JP2015075358A - Radiation inspection device - Google Patents

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美樹 田村
Miki Tamura
美樹 田村
上田 和幸
Kazuyuki Ueda
和幸 上田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a detection device that can identify, at a high resolution, a foreign matter deposited in fluid stored in an analyte, and can accurately detect it.SOLUTION: A radiation generating tube 1A is disposed so as to emit radiation at a predetermined angle with respect to the vertical direction, and, in a radiation detector 2, the string of radiation detection elements 21 is disposed in the longitudinal direction. They are disposed so as to satisfy θ>θ. Here, θshows the angle between the straight line 51 that connects the center of the radiation detection element 211 located at the lowest end to the focal point center of the radiation generating tube 1A and the normal line 5 of the electron irradiation surface of a target passing the focal point center. The θshows the angle between the normal line 5 and the straight line 52 that connects the center of the radiation detection element 212 located at the upper end to the focal point center of the radiation generating tube 1A.

Description

本発明は、被検体にX線等の放射線を照射することによって、被検体中の異物の検出を行う放射線検査装置に関する。   The present invention relates to a radiation inspection apparatus that detects a foreign substance in a subject by irradiating the subject with radiation such as X-rays.

各種製品中への異物の混入の有無を検査する手段として、放射線検査装置が用いられている。放射線検査装置は、X線等の放射線を被検体に照射し、被検体を透過した放射線を放射線検出器で検出するものであり、被検体を透過した放射線量の違いから、被検体中の異物の有無を検出するものである。   Radiation inspection apparatuses are used as means for inspecting the presence or absence of foreign matters in various products. The radiation inspection apparatus irradiates a subject with radiation such as X-rays, and detects radiation transmitted through the subject with a radiation detector. Due to the difference in the amount of radiation transmitted through the subject, foreign matter in the subject is detected. The presence or absence of is detected.

近年、特に食品分野においては食品の安全性に関する要求が高まっており、異物の混入を防止することが求められている。そのため放射線検査装置においても、異物の検出精度を上げるための様々な工夫がされている。   In recent years, particularly in the food field, there has been an increasing demand for food safety, and there is a need to prevent contamination by foreign substances. For this reason, various measures have been taken to improve the detection accuracy of foreign substances in radiation inspection apparatuses.

従来、例えば特許文献1には、被検体の底面付近に放射線を水平面に対して斜めに照射する放射線検査装置が開示されている。特許文献1には、このような放射線検査装置によると、底面付近の異物を拡大して検出できるため、異物が沈殿しやすい飲料品中の異物検出の精度を向上させることができることが記載されている。   Conventionally, for example, Patent Document 1 discloses a radiation inspection apparatus that irradiates radiation near the bottom surface of a subject obliquely with respect to a horizontal plane. Patent Document 1 describes that, according to such a radiation inspection apparatus, foreign matter in the vicinity of the bottom surface can be enlarged and detected, so that the accuracy of foreign matter detection in beverages in which foreign matter tends to settle can be improved. Yes.

特開2012−68126号JP 2012-68126 A

ところで、飲料品等の流体中に混入する異物の場合、流体の種類や製造工程によって、被検体の流体よりも比重が大きく沈殿しやすい異物が混入する場合と、被検体の流体よりも比重が小さく浮上しやすい異物が混入する場合がある。   By the way, in the case of foreign matter mixed in fluid such as beverages, depending on the type of fluid and the manufacturing process, foreign matter having a specific gravity larger than that of the subject fluid and easily settled may be mixed, and the specific gravity may be higher than that of the subject fluid. There may be small foreign objects that are likely to rise.

しかしながら、前記特許文献1に開示されている放射線検査装置においては、流体中に浮上する異物の検出に関しては特に改善はされていない。また、特許文献1は、異物を拡大して検出することを開示しているだけで、微小な異物を高解像度で検出することについての特段の開示はしていない。   However, in the radiation inspection apparatus disclosed in Patent Document 1, no particular improvement has been made with respect to the detection of foreign matter that floats in the fluid. Further, Patent Document 1 only discloses that the foreign matter is enlarged and detected, but does not specifically disclose that the minute foreign matter is detected with high resolution.

本発明は、上記課題を解決するものであり、本発明の目的は、比重の違い等により流体中に偏在する異物を、高解像度で把握できるようにすることで、精度良く検出することができる放射線検査装置を提供することにある。   The present invention solves the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to detect foreign matter unevenly distributed in a fluid due to a difference in specific gravity, etc., so that it can be accurately detected. The object is to provide a radiological examination apparatus.

前記目的のために、本発明の第1は、電子の照射により放射線を発生させるターゲットを備えた放射線発生管と、
前記放射線発生管からの放射線の照射を受ける複数の放射線検出素子の列を有する放射線検出器と、
前記放射線発生管と前記放射線検出器との間に被検体を位置させることができる被検体配置部とを備えた放射線検査装置において、
前記放射線発生管は、鉛直方向に所定の放射角をもって前記放射線を放出するように配置されていると共に、
前記放射線検出器は、前記放射線検出素子の列が縦方向となるように配置されており、
下端に位置する放射線検出素子の中心と前記放射線発生管の焦点中心とを結ぶ直線と、前記焦点中心を通る前記ターゲットの電子照射面の法線とがなす角度をθ1、上端に位置する放射線検出素子の中心と前記放射線発生管の焦点中心とを結ぶ直線と、前記法線とがなす角度をθ2とした時に、θ1>θ2であることを特徴とする放射線検査装置を提供するものである。
To that end, a first aspect of the present invention is a radiation generating tube provided with a target that generates radiation by electron irradiation,
A radiation detector having a plurality of rows of radiation detection elements that receive radiation from the radiation generating tube;
In a radiological examination apparatus comprising a subject placement unit capable of positioning a subject between the radiation generating tube and the radiation detector,
The radiation generating tube is arranged to emit the radiation with a predetermined radiation angle in the vertical direction, and
The radiation detector is arranged so that the rows of the radiation detection elements are in a vertical direction,
The angle formed by the straight line connecting the center of the radiation detecting element located at the lower end and the focal center of the radiation generating tube and the normal of the electron irradiation surface of the target passing through the focal center is θ 1 , and the radiation located at the upper end Provided is a radiation inspection apparatus characterized in that θ 1 > θ 2 when θ 2 is an angle formed by a straight line connecting the center of the detection element and the focal center of the radiation generating tube and the normal line. Is.

また、本発明の第2は、電子線束の照射により放射線を発生させるターゲットを備えた放射線発生管と、
前記放射線発生管からの放射線の照射を受ける複数の放射線検出素子の列を有する放射線検出器と、
前記放射線発生管と前記放射線検出器との間に被検体を位置させることができる被検体配置部とを備えた放射線検査装置において、
前記放射線発生管は、鉛直方向に所定の放射角をもって前記放射線を放出するように配置されていると共に、
前記放射線検出器は、前記放射線検出素子の列を縦方向に向けて配置されており、
下端に位置する放射線検出素子の中心と前記放射線発生管の焦点中心とを結ぶ直線と、前記焦点中心を通る前記ターゲットの電子照射面の法線とがなす角度をθ1、上端に位置する放射線検出素子の中心と前記放射線発生管の焦点中心とを結ぶ直線と、前記法線とがなす角度をθ2とした時に、θ2>θ1であることを特徴とする放射線検査装置を提供するものである。
A second aspect of the present invention is a radiation generating tube provided with a target for generating radiation by irradiation with an electron beam bundle,
A radiation detector having a plurality of rows of radiation detection elements that receive radiation from the radiation generating tube;
In a radiological examination apparatus comprising a subject placement unit capable of positioning a subject between the radiation generating tube and the radiation detector,
The radiation generating tube is arranged to emit the radiation with a predetermined radiation angle in the vertical direction, and
The radiation detector is arranged with the rows of the radiation detection elements oriented in the vertical direction,
The angle formed by the straight line connecting the center of the radiation detecting element located at the lower end and the focal center of the radiation generating tube and the normal of the electron irradiation surface of the target passing through the focal center is θ 1 , and the radiation located at the upper end Provided is a radiation inspection apparatus characterized in that θ 2 > θ 1 when θ 2 is an angle formed between a straight line connecting the center of the detection element and the focal center of the radiation generating tube and the normal line. Is.

本発明の第1によると、被検体配置部に設けられた被検体の下部側における見かけの焦点長が、上部側における見かけの焦点長及びターゲット上の焦点長よりも小さくなる。これによって被検体の下部側の解像度を上げることができるので、被検体の下部において精度の高い検出を行うことができる。従って、本発明の第1に係る放射線検査装置は、流体を収納した容器を被検体とし、この中に混入した、流体より高比重な異物を検出対象とすると、流体中に沈殿した異物を精度よく検出することができる。   According to the first aspect of the present invention, the apparent focal length on the lower side of the subject provided in the subject placement portion is smaller than the apparent focal length on the upper side and the focal length on the target. As a result, the resolution on the lower side of the subject can be increased, so that highly accurate detection can be performed on the lower portion of the subject. Therefore, the radiological examination apparatus according to the first aspect of the present invention uses a container containing a fluid as a subject, and detects foreign matter having a specific gravity higher than that of the fluid mixed in the subject as a detection target. Can be detected well.

本発明の第2によると、被検体配置部に設けられた被検体の上部側における見かけの焦点長が、下部側における見かけの焦点長及びターゲット上の焦点長よりも小さくなる。これによって被検体の上部側の解像度を上げることができるので、被検体の上部において精度の高い検出を行うことができる。従って、本発明の第2に係る放射線検査装置は、流体を収納した容器を被検体とし、この中に混入した、流体より低比重な異物を検出対象とすると、流体上に浮揚した異物を精度よく検出することができる。   According to the second aspect of the present invention, the apparent focal length on the upper side of the subject provided in the subject placement portion is smaller than the apparent focal length on the lower side and the focal length on the target. As a result, the resolution on the upper side of the subject can be increased, so that highly accurate detection can be performed on the upper portion of the subject. Therefore, in the radiological examination apparatus according to the second aspect of the present invention, if a container containing a fluid is used as a subject and a foreign substance having a specific gravity lower than that of the fluid mixed therein is detected, the foreign substance levitated on the fluid is accurately detected. Can be detected well.

本発明の放射線検査装置の第1の例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the 1st example of the radiography apparatus of this invention. 本発明の放射線検査装置における放射角度と焦点長に関する説明図である。It is explanatory drawing regarding the radiation angle and focal length in the radiographic inspection apparatus of this invention. 本発明の放射線検査装置に用いられる放射線発生管の模式図である。It is a schematic diagram of the radiation generating tube used for the radiation inspection apparatus of this invention. 本発明の放射線検査装置のシステム構成図である。1 is a system configuration diagram of a radiation inspection apparatus of the present invention. 本発明の放射線検査装置の第2の例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the 2nd example of the radiography apparatus of this invention. 本発明の放射線検査装置の第3の例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the 3rd example of the radiography apparatus of this invention. 本発明の放射線検査装置の第4の例を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the 4th example of the radiography apparatus of this invention.

以下、図面を用いて本発明の実施形態を説明する。なお、以下に参照する図面において、同じ符号は同様の構成要素を示す。また、図1、5、6および7において、上下方向は鉛直方向である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings referred to below, the same reference numerals indicate the same components. 1, 5, 6 and 7, the vertical direction is the vertical direction.

〔第1の例〕
まず、図1から図4を用いて本発明の第1の例について説明する。本例は、被検体4が流体41を収納した容器42であり、容器42の中に混入した、収納されている流体41よりも高比重な異物を検出対象とするのに適した放射線検査装置の例である。また、被検体4の斜め上方から放射線を照射する場合の例を示している。
[First example]
First, a first example of the present invention will be described with reference to FIGS. In this example, the subject 4 is a container 42 in which a fluid 41 is stored, and a radiological examination apparatus suitable for detecting a foreign substance having a higher specific gravity than the stored fluid 41 mixed in the container 42. It is an example. In addition, an example in which radiation is irradiated obliquely from above the subject 4 is shown.

図1に示すように、本例の放射線検査装置は、放射線発生管1Aと、放射線検出器2と、被検体配置部3とを備えている。   As shown in FIG. 1, the radiation inspection apparatus of this example includes a radiation generating tube 1 </ b> A, a radiation detector 2, and a subject placement unit 3.

放射線検出器2は、放射線発生管1Aからの放射線の照射を受ける複数の放射線検出素子21の列を有している。本例においては、複数の放射線検出素子21が1列に配列されたラインセンサが用いられている。放射線検出器2は、放射線検出素子21の列を縦方向に向けて配置されている。縦方向に向けた配置とは、一端を鉛直方向上方、他端を下方に位置させた配置で、鉛直配置と斜め配置のいずれをも含む。ここで、鉛直方向下端に位置する放射線検出素子を211とし、鉛直方向上端に位置する放射線検出素子を212とする。被検体4は、流体41を収納した容器42である。被検体4は、被検体配置部3によって、放射線発生管1と放射線検出器2との間に位置されている。被検体4は、被検体配置部3上に立設されている。放射線発生管1と被検体4の間には、不要な放射線の照射を抑制するために、不図示のコリメータ等を配置することもできる。   The radiation detector 2 has a row of a plurality of radiation detection elements 21 that receive radiation from the radiation generating tube 1A. In this example, a line sensor in which a plurality of radiation detection elements 21 are arranged in a line is used. The radiation detector 2 is arranged with the row of radiation detection elements 21 oriented in the vertical direction. The arrangement directed in the vertical direction is an arrangement in which one end is positioned vertically above and the other end is positioned below, and includes both vertical arrangement and oblique arrangement. Here, the radiation detection element located at the lower end in the vertical direction is designated as 211, and the radiation detection element located at the upper end in the vertical direction is designated as 212. The subject 4 is a container 42 that contains a fluid 41. The subject 4 is positioned between the radiation generating tube 1 and the radiation detector 2 by the subject placement unit 3. The subject 4 is erected on the subject placement unit 3. A collimator (not shown) or the like can be arranged between the radiation generating tube 1 and the subject 4 in order to suppress irradiation of unnecessary radiation.

放射線検出器2が、縦横に複数の放射線検出素子21を配列した矩形の放射線検出面を有する場合、放射線発生管1Aからこの放射線検出面に対応する領域へ放射線を照射する。この場合、被検体4を射線発生管1Aと放射線検出器2との間で移動させながら検査することもできるが、被検体配置部3に立設した被検体4を静止状態で検査することもできる。また、放射線検出器2が放射線検出素子21を一列に並べたラインセンサである場合、通常、一列の放射線検出素子21に対応するライン状に放射線を照射する。この場合、通常、放射線発生管1Aと放射線検出器2との間を横切って被検体4を搬送可能な被検体配置部3が用いられる。被検体4を射線発生管1Aと放射線検出器2との間で移動させながらラインセンサで放射線を検出することで、被検体4の全体を検査することができる。図1の例においては、被検体配置部3は回転板で、その回転によって、被検体4を射線発生管1Aと放射線検出器2との間で移動させることができるようになっている。   When the radiation detector 2 has a rectangular radiation detection surface in which a plurality of radiation detection elements 21 are arranged vertically and horizontally, the radiation is irradiated from the radiation generating tube 1 </ b> A to the region corresponding to the radiation detection surface. In this case, the subject 4 can be examined while being moved between the radiation generating tube 1A and the radiation detector 2, but the subject 4 standing on the subject placement unit 3 can be examined in a stationary state. it can. Further, when the radiation detector 2 is a line sensor in which the radiation detection elements 21 are arranged in a line, the radiation is usually irradiated in a line shape corresponding to the radiation detection elements 21 in a line. In this case, the subject placement unit 3 that can transport the subject 4 across the space between the radiation generating tube 1A and the radiation detector 2 is usually used. By detecting the radiation with the line sensor while moving the subject 4 between the radiation generating tube 1A and the radiation detector 2, the entire subject 4 can be inspected. In the example of FIG. 1, the subject placement unit 3 is a rotating plate, and the subject 4 can be moved between the ray generating tube 1 </ b> A and the radiation detector 2 by the rotation.

放射線発生管1Aは、鉛直方向に所定の放射角をもって放射線を放出するように配置されている。放射線発生管1Aの放射角は、放射線発生管1Aと放射線検出器2との間に位置した被検体4の高さ方向全体が放射線発生管1Aによる放射線照射領域の内側に含まれる角度であることが好ましい。このような角度とすることにより、被検体4の高さ方向全体を一度に検査することが可能となる。   The radiation generating tube 1A is arranged so as to emit radiation with a predetermined radiation angle in the vertical direction. The radiation angle of the radiation generating tube 1A is an angle in which the entire height direction of the subject 4 located between the radiation generating tube 1A and the radiation detector 2 is included inside the radiation irradiation region by the radiation generating tube 1A. Is preferred. By setting such an angle, the entire height direction of the subject 4 can be inspected at a time.

図3は、本発明の放射線検査装置に用いることができる放射線発生管1A,1Bの模式図である。本発明の放射線検査装置には、図3(a)に示す透過型の放射線発生管1Aと、図3(b)に示す反射型の放射線発生管1Bのいずれをも用いることができる。なお、図1は、一例として透過型の放射線発生管1Aを用いた例を示している。   FIG. 3 is a schematic diagram of radiation generating tubes 1A and 1B that can be used in the radiation inspection apparatus of the present invention. In the radiation inspection apparatus of the present invention, either the transmission type radiation generating tube 1A shown in FIG. 3A or the reflection type radiation generating tube 1B shown in FIG. 3B can be used. FIG. 1 shows an example using a transmission type radiation generating tube 1A as an example.

図3(a)を用いて、透過型の放射線発生管1Aについて説明する。図3(a)に示すように、放射線発生管1Aは、電子線束を放出する電子放出源11と、電子の照射により放射線を発生する透過型のターゲット12Aを備えている。   The transmission type radiation generating tube 1A will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 3A, the radiation generating tube 1A includes an electron emission source 11 that emits an electron beam bundle, and a transmission target 12A that generates radiation by electron irradiation.

ターゲット12Aは、ターゲット層12aと支持基板12bから構成されている。電子放出源11とターゲット層12aとの間に高電圧が印加されると、電子放出源11より電子が放出され、ターゲット層12aに入射し放射線が発生する。ターゲット層12aで発生した放射線は支持基板12bを透過した後、放射線発生管1の外部に放出される。なお、ターゲット層12aへの電子線束の照射領域(放射線が発生する領域)を焦点13といい、焦点13の中心を焦点中心13a(図2参照)という。焦点中心13aの位置は、上記焦点13と同じ形状と大きさで厚さが均一な板材を想定した場合のこの板材の重心位置に対応する位置である。   The target 12A includes a target layer 12a and a support substrate 12b. When a high voltage is applied between the electron emission source 11 and the target layer 12a, electrons are emitted from the electron emission source 11, incident on the target layer 12a, and radiation is generated. The radiation generated in the target layer 12a passes through the support substrate 12b and is then emitted to the outside of the radiation generating tube 1. In addition, the irradiation area | region (area | region which generate | occur | produces a radiation) of the electron beam bundle to the target layer 12a is called the focus 13, and the center of the focus 13 is called the focus center 13a (refer FIG. 2). The position of the focal center 13a is a position corresponding to the barycentric position of the plate material when a plate material having the same shape and size as the focal point 13 and a uniform thickness is assumed.

ターゲット12Aの周囲には陽極部材15が配置され、ターゲット層12aと電気的に接続している。また、支持基板12bは陽極部材15と機械的に接続されており、放射線発生管1の外囲器の一部を構成している。電子放出源11は陰極部材16と電気的に接続している。陽極部材15と陰極部材16の間には絶縁管17が機械的に接続されている。   An anode member 15 is disposed around the target 12A and is electrically connected to the target layer 12a. The support substrate 12b is mechanically connected to the anode member 15 and constitutes a part of the envelope of the radiation generating tube 1. The electron emission source 11 is electrically connected to the cathode member 16. An insulating tube 17 is mechanically connected between the anode member 15 and the cathode member 16.

ターゲット層12aは、支持基板12bの電子放出源11側(電子照射面側)の面に設置されている。ターゲット層12aを構成する材料は、融点が高く、放射線発生効率の高いものが好ましく、例えばタングステン、タンタル、モリブデンおよびそれらの合金等を用いることができる。支持基板12bを構成する材料は、ターゲット層12aを支持できる強度を有し、ターゲット層12aで発生した放射線の吸収が少なく、かつターゲット層12aで発生した熱をすばやく放熱できるよう熱伝導率の高いものが好ましい。例えばダイアモンド、炭化シリコン、窒化アルミニウム等を用いることができる。   The target layer 12a is disposed on the surface of the support substrate 12b on the electron emission source 11 side (electron irradiation surface side). The material constituting the target layer 12a is preferably a material having a high melting point and high radiation generation efficiency. For example, tungsten, tantalum, molybdenum and alloys thereof can be used. The material constituting the support substrate 12b is strong enough to support the target layer 12a, has little heat absorption of the radiation generated in the target layer 12a, and has high thermal conductivity so that heat generated in the target layer 12a can be quickly dissipated. Those are preferred. For example, diamond, silicon carbide, aluminum nitride, or the like can be used.

電子放出源11には、タングステンフィラメントや、含浸型カソードのような熱陰極、またはカーボンナノチューブ等の冷陰極を用いることができる。電子放出部11の近傍には、不図示の引出し電極および収束電極を設けても良い。これらを設けた場合、引出し電極によって形成される電界によって電子放出部から電子が放出され、放出された電子は収束電極で収束され、ターゲット層12aに入射して放射線が発生する。   The electron emission source 11 may be a tungsten filament, a hot cathode such as an impregnated cathode, or a cold cathode such as a carbon nanotube. An extraction electrode and a focusing electrode (not shown) may be provided in the vicinity of the electron emission portion 11. In the case where these are provided, electrons are emitted from the electron emission portion by the electric field formed by the extraction electrode, and the emitted electrons are converged by the convergence electrode and incident on the target layer 12a to generate radiation.

次に、図3(b)を用いて反射型の放射線発生管1Bについて説明する。図3(b)において、図3(a)と同じ構成物については同じ符号で示している。図3(b)に示すように、放射線発生管1Bは、電子放出源11と、反射型のターゲット12Bを備えている。ターゲット12Bは陽極部材15と電気的に接続している。ターゲット12Bを構成する材料には、タングステン、タンタル、モリブデンおよびそれらの合金等を用いることができる。   Next, the reflection type radiation generating tube 1B will be described with reference to FIG. In FIG. 3B, the same components as those in FIG. 3A are denoted by the same reference numerals. As shown in FIG. 3B, the radiation generating tube 1B includes an electron emission source 11 and a reflective target 12B. The target 12B is electrically connected to the anode member 15. As a material constituting the target 12B, tungsten, tantalum, molybdenum, an alloy thereof, or the like can be used.

電子放出源11より放出された電子がターゲット12Bに入射すると、ターゲット12Bの電子照射面側で放射線が発生する。反射型の放射線発生管1Bでは、ターゲット12Bで発生した放射線のうち、ターゲット12Bで反射されて電子放出源11側に放出される放射線が、絶縁管17に設けられた不図示の透過窓を透過して放射線発生管1Bの外部に放出される。   When electrons emitted from the electron emission source 11 enter the target 12B, radiation is generated on the electron irradiation surface side of the target 12B. In the reflection type radiation generating tube 1B, of the radiation generated by the target 12B, the radiation reflected by the target 12B and emitted toward the electron emission source 11 passes through a transmission window (not shown) provided in the insulating tube 17. And released to the outside of the radiation generating tube 1B.

次に、図1および図2を用いて、放射線発生管1のターゲット12A,12B、被検体4および放射線検出器2の位置関係および角度関係について説明する。図2は、焦点13を放射角度θの方向から見た時の、見かけの焦点14とその焦点長について示したものである。図2(a)は透過型のターゲット12A(透過型の放射線発生管1A)の場合であり、図2(b)は反射型のターゲット12B(反射型の放射線発生管1B)の場合である。なお、図2(a),(b)においては、電子線束と電子放出源の表示は省略されているが、焦点13のサイズは、電子放出源から照射された電子線束のビーム径により規定されるものである。焦点13のサイズは、検出分解能の点では微小化が望まれるが、放射線強度と、ターゲット12A,12Bの耐熱性との観点から、工業的には所定の焦点の大きさが選択される。   Next, the positional relationship and the angular relationship among the targets 12A and 12B, the subject 4 and the radiation detector 2 of the radiation generating tube 1 will be described with reference to FIGS. FIG. 2 shows the apparent focal point 14 and its focal length when the focal point 13 is viewed from the direction of the radiation angle θ. FIG. 2A shows the case of the transmission type target 12A (transmission type radiation generating tube 1A), and FIG. 2B shows the case of the reflection type target 12B (reflection type radiation generating tube 1B). 2A and 2B, the display of the electron beam bundle and the electron emission source is omitted, but the size of the focal point 13 is defined by the beam diameter of the electron beam bundle irradiated from the electron emission source. Is. Although the size of the focal point 13 is desired to be small in terms of detection resolution, from the viewpoint of the radiation intensity and the heat resistance of the targets 12A and 12B, a predetermined focal size is industrially selected.

まず、図1および図2(a)で、透過型の放射線発生管1Aを用いた場合のターゲット12A、被検体4および放射線検出器2の位置関係および角度関係について説明する。   First, with reference to FIG. 1 and FIG. 2A, the positional relationship and the angular relationship among the target 12A, the subject 4 and the radiation detector 2 when the transmission type radiation generating tube 1A is used will be described.

放射線検出器2は、被検体4の底面側を透過した放射線が、下端の放射線検出素子211側の放射線検出素子に入射し、被検体4の上面側を透過した放射線が、上端の放射線検出素子212側の放射線検出素子に入射するように配置される。   In the radiation detector 2, the radiation transmitted through the bottom surface side of the subject 4 is incident on the radiation detection element on the radiation detection element 211 side at the lower end, and the radiation transmitted through the upper surface side of the subject 4 is converted into the radiation detection element at the upper end. It arrange | positions so that it may inject into the radiation detection element of 212 side.

ここで、焦点中心13aを通るターゲット12Aの電子照射面の法線5(ターゲット12Aの電子照射面に対する垂線)と、焦点中心13aと下端の放射線検出素子211の中心とを結ぶ直線51とが成す角度をθ1とする。また、上記法線5と、焦点中心13aと上端の放射線検出素子212の中心とを結ぶ直線52とが成す角度をθ2とする。図1の例においては、ターゲット12Aはθ1>θ2を満たすように配置されている。図2(a)に示すように、ターゲット12A上の焦点長をL0とし、ターゲット12Aの法線5と任意の方向の放射線とが成す角度をθとした時、角度θ方向から見た焦点長L1は、L0×cosθで表される。従ってθが0°≦θ≦90°の範囲においては、θが大きいほど見かけの焦点長L1は小さくなる。本例においては、ターゲット12Aを、θ1>θ2を満たすように配置しているために、被検体4の底面側から見た焦点長L1をより小さくすることができる。従って、被検体4の底面側に存在する異物をより高分解能で検出することができる。 Here, the normal 5 of the electron irradiation surface of the target 12A passing through the focal center 13a (perpendicular to the electron irradiation surface of the target 12A) and a straight line 51 connecting the focal center 13a and the center of the radiation detecting element 211 at the lower end are formed. The angle is θ 1 . Further, an angle formed by the normal 5 and a straight line 52 connecting the focal center 13a and the center of the radiation detecting element 212 at the upper end is defined as θ 2 . In the example of FIG. 1, the target 12A is disposed so as to satisfy θ 1 > θ 2 . As shown in FIG. 2A, when the focal length on the target 12A is L 0 and the angle between the normal 5 of the target 12A and the radiation in an arbitrary direction is θ, the focal point viewed from the angle θ direction. The length L 1 is represented by L 0 × cos θ. Accordingly, when θ is in the range of 0 ° ≦ θ ≦ 90 °, the apparent focal length L 1 becomes smaller as θ becomes larger. In this example, since the target 12A is disposed so as to satisfy θ 1 > θ 2 , the focal length L 1 viewed from the bottom surface side of the subject 4 can be further reduced. Therefore, the foreign matter existing on the bottom surface side of the subject 4 can be detected with higher resolution.

被検体4の底面側をより高分解能で検出するためには、θ1がθ2よりもなるべく大きくなるように配置するのが好ましい。しかしθ1とθ2の差が大きすぎると、被検体4の底面側と上面側において照射される放射線量の差が大きくなり、異物の検出のための画像処理が困難になる場合がある。従って、θ2<θ1<θ2×10(ただし、θ1<90°)であるのが好ましく、θ2×2<θ1<θ2×5(ただし、θ1<90°)であるのがより好ましい。 In order to detect the bottom surface side of the subject 4 with higher resolution, it is preferable to arrange so that θ 1 is larger than θ 2 as much as possible. However, if the difference between θ 1 and θ 2 is too large, the difference in radiation dose irradiated between the bottom surface side and the top surface side of the subject 4 becomes large, and image processing for detecting foreign matter may be difficult. Therefore, it is preferable that θ 212 × 10 (where θ 1 <90 °), and θ 2 × 2 <θ 12 × 5 (where θ 1 <90 °). Is more preferable.

また、ターゲット12Aの法線5と放射線検出素子21の表面(放射線検出器2の表面)とが放射線検出素子21の列方向に成す角度で、下端の放射線検出素子211側の角度をφ1、上端の放射線検出素子212側の角度をφ2とする。この時、φ1≦90°となるように放射線検出器2を配置するのが好ましい。φ1≦90°とすることで、下端の放射線検出素子211側における、放射線検出素子21上に投影される画像のボケを小さくし、解像度を高くすることができる。角度φ1は小さいほど、被検体4の底面側の解像度が高くなるが、角度φ1を小さくするほど、被検体4の上面側の解像度が低下し、必要な放射線検出器2の長さが長くなる。従って、角度φ1は45°≦φ1≦90°の範囲が好ましい。 In addition, the angle formed between the normal 5 of the target 12A and the surface of the radiation detection element 21 (the surface of the radiation detector 2) in the column direction of the radiation detection element 21, and the angle on the radiation detection element 211 side at the lower end is φ 1 , The angle on the radiation detection element 212 side at the upper end is φ 2 . At this time, it is preferable to arrange the radiation detector 2 so that φ1 ≦ 90 °. By setting φ 1 ≦ 90 °, the blur of the image projected on the radiation detection element 21 on the radiation detection element 211 side at the lower end can be reduced, and the resolution can be increased. The smaller the angle φ 1, the higher the resolution on the bottom surface side of the subject 4. However, the smaller the angle φ 1 , the lower the resolution on the upper surface side of the subject 4, and the required length of the radiation detector 2. become longer. Therefore, the angle φ 1 is preferably in the range of 45 ° ≦ φ 1 ≦ 90 °.

図2(b)に反射型のターゲット12Bを用いた場合(反射型の放射線発生管1Bを用いた場合)を示す。放射角度θと、見かけの焦点長L1との関係は、図2(a)に示す透過型のターゲット12Aを用いた場合(透過型の放射線発生管1Aを用いた場合)と同じである。従って、反射型の放射線発生管1Bを用いた場合も、上記θ1とθ2の関係は同様である。本発明においては、透過型の放射線発生管1Aと反射型の放射線発生管1Bのいずれをも用いることができるが、透過型の放射線発生管1Aの方が放射線の照射角度を広く取りやすいため、より好ましく用いることができる。 FIG. 2B shows a case where the reflective target 12B is used (when the reflective radiation generating tube 1B is used). The relationship between the radiation angle θ and the apparent focal length L 1 is the same as when the transmission type target 12A shown in FIG. 2A is used (when the transmission type radiation generating tube 1A is used). Therefore, the relationship between θ 1 and θ 2 is the same when the reflection type radiation generating tube 1B is used. In the present invention, either the transmission type radiation generating tube 1A or the reflection type radiation generating tube 1B can be used. However, since the transmission type radiation generating tube 1A has a wider radiation angle, More preferably, it can be used.

次に、図4を用いて、本発明の放射線検査装置のシステム構成について説明する。システム制御装置62は、放射線発生管1A(1B)と放射線検出装置61と搬送駆動装置68を連携制御する。放射線発生管制御部65は、システム制御装置62による制御の下に、放射線発生管1A(1B)に各種の制御信号を出力する。制御信号により、放射線発生管1A(1B)から放出される放射線の放出状態が制御される。搬送駆動装置68は、放射線発生管1A(1B)と放射線検出器2との間を横切って被検体4を通過させるように、被検体配置部3を駆動する。放射線発生管1A(1B)から放出された放射線は、被検体4を透過して放射線検出器2で検出される。放射線検出器2は、検出した放射線を画像信号に変換して信号処理部67に出力する。信号処理部67は、システム制御装置62による制御の下に、画像信号に所定の信号処理を施し、処理された画像信号をシステム制御装置62に出力する。システム制御装置62は、処理された画像信号に基づいて異物の有無を判定する。判定結果は表示装置63に出力される。検査が終了した被検体4は、判定結果に応じて、搬送駆動装置68によって駆動される被検体配置部3によって所定の場所に搬送される。   Next, the system configuration of the radiation inspection apparatus of the present invention will be described with reference to FIG. The system control device 62 controls the radiation generating tube 1 </ b> A (1 </ b> B), the radiation detection device 61, and the transport driving device 68 in a coordinated manner. The radiation generation tube control unit 65 outputs various control signals to the radiation generation tube 1A (1B) under the control of the system control device 62. The emission state of the radiation emitted from the radiation generating tube 1A (1B) is controlled by the control signal. The transport driving device 68 drives the subject placement unit 3 so as to pass the subject 4 across between the radiation generating tube 1A (1B) and the radiation detector 2. The radiation emitted from the radiation generating tube 1A (1B) passes through the subject 4 and is detected by the radiation detector 2. The radiation detector 2 converts the detected radiation into an image signal and outputs the image signal to the signal processing unit 67. The signal processing unit 67 performs predetermined signal processing on the image signal under the control of the system control device 62, and outputs the processed image signal to the system control device 62. The system control device 62 determines the presence / absence of a foreign substance based on the processed image signal. The determination result is output to the display device 63. The subject 4 for which the examination has been completed is transported to a predetermined place by the subject placement unit 3 driven by the transport driving device 68 according to the determination result.

以上、本実施形態によれば、被検体4の底面側における解像度が向上するため、被検体4に収納されている流体よりも高比重な異物を精度よく検出できる放射線検査装置を提供することができる。   As described above, according to the present embodiment, since the resolution on the bottom surface side of the subject 4 is improved, it is possible to provide a radiation inspection apparatus that can accurately detect a foreign substance having a higher specific gravity than the fluid stored in the subject 4. it can.

〔第2の例〕
次に、図5を用いて本発明の第2の例について説明する。本例の被検体4は流体41を収納した容器42であり、容器42内に混入した、第1の例と同様に収納されている流体41よりも高比重な異物を検出対象とするのに適した放射線検査装置の例である。本例は、被検体4の側面方向から放射線を照射する場合の例であり、それ以外については第1の例と同様である。
[Second example]
Next, a second example of the present invention will be described with reference to FIG. The subject 4 in this example is a container 42 containing a fluid 41, and a foreign object having a higher specific gravity than the fluid 41 contained in the container 42 and contained in the container 42 is to be detected. It is an example of a suitable radiological examination apparatus. This example is an example in the case of irradiating radiation from the side surface direction of the subject 4, and other than that is the same as the first example.

本例においても、放射線発生管1Aのターゲット12Aはθ1>θ2を満たすように配置されている。ここで、θ1およびθ2の定義は第1の例における説明と同じである。これにより、被検体4の底面側における解像度を高くすることができる。また、本例においては、被検体4の側面方向から放射線を照射しているため、放射線は被検体4の底面側において低角度で入射することになる。そのため、被検体4の底面側の異物をより拡大して検出することができ、異物の検出精度をより高くすることができる。 Also in this example, the target 12A of the radiation generating tube 1A is arranged so as to satisfy θ 1 > θ 2 . Here, the definitions of θ 1 and θ 2 are the same as those in the first example. Thereby, the resolution on the bottom surface side of the subject 4 can be increased. In this example, since the radiation is irradiated from the side surface direction of the subject 4, the radiation is incident at a low angle on the bottom surface side of the subject 4. Therefore, the foreign matter on the bottom surface side of the subject 4 can be further enlarged and detected, and the foreign matter detection accuracy can be further increased.

以上、本例によれば、被検体4に収納されている流体41よりも高比重な異物を精度よく検出できる放射線検査装置を提供することができる。なお、本例は透過型の放射線発生管1Aを用いた場合の例であるが、反射型の放射線発生管1Bを用いても同様である。   As described above, according to this example, it is possible to provide a radiation inspection apparatus capable of accurately detecting a foreign substance having a higher specific gravity than the fluid 41 stored in the subject 4. In addition, although this example is an example at the time of using the transmissive | pervious radiation generator tube 1A, it is the same also using the reflective radiation generator tube 1B.

〔第3の例〕
次に、図6を用いて本発明の第3の例について説明する。本例の被検体4は流体41を収納した容器42であり、容器42内に混入した、収納されている流体41よりも低比重な異物を検出対象とするのに適した放射線検査装置の例で、それ以外については第1の例と同様である。本例は、第1の例と同様に、被検体4斜め上方から放射線を照射する場合の例である。
[Third example]
Next, a third example of the present invention will be described with reference to FIG. The subject 4 in this example is a container 42 containing a fluid 41, and is an example of a radiation inspection apparatus suitable for detecting foreign matter mixed in the container 42 and having a lower specific gravity than the contained fluid 41. The rest is the same as the first example. This example is an example in the case of irradiating radiation from obliquely above the subject 4 as in the first example.

本例において、放射線発生管1Aのターゲット12Aは、第1の例とは逆に、θ2>θ1を満たすように配置されている。ここで、θ1およびθ2の定義は第1の例での説明と同じである。これにより被検体4の上面側における見かけの焦点長L1をより小さくすることができ、被検体の4上面側に存在する異物をより高分解能で検出することができる。 In this example, the target 12A of the radiation generating tube 1A is disposed so as to satisfy θ 2 > θ 1 , contrary to the first example. Here, the definitions of θ 1 and θ 2 are the same as those in the first example. As a result, the apparent focal length L 1 on the upper surface side of the subject 4 can be further reduced, and the foreign matter existing on the upper surface side of the subject 4 can be detected with higher resolution.

本例におけるθ1とθ2およびφ1とφ2の関係は第1の例とは逆であり、θ2の好ましい範囲は、θ1<θ2<θ1×10(ただし、θ2<90°)であり、より好ましい範囲は、θ1×2<θ2<θ1×5(ただし、θ2<90°)である。また、φ2≦90°となるように放射線検出器2を配置するのが好ましい。φ2≦90°とすることで、上端の放射線検出素子212側における、放射線検出素子21上に投影される画像のボケを小さくし、解像度を高くすることができる。角度φ2は小さいほど、被検体4の上端側の解像度が高くなるが、角度φ2を小さくするほど、被検体4の下面側の解像度が低下し、必要な放射線検出器2の長さが長くなる。従って、角度φ2は45°≦φ2≦90°の範囲が好ましい。なお、φ1とφ2の定義は第1の例での説明と同じである。 The relationship between θ 1 and θ 2 and φ 1 and φ 2 in this example is opposite to that in the first example, and the preferred range of θ 2 is θ 121 × 10 (where θ 2 < 90 °), and a more preferable range is θ 1 × 2 <θ 21 × 5 (where θ 2 <90 °). Moreover, it is preferable to arrange the radiation detector 2 so that φ 2 ≦ 90 °. By setting φ 2 ≦ 90 °, the blur of the image projected on the radiation detection element 21 on the radiation detection element 212 side at the upper end can be reduced and the resolution can be increased. The smaller the angle φ 2, the higher the resolution on the upper end side of the subject 4. However, the smaller the angle φ 2 , the lower the resolution on the lower surface side of the subject 4, and the required length of the radiation detector 2. become longer. Therefore, the angle φ 2 is preferably in the range of 45 ° ≦ φ 2 ≦ 90 °. The definitions of φ 1 and φ 2 are the same as those in the first example.

以上、本例によれば、被検体の流体よりも低比重な異物を精度良く検出できる放射線検査装置を提供することができる。また、本例は、焦点中心13aの位置を第1の例同じとし、ターゲット12A(放射線発生管1A)の傾きを変えた場合の例である。すなわち、放射線発生管1Aの傾きを変えることで、第1の例に係る放射線検査装置と、本例の放射線検査装置とを切り替えることが可能である。なお、本例は透過型の放射線発生管1Aを用いた場合の例であるが、反射型の放射線発生管1Bを用いても同様である。   As described above, according to this example, it is possible to provide a radiation inspection apparatus capable of accurately detecting a foreign substance having a specific gravity lower than that of the fluid of the subject. This example is an example in which the position of the focal center 13a is the same as that in the first example, and the inclination of the target 12A (radiation generating tube 1A) is changed. That is, the radiation inspection apparatus according to the first example and the radiation inspection apparatus of the present example can be switched by changing the inclination of the radiation generating tube 1A. In addition, although this example is an example at the time of using the transmissive | pervious radiation generator tube 1A, it is the same also using the reflective radiation generator tube 1B.

〔第4の例〕
次に、図7を用いて本発明の第4の例について説明する。本例は第3の実施形態と同様に、被検体4が流体41を収納した容器42であり、被検体4が収納している流体41よりも低比重な異物を検出対象とする放射線検査装置の例である。本例は、被検体4の側面方向から放射線を照射する場合の例であり、それ以外については第3の例と同様である。
[Fourth example]
Next, a fourth example of the present invention will be described with reference to FIG. In this example, as in the third embodiment, the subject 4 is a container 42 in which a fluid 41 is stored, and a radiation inspection apparatus that detects a foreign substance having a specific gravity lower than that of the fluid 41 stored in the subject 4. It is an example. This example is an example in the case of irradiating radiation from the side surface direction of the subject 4, and other than that is the same as the third example.

本例において、放射線発生管1Aのターゲット12Aはθ2>θ1を満たすように配置されている。θ1およびθ2の定義は第1の例における説明と同じである。これにより、被検体4の上面側における解像度を高くすることができる。 In this example, the target 12A of the radiation generating tube 1A is arranged so as to satisfy θ 2 > θ 1 . The definitions of θ 1 and θ 2 are the same as those in the first example. Thereby, the resolution on the upper surface side of the subject 4 can be increased.

本例によれば、被検体4が収納している流体41よりも低比重な異物を精度良く検出できる放射線検査装置を提供することができる。また、本例は、焦点中心13aの位置を第2の例と同じとし、ターゲット12A(放射線発生管1A)の傾きを変えた場合の例である。すなわち、放射線発生管1Aの傾きを変えることで、第2の例の放射線検査装置と、本例の放射線検査装置とを切り替えることが可能である。なお、本例は透過型の放射線発生管1Aを用いた場合の例であるが、反射型の放射線発生管1Bを用いても同様である。   According to this example, it is possible to provide a radiation inspection apparatus capable of accurately detecting a foreign substance having a specific gravity lower than that of the fluid 41 stored in the subject 4. This example is an example in which the position of the focal center 13a is the same as in the second example, and the inclination of the target 12A (radiation generating tube 1A) is changed. That is, it is possible to switch between the radiation inspection apparatus of the second example and the radiation inspection apparatus of the present example by changing the inclination of the radiation generating tube 1A. In addition, although this example is an example at the time of using the transmissive | pervious radiation generator tube 1A, it is the same also using the reflective radiation generator tube 1B.

1A,1B:放射線発生管、2:放射線検出器、3:被検体配置部、4:被検体、5:焦点中心を通るターゲットの法線、11:電子放出源、12A,12B:ターゲット、12a:ターゲット層、12b:支持基板、13:焦点、13a:焦点中心、14:見かけの焦点、15:陽極部材、16:陰極部材、17:絶縁管、21:放射線検出素子、41:流体、42:容器、51:焦点中心と下端の放射線検出素子の中心とを結ぶ直線、52:焦点中心と上端の放射線検出素子の中心とを結ぶ直線、61:放射線検出装置、62:システム制御装置、63:表示装置、65:放射線発生管制御部、67:信号処理部、68:搬送駆動装置、211:下端の放射線検出素子、212:上端の放射線検出素子   1A, 1B: radiation tube, 2: radiation detector, 3: subject placement unit, 4: subject, 5: target normal passing through the focal center, 11: electron emission source, 12A, 12B: target, 12a : Target layer, 12b: support substrate, 13: focus, 13a: focus center, 14: apparent focus, 15: anode member, 16: cathode member, 17: insulating tube, 21: radiation detection element, 41: fluid, 42 : Container, 51: straight line connecting the center of the focus and the center of the radiation detection element at the lower end, 52: straight line connecting the center of the focus and the center of the radiation detection element at the upper end, 61: radiation detection device, 62: system control device, 63 : Display device, 65: Radiation generation tube control unit, 67: Signal processing unit, 68: Transport drive device, 211: Radiation detection element at the lower end, 212: Radiation detection element at the upper end

Claims (12)

電子の照射により放射線を発生させるターゲットを備えた放射線発生管と、
前記放射線発生管からの放射線の照射を受ける複数の放射線検出素子の列を有する放射線検出器と、
前記放射線発生管と前記放射線検出器との間に被検体を位置させることができる被検体配置部とを備えた放射線検査装置において、
前記放射線発生管は、鉛直方向に所定の放射角をもって前記放射線を放出するように配置されていると共に、
前記放射線検出器は、前記放射線検出素子の列を縦方向に向けて配置されており、
下端に位置する放射線検出素子の中心と前記放射線発生管の焦点中心とを結ぶ直線と、前記焦点中心を通る前記ターゲットの電子照射面の法線とがなす角度をθ1、上端に位置する放射線検出素子の中心と前記放射線発生管の焦点中心とを結ぶ直線と、前記法線とがなす角度をθ2とした時に、θ1>θ2であることを特徴とする放射線検査装置。
A radiation generating tube having a target for generating radiation by electron irradiation;
A radiation detector having a plurality of rows of radiation detection elements that receive radiation from the radiation generating tube;
In a radiological examination apparatus comprising a subject placement unit capable of positioning a subject between the radiation generating tube and the radiation detector,
The radiation generating tube is arranged to emit the radiation with a predetermined radiation angle in the vertical direction, and
The radiation detector is arranged with the rows of the radiation detection elements oriented in the vertical direction,
The angle formed by the straight line connecting the center of the radiation detecting element located at the lower end and the focal center of the radiation generating tube and the normal of the electron irradiation surface of the target passing through the focal center is θ 1 , and the radiation located at the upper end a straight line connecting the focal center of said radiation tube of the detecting element, the angle between the normal line forms when the theta 2, the radiation inspection apparatus which is a θ 1> θ 2.
被検体が流体を収納した容器で、検出対象が、前記容器の中に混入した、前記流体より高比重な異物であることを特徴とする請求項1に記載の放射線検査装置。   The radiological examination apparatus according to claim 1, wherein the subject is a container containing a fluid, and the detection target is a foreign substance having a higher specific gravity than the fluid mixed in the container. θ2<θ1<θ2×10(ただし、θ1<90°)であることを特徴とする請求項1又は2に記載の放射線検査装置。 The radiation inspection apparatus according to claim 1, wherein θ 212 × 10 (where θ 1 <90 °). θ2×2<θ1<θ2×5(ただし、θ1<90°)であることを特徴とする請求項1又は2に記載の放射線検査装置。 The radiation inspection apparatus according to claim 1, wherein θ 2 × 2 <θ 12 × 5 (where θ 1 <90 °). 前記法線と、前記放射線検出素子の表面とが放射線検出素子の列方向に成す角度で、下端の放射線検出素子の側の角度をφ1、上端の放射線検出素子の側の角度をφ2とした時に、φ1≦90°で、しかも45°≦φ1≦90°であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の放射線検査装置。 The angle formed between the normal line and the surface of the radiation detection element in the column direction of the radiation detection element, the angle on the radiation detection element side at the lower end is φ 1 , and the angle on the radiation detection element side at the upper end is φ 2 The radiation inspection apparatus according to claim 1, wherein φ 1 ≦ 90 ° and 45 ° ≦ φ 1 ≦ 90 °. 電子の照射により放射線を発生させるターゲットを備えた放射線発生管と、
前記放射線発生管からの放射線の照射を受ける複数の放射線検出素子の列を有する放射線検出器と、
前記放射線発生管と前記放射線検出器との間に被検体を位置させることができる被検体配置部とを備えた放射線検査装置において、
前記放射線発生管は、鉛直方向に所定の放射角をもって前記放射線を放出するように配置されていると共に、
前記放射線検出器は、前記放射線検出素子の列を縦方向に向けて配置されており、
下端に位置する放射線検出素子の中心と前記放射線発生管の焦点中心とを結ぶ直線と、前記焦点中心を通る前記ターゲットの電子照射面の法線とがなす角度をθ1、上端に位置する放射線検出素子の中心と前記放射線発生管の焦点中心とを結ぶ直線と、前記法線とがなす角度をθ2とした時に、θ2>θ1であることを特徴とする放射線検査装置。
A radiation generating tube having a target for generating radiation by electron irradiation;
A radiation detector having a plurality of rows of radiation detection elements that receive radiation from the radiation generating tube;
In a radiological examination apparatus comprising a subject placement unit capable of positioning a subject between the radiation generating tube and the radiation detector,
The radiation generating tube is arranged to emit the radiation with a predetermined radiation angle in the vertical direction, and
The radiation detector is arranged with the rows of the radiation detection elements oriented in the vertical direction,
The angle formed by the straight line connecting the center of the radiation detecting element located at the lower end and the focal center of the radiation generating tube and the normal of the electron irradiation surface of the target passing through the focal center is θ 1 , and the radiation located at the upper end A radiation inspection apparatus, wherein θ 2 > θ 1, where θ 2 is an angle formed by a straight line connecting the center of the detection element and the focal center of the radiation generating tube and the normal line.
被検体が流体を収納した容器で、検出対象が、前記容器の中に混入した、前記流体より低比重な異物であることを特徴とする請求項3に記載の放射線検査装置。   The radiation inspection apparatus according to claim 3, wherein the subject is a container containing a fluid, and the detection target is a foreign substance having a specific gravity lower than that of the fluid mixed in the container. θ1<θ2<θ1×10(ただし、θ2<90°)であることを特徴とする請求項6又は7に記載の放射線検査装置。 The radiation inspection apparatus according to claim 6, wherein θ 121 × 10 (where θ 2 <90 °). θ1×2<θ2<θ1×5(ただし、θ2<90°)であることを特徴とする請求項6又は7に記載の放射線検査装置。 The radiation inspection apparatus according to claim 6, wherein θ 1 × 2 <θ 21 × 5 (where θ 2 <90 °). 前記所定の放射角は、前記放射線発生管と前記放射線検出器との間に位置した前記被検体の高さ方向全体が前記放射線発生管による放射線照射領域の内側に含まれる角度であることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか一項に記載の放射線検査装置。   The predetermined radiation angle is an angle in which the entire height direction of the subject located between the radiation generating tube and the radiation detector is included inside a radiation irradiation region of the radiation generating tube. The radiation inspection apparatus according to any one of claims 1 to 9. 前記被検体配置部は、前記放射線発生管と前記放射線検出器との間を横切って前記被検体を搬送可能であることを特徴とする請求項1乃至10のいずれか一項に記載の放射線検査装置。   The radiological examination according to claim 1, wherein the subject placement unit is capable of transporting the subject across the radiation generating tube and the radiation detector. apparatus. 放射線発生管が、透過型の放射線発生管であることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか一項に記載の放射線検査装置。   The radiation inspection apparatus according to claim 1, wherein the radiation generation tube is a transmission type radiation generation tube.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2018146419A (en) * 2017-03-07 2018-09-20 アンリツインフィビス株式会社 X-ray inspection device

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