JP2015087652A - Manufacturing method of liquid crystal display device - Google Patents

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道規 日下部
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To reduce display unevenness due to forming failure of an orientation film.SOLUTION: The manufacturing method of the liquid crystal display device LCD includes a step to drip an orientation film material onto substrate 20 from a head 12 while moving the substrate 20 in a column direction in which a data line DL extends with respect to the head 12 provided to an ink jet device 10, which discharges the orientation film material.

Description

本発明は、液晶表示装置の製造方法に関し、特に、配向膜の形成方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal display device, and more particularly to a method for forming an alignment film.

液晶表示装置には、液晶層を介して対向配置される一対の基板それぞれにおける、液晶層に対向する側に、液晶分子を配向させるための配向膜が形成されている。従来、配向膜の膜厚にばらつきが生じると、表示品位の低下(例えば、表示ムラ)を招くことが知られている。また、配向膜の膜厚のばらつきに起因して生じる表示ムラを低減するための配向膜の形成方法が、種々提案されている。   In the liquid crystal display device, an alignment film for aligning liquid crystal molecules is formed on the side facing the liquid crystal layer in each of a pair of substrates arranged to face each other via the liquid crystal layer. Conventionally, it is known that when the film thickness of the alignment film varies, the display quality deteriorates (for example, display unevenness). Various methods for forming an alignment film for reducing display unevenness caused by variations in the film thickness of the alignment film have been proposed.

例えば、特許文献1には、インクジェット方式を用いた配向膜の形成方法が開示されている。インクジェット方式は、配向膜材料をインクジェットノズルから基板表面全体に滴下することにより配向膜を形成する方式である。特許文献1に開示されている方法では、配向膜材料を滴下するインクジェットノズルの移動方向を調整することにより、上記表示ムラを低減している。   For example, Patent Document 1 discloses a method for forming an alignment film using an inkjet method. The inkjet system is a system in which an alignment film is formed by dropping an alignment film material from the inkjet nozzle onto the entire substrate surface. In the method disclosed in Patent Document 1, the display unevenness is reduced by adjusting the moving direction of the inkjet nozzle that drops the alignment film material.

WO2010/058718号公報WO2010 / 058718 特開2010−102286号公報JP 2010-102286 A

しかしながら、特許文献1に開示された方法では、インクジェットノズルから滴下された配向膜材料が、基板上に形成されたコンタクトホール内に流れ込む現象が生じる。この現象は、特に、特許文献2に開示されているような、画素領域に対してコンタクトホールの領域が比較的大きい場合に顕著となる。そして、配向膜材料がコンタクトホール内に流れ込むと、配向膜が適切に形成されない領域が生じ、表示ムラが生じるという問題がある。   However, in the method disclosed in Patent Document 1, a phenomenon occurs in which the alignment film material dropped from the inkjet nozzle flows into a contact hole formed on the substrate. This phenomenon is particularly prominent when the contact hole region is relatively large with respect to the pixel region as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-228688. When the alignment film material flows into the contact hole, a region where the alignment film is not properly formed is generated, resulting in display unevenness.

本発明は、上記実情に鑑みてなされたものであり、その目的は、配向膜の形成不良に起因する表示ムラを低減することができる液晶表示装置の製造方法を提供することにある。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object of the present invention is to provide a method of manufacturing a liquid crystal display device that can reduce display unevenness due to poor alignment film formation.

本発明に係る液晶表示装置の製造方法は、上記課題を解決するために、基板上に、第1方向に延在する複数のデータ線と、該第1方向とは異なる第2方向に延在する複数のゲート線と、前記データ線及び前記ゲート線に接続される薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタの導通電極にコンタクトホールを介して電気的に接続される画素電極と、前記画素電極を覆う配向膜と、が形成される液晶表示装置の製造方法であって、前記基板と、インクジェット方式により前記基板上に前記配向膜の材料を滴下する滴下装置とを、相対的に前記第1方向に移動させるとともに、前記配向膜の材料を前記基板上に滴下する工程を含む、ことを特徴とする。   In order to solve the above problems, a method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention includes a plurality of data lines extending in a first direction on a substrate and a second direction different from the first direction. A plurality of gate lines, a thin film transistor connected to the data line and the gate line, a pixel electrode electrically connected to a conductive electrode of the thin film transistor through a contact hole, and an alignment film covering the pixel electrode , Wherein the substrate and a dropping device for dropping the material of the alignment film on the substrate by an inkjet method are relatively moved in the first direction. And a step of dropping the material of the alignment film onto the substrate.

本発明に係る液晶表示装置の製造方法では、前記工程を複数回繰り返し行ってもよい。   In the method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention, the above steps may be repeated a plurality of times.

本発明に係る液晶表示装置の製造方法では、隣り合う2本の前記データ線と、隣り合う2本の前記ゲート線とにより規定される1つの画素がマトリクス状に配列された複数の画素における前記第1方向の配列ピッチと略同じピッチ、又は、該配列ピッチよりも小さいピッチで、前記配向膜の材料を前記基板上に滴下してもよい。   In the method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention, the pixels in a plurality of pixels in which one pixel defined by two adjacent data lines and two adjacent gate lines are arranged in a matrix. The alignment film material may be dropped onto the substrate at substantially the same pitch as the arrangement pitch in the first direction or at a pitch smaller than the arrangement pitch.

本発明に係る液晶表示装置の製造方法では、前記基板上における、前記配向膜の材料の滴下位置の前記第2方向のピッチは、前記複数の画素における前記第1方向の配列ピッチよりも大きくてもよい。   In the method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention, the pitch in the second direction of the dropping position of the material for the alignment film on the substrate is larger than the arrangement pitch in the first direction in the plurality of pixels. Also good.

本発明に係る液晶表示装置の製造方法は、前記基板上に、前記ゲート線を形成する工程と、前記ゲート線を覆うように、第1絶縁膜を形成する工程と、前記第1絶縁膜上に、前記データ線及び前記薄膜トランジスタの導通電極を形成する工程と、前記データ線及び前記薄膜トランジスタの導通電極を覆うように、第2絶縁膜を形成する工程と、前記第2絶縁膜に、前記コンタクトホールを形成する工程と、前記第2絶縁膜上及び前記コンタクトホール内に、前記画素電極を形成する工程と、をさらに含んでもよい。   The method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention includes a step of forming the gate line on the substrate, a step of forming a first insulating film so as to cover the gate line, and a step on the first insulating film. Forming a conductive electrode of the data line and the thin film transistor; forming a second insulating film so as to cover the conductive electrode of the data line and the thin film transistor; and contacting the contact with the second insulating film. The method may further include a step of forming a hole, and a step of forming the pixel electrode on the second insulating film and in the contact hole.

本発明に係る液晶表示装置の製造方法では、前記第2絶縁膜は、有機材料からなっていてもよい。   In the method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention, the second insulating film may be made of an organic material.

本発明に係る液晶表示装置の製造方法は、前記基板上に前記配向膜の材料を滴下した後、該基板を前記第2方向に搖動させる工程をさらに含んでもよい。   The method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention may further include a step of dropping the material of the alignment film on the substrate and then sliding the substrate in the second direction.

本発明に係る液晶表示装置の製造方法は、前記配向膜を光配向処理する工程をさらに含んでもよい。   The method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention may further include a step of performing photo-alignment processing on the alignment film.

本発明に係る液晶表示装置の製造方法によれば、画像表示領域全体に配向膜が形成される。よって、配向膜の形成不良に起因する表示ムラを低減することができる。   According to the method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention, the alignment film is formed over the entire image display region. Therefore, display unevenness due to poor alignment film formation can be reduced.

本発明の実施形態に係る液晶表示装置の全体構成を示す図である。1 is a diagram illustrating an overall configuration of a liquid crystal display device according to an embodiment of the present invention. 図1に示す液晶表示装置における画素の平面図である。It is a top view of the pixel in the liquid crystal display device shown in FIG. 図2のA−A´断面図である。It is AA 'sectional drawing of FIG. インクジェット装置の構成を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the structure of an inkjet apparatus. 本実施形態に係る配向膜の形成方法を示す平面図である。It is a top view which shows the formation method of the alignment film which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る配向膜の形成方法を示す平面図である。It is a top view which shows the formation method of the alignment film which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る配向膜の形成方法を示す平面図である。It is a top view which shows the formation method of the alignment film which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る配向膜の形成方法を示す平面図である。It is a top view which shows the formation method of the alignment film which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る配向膜の形成方法を示す平面図である。It is a top view which shows the formation method of the alignment film which concerns on this embodiment. 比較例に係る配向膜の形成方法を示す平面図である。It is a top view which shows the formation method of the alignment film which concerns on a comparative example. 比較例に係る配向膜の形成方法を示す平面図である。It is a top view which shows the formation method of the alignment film which concerns on a comparative example. 比較例に係る配向膜の形成方法を示す平面図である。It is a top view which shows the formation method of the alignment film which concerns on a comparative example. 比較例に係る配向膜の形成方法を示す平面図である。It is a top view which shows the formation method of the alignment film which concerns on a comparative example. 比較例に係る配向膜の形成方法を示す平面図である。It is a top view which shows the formation method of the alignment film which concerns on a comparative example. 本実施形態に係る配向膜の形成方法を示す平面図である。It is a top view which shows the formation method of the alignment film which concerns on this embodiment.

本発明の実施形態について、図面を用いて以下に説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1は、本実施形態に係る液晶表示装置の全体構成を示す平面図である。液晶表示装置LCDは、領域に大別すると、画像表示領域DIAと、画像表示領域DIAの周囲の領域である額縁領域FRAとにより構成されている。画像表示領域DIAには、隣り合う2本のゲート線GLと、隣り合う2本のデータ線DLとで囲まれた画素Pが、行方向及び列方向にマトリクス状に複数配列されている。すなわち、画像表示領域DIAは、複数の画素Pの集合領域(有効画素領域)として規定される。なお、データ線DLが延在する方向を列方向(図中の上下方向)(第1方向)とし、ゲート線GLが延在する方向を行方向(図中の左右方向)(第2方向)とする。額縁領域FRAには、ゲート線GLを駆動するゲート線駆動回路と、データ線DLを駆動するデータ線駆動回路とが形成されている。   FIG. 1 is a plan view showing the overall configuration of the liquid crystal display device according to the present embodiment. The liquid crystal display device LCD is roughly composed of an image display area DIA and a frame area FRA that is an area around the image display area DIA. In the image display area DIA, a plurality of pixels P surrounded by two adjacent gate lines GL and two adjacent data lines DL are arranged in a matrix in the row direction and the column direction. That is, the image display area DIA is defined as an aggregate area (effective pixel area) of a plurality of pixels P. The direction in which the data line DL extends is defined as the column direction (vertical direction in the drawing) (first direction), and the direction in which the gate line GL extends is defined in the row direction (horizontal direction in the drawing) (second direction). And In the frame area FRA, a gate line driving circuit for driving the gate line GL and a data line driving circuit for driving the data line DL are formed.

図2は、画像表示領域DIAの一部の構成を示す平面図であり、図3は、図2のA−A´断面図である。図3に示すように、液晶表示装置LCDは、背面側に配置される薄膜トランジスタ基板SUB1(以下、TFT基板という。)(第1基板)と、表示面側に配置され、TFT基板SUB1に対向するカラーフィルタ基板SUB2(以下、CF基板という。)(第2基板)と、TFT基板SUB1及びCF基板SUB2の間に挟持される液晶層LCと、を含んで構成されている。なお、図2では、便宜上、表示面側から、CF基板SUB2を透視し、TFT基板SUB1を見た状態を示している。   FIG. 2 is a plan view showing a configuration of a part of the image display area DIA, and FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA ′ of FIG. As shown in FIG. 3, the liquid crystal display device LCD includes a thin film transistor substrate SUB1 (hereinafter referred to as a TFT substrate) (hereinafter referred to as a TFT substrate) (first substrate) disposed on the back side, and is disposed on the display surface side and faces the TFT substrate SUB1. A color filter substrate SUB2 (hereinafter referred to as a CF substrate) (second substrate) and a liquid crystal layer LC sandwiched between the TFT substrate SUB1 and the CF substrate SUB2 are configured. For convenience, FIG. 2 shows a state in which the CF substrate SUB2 is seen through from the display surface side and the TFT substrate SUB1 is viewed.

TFT基板SUB1には、列方向に延在する複数のデータ線DLと、行方向に延在する複数のゲート線GLとが形成され、複数のデータ線DLと複数のゲート線GLとのそれぞれの交差部近傍に、薄膜トランジスタTFTが形成されている。   A plurality of data lines DL extending in the column direction and a plurality of gate lines GL extending in the row direction are formed on the TFT substrate SUB1, and each of the plurality of data lines DL and the plurality of gate lines GL is formed. A thin film transistor TFT is formed in the vicinity of the intersection.

画素Pには、スズ添加酸化インジウム(ITO)等の透明導電膜からなる画素電極PITが形成されている。図2に示すように、画素電極PITは、開口部(例えばスリット)を有し、ストライプ状に形成されている。薄膜トランジスタTFTは、ゲート絶縁膜GSN(図3参照)上に、非晶質シリコン(aSi)からなる半導体層SEMが形成され、半導体層SEM上に、ドレイン電極DM及びソース電極SMが形成されている。ドレイン電極DMは、データ線DLに電気的に接続され、ソース電極SMは、コンタクトホールCONTを介して、画素電極PITに電気的に接続されている。   In the pixel P, a pixel electrode PIT made of a transparent conductive film such as tin-added indium oxide (ITO) is formed. As shown in FIG. 2, the pixel electrode PIT has an opening (for example, a slit) and is formed in a stripe shape. In the thin film transistor TFT, a semiconductor layer SEM made of amorphous silicon (aSi) is formed on a gate insulating film GSN (see FIG. 3), and a drain electrode DM and a source electrode SM are formed on the semiconductor layer SEM. . The drain electrode DM is electrically connected to the data line DL, and the source electrode SM is electrically connected to the pixel electrode PIT via the contact hole CONT.

画素Pを構成する各部の積層構造は、図3の構成に限定されるものではなく、周知の構成を適用することができる。図3に示す構成では、TFT基板SUB1において、ガラス基板GB1上にゲート線GLが形成され、ゲート線GLを覆うようにゲート絶縁膜GSN(第1絶縁膜)が形成されている。ゲート絶縁膜GSN上には、半導体層SEMが形成され、半導体層SEM上に、データ線DLと、薄膜トランジスタTFTを構成する導通電極(ドレイン電極DM、ソース電極SM)とが形成されている。データ線DL、ドレイン電極DM及びソース電極SMを覆うように、保護絶縁膜PASが形成され、保護絶縁膜PAS上に、膜厚の大きい有機絶縁膜OPAS(第2絶縁膜)が形成されている。有機絶縁膜OPAS上には共通電極CITが形成され、共通電極CITを覆うように上層絶縁膜UPASが形成されている。保護絶縁膜PAS、有機絶縁膜OPAS及び上層絶縁膜UPASには、ソース電極SMに達するコンタクトホールCONTが形成されている。上層絶縁膜UPAS上及びコンタクトホールCONT内に、画素電極PITが形成され、これにより、画素電極PITとソース電極SM(一方の導通電極)とが電気的に接続されている。画素電極PITを覆うように、配向膜AFが形成されている。その他、図示はしていないが、TFT基板SUB1には、偏光板等が形成されている。   The stacked structure of each part constituting the pixel P is not limited to the configuration of FIG. 3, and a known configuration can be applied. In the configuration shown in FIG. 3, in the TFT substrate SUB1, the gate line GL is formed on the glass substrate GB1, and the gate insulating film GSN (first insulating film) is formed so as to cover the gate line GL. On the gate insulating film GSN, a semiconductor layer SEM is formed, and on the semiconductor layer SEM, a data line DL and conductive electrodes (drain electrode DM, source electrode SM) constituting the thin film transistor TFT are formed. A protective insulating film PAS is formed so as to cover the data line DL, the drain electrode DM, and the source electrode SM, and a thick organic insulating film OPAS (second insulating film) is formed on the protective insulating film PAS. . A common electrode CIT is formed on the organic insulating film OPAS, and an upper insulating film UPAS is formed so as to cover the common electrode CIT. A contact hole CONT reaching the source electrode SM is formed in the protective insulating film PAS, the organic insulating film OPAS, and the upper insulating film UPAS. A pixel electrode PIT is formed on the upper insulating film UPAS and in the contact hole CONT, whereby the pixel electrode PIT and the source electrode SM (one conductive electrode) are electrically connected. An alignment film AF is formed so as to cover the pixel electrode PIT. In addition, although not shown, a polarizing plate or the like is formed on the TFT substrate SUB1.

CF基板SUB2では、ガラス基板GB2上にブラックマトリクスBM及び着色部CF(例えば、赤色部、緑色部、青色部)が形成され、これらを覆うようにオーバコート層OCが形成されている。その他、図示はしていないが、CF基板SUB2には、配向膜、偏光板等が形成されている。   In the CF substrate SUB2, a black matrix BM and a colored portion CF (for example, a red portion, a green portion, and a blue portion) are formed on the glass substrate GB2, and an overcoat layer OC is formed so as to cover them. In addition, although not shown, an alignment film, a polarizing plate, and the like are formed on the CF substrate SUB2.

図3に示す構成によれば、液晶表示装置LCDは、いわゆるIPS(In Plane Switching)方式の構成を有しているが、本発明に係る液晶表示装置はこれに限定されない。例えば、共通電極CITがCF基板SUB2に形成されていてもよい。具体的には、TFT基板SUB1では、ガラス基板GB1上にゲート線GLが形成され、ゲート線GLを覆うようにゲート絶縁膜GSN(第1絶縁膜)が形成され、ゲート絶縁膜GSN上にデータ線DL及び薄膜トランジスタTFT(ドレイン電極DM、ソース電極SM)が形成され、データ線DL及び薄膜トランジスタTFT上に保護絶縁膜PASが形成され、保護絶縁膜PAS上に有機絶縁膜OPAS(第2絶縁膜)が形成され、保護絶縁膜PAS及び有機絶縁膜OPASにコンタクトホールCONTが形成され、有機絶縁膜OPAS上及びコンタクトホールCONT内に画素電極PITが形成され、画素電極PITを覆うように配向膜AFが形成されていてもよい。   According to the configuration shown in FIG. 3, the liquid crystal display device LCD has a so-called IPS (In Plane Switching) configuration, but the liquid crystal display device according to the present invention is not limited to this. For example, the common electrode CIT may be formed on the CF substrate SUB2. Specifically, in the TFT substrate SUB1, the gate line GL is formed on the glass substrate GB1, the gate insulating film GSN (first insulating film) is formed so as to cover the gate line GL, and the data is formed on the gate insulating film GSN. A line DL and a thin film transistor TFT (drain electrode DM, source electrode SM) are formed, a protective insulating film PAS is formed on the data line DL and thin film transistor TFT, and an organic insulating film OPAS (second insulating film) is formed on the protective insulating film PAS. The contact hole CONT is formed in the protective insulating film PAS and the organic insulating film OPAS, the pixel electrode PIT is formed on the organic insulating film OPAS and in the contact hole CONT, and the alignment film AF is formed so as to cover the pixel electrode PIT. It may be formed.

次に、液晶表示装置LCDの駆動方法を簡単に説明する。ゲート線駆動回路から出力された走査用のゲート電圧がゲート線GLに供給され、データ線駆動回路から出力された映像用のデータ電圧がデータ線DLに供給される。ゲート線GLにゲートオン電圧が供給されると、薄膜トランジスタTFTの半導体層SEMが低抵抗となり、データ線DLに供給されたデータ電圧が、ソース電極SMを介して、ソース電極SMに電気的に接続された画素電極PITに供給される。また、共通電極駆動回路(図示せず)から出力された共通電圧が、共通電極CITに供給される。これにより、画素電極PITと共通電極CITとの間に電界(駆動用電界)が発生し、該電界により液晶層LCが駆動され、画像が表示される。   Next, a method for driving the liquid crystal display device LCD will be briefly described. The scanning gate voltage output from the gate line driving circuit is supplied to the gate line GL, and the video data voltage output from the data line driving circuit is supplied to the data line DL. When a gate-on voltage is supplied to the gate line GL, the semiconductor layer SEM of the thin film transistor TFT becomes low resistance, and the data voltage supplied to the data line DL is electrically connected to the source electrode SM via the source electrode SM. Supplied to the pixel electrode PIT. Further, the common voltage output from the common electrode driving circuit (not shown) is supplied to the common electrode CIT. As a result, an electric field (driving electric field) is generated between the pixel electrode PIT and the common electrode CIT, and the liquid crystal layer LC is driven by the electric field to display an image.

次に、上記構成を有するTFT基板SUB1の製造方法の一例を説明する。   Next, an example of a manufacturing method of the TFT substrate SUB1 having the above configuration will be described.

先ず、ガラス基板GB1上にゲート線GLとなる金属材料をスパッタにより成膜し、ホトエッチング工程でハーフトーン露光を用いてパターン化する。これにより、ゲート線GLが形成される。金属配線材料は、銅Cu、MoとアルミニウムAlの積層膜、チタンTiとAlの積層膜、あるいはMoとタングステンWのMoW合金などを用いることができる。   First, a metal material to be the gate line GL is formed on the glass substrate GB1 by sputtering, and is patterned using halftone exposure in a photoetching process. Thereby, the gate line GL is formed. As the metal wiring material, copper Cu, a laminated film of Mo and aluminum Al, a laminated film of titanium Ti and Al, a MoW alloy of Mo and tungsten W, or the like can be used.

次に、化学気層成長法CVDにより、ゲート線GLを覆うように、シリコンナイトライドからなるゲート絶縁膜GSNを成膜し、ゲート絶縁膜GSN上にアモルファスシリコンや酸化物IGZO等の半導体層SEMを積層する。   Next, a gate insulating film GSN made of silicon nitride is formed by chemical vapor deposition CVD so as to cover the gate line GL, and a semiconductor layer SEM such as amorphous silicon or oxide IGZO is formed on the gate insulating film GSN. Are laminated.

次に、半導体層SEM上に、モリブデンMoと銅Cuの積層膜をスパッタで成膜する。データ線DL、ドレイン電極DM及びソース電極SMは、同時に形成される。   Next, a laminated film of molybdenum Mo and copper Cu is formed on the semiconductor layer SEM by sputtering. The data line DL, the drain electrode DM, and the source electrode SM are formed simultaneously.

次に、データ線DL、ドレイン電極DM及びソース電極SMを覆うように、保護絶縁膜PASを成膜し、保護絶縁膜PAS上に、有機絶縁膜OPASを成膜する。有機絶縁膜OPASは、アクリルを主成分とする感光性の有機材料が用いられる。   Next, the protective insulating film PAS is formed so as to cover the data line DL, the drain electrode DM, and the source electrode SM, and the organic insulating film OPAS is formed over the protective insulating film PAS. For the organic insulating film OPAS, a photosensitive organic material mainly composed of acrylic is used.

次に、有機絶縁膜OPAS上に、ITOからなる共通電極CITを形成し、共通電極CITを覆うように、シリコンナイトライドからなる上層絶縁膜UPASを成膜する。   Next, a common electrode CIT made of ITO is formed on the organic insulating film OPAS, and an upper insulating film UPAS made of silicon nitride is formed so as to cover the common electrode CIT.

次に、ソース電極SMが露出するように、保護絶縁膜PAS、有機絶縁膜OPAS及び上層絶縁膜UPASに開口部(コンタクトホールCONT)を形成する。次に、上層絶縁膜UPAS上及びコンタクトホールCONT内に、透明電極材料であるインジウム、錫、酸化物ITOを成膜し、ホトエッチング工程を経て、画素電極PITを形成する。   Next, an opening (contact hole CONT) is formed in the protective insulating film PAS, the organic insulating film OPAS, and the upper insulating film UPAS so that the source electrode SM is exposed. Next, indium, tin, and oxide ITO, which are transparent electrode materials, are formed on the upper insulating film UPAS and in the contact holes CONT, and a pixel electrode PIT is formed through a photoetching process.

次に、画素電極PITを覆うように、配向膜AFの材料(例えば、ポリイミド樹脂)をインクジェット方式により塗布する。塗布後、配向膜材料を乾燥させて、配向膜AFを形成する。配向膜AFの具体的な形成方法は後述する。次に、配向膜AFに、ラビング処理を施す。なお、光配向膜を形成する場合は、配向膜AFに、所定の偏光紫外線を照射(光配向処理)する。特に、光配向膜を用いた場合には、配向膜の膜厚のばらつきに起因する表示ムラが視認し易くなるため、本発明の効果が顕著となる。以上の工程を経て、TFT基板SUB1が製造される。   Next, a material for the alignment film AF (for example, polyimide resin) is applied by an inkjet method so as to cover the pixel electrode PIT. After the application, the alignment film material is dried to form the alignment film AF. A specific method for forming the alignment film AF will be described later. Next, the alignment film AF is rubbed. When forming a photo-alignment film, the alignment film AF is irradiated with predetermined polarized ultraviolet rays (photo-alignment treatment). In particular, when the photo-alignment film is used, the display unevenness due to the variation in the film thickness of the alignment film becomes easy to visually recognize, and the effect of the present invention becomes remarkable. Through the above steps, the TFT substrate SUB1 is manufactured.

TFT基板SUB1の製造方法は、上記方法に限定されない。TFT基板SUB1の製造方法は、ガラス基板GB1上にゲート線GLを形成する工程と、ゲート線GLを覆うように第1絶縁膜を形成する工程と、第1絶縁膜上にデータ線DL及び薄膜トランジスタTFT(ドレイン電極DM、ソース電極SM)を形成する工程と、データ線DL及び薄膜トランジスタTFTを覆うように第2絶縁膜を形成する工程と、第2絶縁膜にコンタクトホールCONTを形成する工程と、第2絶縁膜上及びコンタクトホールCONT内に画素電極PITを形成する工程と、画素電極PITを覆うように配向膜AFを形成する工程と、を含んでいることが好ましい。また、上記第1絶縁膜は、ゲート絶縁膜GSNであり、上記第2絶縁膜は、有機絶縁膜OPASであることが好ましい。また、TFT基板SUB1の製造方法は、共通電極CITを形成する工程を含んでいてもよい。なお、CF基板SUB2は周知の製造方法により製造することができる。   The manufacturing method of the TFT substrate SUB1 is not limited to the above method. The manufacturing method of the TFT substrate SUB1 includes a step of forming a gate line GL on the glass substrate GB1, a step of forming a first insulating film so as to cover the gate line GL, and a data line DL and a thin film transistor on the first insulating film. A step of forming a TFT (drain electrode DM, source electrode SM), a step of forming a second insulating film so as to cover the data line DL and the thin film transistor TFT, a step of forming a contact hole CONT in the second insulating film, Preferably, the method includes a step of forming the pixel electrode PIT on the second insulating film and in the contact hole CONT, and a step of forming the alignment film AF so as to cover the pixel electrode PIT. The first insulating film is preferably a gate insulating film GSN, and the second insulating film is preferably an organic insulating film OPAS. The manufacturing method of the TFT substrate SUB1 may include a step of forming the common electrode CIT. The CF substrate SUB2 can be manufactured by a known manufacturing method.

[配向膜の形成方法]
次に、配向膜AFの具体的な形成方法について説明する。配向膜AFは、インクジェット方式により配向膜材料を基板上に滴下することにより形成される。図4は、配向膜材料を基板上に滴下するインクジェット装置(滴下装置)の構成を示す模式図である。インクジェット装置10は、基板20を移動可能に載置するステージ11と、配向膜材料を吐出(滴下)する複数のノズル12を備えるヘッド13と、ヘッド13を移動可能に支持するフレーム14と、基板20及びヘッド13の移動速度、配向膜材料の吐出量(滴下量)、塗布周波数などを制御する制御部15と、を備えている。なお、ここでは、便宜上、基板20は、額縁領域FRAを省略し、画像表示領域DIAのみを示している。
[Method for forming alignment film]
Next, a specific method for forming the alignment film AF will be described. The alignment film AF is formed by dropping an alignment film material on the substrate by an ink jet method. FIG. 4 is a schematic diagram illustrating a configuration of an ink jet apparatus (dropping apparatus) that drops an alignment film material onto a substrate. The inkjet apparatus 10 includes a stage 11 on which a substrate 20 is movably mounted, a head 13 including a plurality of nozzles 12 that discharge (drop) the alignment film material, a frame 14 that movably supports the head 13, and a substrate. 20 and a control unit 15 for controlling the moving speed of the head 13, the discharge amount (dropping amount) of the alignment film material, the coating frequency, and the like. Here, for convenience, the substrate 20 omits the frame area FRA and shows only the image display area DIA.

基板20の移動方向及びインクジェット装置10の塗布方向(X方向)は、データ線DLが延在する列方向(第1方向)に設定されており、ヘッド13の移動方向(Y方向)は、ゲート線GLが延在する行方向(第2方向)に設定されている。なお、基板20はステージ11上で列方向(X方向)に移動してもよいし、基板20を固定したステージ11が列方向(X方向)に移動してもよい。また、基板20及びステージ11が固定され、フレーム14が列方向(X方向)に移動してもよい。すなわち、ステージ11に載置される基板20と、配向膜材料を吐出するヘッド13とが、相対的にX方向に移動可能に構成されていればよい。また、ステージ11に載置される基板20は、配向膜形成前のTFT基板SUB1である。   The moving direction of the substrate 20 and the coating direction (X direction) of the inkjet device 10 are set to the column direction (first direction) in which the data lines DL extend, and the moving direction (Y direction) of the head 13 is the gate. It is set in the row direction (second direction) in which the line GL extends. The substrate 20 may move in the row direction (X direction) on the stage 11, or the stage 11 to which the substrate 20 is fixed may move in the row direction (X direction). Further, the substrate 20 and the stage 11 may be fixed, and the frame 14 may move in the column direction (X direction). That is, it is only necessary that the substrate 20 placed on the stage 11 and the head 13 for discharging the alignment film material are relatively movable in the X direction. The substrate 20 placed on the stage 11 is the TFT substrate SUB1 before forming the alignment film.

図5は、ヘッド13及び基板20の一部の構成を示す平面図である。図5では、ヘッド13に設けられた3個のノズル12を示している。ノズル12は、等間隔でヘッド13に固定されている。ここでは、隣り合うノズル12の間隔(ノズルピッチ)をP1とする。複数の画素における列方向のピッチ(画素列ピッチ)をP2、行方向のピッチ(画素行ピッチ)をP3とすると、ノズルピッチP1は、以下の関係式(1)を満たしている。
P1>P2>P3・・・(1)
FIG. 5 is a plan view showing a partial configuration of the head 13 and the substrate 20. FIG. 5 shows three nozzles 12 provided on the head 13. The nozzles 12 are fixed to the head 13 at equal intervals. Here, the interval (nozzle pitch) between adjacent nozzles 12 is P1. When the pitch in the column direction (pixel column pitch) of the plurality of pixels is P2, and the pitch in the row direction (pixel row pitch) is P3, the nozzle pitch P1 satisfies the following relational expression (1).
P1>P2> P3 (1)

インクジェット装置10による塗布工程が開始されると、基板20が列方向(図5中の上矢印方向)に所定の速度で移動しつつ、ノズル12から配向膜材料が所定の周波数で吐出され、基板20上に列方向に連続的に滴下される。図5の画像表示領域DIAには、配向膜材料の最初の滴下位置(丸点線)を示している。図5に示す基板20の上矢印方向の移動と、画像表示領域DIAの列方向への滴下処理とを含む第1塗布工程が完了すると、基板20の移動と、配向膜材料の吐出動作が停止する。図6には、第1塗布工程が完了した後の画像表示領域DIAにおける配向膜材料の滴下位置(丸実線)を示している。ここで、基板20の移動方向における配向膜材料の滴下位置のピッチ(第1滴下ピッチ)をP4とすると、基板20の移動速度と、配向膜材料の吐出周波数とは、以下の関係式(2)を満たすように設定される。なお、以下の関係式(2)には、第1滴下ピッチP4と画素列ピッチP2とが略同じ場合も含まれる。
P4≦P2 ・・・(2)
When the coating process by the inkjet device 10 is started, the alignment film material is discharged from the nozzle 12 at a predetermined frequency while the substrate 20 moves at a predetermined speed in the column direction (upward arrow direction in FIG. 5). 20 is continuously dropped in the row direction. In the image display area DIA in FIG. 5, the first dropping position (round dotted line) of the alignment film material is shown. When the first coating process including the movement in the upward arrow direction of the substrate 20 and the dropping process in the column direction of the image display area DIA shown in FIG. 5 is completed, the movement of the substrate 20 and the discharging operation of the alignment film material are stopped. To do. FIG. 6 shows a dropping position (round solid line) of the alignment film material in the image display area DIA after the first coating process is completed. Here, when the pitch of the dropping position of the alignment film material in the moving direction of the substrate 20 (first dropping pitch) is P4, the moving speed of the substrate 20 and the discharge frequency of the alignment film material are expressed by the following relational expression (2 ). The following relational expression (2) includes a case where the first dropping pitch P4 and the pixel column pitch P2 are substantially the same.
P4 ≦ P2 (2)

第1塗布工程に続いて、以下の第2塗布工程が実行される。先ず、ヘッド13が行方向(図7中の右矢印方向)に距離P5だけ移動する。距離P5は、以下の関係式(3)を満たしている。なお、距離P5は、配向膜材料の滴下位置におけるヘッド13の移動方向のピッチ(第2滴下ピッチ)を表している。
P5=P1÷2 ・・・(3)
Subsequent to the first application step, the following second application step is performed. First, the head 13 moves in the row direction (right arrow direction in FIG. 7) by a distance P5. The distance P5 satisfies the following relational expression (3). The distance P5 represents the pitch in the moving direction of the head 13 (second dropping pitch) at the dropping position of the alignment film material.
P5 = P1 ÷ 2 (3)

また、ヘッド13の行方向の移動距離P5は、以下の関係式(4)に示すように、画素列ピッチP2よりも大きく設定されている。
P5>P2 ・・・(4)
Further, the moving distance P5 of the head 13 in the row direction is set to be larger than the pixel column pitch P2 as shown in the following relational expression (4).
P5> P2 (4)

ヘッド13が移動した後、基板20が列方向(図7中の下矢印方向)に所定の速度で移動しつつ、ノズル12から配向膜材料が所定の周波数で吐出され、基板20上に列方向に連続的に滴下される。図7の画像表示領域DIAには、第2塗布工程における配向膜材料の最初の滴下位置(丸点線)を示している。図7に示す基板20の下矢印方向の移動と、画像表示領域DIAの列方向への滴下処理とを含む第2塗布工程が完了すると、基板20の移動と、配向膜材料の吐出動作が停止する。図8には、第2塗布工程が完了した後の画像表示領域DIAにおける配向膜材料の滴下位置(丸実線)を示している。第2塗布工程において、基板20の移動方向における配向膜材料の滴下位置のピッチは、第1塗布工程における第1滴下ピッチP4と同一である。本実施形態においては、第2塗布工程における配向膜材料の列方向の滴下位置を、第1塗布工程における配向膜材料の列方向の滴下位置と同じにしているが、これに限られない。第2塗布工程における配向膜材料の列方向の滴下位置を、第1塗布工程における列方向の滴下位置の間に設定してもよい。この場合、好適な液滴の濡れ広がりを実現できる。   After the head 13 moves, the alignment film material is ejected from the nozzle 12 at a predetermined frequency while the substrate 20 moves at a predetermined speed in the column direction (downward arrow direction in FIG. 7), and the substrate 20 is aligned in the column direction. Continuously dripped. In the image display area DIA in FIG. 7, the first dropping position (round dotted line) of the alignment film material in the second coating step is shown. When the second coating process including the movement in the downward arrow direction of the substrate 20 and the dropping process in the column direction of the image display area DIA shown in FIG. 7 is completed, the movement of the substrate 20 and the discharging operation of the alignment film material are stopped. To do. FIG. 8 shows the dropping position (round solid line) of the alignment film material in the image display area DIA after the second coating step is completed. In the second coating step, the pitch of the alignment film material dropping position in the moving direction of the substrate 20 is the same as the first dropping pitch P4 in the first coating step. In the present embodiment, the dropping position in the column direction of the alignment film material in the second application step is the same as the dropping position in the column direction of the alignment film material in the first application step, but the present invention is not limited to this. The column-direction dropping position of the alignment film material in the second coating step may be set between the column-direction dropping positions in the first coating step. In this case, it is possible to realize suitable wetting and spreading of the droplets.

図9には、第1塗布工程及び第2塗布工程により基板20上に滴下された配向膜材料が濡れ広がり、配向膜AFが形成された状態を示している。同図に示すように、配向膜材料は画像表示領域DIA全体に濡れ広がり、画像表示領域DIA全体に配向膜AFが形成されていることが分かる。なお、図9には、コンタクトホールCONTの位置(図中の黒丸)を示している。   FIG. 9 shows a state where the alignment film material dropped on the substrate 20 in the first application process and the second application process is spread and the alignment film AF is formed. As shown in the figure, the alignment film material wets and spreads over the entire image display area DIA, and the alignment film AF is formed over the entire image display area DIA. FIG. 9 shows the position of contact hole CONT (black circle in the figure).

ここで、本実施形態に係る配向膜AFに対する比較例について以下に示す。図10は、比較例における、ヘッド13及び基板20の一部の構成を示す平面図である。比較例に係る配向膜AFの形成方法では、ステージ11に載置される基板20の向きが、本実施形態に係る配向膜AFの形成方法(図5参照)と比較して、90度回転した状態に設定されている。すなわち、比較例に係る配向膜AFの形成方法では、基板20の移動方向及びインクジェット装置10の塗布方向(図4のX方向)が、ゲート線GLが延在する行方向(第2方向)に設定されており、ヘッド13の移動方向(図4のY方向)が、データ線DLが延在する列方向(第1方向)に設定されている。   Here, a comparative example for the alignment film AF according to the present embodiment will be described below. FIG. 10 is a plan view showing a partial configuration of the head 13 and the substrate 20 in the comparative example. In the method for forming the alignment film AF according to the comparative example, the orientation of the substrate 20 placed on the stage 11 is rotated by 90 degrees compared to the method for forming the alignment film AF according to the present embodiment (see FIG. 5). Set to state. That is, in the method for forming the alignment film AF according to the comparative example, the moving direction of the substrate 20 and the coating direction of the inkjet device 10 (X direction in FIG. 4) are in the row direction (second direction) in which the gate lines GL extend. The moving direction of the head 13 (Y direction in FIG. 4) is set in the column direction (first direction) in which the data line DL extends.

比較例に係る配向膜AFの形成方法では、上記第1塗布工程及び第2塗布工程と同じ塗布工程が実行される。図10及び図11は、比較例における第1塗布工程を示し、図12及び図13は、比較例における第2塗布工程を示している。各ピッチP1〜P5は、上記(1)〜(4)式の関係を満たしている。   In the method of forming the alignment film AF according to the comparative example, the same coating process as the first coating process and the second coating process is performed. 10 and 11 show the first application process in the comparative example, and FIGS. 12 and 13 show the second application process in the comparative example. Each of the pitches P1 to P5 satisfies the relationship of the above expressions (1) to (4).

図14には、比較例における第1塗布工程及び第2塗布工程により基板20上に滴下された配向膜材料が濡れ広がり、配向膜AFが形成された状態を示している。同図に示すように、配向膜材料は画像表示領域DIAに濡れ広がるが、一部の画素行Paの領域では、配向膜材料が濡れ広がらず、配向膜AFが形成されていないことが分かる。これは、図13に示すように、第2滴下ピッチP5が画素列ピッチP2よりも大きいために(上記(4)式参照)、配向膜材料が滴下されない画素行(ここでは、画素行Pa(図14参照))が生じ、かつ、この画素行Paに隣り合う左右の画素行Pb,Pcの領域に滴下され濡れ広がった配向膜材料が、画素行Paと画素行Pb,Pcとの境界近傍に形成されるコンタクトホールCONT内(図3参照)に流れ込み、画素行Paの領域まで到達しないためである。このような現象は、特に、有機絶縁膜のような厚い層を含み、画素領域に対してコンタクトホールCONTの領域が大きい場合に顕著となる。そして、配向膜AFが形成されない領域(配向膜非形成領域)が生じると、表示輝度がばらつき、表示ムラが生じてしまう。   FIG. 14 shows a state where the alignment film material dropped on the substrate 20 in the first application process and the second application process in the comparative example is spread and the alignment film AF is formed. As shown in the drawing, the alignment film material wets and spreads in the image display area DIA, but it can be seen that the alignment film material does not wet and spread in a part of the pixel row Pa and the alignment film AF is not formed. As shown in FIG. 13, since the second dropping pitch P5 is larger than the pixel column pitch P2 (refer to the above formula (4)), the pixel row to which the alignment film material is not dropped (here, the pixel row Pa ( 14))), and the alignment film material that has been dropped and spread in the regions of the left and right pixel rows Pb and Pc adjacent to the pixel row Pa is near the boundary between the pixel row Pa and the pixel rows Pb and Pc. This is because it flows into the contact hole CONT (see FIG. 3) formed in the area and does not reach the pixel row Pa area. Such a phenomenon becomes prominent particularly when a thick layer such as an organic insulating film is included and the region of the contact hole CONT is larger than the pixel region. When an area where the alignment film AF is not formed (an alignment film non-formation area) is generated, display luminance varies and display unevenness occurs.

上記比較例に対して、本実施形態に係る配向膜AFの形成方法によれば、基板20の移動方向及びインクジェット装置10の塗布方向(図4のX方向)が、データ線DLの延在方向(列方向:第1方向)に設定されている。また、上記(2)式に示したように、基板20の移動方向における配向膜材料の滴下位置のピッチ(滴下ピッチP4)は、画素列ピッチP2と略同じ、又は画素列ピッチP2よりも小さく設定することが可能である。そのため、図8に示すように、複数の画素行において、配向膜材料が滴下されない画素行の領域は生じない。各画素行の領域に配向膜材料が滴下されれば、配向膜材料は、コンタクトホールCONT内に流れ込んでも、各画素行において列方向に濡れ広がるため、配向膜非形成領域が生じることはない。なお、行方向に濡れ広がる配向膜材料は、コンタクトホールCONTの影響を受けにくいため、行方向においても配向膜非形成領域が生じることはない。このため、図14に示すような配向膜AFが形成されない領域(配向膜非形成領域)は生じず、画像表示領域DIA全体に配向膜AFが形成される(図9参照)。よって、本実施形態に係る液晶表示装置LCDの製造方法によれば、配向膜AFの形成不良に起因する表示ムラを低減することができる。   In contrast to the comparative example, according to the method for forming the alignment film AF according to the present embodiment, the moving direction of the substrate 20 and the coating direction of the inkjet device 10 (the X direction in FIG. 4) are the extending direction of the data line DL. (Column direction: first direction). Further, as shown in the above formula (2), the pitch (dropping pitch P4) of the dropping position of the alignment film material in the moving direction of the substrate 20 is substantially the same as the pixel column pitch P2 or smaller than the pixel column pitch P2. It is possible to set. Therefore, as shown in FIG. 8, there is no pixel row region where the alignment film material is not dropped in a plurality of pixel rows. If the alignment film material is dropped in the region of each pixel row, even if the alignment film material flows into the contact hole CONT, the alignment film material does not form an alignment film non-formation region because it wets and spreads in the column direction in each pixel row. Note that the alignment film material that spreads in the row direction is not easily affected by the contact hole CONT, and therefore no alignment film non-formation region is generated in the row direction. Therefore, a region where no alignment film AF is formed (an alignment film non-formation region) as shown in FIG. 14 does not occur, and the alignment film AF is formed over the entire image display area DIA (see FIG. 9). Therefore, according to the method for manufacturing the liquid crystal display device LCD according to the present embodiment, display unevenness due to poor formation of the alignment film AF can be reduced.

上述した本実施形態に係る配向膜AFの形成方法では、第1塗布工程及び第2塗布工程の2回の塗布工程により配向膜AFを形成しているが、本発明に係る液晶表示装置LCDの製造方法はこれに限定されない。例えば、塗布工程が、3回あるいはそれ以上であってもよい。例えば、第1塗布工程及び第2塗布工程を、複数回繰り返し行ってもよい。   In the method for forming the alignment film AF according to the present embodiment described above, the alignment film AF is formed by two application processes of the first application process and the second application process. The manufacturing method is not limited to this. For example, the coating process may be performed three times or more. For example, the first application process and the second application process may be repeated a plurality of times.

また、上述した本実施形態に係る配向膜AFの形成方法は、基板20上に配向膜材料を滴下した後(図8参照)、基板20を搖動させる搖動工程を含んでいてもよい。ここで、図15に示すように、第1滴下ピッチP4と第2滴下ピッチP5とを比較した場合、P5>P4の関係を満たす。そのため、基板20を搖動させる方向は、滴下ピッチが大きい行方向(第2方向)とすることが好ましい。これにより、基板20上に滴下された配向膜材料を、大きく濡れ広がらせることができる。   In addition, the method for forming the alignment film AF according to the present embodiment described above may include a step of swinging the substrate 20 after dropping the alignment film material on the substrate 20 (see FIG. 8). Here, as shown in FIG. 15, when the first dropping pitch P4 and the second dropping pitch P5 are compared, the relationship of P5> P4 is satisfied. For this reason, the direction in which the substrate 20 is swung is preferably the row direction (second direction) in which the dropping pitch is large. Thereby, the alignment film material dropped on the substrate 20 can be greatly wetted and spread.

以上の説明では、TFT基板SUB1における配向膜AFの形成方法について示したが、CF基板SUB2における配向膜AFについても同様の方法により形成することができる。   In the above description, the method for forming the alignment film AF on the TFT substrate SUB1 has been described. However, the alignment film AF on the CF substrate SUB2 can also be formed by the same method.

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内で上記実施形態から当業者が適宜変更した形態も本発明の技術的範囲に含まれることは言うまでもない。   As mentioned above, although one embodiment of the present invention has been described, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and forms that are appropriately modified by those skilled in the art from the above-described embodiments within the scope not departing from the gist of the present invention. It goes without saying that it is included in the technical scope of the invention.

LCD 液晶表示装置、DIA 画像表示領域、FRA 額縁領域、SUB1 TFT基板、SUB2 CF基板、LC 液晶層、GB1,GB2 ガラス基板、GL ゲート線、GSN ゲート絶縁膜、PAS 保護絶縁膜、OPAS 有機絶縁膜、UPAS 上層絶縁膜、DL データ線、DM ドレイン電極、SM ソース電極、SEM 半導体層、TFT 薄膜トランジスタ、CIT 共通電極、PIT 画素電極、AF 配向膜、BM ブラックマトリクス、CF 着色部、OC オーバコート層、CONT コンタクトホール、10 インクジェット装置、11 ステージ、12 ノズル、13 ヘッド、14 フレーム、15 制御部、20 基板。   LCD liquid crystal display device, DIA image display area, FRA frame area, SUB1 TFT substrate, SUB2 CF substrate, LC liquid crystal layer, GB1, GB2 glass substrate, GL gate line, GSN gate insulating film, PAS protective insulating film, OPAS organic insulating film UPAS upper layer insulation film, DL data line, DM drain electrode, SM source electrode, SEM semiconductor layer, TFT thin film transistor, CIT common electrode, PIT pixel electrode, AF alignment film, BM black matrix, CF coloring part, OC overcoat layer, CONT contact hole, 10 inkjet device, 11 stage, 12 nozzles, 13 heads, 14 frames, 15 control unit, 20 substrate.

Claims (8)

基板上に、第1方向に延在する複数のデータ線と、該第1方向とは異なる第2方向に延在する複数のゲート線と、前記データ線及び前記ゲート線に接続される薄膜トランジスタと、前記薄膜トランジスタの導通電極にコンタクトホールを介して電気的に接続される画素電極と、前記画素電極を覆う配向膜と、が形成される液晶表示装置の製造方法であって、
前記基板と、インクジェット方式により前記基板上に前記配向膜の材料を滴下する滴下装置とを、相対的に前記第1方向に移動させるとともに、前記配向膜の材料を前記基板上に滴下する工程を含む、
ことを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
A plurality of data lines extending in a first direction on the substrate; a plurality of gate lines extending in a second direction different from the first direction; and the thin film transistors connected to the data lines and the gate lines A method of manufacturing a liquid crystal display device in which a pixel electrode electrically connected to a conductive electrode of the thin film transistor through a contact hole and an alignment film covering the pixel electrode are formed,
A step of relatively moving the substrate and a dropping device for dropping the material of the alignment film on the substrate by an ink jet method in the first direction, and dropping the material of the alignment film on the substrate; Including,
A method for manufacturing a liquid crystal display device.
前記工程を複数回繰り返し行う、ことを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置の製造方法。   The method of manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the step is repeated a plurality of times. 隣り合う2本の前記データ線と、隣り合う2本の前記ゲート線とにより規定される1つの画素がマトリクス状に配列された複数の画素における前記第1方向の配列ピッチと略同じピッチ、又は、該配列ピッチよりも小さいピッチで、前記配向膜の材料を前記基板上に滴下する、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の液晶表示装置の製造方法。
A pitch substantially equal to the arrangement pitch in the first direction in a plurality of pixels in which one pixel defined by two adjacent data lines and two adjacent gate lines is arranged in a matrix, or Dropping the alignment film material onto the substrate at a pitch smaller than the arrangement pitch;
A method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1 or 2.
前記基板上における、前記配向膜の材料の滴下位置の前記第2方向のピッチは、前記複数の画素における前記第1方向の配列ピッチよりも大きい、
ことを特徴とする請求項3に記載の液晶表示装置の製造方法。
The pitch in the second direction of the dropping position of the alignment film material on the substrate is larger than the arrangement pitch in the first direction in the plurality of pixels.
The method of manufacturing a liquid crystal display device according to claim 3.
前記基板上に、前記ゲート線を形成する工程と、
前記ゲート線を覆うように、第1絶縁膜を形成する工程と、
前記第1絶縁膜上に、前記データ線及び前記薄膜トランジスタの導通電極を形成する工程と、
前記データ線及び前記薄膜トランジスタの導通電極を覆うように、第2絶縁膜を形成する工程と、
前記第2絶縁膜に、前記コンタクトホールを形成する工程と、
前記第2絶縁膜上及び前記コンタクトホール内に、前記画素電極を形成する工程と、をさらに含む、
ことを特徴とする請求項1から4の何れか1項に記載の液晶表示装置の製造方法。
Forming the gate line on the substrate;
Forming a first insulating film so as to cover the gate line;
Forming a conductive electrode of the data line and the thin film transistor on the first insulating film;
Forming a second insulating film so as to cover the data line and the conductive electrode of the thin film transistor;
Forming the contact hole in the second insulating film;
Forming the pixel electrode on the second insulating film and in the contact hole;
The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1, wherein the liquid crystal display device is a liquid crystal display device.
前記第2絶縁膜は、有機材料からなる、ことを特徴とする請求項5に記載の液晶表示装置の製造方法。   6. The method of manufacturing a liquid crystal display device according to claim 5, wherein the second insulating film is made of an organic material. 前記基板上に前記配向膜の材料を滴下した後、該基板を前記第2方向に搖動させる工程をさらに含む、
ことを特徴とする請求項1から6の何れか1項に記載の液晶表示装置の製造方法。
The method further includes the step of swinging the substrate in the second direction after dropping the material of the alignment film on the substrate.
The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1, wherein:
前記配向膜を光配向処理する工程をさらに含む、
ことを特徴とする請求項1から7の何れか1項に記載の液晶表示装置の製造方法。
Further comprising a step of photo-aligning the alignment film,
The method for manufacturing a liquid crystal display device according to claim 1, wherein:
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US10642117B2 (en) 2018-03-29 2020-05-05 Sharp Kabushiki Kaisha Liquid crystal display device and method of producing liquid crystal display device

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