JP2015088624A - 基板処理装置及びシャッタ部材 - Google Patents
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Abstract
Description
第1の実施形態における基板処理装置は、1つの実施形態において、開口部を有し、減圧して気密に維持されるチャンバと、チャンバ内に基板を搬入出し、開口部を開閉する第1の開閉部材と、開口部をチャンバの内部から開閉する第2の開閉部材と、第2の開閉部材を開閉するための駆動部と、第2の開閉部材と駆動部とを連結する軸である連結軸と、連結軸に設けられ、チャンバ内と大気側を遮断するとともに、ラジカルやイオンを減衰させる軸受部材と、備える。また、第1の実施形態における基板処理装置は、1つの実施形態において軸受部材は、連結軸が挿入され、ラジカルやイオンを減衰させるための減衰機構と減圧機構をカバーする第1のブロック状の第1の部材と、連結軸に配置されて大気と遮断するシール部材と接触し、連結軸が挿入される第2のブロック状の第2の部材とを有する。また、第1の実施形態における基板処理装置は、1つの実施形態において第1の部材の一端と第2の部材の一端を勘合するように連結し、連結部からラジカルが侵入する侵入経路が形成され、経路が連結軸の延伸方向に折り返すように形成される。また、第1の実施形態における基板処理装置は、1つの実施形態においてシール部材は、その引っ張り強さが12.1(MPa)より大きい材料である。
図1は、第1の実施形態に係る基板処理装置の概略構成を示す断面図である。なお、以下では、基板処理装置がプラズマ処理装置である場合を例に説明するが、これに限定されるものではなく、シャッタ部材を有する任意の基板処理装置であって良い。
10 チャンバ
50 バッフル板
51 搬入出口
52 ゲートバルブ
53 シールドリング
54 カバーリング
55 シャッタ部材
55a シャッタ
55b 駆動部
55c 連結軸
55d 軸受部材
70 第1の面
71 溝部
72 第1の部材
73 第2の面
74 第2の部材
75 内壁
76 第3の部材
Claims (10)
- 開口部を有し、減圧して気密に維持されるチャンバと、
前記チャンバ内に基板を搬入出し、前記開口部を開閉する第1の開閉部材と、
前記開口部を前記チャンバの内部から開閉する第2の開閉部材と、
前記第2の開閉部材を開閉するための駆動部と、
前記第2の開閉部材と前記駆動部とを連結する軸である連結軸と、
前記連結軸に設けられ、前記チャンバ内と大気側を遮断するとともに、ラジカルやイオンを減衰させる軸受部材と、
を備え、
前記軸受部材は、
前記連結軸が挿入され、前記ラジカルやイオンを減衰させるための減衰機構と
前記減圧機構をカバーする第1のブロック状の第1の部材と、
前記連結軸に配置されて前記大気と遮断するシール部材と接触しながら前記連結軸が挿入される第2のブロック状の第2の部材と、
を有し、
前記第1の部材の一端と第2の部材の一端を勘合するように連結し、前記連結部から前記ラジカルが侵入する侵入経路が形成され、前記経路が前記連結軸の延伸方向に折り返すように形成され、
前記シール部材は、その引っ張り強さが12.1(MPa)より大きい材料であることを特徴する基板処理装置。 - 前記減衰機構は、前記連結軸と接触する内側に凸部が形成され、該凸部の先端が前記連結軸に接触することを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記減衰機構は、ラジカルトラップリングであることを特徴とする請求項1又は2に記載の基板処理装置。
- 前記シール部材は、Oリングからなり、フッ素系のОリングであることを特徴とする請求項1〜2のいずれか1つに記載の基板処理装置。
- 前記軸受部材は、
前記第2の部材の前記連結軸側の内壁と前記連結軸との間、及び、前記第1の部材の前記連結軸側の内壁との間に設けられ、前記連結軸の延伸方向に延びて前記第1の部材にあてはまる凸部を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載の基板処理装置。 - 開口部を有して減圧して気密に維持されるチャンバの前記開口部を前記チャンバの内部から開閉する第2の開閉部材と、
前記第2の開閉部材を開閉するための駆動部と、
前記第2の開閉部材と前記駆動部とを連結する軸である連結軸と、
前記連結軸に設けられ、前記チャンバ内と大気側を遮断するとともに、ラジカルやイオンを減衰させる軸受部材と、
を備え、
前記軸受部材は、
前記連結軸が挿入され、前記ラジカルやイオンを減衰させるための減衰機構と
前記減圧機構をカバーする第1のブロック状の第1の部材と、
前記連結軸に配置されて前記大気と遮断するシール部材と接触して、前記連結軸が挿入される第2のブロック状の第2の部材と、
を有し、
前記第1の部材の一端と第2の部材の一端を勘合するように連結し、前記連結部から前記ラジカルが侵入する侵入経路が形成され、前記経路が前記連結軸の延伸方向に折り返すように形成され、
前記シール部材は、その引っ張り強さが12.1(MPa)より大きい材料であることを特徴するシャッタ部材。 - 前記減衰機構は、前記連結軸と接触する内側に凸部が形成され、該凸部の先端が前記連結軸に接触することを特徴とする請求項5に記載のシャッタ部材。
- 前記減衰機構は、ラジカルトラップリングであることを特徴とする請求項5又は6に記載のシャッタ部材。
- 前記シール部材は、Oリングからなり、フッ素系のОリングであることを特徴とする請求項5〜7のいずれか1つに記載のシャッタ部材。
- 前記減圧機構は、
前記第2の部材の前記連結軸側の内壁と前記連結軸との間、及び、前記第1の部材の前記連結軸側の内壁との間に設けられ、前記連結軸の延伸方向に延びて前記第1の部材にあてはまる凸部を有することを特徴とする請求項5〜8のいずれか1つに記載のシャッタ部材。
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