JP2015104499A5 - - Google Patents
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Description
本発明の一態様では、前記第1の圧電体層は、前記平面視において、前記基板上の面積よりも前記第1の開口上の面積の方が大きくてもよい。
また、指向性とは、超音波の入射方向に応じて受信感度が異なる性質のことである。即ち、図5(A)、図5(B)に示すように、指向性が異なる超音波トランスデューサー素子では、超音波の入射方向に対する受信感度の分布が異なるということである。例えば、第2の指向性は図5(A)に対応し、正面方向での受信感度が最大となっている。一方、第1の指向性は図5(B)に対応し、正面よりも右側方向での受信感度が最大となっている。
第1の圧電体層60aは、例えばPZT(ジルコン酸チタン酸鉛)薄膜により形成され、第1の電極層40aの少なくとも一部を覆うように設けられる。なお、第1の圧電体層60aの材料は、PZTに限定されるものではなく、例えばチタン酸鉛(PbTiO 3 )、ジルコン酸鉛(PbZrO 3 )、チタン酸鉛ランタン((Pb、La)TiO 3 )などを用いてもよい。
図12で後述のように、超音波トランスデューサーデバイス200は第1〜第nのユニットとして例えば第1〜第64のユニット(チャンネルCH1〜CH64)を含む。各ユニットは、第1の超音波トランスデューサー素子(図13のUE11〜UE18)と第2の超音波トランスデューサー素子(図13のUE21〜UE48)と第3の超音波トランスデューサー素子(図13のUE51〜UE58)を含む。
Claims (13)
- 第1の開口及び第2の開口が設けられる基板と、
前記第1の開口に対応して前記基板に形成される第1の超音波トランスデューサー素子と、
前記第2の開口に対応して前記基板に形成される第2の超音波トランスデューサー素子と、
を含み、
前記第1の開口は、スキャン方向に対応する第1の方向側の第1の縁部及び前記第1の方向とは反対の第2の方向側の第2の縁部を有し、
前記第1の超音波トランスデューサー素子は、
前記第1の開口を閉塞する第1の振動膜と、
前記基板の厚み方向からの平面視において、前記第1の開口の前記第1の縁部を覆うように前記第1の振動膜上に設けられる第1の圧電体層と、
を有することを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。 - 請求項1において、
前記第2の超音波トランスデューサー素子は、
前記第2の開口を閉塞する第2の振動膜と、
前記平面視において、前記第2の開口の前記第1の方向側の第3の縁部及び前記第2の方向側の第4の縁部のいずれにも重ならずに前記第2の振動膜上に設けられる第2の圧電体層と、
を有することを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。 - 請求項2において、
前記第1の超音波トランスデューサー素子は、
基準方向に対して前記第1の方向側に傾いた方向の指向性で超音波を受信し、
前記第2の超音波トランスデューサー素子は、
前記基準方向の指向性で超音波を受信することを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。 - 請求項2又は3において、
前記第1の振動膜と前記第2の振動膜は、同一平面に形成されることを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。 - 請求項1又は2において、
前記基板に設けられる第3の開口に対応して、前記基板に形成される第3の超音波トランスデューサー素子を含み、
前記第3の超音波トランスデューサー素子は、
前記第3の開口を閉塞する第3の振動膜と、
前記平面視において、前記第3の開口の第1の方向側の第5の縁部及び前記第2の方向側の第6の縁部のうち、前記第6の縁部を覆うように前記第3の振動膜上に設けられる第3の圧電体層と、
を有することを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。 - 請求項5において、
前記第1の超音波トランスデューサー素子は、
基準方向に対して前記第1の方向側に傾いた方向の指向性で超音波を受信し、
前記第3の超音波トランスデューサー素子は、
前記基準方向に対して前記第2の方向側に傾いた方向の指向性で超音波を受信することを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。 - 請求項5又は6において、
前記第1の振動膜と前記第3の振動膜は、同一平面に形成されることを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。 - 請求項1乃至7のいずれかにおいて、
前記第1の圧電体層は、前記平面視において、前記基板上の面積よりも前記第1の開口上の面積の方が大きいことを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。 - 基準方向とは異なる第1の指向方向の指向性を有し、超音波の受信を行う第1の超音波トランスデューサー素子と、
前記基準方向である第2の指向方向の指向性を有し、超音波の送信又は送信及び受信を行う第2の超音波トランスデューサー素子と、
を含むことを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。 - 請求項9において、
前記基準方向とは異なる第3の指向方向の指向性を有し、超音波の受信を行う第3の超音波トランスデューサー素子を含み、
前記基準方向は、前記第1の指向方向と前記第3の指向方向の間の方向であることを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。 - 請求項1乃至10のいずれかに記載された超音波トランスデューサーデバイスと、
前記第1の超音波トランスデューサー素子が受信した第1の受信信号に基づいて超音波画像を生成する処理部と、
を含むことを特徴とする超音波測定装置。 - 請求項2乃至4のいずれかに記載された超音波トランスデューサーデバイスと、
前記第1の超音波トランスデューサー素子が受信した第1の受信信号又は前記第1の受信信号から得られる第1の受信データである第1の受信情報により、前記第2の超音波トランスデューサー素子が受信した第2の受信信号又は前記第2の受信信号から得られる第2の受信データである第2の受信情報を補正処理する処理部と、
を含むことを特徴とする超音波測定装置。 - 請求項1乃至10のいずれかに記載された超音波トランスデューサーデバイスと、
前記第1の超音波トランスデューサー素子が受信した第1の受信信号に基づいて超音波画像を生成する処理部と、
前記超音波画像を表示する表示部と、
を含むことを特徴とする超音波画像装置。
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