JP2015102424A - 静電容量型圧力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ボディ1が、前記ダイヤフラム2から前記ボディ1の他端側へ所定距離離間した支持面PLで前記絶縁配置体4を支持する支持部11を有し、前記絶縁配置体4が、前記支持面PL上又は当該支持面PLよりも前記ボディ1の他端側に設けられているとともに、前記平坦面41と前記ダイヤフラム2との間に前記電極面3S及び前記電極体3の少なくとも一部を設けた。
【選択図】図2
Description
1 ・・・ボディ
11 ・・・支持部
2 ・・・ダイヤフラム
3 ・・・電極体
31 ・・・測定電極
32 ・・・信号取り出し電極
33 ・・・スプリング(可撓性接続部材)
3A ・・・対向部
3B ・・・貫通部
3C ・・・ねじ部
3D ・・・ナット部材
3E ・・・収容凹部
3F ・・・挿入部
3S ・・・電極面
4 ・・・絶縁配置体
41 ・・・平坦面
5 ・・・押圧機構
51 ・・・第1リング状部材
52 ・・・第2リング状部材
5A ・・・位置調整体
5P ・・・被押圧面
5C ・・・接触面
53 ・・・押圧板
6 ・・・絶縁封止体
SC ・・・固定ねじ
PL ・・・支持面
Claims (5)
- 圧力により変形するダイヤフラムと、
前記ダイヤフラムとギャップを形成して対向する電極面を有した電極体と、
一端側に前記ダイヤフラムが接合され、前記電極体の少なくとも一部が内部に収容されるボディと、
前記ボディ内に設けられており、前記電極体の少なくとも一部を前記ボディ内に配置する絶縁配置体と、を備え、
前記ボディが、前記ダイヤフラムから前記ボディの他端側へ所定距離離間した支持面で前記絶縁配置体を支持する支持部を有し、
前記絶縁配置体が、前記支持面上又は当該支持面よりも前記ボディの他端側に設けられているとともに、前記支持面と前記ダイヤフラムとの間に前記電極面及び前記電極体の少なくとも一部が設けられていることを特徴とする静電容量型圧力センサ。 - 前記電極体が、前記電極面を有し、前記絶縁配置体に取り付けられる測定電極と、前記ボディの他端側に固定され、前記測定電極から信号を取り出すための信号取り出し電極と、前記測定電極及び前記信号取り出し電極を電気的に接続する可撓性接続部材と、を具備している請求項1記載の静電容量型圧力センサ。
- 前記絶縁配置体のダイヤフラム側の先端と前記ダイヤフラムとの間に設けられた前記電極体の厚み寸法が、前記ダイヤフラムから前記絶縁配置体のダイヤフラム側の先端までの離間距離から前記ギャップ分を引いた寸法と略同じに設定されている請求項1又は2いずれかに記載の静電容量型圧力センサ。
- 前記電極体を前記絶縁配置体に対して固定する固定ねじ止め機構をさらに備えた請求項1乃至3いずれかに記載の静電容量型圧力センサ。
- 前記測定電極が、前記絶縁配置体のダイヤフラム側の先端及び前記ダイヤフラムの間に設けられ、前記電極面が前記ダイヤフラムと対向する対向部と、前記対向部から突出し、前記絶縁配置体を貫通する貫通部とから構成されており、
前記固定ねじ機構が、前記貫通部に形成されたねじ部と、前記ねじ部と螺合し、前記対向部とともに前記絶縁配置体を挟持するナット部材とからなる請求項4記載の静電容量型圧力センサ。
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- 2013-11-25 JP JP2013243381A patent/JP6059641B2/ja active Active
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