JP2015062985A - Truing dressing method of super abrasive grain wire saw and manufacturing method of super abrasive grain wire saw using the same - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング方法およびそれを用いた超砥粒ワイヤソーの製造方法に関する。 The present invention relates to a truing dressing method for a superabrasive wire saw and a method for manufacturing a superabrasive wire saw using the same.
超砥粒ワイヤソーとしては、芯線に超砥粒を結合材で固着した超砥粒ワイヤソーが知られている。この超砥粒ワイヤソーは、切れ味が極めて良好である。さらに水溶性または不水溶性の研削液を用いるので、機械とその周辺の汚染を低減することができ、作業環境を改善できる等、多くの特長を有する。そして数km以上の長尺の超砥粒ワイヤソーを製造することができるので、多くの枚数のウェハを一度でスライシング加工することが可能で、スラリーを用いる遊離砥粒方式のマルチワイヤソー方式に比べて数倍以上の切断速度を得ることができる。超砥粒ワイヤソーは、例えば、ポリエチレン、ナイロン、ポリエステル等からなる素材、またはこれらの素材をガラス繊維、炭素繊維で補強した材料を芯線とし、この芯線の外周に超砥粒を合成樹脂接着剤または電着で固着したものである(例えば、特許文献1参照)。 As a superabrasive wire saw, a superabrasive wire saw in which superabrasive grains are fixed to a core wire with a binder is known. This superabrasive wire saw has a very good sharpness. Furthermore, since a water-soluble or water-insoluble grinding fluid is used, the machine and its surroundings can be reduced, and the working environment can be improved. And since a super-abrasive wire saw with a length of several kilometers or more can be manufactured, a large number of wafers can be sliced at once, compared to the multi-wire saw method of the free abrasive method using slurry. A cutting speed several times or more can be obtained. The superabrasive wire saw is made of, for example, a material made of polyethylene, nylon, polyester, or the like, or a material obtained by reinforcing these materials with glass fiber or carbon fiber as a core wire. It is fixed by electrodeposition (see, for example, Patent Document 1).
別の超砥粒ワイヤソーとしては、炭素繊維、アラミド繊維、アルミナ繊維、ボロン繊維、シリコンカーバイド繊維、または、シリコン−チタン−炭素−酸素系無機繊維等のモノフィラメントまたはマルチフィラメントを芯線とし、この芯線の外周に超砥粒をメッキまたは樹脂で固着したものである(例えば、特許文献2参照)。 As another superabrasive wire saw, a monofilament or multifilament such as carbon fiber, aramid fiber, alumina fiber, boron fiber, silicon carbide fiber, or silicon-titanium-carbon-oxygen-based inorganic fiber is used as a core wire. Superabrasive grains are fixed to the outer periphery by plating or resin (for example, see Patent Document 2).
超砥粒ワイヤソーをドレッシングするのに、ドレッシングストーンを超砥粒ワイヤソーに押し当てることが知られている(例えば、特許文献3参照)。 In order to dress a superabrasive wire saw, it is known to press a dressing stone against the superabrasive wire saw (see, for example, Patent Document 3).
さらに、超砥粒ワイヤソーをドレッシングする方法として、GC砥石を超砥粒ワイヤソーに押し当てることが知られている(例えば、特許文献4参照)。 Furthermore, as a method of dressing a superabrasive wire saw, it is known to press a GC grindstone against the superabrasive wire saw (see, for example, Patent Document 4).
そしてさらに、石材、コンクリート等を切断するのに用いる芯線にビーズと呼ばれる、パイプ状の超砥粒層を所定のピッチで固定した超砥粒ワイヤソーのドレッシング方法が知られている。回転する砥石に、エンドレスの超砥粒ワイヤソーに捻り力を与えて回転させながら接触させて、らせん状にドレッシングするものである(例えば、非特許文献1参照)。 Further, there is known a dressing method for a superabrasive wire saw in which pipe-like superabrasive layers called beads are fixed to a core wire used for cutting stone, concrete or the like at a predetermined pitch. A rotating grindstone is dressed in a spiral shape by applying a twisting force to an endless superabrasive wire saw while rotating it, and spirally dressing (for example, see Non-Patent Document 1).
しかしながら、上記に記載した従来の方法では、超砥粒ワイヤソーが十分にドレッシング出来ない問題点があった。さらに、ツルーイングがほとんど出来ない問題点もあった。 However, the conventional method described above has a problem that the superabrasive wire saw cannot be sufficiently dressed. In addition, there was a problem that truing was hardly possible.
本発明はこれらの問題点を解決するためになされたものである。 The present invention has been made to solve these problems.
この発明に従った超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング方法は、導電性皮膜で覆われた超砥粒を有する超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシングを行う方法であって、超砥粒の突出端を覆う導電性皮膜を除去して超砥粒の表面を露出させる、超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング方法である。 A truing dressing method for a superabrasive wire saw according to the present invention is a method for truing and dressing a superabrasive wire saw having superabrasive grains covered with a conductive film, wherein the protruding end of the superabrasive grain is removed. This is a truing / dressing method for a superabrasive wire saw in which the conductive film to be covered is removed to expose the surface of the superabrasive grain.
この発明では、超砥粒ワイヤソーを確実にツルーイング・ドレッシングすることができる。 In the present invention, the superabrasive wire saw can be reliably truing-dressed.
最初に本願発明の実施態様を列記して説明する。
本願の超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング方法は、導電性皮膜で覆われた超砥粒を有する超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシングを行う方法であって、超砥粒の突出端を覆う導電性皮膜を除去して超砥粒の表面を露出させる。
First, embodiments of the present invention will be listed and described.
The truing / dressing method of the superabrasive wire saw of the present application is a method for truing / dressing a superabrasive wire saw having superabrasive grains covered with a conductive film, and is a conductive material that covers the protruding end of the superabrasive grains. The film is removed to expose the surface of the superabrasive grains.
このような超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング方法では、確実に超砥粒ワイヤソーをツルーイング・ドレッシングすることができる。 In such a truing / dressing method for a superabrasive wire saw, the superabrasive wire saw can be reliably trued / dressed.
好ましくは、超砥粒ワイヤソーは、芯線の表面に超砥粒を結合材で固着させた超砥粒ワイヤソーである。 Preferably, the superabrasive wire saw is a superabrasive wire saw in which superabrasive particles are fixed to the surface of the core wire with a binder.
好ましくは、結合材は、メタルボンド、レジンボンド、ビトリファイドボンド、電着のいずれかである。 Preferably, the binder is any one of a metal bond, a resin bond, a vitrified bond, and electrodeposition.
好ましくは、導電性皮膜は、金属、合金、導電性物質を含有する樹脂、導電性物質を含有するガラス、導電性物質を含有するセラミックスからなる群より選ばれた少なくとも一種を含む。 Preferably, the conductive film includes at least one selected from the group consisting of metals, alloys, resins containing a conductive substance, glasses containing a conductive substance, and ceramics containing a conductive substance.
好ましくは、導電性皮膜を除去する方法は、ショットブラスト法、放電加工法、電解法のいずれかである。 Preferably, the method for removing the conductive film is any one of a shot blast method, an electric discharge machining method, and an electrolytic method.
好ましくは、筒状体内に超砥粒ワイヤソーを挿入してその中で導電性皮膜を除去する。
好ましくは、導電性皮膜が除去された超砥粒は、工作物の加工に直接作用する超砥粒である。
Preferably, a superabrasive wire saw is inserted into the cylindrical body and the conductive film is removed therein.
Preferably, the superabrasive grains from which the conductive film has been removed are superabrasive grains that directly affect the processing of the workpiece.
好ましくは、導電性皮膜から露出した超砥粒を含む最突出端は、導電性皮膜から突出している。 Preferably, the most protruding end including the superabrasive grains exposed from the conductive film protrudes from the conductive film.
好ましくは、超砥粒ワイヤソーの製造方法は、上記のいずれかの超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング方法を用いて超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシングを行う。 Preferably, the method for producing a superabrasive wire saw performs truing / dressing of a superabrasive wire saw using any one of the above truing / dressing methods of a superabrasive wire saw.
以下、この発明の実施の形態について図面を参照して説明する。なお、以下の実施の形態において、同一または相当する部分については同一の参照符号を付し、その説明については繰り返さない。また、各実施の形態を組み合わせることも可能である。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following embodiments, the same or corresponding parts are denoted by the same reference numerals, and description thereof will not be repeated. Moreover, it is also possible to combine each embodiment.
(実施の形態1)
図1は、実施の形態1に従った超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング装置の模式図である。図2は、図1の超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング装置における電極を示す模式図である。
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a schematic diagram of a truing / dressing apparatus for a superabrasive wire saw according to the first embodiment. FIG. 2 is a schematic view showing electrodes in the truing / dressing apparatus of the superabrasive wire saw of FIG.
図1および図2を参照して、実施の形態1に従ったツルーイング・ドレッシング装置1は、電解液タンク10と、給電プーリー20,30と、電極40と、ワーキング槽50とを有する。ツルーイング・ドレッシング装置1では、メッキ装置のプラス極とマイナス極が逆に配置された構造とされている。
Referring to FIGS. 1 and 2, the truing /
電解液タンク10には、電解液が溜められている。電解液としては、メッキ用の電解液および電解エッチング用の電解液を採用することが可能である。電解液タンク10には、電解液供給路11と電解液回収路12とが接続されており、電解液供給路11を通じて電解液タンク10からワーキング槽50へ電解液が供給される。ワーキング槽50の電解液は電解液回収路を経由して電解液タンク10へ集められる。
An electrolyte solution is stored in the
給電プーリー20,30は、超砥粒ワイヤソー2を送り出しまたは巻き取る。超砥粒ワイヤソー2は、芯線3、結合材6、結合材6により芯線3に固定される超砥粒4、および超砥粒を覆う導電性皮膜5を有する。給電プーリー20,30は、電源の+極に接続される。芯線3は、導電性を有することが好ましく、材質としてはピアノ線が最も好ましい。超砥粒ワイヤソー2は、矢印2cで示す方向に送られる。
The
結合材6は、メタルボンド、レジンボンド、ビトリファイドボンド、電着のいずれかである。導電性皮膜5は、金属、合金、導電性物質を含有する樹脂、導電性物質を含有するガラス、導電性物質を含有するセラミックスからなる群より選ばれた少なくとも一種を含む。
The bonding
超砥粒ワイヤソー2はワーキング槽50内で電解液60に浸されている。超砥粒ワイヤソー2は、電極40内を移動する。電極40は、電源の−極に接続される。電極40にはスリット41が設けられており、スリット41を経由して筒状の電極40の内部から外部へ、さらに外部から内部へと電解液が循環する。なお、スリット41は孔に置き換えられてもよい。さらに、スリット41が設けられなくてもよい。電極40は、たとえば鉄により構成される。
電解液60は、ワーキング槽50に溜められている。電解液供給路11から電解液60が供給され、ワーキング槽50からあふれ出た電解液60は、電解液回収路12を通って電解液タンク10へ集められる。
The
電極40の円筒の径を調整することで、超砥粒ワイヤソー2と電極40との間のクリアランスを調整することが可能となる。
By adjusting the cylindrical diameter of the
図1および図2で示すツルーイング・ドレッシング装置1において超砥粒ワイヤソー2から電極40側へ電流が流れると、アノードとしての超砥粒ワイヤソー2側では、導電性皮膜5を構成する材料がイオン化する。これにより、電極40内を通過するにつれて、突出部を構成する導電性皮膜5の一部分が除去される。
When current flows from the superabrasive wire saw 2 to the
このように構成されたツルーイング・ドレッシング装置1では、電解により導電性皮膜5の一部分を除去することができるため、確実にツルーイング・ドレッシングを行うことができる。
In the
(実施の形態2)
図3は、実施の形態2に従った超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング装置における電極を示す模式図である。図3を参照して、実施の形態2では、いわゆる筆メッキ(Brush Plating)の装置を用いて導電性皮膜5の一部分を除去する。筆状の電極45により導電性皮膜5を除去するために、筆メッキを行う場合と比較して、プラスとマイナスを逆に接続する。具体的には、超砥粒ワイヤソー2は、電源の+極に接続され、電極45は−極に接続される。筆メッキ用の装置を用いるため、実施の形態1で示した電解液タンク10、電解液供給路11、電解液回収路12、およびワーキング槽50は不要であり、電解液60は電極45に浸み込んでいる。
(Embodiment 2)
FIG. 3 is a schematic diagram showing electrodes in a truing / dressing apparatus for a superabrasive wire saw according to the second embodiment. Referring to FIG. 3, in
電極45と超砥粒ワイヤソー2との接触距離または接触圧を調整することで、導電性皮膜5の一部分電解により除去する。超砥粒ワイヤソー2の外周の突出部では、電極45との接触距離が長いか、または接触圧が大きくなるため、突出部において導電性皮膜5を除去することができる。なお、電極45は刷毛状、筆形状のいずれであってもよいが、全方向から電極45が超砥粒ワイヤソー2と接触することが好ましい。
The
(実施の形態3)
図4は、実施の形態3に従った超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング装置における電極を示す模式図である。図4を参照して、実施の形態3では、ダイス形状の電極46を用いて導電性皮膜5の一部分を除去する。超砥粒ワイヤソー2は、電源の+極に接続され、電極46は−極に接続される。実施の形態1で示した電解液タンク10、電解液供給路11、電解液回収路12、ワーキング槽50、電解液60が用いられ、実施の形態1の電極40がダイス形状の電極46に交換されている。
(Embodiment 3)
FIG. 4 is a schematic diagram showing electrodes in a truing / dressing apparatus for a superabrasive wire saw according to the third embodiment. Referring to FIG. 4, in
(実施の形態4)
図5は、実施の形態4に従った超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング装置における電極を示す模式図である。実施の形態4では、平板電極47または丸棒電極48を用いて導電性皮膜5の一部分を除去する。超砥粒ワイヤソー2は、電源の+極に接続され、平板電極47および丸棒電極48は−極に接続される。実施の形態1で示した電解液タンク10、電解液供給路11、電解液回収路12、ワーキング槽50、電解液60が用いられ、実施の形態1の電極40が平板電極47または丸棒電極48に交換されている。
(Embodiment 4)
FIG. 5 is a schematic diagram showing electrodes in a truing / dressing apparatus for a superabrasive wire saw according to the fourth embodiment. In the fourth embodiment, a part of the
図6および7は、ドレッシング前の超砥粒ワイヤソーの断面図である。図8および9は、ドレッシング後の超砥粒ワイヤソーの断面図である。図6および7を参照して、ドレッシング前には、超砥粒4は、導電性皮膜5および結合材6に覆われている。なお、結合材6には覆われていなくてもよい。図7および9では、芯線3の表面には、真鍮メッキまたは銅メッキなどのメッキ層300が形成されている。各実施の形態に従ったドレッシング後には、図8および9で示すように超砥粒4が導電性皮膜5および結合材6から露出するため、超砥粒ワイヤソー2の切れ味が向上する。
6 and 7 are cross-sectional views of the superabrasive wire saw before dressing. 8 and 9 are cross-sectional views of the superabrasive wire saw after dressing. Referring to FIGS. 6 and 7,
以上、この発明の実施の形態について説明したが、ここで示した実施の形態はさまざまに変更することが可能である。 Although the embodiment of the present invention has been described above, the embodiment shown here can be variously modified.
導電性皮膜5を電気化学的に除去する方法として電解法を示したが、これに限られず、導電性皮膜5を除去する方法は、物理的なショットブラスト法、または電気的な放電加工法であってもよい。
Although the electrolysis method has been shown as a method for removing the
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 The embodiment disclosed this time should be considered as illustrative in all points and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the terms of the claims, rather than the description above, and is intended to include any modifications within the scope and meaning equivalent to the terms of the claims.
本発明は、超砥粒ワイヤソーのツルーイングおよび・またはドレッシングに適用することができる。 The present invention can be applied to truing and / or dressing of superabrasive wire saws.
1 ドレッシング装置、2 超砥粒ワイヤソー、3 芯線、4 超砥粒、5 導電性皮膜、6 結合材、10 電解液タンク、11 電解液供給路、12 電解液回収路、20,30 給電プーリー、40,45,46 電極、41 スリット、47 平板電極、48 丸棒電極、50 ワーキング槽、60 電解液。
DESCRIPTION OF
Claims (9)
前記超砥粒の突出端を覆う前記導電性皮膜を除去して前記超砥粒の表面を露出させる、超砥粒ワイヤソーのツルーイング・ドレッシング方法。 A method for truing and dressing a superabrasive wire saw having superabrasive grains covered with a conductive film,
A truing / dressing method for a superabrasive wire saw in which the conductive film covering the protruding end of the superabrasive grain is removed to expose the surface of the superabrasive grain.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2013199363A JP2015062985A (en) | 2013-09-26 | 2013-09-26 | Truing dressing method of super abrasive grain wire saw and manufacturing method of super abrasive grain wire saw using the same |
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CN107457452A (en) * | 2017-09-28 | 2017-12-12 | 张家港天工机械制造有限公司 | One kind is put the first edge on a knife or a pair of scissors rewinding machine edging device |
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2013
- 2013-09-26 JP JP2013199363A patent/JP2015062985A/en active Pending
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