JP2015092609A5 - - Google Patents
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Description
特表2000−506313号公報(特許文献1)には、低オン抵抗と高耐圧を両立させたスイッチング素子を提供する技術が記載されている。具体的に、特許文献1には、シリコンカーバイド(SiC)を材料とする接合FET(Junction Field Effect Transistor)と、シリコン(Si)を材料とするMOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)をカスコード接続する構成が記載されている。
本発明の目的は、半導体装置の信頼性を向上できる技術を提供することにある。
続いて、チップ搭載部PLT2上には、例えば、銀ペーストや半田からなる導電性接着材を介して、半導体チップCHP2が搭載されている。この半導体チップCHP2には、例えば、Siを材料としたMOSFETが形成されている。このとき、半導体チップCHP2の裏面がドレイン電極となっており、半導体チップCHP2の表面(主面)にソースパッドSPmとゲートパッドGPmが形成されている。つまり、半導体チップCHP2には、カスコード接続方式をしたスイッチング素子の一部を構成するMOSFETが形成されており、このMOSFETのドレインと電気的に接続されるドレイン電極が半導体チップCHP2の裏面に形成され、MOSFETのソースと電気的に接続されるソースパッドSPm、および、MOSFETのゲート電極と電気的に接続されるゲートパッドGPmが半導体チップCHP2の表面に形成されている。
図5は、本変形例1におけるパッケージPKG3の実装構成を示す図である。図5において、本変形例1におけるパッケージPKG3は、例えば、矩形形状をした金属プレートからなるチップ搭載部PLTを有している。このチップ搭載部PLTは、ドレインリードDLと連結されるように一体的に形成されており、チップ搭載部PLTとドレインリードDLとは電気的に接続されている。そして、このドレインリードDLを離間して挟むように、ソースリードSLとゲートリードGLが配置されている。具体的には、図5に示すように、ドレインリードDLの右側にソースリードSLが配置され、ドレインリードDLの左側にゲートリードGLが配置されている。これらのドレインリードDL、ソースリードSL、および、ゲートリードGLは、互いに電気的に絶縁されている。そして、ソースリードSLの先端部には、幅広領域からなるソースリードポスト部SPSTが形成され、ゲートリードGLの先端部には、幅広領域からなるゲートリードポスト部GPSTが形成されている。
続いて、本変形例4におけるスイッチング素子の他の実装形態の一例について説明する。図23は、本変形例4におけるパッケージPKG13の実装構成を示す図である。図23に示すパッケージPKG13の構成は、図5に示すパッケージPKG3の構成とほぼ同様である。異なる点は、パッケージの外形形状である。具体的に、本変形例4におけるパッケージPKG13のパッケージ形態は、SOP(Small Outline Package)となっている。このように本発明の技術的思想は、図5に示すパッケージPKG3に適用できるだけでなく、図23に示すようなパッケージPKG13にも適用することができる。つまり、スイッチング素子を実装構成するパッケージには、様々な種類の汎用パッケージがあり、本発明の技術的思想は、例えば、図5に示すパッケージPKG3や図23に示すパッケージPKG13に代表される多様な汎用パッケージに適用することができる。具体的に、図23に示すパッケージPKG13によっても、接合FETを形成した半導体チップCHP1上に、MOSFETを形成した半導体チップCHP2を搭載しているため、ソースパッドSPjと、半導体チップCHP2の裏面に形成されているドレイン電極とを直接接続することができる。このことから、図23に示すパッケージPKG13によっても、ワイヤを使用せずに、接合FETのソースと、MOSFETのドレインとを直接接続することができるので、MOSFETのドレインと接合FETのソースとの間の寄生インダクタンス(図2のLse1、Lse2)をほぼ完全になくすことができる。したがって、図23に示すパッケージPKG13によっても、MOSFETへの絶縁耐圧以上の電圧印加を抑制することができ、これによって、カスコード接続されたMOSFETのアバランシェ破壊を効果的に抑制することができる。この結果、本変形例4によれば、半導体装置の信頼性向上を図ることができる。
なお、図24は、本変形例4におけるパッケージPKG13の一断面を示す図である。図24に示すように、チップ搭載部PLT上に、導電性接着材(図示せず)を介して、半導体チップCHP1が搭載され、この半導体チップCHP1上に、導電性接着材(図示せず)を介して、半導体チップCHP2が搭載されている。そして、例えば、半導体チップCHP1(ゲートパッドGPj)とソースリードSL(ソースリードポスト部SPST)が、ワイヤWgjによって電気的に接続されている。なお、本変形例4においては、例えば、図24に示すように、チップ搭載部PLT、半導体チップCHP1、半導体チップCHP2、ワイヤWgjやリードの一部分などが、樹脂からなる封止体MRによって封止されている。このとき、封止体MRの両側の側面からリードの一部が突出している。
半導体チップCHP1の外周領域にターミネーション領域TMjが設けられているが、ターミネーション領域TMjの一部が内部に入り込むようになっており、この領域にゲートパッドGPjが形成されている。このゲートパッドGPjは、アクティブ領域ACTjに形成される複数の接合FETの各ゲート電極とゲート配線を介して接続されている。ここで、図25では、ゲートパッドGPjが、半導体チップCHP1の右辺中央部に配置されている。言い換えれば、ゲートパッドGPjは、右辺に偏って配置されるとともに、左右に延在する中心線に対して対称となるように配置されている。これにより、複数の接合FETの各ゲート電極とゲートパッドGPjを接続するゲート配線の距離のばらつきを抑制できる。このため、図25に示すレイアウト構成によれば、半導体チップCHP1内に形成されている複数の接合FETの特性を揃えて利用できる利点が得られる。
続いて、図27は、図25および図26のA−A線で切断した断面図である。図27に示すように、半導体基板SUBjの裏面にドレイン電極DEjが形成されており、半導体基板SUBjの主面(表面)にドリフト層DFTjが形成されている。そして、ドリフト層DFTj上にアクティブ領域ACTjが形成されており、このアクティブ領域ACTjに接合FETのゲート電極およびソース領域が形成されている。アクティブ領域ACTjの端部には、耐圧を確保するためのターミネーション領域TMjが形成されており、アクティブ領域ACTj上にソースパッドSPjが形成されている。このソースパッドSPjの端部を覆うように、例えば、酸化シリコン膜からなる絶縁膜IL1が形成されている。ここまでの構成が、接合FETを形成した半導体チップCHP1の構造であり、この接合FETを形成した半導体チップCHP1上に、MOSFETを形成した半導体チップCHP2が搭載されている。
また、図27に示すように、本実施の形態2におけるレイアウト構成によれば、アクティブ領域ACTj上にソースパッドSPjを配置しているため、接合FETを流れる電流を大きくすることができる。そして、この場合、ソースパッドSPjの大面積化も可能であるため、ソースパッドSPj上に搭載される半導体チップCHP2の面積も大きくすることができる。すなわち、半導体チップCHP2の面積を大きくすることができるということは、半導体チップCHP2内に形成されるMOSFETの数を増加できることを意味し、この結果、複数のMOSFET全体を流れる電流を大きくすることができる。このように、本実施の形態2におけるレイアウト構成によれば、複数の接合FET全体を流れる電流、および、複数のMOSFET全体を流れる電流を大きくすることができるので、接合FETとMOSFETとをカスコード接続したスイッチング素子の大電流化を容易に実現することができる。さらに、本実施の形態2によれば、シリコンに比べて原理的に高耐圧および低オン抵抗を実現可能なシリコンカーバイドを利用した接合FETを使用しているため、大電流化、高耐圧化、および、低オン抵抗化を両立できるスイッチング素子を提供することができる。
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