction unit have a filter. 請求項1、2記載の清浄空間維持装置において、吹出しユニットの吹出し面と吸入ユニットの吸入面の大きさが異なることを特徴とする清浄空間維持装置。   The clean space maintenance device according to claim 1 or 2, wherein the blow-out surface of the blow-out unit and the suction surface of the suction unit are different in size. 請求項1、2記載の清浄空間維持装置において、吹出しユニットの吹出し空気量分布と吸入ユニットの空気吸入量分布において、外周側が内周側より大きいことを特徴とする清浄空間維持装置。 3. The clean space maintaining device according to claim 1, wherein the outer peripheral side is larger than the inner peripheral side in the blowout air amount distribution of the blowout unit and the air suction amount distribution of the suction unit. 請求項4記載の清浄空間維持装置において、吹出しユニットと吸入ユニットのフィルタは前面(作業者側)から着脱、交換ができることを特徴とする清浄空間維持装置。 5. The clean space maintaining apparatus according to claim 4, wherein the filter of the blowout unit and the suction unit can be attached / detached and replaced from the front surface (operator side). 請求項1記載の清浄空間維持装置において、吹出しユニットと吸引ユニットの間にエアブロワを有し、該エアブロワによってワークに付着した異物を除去する除塵機能を清浄維持と併せて有することを特徴とする清浄空間維持装置。 2. A clean space maintaining apparatus according to claim 1, wherein an air blower is provided between the blow-out unit and the suction unit, and a dust removing function for removing foreign matter adhering to the workpiece by the air blower is provided in combination with the clean maintenance. Space maintenance device. 請求項1、2記載の清浄空間維持装置において、両ユニット間を結ぶ背後の壁面が清浄空間内部に向かって凸に配置されていることを特徴とする清浄空間維持装置。 The clean space maintenance device according to claim 1 or 2, wherein a rear wall surface connecting the two units is disposed so as to protrude toward the inside of the clean space. 請求項1、2記載の清浄空間維持装置において、吸入ユニットの前面側に張り出したフェンスを持つことを特徴とする清浄空間維持装置。   3. The clean space maintaining apparatus according to claim 1, further comprising a fence projecting on the front side of the suction unit. 請求項1、2記載の清浄空間維持装置において、頂部は庇として前面に(作業者側に)張り出していることを特徴とする清浄空間維持装置。 The clean space maintenance device according to claim 1 or 2, wherein the top portion projects as a ridge on the front surface (to the worker side). 請求項11記載の清浄空間維持装置において、頂部の庇の張り出し率が吹き出しユニット側より吸入ユニット側が大きいことを特徴とする清浄空間維持装置。 12. The clean space maintaining apparatus according to claim 11, wherein the overhang rate of the top ridge is larger on the suction unit side than on the blowing unit side. 請求項1、2記載の清浄空間維持装置において、頂部はシートまたは板で透明または半透明であり外部の照明光を内部に導入することを特徴とする清浄空間維持装置。 3. The clean space maintaining apparatus according to claim 1, wherein the top portion is a sheet or plate that is transparent or translucent and introduces external illumination light into the interior. 請求項1、2記載の清浄空間維持装置において、机上には粘着シートを配置することを特徴とする清浄空間維持装置。 The clean space maintenance apparatus according to claim 1, wherein an adhesive sheet is disposed on the desk. 請求項1、2記載の清浄空間維持装置において、背後の壁面には粘着シートを配置することを特徴とする清浄空間維持装置。 The clean space maintenance apparatus according to claim 1, wherein an adhesive sheet is disposed on the back wall surface. 請求項1、2記載の清浄空間維持装置において、頂部の面に粘着シートを配置することを特徴とする清浄空間維持装置。 The clean space maintenance apparatus according to claim 1, wherein an adhesive sheet is disposed on the top surface. 請求項1、2記載の清浄空間維持装置において、吹出しユニットの吹出し面と吸入ユニットの吸入面の間の角度θが可変であることを特徴とする清浄空間維持装置。 3. The clean space maintaining apparatus according to claim 1, wherein an angle θ between the blow-out surface of the blow-out unit and the suction surface of the suction unit is variable. 上部に吹出しユニットを有し、下部に吸入ユニットを有し、上部と下部の中間部に清浄空間を有し、左右の側壁の前端部が前方下方に迫り出していることを特徴とする清浄空間維持装置。 A clean space characterized by having a blow-out unit at the top, a suction unit at the bottom, a clean space at the middle between the top and bottom, and the front ends of the left and right side walls projecting forward and downward. Maintenance device. 請求項18記載の清浄空間維持装置において、吹出しユニットと吸引ユニットの間にエアブロワを有し、該エアブロワによってワークに付着した異物を除去する除塵機能を有することを特徴とする清浄空間維持装置。 19. The clean space maintaining apparatus according to claim 18, further comprising an air blower between the blow-out unit and the suction unit, and having a dust removing function for removing foreign matter attached to the workpiece by the air blower. 請求項1記載の清浄空間維持装置を複数個並置した清浄空間維持装置において、隣接する清浄空間維持装置間に清浄空間を接続するための接続用清浄空間を有することを特徴とする清浄空間維持装置。   2. A clean space maintaining device in which a plurality of clean space maintaining devices according to claim 1 are juxtaposed, comprising a clean space for connection for connecting clean spaces between adjacent clean space maintaining devices. . 請求項20記載の清浄空間維持装置において、隣接する清浄空間維持装置間に連結壁を有することを特徴とする清浄空間維持装置。   21. The clean space maintaining apparatus according to claim 20, further comprising a connecting wall between adjacent clean space maintaining apparatuses. 請求項20記載の清浄空気維持装置において、吸引ユニットまたは空気源ユニットの吸引ユニット側のダクトまたは空気源ユニットの吸入側に外気取込用蓋を設け、外気を取り込むことを特徴とする清浄空間維持装置。   21. A clean air maintaining device according to claim 20, wherein a cover for taking in outside air is provided on a duct on the suction unit side of the suction unit or the air source unit or on the suction side of the air source unit to take in outside air. apparatus. 請求項20記載の清浄空間維持装置において、物体センサを設け、物体センサがワークを検知したとき、外気取込用蓋を開き、外気を取り込むことを特徴とする清浄空間維持装置。   21. The clean space maintaining apparatus according to claim 20, wherein an object sensor is provided, and when the object sensor detects a workpiece, the outside air intake lid is opened to take in the outside air.
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