JP2015104254A - Driving device for vibration wave motor, optical equipment, and driving method for vibration wave motor - Google Patents

Driving device for vibration wave motor, optical equipment, and driving method for vibration wave motor Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a driving device for a vibration wave motor, which is able to improve the starting performance of a vibration wave motor.SOLUTION: A driving device 100 for a vibration wave motor 10 according to the invention drives the vibration wave motor 10 comprising: a piezoelectric body 11 that vibrates by the input of a signal, an elastic body 12 joined to the piezoelectric body 11, vibrated by the vibration of the piezoelectric body 11, and used for generating a progressive wave in a drive surface 12a; and a mover 15 that is brought into pressure contact with the drive surface 12a and is driven by the progressive wave. When the mover 15 is driven by the progressive wave, a first signal for causing the elastic body 12 to generate vibration in a first direction and vibration in a second direction is generated for the piezoelectric body 11. Before the drive of the mover 15 by the progressive wave, a second signal for causing the elastic body 12 to generate vibration in a third direction different from the first and second directions is generated for the piezoelectric body 11.

Description

本発明は振動波モータの駆動装置、光学機器及び振動波モータの駆動方法に関するものである。   The present invention relates to a vibration wave motor drive device, an optical apparatus, and a vibration wave motor drive method.

振動波モータは、圧電体が接合された弾性体を有し、圧電体の伸縮を利用して弾性体に進行波を発生させる。そして、この進行波によって弾性体に加圧接触している移動子を移動させる。
この振動波モータは、被駆動時に弾性体と振動子とが固着してしまい、起動時に起動性能が不安定になる場合がある。駆動時の安定性の向上が求められる振動波モータとしては、このような起動性能の不安定性は課題となっている。
そのため、起動の前に、通常の駆動に用いる振動より高次の共振周波数近傍の電圧を圧電体に印加して振幅の大きい定在波を弾性体に生じさせた後、通常駆動用の共振周波数近傍の電圧を印加する技術がある。これにより、起動前に振動子に振幅の大きな振動を発生させて、不動作の発生を低減している(特許文献1参照)。
The vibration wave motor has an elastic body to which a piezoelectric body is bonded, and generates a traveling wave in the elastic body using expansion and contraction of the piezoelectric body. Then, the moving element in pressure contact with the elastic body is moved by the traveling wave.
In this vibration wave motor, the elastic body and the vibrator are fixed when driven, and the startup performance may become unstable during startup. Such instability of starting performance is a problem for a vibration wave motor that is required to have improved stability during driving.
Therefore, before starting, after applying a voltage in the vicinity of the resonance frequency higher than the vibration used for normal driving to the piezoelectric body to generate a standing wave with a large amplitude in the elastic body, the resonance frequency for normal driving is used. There is a technique for applying a nearby voltage. As a result, vibration with a large amplitude is generated in the vibrator before activation to reduce the occurrence of malfunction (see Patent Document 1).

特開平6−327271号公報JP-A-6-327271

しかし、上記従来技術において起動前と起動時に弾性体に発生する振動は、同じ方向の振動であるので、弾性体と移動子との固着を十分に剥離できない可能性がある。   However, since the vibration generated in the elastic body in the above prior art and before the start-up is the vibration in the same direction, there is a possibility that the adhesion between the elastic body and the moving element cannot be sufficiently peeled off.

本発明の課題は、振動波モータの起動性能を向上させることが可能な、振動波モータの駆動装置、光学機器及び振動波モータの駆動方法を提供することである。   An object of the present invention is to provide a vibration wave motor driving device, an optical apparatus, and a vibration wave motor driving method capable of improving the starting performance of the vibration wave motor.

本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。
請求項1に記載の発明は、信号の入力により振動する圧電体、前記圧電体に接合され、前記圧電体の振動によって振動され、駆動面に進行波を生じる弾性体、および、前記駆動面に加圧接触され、前記進行波によって駆動される移動子を備える振動波モータを駆動する駆動装置であって、前記進行波による前記移動子の駆動の際に、第1方向の振動と第2方向の振動を前記弾性体に生じさせる第1信号を前記圧電体に対して発生し、前記進行波による前記移動子の駆動の前に、前記第1方向と前記第2方向と異なる第3方向の振動を前記弾性体に生じさせる第2信号を前記圧電体に対して発生すること、を特徴とする振動波モータの駆動装置である。
請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の振動波モータの駆動装置であって、前記弾性体と前記移動子との接触面の一方は樹脂膜を有すること、を特徴とする振動波モータの駆動装置である。
請求項3に記載の発明は、請求項1または2に記載の振動波モータの駆動装置であって、前記第2信号の周波数は前記第1信号の周波数より低いこと、を特徴とする振動波モータの駆動装置である。
請求項4に記載の発明は、請求項1〜3のいずれか1項に記載の振動波モータの駆動装置であって、前記弾性体は、円環形状であり、前記第3方向の振動は径方向の振動であること、を特徴とする振動波モータの駆動装置である。
請求項5に記載の発明は、請求項1〜4のいずれか1項に記載の振動波モータの駆動装置及び前記振動波モータを備える光学機器である。
請求項6に記載の発明は、信号の入力により振動する圧電体、前記圧電体に接合され、前記圧電体の振動によって振動され、駆動面に進行波を生じる弾性体、および、前記駆動面に加圧接触され、前記進行波によって駆動される移動子を備える振動波モータを駆動する駆動方法であって、前記進行波による前記移動子の駆動の際に、第1方向の振動と第2方向の振動を前記弾性体に生じさせる第1信号を前記圧電体に対して発生し、前記進行波による前記移動子の駆動の前に、前記第1方向と前記第2方向と異なる第3方向の振動を前記弾性体に生じさせる第2信号を前記圧電体に対して発生すること、を特徴とする振動波モータの駆動方法である。
なお、上記構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。
The present invention solves the above problems by the following means.
According to a first aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric body that vibrates by input of a signal, an elastic body that is bonded to the piezoelectric body, vibrates by vibration of the piezoelectric body, and generates a traveling wave on a driving surface, and the driving surface. A driving device that drives a vibration wave motor that includes a moving member that is in pressure contact and is driven by the traveling wave, wherein the vibration in the first direction and the second direction are driven when the moving member is driven by the traveling wave. A first signal that causes the elastic body to generate vibrations of the elastic body is generated with respect to the piezoelectric body, and before the moving element is driven by the traveling wave, the first direction is different from the second direction. The vibration wave motor driving device is characterized in that a second signal for generating vibration in the elastic body is generated for the piezoelectric body.
A second aspect of the present invention is the vibration wave motor driving apparatus according to the first aspect, wherein one of the contact surfaces of the elastic body and the moving element has a resin film. It is a drive device of a wave motor.
A third aspect of the present invention is the vibration wave motor drive device according to the first or second aspect, wherein the frequency of the second signal is lower than the frequency of the first signal. This is a motor drive device.
Invention of Claim 4 is a drive device of the vibration wave motor of any one of Claims 1-3, Comprising: The said elastic body is an annular shape, The vibration of the said 3rd direction is A vibration wave motor drive apparatus characterized by being a radial vibration.
Invention of Claim 5 is an optical apparatus provided with the drive device of the vibration wave motor of any one of Claims 1-4, and the said vibration wave motor.
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a piezoelectric body that vibrates by input of a signal, an elastic body that is bonded to the piezoelectric body, vibrates by the vibration of the piezoelectric body, and generates a traveling wave on a driving surface, and the driving surface. A driving method for driving a vibration wave motor including a moving element that is in pressure contact and driven by the traveling wave, wherein the vibration in the first direction and the second direction are driven when the moving element is driven by the traveling wave. A first signal that causes the elastic body to generate vibrations of the elastic body is generated with respect to the piezoelectric body, and before the moving element is driven by the traveling wave, the first direction is different from the second direction. A method for driving a vibration wave motor, characterized in that a second signal for generating vibration in the elastic body is generated for the piezoelectric body.
In addition, the said structure may be improved suitably, and at least one part may substitute for another structure.

本発明によれば、振動波モータの起動性能を向上させることが可能な、振動波モータの駆動装置、光学機器及び振動波モータの駆動方法を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the drive device of a vibration wave motor, the optical apparatus, and the drive method of a vibration wave motor which can improve the starting performance of a vibration wave motor can be provided.

実施形態の振動波モータを搭載したカメラの概略構成図である。It is a schematic block diagram of the camera carrying the vibration wave motor of embodiment. 実施形態の振動波モータを説明する図である。It is a figure explaining the vibration wave motor of an embodiment. 振動波モータの移動子及び弾性体の部分の斜視図である。It is a perspective view of the moving element and elastic part of a vibration wave motor. 振動波モータの駆動装置を説明するブロック図である。It is a block diagram explaining the drive device of a vibration wave motor. 圧電体に入力される駆動信号が駆動周波数の場合に励起される振動モードを説明する図であり、(a)は弾性体を横から見た図、(b)は斜視図である。It is a figure explaining the vibration mode excited when the drive signal input into a piezoelectric material is a drive frequency, (a) is the figure which looked at the elastic body from the side, (b) is a perspective view. 第3方向の振動が加えられた弾性体の斜視図である。It is a perspective view of the elastic body to which the vibration of the 3rd direction was added.

以下、本発明にかかる振動波モータの実施形態について、添付図面を参照しながら詳細に説明する。
図1は、実施形態の振動波モータ10を搭載したカメラ1の概略構成図である。
カメラ1は、カメラボディ2と、レンズ鏡筒3と、を備える。カメラボディ2は、撮像素子6を備える。撮像素子6は、レンズ鏡筒3により結像された被写体像を撮像する撮像装置である。レンズ鏡筒3は、カメラボディ2に対し着脱自在に装着された交換レンズである。本実施形態のカメラ1では、レンズ鏡筒3が交換レンズである例を示している。しかしながら、これに限らず、カメラボディと一体型のレンズ鏡筒であってもよい。
DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of a vibration wave motor according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
FIG. 1 is a schematic configuration diagram of a camera 1 equipped with a vibration wave motor 10 of the embodiment.
The camera 1 includes a camera body 2 and a lens barrel 3. The camera body 2 includes an image sensor 6. The imaging element 6 is an imaging device that captures a subject image formed by the lens barrel 3. The lens barrel 3 is an interchangeable lens that is detachably attached to the camera body 2. In the camera 1 of the present embodiment, an example in which the lens barrel 3 is an interchangeable lens is shown. However, the present invention is not limited to this, and a lens barrel integrated with the camera body may be used.

レンズ鏡筒3は、光学部材としてのレンズ4、カム筒5、振動波モータ10、及びその他の部材(不図示)を備える。本実施形態の振動波モータ10は、カメラ1の焦点調節時にレンズ4を駆動するための駆動源として用いられている。振動波モータ10から取り出された駆動力は、動力伝達機構(不図示)を介してカム筒5に伝達される。カム筒5は、レンズ4とカム機構により係合している。振動波モータ10の駆動力によりカム筒5が回転すると、レンズ4はカム機構により光軸Aの方向に移動する。これにより、焦点調節が行われる。   The lens barrel 3 includes a lens 4 as an optical member, a cam barrel 5, a vibration wave motor 10, and other members (not shown). The vibration wave motor 10 of the present embodiment is used as a drive source for driving the lens 4 when adjusting the focus of the camera 1. The driving force extracted from the vibration wave motor 10 is transmitted to the cam cylinder 5 through a power transmission mechanism (not shown). The cam cylinder 5 is engaged with the lens 4 by a cam mechanism. When the cam cylinder 5 is rotated by the driving force of the vibration wave motor 10, the lens 4 is moved in the direction of the optical axis A by the cam mechanism. Thereby, focus adjustment is performed.

図2は、実施形態の振動波モータ10を説明する図である。図3は、振動波モータ10の移動子15及び弾性体12の部分の斜視図である。振動波モータ10は、移動子15と振動子13とを備える。振動子13は、後で説明する様に電気エネルギ−を機械エネルギ−に変換する圧電素子や電歪素子等を例とした電気機械変換素子(以下、圧電体と称する)11と、圧電体11を接合した弾性体12とから構成され、振動子13には進行性振動波が発生するようにされている。   FIG. 2 is a diagram illustrating the vibration wave motor 10 according to the embodiment. FIG. 3 is a perspective view of the moving element 15 and the elastic body 12 of the vibration wave motor 10. The vibration wave motor 10 includes a mover 15 and a vibrator 13. As will be described later, the vibrator 13 includes an electromechanical transducer (hereinafter referred to as a piezoelectric body) 11, such as a piezoelectric element or an electrostrictive element that converts electrical energy into mechanical energy, and the piezoelectric body 11. And the vibrator 13 generates a progressive vibration wave.

弾性体12は、共振先鋭度が大きな金属材料から成り、形状は、円環である。弾性体12における圧電体11が接合される反対面には溝12bが切ってあり、突起部分(溝12bがない箇所)の先端面が駆動面12aとなり移動子15に加圧接触される。弾性体12の溝12bが切られていない側に圧電体11を接合する。   The elastic body 12 is made of a metal material having a high resonance sharpness, and has a circular shape. A groove 12b is cut on the opposite surface of the elastic body 12 to which the piezoelectric body 11 is bonded, and the tip surface of the protruding portion (a place where the groove 12b is not present) becomes the driving surface 12a and is brought into pressure contact with the moving element 15. The piezoelectric body 11 is joined to the side of the elastic body 12 where the groove 12b is not cut.

移動子15は、たとえばアルミニウム合金等の軽金属や合成樹脂等によって形成された略円環状の部材である。移動子15は振動子13に加圧接触され、進行波により摩擦駆動される。本実施形態において、弾性体12の駆動面12aには樹脂膜12cが形成されている。   The mover 15 is a substantially annular member formed of a light metal such as an aluminum alloy, a synthetic resin, or the like. The moving element 15 is brought into pressure contact with the vibrator 13 and is frictionally driven by a traveling wave. In the present embodiment, a resin film 12 c is formed on the drive surface 12 a of the elastic body 12.

図4は、振動波モータ10の駆動装置100を説明するブロック図である。
発振部101は、制御部102の指令により所望の周波数の駆動信号を発生する。
移相部103は、該発振部101で発生した駆動信号を90°位相の異なる2つの駆動信号に分ける。
増幅部104は、移相部103によって分けられた2つの駆動信号をそれぞれ所望の電圧に昇圧する。
FIG. 4 is a block diagram illustrating the driving device 100 of the vibration wave motor 10.
The oscillating unit 101 generates a drive signal having a desired frequency according to a command from the control unit 102.
The phase shifter 103 divides the drive signal generated by the oscillator 101 into two drive signals having a 90 ° phase difference.
The amplifying unit 104 boosts the two drive signals divided by the phase shift unit 103 to desired voltages, respectively.

増幅部104からの駆動信号は、振動波モータ10に伝達され、この駆動信号の印加により振動体に進行波が発生し、移動子15が駆動される。
回転検出部105は、光学式エンコーダや磁気エンコ−ダ等により構成され、移動子15の駆動によって駆動された駆動物の位置や速度を検出する。
A drive signal from the amplifying unit 104 is transmitted to the vibration wave motor 10, and a traveling wave is generated in the vibration body by the application of the drive signal, so that the moving element 15 is driven.
The rotation detection unit 105 includes an optical encoder, a magnetic encoder, and the like, and detects the position and speed of a driven object driven by driving the moving element 15.

制御部102は、CPUからの駆動指令を基に振動波モータ10の駆動を制御する。制御部102は、検出部からの検出信号を受け、その値を基に、位置情報と速度情報を得て、目標位置に位置決めされるように発振部101の周波数を制御する。   The control unit 102 controls driving of the vibration wave motor 10 based on a driving command from the CPU. The control unit 102 receives the detection signal from the detection unit, obtains position information and speed information based on the values, and controls the frequency of the oscillation unit 101 so as to be positioned at the target position.

次に、本実施形態の振動波モータ10の駆動について説明する。
まず、制御部102に目標位置が伝達される。発振部101からは駆動信号が発生し、その信号は移相部103により90°位相の異なる2つの駆動信号に分割され、増幅部104により所望の電圧に増幅される。
駆動信号は、振動波モータ10の圧電体11に印加され、圧電体11には振動が励起され、その振動によって弾性体12には4次の曲げ振動が発生する。圧電体11はA相とB相とに分けられており、駆動信号はそれぞれA相とB相に印加される。
A相から発生する4次曲げ振動とB相から発生する4次曲げ振動とは位置的な位相が1/4波長ずれるようになっており、また、A相駆動信号とB相駆動信号とは90°位相がずれているため、2つの曲げ振動は合成され、4波の進行波となる。
Next, driving of the vibration wave motor 10 of the present embodiment will be described.
First, the target position is transmitted to the control unit 102. A drive signal is generated from the oscillation unit 101, and the signal is divided into two drive signals having a phase difference of 90 ° by the phase shift unit 103, and is amplified to a desired voltage by the amplification unit 104.
The drive signal is applied to the piezoelectric body 11 of the vibration wave motor 10, and vibration is excited in the piezoelectric body 11, and the fourth-order bending vibration is generated in the elastic body 12 due to the vibration. The piezoelectric body 11 is divided into an A phase and a B phase, and drive signals are applied to the A phase and the B phase, respectively.
The positional phase of the fourth-order bending vibration generated from the A-phase and the fourth-order bending vibration generated from the B-phase are shifted by ¼ wavelength, and the A-phase drive signal and the B-phase drive signal are Since the 90 ° phase is shifted, the two bending vibrations are combined into four traveling waves.

図5は、圧電体11に入力される駆動信号が駆動周波数の場合に励起される振動モードを説明する図である。(a)は弾性体12を横から見た図、(b)は斜視図である。
圧電体11に入力される駆動信号が駆動周波数の場合に弾性体12に励起される振動は図示する2つの信号である。なお、駆動周波数とは、振動波モータ10を通常駆動させる際に、圧電体11に加える信号の周波数である。
駆動周波数の駆動信号が圧電体11に加えられると、周方向(図中X方向)の振動(第1方向の振動,第1振動モード)と、上下方向(図中Y方向)の振動(第2方向の振動,第2振動モード)が発生する。そしてこの2つの振動によって、弾性体12には、図5(b)に示すように、進行波が生成される。
FIG. 5 is a diagram illustrating a vibration mode that is excited when the drive signal input to the piezoelectric body 11 is a drive frequency. (A) is the figure which looked at the elastic body 12 from the side, (b) is a perspective view.
The vibrations excited by the elastic body 12 when the drive signal input to the piezoelectric body 11 is the drive frequency are two signals shown in the figure. The drive frequency is a frequency of a signal applied to the piezoelectric body 11 when the vibration wave motor 10 is normally driven.
When a drive signal having a drive frequency is applied to the piezoelectric body 11, vibration in the circumferential direction (X direction in the figure) (vibration in the first direction, first vibration mode) and vibration in the vertical direction (Y direction in the figure) (first direction). (Bidirectional vibration, second vibration mode) occurs. As a result of these two vibrations, a traveling wave is generated in the elastic body 12 as shown in FIG.

本実施形態の振動波モータ10は、この進行波を生成して移動子15を移動するのに先立って、第1方向の振動と第2方向の振動と異なる方向の振動(第3方向の振動,第3振動モード)を弾性体12に発生させる。
本実施形態において、この第3方向の振動は第1の方向の振動と第2方向の振動とに対して垂直な方向の振動である。図6は、この第3方向の振動が加えられた弾性体12の斜視図である。図示するように、第3方向の振動は、弾性体12の径方向(図中Z方向)の振動モードである。すなわち、第3方向の振動は、駆動周波数範囲外に存在し、径方向の振動成分を有するねじれ振動等である。
The vibration wave motor 10 according to the present embodiment generates vibrations in directions different from the vibrations in the first direction and the second direction (the vibrations in the third direction) prior to generating the traveling wave and moving the moving element 15. , The third vibration mode) is generated in the elastic body 12.
In the present embodiment, the vibration in the third direction is a vibration in a direction perpendicular to the vibration in the first direction and the vibration in the second direction. FIG. 6 is a perspective view of the elastic body 12 to which the vibration in the third direction is applied. As illustrated, the vibration in the third direction is a vibration mode in the radial direction (Z direction in the figure) of the elastic body 12. That is, the vibration in the third direction is torsional vibration or the like that exists outside the driving frequency range and has a radial vibration component.

振動波モータ10において、弾性体12の駆動面12aに、特に樹脂膜12cが存在する場合、その駆動面12aと移動子15の接触面15aとは、振動波モータ10が非駆動の時に固着する場合がある。この固着により、振動波モータ10を起動する際に、起動性能が不安定になる。
しかし、本実施形態によると、起動前に径方向のねじれ振動を弾性体12に発生させる。 このため、弾性体12の樹脂膜12cが塗布された駆動面12aと、移動子15の接触面15aとの間が固着していた場合、起動前に振動を加えることにより剥離することができる。
また、その際の振動は通常の駆動と異なる方向の振動であるので剥離効果が高い。
In the vibration wave motor 10, particularly when the resin film 12 c is present on the drive surface 12 a of the elastic body 12, the drive surface 12 a and the contact surface 15 a of the moving element 15 are fixed when the vibration wave motor 10 is not driven. There is a case. Due to this fixation, the startup performance becomes unstable when the vibration wave motor 10 is started.
However, according to the present embodiment, torsional vibration in the radial direction is generated in the elastic body 12 before activation. For this reason, when the drive surface 12a coated with the resin film 12c of the elastic body 12 and the contact surface 15a of the moving element 15 are fixed, they can be peeled off by applying vibration before activation.
Moreover, since the vibration at that time is a vibration in a direction different from the normal driving, the peeling effect is high.

さらに、本実施形態において、この初期駆動で第3方向の振動を発生させるために、駆動装置100は、通常駆動の場合の信号の周波数よりも低い周波数の信号を発生して圧電体11に入力する。
それは、周波数が低いほど、大きな振動を発生させることができるからである。本実施形態によると、通常駆動の場合の周波数より低い周波数の信号を圧電体11に入力するため、弾性体12に発生する振動は大きく、弾性体12の樹脂膜12cが塗布された駆動面12aと、移動子15の接触面15aとの間の剥離効果がさらに高まる。
ただし、これに限定されるわけではなく、通常駆動の場合の信号の周波数よりも高い周波数の信号であっても剥離効果を得ることはできる。
Furthermore, in this embodiment, in order to generate the vibration in the third direction by this initial driving, the driving device 100 generates a signal having a frequency lower than the frequency of the signal in the case of normal driving and inputs it to the piezoelectric body 11. To do.
This is because the lower the frequency, the greater the vibration that can be generated. According to the present embodiment, since a signal having a frequency lower than that in the case of normal driving is input to the piezoelectric body 11, vibration generated in the elastic body 12 is large, and the driving surface 12a on which the resin film 12c of the elastic body 12 is applied. And the peeling effect between the contact surface 15a of the moving element 15 further increases.
However, the present invention is not limited to this, and a peeling effect can be obtained even with a signal having a frequency higher than the signal frequency in the case of normal driving.

そして、本実施形態の振動波モータ10は、弾性体12と移動子15の接触状態を一度開放した後、通常のモードで駆動される。   The vibration wave motor 10 of the present embodiment is driven in a normal mode after once releasing the contact state between the elastic body 12 and the moving element 15.

以上、本実施形態によると、第3方向の振動で弾性体を振動させた後、曲げ振動等の所望の振動で弾性体12を駆動することで、弾性体12と移動子15の接触状態の影響を除外し振動波モータ10の起動性の向上を実現できる。   As described above, according to the present embodiment, after the elastic body is vibrated by the vibration in the third direction, the elastic body 12 is driven by the desired vibration such as bending vibration, so that the contact state between the elastic body 12 and the moving element 15 is reached. The startability of the vibration wave motor 10 can be improved by removing the influence.

本実施形態において、この初期駆動で第3方向の振動を発生させるために、駆動装置100は、通常駆動の場合の信号の周波数よりも低い周波数の信号を発生して圧電体11に入力する。このため、弾性体12に発生する振動は大きく、弾性体12の樹脂膜12cが塗布された駆動面12aと、移動子15の接触面15aとの間の剥離効果がさらに高まる。   In this embodiment, in order to generate the vibration in the third direction by this initial driving, the driving device 100 generates a signal having a frequency lower than the frequency of the signal in the case of normal driving and inputs the signal to the piezoelectric body 11. For this reason, the vibration which generate | occur | produces in the elastic body 12 is large, and the peeling effect between the drive surface 12a to which the resin film 12c of the elastic body 12 was apply | coated and the contact surface 15a of the moving element 15 further increases.

1:カメラ、3:レンズ鏡筒、10:振動波モータ、11:圧電体、12:弾性体、12a:駆動面、12b:溝、12c:樹脂膜、13:振動子、15:移動子、15a:接触面、100:駆動装置、101:発振部、102:制御部、103:移相部、104:増幅部、105:回転検出部   1: camera, 3: lens barrel, 10: vibration wave motor, 11: piezoelectric body, 12: elastic body, 12a: driving surface, 12b: groove, 12c: resin film, 13: vibrator, 15: mover, 15a: contact surface, 100: driving device, 101: oscillation unit, 102: control unit, 103: phase shift unit, 104: amplification unit, 105: rotation detection unit

Claims (6)

信号の入力により振動する圧電体、前記圧電体に接合され、前記圧電体の振動によって振動され、駆動面に進行波を生じる弾性体、および、前記駆動面に加圧接触され、前記進行波によって駆動される移動子を備える振動波モータを駆動する駆動装置であって、
前記進行波による前記移動子の駆動の際に、第1方向の振動と第2方向の振動を前記弾性体に生じさせる第1信号を前記圧電体に対して発生し、
前記進行波による前記移動子の駆動の前に、前記第1方向と前記第2方向と異なる第3方向の振動を前記弾性体に生じさせる第2信号を前記圧電体に対して発生すること、
を特徴とする振動波モータの駆動装置。
A piezoelectric body that vibrates in response to signal input, an elastic body that is bonded to the piezoelectric body, vibrates due to vibration of the piezoelectric body, and generates a traveling wave on the driving surface, and is in pressure contact with the driving surface and is driven by the traveling wave A driving device for driving a vibration wave motor including a movable element to be driven,
When the moving element is driven by the traveling wave, a first signal for causing the elastic body to generate a vibration in a first direction and a vibration in a second direction is generated for the piezoelectric body,
Generating a second signal for the piezoelectric body that causes the elastic body to vibrate in a third direction different from the first direction and the second direction before driving the moving element by the traveling wave;
A drive device for a vibration wave motor characterized by the above.
請求項1に記載の振動波モータの駆動装置であって、
前記弾性体と前記移動子との接触面の一方は樹脂膜を有すること、
を特徴とする振動波モータの駆動装置。
It is a drive device of a vibration wave motor according to claim 1,
One of the contact surfaces of the elastic body and the mover has a resin film,
A drive device for a vibration wave motor characterized by the above.
請求項1または2に記載の振動波モータの駆動装置であって、
前記第2信号の周波数は前記第1信号の周波数より低いこと、
を特徴とする振動波モータの駆動装置。
It is a drive device of the vibration wave motor according to claim 1 or 2,
The frequency of the second signal is lower than the frequency of the first signal;
A drive device for a vibration wave motor characterized by the above.
請求項1〜3のいずれか1項に記載の振動波モータの駆動装置であって、
前記弾性体は、円環形状であり、前記第3方向の振動は径方向の振動であること、
を特徴とする振動波モータの駆動装置。
It is a drive device of a vibration wave motor given in any 1 paragraph of Claims 1-3,
The elastic body has an annular shape, and the vibration in the third direction is vibration in a radial direction;
A drive device for a vibration wave motor characterized by the above.
請求項1〜4のいずれか1項に記載の振動波モータの駆動装置及び前記振動波モータを備える光学機器。   An optical apparatus comprising the vibration wave motor drive device according to any one of claims 1 to 4 and the vibration wave motor. 信号の入力により振動する圧電体、前記圧電体に接合され、前記圧電体の振動によって振動され、駆動面に進行波を生じる弾性体、および、前記駆動面に加圧接触され、前記進行波によって駆動される移動子を備える振動波モータを駆動する駆動方法であって、
前記進行波による前記移動子の駆動の際に、第1方向の振動と第2方向の振動を前記弾性体に生じさせる第1信号を前記圧電体に対して発生し、
前記進行波による前記移動子の駆動の前に、前記第1方向と前記第2方向と異なる第3方向の振動を前記弾性体に生じさせる第2信号を前記圧電体に対して発生すること、
を特徴とする振動波モータの駆動方法。
A piezoelectric body that vibrates in response to signal input, an elastic body that is bonded to the piezoelectric body, vibrates due to vibration of the piezoelectric body, and generates a traveling wave on the driving surface, and is in pressure contact with the driving surface and is driven by the traveling wave A driving method for driving a vibration wave motor including a movable element to be driven,
When the moving element is driven by the traveling wave, a first signal for causing the elastic body to generate a vibration in a first direction and a vibration in a second direction is generated for the piezoelectric body,
Generating a second signal for the piezoelectric body that causes the elastic body to vibrate in a third direction different from the first direction and the second direction before driving the moving element by the traveling wave;
A driving method of a vibration wave motor characterized by the above.
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