JP2015104499A - 超音波トランスデューサーデバイス、超音波測定装置及び超音波画像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】超音波トランスデューサーデバイスは、第1の開口10aが設けられる基板220と、第1の開口10aに対応して基板220に形成される第1の超音波トランスデューサー素子と、を含む。第1の開口10aは、スキャン方向DSに対応する第1の方向D1側の第1の縁部EDA及び第1の方向D1とは反対の第2の方向D2側の第2の縁部EDBを有する。第1の超音波トランスデューサー素子は、第1の開口10aを閉塞する第1の振動膜70aと、基板220の厚み方向Zからの平面視において、第1の開口10aの第1の縁部DEAを覆うように第1の振動膜70a上に設けられる第1の圧電体層60aと、を有する。
【選択図】 図1
Description
上述した課題を解決するために、本実施形態では第1〜第3の超音波トランスデューサー素子に異なる指向性をもたせる。その第1〜第3の超音波トランスデューサー素子の構成について以下に説明する。
次に、上記超音波トランスデューサー素子の受信指向性を測定した結果について説明する。
σPZT=Au・sin(90°−α+θ) (1)
σarm=Au・cos(90°−α+θ) (2)
CPZT=g31・σPZT・WP+g33・σarm・WC
=g31・WP・Au・sin(90°−α+θ)+
g33・WC・Au・cos(90°−α+θ) (3)
次に、上記の第1〜第3の超音波トランスデューサー素子により得られた受信信号を用いて行う補正処理の基本手法について説明する。まず、図7(A)、図7(B)に示す模式的な説明図を用いて、リニアスキャンについて説明する。
上記課題を解決できる本実施形態の超音波測定装置100が行う補正処理について説明する。詳細な構成や動作は後述するものとし、ここでは基本手法を説明する。
次に、本実施形態の詳細について説明する。図9に、本実施形態の超音波測定装置100及び超音波画像装置400の構成例を示す。超音波測定装置100は、超音波トランスデューサーデバイス200、送信部110、受信部120、処理部130を含む。また、超音波画像装置400は、超音波測定装置100、表示部410を含む。
次に、処理部130が行う補正処理の第1の手法について説明する。図10(A)に、超音波ビームBM2を送信した場合の補正処理の例を示す。
なお、図10(B)に示すように、第1〜第3の受信信号RS2A〜RS2Cをデジタルデータに変換してから、上記と同様な補正処理を行ってもよい。
次に、処理部130が行う補正処理の第2の手法について説明する。図11に、超音波ビームBM1、BM2を送信した場合の補正処理の例を示す。反射体の配置は図10(A)と同様である。
図12に、上述した補正手法に用いる超音波トランスデューサーデバイス200の構成例を示す。
図13に、チャンネルCHiの詳細な構成例を示す。チャンネルCHiは、スライス方向DLに沿って8行及びスキャン方向DSに沿って5列のマトリックス状に配置される超音波トランスデューサー素子UE11〜UE58を含む。
図14(A)は携帯型の超音波画像装置400を示し、図14(B)は据置型の超音波画像装置400を示す。
40a〜40c 第1の電極層、50a〜50c 第2の電極層、
60a〜60c 圧電体層、70a〜70c 振動膜、
100 超音波測定装置、110 送信部、120 受信部、
130 処理部、200 超音波トランスデューサーデバイス、
210 超音波トランスデューサー素子アレイ、220 基板、
300 超音波プローブ、311 プローブ基体、312 プローブ筐体、
313 プローブヘッド側コネクター、315 プローブヘッド、
320 プローブ本体、323 プローブ本体側コネクター、
350 ケーブル、400 超音波画像装置、410 表示部、
AS 腕部、BM1〜BM9 超音波ビーム、
CH1〜CH64 チャンネル、D1 第1の方向、D2 第2の方向、
DL スライス方向、DR2A〜DR2C 第1〜第3の指向性、
DS スキャン方向、EDA〜EDF 第1〜第6の縁部、
FT 境界、L1〜L9,L1A〜L3C 画素ライン、
LA1〜LA64,LB1〜LB64,LC1〜LC64 信号電極線、
LB1i〜LB3i 信号電極線、LMi,LY1〜LY8 コモン電極線、
RB1〜RB7 反射体、
RD1A〜RD1C,RD2A〜RD2C 受信データ、
RS1〜RS9,RS1A〜RS1C,RS2A〜RS2C 受信信号、
UE11〜UE58 超音波トランスデューサー素子、
V1〜V5 画素位置、
XA1〜XA64,XB1〜XB64,XC1〜XC64 信号端子、
XMi コモン端子、Z 深度方向、t0〜t5 タイミング
Claims (13)
- 第1の開口及び第2の開口が設けられる基板と、
前記第1の開口に対応して前記基板に形成される第1の超音波トランスデューサー素子と、
前記第2の開口に対応して前記基板に形成される第2の超音波トランスデューサー素子と、
を含み、
前記第1の開口は、スキャン方向に対応する第1の方向側の第1の縁部及び前記第1の方向とは反対の第2の方向側の第2の縁部を有し、
前記第1の超音波トランスデューサー素子は、
前記第1の開口を閉塞する第1の振動膜と、
前記基板の厚み方向からの平面視において、前記第1の開口の前記第1の縁部を覆うように前記第1の振動膜上に設けられる第1の圧電体層と、
を有することを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。 - 請求項1において、
前記第2の超音波トランスデューサー素子は、
前記第2の開口を閉塞する第2の振動膜と、
前記平面視において、前記第2の開口の前記第1の方向側の第3の縁部及び前記第2の方向側の第4の縁部のいずれにも重ならずに前記第2の振動膜上に設けられる第2の圧電体層と、
を有することを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。 - 請求項2において、
前記第1の超音波トランスデューサー素子は、
基準方向に対して前記第1の方向側に傾いた方向の指向性で超音波を受信し、
前記第2の超音波トランスデューサー素子は、
前記基準方向の指向性で超音波を受信することを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。 - 請求項2又は3において、
前記第1の振動膜と前記第2の振動膜は、同一平面に形成されることを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。 - 請求項1又は2において、
前記基板に設けられる第3の開口に対応して、前記基板に形成される第3の超音波トランスデューサー素子を含み、
前記第3の超音波トランスデューサー素子は、
前記第3の開口を閉塞する第3の振動膜と、
前記平面視において、前記第3の開口の第1の方向側の第5の縁部及び前記第2の方向側の第6の縁部のうち、前記第6の縁部を覆うように前記第3の振動膜上に設けられる第3の圧電体層と、
を有することを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。 - 請求項5において、
前記第1の超音波トランスデューサー素子は、
基準方向に対して前記第1の方向側に傾いた方向の指向性で超音波を受信し、
前記第3の超音波トランスデューサー素子は、
前記基準方向に対して前記第2の方向側に傾いた方向の指向性で超音波を受信することを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。 - 請求項5又は6において、
前記第1の振動膜と前記第3の振動膜は、同一平面に形成されることを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。 - 請求項1乃至7のいずれかにおいて、
前記第1の圧電体層は、前記平面視において、前記基板上の面積よりも前記開口上の面積の方が大きいことを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。 - 基準方向とは異なる第1の指向方向の指向性を有し、超音波の受信を行う第1の超音波トランスデューサー素子と、
前記基準方向である第2の指向方向の指向性を有し、超音波の送信又は送信及び受信を行う第2の超音波トランスデューサー素子と、
を含むことを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。 - 請求項9において、
前記基準方向とは異なる第3の指向方向の指向性を有し、超音波の受信を行う第3の超音波トランスデューサー素子を含み、
前記基準方向は、前記第1の指向方向と前記第3の指向方向の間の方向であることを特徴とする超音波トランスデューサーデバイス。 - 請求項1乃至10のいずれかに記載された超音波トランスデューサーデバイスと、
前記第1の超音波トランスデューサー素子が受信した第1の受信信号に基づいて超音波画像を生成する処理部と、
を含むことを特徴とする超音波測定装置。 - 請求項2乃至4のいずれかに記載された超音波トランスデューサーデバイスと、
前記第1の超音波トランスデューサー素子が受信した第1の受信信号又は前記第1の受信信号から得られる第1の受信データである第1の受信情報により、前記第2の超音波トランスデューサー素子が受信した第2の受信信号又は前記第2の受信信号から得られる第2の受信データである第2の受信情報を補正処理する処理部と、
を含むことを特徴とする超音波測定装置。 - 請求項1乃至10のいずれかに記載された超音波トランスデューサーデバイスと、
前記第1の超音波トランスデューサー素子が受信した第1の受信信号に基づいて超音波画像を生成する処理部と、
前記超音波画像を表示する表示部と、
を含むことを特徴とする超音波画像装置。
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