KR20170045618A - Liquid crystal display device having uniform alignment layer - Google Patents

Liquid crystal display device having uniform alignment layer Download PDF

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KR20170045618A KR1020150145448A KR20150145448A KR20170045618A KR 20170045618 A KR20170045618 A KR 20170045618A KR 1020150145448 A KR1020150145448 A KR 1020150145448A KR 20150145448 A KR20150145448 A KR 20150145448A KR 20170045618 A KR20170045618 A KR 20170045618A
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Abstract

According to the present invention, an alignment liquid is introduced into a contact hole by removing a step generated by a pixel electrode disposed around the contact hole. At this time, an entire one side of the pixel electrode around the contact hole is removed to form an introduction path through which the alignment liquid is introduced. Also, a specific region of a predetermined width and length is removed to form the introduction path so that the alignment liquid is smoothly introduced into the contact hole through the introduction path, and at the same time, a penetration path of an etchant used to etch the pixel electrode is extended to the maximum to prevent the etchant from penetrating into the pixel electrode.

Description

균일한 배향막을 가진 액정표시소자{LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE HAVING UNIFORM ALIGNMENT LAYER}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device having a uniform alignment layer,

본 발명은 액정표시소자에 관한 것으로, 특히 잉크젯방식에 의해 배향막을 형성할 때, 화소전극의 단차 및 컨택홀에 의해 배향막이 불균일하게 형성되어 화면상에 빛샘이 발생하는 것을 방지할 수 있는 액정표시소자에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal display device, and more particularly, to a liquid crystal display device capable of preventing the occurrence of light leakage on the screen due to unevenly formed alignment films due to stepped portions and contact holes of the pixel electrodes when an alignment film is formed by an ink- Device.

근래, 기술발전에 따라 핸드폰(Mobile Phone), PDA, 노트북컴퓨터와 같은 각종 휴대용 전자기기나 텔레비젼에 적용되던 평판표시장치(Flat Panel Display Device)의 크기가 점차 대형화되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Light Emitting Device Panel) 등이 활발히 연구되고 있으며, 특히 양산화 기술, 구동수단의 용이성, 고화질의 구현이라는 이유로 인해 액정표시소자(LCD)가 많이 적용되고 있다.2. Description of the Related Art In recent years, the size of a flat panel display device used for various portable electronic devices such as a mobile phone, a PDA, and a notebook computer and a television has been gradually increasing. As such a flat panel display device, a liquid crystal display (LCD), a plasma display panel (PDP), and an organic light emitting device panel (OLED) have been actively studied and especially because of mass production technology, ease of driving means, Liquid crystal display devices (LCDs) have been widely applied.

도 1은 일반적인 액정표시소자의 단면을 개략적으로 나타낸 것이다. 도면에 도시한 바와 같이, 액정표시소자(1)는 제1기판(3)과 제2기판(5) 및 상기 제1기판(3)과 제2기판(5) 사이에 형성된 액정층(7)으로 구성되어 있다. 제1기판(3)은 구동소자 어레이(Array)기판으로써, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 제1기판(5)에는 복수의 화소가 형성되어 있으며, 각각의 화소에는 박막트랜지스터(Thin Film Transistor)와 같은 구동소자가 형성되어 있다. 제2기판(5)은 컬러필터(Color Filter)기판으로써, 실제 컬러를 구현하기 위한 컬러필터층이 형성되어 있다. 또한, 상기 제1기판(3) 및 제2기판(5)에는 각각 화소전극 및 공통전극이 형성되어 있으며 액정층(7)의 액정분자를 배향하기 위한 배향막이 도포되어 있다.1 schematically shows a cross section of a general liquid crystal display element. The liquid crystal display element 1 includes a first substrate 3 and a second substrate 5 and a liquid crystal layer 7 formed between the first substrate 3 and the second substrate 5, . The first substrate 3 is a driving element array substrate. Although not shown in the drawing, a plurality of pixels are formed on the first substrate 5, and a thin film transistor (TFT) The same driving element is formed. The second substrate 5 is a color filter substrate, and a color filter layer for realizing colors is formed. In addition, pixel electrodes and common electrodes are formed on the first substrate 3 and the second substrate 5, respectively, and an alignment film for aligning the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer 7 is coated.

상기 제1기판(3) 및 제2기판(5)은 실링재(Sealing material)(9)에 의해 합착되어 있으며, 그 사이에 액정층(7)이 형성되어 상기 제1기판(3)에 형성된 구동소자에 의해 액정분자를 구동하여 액정층을 투과하는 광량을 제어함으로써정보를 표시하게 된다.The first substrate 3 and the second substrate 5 are bonded together by a sealing material 9 and a liquid crystal layer 7 is formed therebetween to form a drive Information is displayed by controlling the amount of light transmitted through the liquid crystal layer by driving the liquid crystal molecules by the device.

액정표시소자의 제조공정은 크게 제1기판(3)에 구동소자를 형성하는 구동소자 어레이기판공정과 제2기판(5)에 컬러필터를 형성하는 컬러필터기판공정 및 셀(Cell)공정으로 구분될 수 있는데, 이러한 액정표시소자의 제조공정을 간략하게 설명하면 다음과 같다.The manufacturing process of the liquid crystal display device is largely divided into a driving device array substrate process for forming a driving device on the first substrate 3, a color filter substrate process for forming a color filter on the second substrate 5, and a cell process The manufacturing process of such a liquid crystal display device will be briefly described as follows.

우선, 구동소자 어레이공정에 의해 제1기판(3)상에 배열되어 화소영역을 정의하는 복수의 게이트라인(Gate Line)및 데이터라인(Date Line)을 형성하고 상기 화소영역 각각에 상기 게이트라인과 데이터라인에 접속되는 구동소자인 박막트랜지스터를 형성한다. 또한, 상기 구동소자 어레이공정을 통해 상기 박막트랜지스터에 접속되어 박막트랜지스터를 통해 신호가 인가됨에 따라 액정층을 구동하는 화소전극 및 공통전극을 형성한다.First, a plurality of gate lines (Gate Line) and a data line (Date Line), which are arranged on the first substrate 3 by a driving element array process and define a pixel region, are formed, And a thin film transistor which is a driving element connected to the data line is formed. In addition, a pixel electrode and a common electrode for driving the liquid crystal layer are formed as the signal is applied to the thin film transistor through the thin film transistor through the driving element array process.

또한, 제3기판(5)에는 컬러필터공정에 의해 컬러를 구현하는 R,G,B의 컬러 필터층과 화상비표시영역으로 광이 투과되는 것을 차단하는 블랙매트릭스를 형성한다.The third substrate 5 is also provided with a color filter layer of R, G, and B that emits color by a color filter process and a black matrix that blocks light from being transmitted through the image non-display area.

이어서, 상기 제1기판(3) 및 제2기판(5)에 각각 배향막을 도포한 후 제1기판(3)과 제2기판(5) 사이에 형성되는 액정층의 액정분자에 배향규제력 또는 표면고정력(즉, 프리틸트각(Pretilt Angel)과 배향방향)을 제공하기 위해 상기 배향막을 러빙(Rubbing)한다. 그 후, 제1기판(3)에 셀갭(Cell Gap)을 일정하게 유지하기 위한 스페이서(Spacer)를 산포하고 제1기판(3) 또는 제2기판(5)의 외곽부에 실링재를 도포한 후 상기 제1기판(3)과 제2기판(5)에 압력을 가하여 합착한다. 한편, 상기 제1기판(3)과 제2기판(5)은 대면적의 유리기판으로 이루어져 있다. 다시 말해서, 대면적의 유리기판에 복수의 패널(Panel)영역이 형성되고, 상기 패널영역 각각에 구동소자인 TFT 및 컬러필터층이 형성되기 때문에 낱개의 액정패널을 제작하기 위해서는 상기 유리기판을 절단, 가공해야만 한다. 이후, 상기와 같이 가공된 개개의 액정패널에 액정주입구를 통해 액정을 주입하고 상기 액정주입구를 봉지하여 액정층을 형성한 후 각 액정패널을 검사함으로써 액정표시소자를 제작하게 된다.Subsequently, the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer formed between the first substrate 3 and the second substrate 5 after applying the alignment film to the first substrate 3 and the second substrate 5, respectively, The alignment film is rubbed to provide a fixing force (i.e., a pretilt angle and an alignment direction). Thereafter, a spacer for keeping a cell gap constant is dispersed on the first substrate 3 and a sealing material is applied to the outer frame portion of the first substrate 3 or the second substrate 5 And pressure is applied to the first substrate 3 and the second substrate 5 to be cemented. On the other hand, the first substrate 3 and the second substrate 5 are formed of a glass substrate having a large area. In other words, since a plurality of panel regions are formed on a large-area glass substrate, and TFTs and color filter layers, which are driving elements, are formed in each of the panel regions, in order to manufacture a single liquid crystal panel, It must be processed. Then, the liquid crystal is injected into each of the liquid crystal panels processed as described above, and the liquid crystal injection hole is sealed to form the liquid crystal layer, and then the liquid crystal panel is inspected to manufacture a liquid crystal display device.

상기와 같은 과정을 통하여 제작된 액정표시소자는 액정의 전기광학효과를 이용하는 것으로, 이 전기광학효과는 액정 자체의 이방성과 액정분자의 배열상태에 의해 결정되므로, 액정분자의 배열에 대한 제어는 액정표시장치의 표시품질 안정화에 큰 영향을 미치게 된다. 따라서, 액정분자를 보다 효과적으로 배향시키기 위한 배향막 형성공정은 액정셀 공정에 있어서 화질특성과 관련하여 매우 중요하다.The electro-optic effect of the liquid crystal is determined by the anisotropy of the liquid crystal itself and the arrangement state of the liquid crystal molecules. Therefore, The display quality of the display device is greatly influenced. Therefore, the alignment film formation process for more effectively orienting the liquid crystal molecules is very important in relation to image quality characteristics in the liquid crystal cell process.

상기 배향막은 롤인쇄방식에 의해 형성되는데, 도 2에 배향막을 형성하는 종래 롤인쇄방법이 개시되어 있다. 도 2에 도시된 바와 같이, 종래 배향막형성은 복수개의 롤을 이용한 인쇄법을 사용한다. 즉, 원통형의 어닐록스롤(22)과 닥터롤(23) 사이에 공급된 배향액(24)이 상기 어닐록스롤(22)과 닥터롤(23)이 회전함에 따라 어닐록스롤(22) 전체에 걸쳐 균일하게 도포된다. 이때 배향액(24)의 공급은 주사기 형태의 디스펜서(21)에 의해 이루어진다.The alignment film is formed by a roll printing method, and FIG. 2 shows a conventional roll printing method for forming an alignment film. As shown in FIG. 2, the conventional alignment film formation uses a printing method using a plurality of rolls. That is, the alignment liquid 24 supplied between the cylindrical annealing roll 22 and the doctor roll 23 is rotated by the rotation of the annealing roll 22 and the doctor roll 23, Lt; / RTI > At this time, the supply of the alignment liquid 24 is performed by the dispenser 21 in the form of a syringe.

한편 상기 어닐록스롤(22)은 표면의 일정 영역에 고무판(25)이 부착된 인쇄롤(24)과 맞닿아 회전하게 되면 상기 어닐록스롤(22) 표면의 배향액이 고무판(25)으로 전사된다. 상기 고무판(25)은 배향액이 도포될 기판(26)에 대응하며, 기판에 선택적으로 배향막을 인쇄할 수 있도록 마스크가 패턴이 형성되어 있다. 기판(26)이 적재된 인쇄테이블(27)이 인쇄롤(24)과 접촉하여 이동함에 따라 고무판(25)에 전사된 배향액이 기판(6) 상으로 재전사되어 배향막이 형성된다. 보통 배향막의 두께는 500~1000Å 정도이며, 동일기판에서는 100Å 정도의 두께 차이에 의해서도 액정표시소자(LCD) 화면에서 배향 불균일에 의한 얼룩과 같은 불량이 발생될 수 있기 때문에 배향막을 균일하게 도포하는 것이 화면의 특성을 좌우하게 된다.On the other hand, when the annealing roll 22 is in contact with a printing roll 24 having a rubber plate 25 attached thereto in a predetermined area of the surface thereof, the alignment solution on the surface of the annealing roll 22 is transferred to the rubber plate 25 do. The rubber plate 25 corresponds to the substrate 26 to which the alignment liquid is to be applied, and a mask pattern is formed to selectively print an alignment film on the substrate. The alignment liquid transferred onto the rubber plate 25 is re-transferred onto the substrate 6 to form an alignment film as the print table 27 on which the substrate 26 is mounted moves in contact with the printing roll 24. Usually, the thickness of the alignment layer is about 500 to 1000 angstroms. Even if the thickness of the same substrate is about 100 angstroms, defects such as unevenness due to unevenness in orientation may occur on the liquid crystal display (LCD) The characteristics of the screen are influenced.

그러나, 상기와 같은 롤 인쇄방법에서는 디스펜서가 어닐록스롤 상부에서 좌우로 움직이면서 어닐록스롤 상에 배향액을 공급하기 때문에 균일한 두께의 배향막을 형성하는데 한계가 있었으며, 특히, 기판이 대형화됨에 됨에 따라 배향막을 균일하게 도포하는 것이 더욱 힘들어진다. 더욱이, 고무판(25)에 전사된 배향액이 모두 기판에 전사되지 않기 때문에 실질적으로 기판에 형성되는 배향액보다 버려지는 것이 더 많아서 재료비낭비가 심하다는 문제점이 있었다.However, in the above-described roll printing method, since the dispenser supplies the alignment liquid on the annealing roll while moving left and right on the upper side of the annealing roll, there is a limit to forming an alignment film having a uniform thickness. Particularly, It becomes more difficult to uniformly coat the alignment film. Moreover, since all the alignment liquid transferred to the rubber plate 25 is not transferred to the substrate, more of the alignment liquid is substantially discarded than the alignment liquid formed on the substrate, and thus there is a problem that the material cost is wasted.

또한, 기판의 크기에 다른 모델이 바뀜에 따라 상기 롤(닥터롤, 어닐록스롤, 인쇄롤)들을 교체해 주어야 하며, 주기적으로 세정공정이 이루어지기 때문에 공정이 번거롭고 생산성이 떨어지는 문제점이 있었다.Also, the roll (doctor roll, anneal roll, printing roll) must be replaced with other models depending on the size of the substrate, and the cleaning process is periodically performed, resulting in troublesome processes and inferior productivity.

더욱이, 기판이 대형화됨에 따라 롤인쇄장비(어닐록스롤, 인쇄롤)의 크기도 함께 커져야 하기 때문에 기판의 대형화 따른 장비의 거대화를 야기하며, 배향막의 균일한 두께(uniformity)를 유지하는 것이 더욱 어려워진다.Further, as the size of the substrate is increased, the sizes of the roll printing equipment (annealing rolls and printing rolls) must also be increased. Therefore, it is difficult to maintain the uniformity of the alignment film, Loses.

본 발명은 상기한 점을 감안하여 이루어진 것으로, 배향막을 잉크젯방식에 의해 형성할 때 기판 전체에 배향막 두께를 일정하게 함으로써 배향막의 불균일에 의한 불량을 방지할 수 있는 액정표시소자를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above points, and it is an object of the present invention to provide a liquid crystal display element which can prevent defects due to unevenness of alignment by making the alignment film thickness uniform throughout the substrate when the alignment film is formed by the inkjet method do.

상기한 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 액정표시소자에서는 기판 전체에 배향액을 균일하게 도포하기 위해, 특히 컨택홀 내부에 배향액을 원활하게 유입한다. 이를 위해, 본 발명에서는 컨택홀 주위에 배치되는 화소전극에 의해 발생하는 단차를 제거하여 컨택홀내에 배향액을 유입한다.In order to achieve the above object, in the liquid crystal display element according to the present invention, the alignment liquid flows smoothly into the contact holes in order to uniformly apply the alignment liquid to the entire substrate. To this end, in the present invention, a step generated by the pixel electrode disposed around the contact hole is removed, and the alignment liquid flows into the contact hole.

이때, 본 발명에서는 컨택홀 주위의 화소전극의 일측 전체를 제거하여 배향액이 유입되는 유입통로를 형성할 수도 있고 일정 폭 및 길이의 특정 영역을 제거하여 유입통로를 형성할 수 있다. 유입통로를 일정 폭 및 길이로 형성함에 따라 배향액이 상기 유입통로를 통해 컨택홀 내부에 원활하게 유입됨과 동시에 화소전극을 식각하기 위해 사용된 식각액의 침투경로를 최대로 연장하여 식각액이 화소전극 내부로 침투하는 것을 방지할 수 있게 된다. 그 결과, 식각액 침투에 의한 화소전극의 단선을 방지할 수 있게 된다.At this time, in the present invention, the entire one side of the pixel electrode around the contact hole may be removed to form an inflow passage through which the alignment liquid flows, or a specific region of a predetermined width and length may be removed to form an inflow passage. By forming the inflow path with a predetermined width and length, the alignment liquid smoothly flows into the contact holes through the inflow passages, and at the same time, the penetration path of the etchant used for etching the pixel electrodes is maximally extended, It is possible to prevent infiltration of foreign matter into the apparatus. As a result, disconnection of the pixel electrode due to penetration of the etchant can be prevented.

상기 유입통로는 다양한 형태로 형성될 수 있다. 예를 들어, 상기 유입통로는 설정된 폭 및 길이로 하나 또는 복수개 형성되어 배향액을 컨택홀를 유입하게 된다.The inlet passage may be formed in various shapes. For example, one or a plurality of the inflow passages may be formed with a predetermined width and a predetermined length to introduce the alignment liquid into the contact holes.

공통전극과 화소전극은 각각 제1보호층 및 제2보호층 상에 배치되며, 상기 공통전극과 제1보호층은 동일한 공정에 의해 식각되어 제1컨택홀과 공통전극을 형성할 수 있게 된다. 이때, 상기 공통전극은 식각속도 차이로 인해 오버에칭되어 제1보호층 하부에서 언더컷된다. 화소전극이 제2보호층상에 배치되어 컨택홀을 통해 박막트랜지스터의 드레인전극과 접속될 때, 상기 언더컷에 의해 발생한 공간에 의해 공통전극과 화소전극이 전기적으로 절연된다.The common electrode and the pixel electrode are disposed on the first protective layer and the second protective layer, respectively, and the common electrode and the first protective layer are etched by the same process to form the first contact hole and the common electrode. At this time, the common electrode is over-etched due to a difference in etch rate, and is undercut under the first protective layer. When the pixel electrode is disposed on the second protective layer and connected to the drain electrode of the thin film transistor through the contact hole, the common electrode and the pixel electrode are electrically insulated by the space created by the undercut.

본 발명에서는 잉크젯방식에 의해 배향액을 적하하여 배향막을 형성하므로, 신속한 배향막의 형성이 가능하고 대형 액정표시소자에도 적용할 수 있게 된다.In the present invention, since the alignment liquid is formed by dropping the alignment liquid by the ink-jet method, it is possible to form an alignment film quickly and to apply it to a large liquid crystal display device.

또한, 본 발명에서는 적하된 배향액이 컨택홀 내부로 원활하게 퍼질 수 있도록 컨택홀 주위의 화소전극에 컨택홀을 배향액을 유입하는 유입통로를 형성함으로써 기판 전체에 걸쳐서 균일한 배향막이 형성될 수 있게 된다.In addition, in the present invention, by forming an inlet passage for introducing the alignment liquid into the pixel electrode around the contact hole so that the aligned liquid can smoothly spread into the contact hole, a uniform alignment film can be formed over the entire substrate .

그리고, 본 발명에서는 화소전극의 유입통로가 화소전극의 식각시 화소전극 내부로 침투하는 식각액의 침투거리를 증가시킴으로써 화소전극의 단선을 방지할 수 있게 된다.In the present invention, it is possible to prevent disconnection of the pixel electrode by increasing the penetration distance of the etchant penetrating into the pixel electrode at the time of etching the pixel electrode.

도 1은 종래 액정표시소자의 구조를 간략하게 나타내는 단면도.
도 2는 롤인쇄방식의 액정표시소자 배향막 형성장치를 나타내는 도면.
도 3a 및 도 3b는 잉크젯방식 액정표시소자 배향막 형성장치를 나타내는 도면.
도 4는 본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시소자의 구조를 나타내는 평면도.
도 5a는 도 4의 I-I'선 단면도.
도 5b는 도 4의 Ⅱ-Ⅱ'선 단면도.
도 6a는 화소전극이 컨택홀 및 주위를 덮는 구조의 액정표시소자에서의 배향액의 흐름경로를 나타내는 평면도.
도 6b는 화소전극이 컨택홀 및 주위를 덮는 구조의 액정표시소자에서 화소전극의 단차에 의해 배향액의 퍼짐이 차단되는 것을 나타내는 평면도.
도 6c는 불균일한 배향막에 의한 액정분자의 불균일한 배열을 나타내는 도면.
도 7a-도 7e는 본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시소자의 제조방법을 나타내는 도면.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 제2실시예에 따른 액정표시소자의 구조를 나타내는 평면도.
도 9a 및 도 9b는 컨택홀 일측의 화소전극이 전부 제거된 구조에서 식각액이 화소전극 내부로 침투하는 경로를 나타내는 도면.
1 is a cross-sectional view schematically showing a structure of a conventional liquid crystal display device.
2 is a view showing an apparatus for forming a liquid crystal display element alignment film in a roll printing system.
3A and 3B are views showing an ink-jet type liquid crystal display element alignment film forming apparatus.
4 is a plan view showing a structure of a liquid crystal display element according to a first embodiment of the present invention.
5A is a sectional view taken along the line I-I 'of FIG. 4;
5B is a cross-sectional view taken along a line II-II 'in FIG.
6A is a plan view showing a flow path of an alignment liquid in a liquid crystal display element having a structure in which a pixel electrode covers a contact hole and its periphery.
6B is a plan view showing that the spread of the alignment liquid is blocked by the step of the pixel electrode in the liquid crystal display element having the structure in which the pixel electrode covers the contact hole and the periphery.
Fig. 6C is a diagram showing a nonuniform arrangement of liquid crystal molecules due to a non-uniform alignment film; Fig.
7A to 7E are views showing a method for manufacturing a liquid crystal display element according to the first embodiment of the present invention.
8A and 8B are plan views showing a structure of a liquid crystal display element according to a second embodiment of the present invention.
FIGS. 9A and 9B are views showing a path through which an etching liquid penetrates into a pixel electrode in a structure in which pixel electrodes on one side of a contact hole are completely removed. FIG.

본 발명에서는 잉크젯방식에 의해 배향막을 형성함으로써 대형 액정표시소자의 배향막 형성을 용이하게 하고 배향액의 낭비를 최소화할 수 있을 뿐만 아니라 공정이 단순하고 생산성을 향상시킬 수 있게 된다. In the present invention, an alignment film is formed by an ink-jet method, thereby facilitating formation of an orientation film of a large liquid crystal display device, minimizing waste of alignment liquid, simplifying the process, and improving productivity.

특히, 본 발명에서는 잉크젯방식에 의해 형성되는 배향막을 표시소자 전체에 걸쳐 균일하게 형성하기 위해, 액정표시소자의 구조를 변경한다. 이러한 액정표시소자의 구조 변경은 잉크젯방식에 의해 적하된 배향액이 기판 표면에서 퍼질 때 퍼짐을 방해하는 단차 등을 최소화함으로서 불균일한 배향에 의한 화질저하를 방지할 수 있게 된다. 특히, 본 발명에서는 화소전극을 박막트랜지스터와 접속시키는 컨택홀 내부에 배향막이 원활하게 도포되도록 하여, 표시소자 전체에 걸쳐 균일한 배향막이 형성되도록 한다.Particularly, in the present invention, the structure of the liquid crystal display element is changed in order to uniformly form the alignment film formed by the inkjet method over the entire display element. The structure change of the liquid crystal display element can minimize a step or the like which prevents spreading when the alignment liquid dropped by the inkjet method spreads on the surface of the substrate, thereby preventing image quality deterioration due to uneven orientation. Particularly, in the present invention, the alignment film is smoothly applied in the contact hole connecting the pixel electrode to the thin film transistor, so that a uniform alignment film is formed over the entire display device.

도 3은 잉크젯방식 배향막 형성장치를 나타내는 도면으로, 도 3a는 단면도이고, 도 3b는 평면도이다. 3 is a view showing an apparatus for forming an ink jet alignment film, wherein Fig. 3A is a sectional view and Fig. 3B is a plan view.

도면에 도시된 바와 같이, 잉크젯방식 배향막 형성장치는 복수의 액정패널(110)이 형성되는 모기판(100)에 직접 배향액을 적하하는 잉크젯헤드부(120)와 상기 잉크젯헤드부(120)에 배향액을 공급하는 배향액공급부(미도시) 및 상기 잉크젯헤드부(120)와 배향액공급부(미도시)를 기구적으로 연결하는 연결배선부(미도시)로 구성되어 있다. 상기 잉크젯헤드부(120)는 적어도 한개 이상의 헤드(120a)로 구성되며, 각각의 헤드(120a)에는 복수의 홀이 형성되어 있다. 상기 홀의 열리고 닫힘에 의해서 기판에 도포하는 배향액의 공급량 및 배향액의 적하 위치가 조절된다. 또한, 상기 홀의 수를 조절함으로써 배향막의 공정시간을 조절할 수도 있다.As shown in the drawing, an inkjet alignment film forming apparatus includes an inkjet head unit 120 for dropping an alignment liquid directly on a mother substrate 100 on which a plurality of liquid crystal panels 110 are formed, (Not shown) for supplying an alignment liquid and a connection wiring portion (not shown) for mechanically connecting the inkjet head portion 120 and an alignment liquid supply portion (not shown). The inkjet head unit 120 includes at least one head 120a, and each head 120a has a plurality of holes. The amount of the alignment liquid to be applied to the substrate and the dropping position of the alignment liquid are adjusted by opening and closing the holes. In addition, the process time of the alignment layer can be controlled by adjusting the number of the holes.

배향액이 저장된 배향액공급부(미도시)에 질소가스(N2)가 공급되면, 상기 질소가스에 의해서 배향액공급부의 압력이 높아지고 이 압력에 의해서 배향액은 연결배선부를 통해 잉크젯헤드부(120)로 유입된다. 이때, 유입된 배향액은 상기 잉크젯헤드부(120)에 형성된 홀을 통하여 모기판(100) 위에 적하된다. 상기 홀을 통하여 토출(吐出)된 배향액은 기판에 적하되어 균일한 두께의 배향막을 형성하게 된다.When nitrogen gas (N 2 ) is supplied to the alignment liquid supply unit (not shown) storing the alignment liquid, the pressure of the alignment liquid supply unit is increased by the nitrogen gas, and the alignment liquid is supplied to the inkjet head unit 120 ). At this time, the introduced alignment liquid is dropped onto the mother substrate 100 through the holes formed in the ink jet head unit 120. The alignment liquid ejected through the holes is dropped onto the substrate to form an alignment film having a uniform thickness.

배향막 형성은 기판이 위치하는 스테이지 또는 헤드가 이동하면서 이루어지며, 잉크젯헤드부를 지나간 모기판(100) 영역에는 선택적으로 배향막(130)이 형성된다. 이때, 상기 잉크젯헤드부(120)는 기판 상에 배향액을 공급하면서 스테이지(미도시)의 이동도중 잉크젯헤드부(120)에 형성된 홀의 일부를 닫음으로써, 기판 상에 선택적으로 배향막(130)을 형성할 수 있다. 배향막(130)이 형성되는 영역은 실질적으로 박막트랜지스터 어레이 및 컬러필터기판이 형성된 영역(120)이다.The alignment film is formed while the stage or the head where the substrate is located is selectively moved to form the alignment film 130 in the region of the mother substrate 100 passing the inkjet head. At this time, the inkjet head unit 120 selectively supplies the alignment layer 130 on the substrate by supplying a liquid alignment liquid onto the substrate and closing a part of the holes formed in the inkjet head unit 120 during movement of the stage (not shown) . The region where the alignment film 130 is formed is a region 120 where the thin film transistor array and the color filter substrate are formed.

상기 잉크젯헤드부(120)는 모기판(100)의 크기에 따라 배향액의 적하면적을 자유롭게 조절할 수 있도록 복수의 홀을 가지는 적어도 한개 이상의 헤드(120a)로 구성되어 있으므로, 모기판(100)이 대형화됨에 따라, 상기 헤드수를 증가시켜 기판의 대형화에 용이하게 대처할 수가 있다.Since the ink jet head unit 120 is composed of at least one head 120a having a plurality of holes so that the dropping area of the alignment liquid can be freely adjusted according to the size of the mother substrate 100, As the size increases, the number of heads can be increased and the size of the substrate can be easily coped with.

도 4는 상기 잉크젯방식 배향막 형성장치가 적용되는 본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시소자의 구조를 나타내는 도면이다. 일반적으로 액정표시소자는 종횡으로 배치되는 N×M개의 화소로 이루어지지만, 도면에서는 설명의 편의를 위하여 하나의 화소만을 도시하였다.4 is a view showing a structure of a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention to which the ink jet alignment film forming apparatus is applied. In general, a liquid crystal display element is made up of N × M pixels arranged vertically and horizontally, but only one pixel is shown in the figure for convenience of explanation.

도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시소자의 각 화소에는 외부의 구동회로로부터 주사신호가 인가되는 게이트라인(204)과 화상신호가 인가되는 데이터라인(206)의 교차영역에 배치된 박막트랜지스터(T)를 포함하고 있다. 상기 박막트랜지스터(T)는 상기 게이트라인(204)과 연결된 게이트전극(203)과, 상기 게이트전극(203) 위에 배치되어 게이트전극(203)에 주사신호가 인가됨에 따라 활성화되는 반도체층(207)과, 상기 반도체층(207) 위에 배치된 소스전극(208) 및 드레인전극(209)으로 구성된다.4, each pixel of the liquid crystal display according to the first embodiment of the present invention includes a gate line 204 to which a scan signal is applied from an external driver circuit, a data line 206 to which an image signal is applied, And a thin film transistor (T) arranged in a crossing region of the thin film transistor (T). The thin film transistor T includes a gate electrode 203 connected to the gate line 204 and a semiconductor layer 207 disposed on the gate electrode 203 and activated when a scanning signal is applied to the gate electrode 203, And a source electrode 208 and a drain electrode 209 disposed on the semiconductor layer 207.

또한, 상기 화소내에는 상기 소스(208) 및 드레인전극(209)과 연결되어 반도체층(208)이 활성화됨에 따라 상기 소스전극(208) 및 드레인전극(209)을 통해 화상신호가 인가되어 액정(도면표시하지 않음)을 동작시키는 화소전극(210) 및 상기 화소전극(210)과 함께 전계를 형성하는 공통전극(236)이 배치된다.An image signal is applied to the source 208 and the drain electrode 209 through the source electrode 208 and the drain electrode 209 as the semiconductor layer 208 is activated, A pixel electrode 210 for operating the pixel electrode 210 and a common electrode 236 for forming an electric field together with the pixel electrode 210 are disposed.

이때, 상기 공통전극(236)은 기판 전체에 걸쳐 배치되고 화소전극(210)은 화소영역에 배치되어 공통전극(236)에는 기판 전체에 걸쳐 동일한 공통전압이 인가되고 화소전극(210)에는 각각의 화소에 대응하는 화상신호가 인가된다. 이때, 상기 화소전극(210)은 절연층을 사이에 두고 공통전극(236)의 상부에 배치되며 일정 폭 및 간격을 가진 복수의 띠형상으로 배치된다. 도면에서는 상기 화소전극(210)이 평행하게 형성되지만, 하나의 화소내에서 일정 각도로 배치될 수 있고 적어도 1회 절곡된 대칭형상으로 구성될 수도 있다. In this case, the common electrode 236 is disposed over the entire substrate, the pixel electrode 210 is disposed in the pixel region, the common voltage is applied to the common electrode 236 over the entire substrate, An image signal corresponding to the pixel is applied. At this time, the pixel electrode 210 is disposed on an upper portion of the common electrode 236 with an insulating layer interposed therebetween, and is disposed in a plurality of strips having a predetermined width and spacing. Although the pixel electrode 210 is formed in parallel in the drawing, the pixel electrode 210 may be arranged at a certain angle in one pixel and may be formed in a symmetrical shape bent at least once.

상기 화소전극(210)은 제1컨택홀(229a) 및 제2컨택홀(229b)을 통해 드레인전극(209)과 전기적으로 접속된다. 이때, 상기 화소전극(210)은 제1컨택홀(229a) 및 제2컨택홀(229b) 내부에 배치되지만, 상기 제2컨택홀(229b)의 주위에 모두 배치되지 않고 일측이 제2컨택홀(229b)의 내부에만 형성되는데, 그 이유는 추후 자세히 설명한다.The pixel electrode 210 is electrically connected to the drain electrode 209 through the first contact hole 229a and the second contact hole 229b. At this time, the pixel electrode 210 is disposed inside the first contact hole 229a and the second contact hole 229b, but not all around the second contact hole 229b, (229b), which will be described later in detail.

상기와 같은 구조의 액정표시소자를 도 5a 및 도 5b를 참조하여 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다. 이때, 도 5a는 도 4의 I-I'선 단면도이고 도 5b는 Ⅱ-Ⅱ'선 단면도이다.The liquid crystal display device having the above structure will be described in more detail with reference to FIGS. 5A and 5B. 5A is a cross-sectional view taken along line I-I 'of FIG. 4, and FIG. 5B is a cross-sectional view taken along a line II-II'.

도 5a에 도시된 바와 같이, 제1기판(220) 위에는 게이트전극(203)이 배치되고 제1기판(220) 전체에 걸쳐 게이트절연층(222)이 적층된다. 상기 게이트전극(203)은 게이트라인과 일체로 구성되지만, 별개로 구성되어 전기적으로 접속될 수도 있다. 상기 게이트절연층(222) 위에는 게이트전극(203)에 신호가 인가됨에 따라 활성화되는 반도체층(207)이 구비되고 그 위에 소스전극(208) 및 드레인전극(209)이 배치되며, 상기 제1기판(220) 전체에 걸쳐 제1보호층(passivation layer;224)이 적층된다. 이때, 상기 드레인전극(209) 상부의 제1보호층(224)의 일부가 제거되어 상기 제1보호층(224)에 제1컨택홀(229a)이 형성되어, 드레인전극(209)이 외부로 노출된다.5A, a gate electrode 203 is disposed on the first substrate 220 and a gate insulating layer 222 is stacked over the first substrate 220. [ Although the gate electrode 203 is formed integrally with the gate line, it may be separately formed and electrically connected. A source electrode 208 and a drain electrode 209 are disposed on the gate insulating layer 222 and a semiconductor layer 207 is formed on the gate insulating layer 222 to be activated when a signal is applied to the gate electrode 203. A first passivation layer 224 is deposited over the first passivation layer 220. At this time, a portion of the first passivation layer 224 on the drain electrode 209 is removed to form a first contact hole 229a in the first passivation layer 224, and the drain electrode 209 is exposed to the outside Exposed.

상기 제1보호층(224) 위에는 공통전극(236)이 배치되고, 그 위에 제1기판(220) 전체에 걸쳐 제2보호층(226)이 적층된다. 또한, 상기 제2보호층(226) 위에는 화소전극(210)이 배치된다. 이때, 상기 화소전극(210)은 일정 폭 및 일정 간격으로 제2보호층(226) 위에 배치된다.A common electrode 236 is disposed on the first passivation layer 224 and a second passivation layer 226 is deposited on the entire surface of the first substrate 220. The pixel electrode 210 is disposed on the second passivation layer 226. At this time, the pixel electrode 210 is disposed on the second passivation layer 226 at a constant width and a constant interval.

상기 제2보호층(226)에는 일부가 제거되어 제2컨택홀(229b)이 형성된다. 이때, 상기 제2보호층(226)은 제1보호층(224)과 정렬되어, 하나의 컨택홀로 형성된다. 상기 제1컨택홀(229a) 및 제2컨택홀(229b)은 각각 동일한 위치의 제1보호층(224) 및 제2보호층(226)을 식각하여 형성하지만, 상기 제1보호층(224) 및 제2보호층(226)을 한꺼번에 식각함으로써 형성할 수도 있다. 상기 화소전극(210)은 제1컨택홀(229a) 및 제2컨택홀(229b)를 통해 박막트랜지스터(T)의 드레인전극(209)과 전기적으로 접속된다.A part of the second protective layer 226 is removed to form a second contact hole 229b. At this time, the second passivation layer 226 is aligned with the first passivation layer 224 and is formed as one contact hole. The first contact hole 229a and the second contact hole 229b are formed by etching the first and second protection layers 224 and 226 at the same position, And the second protective layer 226 at the same time. The pixel electrode 210 is electrically connected to the drain electrode 209 of the thin film transistor T through the first contact hole 229a and the second contact hole 229b.

상기 화소전극(210)과 공통전극(236)은 제2보호층(226)을 사이에 두고 배치되어, 화소전극(210)에 신호가 인가됨에 따라 화소전극(210)과 공통전극(236) 사이에 전계가 형성된다. 이때, 상기 공통전극(236)은 화소 전체에 걸쳐 배치되고 화소전극(210)은 일정 폭 및 간격으로 공통전극(236) 상부에 배치되므로, 화소전극(210)과 공통전극(236) 사이에는 제1기판(220)의 표면과 평행한 전계가 형성된다.The pixel electrode 210 and the common electrode 236 are disposed between the pixel electrode 210 and the common electrode 236 with a second protective layer 226 interposed therebetween. An electric field is formed. Since the common electrode 236 is disposed over the entire pixel and the pixel electrode 210 is disposed over the common electrode 236 with a constant width and spacing between the pixel electrode 210 and the common electrode 236, An electric field parallel to the surface of the substrate 220 is formed.

이후 설명하지만, 상기 제2보호층(226)과 공통전극(236)은 하나의 식각공정에 의해 형성되므로, 제2보호층(226)이 공통전극(236)의 상면 및 측면을 완전히 커버하지 못하고 공통전극(236)의 측면이 외부로 노출된다. 그러나, 본 발명에서는 도면에 도시된 바와 같이, 제2보호층(226)과 공통전극(236)의 식각공정시 상기 공통전극(246)이 오버식각(over etching)되어 상기 공통전극(246)이 언더컷(under cut)되어 공통전극(246)이 제1보호층(224)의 단부로부터 일정 거리 안쪽에 배치된다.Since the second passivation layer 226 and the common electrode 236 are formed by one etching process, the second passivation layer 226 does not completely cover the top and side surfaces of the common electrode 236 The side surface of the common electrode 236 is exposed to the outside. However, in the present invention, the common electrode 246 is over-etched during the etching process of the second passivation layer 226 and the common electrode 236, so that the common electrode 246 So that the common electrode 246 is disposed within a certain distance from the end of the first protective layer 224.

따라서, 화소전극(210)이 제1컨택홀(229a) 및 제2컨택홀(229b) 내부에 배치되는 경우에도, 제1컨택홀(229a) 및 제2컨택홀(229b) 내부에 배치되는 화소전극(210)과 공통전극(236) 사이에는 언더컷에 의한 빈 공간(S)이 발생하게 되며, 이 빈 공간(S)에 의해 화소전극(210)과 공통전극(236)이 전기적으로 절연된다.Accordingly, even when the pixel electrode 210 is disposed inside the first contact hole 229a and the second contact hole 229b, the pixel electrode 210 is disposed within the first contact hole 229a and the second contact hole 229b, An empty space S is formed between the electrode 210 and the common electrode 236 due to an undercut and the pixel electrode 210 and the common electrode 236 are electrically insulated by the empty space S.

이와 같이, 본 발명에서는 화소전극(210)과 제2보호층(226)을 하나의 공정에 의해 식각하고 화소전극(210)과 공통전극(236)은 언더컷에 의한 빈 공간에 의해 전기적으로 절연시키므로, 제조공정을 단순화할 수 있고 제조비용을 절감할 수 있게 된다.As described above, in the present invention, the pixel electrode 210 and the second passivation layer 226 are etched by a single process, and the pixel electrode 210 and the common electrode 236 are electrically isolated by an empty space due to undercut , The manufacturing process can be simplified and the manufacturing cost can be reduced.

상기 화소전극(210)이 형성된 제1기판(220)에는 제1배향막(228)이 형성된다. 상기 제1배향막(228)은 주로 폴리이미드(polyimide) 또는 폴리아미드(polyamide)로 이루어지며, 러빙처리에 의해 표면에 복수의 미세홈(mirco grooves)이 형성된다. 이러한 미세홈은 배향막에 배향규제력을 발생시켜 상기 배향막과 접촉하는 액정분자를 일정한 방향으로 배향시킨다. 이와 같이, 배향막의 배향규제력에 의해 액정분자가 일정방향으로 배향되는 것은 배향막의 배향규제력에 의해 액정분자가 배향막의 표면에 고정되기 때문이다(이러한 이유로 anchoring energy를 표면고정력이라고도 한다).A first alignment layer 228 is formed on the first substrate 220 on which the pixel electrode 210 is formed. The first alignment layer 228 is mainly made of polyimide or polyamide, and a plurality of mirco grooves are formed on the surface by rubbing treatment. Such fine grooves cause alignment regulating force in the alignment film to align the liquid crystal molecules in contact with the alignment film in a certain direction. The reason why the liquid crystal molecules are oriented in a certain direction due to the alignment regulating force of the alignment film is that the liquid crystal molecules are fixed to the surface of the alignment film by the alignment regulating force of the alignment film (for this reason, the anchoring energy is also referred to as surface fixing force).

제2기판(230)에는 화상비표시영역으로 광이 투과하는 것을 차단하는 블랙매트릭스(232)와 실제 컬러를 구현하기 위한 컬러필터층(234)이 배치되어 있으며, 상기 제1기판(220) 및 제2기판(230) 사이에 액정층(240)이 배치된다. 상기 블랙매트릭스(232)는 화소와 화소 사이의 영역 및 박막트랜지스터 형성영역에 배치되어 해당 영역으로 광이 누설되는 것을 차단하며, 상기 컬러필터층(234)은 R,G,B 컬러필터층으로 구성되어 실제 컬러를 구현한다.The second substrate 230 is provided with a black matrix 232 for blocking transmission of light to the image non-display area and a color filter layer 234 for realizing colors. 2 substrate 230. In this case, The black matrix 232 is disposed in a region between a pixel and a pixel and in a thin film transistor forming region to block leakage of light to the region. The color filter layer 234 includes R, G, and B color filter layers, Color.

상기 컬러필터층(234) 위에는 제2배향막(238)이 배치된다. 상기 제2배향막(238)과 제1배향막(228)과 마찬가지로 폴리이미드나 폴리아미드로 형성되며, 일정 방향으로 러빙처리되어 액정층(240)의 액정분자를 특정 방향으로 배향한다. 이때, 상기 제1배향막(228)과 제2배향막(238)의 러빙방향으로 서로 평행 또는 수직일 수 있다.A second alignment layer 238 is disposed on the color filter layer 234. Like the second alignment film 238 and the first alignment film 228, is formed of polyimide or polyamide and is rubbed in a predetermined direction to align the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer 240 in a specific direction. At this time, the first alignment layer 228 and the second alignment layer 238 may be parallel or perpendicular to each other in the rubbing direction.

도 5b에 도시된 바와 같이, 드레인전극(209) 상부의 제1보호층(224)이 제거되어 제1컨택홀(229a)이 형성되며, 그 상부의 제2보호층(226)이 식각되어 제2컨택홀(229b)이 형성된다. 상기 제2컨택홀(229b)의 식각시 하부의 공통전극(236)이 오버 식각되어 공통전극(236)이 언더컷되어 제2컨택홀(229b)의 벽면으로부터 일정 거리 안쪽으로 배치되며, 그 결과 상기 제2보호층(226) 위에 배치되는 화소전극(210)이 언더컷에 의한 공간에 의해 공통전극(236)과 전기적으로 절연된다.The first passivation layer 224 on the drain electrode 209 is removed to form the first contact hole 229a and the second passivation layer 226 on the top of the drain electrode 209 is etched, 2 contact holes 229b are formed. The lower common electrode 236 is etched when the second contact hole 229b is etched so that the common electrode 236 is undercut and disposed within a predetermined distance from the wall surface of the second contact hole 229b, The pixel electrode 210 disposed on the second passivation layer 226 is electrically insulated from the common electrode 236 by a space formed by the undercut.

상기 화소전극(210)은 그 일부가 제1컨택홀(229a) 및 제2컨택홀(229b)의 내부와 제1컨택홀(229a) 및 제2컨택홀(229b) 주위의 제2보호층(226) 상부로 연장되도록 배치되어, 상기 화소전극(210)이 제1컨택홀(229a) 및 제2컨택홀(229b)을 통해 드레인전극(209)에 전기적으로 접속되는 것이 바람직하다.A part of the pixel electrode 210 is partially formed in the first contact hole 229a and the second contact hole 229b and in the second protective layer 229a around the first contact hole 229a and the second contact hole 229b The pixel electrode 210 may be electrically connected to the drain electrode 209 through the first contact hole 229a and the second contact hole 229b.

그러나, 본 발명에서는 화소전극(210)이 제1컨택홀(229a) 및 제2컨택홀(229b) 상부의 제2보호층(226)의 전체 주위에 배치되지 않고 일측(도 5b에서는 제2컨택홀(229b)의 좌측영역, 도 4에서는 제2컨택홀(229b) 하부영역)을 제거하여 해당 영역에서 화소전극(210)이 제2보호층(226) 상부에 배치되지 않도록 한다. 즉, 제1컨택홀(229a) 및 제2컨택홀(229b) 주위의 제2보호층(226) 상부에 배치되는 사각형상의 화소전극(210)중에서 일변의 화소전극(210)을 제거하여 해당 영역의 제2보호층(226)에는 화소전극(210)이 형성되지 않고 단지 제1컨택홀(229a) 및 제2컨택홀(229b) 내부에만 배치되도록 한다.However, in the present invention, the pixel electrode 210 is not disposed around the entirety of the second protection layer 226 above the first contact hole 229a and the second contact hole 229b, The left area of the hole 229b and the lower area of the second contact hole 229b in FIG. 4) are removed so that the pixel electrode 210 is not disposed above the second protective layer 226 in the corresponding area. That is, one side of the pixel electrode 210 is removed from the square pixel electrode 210 disposed on the second protection layer 226 around the first contact hole 229a and the second contact hole 229b, The pixel electrode 210 is not formed in the second passivation layer 226 of the first passivation layer 226 but only in the first contact hole 229a and the second contact hole 229b.

이와 같이, 제2컨택홀(229b) 주위의 일측(일변)의 화소전극(210)을 제거하여 해당 영역의 제2보호층(226) 위에 화소전극(210)을 배치하지 않는 것은 화소전극(210)에 의해 발생하는 단차를 제거하여 배향막 형성시 제1컨택홀(229a) 및 제2컨택홀(229b) 내부로 배향액이 원활하게 도포되도록 하여 액정표시소자 전체에 걸쳐 균일한 배향막을 형성하기 위한 것으로, 도면을 참조하여 이를 좀더 자세히 설명한다.The absence of the pixel electrode 210 on one side (one side) of the second contact hole 229b and the pixel electrode 210 on the second passivation layer 226 of the corresponding region, In order to smoothly apply the alignment liquid into the first contact holes 229a and the second contact holes 229b at the time of forming the alignment film to form a uniform alignment film over the entire liquid crystal display element And will be described in more detail with reference to the drawings.

도 6a 및 도 6b는 각각 제2보호층(226) 상부의 제2컨택홀(229b) 주위에 모두 화소전극(210)이 형성된 구조의 평면도 및 단면도를 나타내는 도면이고, 도 6c는 이러한 구조에서의 액정분자의 배향을 나타내는 도면이다.6A and 6B are a plan view and a sectional view, respectively, of a structure in which pixel electrodes 210 are formed around a second contact hole 229b on the second protective layer 226, and FIG. 6C is a cross- Fig. 5 is a diagram showing the orientation of liquid crystal molecules. Fig.

도 6a에 도시된 바와 같이, 이 구조의 액정표시소자에서는 화소전극(210)이 제2컨택홀(229b) 내부에 배치될 뿐만 아니라 제2컨택홀(229b) 주위 외부 전체 영역에도 배치된다.As shown in FIG. 6A, in the liquid crystal display device of this structure, the pixel electrode 210 is disposed not only within the second contact hole 229b but also over the entire outer region around the second contact hole 229b.

한편, 제1배향막(228)의 도포시 도 3a 및 도 3b에 도시된 배향막 형성장치를 이용하여 도 6a에 도시된 구조를 가진 제1기판(220)상에 배향액을 적하한 후 경화시킨다. 제1기판(220) 상에 적하된 배향액은 제1기판(220) 상에서 퍼져 제1기판(220) 전체에 걸쳐 제1배향막(228)을 형성하게 된다. 따라서, 제1기판(220) 전체에 걸쳐 균일한 제1배향막(228)을 형성하기 위해서는 적하된 배향액이 제1기판(220) 전체에 걸쳐 균일하게 퍼져야만 한다.On the other hand, when the first alignment film 228 is applied, the alignment liquid is dropped onto the first substrate 220 having the structure shown in FIG. 6A by using the alignment film forming apparatus shown in FIGS. 3A and 3B, and then cured. The alignment liquid dropped on the first substrate 220 is spread on the first substrate 220 to form the first alignment film 228 over the entire first substrate 220. [ Therefore, in order to form a uniform first alignment layer 228 over the entire surface of the first substrate 220, the alignment liquid must be uniformly spread over the entire surface of the first substrate 220.

배향막 형성장치를 통해 적하된 배향액은 제1기판(220) 상에서 적하된 영역 외부로 퍼져나간다. 이때, 제1기판(220) 상에는 화소전극(210)과 같은 단차가 존재하므로, 적하된 배향액은 우선 단차를 따라 배향액이 흐르고 점차 단차를 넘어 제1기판(220) 전체로 퍼지게 된다.The alignment liquid dropped through the alignment film forming apparatus spreads out of the area dropped on the first substrate 220. At this time, since the same level difference as that of the pixel electrode 210 exists on the first substrate 220, the alignment liquid flows first along the step difference and gradually spreads over the entire first substrate 220 beyond the step difference.

화소전극(210)과 제2보호층(226) 뿐만 아니라 제1컨택홀(229a) 및 제2컨택홀(229b) 내부에도 균일한 제1배향막(228)이 형성되기 위해서는 적하되어 퍼지는 배향액이 상기 제1컨택홀(229a) 및 제2컨택홀(229b) 내부에도 균일하게 도포되어야만 한다. 그런데, 도 6a에 도시된 바와 같이, 제2컨택홀(229b) 주위로 퍼지는 배향액은 상기 화소전극(210)의 단차를 따라 흐르게 된다. 즉, 화소전극(210)의 단차가 배향액이 흐르는 통로의 역할을 하여 배향액이 제2컨택홀(229b)을 덮는 화소전극(210)의 단차를 따라 퍼지게 된다.In order to form a uniform first alignment layer 228 in the first and second contact holes 229a and 229b as well as the pixel electrode 210 and the second passivation layer 226, It must be uniformly applied to the first contact hole 229a and the second contact hole 229b. However, as shown in FIG. 6A, the alignment liquid spreading around the second contact holes 229b flows along the step of the pixel electrode 210. That is, the step of the pixel electrode 210 serves as a passage through which the alignment liquid flows, and the alignment liquid spreads along the step of the pixel electrode 210 covering the second contact hole 229b.

도 6b에 도시된 바와 같이, 배향액이 상기 화소전극(210)의 단차를 따라 퍼질 때, 상기 화소전극(210)의 단차에 의해 배향액이 상기 제1컨택홀(229a) 및 제2컨택홀(229b) 내부로 퍼지는 것이 차단된다. 따라서, 제1컨택홀(229a) 및 제2컨택홀(229b) 내부로의 배향액의 도포가 원활하게 이루어지지 않게 되어, 제1배향막(228)을 형성했을 때 제1컨택홀(229a) 및 제2컨택홀(229b) 내부의 제1배향막(228)의 두께가 다른 영역의 제1배향막(228)의 두께보다 작게 되므로, 균일한 제1배향막(228)을 형성할 수 없게 되며, 심지어 상기 제1컨택홀(229a) 및 제2컨택홀(229b) 내부에 제1배향막(228)이 형성되지 않을 수도 있게 된다.6B, when the alignment liquid spreads along the step of the pixel electrode 210, the alignment liquid is separated from the first and second contact holes 229a and 229a by the step of the pixel electrode 210, (229b). Accordingly, the application of the alignment liquid to the first contact holes 229a and the second contact holes 229b is not smoothly performed. When the first alignment film 228 is formed, the first contact holes 229a and the second contact holes 229b The thickness of the first alignment layer 228 in the second contact hole 229b is smaller than the thickness of the first alignment layer 228 in the other region so that a uniform first alignment layer 228 can not be formed, The first alignment layer 228 may not be formed in the first and second contact holes 229a and 229b.

도 6c에 도시된 바와 같이, 일부 영역(b)(예를 들면, 제1컨택홀(229a) 및 제2컨택홀(229b) 내부)의 제1배향막(228)의 두께가 다른 영역(a)의 제1배향막(228)의 두께보다 작거나 일부 영역(b)에 제1배향막(228)이 형성되지 않는 경우, b영역의 제1배향막(228)의 배향규제력이 a영역의 제1배향막(228)의 배향규제력보다 약해지기 때문에, b영역의 액정분자(241b)의 배향방향(또는 프리틸트각)과 a영역의 액정분자(241a)의 배향방향(또는 프리틸트각)이 다르게 된다. 따라서, b영역과 a영역의 광투과율이 서로 다르게 되어, a영역을 통해 화상신호에 따른 화상이 구현될 때 광투과율의 차이로 인해 b영역을 통해 빛샘현상이 발생하게 되며, 그 결과 액정표시소자에 화질저하라는 불량이 발생하게 된다. The thickness of the first alignment film 228 of the partial region b (for example, the first contact hole 229a and the second contact hole 229b) is different from the thickness of the other region a, The alignment regulating force of the first alignment film 228 in the region b is less than the thickness of the first alignment film 228 in the region a and the first alignment film 228 is not formed in the partial region b, 228), the alignment direction (or pretilt angle) of the liquid crystal molecules 241b in the b region and the alignment direction (or the pretilt angle) of the liquid crystal molecules 241a in the a region are different from each other. Therefore, when the image according to the image signal is realized through the region a, the light transmissivity of the region b and the region a are different from each other, so that light leakage occurs through the region b due to the difference in light transmittance. A defective image quality is caused.

그러나, 본 발명에서는 도 5a 및 도 5b에 도시된 바와 같이, 제2컨택홀(229b) 주위에 배치되는 화소전극(210)중 일변(일측)의 화소전극(210)을 제거하여, 해당 영역에서는 제2보호층(226)에 화소전극(210)을 형성하지 않고 제2컨택홀(229b) 내부에만 화소전극(210)을 형성함으로써, 화소전극(210)에 의한 단차를 제거할 수 있게 된다. 따라서, 배향액이 퍼질 때 배향액이 화소전극(210)의 단차에 의해 차단되지 않고 상기 제1컨택홀(229a) 및 제2컨택홀(229b) 내부로 원활하게 유입된다. 즉, 본 발명에서는 제1컨택홀(229a) 및 제2컨택홀(229b)로 배향액을 유입하는 배향액 유입영역을 구성함으로써, 제1기판(220) 전체에 걸쳐 균일한 두께의 제1배향막(228)을 형성할 수 있게 된다.However, in the present invention, as shown in FIGS. 5A and 5B, the pixel electrode 210 on one side (one side) of the pixel electrode 210 disposed around the second contact hole 229b is removed, The pixel electrode 210 is not formed in the second passivation layer 226 and the pixel electrode 210 is formed only in the second contact hole 229b. Therefore, when the alignment liquid spreads, the alignment liquid smoothly flows into the first contact holes 229a and the second contact holes 229b without being blocked by the step of the pixel electrode 210. [ That is, in the present invention, by forming the alignment liquid inflow region into which the alignment liquid flows into the first contact holes 229a and the second contact holes 229b, a first alignment film having a uniform thickness over the entire surface of the first substrate 220 (228).

한편, 도면에서는 상기 배향액 유입영역이 제2컨택홀(229b)의 하부영역(즉, 게이트라인(203)에 인접하는 영역)에 형성되지만, 본 발명이 이러한 구성에 한정되는 것은 아니다. 상기 배향액 유입영역은 배향액이 기판상에서 퍼질 때 제1컨택홀(229a) 및 제2컨택홀(229b) 내부로 원활하게 유입되도록 하기 위한 것이므로, 이러한 목적을 달성할 수만 있다면 어떠한 구성이라도 가능하다. 예를 들어, 제2컨택홀(229b) 주위의 제2보호층(226) 상부의 화소전극(210) 중 위쪽(즉, 화소중앙측)의 화소전극이 제거되어 배향액 유입영역이 이 영역에 형성될 수도 있고 제2컨택홀(229b) 주위의 제2보호층(226) 상부의 화소전극(210) 중 측면(즉, 데이터라인측 및 그 반대측)의 화소전극이 제거되어 배향액 유입영역이 이 영역에 형성될 수도 있을 것이다.On the other hand, in the figure, the alignment liquid inflow region is formed in a lower region (that is, a region adjacent to the gate line 203) of the second contact hole 229b, but the present invention is not limited to such a structure. The alignment liquid inflow region is for smoothly flowing into the first contact holes 229a and the second contact holes 229b when the alignment liquid spreads on the substrate, and any structure is possible as long as such an object can be achieved . For example, the pixel electrode on the upper portion (that is, the pixel center side) of the pixel electrode 210 above the second passivation layer 226 around the second contact hole 229b is removed so that the liquid- And the pixel electrodes on the side surface (that is, the data line side and the opposite side) of the pixel electrode 210 above the second passivation layer 226 around the second contact hole 229b are removed so that the liquid- It may be formed in this region.

또한, 상기 컨택홀(229a,229b) 주위의 화소전극이 사각형상이 아니 다른 형상, 예를 들어, 원형상으로 형성될 때에도 배향액 유입영역이 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 배향액 유입영역은 배향막의 형성시 배향액이 퍼지는 방향의 일정 영역, 예를 들면 원형상 화소전극의 각 4분점(상하, 좌우측의)을 제거함으로써 형성될 수 있다.Further, even when the pixel electrodes around the contact holes 229a and 229b are formed in a shape other than a rectangular shape, for example, a circular shape, an alignment liquid inflow region can be formed. In this case, the alignment liquid inflow region may be formed by removing a predetermined region in the direction in which the alignment liquid spreads when forming the alignment film, for example, each quadrant (upper and lower, left and right) of the circular pixel electrode.

이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시소자 제조방법을 상세히 설명한다.Hereinafter, a method of manufacturing a liquid crystal display device according to a first embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

도 7a-도 7e는 본 발명의 제1실시예에 따른 액정표시소자의 제조방법을 나타내는 도면이다.7A to 7E are views showing a method of manufacturing a liquid crystal display element according to the first embodiment of the present invention.

우선, 도 7a에 도시된 바와 같이, 유리 또는 플라스틱과 같은 투명한 제1기판(220)상에 게이트전극(203)을 형성한다. 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 게이트전극(203)의 형성시 게이트라인을 형성한다. 상기 게이트전극(203)과 게이트라인은 Al이나 Al합금 등과 같은 금속을 증착(evaporation)이나 스퍼터링(sputtering)에 의해 제1기판(220)에 적층한 후 마스크를 이용한 포토공정(photolithography process)에 의해 패터닝함에 따라 형성할 수 있다.First, as shown in FIG. 7A, a gate electrode 203 is formed on a transparent first substrate 220 such as glass or plastic. Although not shown in the drawing, a gate line is formed when the gate electrode 203 is formed. The gate electrode 203 and the gate line are formed by depositing a metal such as Al or an Al alloy on the first substrate 220 by evaporation or sputtering and then performing a photolithography process using a mask And may be formed by patterning.

이어서, 상기 게이트전극(203)이 형성된 제1기판(220) 전체에 걸쳐 CVD방법(Chemical Vapor Deposistion process)에 의해 SiOx나 SiNx 등을 적층함으로써 게이트절연층(222)을 형성한다.Next, a gate insulating layer 222 is formed by depositing SiOx, SiNx, or the like over the entire first substrate 220 on which the gate electrode 203 is formed by a CVD (Chemical Vapor Deposition) process.

그 후, 상기 게이트절연층(222) 위에 반도체층(207)을 형성하고 상기 반도체층(312) 위에 소스전극(208) 및 드레인전극(209)을 형성한다. 상기 반도체층(207)은 비정질실리콘이나 결정질실리콘으로 이루어지는 것으로, 비정질반도체층을 형성하는 경우에는 CVD방법에 의해 비정실실리콘을 적층한 후 패터닝하여 형성하며 결정질반도체층을 형성하는 경우에는 비정질실리콘층을 형성한 후 이를 결정화하거나 결정질실리콘을 적층함으로써 형성한다. 상기 소스전극(208) 및 드레인전극(209)은 Cr, Mo, Al, Al합금 등과 같은 금속을 증착이나 스퍼터링에 의해 적층한 후 마스크를 이용한 포토공정에 의해 패터닝함으로써 형성한다. 또한, 도면에는 도시하지 않았지만, 상기 소스전극(208) 및 드레인전극(209)을 형성할 때 데이터라인도 형성한다.Thereafter, a semiconductor layer 207 is formed on the gate insulating layer 222 and a source electrode 208 and a drain electrode 209 are formed on the semiconductor layer 312. In the case of forming the amorphous semiconductor layer, the semiconductor layer 207 is formed by depositing amorphous silicon by CVD method and then patterning the amorphous silicon layer. In the case of forming the crystalline semiconductor layer, the amorphous silicon layer And then crystallizing or laminating crystalline silicon. The source electrode 208 and the drain electrode 209 are formed by depositing a metal such as Cr, Mo, Al, Al alloy or the like by vapor deposition or sputtering, and then patterning it by a photolithography process using a mask. Although not shown in the drawings, a data line is also formed when the source electrode 208 and the drain electrode 209 are formed.

이어서, 상기 박막트랜지스터가 형성된 제1기판(220) 위에 제1보호층(224)을 형성한 후, 식각하여 상기 드레인전극(209) 상부의 제1보호층(224)에 제1컨택홀(229a)을 형성한다. 이때, 상기 제1보호층(224)은 SiOx나 SiNx 등의 무기절연물질을 CVD 등에 의해 적층함으로써 형성하거나 포토아크릴(photo acryl)과 같은 유기절연물질을 도포함으로써 형성할 수 있다.A first passivation layer 224 is formed on the first substrate 220 on which the thin film transistor is formed and then etched to form a first contact hole 229a on the first passivation layer 224 above the drain electrode 209 ). The first passivation layer 224 may be formed by laminating an inorganic insulating material such as SiOx or SiNx by CVD or by applying an organic insulating material such as photo acryl.

그 후, 도 7b에 도시된 바와 같이, 상기 제1기판(220) 전체에 걸쳐서 ITO(Indium Tin Oxide)나 IZO(Indium Zinc Oxide)와 같은 투명도전물질로 이루어진 도전층(236a) 및 절연층(226a)를 적층한 후, 그 위에 포토레지스트를 적층하고 포토마스크에 의해 현상하여 상기 절연층(226a) 위에 포토레지스트패턴(260)을 형성한다. 이때, 상기 포토레지스트패턴(260)의 현상에 의해 제1컨택홀(229a)을 포함하는 절연층(226a)의 일부 영역이 외부로 노출된다. 이어서, 상기 포토레지스트패턴(260)에 의해 절연층(226a) 및 도전층(236a)을 식각한다.7B, a conductive layer 236a made of a transparent conductive material such as ITO (Indium Tin Oxide) or IZO (Indium Zinc Oxide) and an insulating layer A photoresist pattern 260 is formed on the insulating layer 226a by a photomask. At this time, a portion of the insulating layer 226a including the first contact hole 229a is exposed to the outside by the development of the photoresist pattern 260. [ Then, the insulating layer 226a and the conductive layer 236a are etched by the photoresist pattern 260. Then,

도 7c에 도시된 바와 같이, 상기 식각에 의해 절연층(226a) 및 도전층(236a)이 제거되어 공통전극(236) 및 제2보호층(226)이 형성됨과 동시에 제2컨택홀(229b)이 형성된다. 이때, 절연층(226a) 및 도전층(236a)은 식각속도가 다르므로, 절연층(226a) 및 도전층(236a)을 1회의 식각공정에 의해 식각할 때 상기 도전층(236a)이 오버식각되어 제2보호층(226) 하부에 공통전극(2360이 언더컷(under cut)된다.The insulating layer 226a and the conductive layer 236a are removed by the etching to form the common electrode 236 and the second passivation layer 226 and the second contact hole 229b, . Since the insulating layer 226a and the conductive layer 236a have different etching rates, when the insulating layer 226a and the conductive layer 236a are etched by one etching process, the conductive layer 236a is overetched So that the common electrode 2360 is undercut under the second protective layer 226.

그 후, 도 7d에 도시된 바와 같이, 제1기판(220) 전체에 걸쳐서 ITO나 IZO와 같은 투명도전물질로 이루어진 도전층(210a)을 적층하고 식각하여 화소전극(210)을 형성하고, 이어서 도 3에 도시된 배향막 형성장치를 이용하여 폴리미이드 또는 폴리아미드과 같은 배향액을 약 500-1000Å의 두께로 도포하여 제1기판(200) 전체에 걸쳐 제1배향막(228)을 형성한다.7D, a conductive layer 210a made of a transparent conductive material such as ITO or IZO is deposited over the entire surface of the first substrate 220 and etched to form the pixel electrode 210, 3, an orientation liquid such as a polyimide or polyamide is applied to a thickness of about 500-1000 A to form a first alignment layer 228 over the entire surface of the first substrate 200.

상기 화소전극(210)은 제2컨택홀(229b)를 전부 덮도록 배치되지만, 상기 제2컨택홀(229b)의 주위 전체에 배치되는 것이 아니라 주변 3변을 따라 배치된다. 즉, 제2컨택홀(229b)의 일변 주위에는 화소전극(210)이 형성되지 않고 제거되어 이 영역에 화소전극(210)에 의한 단차가 발생하지 않게 된다.The pixel electrode 210 is disposed to completely cover the second contact hole 229b, but is disposed along three sides of the periphery of the second contact hole 229b, not the entire periphery of the second contact hole 229b. That is, the pixel electrode 210 is not formed around the one side of the second contact hole 229b, and the pixel electrode 210 does not have a step in this region.

제1배향막(228)은 도 3에 도시된 배향막 형성장치에 의해 배향액을 적하한 후, 적하된 배향액을 제1기판(220) 전체에 걸쳐서 퍼지게 한 후 경화시킴으로써 형성된다. 이때, 상기 배향액은 배향액 유입영역을 통해 제2컨택홀(229b) 내부로 퍼지게 되므로, 컨택홀(229a,229b) 내부를 포함한 제1기판(220) 전체에 걸쳐서 균일한 제1배향막(228)을 형성할 수 있게 된다. 또한, 상기 제1배향막(228)은 러빙처리되어 설정된 배향방향이 주어진다.The first alignment film 228 is formed by dropping the alignment liquid by the alignment film forming apparatus shown in FIG. 3, spreading the aligned alignment liquid over the entire surface of the first substrate 220, and then curing. Since the alignment liquid spreads into the second contact holes 229b through the alignment liquid inflow region and uniformly spreads over the entire first substrate 220 including the contact holes 229a and 229b, ) Can be formed. In addition, the first alignment layer 228 is subjected to rubbing treatment to give a set alignment direction.

그 후, 도 7e에 도시된 바와 같이, 제2기판(230)에 Cr이나 CrOx 등의 금속을 적층하고 식각하여 화상비표시영역에 블랙매트릭스(232)를 형성한 후, 제2기판(230) 전체에 걸쳐 R(red), G(green), B(blue) 안료 또는 염료를 적층하고 식각하여 컬러필터층(234)을 형성한다. 이어서, 상기 컬러필터층(234)위에 배향막 형성장치에 의해 배향액을 도포하고 경화하여 제2배향막(238)을 형성한다. 도면에는 도시하지 않았지만, 제2배향막(238)을 형성하기 전에, 상기 컬러필터층(234) 위에 유기절연물질로 이루어진 평탄화층을 형성할 수도 있다.7E, a metal such as Cr or CrOx is stacked on the second substrate 230 and etched to form a black matrix 232 in the image non-display area. Then, (R), green (G), and blue (B) pigments or dyes are deposited and etched to form a color filter layer 234 over the entire surface. Then, an alignment liquid is applied onto the color filter layer 234 by an alignment film forming apparatus and cured to form a second alignment film 238. [ Although not shown in the drawing, a planarization layer made of an organic insulating material may be formed on the color filter layer 234 before the second alignment film 238 is formed.

이어서, 상기 제1기판(220) 및 제2기판(230) 사이에 액정층(240)을 형성하여 액정표시소자를 완성한다.Next, a liquid crystal layer 240 is formed between the first substrate 220 and the second substrate 230 to complete a liquid crystal display device.

상술한 바와 같이, 본 발명에서는 컨택홀(229a,229b) 주위의 일측의 화소전극(210)를 제거하여 배향액의 도포시 컨택홀(229a,229b) 내부로 배향액이 원활하게 유입되도록 함으로써 제1기판(220) 전체에 걸쳐 제1배향막(228)이 균일한 두께로 형성되도록 한다. 그 결과, 제1배향막(228)의 불균일에 의해 야기되는 빛샘현상을 방지할 수 있게 된다.As described above, in the present invention, since the pixel electrode 210 on one side around the contact holes 229a and 229b is removed to smoothly flow the alignment liquid into the contact holes 229a and 229b when the alignment liquid is applied, So that the first alignment layer 228 is formed to have a uniform thickness over one substrate 220. As a result, the light leakage phenomenon caused by the unevenness of the first alignment film 228 can be prevented.

도 8a 및 도 8b는 본 발명의 제2실시예에 따른 액정표시소자의 구조를 나타내는 도면이다. 이때, 이 실시예의 구조는 제1실시예와 유사하므로, 동일한 구조에 대해서는 설명을 생략하고 다른 구조에 대해서만 자세히 설명한다.8A and 8B are views showing a structure of a liquid crystal display device according to a second embodiment of the present invention. Since the structure of this embodiment is similar to that of the first embodiment, description of the same structure will be omitted and only other structures will be described in detail.

도 8a에 도시된 바와 같이, 이 구조의 액정표시소자에서는 제2컨택홀(329b) 및 그 주위에 화소전극(310)이 배치된다. 제1실시예에서는 제2컨택홀의 일측(또는 일변측) 화소전극이 모두 제거되어 사각형상의 제2컨택홀의 일변측에 화소전극이 배치되지 않고 컨택홀 내부에만 화소전극이 형성되어, 제2컨택홀의 일변 전체 영역을 통해 컨택홀(329b) 내부로 퍼지는데 반해, 본 발명에서는 제2컨택홀(329b)의 둘러싸는 화소전극(310)에 설정 폭(d)의 홈으로 이루어진 배향액 유입통로(310a)가 형성된다. 이때, 상기 홈은 그 입구가 배향막의 형성시 액정표소자의 전체로 퍼지는 배향액 퍼짐방향을 따라 형성된다. 또한, 상기 홈의 연장방향도 배향액 퍼짐방향과 대략 평행하게 배치되는 것이 바람직할 것이다.As shown in Fig. 8A, in the liquid crystal display element of this structure, the second contact hole 329b and the pixel electrode 310 are arranged around the second contact hole 329b. In the first embodiment, all the pixel electrodes on one side (or one side) of the second contact holes are removed so that the pixel electrodes are not disposed on one side of the rectangular second contact holes, pixel electrodes are formed only inside the contact holes, The pixel electrode 310 surrounding the second contact hole 329b is filled with the alignment liquid inflow passages 310a and 310b formed in the grooves having the set width d, Is formed. At this time, the grooves are formed along the orientation liquid spreading direction in which the entrance thereof spreads all over the liquid crystal tabular element when the alignment film is formed. It is also preferable that the extending direction of the grooves is also arranged substantially parallel to the orientation liquid spreading direction.

즉, 제1실시예에 비해, 이 실시예에서는 제2컨택홀(329b)로 유입되는 배향액의 유입통로가 작게 형성되는데, 제1실시예의 구조인 도 9a 및 도 9b를 참조하여 그 이유를 설명한다.That is, compared to the first embodiment, in this embodiment, the inflow passage of the alignment liquid introduced into the second contact holes 329b is formed to be small. The structure of the first embodiment, which is shown in Figs. 9A and 9B, Explain.

도 9a에 도시된 바와 같이, 제1실시예에서는 제2컨택홀(229b)의 일측 화소전극(210)이 모두 제거되므로, 다른 영역에서는 화소전극(210)이 제2보호층(226) 및 공통전극(236)의 측단면을 덮고 있는 반면에, 해당 영역에서는 제2보호층(226) 및 공통전극(236)이 외부로 노출된다. 따라서, 화소전극(210)의 형성시 식각액에 의해 도전층을 식각할 때 상기 노출된 영역의 공간(S)을 통해 식각액이 침투하게 된다. 9A, since the pixel electrodes 210 on one side of the second contact holes 229b are all removed in the first embodiment, the pixel electrodes 210 are formed in the second protective layer 226 and common The second protection layer 226 and the common electrode 236 are exposed to the outside while covering the side surface of the electrode 236. Therefore, when the conductive layer is etched by the etching liquid when the pixel electrode 210 is formed, the etching liquid penetrates through the space S of the exposed region.

도 9b에 도시된 바와 같이, 침투한 식각액은 화소전극(210)의 가장자리를 따라 화소전극(210)의 내부로 침투하여 화소전극(210)을 단선시키게 된다. 화소전극(210)이 단선되는 경우, 박막트랜지스터를 통해 공급되는 화상신호가 해당 화소의 화소전극(210)으로 인가되지 않게 되어 해당 화소가 암점으로 되므로, 액정표시소자가 불량으로 된다.9B, the penetrated etchant penetrates the pixel electrode 210 along the edge of the pixel electrode 210, thereby breaking the pixel electrode 210. When the pixel electrode 210 is disconnected, an image signal supplied through the thin film transistor is not applied to the pixel electrode 210 of the corresponding pixel, and the corresponding pixel becomes a dark spot, resulting in a defective liquid crystal display element.

상기와 같이 제1실시예에서는 배향액을 제2컨택홀(229b)로 유입하기 위해 제거된 영역으로 식각액이 침투한 후, 화소전극(210)의 가장자리 영역을 따라 화소전극(210)의 내부로 침투하게 된다. 만약, 화소전극(210)의 일측을 제거하지 않는 경우, 식각액의 침투에 의한 화소전극(210)의 단선이 발생하지 않지만, 이 경우 배향막의 불균일한 도포에 의한 빛샘현상이 발생한다.As described above, in the first embodiment, the etchant penetrates into the removed region to flow the alignment liquid into the second contact holes 229b, and then, along the edge region of the pixel electrode 210, Infiltration. If one side of the pixel electrode 210 is not removed, disconnection of the pixel electrode 210 due to penetration of the etchant does not occur. However, in this case, a light leakage phenomenon occurs due to nonuniform application of the alignment film.

이 실시예에서는 배향막을 균일하게 형성함과 동시에 식각액의 침투에 의한 화소전극(310)의 단선을 방지할 수 있게 된다. 이를 위해 이 실시예에서는 제2컨택홀(329b) 주위의 화소전극(310)를 제거하여 제2컨택홀(329b) 내부로 유입되는 배향액 유입통로를 형성함과 동시에 상기 배향액 유입통로를 최소화하여 화소전극(310)의 가장자리를 따라 침투하는 식각액 침투경로를 최대한 길게 하여 식각액이 화소전극(310)의 내부까지 침투하지 못하도록 한다.In this embodiment, it is possible to uniformly form the alignment film and to prevent disconnection of the pixel electrode 310 due to penetration of the etchant. For this, in this embodiment, the pixel electrode 310 around the second contact hole 329b is removed to form an alignment liquid inflow passageway that flows into the second contact hole 329b, and at the same time, the alignment liquid inflow passageway is minimized The etchant penetrating path along the edge of the pixel electrode 310 is maximized to prevent the etchant from penetrating into the pixel electrode 310.

즉, 도 8a에 도시된 바와 같이, 제2보호층(326) 상부의 제2컨택홀(329b) 주위의 화소전극(310)을 제거하되 제2컨택홀(329b)의 일측 전체를 제거하는 것이 아니라 일정 영역만을 제거하여 화소전극(310)에 설정된 폭(d) 및 길이(ℓ)의 배향액이 유입되는 홈형상의 유입통로(310a)를 형성한다. 배향액이 적하되어 퍼질 때, 화소전극(310)의 가장자리 단차를 통해 퍼지는 배향액이 상기 유입통로(310a)를 통해 제2컨택홀(329b) 내부로 흘러들어가게 되므로, 상기 컨택홀(329a,329b)을 포함하는 제1기판(320) 전체에 걸쳐 균일한 두께의 배향액 도포가 가능하게 된다.8A, the pixel electrode 310 around the second contact hole 329b on the second passivation layer 326 is removed, and the entire one side of the second contact hole 329b is removed Only the predetermined region is removed to form a groove-like inflow passage 310a into which the alignment liquid having the width (d) and the length (l) set in the pixel electrode 310 flows. The alignment liquid flowing through the edge step of the pixel electrode 310 flows into the second contact hole 329b through the inflow passageway 310a when the alignment liquid is dripped and spreading so that the contact holes 329a and 329b The alignment liquid can be uniformly applied over the entire surface of the first substrate 320 including the first substrate 320.

한편, 이 실시 예에서도 화소전극(310)의 식각시, 상기 유입통로(310a)를 통해 식각액이 유입되며, 이 식각액이 화소전극(310)의 가장자리를 따라 화소전극(310) 내부에 침투하게 된다. 그런데, 이 실시예에서는 유입통로(310a)가 일정 폭(d) 및 길이(ℓ)로 형성되므로, 이 영역으로 침투한 식각액이 유입통로(310a)의 가장자리를 따라 ℓ의 길이만큼 화소전극(310)의 외곽 가장자리로 퍼진 후, 다시 화소전극(310)의 외곽 가장자리를 따라 화소전극(310) 내부로 침투하게 된다.In this embodiment, the etching liquid flows into the pixel electrode 310 along the edge of the pixel electrode 310 when the pixel electrode 310 is etched, and the etchant flows into the pixel electrode 310 through the inflow path 310a . In this embodiment, since the inflow passages 310a are formed to have a constant width d and a length l, the etchant infiltrated into this area is formed along the edges of the inflow passages 310a by the length of the pixel electrodes 310 And then penetrates into the pixel electrode 310 along the outer edge of the pixel electrode 310 again.

따라서, 제1실시예에 비해, 식각액의 침투거리가 증가(2ℓ+α(유입경로가 형성되는 변의 유입경로의 폭을 제외한 화소전극의 일변 길이))하게 되므로, 화소전극(310) 내부로 식각액의 침투가 어렵게 된다. 일부의 식각액이 화소전극(310) 내부로 침투하는 경우에도 그 양이 최소화되어 화소전극(310)을 단선시킬 수 없게 된다.Therefore, compared to the first embodiment, since the penetration distance of the etchant increases (2 L + (the length of one side of the pixel electrode excluding the width of the inflow path of the side where the inflow path is formed)), It becomes difficult to penetrate. Even when a part of the etchant penetrates into the pixel electrode 310, the amount thereof is minimized and the pixel electrode 310 can not be disconnected.

한편, 도면에서는 상기 유입통로(310a)가 특정 폭(a) 및 길이(ℓ)를 가진 직사각형상으로 이루어져 있지만, 상기 유입통로(310a)가 특정 형상으로 이루어질 필요는 없다. 상기 유입통로(310a)의 목적은 배향액을 제2컨택홀(329b) 내부로 유입함과 아울러 화소전극(310)의 가장자리를 따라 화소전극(310) 내부로 침투하는 식각액의 침투거리를 증가시키기 위한 것이므로, 이러한 목적을 달성할 수 있는 형상이라면 어떠한 형상도 가능하다. 예를 들어, 상기 유입통로(310a)는 일정 각도로 지그재그 형상의 직선으로 이루어질 수 있고 일정 곡률을 갖고 복수 회 구부러진 곡면형상으로 이루어질 수도 있다.Although the inlet passage 310a has a rectangular shape having a specific width (a) and a length (l), the inlet passage 310a need not have a specific shape. The purpose of the inflow path 310a is to increase the infiltration distance of the etchant flowing into the pixel electrode 310 along the edge of the pixel electrode 310 while flowing the alignment liquid into the second contact hole 329b Any shape can be used as long as it can achieve this purpose. For example, the inflow passage 310a may be formed by a zigzag straight line at a certain angle, and may have a curved shape with a predetermined curvature and bent a plurality of times.

또한, 상기 유입통로(310a)는 특정 위치에 한정되어 배치될 필요는 없다. 도면에서는 상기 유입통로(310a)가 제2컨택홀(329b) 주위의 사각형상 화소전극(310)의 하변측에 형성되지만, 상기 유입통로(310a)가 측변이나 상변과 같이 다양한 위치에 형성될 수 있을 것이다.Further, the inflow passage 310a need not be limited to a specific position. Although the inflow path 310a is formed on the lower side of the rectangular pixel electrode 310 around the second contact hole 329b in the figure, the inflow path 310a may be formed at various positions such as a side surface and a top surface. There will be.

화소전극(310)의 원형상인 경우, 상기 유입통로(301a)는 설정폭으로 원지름방향으로 컨택홀(329b)의 경계까지 제거되어 홈형상의 유입통로(310a)가 형성될 수 있다. 이때, 상기 유입통로(310a)의 원지름방향으로 원주상 어디에도 형성될 수 있지만, 배향막의 형성시 배향액의 퍼짐방향을 따라 구비되는 것이 바람직하다.In the case of the circular shape of the pixel electrode 310, the inflow passage 301a may be removed to the boundary of the contact hole 329b in the circumferential direction by the set width to form the groove-like inflow passage 310a. At this time, although it may be formed anywhere on the circumference in the circular diameter direction of the inflow passage 310a, it is preferable that it is provided along the spreading direction of the alignment liquid when forming the alignment film.

그리고, 도 9b에 도시된 바와 같이, 상기 유입통로(310a)는 복수개 형성될 수 있다. 앞서 설명한 바와 같이, 유입통로(310a)의 목적은 배향액을 컨택홀(329a,329b) 내부로 유입함과 아울러 화소전극(310)의 가장자리를 따라 화소전극(310) 내부로 침투하는 식각액의 침투거리를 증가시키기 위한 것이므로, 유입통로(310a)를 복수개 형성함으로써 이러한 목적을 더욱 용이하게 달성할 수 있다. 즉, 유입통로(310a)를 복수개 형성함에 따라 제2컨택홀(329b) 내부로의 배향액 유입이 원활하게 되며, 유입통로(310a)에 의해 침투되는 식각액은 복수의 유입통로(310a)의 가장자리를 따라 화소전극(310)의 내부로 침투해야만 하므로, 식각액의 침투거리가 증가하게 되어 화소전극(310)의 단선을 방지할 수 있게 된다.As shown in FIG. 9B, a plurality of the inflow passages 310a may be formed. As described above, the purpose of the inflow path 310a is to cause the alignment liquid to flow into the contact holes 329a and 329b, to penetrate the pixel electrode 310 along the edge of the pixel electrode 310, This purpose is more easily achieved by forming a plurality of the inflow passages 310a since it is for increasing the distance. That is, by forming a plurality of the inflow passages 310a, the infiltration of the alignment liquid into the second contact holes 329b is smooth, and the etchant infiltrated by the inflow passages 310a flows into the edges of the plurality of inflow passages 310a The penetration distance of the etchant is increased and the disconnection of the pixel electrode 310 can be prevented.

도면에서는 복수의 유입통로(310a)가 특정 형상으로 구성되지만, 유입통로(310a)는 지그재그의 직선형상이나 구불구불한 곡면형상과 같이 다양한 형상으로 구성될 수 있다. 또한, 도면에서는 복수의 유입통로(310a)가 제2컨택홀(329b) 주위의 사각형상 화소전극(310)의 특정 일변측(즉, 하변측)에 모두 형성되지만, 유입통로(310a)가 타변(즉, 상변이나 측변)에 형성될 수 있고 두변이나 그 이상의 변에 형성될 수도 있다. 복수의 유입통로(310a)가 두번 이상의 변에 형성되는 경우, 각 변에 형성되는 유입통로(310a)는 모두 동일한 형상으로 구성될 수도 있고 다른 형상으로 구성될 수 있다.Although a plurality of inflow passages 310a are formed in a specific shape in the drawing, the inflow passages 310a may be formed in various shapes such as a zigzag linear shape or a serpentine curved shape. Although a plurality of inflow passages 310a are formed on the specific one side (that is, the lower side) of the square-shaped pixel electrode 310 around the second contact hole 329b in the figure, (I. E., Top side or side) and may be formed on two or more sides. When a plurality of inflow passages 310a are formed on two or more sides, the inflow passages 310a formed on each side may be formed in the same shape or in different shapes.

상술한 설명에서는 본 발명을 특정 구조로 설명하고 있지만, 이는 설명의 편의를 위한 것이지 발명을 한정하기 위한 것은 아니다. 예를 들어, 상술한 상세한 설명에서는 화소전극과 공통전극의 구조가 특정 구조로 개시되어 있지만, 본 발명이 이러한 특정 구조의 화소전극과 공통전극에 한정되는 것이 아니다. 본 발명은 액정표시장치에 관한 것으로, 배향막이 구비된 모든 구조의 액정표시소자에 적용될 수 있을 것이다.Although the present invention has been described with a specific structure for the sake of convenience, it is not intended to limit the scope of the present invention. For example, although the structure of the pixel electrode and the common electrode is described in the above-described detailed structure in a specific structure, the present invention is not limited to the pixel electrode and the common electrode having such a specific structure. The present invention relates to a liquid crystal display device, and can be applied to liquid crystal display devices having all the structures provided with an alignment film.

또한, 상기한 설명에 많은 사항이 구체적으로 기재되어 있으나 이것은 발명의 범위를 한정하는 것이라기보다 바람직한 실시예의 예시로서 해석되어야 한다. 따라서 발명은 설명된 실시예에 의하여 정할 것이 아니고 특허청구범위와 특허청구범위에 균등한 것에 의하여 정하여져야 한다.In addition, although many details are described in the above description, it should be interpreted as an example of preferred embodiments rather than limiting the scope of the invention. Therefore, the invention should not be construed as limited to the embodiments described, but should be determined by equivalents to the appended claims and the claims.

120,130,220,230 : 기판 210,310 : 화소전극
224,324 : 제1보호층 226,326 : 제2보호층
229a,229b,329a,329b : 컨택홀 236,336 : 공통전극
228,238,328,338 : 배향막
120, 130, 220, 230: substrate 210, 310: pixel electrode
224, 324: first protective layer 226, 326: second protective layer
229a, 229b, 329a, 329b: contact holes 236, 336:
228, 238, 328, 338:

Claims (14)

복수의 화소를 포함하는 기판;
화소 각각에 배치된 박막트랜지스터;
화소 각각에 배치된 공통전극 및 화소전극;
화소에 배치되어 상기 박막트랜지스터와 화소전극을 접속하는 컨택홀; 및
상기 기판 전체에 걸쳐 배치된 배향막으로 구성되며,
상기 화소전극은 컨택홀 내부 및 컨택홀 주위에 배치되며, 상기 컨택홀 주위의 화소전극에는 컨택홀과 연결되어 배향막의 형성시 배향액이 유입되는 유입통로가 구비된 액정표시소자.
A substrate including a plurality of pixels;
A thin film transistor arranged in each pixel;
A common electrode and a pixel electrode arranged in each pixel;
A contact hole disposed in the pixel to connect the thin film transistor and the pixel electrode; And
And an alignment layer disposed over the entire substrate,
Wherein the pixel electrode is disposed inside the contact hole and around the contact hole, and the pixel electrode around the contact hole is connected to the contact hole to have an inlet passage through which the alignment liquid flows when the alignment layer is formed.
제1항에 있어서, 상기 박막트랜지스터는,
제1기판에 배치된 게이트전극;
상기 게이트전극 위에 배치된 게이트절연층;
상기 게이트절연층 위에 배치된 반도체층; 및
상기 반도체층 위에 배치된 소스전극 및 드레인전극을 포함하는 액정표시소자.
The thin film transistor according to claim 1,
A gate electrode disposed on the first substrate;
A gate insulating layer disposed on the gate electrode;
A semiconductor layer disposed on the gate insulating layer; And
And a source electrode and a drain electrode disposed on the semiconductor layer.
제2항에 있어서,
상기 박막트랜지스터를 덮는 제1보호층; 및
상기 공통전극 및 화소전극 사이에 배치된 제2보호층을 추가로 포함하는 액정표시소자.
3. The method of claim 2,
A first passivation layer covering the thin film transistor; And
And a second protective layer disposed between the common electrode and the pixel electrode.
제3항에 있어서, 상기 컨택홀은 드레인전극 상부의 제1보호층 및 제2보호층에 형성되는 액정표시소자.The liquid crystal display according to claim 3, wherein the contact hole is formed in the first passivation layer and the second passivation layer above the drain electrode. 제4항에 있어서, 상기 화소전극은 컨택홀 주위의 제2보호층 상부에 배치되는 액정표시소자.The liquid crystal display element according to claim 4, wherein the pixel electrode is disposed above the second passivation layer around the contact hole. 제5항에 있어서, 배향액 유입통로는 컨택홀 주위의 사각형상 화소전극의 4변중 적어도 일변 전체에 구성되는 액정표시소자.The liquid crystal display element according to claim 5, wherein the alignment liquid inflow passages are formed on at least one side of four sides of the square-shaped pixel electrodes around the contact holes. 제5항에 있어서, 상기 배향액 유입통로는 컨택홀 주위의 화소전극에 소정의 폭으로 구성되는 액정표시소자.The liquid crystal display element according to claim 5, wherein the alignment liquid inflow passages are formed with a predetermined width in the pixel electrodes around the contact holes. 제7항에 있어서, 상기 배향액 유입통로는 컨택홀 주위의 화소전극에 소정의 폭으로 구비된 홈인 액정표시소자.The liquid crystal display element according to claim 7, wherein the alignment liquid inflow passages are grooves provided at predetermined widths in the pixel electrodes around the contact holes. 제8항에 있어서, 상기 홈의 입구는 배향액의 퍼짐방향을 따라 배치되는 액정표시소자.The liquid crystal display element according to claim 8, wherein an inlet of the groove is disposed along a spreading direction of the alignment liquid. 제7항에 있어서, 상기 배향액 유입통로는 사각형상, 지그재그형상 또는 곡면형상으로 이루어진 액정표시소자.The liquid crystal display element according to claim 7, wherein the alignment liquid inflow passage has a rectangular shape, a zigzag shape, or a curved shape. 제7항에 있어서, 상기 배향액 유입통로는 화소전극에 복수개 구비되는 액정표시소자.The liquid crystal display element according to claim 7, wherein a plurality of alignment liquid inflow passages are provided on the pixel electrodes. 제4항에 있어서, 상기 공통전극은 제1보호층 상부에 배치되고 화소전극은 제2보호층 상부에 배치되며, 상기 공통전극은 언더컷되어 공간에 의해 화소전극과 전기적으로 절연되는 액정표시소자.The liquid crystal display according to claim 4, wherein the common electrode is disposed on the first passivation layer, the pixel electrode is disposed on the second passivation layer, and the common electrode is undercut to be electrically insulated from the pixel electrode by the space. 복수의 화소를 포함하는 기판;
화소 각각에 배치된 박막트랜지스터;
상기 기판 위에 배치된 제1보호층;
상기 화소의 제1보호층 위에 배치된 공통전극;
상기 공통전극 상부에 배치된 제2보호층;
상기 제2보호층 위에 배치되며, 상기 제1보호층 및 제2보호층에 형성된 컨택홀을 통해 박막트랜지스터와 접속되는 화소전극; 및
상기 기판 전체에 걸쳐 배치된 배향막으로 구성되며,
상기 화소전극에는 배향막의 배향액을 상기 컨택홀로 유입하는 유입통로가 구비되며, 상기 유입통로는 화소전극의 가장자리를 따라 침투하는 식각액의 침투거리를 최대화하는 액정표시소자.
A substrate including a plurality of pixels;
A thin film transistor arranged in each pixel;
A first protective layer disposed on the substrate;
A common electrode disposed over the first passivation layer of the pixel;
A second protective layer disposed on the common electrode;
A pixel electrode disposed on the second passivation layer and connected to the thin film transistor through a contact hole formed in the first passivation layer and the second passivation layer; And
And an alignment layer disposed over the entire substrate,
Wherein the pixel electrode is provided with an inflow passageway for introducing an alignment liquid of the alignment layer into the contact hole, the inflow passageway maximizing the infiltration distance of the etchant penetrating along the edge of the pixel electrode.
제13항에 있어서, 상기 유입통로는 설정된 폭 및 길이의 사각형상, 지그재그형상 또는 곡면형상으로 이루어진 액정표시소자.14. The liquid crystal display according to claim 13, wherein the inflow passage has a rectangular shape, a zigzag shape or a curved shape with a predetermined width and a predetermined length.
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