JP2015098633A - エッチング方法およびタッチパネルセンサー - Google Patents
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Abstract
【課題】接着層を使って金属層とフィルムとの密着力を保持した上で、鉄液を使って金属層をエッチングしても接着層の黄変現象が抑制できるエッチング技術の提供、すなわち黄変のないタッチフィルムセンサーの提供を目的とした。
【解決手段】接着層2を介して透明基材1の上に固定された金属層3を塩化第二鉄溶液を用いてエッチングするに当たり、塩化第二鉄溶液の液温を、接着層2の軟化点よりも低く設定することを特徴とするタッチパネル用金属フィルム10のエッチング方法であって、前記接着層2の軟化点が、50℃以上である。
【効果】塩化第二鉄溶液の液温を接着層2の軟化点より低く設定することにより、鉄液による金属層3のエッチング時に、接着剤層2が軟化しないので、鉄液の接着層2への付着、浸透が少なく、接着層2の黄変を抑制できる。同時に金属層3とフィルム1間の接着力の低下も抑制できる。
【選択図】図2
【解決手段】接着層2を介して透明基材1の上に固定された金属層3を塩化第二鉄溶液を用いてエッチングするに当たり、塩化第二鉄溶液の液温を、接着層2の軟化点よりも低く設定することを特徴とするタッチパネル用金属フィルム10のエッチング方法であって、前記接着層2の軟化点が、50℃以上である。
【効果】塩化第二鉄溶液の液温を接着層2の軟化点より低く設定することにより、鉄液による金属層3のエッチング時に、接着剤層2が軟化しないので、鉄液の接着層2への付着、浸透が少なく、接着層2の黄変を抑制できる。同時に金属層3とフィルム1間の接着力の低下も抑制できる。
【選択図】図2
Description
本発明は、静電容量型タッチパネルセンサーに係り、特には金属配線パターンのエッチング時に生じる接着層の黄変防止技術に関する。
近年、携帯電話機や、携帯情報端末、カーナビゲーションシステムを始め、様々な電子機器の操作部にタッチパネル型入力装置(以下、タッチパネルセンサーと記す。)が採用されている。タッチパネルセンサーは、液晶表示装置、有機EL装置等の表示用パネルの表示面上に、指先やペン先の接触位置を検出する入力装置として貼り合わせて使用されるものである。タッチパネルセンサーには、その構造及び検出方式の違いにより、抵抗膜型や静電容量型等の様々なタイプがある。
静電容量方式タッチパネルセンサーには表面型と投影型の2つがある。両方式とも指先と導電膜との間での静電容量の変化を捉えて位置を検出する。指がセンサー表面に近づくだけで静電結合が起きるため、接触前でのカーソル表示のようなことが可能となる。押さえつけるものは指や指と同等の静電的な導電性のものである必要があるが、静電容量の変化に応じて流れる交流電流は、接触する媒体のインピーダンスにはよらない。
特に、投影型の静電容量方式は指先の多点検出が可能である。一般に投影型は、電極層と制御ICを搭載する支持基板を保護用の絶縁性樹脂で被覆した構成である。電極層は、図1に示すようにガラスやプラスチックなどの透明な支持基板1上に、導電性電極材料(銅等の金属材料あるいはITO等の透明電極)を用いてX方向電極とY方向電極とがマトリックス状に配設されている。X方向電極とY方向電極が透明基板の同じ側に形成される場合は、交点ではショートしないように絶縁を保って敷設されている(特許文献1、2)。
配線パターンとしては、抵抗は低いほうが好ましいが、金属は遮光性なので十分に細く形成して開口率を高くする必要がある。透明電極は、遮光性はないが抵抗が高いという問題があるので、開口率がある程度確保できるのであれば金属細線が使用される場合が多い。
金属細線パターン4は、PETなど透明なフィルム基材1上に接着層2を介して金属層3を固着した金属フィルム材に、定法のフォトリソ−エッチング工法を適用して形成している(図2(a)参照)。
金属細線パターン4は、PETなど透明なフィルム基材1上に接着層2を介して金属層3を固着した金属フィルム材に、定法のフォトリソ−エッチング工法を適用して形成している(図2(a)参照)。
エッチング工程で使用されるエッチング液には取り扱いやすさやコストの面から鉄液(塩化第二鉄溶液)が広く採用されている。鉄液は、透明で褐色に帯色しているので、金属層のX,Y方向のエッチング工程で、下地の接着層2表面が汚染されてタッチフィルムセンサー自体が黄色くなるという問題がある。
この接着層の黄変問題を回避するには、接着層を無くして、透明フィルム基材上に金属層を、蒸着、スパッタ、めっきなどで直接形成すればよいが、これらの方式では、金属フィルムが高コストとなるという問題がある。さらにフィルム基材1と金属層3の密着が、接着層2を使ったものより劣るという現実がある。
ただ、接着層2を用いた場合でも金属細線の線幅を7μm程度以下にエッチングする場合やドライフィルムの剥離中に、金属細線パターンに剥離や欠けの発生が生じやすくなるとか、あるいは、何かの不都合でタッチパネルセンサーを本体から取り外す場合(リワーク)に金属細線が剥がれ落ちるという問題がある。
ただ、接着層2を用いた場合でも金属細線の線幅を7μm程度以下にエッチングする場合やドライフィルムの剥離中に、金属細線パターンに剥離や欠けの発生が生じやすくなるとか、あるいは、何かの不都合でタッチパネルセンサーを本体から取り外す場合(リワーク)に金属細線が剥がれ落ちるという問題がある。
そこで本発明は、接着層を使って金属層とフィルムとの密着力を十分に保持した上で、鉄液を使って金属層をエッチングしても接着層の黄変現象が抑制できるエッチング技術の提供、すなわち黄変のないタッチフィルムセンサーの提供を目的とした。
本発明の請求項1に係る発明は、接着層を介して透明基材の上に固定された金属層を、塩化第二鉄溶液を用いてエッチングするに当たり、塩化第二鉄溶液の液温を、接着層の軟化点よりも低く設定することを特徴とするエッチング方法としたものである。
本発明の請求項2に係る発明は、前記金属層が、銅であることを特徴とする請求項1に記載のエッチング方法としたものである。
本発明の請求項3に係る発明は、前記接着層の軟化点が、50℃以上であることを特徴とする請求項1に記載のエッチング方法としたものである。
本発明の請求項4に係る発明は、前記接着層が、熱硬化型接着層であることを特徴とする請求項3に記載のエッチング方法としたものである。
本発明の請求項5に係る発明は、前記接着層が、光硬化型接着層であることを特徴とする請求項3に記載のエッチング方法としたものである。
本発明の請求項6に係る発明は、金属層の垂直方向の剥離強度が7N/15mm以上であることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の方法を用いて製造したタッチパネルセンサーとしたものである。
請求項1から請求項5に記載の発明によれば、鉄液を使用する金属層のエッチング工程で接着層が軟化することがないので、鉄液の接着層への付着・浸透が少なく接着層の黄変現象が抑制できる。同時に金属層とフィルム間の接着力の低下も抑制できるという効果がある。
また請求項6に記載の発明によれば、金属層をエッチング工程で細線パターン化しても、あるいはドライフィルム剥離工程等のリワーク時に、金属細線パターンの剥がれが生じないという効果が期待できる。
以下、本発明になるフィルム状のタッチパネルセンサーの製造上の実施態様について図面を用いて説明する。
タッチセンサーとは、図1で示すように配置された導電体4の両端に同じ位相で同じ電圧の交流を加えた場合に、導電体4に指や手のような静電的且つ導電性の媒体を近接させると、接地されているとみなされる媒体と導電体間(これも接地されているので)に容量結合が生じて過剰な交流電流が導電体に流れる現象を利用した電子デバイスである。
したがって、導電体に指が直接触れる必要がなく誘電体を介して接触、近接しても構わない。手がセンサー部の導電体に触れると導電体が汚れるので、通常導電体は防汚性のある透明樹脂類で被覆されて使われるのが通常であるし、導電体(以下、電極と記す。)は必ずしも同一平面上に存在する必要はなく、絶縁性樹脂など間に挟んで配置されていても構わない。ただし、接触媒体(例えば、指)までの実質的な距離が変わってくるので感度が絶縁性樹脂の上にあるか下にあるかで変わる可能性はある。
原理的には、電極材料を適当に置くだけで、どの電極材料のどの辺に近接したかが検出可能であるが、位置センサーとしての精度を保つために直線状電極を、図1に示すようにXYのマトリックス状に配置して、どの電極上のどこ辺りにではなく、どのX方向電極とどのY方向電極であるかを検出して交点から位置を算出している。当然、X方向の電極とY方向の電極は絶縁されている必要がある。また、電極は必ずしも直線状である必要はない。遮光性の金属を使用するのであれば、透過率が許す範囲で見えない細線をできるだけびっしりと配置すると分解能があがることになる。
本発明は、図2(a)に示すように接着層2を介してフィルム基材1に金属箔3(銅箔)を貼り付けた金属フィルム10から、褐色の塩酸第二鉄溶液をつかって金属箔3をエッチングし、図2(b)に示すストライプ状の金属細線パターン4を製造する技術に関する。透明電極より金属細線の方が、配線抵抗が低いからである。この工法では、透明基材1の一方の側に金属細線パターンを形成する場合は、接着層2は2回塩化第二鉄溶液に晒される。両側に形成する場合は、両側の接着層2が1回塩化第二鉄溶液に晒される。この過程で、図2(b)に模式的に示すようにエッチングにより露出する下地の接着層2が黄色に帯色した部分5が発生することがあり、この帯色を防止する技術である。
接着層の一例は、アクリルポリマーあるいはウレタンポリマーをイソシアネートあるいはエポキシ等の架橋材で3次元架橋させたものであるが、該接着層が、黄変するのはエッチング液が接着層表面に付着あるいは浸透し、洗浄・乾燥しても完全に除去されないからである。この黄変は、鉄液でエッチングする限り防ぎえず黄変の程度だけが問題である。
エッチング液が接着層表面から内部に付着・浸透する程度は、接着層の柔らかさに依存するであろう。柔らかいほうが付着しやすく、構造的にも分子間の隙間が相対的に大きくエッチング液が浸透しやすいと考えられるからである。その柔らかさは、3次元ポリマーでは軟化点(ガラス転移温度)を境に大きく変化して、軟化点より高温になるにしたがって低温側より柔らかく分子運動が激しくなる。したがって黄変する程度は、接着層の軟化点と接着層が浸ることになるエッチング液の温度(接着層の実際の温度)に関係するであろう。すなわち、エッチング液の液温を接着層の軟化点を低く設定すれば浸透しにくくなり、黄変が抑制されると予想される。
一方、接着層の金属細線に対する密着力も軟化点に依存する。一般に軟化点より高温側の方が接着層がやわらかく密着力は強いと考えられるが、接着層の温度が軟化点を挟んで
上下に変動すると下地のフィルム基材と金属層の密着力も変化するおそれがある。一度接着したもの同士でも、接着層が軟化すると接着層の流動などにより密着力が元に戻らず低下すると予想できる。
上下に変動すると下地のフィルム基材と金属層の密着力も変化するおそれがある。一度接着したもの同士でも、接着層が軟化すると接着層の流動などにより密着力が元に戻らず低下すると予想できる。
これらの点は、接着層表面から深さ方向に適当な化学分析を行なえば直接に示され得るが、より簡単な光学的分析を行ったので、以下実施例として説明する。
タッチフィルムセンサー用の透明フィルム基材としては、PET以外にPI、PES等の耐熱フィルムも使用できるが本実施例ではPETフィルムを使用した。
評価に使用した接着剤は、熱硬化型ではアクリル/イソシアネート系(1392−Y12,日立化成製)、ウレタン/イソシアネート系(HD−1013、ロックペイント製)、エステル−ウレタン/イソシアネート系(AD−76P1、東洋モートン製)の3種類、紫外線(UV)硬化型は、アクリル/モノマー/開始剤系である。組成の詳細は省略する。
<塗布・貼合>
厚みが100μmで大きさが15cm角のPETフィルム(東レ製、XU42)に熱硬化性接着剤をバーコーティングした。次に、前記接着層の上から12μmの厚みの銅箔(三井金属工業製、TQ−M2−VLP)を貼り合せた。次に、80℃のオーブンで1分間乾燥してから、60℃で48時間エージングして、硬化促進を行った。
厚みが100μmで大きさが15cm角のPETフィルム(東レ製、XU42)に熱硬化性接着剤をバーコーティングした。次に、前記接着層の上から12μmの厚みの銅箔(三井金属工業製、TQ−M2−VLP)を貼り合せた。次に、80℃のオーブンで1分間乾燥してから、60℃で48時間エージングして、硬化促進を行った。
厚みが100μmで大きさが15cm角のPETフィルム(東レ製、XU42)に紫外線(UV)硬化性接着剤をバーコーティングした。次に、前記接着層の上から12μmの厚みの銅箔(三井金属工業製、TQ−M2−VLP)を貼り合せた。次に、80℃のオーブンで1分間乾燥してから、高圧水銀ランプを使用して500mJ/cm2で紫外線照射を行って、硬化促進を行った。
<エッチング>
所定温度に保った塩化第二鉄溶液(FeCl3)で満たされた恒温漕の中に、前記銅箔付きフィルムを所定時間浸漬し同時に超音波を印加して、銅を完全に溶出させた。浸漬時間は、鉄液の温度が40,50,60℃の場合、それぞれ12,7,5分程度であった。
本実施例の銅箔の厚みは12μmであるが、一般には目標とする銅細線の線幅によるが、1〜20μmの範囲である。塩化第二鉄の液温は、40〜60℃の範囲で調べたが概ね50℃程度が好ましかった。
所定温度に保った塩化第二鉄溶液(FeCl3)で満たされた恒温漕の中に、前記銅箔付きフィルムを所定時間浸漬し同時に超音波を印加して、銅を完全に溶出させた。浸漬時間は、鉄液の温度が40,50,60℃の場合、それぞれ12,7,5分程度であった。
本実施例の銅箔の厚みは12μmであるが、一般には目標とする銅細線の線幅によるが、1〜20μmの範囲である。塩化第二鉄の液温は、40〜60℃の範囲で調べたが概ね50℃程度が好ましかった。
<測定・評価>
次に、剥離後のフィルムを純水で洗浄乾燥してから、分光光度計を使って色度測定(L*a*b*表色系)を行った。L*a*b*表色系では、明度をL*、色相と彩度を示す色度をa*、b*で表わしているa*、b*は、色の方向を示しており、a*は赤方向、―a*は緑方向、そしてb*は黄方向、−b*は青方向を示している。数値が大きくなるに従って色あざやかになり、小さいとくすんだ色になる。
次に、剥離後のフィルムを純水で洗浄乾燥してから、分光光度計を使って色度測定(L*a*b*表色系)を行った。L*a*b*表色系では、明度をL*、色相と彩度を示す色度をa*、b*で表わしているa*、b*は、色の方向を示しており、a*は赤方向、―a*は緑方向、そしてb*は黄方向、−b*は青方向を示している。数値が大きくなるに従って色あざやかになり、小さいとくすんだ色になる。
硬化したあとの接着剤については、動的粘弾性測定装置(DMA)を用いて軟化点(ガラス転移温度)の評価を行った。
<結果・考察>
結果を表1にまとめた。また、軟化点の決まっている接着剤を塩化第二鉄の異なる液温でエッチングし時の色度上の黄味度(b*)の違いを図3に改めて示した。
軟化点に対して塩化第二鉄溶液の液温が近づくと黄味度(b*)の増加が認められた。増加の程度は、液温が40〜60℃の範囲であるが、軟化点が低いほど大きかった。軟化点が低い比較例1(33℃)と比較例2(−8℃)では、液温が40℃でも黄変が激しかった。この傾向は、接着層が熱硬化型でも紫外線硬化型でも変わらなかった。
結果を表1にまとめた。また、軟化点の決まっている接着剤を塩化第二鉄の異なる液温でエッチングし時の色度上の黄味度(b*)の違いを図3に改めて示した。
軟化点に対して塩化第二鉄溶液の液温が近づくと黄味度(b*)の増加が認められた。増加の程度は、液温が40〜60℃の範囲であるが、軟化点が低いほど大きかった。軟化点が低い比較例1(33℃)と比較例2(−8℃)では、液温が40℃でも黄変が激しかった。この傾向は、接着層が熱硬化型でも紫外線硬化型でも変わらなかった。
黄味度が2.5以上になるとタッチパネル用センサーとしては実用的でないので、液温が一般には50℃程度であるので、軟化点少なくとも50℃以上であるのが好ましいという結果である。液温を50℃以上に高めてエッチング速度を速めるような場合には、軟化点は5℃以上好ましくは10℃以上高く設定するのが望ましい。
<剥離力測定>
エッチング後に、垂直方向の剥離強度を測定した結果を表1の右に示したが、剥離強度は液温と軟化点の差によらず一定であった。軟化点以上に温度が上がっても密着力はそれほど影響を受けなかった。絶対値は実施例1から実施例3は、概ね7〜7.4N/15mm程度、軟化点が比較的低い比較例では予想通り密着力は前記数値よりは高かった。
7N/15mm程度の剥離力があれば、本発明者の実験では、金属細線の線幅を7μm程度にしても、エッチング時にもリワーク時にも細線が剥がれたり欠けたりする現象は見出されなかった。
エッチング後に、垂直方向の剥離強度を測定した結果を表1の右に示したが、剥離強度は液温と軟化点の差によらず一定であった。軟化点以上に温度が上がっても密着力はそれほど影響を受けなかった。絶対値は実施例1から実施例3は、概ね7〜7.4N/15mm程度、軟化点が比較的低い比較例では予想通り密着力は前記数値よりは高かった。
7N/15mm程度の剥離力があれば、本発明者の実験では、金属細線の線幅を7μm程度にしても、エッチング時にもリワーク時にも細線が剥がれたり欠けたりする現象は見出されなかった。
アルミ箔を鉄液のような着色した液を用いてエッチングする場合にも、接着層を使用するのであれば液温と接着層の軟化点の関係について同様なことが言える。
1、フィルム基材
2、接着層
3、金属箔
4、金属細線
5、黄変部分
10、金属フィルム
2、接着層
3、金属箔
4、金属細線
5、黄変部分
10、金属フィルム
Claims (6)
- 接着層を介して透明基材の上に固定された金属層を、塩化第二鉄溶液を用いてエッチングするに当たり、塩化第二鉄溶液の液温を、接着層の軟化点よりも低く設定することを特徴とするエッチング方法。
- 前記金属層が、銅であることを特徴とする請求項1に記載のエッチング方法。
- 前記接着層の軟化点が、50℃以上であることを特徴とする請求項1に記載のエッチング方法。
- 前記接着層が、熱硬化型接着層であることを特徴とする請求項3に記載のエッチング方法。
- 前記接着層が、光硬化型接着層であることを特徴とする請求項3に記載のエッチング方法。
- 金属層の垂直方向の剥離強度が、7N/15mm以上であることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の方法を用いて製造したタッチパネルセンサー。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013239896A JP2015098633A (ja) | 2013-11-20 | 2013-11-20 | エッチング方法およびタッチパネルセンサー |
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