JP2015102425A - 静電容量型圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧力により変形するダイヤフラム2と、前記ダイヤフラム2とギャップを形成して対向する電極面3Sを有した電極体3と、一端側に前記ダイヤフラム2が接合され、前記電極体3の少なくとも一部が内部に収容されるボディ1と、前記ボディ1内に設けられて前記電極体3の少なくとも一部を前記ボディ1内に配置する絶縁配置体4と、前記絶縁配置体4又は前記電極体3を前記ダイヤフラム2に対して平行な方向に押圧挟持する押圧機構5とを備えた。
【選択図】図3
Description
1 ・・・ボディ
11 ・・・支持部
2 ・・・ダイヤフラム
3 ・・・電極体
31 ・・・測定電極
32 ・・・信号取り出し電極
33 ・・・スプリング(可撓性接続部材)
3A ・・・対向部
3B ・・・貫通部
3C ・・・ねじ部
3D ・・・ナット部材
3E ・・・収容凹部
3F ・・・挿入部
3S ・・・電極面
4 ・・・絶縁配置体
41 ・・・平坦面
5 ・・・押圧機構
51 ・・・第1リング状部材
52 ・・・第2リング状部材
5A ・・・位置調整体
5P ・・・被押圧面
5C ・・・接触面
53 ・・・押圧板
6 ・・・絶縁封止体
SC ・・・固定ねじ
PL ・・・支持面
Claims (6)
- 圧力により変形するダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムとギャップを形成して対向する電極面を有した電極体と、
一端側に前記ダイヤフラムが接合され、前記電極体の少なくとも一部が内部に収容されるボディと、
前記ボディ内に設けられて前記電極体の少なくとも一部を前記ボディ内に配置する絶縁配置体と、
前記絶縁配置体又は前記電極体を前記ダイヤフラムに対して平行な方向に挟んで押圧する押圧機構とを備えたことを特徴とする静電容量型圧力センサ。 - 前記押圧機構が、前記ダイヤフラムに対して垂直な方向の力で押圧される被押圧面と、前記絶縁配置体に接触し、当該絶縁配置体を前記ダイヤフラムに対して傾斜した方向へ押圧する接触面と、を具備する位置調整体を備えた請求項1記載の静電容量型圧力センサ。
- 前記接触面が前記被押圧面に対して傾斜させて形成された傾斜面である請求項2記載の静電容量型圧力センサ。
- 前記位置調整体が、概略リング状をなすものであり、その上面に前記被押圧面が形成され、内側周面に前記接触面が形成されている請求項2又は3記載の静電容量型圧力センサ。
- 前記押圧機構が、前記被押圧面と接触するとともに前記ボディに対して前記垂直な方向にねじ止めされる押圧板をさらに備えた請求項2乃至4いずれかに記載の静電容量型圧力センサ。
- 前記電極体が、前記電極面を有し、前記絶縁配置体に固定される固定電極と、前記ボディの他端側を封止する絶縁封止体によって固定される信号取り出し電極と、前記固定電極及び前記信号取り出し電極を電気的に接続する可撓性接続部材と、を具備する請求項1乃至5いずれかに記載の静電容量型圧力センサ。
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- 2013-11-25 JP JP2013243383A patent/JP6059642B2/ja active Active
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