JP2015052724A - Micro concavo-convex film - Google Patents

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厚志 佐伯
Atsushi Saeki
厚志 佐伯
牧野 伸治
Shinji Makino
伸治 牧野
克宏 小嶋
Katsuhiro Kojima
克宏 小嶋
英子 岡本
Hideko Okamoto
英子 岡本
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a micro concavo-convex film which has an anti-reflection property, reduces visibility of scratches making them less obvious, and can be used on display panels, touch panels, and optical members.SOLUTION: A micro concavo-convex film 40 has a portion 1 with a micro concavo-convex structure on a surface thereof and a plurality of flat and smooth portions 2, where the proportion of the flat and smooth portions 2 to a total surface area is greater than 10% and no greater than 50%. The flat and smooth portions 2 preferably have height that is similar to height of valleys in the portion 1 with the micro concavo-convex structure, and an area of each flat and smooth portion 2 is preferably no greater than 0.01 mm.

Description

本発明は、表面に微細凹凸形状を有するフィルムに関するものである。   The present invention relates to a film having a fine uneven shape on the surface.

近年、反射防止性、防曇性、防汚性、撥水性等を付与することを目的として、微細凹凸構造を表面に有する機能性フィルム等の成形体が提案されている。特に、Moth−Eye構造と呼ばれる微細凹凸構造は、優れた反射防止性を発現することが知られている。
成形体の表面に微細凹凸構造を形成する方法としては、材料の表面を直接加工する方法、微細凹凸構造に対応した反転構造を有するスタンパ(鋳型)を用いて、この構造を転写する転写法などがあり、生産性、経済性の点から、後者の方法が優れている。スタンパに反転構造を形成する方法としては、電子線描画法、レーザー光干渉法等が知られているが、近年、より簡便に反転構造を形成する方法として、アルミニウム基材の表面を陽極酸化する方法が注目されている。
In recent years, for the purpose of imparting antireflection properties, antifogging properties, antifouling properties, water repellency, and the like, molded bodies such as functional films having a fine concavo-convex structure on the surface have been proposed. In particular, it is known that a fine concavo-convex structure called a Moth-Eye structure exhibits excellent antireflection properties.
As a method for forming a fine concavo-convex structure on the surface of a molded body, a method for directly processing the surface of a material, a transfer method for transferring the structure using a stamper (mold) having an inverted structure corresponding to the fine concavo-convex structure, etc. The latter method is superior in terms of productivity and economy. As a method for forming an inversion structure on a stamper, an electron beam drawing method, a laser beam interference method, and the like are known. However, as a method for forming an inversion structure more easily in recent years, the surface of an aluminum substrate is anodized. The method is drawing attention.

アルミニウム基材の表面を陽極酸化することによって形成される陽極酸化アルミナは、アルミニウムの酸化皮膜(アルマイト)であり、周期が可視光の波長以下である複数の凹部(細孔)からなる微細凹凸構造を有する。
また、単に微細凹凸構造を表面に有する成形体は反射防止性に優れるものの、成形体表面の欠け、傷といった成形体の僅かな欠陥が目立つことがあり、微細凹凸構造の間に前記微細凹凸構造よりも高い柱を設ける形成体も提案されている。例えば特許文献1には、微細な突起が周期的に多数形成されたAR格子と、前記突起間に散在し、前記突起の高さよりも高い保護柱とが形成されている構造が開示されている。
しかしながら、特許文献1に記載の成形体は、前記微細凹凸構造よりも高い柱を有するため微細凹凸構造は直接接触せず耐傷つき性に優れるものの、最表面として使用した場合に、前記柱自身の表面の欠け、傷といった成形体の欠陥が目立つことがあった。
Anodized alumina formed by anodizing the surface of an aluminum substrate is an aluminum oxide film (alumite) and has a fine concavo-convex structure consisting of a plurality of recesses (pores) whose period is not more than the wavelength of visible light Have
In addition, a molded body having a fine concavo-convex structure on its surface is excellent in antireflection properties, but slight defects such as chipping and scratches on the surface of the molded body may be noticeable. Forming bodies with higher pillars have also been proposed. For example, Patent Document 1 discloses a structure in which an AR lattice in which a large number of fine protrusions are periodically formed and protective pillars that are scattered between the protrusions and are higher than the height of the protrusions are disclosed. .
However, since the molded article described in Patent Document 1 has columns higher than the fine concavo-convex structure, the fine concavo-convex structure is not in direct contact and has excellent scratch resistance, but when used as the outermost surface, the pillar itself Defects in the molded product such as chipping and scratches on the surface were sometimes noticeable.

特許第4262944号公報Japanese Patent No. 4262944

本発明は、微細凹凸構造を有する部分と平滑な部分とを有することによって、反射防止性を有し、且つ傷の目立ち難い微細凹凸フィルムを提供する。   The present invention provides a fine concavo-convex film having an antireflection property and being less noticeable of scratches by having a portion having a fine concavo-convex structure and a smooth portion.

本発明者らは鋭意検討した結果、微細凹凸構造を有する部分の谷底部分と同等高さの位置に平滑な部分を有することによって傷の視認性を低下させて目立ち難くすることを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明の微細凹凸フィルムは、表面に微細凹凸構造を有する部分と平滑な部分とを有し、全表面積に対する平滑な部分の面積の割合が10%より大きく50%未満であることを特徴とする微細凹凸フィルムである。
また、前記平滑な部分の高さが、前記微細凹凸構造を有する部分の谷底部分と同等高さの位置であることを特徴とする微細凹凸フィルムである。
また、前記平滑な部分のひとつあたりの面積が0.01mm以下であることを特徴とする微細凹凸フィルムである。
また、前記微細凹凸構造は、平均高さが80〜500nmであり、周期が20〜400nmである複数の凸部からなることが好ましい。
さらに、前記微細凹凸フィルムを備えた物品、および前記微細凹凸フィルムの製造方法である。
As a result of intensive studies, the present inventors have found that by having a smooth portion at a position equivalent to the bottom of the valley portion of the portion having a fine concavo-convex structure, the visibility of the scratches is lowered, making it difficult to stand out. It came to complete.
That is, the fine uneven film of the present invention has a portion having a fine uneven structure on the surface and a smooth portion, and the ratio of the area of the smooth portion to the total surface area is more than 10% and less than 50%. It is a fine uneven film.
Moreover, it is a fine uneven | corrugated film characterized by the height of the said smooth part being a position equivalent to the valley bottom part of the part which has the said fine uneven structure.
Moreover, it is a fine uneven | corrugated film characterized by the area per one said smooth part being 0.01 mm < 2 > or less.
The fine concavo-convex structure preferably includes a plurality of convex portions having an average height of 80 to 500 nm and a period of 20 to 400 nm.
Furthermore, it is the article | item provided with the said fine uneven | corrugated film, and the manufacturing method of the said fine uneven | corrugated film.

本発明によれば、反射防止性を有し、且つ傷の目立ち難い微細凹凸フィルム、および物品が得られる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the fine uneven | corrugated film and articles | goods which have antireflective property and are not conspicuous of a damage | wound are obtained.

本発明の微細凹凸フィルムの一例の断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram of an example of the fine uneven | corrugated film of this invention. 本発明の微細凹凸フィルムを製造に用いるスタンパの一例の製造工程の模式図である。It is a schematic diagram of the manufacturing process of an example of the stamper which uses the fine uneven | corrugated film of this invention for manufacture. 本発明に用いるスタンパの微細凹凸構造の一例の模式図である。It is a schematic diagram of an example of the fine uneven structure of the stamper used for this invention. 本発明の微細凹凸フィルムを製造に用いるスタンパ表面の一例の断面模式図である。It is a cross-sectional schematic diagram of an example of the stamper surface which uses the fine uneven | corrugated film of this invention for manufacture. 本発明の微細凹凸フィルムを製造するための装置の一例の模式図である。It is a schematic diagram of an example of the apparatus for manufacturing the fine uneven | corrugated film of this invention.

以下、図面を参照しながら、本発明を詳細に説明する。なお、図1〜5においては、各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材に毎に縮尺を異ならせてある。また、本明細書において、「(メタ)アクリレート」は、アクリレートおよびメタクリレートを意味する。また、「(共)重合体」は、重合体および共重合体を意味する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. 1 to 5, each member has a different scale so that each member has a size that can be recognized on the drawing. In the present specification, “(meth) acrylate” means acrylate and methacrylate. “(Co) polymer” means a polymer and a copolymer.

[微細凹凸フィルム]
本発明の微細凹凸フィルムは、表面に微細凹凸構造を有する部分と、複数の平滑な部分とを有し、全表面積に対する平滑な部分の面積の割合が10%より大きく50%以下である。全表面積に対する平滑な部分の面積の割合が10%よりも大きければ、微細凹凸フィルムの傷が目立たなくなる。一方、面積の割合が50%以下であれば、反射防止性能が良好であり、視認性が向上する。好ましくは15%以上40%以下である。
本発明の微細凹凸フィルムは、平滑な部分の高さが、微細凹凸構造を有する部分の谷底部と同等高さの位置であることが好ましい。平滑な部分が微細凹凸構造を有する部分の谷底部と同等高さの位置であることにより、平滑な部分の傷つきを抑えることができる。
また、本発明の微細凹凸フィルムは、平滑な部分のひとつあたりの面積が0.01mm以下であることが好ましい。平滑な部分ひとつあたりの面積は、視認されることのない大きさである点で、0.01mm以下が好ましく、0.0025mm以下がより好ましい。
[Fine uneven film]
The fine uneven film of the present invention has a portion having a fine uneven structure on the surface and a plurality of smooth portions, and the ratio of the area of the smooth portion to the total surface area is greater than 10% and 50% or less. If the ratio of the area of the smooth part with respect to the total surface area is larger than 10%, the scratches on the fine uneven film become inconspicuous. On the other hand, if the area ratio is 50% or less, the antireflection performance is good and the visibility is improved. Preferably they are 15% or more and 40% or less.
It is preferable that the fine uneven | corrugated film of this invention is a position where the height of a smooth part is a height equivalent to the valley bottom part of the part which has a fine uneven structure. Since the smooth portion is at the same height as the valley bottom portion of the portion having the fine concavo-convex structure, damage to the smooth portion can be suppressed.
Moreover, it is preferable that the fine uneven | corrugated film of this invention is 0.01 mm < 2 > or less per one area of a smooth part. Area per flat part one, in that it is not the size of it is visible, preferably 0.01 mm 2 or less, 0.0025 mm 2 or less being more preferred.

本発明の微細凹凸フィルムの微細凹凸構造は、平均高さが80〜500nmであり、周期が20〜400nmである複数の凸部からなることが好ましい。微細凹凸構造の周期(図1の凸部41の中心からこれに隣接する凸部41までの間隔P’の平均(平均間隔))が可視光の波長以下の周期、すなわち400nm以下であれば、有効な反射防止機能を発現できる。また、凸部41の高さ(図1の凸部41の先端から隣接する凹部42の底部までの垂直距離H)が80〜500nmであれば、反射率がより低下する。
なお、微細凹凸構造は、微細凹凸フィルム40の表面全体に備わっていてもよく、表面の一部に備わっていてもよい。微細凹凸フィルム40の一方の表面の全面に転写面が備わっていてもよく、一方の表面の一部に備わっていてもよい。また、他方の表面に転写面が備わっていてもよく、備わっていなくてもよい。
The fine concavo-convex structure of the fine concavo-convex film of the present invention preferably comprises a plurality of convex portions having an average height of 80 to 500 nm and a period of 20 to 400 nm. If the period of the fine concavo-convex structure (the average (average interval) of the intervals P ′ from the center of the convex part 41 in FIG. 1 to the convex part 41 adjacent thereto) is not more than the wavelength of visible light, that is, 400 nm or less, An effective antireflection function can be exhibited. Moreover, if the height of the convex portion 41 (the vertical distance H from the tip of the convex portion 41 in FIG. 1 to the bottom portion of the adjacent concave portion 42) is 80 to 500 nm, the reflectance is further reduced.
The fine concavo-convex structure may be provided on the entire surface of the fine concavo-convex film 40 or may be provided on a part of the surface. The entire surface of one surface of the fine uneven film 40 may be provided with a transfer surface, or may be provided on a part of one surface. Further, the transfer surface may or may not be provided on the other surface.

本発明の微細凹凸フィルムの平滑な部分は、微細凹凸構造のような高さの凸部を有さない部分である。平滑な部分の高さは微細凹凸構造を有する部分の谷底部と同等の位置にあることが好ましい。具体的には、平滑な部分の高さは微細凹凸構造を有する部分の谷底部からの高さが50nm以下が好ましく、10nm以下がより好ましく、0.1nm以下が特に好ましい。
図1の平滑な部分2に示すように、微細凹凸フィルムを断面から見た場合の平滑な部分2の長さは0.1mm以下が好ましく、0.05mm以下がより好ましい。平滑な部分の形状は特に限定されない。
以上説明した本発明の微細凹凸フィルムにあっては、反射防止性を有し、傷の視認性が低く目立ち難い物品を製造できる。
The smooth part of the fine concavo-convex film of the present invention is a part which does not have a convex part having a height as in the fine concavo-convex structure. The height of the smooth portion is preferably at the same position as the valley bottom of the portion having the fine concavo-convex structure. Specifically, the height of the smooth portion from the valley bottom of the portion having the fine concavo-convex structure is preferably 50 nm or less, more preferably 10 nm or less, and particularly preferably 0.1 nm or less.
As shown in the smooth portion 2 of FIG. 1, the length of the smooth portion 2 when the fine uneven film is viewed from the cross section is preferably 0.1 mm or less, and more preferably 0.05 mm or less. The shape of the smooth portion is not particularly limited.
The fine concavo-convex film of the present invention described above can produce an article having antireflection properties, low visibility of scratches, and inconspicuousness.

[スタンパの製造方法]
本発明の微細凹凸フィルムの製造方法は、特に制限は無いが、反射防止性能と生産性の観点からアルミニウム基材上に陽極酸化によって微細凹凸構造が形成されたスタンパを用いることが好ましい。
なお、本発明において凹凸構造の「周期」とは、凹凸構造を構成する凹部(または凸部)の中心からこれに隣接する凹部(または凸部)までの間隔の平均(平均間隔)のことである。
[Manufacturing method of stamper]
Although the manufacturing method of the fine uneven | corrugated film of this invention does not have a restriction | limiting in particular, It is preferable to use the stamper by which the fine uneven structure was formed on the aluminum base material by anodic oxidation from a viewpoint of antireflection performance and productivity.
In the present invention, the “period” of the concavo-convex structure is the average (average interval) of the distance from the center of the concave portion (or convex portion) constituting the concavo-convex structure to the concave portion (or convex portion) adjacent thereto. is there.

<アルミニウム基材>
アルミニウム基材としては、微細凹凸構造を表面に有するスタンパの製造に用いられる、微細凹凸構造が形成される被加工面を有するアルミニウム基材を使用する。被加工面とは、スタンパの表面を成形体本体の表面に転写する際に成形体本体に接触する面である。
アルミニウム基材10の純度は98質量%以上が好ましく、99質量%以上がより好ましく、99.9質量%以上がさらに好ましい。純度が98%質量未満では、陽極酸化した際に、細孔が形成されなかったり、形成されても細孔の形状が垂直でなかったりする傾向がある。このような純度が98質量%未満のアルミニウム基材から製造されるスタンパは、例えば反射防止物品などの製造には好適ではない。
なお、アルミニウム基材は、後述するスタンパの製造に供される前に、機械研磨、羽布研磨、電解研磨などの方法で表面を鏡面化されてもよい。
<Aluminum substrate>
As the aluminum substrate, an aluminum substrate having a work surface on which a fine concavo-convex structure is formed, which is used for manufacturing a stamper having a fine concavo-convex structure on its surface, is used. The surface to be processed is a surface that comes into contact with the body of the molded body when the surface of the stamper is transferred to the surface of the body of the molded body.
The purity of the aluminum substrate 10 is preferably 98% by mass or more, more preferably 99% by mass or more, and further preferably 99.9% by mass or more. When the purity is less than 98% by mass, there is a tendency that pores are not formed during anodization, or the shape of the pores is not vertical even if formed. A stamper manufactured from such an aluminum substrate having a purity of less than 98% by mass is not suitable for manufacturing an antireflection article, for example.
The aluminum substrate may be mirror-finished by a method such as mechanical polishing, feather polishing, or electrolytic polishing before being used for manufacturing a stamper described later.

<スタンパの製造>
本発明では、上述したアルミニウム基材を用い、アルミニウム基材の被加工面の10%より大きく50%未満の領域をマスキング後、該処理面を陽極酸化することで、微細凹凸構造と平滑な面が形成された構造をアルミニウム基材の表面に形成して、スタンパを製造する。
以下、各工程について詳しく説明する。
<Manufacture of stampers>
In the present invention, the above-described aluminum substrate is used, and after masking a region of more than 10% and less than 50% of the processed surface of the aluminum substrate, the treated surface is anodized to obtain a fine uneven structure and a smooth surface. A stamper is manufactured by forming a structure in which is formed on the surface of an aluminum substrate.
Hereinafter, each step will be described in detail.

(マスキング処理)
アルミニウム基材をマスキング処理する方法としては、公知の方法を採用でき、具体的にはインクジェット等が挙げられる。
アルミニウム基材をマスキング処理することで、図4に示すように、アルミニウム基材10のマスキング処理された被加工面に、面積の割合が10%より大きく50%未満であり、ひとつあたりの面積が0.01mm以下である領域17が形成される。面積の割合が10%よりも大きければ、微細凹凸フィルムの傷が目立たなくなる。一方、面積の割合が50%未満であれば、反射防止性能が良好であり、視認性が向上する。面積は、視認されることのない大きさである点で、0.01mm以下が好ましく、0.0025mm以下がより好ましい。
(Masking process)
As a method for masking the aluminum substrate, a known method can be adopted, and specifically, an ink jet or the like can be used.
By masking the aluminum base material, as shown in FIG. 4, the area ratio of the aluminum base material 10 to the masked processed surface is greater than 10% and less than 50%, and the area per one is A region 17 that is 0.01 mm 2 or less is formed. If the area ratio is larger than 10%, the scratches on the fine uneven film become inconspicuous. On the other hand, if the area ratio is less than 50%, the antireflection performance is good and the visibility is improved. Area, in that it is not the size of it is visible, preferably 0.01 mm 2 or less, 0.0025 mm 2 or less being more preferred.

(陽極酸化)
アルミニウム基材の処理面を陽極酸化する方法としては、下記の工程を順に行う方法が好ましい。
第1の酸化皮膜形成工程(a);
アルミニウム基材の処理面を電解液中、陽極酸化して、前記処理面に酸化皮膜を形成する(以下、工程(a)とも記す。)。
酸化皮膜除去工程(b);
酸化皮膜を除去し、陽極酸化の細孔発生点を処理面に形成する(以下、工程(b)とも記す。)。
第2の酸化皮膜形成工程(c);
細孔発生点が形成されたアルミニウム基材の処理面を電解液中、再度陽極酸化して、細孔発生点に対応した細孔を有する酸化皮膜を被加工面に形成する(以下、工程(c)とも記す。)。
孔径拡大処理工程(d);
細孔の径を拡大させる(以下、工程(d)とも記す。)。
繰り返し工程(e);
必要に応じて、第2の酸化皮膜形成工程(c)と孔径拡大処理工程(d)とを繰り返し行う(以下、工程(e)とも記す。)。
(anodization)
As a method of anodizing the treated surface of the aluminum substrate, a method of sequentially performing the following steps is preferable.
First oxide film forming step (a);
The treated surface of the aluminum substrate is anodized in an electrolytic solution to form an oxide film on the treated surface (hereinafter also referred to as step (a)).
Oxide film removal step (b);
The oxide film is removed, and pore generation points for anodic oxidation are formed on the treated surface (hereinafter also referred to as step (b)).
Second oxide film forming step (c);
The treated surface of the aluminum base material on which the pore generation point is formed is anodized again in the electrolytic solution to form an oxide film having pores corresponding to the pore generation point on the surface to be processed (hereinafter, step ( Also referred to as c)).
Pore diameter expansion treatment step (d);
The diameter of the pores is enlarged (hereinafter also referred to as step (d)).
Repeating step (e);
If necessary, the second oxide film forming step (c) and the pore diameter expansion treatment step (d) are repeated (hereinafter also referred to as step (e)).

工程(a):
工程(a)では、アルミニウム基材の処理面を電解液中、定電圧下で陽極酸化し、図2(a)に示すように、アルミニウム基材10の処理面に、細孔11を有する酸化皮膜12を形成する。電解液としては、硫酸、シュウ酸水溶液、リン酸水溶液等が挙げられる。
工程(b):
工程(b)では、工程(a)により形成された酸化皮膜12を除去することにより、図2(b)に示すように、除去された酸化皮膜12の底部(バリア層と呼ばれる)に対応する周期的な窪み、すなわち、細孔発生点13を形成する。陽極酸化の細孔発生点13を形成することで、最終的に形成される細孔の規則性を向上させることができる。
酸化皮膜12を除去する方法としては、アルミニウムを溶解せず、アルミナを選択的に溶解する溶液によって除去する方法が挙げられる。このような溶液としては、例えば、クロム酸/リン酸混合液等が挙げられる。
Step (a):
In the step (a), the treated surface of the aluminum base material is anodized under a constant voltage in an electrolytic solution, and the treated surface of the aluminum base material 10 is oxidized with pores 11 as shown in FIG. 2 (a). A film 12 is formed. Examples of the electrolytic solution include sulfuric acid, an oxalic acid aqueous solution, and a phosphoric acid aqueous solution.
Step (b):
In the step (b), by removing the oxide film 12 formed in the step (a), as shown in FIG. 2B, it corresponds to the bottom of the removed oxide film 12 (referred to as a barrier layer). Periodic depressions, that is, pore generation points 13 are formed. By forming the pore generation points 13 for anodization, the regularity of the pores finally formed can be improved.
Examples of the method for removing the oxide film 12 include a method in which aluminum is not dissolved but is removed with a solution that selectively dissolves alumina. Examples of such a solution include a chromic acid / phosphoric acid mixed solution.

工程(c):
工程(c)では、細孔発生点13が形成されたアルミニウム基材10を電解液中、定電圧下で再度陽極酸化し、再び酸化皮膜を形成する。これにより、図2(c)に示すように、円柱状の細孔14が形成された酸化皮膜15を形成できる。電解液としては、工程(a)と同様のものが挙げられる。
工程(d):
工程(d)では、工程(c)で形成された細孔14の径を拡大させる細孔径拡大処理を行って、図2(d)に示すように、細孔14の径を図2(c)の場合よりも拡径する。
孔径拡大処理の具体的方法としては、アルミナを溶解する溶液に浸漬して、工程(c)で形成された細孔の径をエッチングにより拡大させる方法が挙げられる。このような溶液としては、例えば、5質量%程度のリン酸水溶液等が挙げられる。工程(d)の時間を長くするほど、細孔の径は大きくなる。
工程(e):
工程(e)では、再度、工程(c)を行って、図2(e)に示すように、細孔14の形状を径の異なる2段の円柱状とし、その後、再度、工程(d)を行う。このように工程(c)と工程(d)を繰り返す、繰り返し工程(e)により、図2(f)に示すように、直径が開口部から深さ方向に連続的に減少する形状の細孔14を有する陽極酸化アルミナ(アルミニウムの多孔質の酸化皮膜(アルマイト))が形成されたスタンパ20が得られる。
Step (c):
In the step (c), the aluminum base material 10 on which the pore generation points 13 are formed is anodized again under a constant voltage in the electrolytic solution, and an oxide film is formed again. Thereby, as shown in FIG.2 (c), the oxide film 15 in which the cylindrical pore 14 was formed can be formed. Examples of the electrolytic solution include the same as in step (a).
Step (d):
In the step (d), a pore diameter enlargement process is performed to enlarge the diameter of the pores 14 formed in the step (c), and as shown in FIG. ) To expand the diameter.
As a specific method of the pore diameter expansion treatment, a method of immersing in a solution dissolving alumina and expanding the diameter of the pores formed in the step (c) by etching can be mentioned. Examples of such a solution include a phosphoric acid aqueous solution of about 5% by mass. The longer the time of step (d), the larger the pore diameter.
Step (e):
In the step (e), the step (c) is performed again, and the shape of the pores 14 is changed to a two-stage cylindrical shape having different diameters, as shown in FIG. 2 (e), and then the step (d) is performed again. I do. By repeating the step (c) and the step (d) as described above, as shown in FIG. 2 (f), the pores having a shape in which the diameter continuously decreases in the depth direction from the opening as shown in FIG. 2 (f). Thus, a stamper 20 having anodized alumina (a porous oxide film (alumite) of aluminum) having 14 is obtained.

工程(c)および工程(d)の条件、例えば、陽極酸化の時間および孔径拡大処理の時間を適宜設定することにより、様々な形状の細孔を形成することができる。よって、スタンパから製造しようとする微細凹凸フィルムの用途等に応じて、これら条件を適宜設定すればよい。また、このスタンパが反射防止膜等の反射防止物品を製造するものである場合には、このように条件を適宜設定することにより、細孔の周期や深さを任意に変更できるため、最適な屈折率変化を設計することも可能となる。
具体的には、同じ条件で工程(c)と工程(d)とを繰り返せば、図3に示すような円錐形状の細孔14が形成される。
工程(e)における繰り返し回数は、回数が多いほどより滑らかなテーパー形状の細孔を形成でき、工程(c)と工程(d)との合計で3回以上が好ましく、5回以上がより好ましい。繰り返し回数が2回以下では、非連続的に細孔の径が減少する傾向にあり、このようなスタンパから反射防止膜等の反射防止物品を製造した場合、その反射率低減効果は不十分となる可能性がある。
By appropriately setting the conditions of the step (c) and the step (d), for example, the time for anodization and the time for the pore size expansion treatment, pores having various shapes can be formed. Therefore, these conditions may be appropriately set according to the use of the fine uneven film to be manufactured from the stamper. In addition, when this stamper is for manufacturing an antireflection article such as an antireflection film, the period and depth of the pores can be arbitrarily changed by appropriately setting the conditions in this way, so that the optimum It is also possible to design a refractive index change.
Specifically, when step (c) and step (d) are repeated under the same conditions, conical pores 14 as shown in FIG. 3 are formed.
As the number of repetitions in the step (e), the larger the number, the more smoothly tapered pores can be formed, and the total of the step (c) and the step (d) is preferably 3 times or more, more preferably 5 times or more. . When the number of repetitions is 2 or less, the diameter of the pores tends to decrease discontinuously, and when an antireflection article such as an antireflection film is produced from such a stamper, the reflectance reduction effect is insufficient. There is a possibility.

こうして製造されたスタンパ20は、この微細凹凸構造における周期が可視光の波長以下、すなわち400nm以下であると、いわゆるMoth−Eye構造となり、このスタンパの表面構造を転写した微細凹凸フィルムは有効な反射防止機能を発現できる。
周期は、図3に示すように、微細凹凸構造の細孔(凹部)14の中心からこれに隣接する細孔(凹部)14の中心までの間隔(図中のp)の平均である。
細孔(凹部)14の周期は、可視光線の波長以下、すなわち400nm以下が好ましく、250nm以下がより好ましく、200nm以下が特に好ましい。周期が400nmより大きいと可視光の散乱が起こりやすくなり、スタンパの表面構造を転写した微細凹凸フィルムが十分な反射防止機能が発現しにくくなる傾向にある。細孔(凹部)14の周期は、20nm以上が好ましい。
The stamper 20 manufactured in this way has a so-called Moth-Eye structure when the period of the fine concavo-convex structure is less than or equal to the wavelength of visible light, that is, 400 nm or less, and the fine concavo-convex film to which the surface structure of the stamper is transferred is an effective reflection. Preventive function can be expressed.
As shown in FIG. 3, the period is the average of the interval (p in the figure) from the center of the fine pore (concave) 14 of the fine concavo-convex structure to the center of the pore (concave) 14 adjacent thereto.
The period of the pores (recesses) 14 is preferably not more than the wavelength of visible light, that is, not more than 400 nm, more preferably not more than 250 nm, and particularly preferably not more than 200 nm. When the period is larger than 400 nm, visible light is likely to be scattered, and the fine uneven film to which the surface structure of the stamper is transferred tends to make it difficult to exhibit a sufficient antireflection function. The period of the pores (recesses) 14 is preferably 20 nm or more.

また、細孔(凹部)14の深さは、80〜500nmが好ましく、100〜400nmがより好ましく、130〜300nmが特に好ましい。細孔(凹部)14の深さが80nm以上であれば、スタンパの表面構造を転写した微細凹凸フィルムの表面、すなわち転写面の反射率が低下する。細孔(凹部)14の深さは、図3に示すように、微細凹凸構造の細孔(凹部)14の開口部から最深部までの距離(図中のDep)である。
なお、細孔(凹部)14の形状としては、図3に示す円錐形状に限定されず、例えば角錐形状、円柱形状、逆釣鐘状などでもよいが、円錐形状、角錐形状等のように、深さ方向と直交する方向の細孔断面積が最表面から深さ方向に連続的に減少する形状が好ましい。 スタンパ20の形状は、平板でもあってもよく、ロール状であってもよい。
Moreover, 80-500 nm is preferable, as for the depth of the pore (recessed part) 14, 100-400 nm is more preferable, and 130-300 nm is especially preferable. If the depth of the pores (recesses) 14 is 80 nm or more, the reflectance of the surface of the fine uneven film to which the surface structure of the stamper is transferred, that is, the transfer surface is lowered. As shown in FIG. 3, the depth of the pores (recesses) 14 is the distance (Dep in the figure) from the opening to the deepest part of the pores (recesses) 14 having a fine concavo-convex structure.
The shape of the pores (recesses) 14 is not limited to the conical shape shown in FIG. 3, and may be, for example, a pyramid shape, a cylindrical shape, an inverted bell shape, or the like. A shape in which the pore cross-sectional area in the direction orthogonal to the vertical direction continuously decreases from the outermost surface in the depth direction is preferable. The shape of the stamper 20 may be a flat plate or a roll.

また、スタンパ20の微細凹凸構造が形成された表面は、離型が容易になるように、離型剤で処理されていてもよい。処理方法としては、例えば、シリコーン樹脂またはフッ素含有ポリマーをコーティングする方法、フッ素含有化合物を蒸着する方法、フッ素含有シラン化合物をコーティングする方法等が挙げられる。
また、マスキングに使用したインクは溶剤等で洗い流すことができる。
上述の製造方法で得られたスタンパからは、直接、微細凹凸フィルムを製造できるが、スタンパを原型として、まずレプリカを作製し、このレプリカから微細凹凸フィルムを製造してもよい。また、このレプリカを原型として再度レプリカを作製してそのレプリカから微細凹凸フィルムを製造してもよい。
レプリカの作製方法としては、例えば、原型上にニッケル、銀等による薄膜を無電界めっき、スパッタ法等により形成し、ついでこの薄膜を電極として電気めっき(電鋳法)を行って、例えばニッケルを堆積させた後、このニッケル層を原型から剥離して、レプリカとする方法等が挙げられる。
Further, the surface of the stamper 20 on which the fine concavo-convex structure is formed may be treated with a release agent so as to facilitate release. Examples of the treatment method include a method of coating a silicone resin or a fluorine-containing polymer, a method of depositing a fluorine-containing compound, and a method of coating a fluorine-containing silane compound.
The ink used for masking can be washed away with a solvent or the like.
Although a fine uneven film can be directly produced from the stamper obtained by the above-described production method, a replica may be first produced using the stamper as a prototype, and the fine uneven film may be produced from this replica. Alternatively, a replica may be produced again using this replica as a prototype, and a fine uneven film may be produced from the replica.
As a method for producing a replica, for example, a thin film made of nickel, silver, or the like is formed on a master by electroless plating, sputtering, or the like, and then electroplating (electroforming) is performed using the thin film as an electrode. Examples of the method include a method in which the nickel layer is peeled off from the original mold after being deposited to form a replica.

以上説明した本発明のスタンパの製造方法にあっては、アルミニウム基材をマスキング処理してからアルミニウム基材を陽極酸化することで、図4に示すような、平滑な部分の面積の割合が10%より大きく50%以下であり、ひとつあたりの面積が0.01mm以下である領域が形成される構造が、アルミニウム基材10の表面に形成されたスタンパ20が得られる。そして、上述の製造方法によって製造されたスタンパの表面の凹凸構造をフィルムの表面に転写することによって、反射防止性を有し、傷の視認性が低く傷が目立ち難い微細凹凸フィルムが得られる。 In the stamper manufacturing method of the present invention described above, the ratio of the area of the smooth portion as shown in FIG. 4 is 10 by anodizing the aluminum substrate after masking the aluminum substrate. A stamper 20 is obtained in which a structure in which a region of greater than 50% and 50% or less and an area of 0.01 mm 2 or less is formed on the surface of the aluminum base 10 is obtained. Then, by transferring the concavo-convex structure on the surface of the stamper manufactured by the above-described manufacturing method to the surface of the film, a fine concavo-convex film having antireflection properties, low visibility of scratches, and scratches that are not noticeable can be obtained.

[微細凹凸フィルムの製造方法]
本発明の微細凹凸フィルムの製造方法は、上述のスタンパの表面に形成された表面構造を、成形体本体の表面に転写する方法である。
スタンパの表面構造を転写して製造された微細凹凸フィルムは、その表面にスタンパの表面構造の反転構造が、鍵と鍵穴の関係で転写される。
微細凹凸フィルムの製造方法としては、例えば、下記の方法が挙げられる。
(1)スタンパと光透過性基材(成形体本体)との間に活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を充填し、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物がスタンパに接触した状態で、該活性エネルギー線硬化性樹脂組成物に活性エネルギー線を照射して、該活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を硬化した後、スタンパを剥離し、光透過性基材の表面に活性エネルギー線硬化性樹脂組成物の硬化物からなる表面構造が形成された微細凹凸フィルムを得る(すなわち、光透過性基材の表面にスタンパの表面構造が転写された硬化物を形成する)方法。
(2)スタンパと光透過性基材との間に活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を充填し、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物にスタンパの表面構造を転写し、スタンパを剥離した後、該活性エネルギー線硬化性樹脂組成物に活性エネルギー線を照射して、該活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を硬化し、光透過性基材の表面に活性エネルギー線硬化性樹脂組成物の硬化物からなる表面構造が形成された微細凹凸フィルムを得る(すなわち、光透過性基材の表面にスタンパの表面構造が転写された硬化物を形成する)方法。
[Production method of fine uneven film]
The manufacturing method of the fine uneven | corrugated film of this invention is a method of transcribe | transferring the surface structure formed in the surface of the above-mentioned stamper to the surface of a molded object main body.
In the fine uneven film manufactured by transferring the surface structure of the stamper, the inverted structure of the surface structure of the stamper is transferred to the surface in a relationship between the key and the keyhole.
As a manufacturing method of a fine uneven | corrugated film, the following method is mentioned, for example.
(1) An active energy ray-curable resin composition is filled between a stamper and a light-transmitting substrate (molded body), and the active energy ray-curable resin composition is in contact with the stamper and the active energy The active energy ray-curable resin composition is irradiated with active energy rays to cure the active energy ray-curable resin composition, and then the stamper is peeled off, and the active energy ray-curable resin composition is formed on the surface of the light-transmitting substrate. A method for obtaining a fine concavo-convex film having a surface structure made of a cured product (that is, forming a cured product in which the surface structure of a stamper is transferred to the surface of a light-transmitting substrate).
(2) The active energy ray-curable resin composition is filled between the stamper and the light-transmitting substrate, the surface structure of the stamper is transferred to the active energy ray-curable resin composition, the stamper is peeled off, The active energy ray-curable resin composition is irradiated with active energy rays to cure the active energy ray-curable resin composition, and the active energy ray-curable resin composition is cured on the surface of the light-transmitting substrate. A method for obtaining a fine concavo-convex film having a surface structure formed thereon (that is, forming a cured product in which the surface structure of a stamper is transferred to the surface of a light-transmitting substrate).

以下、(1)の方法について詳細に説明する。
スタンパと光透過性基材とを対向させ、これらの間に活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を充填、配置する。この際、スタンパの表面構造が形成された側の面(スタンパの表面)が、光透過性基材と対向するようにする。ついで、充填された活性エネルギー線硬化性樹脂組成物に、光透過性基材を介して活性エネルギー線(可視光線、紫外線、電子線、プラズマ、赤外線等の熱線)を例えば高圧水銀ランプやメタルハライドランプから照射して、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を硬化する。その後、スタンパを剥離する。その結果、光透過性基材の表面に、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物の硬化物からなる表面凹凸構造が形成された微細凹凸フィルムが得られる。この際、必要に応じて、スタンパの剥離後に再度活性エネルギー線を照射してもよい。
活性エネルギー線の照射量は、硬化が進行するエネルギー量であればよく、通常、100〜10000mJ/cmである。
Hereinafter, the method (1) will be described in detail.
The stamper and the light-transmitting substrate are opposed to each other, and the active energy ray-curable resin composition is filled and disposed between them. At this time, the surface on which the stamper surface structure is formed (the surface of the stamper) is made to face the light-transmitting substrate. Next, active energy rays (heat rays such as visible rays, ultraviolet rays, electron beams, plasma, infrared rays) are applied to the filled active energy ray-curable resin composition via a light-transmitting substrate, for example, a high-pressure mercury lamp or a metal halide lamp. To cure the active energy ray-curable resin composition. Thereafter, the stamper is peeled off. As a result, a fine concavo-convex film in which a surface concavo-convex structure made of a cured product of the active energy ray-curable resin composition is formed on the surface of the light transmissive substrate is obtained. At this time, if necessary, the active energy ray may be irradiated again after the stamper is peeled off.
The irradiation amount of an active energy ray should just be the energy amount which hardening progresses, and is 100-10000mJ / cm < 2 > normally.

また、例えば図5に示すような製造装置を用いれば、連続して微細凹凸フィルムを製造することができる。図5に示す製造装置30を用いた微細凹凸フィルムの製造方法の一例について説明する。
微細凹凸構造を表面に有するロール状のスタンパ31の表面と、該スタンパ31の表面に沿って移動する帯状の透光透過性基材(成形体本体)32との間に、タンク33から活性エネルギー線硬化性樹脂組成物34を供給する。
スタンパ31と、空気圧シリンダ35によってニップ圧が調整されたニップロール36との間で、透明基材32および活性エネルギー線硬化性樹脂組成物34をニップし、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物34を光透過性基材32とスタンパ31との間に均一に行き渡らせると同時に、スタンパ31の細孔(凹部)内にも充填する。
スタンパ31を回転させながら、スタンパ31と光透過性基材32との間に活性エネルギー線硬化性樹脂組成物34が挟まれた状態で、スタンパ32の下方に設置された活性エネルギー線照射装置37を用い、光透過性基材32側から活性エネルギー線硬化性樹脂組成物34に活性エネルギー線を照射し、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物34を硬化させることによって、光透過性基材32の表面にスタンパ31のマルチ凹凸構造が転写された硬化物38を形成する。
剥離ロール39により、表面に硬化物38が形成された透明基材32をスタンパ31から剥離することで、微細凹凸フィルム40を得る。
For example, if a manufacturing apparatus as shown in FIG. 5 is used, a fine uneven | corrugated film can be manufactured continuously. An example of the manufacturing method of the fine uneven | corrugated film using the manufacturing apparatus 30 shown in FIG. 5 is demonstrated.
The active energy from the tank 33 is between the surface of the roll-shaped stamper 31 having a fine concavo-convex structure on the surface and the band-like light-transmitting base material (molded body) 32 that moves along the surface of the stamper 31. A linear curable resin composition 34 is supplied.
The transparent base material 32 and the active energy ray curable resin composition 34 are nipped between the stamper 31 and the nip roll 36 whose nip pressure is adjusted by the pneumatic cylinder 35, and the active energy ray curable resin composition 34 is optically irradiated. While spreading uniformly between the permeable base material 32 and the stamper 31, the pores (recesses) of the stamper 31 are also filled.
While the stamper 31 is rotated, an active energy ray irradiation device 37 installed below the stamper 32 in a state where the active energy ray curable resin composition 34 is sandwiched between the stamper 31 and the light transmissive substrate 32. The active energy ray-curable resin composition 34 is irradiated with active energy rays from the light-transmitting substrate 32 side to cure the active energy ray-curable resin composition 34, thereby A cured product 38 having the multi-concave structure of the stamper 31 transferred on the surface is formed.
The fine uneven film 40 is obtained by peeling the transparent substrate 32 having the cured product 38 formed on the surface from the stamper 31 by the peeling roll 39.

光透過性基材(成形体本体)の材料としては、活性エネルギー線の照射を著しく阻害しないものであればよく、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、メチルメタクリレート(共)重合体、ポリカーボネート、スチレン(共)重合体、メチルメタクリレート−スチレン共重合体、セルロースジアセテート、セルローストリアセテート、セルロースアセテートブチレート、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリエーテルスルフォン、ポリスルフォン、ポリプロピレン、ポリメチルペンテン、ポリ塩化ビニル、ポリビニルアセタール、ポリエーテルケトン、ポリウレタン、シクロオレフィンポリマー、ガラス、石英、水晶等が挙げられる。
光透過性透明基材の形状は、製造する微細凹凸フィルムに応じて適宜選択でき、例えば、微細凹凸フィルムの用途が反射防止膜等の反射防止物品の場合には、シート状またはフィルム状が好ましい。 光透過性基材の表面は、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物との密着性、帯電防止性、耐擦傷性、耐候性等の改良のために、例えば各種コーティング、コロナ放電処理等が施されていてもよい。
The material of the light transmissive substrate (molded body) may be any material that does not significantly inhibit the irradiation of active energy rays. For example, polyethylene terephthalate (PET), methyl methacrylate (co) polymer, polycarbonate, styrene ( Co) polymer, methyl methacrylate-styrene copolymer, cellulose diacetate, cellulose triacetate, cellulose acetate butyrate, polyester, polyamide, polyimide, polyether sulfone, polysulfone, polypropylene, polymethylpentene, polyvinyl chloride, polyvinyl acetal , Polyether ketone, polyurethane, cycloolefin polymer, glass, quartz, quartz and the like.
The shape of the light-transmitting transparent substrate can be appropriately selected according to the fine uneven film to be produced. For example, when the use of the fine uneven film is an antireflection article such as an antireflection film, a sheet form or a film form is preferable. . The surface of the light-transmitting substrate is subjected to, for example, various coatings, corona discharge treatment, etc. in order to improve adhesion to the active energy ray-curable resin composition, antistatic properties, scratch resistance, weather resistance, etc. It may be.

(活性エネルギー線樹脂組成物)
本発明で使用する活性エネルギー線硬化性樹脂組成物は、重合性化合物および重合開始剤を含むことができる。
重合性化合物としては、分子中にラジカル重合性結合および/またはカチオン重合性結合を有するモノマー、オリゴマー、反応性ポリマー等が挙げられる。
活性エネルギー線硬化性樹脂組成物は、非反応性のポリマー、活性エネルギー線ゾルゲル反応性組成物を含んでいてもよい。
(Active energy ray resin composition)
The active energy ray-curable resin composition used in the present invention can contain a polymerizable compound and a polymerization initiator.
Examples of the polymerizable compound include monomers, oligomers, and reactive polymers having a radical polymerizable bond and / or a cationic polymerizable bond in the molecule.
The active energy ray-curable resin composition may contain a non-reactive polymer and an active energy ray sol-gel reactive composition.

ラジカル重合性結合を有するモノマーとしては、単官能モノマー、多官能モノマーが挙げられる。
単官能モノマーとしては、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル(メタ)アクリレート、i−ブチル(メタ)アクリレート、s−ブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル(メタ)アクリレート、2−エチルヘキシル(メタ)アクリレート、ラウリル(メタ)アクリレート、アルキル(メタ)アクリレート、トリデシル(メタ)アクリレート、ステアリル(メタ)アクリレート、シクロヘキシル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、イソボルニル(メタ)アクリレート、グリシジル(メタ)アクリレート、テトラヒドロフルフリル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、2−メトキシエチル(メタ)アクリレート、2−エトキシエチル(メタ)アクリレート等の(メタ)アクリレート誘導体;(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリロニトリル;スチレン、α−メチルスチレン等のスチレン誘導体;(メタ)アクリルアミド、N−ジメチル(メタ)アクリルアミド、N−ジエチル(メタ)アクリルアミド、ジメチルアミノプロピル(メタ)アクリルアミド等の(メタ)アクリルアミド誘導体等が挙げられる。これらは、1種を単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。
Examples of the monomer having a radical polymerizable bond include a monofunctional monomer and a polyfunctional monomer.
Monofunctional monomers include methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, propyl (meth) acrylate, n-butyl (meth) acrylate, i-butyl (meth) acrylate, s-butyl (meth) acrylate, t- Butyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, alkyl (meth) acrylate, tridecyl (meth) acrylate, stearyl (meth) acrylate, cyclohexyl (meth) acrylate, benzyl (meth) acrylate, Phenoxyethyl (meth) acrylate, isobornyl (meth) acrylate, glycidyl (meth) acrylate, tetrahydrofurfuryl (meth) acrylate, allyl (meth) acrylate, 2-hydroxyethyl ( )) (Meth) acrylate derivatives such as acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, 2-methoxyethyl (meth) acrylate, 2-ethoxyethyl (meth) acrylate; (meth) acrylic acid, (meth) acrylonitrile; styrene, α -Styrene derivatives such as methylstyrene; (meth) acrylamide derivatives such as (meth) acrylamide, N-dimethyl (meth) acrylamide, N-diethyl (meth) acrylamide, dimethylaminopropyl (meth) acrylamide and the like. These may be used alone or in combination of two or more.

多官能モノマーとしては、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、イソシアヌール酸エチレンオキサイド変性ジ(メタ)アクリレート、トリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,5−ペンタンジオールジ(メタ)アクリレート、1,3−ブチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリブチレングリコールジ(メタ)アクリレート、2,2−ビス(4−(メタ)アクリロキシポリエトキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−(メタ)アクリロキシエトキシフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−(3−(メタ)アクリロキシ−2−ヒドロキシプロポキシ)フェニル)プロパン、1,2−ビス(3−(メタ)アクリロキシ−2−ヒドロキシプロポキシ)エタン、1,4−ビス(3−(メタ)アクリロキシ−2−ヒドロキシプロポキシ)ブタン、ジメチロールトリシクロデカンジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAのエチレンオキサイド付加物ジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAのプロピレンオキサイド付加物ジ(メタ)アクリレート、ヒドロキシピバリン酸ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ジビニルベンゼン、メチレンビスアクリルアミド等の二官能性モノマー;ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキサイド変性トリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンプロピレンオキシド変性トリアクリレート、トリメチロールプロパンエチレンオキシド変性トリアクリレート、イソシアヌール酸エチレンオキサイド変性トリ(メタ)アクリレート等の三官能モノマー;コハク酸/トリメチロールエタン/アクリル酸の縮合反応混合物、ジペンタエリストールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリストールペンタ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート等の四官能以上のモノマー;二官能以上のウレタンアクリレート、二官能以上のポリエステルアクリレート等が挙げられる。これらは、1種を単独で用いてもよく、2種類以上を併用してもよい。
カチオン重合性結合を有するモノマーとしては、エポキシ基、オキセタニル基、オキサゾリル基、ビニルオキシ基等を有するモノマーが挙げられ、エポキシ基を有するモノマーが特に好ましい。
Polyfunctional monomers include ethylene glycol di (meth) acrylate, tripropylene glycol di (meth) acrylate, isocyanuric acid ethylene oxide modified di (meth) acrylate, triethylene glycol di (meth) acrylate, diethylene glycol di (meth) acrylate , Neopentyl glycol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, 1,5-pentanediol di (meth) acrylate, 1,3-butylene glycol di (meth) acrylate, polybutylene glycol di (Meth) acrylate, 2,2-bis (4- (meth) acryloxypolyethoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4- (meth) acryloxyethoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4- (3- ( Ta) acryloxy-2-hydroxypropoxy) phenyl) propane, 1,2-bis (3- (meth) acryloxy-2-hydroxypropoxy) ethane, 1,4-bis (3- (meth) acryloxy-2-hydroxypropoxy) ) Butane, dimethylol tricyclodecane di (meth) acrylate, ethylene oxide adduct di (meth) acrylate of bisphenol A, propylene oxide adduct di (meth) acrylate of bisphenol A, neopentyl glycol di (meth) hydroxypivalate Bifunctional monomers such as acrylate, divinylbenzene, and methylenebisacrylamide; pentaerythritol tri (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane ethylene oxide Functional tri (meth) acrylate, trimethylolpropane propylene oxide modified triacrylate, trimethylolpropane ethylene oxide modified triacrylate, isocyanuric acid ethylene oxide modified tri (meth) acrylate and other trifunctional monomers; succinic acid / trimethylolethane / acrylic acid 4 or more functional monomers such as dipentaerystol hexa (meth) acrylate, dipentaerystol penta (meth) acrylate, ditrimethylolpropane tetraacrylate, tetramethylolmethanetetra (meth) acrylate; bifunctional or more Urethane acrylates, bifunctional or higher functional polyester acrylates, and the like. These may be used alone or in combination of two or more.
Examples of the monomer having a cationic polymerizable bond include monomers having an epoxy group, an oxetanyl group, an oxazolyl group, a vinyloxy group, and the like, and a monomer having an epoxy group is particularly preferable.

オリゴマーまたは反応性ポリマーとしては、不飽和ジカルボン酸と多価アルコールとの縮合物等の不飽和ポリエステル類;ポリエステル(メタ)アクリレート、ポリエーテル(メタ)アクリレート、ポリオール(メタ)アクリレート、エポキシ(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、カチオン重合型エポキシ化合物、側鎖にラジカル重合性結合を有する上述のモノマーの単独または共重合ポリマー等が挙げられる。
非反応性のポリマーとしては、アクリル系樹脂、スチレン系樹脂、ポリウレタン、セルロース系樹脂、ポリビニルブチラール、ポリエステル、熱可塑性エラストマー等が挙げられる。
活性エネルギー線ゾルゲル反応性組成物としては、アルコキシシラン化合物、アルキルシリケート化合物等が挙げられる。
アルコキシシラン化合物としては、下記式(1)の化合物が挙げられる。
11 Si(OR12 ・・・(1)。
ただし、R11、R12は、それぞれ炭素数1〜10のアルキル基を表し、x、yは、x+y=4の関係を満たす整数を表す。
Examples of the oligomer or reactive polymer include unsaturated polyesters such as a condensate of unsaturated dicarboxylic acid and polyhydric alcohol; polyester (meth) acrylate, polyether (meth) acrylate, polyol (meth) acrylate, epoxy (meth) Examples thereof include acrylates, urethane (meth) acrylates, cationic polymerization type epoxy compounds, homopolymers of the above-described monomers having a radical polymerizable bond in the side chain, and copolymerized polymers.
Examples of non-reactive polymers include acrylic resins, styrene resins, polyurethanes, cellulose resins, polyvinyl butyral, polyesters, thermoplastic elastomers, and the like.
Examples of the active energy ray sol-gel reactive composition include alkoxysilane compounds and alkyl silicate compounds.
As an alkoxysilane compound, the compound of following formula (1) is mentioned.
R 11 x Si (OR 12 ) y (1).
However, R 11, R 12 each represent an alkyl group having 1 to 10 carbon atoms, x, y represents an integer satisfying the relation of x + y = 4.

アルコキシシラン化合物としては、テトラメトキシシラン、テトラ−i−プロポキシシラン、テトラ−n−プロポキシシラン、テトラ−n−ブトキシシラン、テトラ−sec−ブトキシシラン、テトラ−t−ブトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリプロポキシシラン、メチルトリブトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、ジメチルジエトキシシラン、トリメチルエトキシシラン、トリメチルメトキシシラン、トリメチルプロポキシシラン、トリメチルブトキシシラン等が挙げられる。
アルキルシリケート化合物としては、下記式(2)の化合物が挙げられる。
21O[Si(OR23)(OR24)O]22 ・・・(2)。
ただし、R21〜R24は、それぞれ炭素数1〜5のアルキル基を表し、zは、3〜20の整数を表す。アルキルシリケート化合物としては、メチルシリケート、エチルシリケート、イソプロピルシリケート、n−プロピルシリケート、n−ブチルシリケート、n−ペンチルシリケート、アセチルシリケート等が挙げられる。
Examples of the alkoxysilane compound include tetramethoxysilane, tetra-i-propoxysilane, tetra-n-propoxysilane, tetra-n-butoxysilane, tetra-sec-butoxysilane, tetra-t-butoxysilane, methyltriethoxysilane, Examples include methyltripropoxysilane, methyltributoxysilane, dimethyldimethoxysilane, dimethyldiethoxysilane, trimethylethoxysilane, trimethylmethoxysilane, trimethylpropoxysilane, and trimethylbutoxysilane.
Examples of the alkyl silicate compound include a compound of the following formula (2).
R 21 O [Si (OR 23 ) (OR 24 ) O] z R 22 (2).
However, R 21 to R 24 each represent an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms, z is an integer of 3 to 20. Examples of the alkyl silicate compound include methyl silicate, ethyl silicate, isopropyl silicate, n-propyl silicate, n-butyl silicate, n-pentyl silicate, acetyl silicate and the like.

光硬化反応を利用する場合、光重合開始剤としては、例えば、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル、ベンジル、ベンゾフェノン、p−メトキシベンゾフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、α,α−ジメトキシ−α−フェニルアセトフェノン、メチルフェニルグリオキシレート、エチルフェニルグリオキシレート、4,4'−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン等のカルボニル化合物;テトラメチルチウラムモノスルフィド、テトラメチルチウラムジスルフィド等の硫黄化合物;2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスフィンオキサイド、ベンゾイルジエトキシフォスフィンオキサイド等が挙げられる。これらは、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。   When using a photocuring reaction, examples of the photopolymerization initiator include benzoin, benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, benzyl, benzophenone, p-methoxybenzophenone, 2,2-diethoxy. Acetophenone, α, α-dimethoxy-α-phenylacetophenone, methylphenylglyoxylate, ethylphenylglyoxylate, 4,4′-bis (dimethylamino) benzophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropane- Carbonyl compounds such as 1-one; sulfur compounds such as tetramethylthiuram monosulfide and tetramethylthiuram disulfide; 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, benzoyl Examples include diethoxyphosphine oxide. These may be used alone or in combination of two or more.

電子線硬化反応を利用する場合、重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、4,4−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、2,4,6−トリメチルベンゾフェノン、メチルオルソベンゾイルベンゾエート、4−フェニルベンゾフェノン、t−ブチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、2,4−ジエチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン等のチオキサントン;ジエトキシアセトフェノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、ベンジルジメチルケタール、1−ヒドロキシシクロヘキシル−フェニルケトン、2−メチル−2−モルホリノ(4−チオメチルフェニル)プロパン−1−オン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルホリノフェニル)−ブタノン等のアセトフェノン;ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエーテル;2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニルホスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチルペンチルホスフィンオキサイド、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルホスフィンオキサイド等のアシルホスフィンオキサイド;メチルベンゾイルホルメート、1,7−ビスアクリジニルヘプタン、9−フェニルアクリジン等が挙げられる。これらは、1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。   When using an electron beam curing reaction, examples of the polymerization initiator include benzophenone, 4,4-bis (diethylamino) benzophenone, 2,4,6-trimethylbenzophenone, methyl orthobenzoylbenzoate, 4-phenylbenzophenone, t- Thioxanthone such as butylanthraquinone, 2-ethylanthraquinone, 2,4-diethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone; diethoxyacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenylpropan-1-one, benzyl Dimethyl ketal, 1-hydroxycyclohexyl-phenyl ketone, 2-methyl-2-morpholino (4-thiomethylphenyl) propan-1-one, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholy Phenyl) -butanone and other acetophenones; benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether and other benzoin ethers; 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, bis (2,6-dimethoxybenzoyl)- Acylphosphine oxides such as 2,4,4-trimethylpentylphosphine oxide and bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide; methylbenzoylformate, 1,7-bisacridinylheptane, 9-phenyl Examples include acridine. These may be used alone or in combination of two or more.

熱硬化反応を利用する場合、熱重合開始剤としては、例えば、メチルエチルケトンパーオキサイド、ベンゾイルパーオキサイド、ジクミルパーオキサイド、t−ブチルハイドロパーオキサイド、クメンハイドロパーオキサイド、t−ブチルパーオキシオクトエート、t−ブチルパーオキシベンゾエート、ラウロイルパーオキサイド等の有機過酸化物;アゾビスイソブチロニトリル等のアゾ系化合物;前記有機過酸化物にN,N−ジメチルアニリン、N,N−ジメチル−p−トルイジン等のアミンを組み合わせたレドックス重合開始剤等が挙げられる。
活性エネルギー線硬化性樹脂組成物は、必要に応じて、帯電防止剤、離型剤、防汚性を向上させるためのフッ素化合物等の添加剤;微粒子、少量の溶剤を含んでいてもよい。
When utilizing a thermosetting reaction, examples of the thermal polymerization initiator include methyl ethyl ketone peroxide, benzoyl peroxide, dicumyl peroxide, t-butyl hydroperoxide, cumene hydroperoxide, t-butyl peroxy octoate, organic peroxides such as t-butylperoxybenzoate and lauroyl peroxide; azo compounds such as azobisisobutyronitrile; N, N-dimethylaniline, N, N-dimethyl-p- Examples thereof include a redox polymerization initiator combined with an amine such as toluidine.
The active energy ray-curable resin composition may contain an antistatic agent, a release agent, an additive such as a fluorine compound for improving the antifouling property, fine particles, and a small amount of a solvent, if necessary.

[微細凹凸フィルムを備える物品]
本発明の微細凹凸フィルムを備える物品は、例えば、タッチパネル、液晶表示装置、プラズマディスプレイパネル、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、陰極管表示装置のような画像表示装置、レンズ、ショーウィンドー、眼鏡レンズ、1/2波長板、ローパスフィルター等の対象物の表面に貼り付けて使用される。
物品が立体形状である場合には、予め用途に応じた形状の透明な物品を製造しておき、これを上記対象物の表面を構成する部材として使用することもできる。
また、対象物が画像表示装置である場合には、その表面に限らず、その前面板に対して微細凹凸フィルムを貼り付けてもよいし、前面板そのものを微細凹凸フィルムから構成することもできる。
微細凹凸フィルムの他の用途としては、光学用途(光導波路、レリーフホログラム、レンズ、偏光分離素子、水晶デバイス等)、細胞培養シート、超撥水性フィルム、超親水性フィルム等が挙げられる。超撥水性フィルムは、自動車や鉄道車両等の窓に貼り付けて使用したり、ヘッドランプ、照明等の着雪防止や着氷防止として使用できる。
[Articles with fine uneven film]
The article provided with the fine uneven film of the present invention includes, for example, an image display device such as a touch panel, a liquid crystal display device, a plasma display panel, an electroluminescence display, and a cathode tube display device, a lens, a show window, a spectacle lens, 1/2 Affixed to the surface of an object such as a wave plate or a low-pass filter.
When the article has a three-dimensional shape, a transparent article having a shape corresponding to the application can be manufactured in advance and used as a member constituting the surface of the object.
When the object is an image display device, not only the surface thereof, but also a fine uneven film may be attached to the front plate, or the front plate itself can be composed of a fine uneven film. .
Other uses of the fine concavo-convex film include optical uses (optical waveguides, relief holograms, lenses, polarized light separation elements, crystal devices, etc.), cell culture sheets, super water-repellent films, super hydrophilic films, and the like. The super water-repellent film can be used by being attached to windows of automobiles, railway vehicles, etc., and can be used for preventing snow accretion and icing for headlamps, lighting and the like.

以下、本発明を実施例により具体的に説明するが、本発明はこれらに限定されるものではない。
<各種測定および評価方法>
(スタンパの細孔、平滑面の寸法)
スタンパの縦断面または表面に白金を1分間蒸着し、走査電子顕微鏡(日本電子社製、「JSM‐7400F」)を用いて加速電圧:3.00kVの条件でスタンパの表面を観察した。得られた画像から、陽極酸化アルミナからなる微細凹凸構造の細孔(凹部)の周期、および細孔の深さ、平滑面の寸法を10箇所で測定し、平均値を求めた。
(微細凹凸フィルムの凸部、平滑面の寸法)
転写面が形成された微細凹凸フィルムの縦断面または表面に白金を5分間蒸着し、走査電子顕微鏡(日本電子社製、「JSM‐7400F」)を用いて加速電圧:3.00kVの条件で微細凹凸フィルムの転写面を観察した。得られた画像から、転写面に形成されたスタンパの微細凹凸構造に由来する凸部の周期、および凸部の高さ、平滑な部分の寸法を10箇所で測定し、平均値を求めた。
Hereinafter, the present invention will be specifically described by way of examples, but the present invention is not limited thereto.
<Various measurements and evaluation methods>
(Stamper pores, smooth surface dimensions)
Platinum was deposited on the longitudinal section or surface of the stamper for 1 minute, and the surface of the stamper was observed using a scanning electron microscope (“JSM-7400F” manufactured by JEOL Ltd.) under an acceleration voltage of 3.00 kV. From the obtained image, the period of the fine pores (concave portions) of the fine concavo-convex structure made of anodized alumina, the depth of the pores, and the dimension of the smooth surface were measured at 10 locations, and the average value was obtained.
(Convex part of fine uneven film, dimensions of smooth surface)
Platinum is vapor-deposited for 5 minutes on the longitudinal section or surface of the fine uneven film on which the transfer surface is formed, and is fine under the condition of acceleration voltage: 3.00 kV using a scanning electron microscope (“JSM-7400F” manufactured by JEOL Ltd.). The transfer surface of the uneven film was observed. From the obtained image, the period of the convex part derived from the fine concavo-convex structure of the stamper formed on the transfer surface, the height of the convex part, and the dimension of the smooth part were measured at ten points, and the average value was obtained.

(反射防止性(反射率)の評価)
微細凹凸フィルムの裏面(スタンパの表面構造が転写されていない面)にアクリル粘着材をつけて黒色アクリル板に貼合せたものをサンプルとし、分光光度計(日立社製、「U‐4100」)を用いて入射角5°、波長380nm〜780nmの範囲で微細凹凸フィルムの表面(スタンパの表面構造が転写された転写面)の相対反射率を測定した。
(Evaluation of antireflection (reflectance))
A spectrophotometer ("U-4100", manufactured by Hitachi, Ltd.) was prepared by attaching an acrylic adhesive to the back of the fine uneven film (the surface on which the stamper's surface structure was not transferred) and attaching it to a black acrylic plate. Was used to measure the relative reflectance of the surface of the fine concavo-convex film (transfer surface onto which the surface structure of the stamper was transferred) at an incident angle of 5 ° and a wavelength of 380 nm to 780 nm.

(耐傷つき性の評価)
微細凹凸フィルムの表面をガーゼで10回強く擦り、ガーゼと微細凹凸フィルムの表面とを強く接触させた。試験前と試験後のサンプルを暗室にて光を照らして正面から確認することで見比べ、傷つきによる外観に変化があるか確認した。変化が見られない場合○、変化が見られる場合を×と評価した。
(Evaluation of scratch resistance)
The surface of the fine concavo-convex film was strongly rubbed 10 times with gauze to bring the gauze and the surface of the fine concavo-convex film into strong contact. The samples before and after the test were compared with each other by shining light in a dark room and confirmed from the front, and it was confirmed whether there was a change in appearance due to scratches. A case where no change was observed was evaluated as ◯, and a case where a change was observed was evaluated as x.

(品位の評価)
微細凹凸フィルムを暗室にて光を照らして正面から確認することで目視で確認して、平滑な部分が目視で確認され品位に悪影響がないか確認した。平滑な部分が確認できず品位に問題がない場合○、平滑な部分が確認でき品位に問題がある場合を×と評価した。
(Evaluation of quality)
The fine concavo-convex film was visually confirmed by illuminating light in a dark room from the front, and the smooth portion was visually confirmed to confirm that there was no adverse effect on the quality. The case where the smooth part could not be confirmed and there was no problem in the quality was evaluated as ○, and the case where the smooth part could be confirmed and there was a problem in the quality was evaluated as ×.

[実施例1]
<スタンパの製造>
純度99.3質量%のアルミニウム基材にインクジェット装置を用いて、基材の全体の面積に対して15%の割合でインクを均一に分散させ、ひとつあたりの面積が0.0025mm2である領域がマスキングされるよう処理した。
ついで、マスキング処理したアルミニウム基材を、0.3Mシュウ酸水溶液中で、浴温:16℃、直流:40Vの条件下で30分間陽極酸化を行い、酸化皮膜を形成した(工程(a))。形成された酸化皮膜を、6質量%のリン酸と1.8質量%のクロム酸混合水溶液中で一旦溶解除去した(工程(b))後、再び工程(a)と同一条件下において、30秒間陽極酸化を行い、酸化皮膜を形成した(工程(c))。その後、5質量%リン酸水溶液(30℃)中に8分間浸漬して、酸化皮膜の細孔を拡径する細孔径拡大処理(工程(d))を施した。さらに工程(c)と工程(d)を繰り返し、これらを合計で5回行い(工程(e))、アルミニウム基材上に陽極酸化アルミナを形成した。次いで、アセトンによりマスキング処理のインクを除去し、オプツールDSX(ダイキン工業社製)の0.1質量%希釈溶液に10分間浸漬し、24時間風乾して、陽極酸化アルミナの表面を離型剤で処理してスタンパを得た。
なお、得られたスタンパの表面を走査電子顕微鏡で観察したところ、図3に示すように、周期p:100nm、深さDep:210nmの円錐状のテーパー状細孔(凹部)からなる微細凹凸構造16が表面に形成されていた。また、ひとつあたりの面積が0.0025mm2の大きさの微細凹凸の無い平滑な部分17が、スタンパ表面全体の面積に対して20%の割合で形成されていた。
[Example 1]
<Manufacture of stampers>
A region in which an ink is uniformly dispersed at a rate of 15% with respect to the entire area of the base material using an inkjet apparatus on an aluminum base material having a purity of 99.3% by mass, and the area per one is 0.0025 mm 2 Was processed to be masked.
Next, the masked aluminum substrate was anodized in a 0.3 M oxalic acid aqueous solution under conditions of bath temperature: 16 ° C. and direct current: 40 V to form an oxide film (step (a)). . The formed oxide film was once dissolved and removed in a 6% by mass phosphoric acid and 1.8% by mass chromic acid mixed aqueous solution (step (b)), and then again under the same conditions as in step (a). Anodized for 2 seconds to form an oxide film (step (c)). Thereafter, the substrate was immersed in a 5% by mass phosphoric acid aqueous solution (30 ° C.) for 8 minutes, and subjected to a pore diameter expansion treatment (step (d)) for expanding the pores of the oxide film. Further, the step (c) and the step (d) were repeated, and these were performed a total of 5 times (step (e)) to form anodized alumina on the aluminum base material. Next, the masking ink is removed with acetone, immersed in a 0.1% by weight diluted solution of OPTOOL DSX (manufactured by Daikin Industries) for 10 minutes, air-dried for 24 hours, and the surface of the anodized alumina is removed with a release agent. The stamper was obtained by processing.
In addition, when the surface of the obtained stamper was observed with a scanning electron microscope, as shown in FIG. 3, fine irregularities composed of conical tapered pores (concave portions) having a period p: 100 nm and a depth D ep : 210 nm. Structure 16 was formed on the surface. Further, the smooth portion 17 having a fine area of 0.0025 mm 2 per area and having no fine irregularities was formed at a rate of 20% with respect to the entire area of the stamper surface.

<活性エネルギー線硬化性樹脂組成物の調製>
コハク酸/トリメチロールエタン/アクリル酸のモル比1:2:4の縮合反応混合物の45質量部、
6−ヘキサンジオールジアクリレート(大阪有機化学工業社製)の45質量部、
ラジカル重合性シリコーンオイル(信越化学工業社製、「X−22−1602」)の10質量部、
1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトン(BASF社製、「イルガキュア184」)の3質量部、
ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド(BASF社製、「イルガキュア819」)の0.2質量部、
を混合し、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を得た。
<Preparation of active energy ray-curable resin composition>
45 parts by weight of a condensation reaction mixture of succinic acid / trimethylolethane / acrylic acid molar ratio 1: 2: 4,
45 parts by mass of 6-hexanediol diacrylate (manufactured by Osaka Organic Chemical Industry),
10 parts by mass of radical polymerizable silicone oil (manufactured by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd., “X-22-1602”),
3 parts by mass of 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone (manufactured by BASF, “Irgacure 184”),
0.2 parts by mass of bis (2,4,6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide (manufactured by BASF, “Irgacure 819”),
Were mixed to obtain an active energy ray-curable resin composition.

<微細凹凸フィルムの製造>
活性エネルギー線硬化性樹脂組成物をスタンパの表面上に数滴垂らし、さらにその上に成形体本体(光透過性基材)として厚さ188μmのポリエチレンテレフタレートフィルム(東洋紡社製、「A−4300」)を押し広げながら被覆した後、フィルム側から積算光量1600mJ/cmのエネルギーで紫外線を照射して活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を光硬化させた。その後、フィルムとスタンパを剥離して、微細凹凸フィルムを得た。
得られた微細凹凸フィルムの表面(転写面)は、スタンパの表面構造が転写されていた。なお、転写面には、図1に示すような、周期P’:100nm、高さH:190nmの凸部が形成されていた。また、微細凹凸のない平滑な部分が、前記微細凹凸構造を有する部分の谷底と同等高さの位置に、微細凹凸フィルムの表面(転写面)全体の面積に対して15%の割合で、且つひとつあたりの面積が0.0025mmの大きさで形成されていた。
得られた微細凹凸フィルムについて、反射防止性、耐傷つき性、および品位の評価を行った。結果を表1に示す。
<Manufacture of fine uneven film>
A few drops of the active energy ray-curable resin composition is dropped on the surface of the stamper, and a polyethylene terephthalate film (A-4300, manufactured by Toyobo Co., Ltd.) having a thickness of 188 μm is formed thereon as a molded body (light-transmitting substrate). ) Was spread while being spread, and then the active energy ray-curable resin composition was photocured by irradiating ultraviolet rays with an energy of 1600 mJ / cm 2 from the film side. Thereafter, the film and the stamper were peeled off to obtain a fine uneven film.
On the surface (transfer surface) of the obtained fine uneven film, the surface structure of the stamper was transferred. Note that convex portions having a period P ′: 100 nm and a height H: 190 nm as shown in FIG. 1 were formed on the transfer surface. Further, the smooth portion without fine unevenness is at a ratio of 15% with respect to the entire area of the surface (transfer surface) of the fine uneven film at a position equivalent to the valley bottom of the portion having the fine uneven structure, and The area per one was formed with a size of 0.0025 mm 2 .
The obtained fine uneven film was evaluated for antireflection properties, scratch resistance, and quality. The results are shown in Table 1.

[実施例2]
マスキングした面積をスタンパ全体の面積に対して40%とした以外は、実施例1と同様にしてスタンパを製造した。得られたスタンパを用いて実施例1と同様にして微細凹凸フィルムを製造し、評価した。結果を表1に示す。
[実施例3]
マスキングひとつあたりの面積を0.081mmとした以外は、実施例1と同様にしてスタンパを製造した。得られたスタンパを用いて実施例1と同様にして微細凹凸フィルムを製造し、評価した。結果を表1に示す。
[比較例1]
マスキングした面積をスタンパ全体の面積に対して5%とした以外は、実施例1と同様にしてスタンパを製造した。得られたスタンパを用いて実施例1と同様にして微細凹凸フィルムを製造し、評価した。結果を表1に示す。
[比較例2]
マスキングした面積をスタンパ全体の面積に対して60%とした以外は、実施例1と同様にしてスタンパを製造した。得られたスタンパを用いて実施例1と同様にして微細凹凸フィルムを製造し、評価した。結果を表1に示す。
[比較例3]
マスキングひとつあたりの面積を0.03mmとした以外は、実施例1と同様にしてスタンパを製造した。得られたスタンパを用いて実施例1と同様にして微細凹凸フィルムを製造し、評価した。結果を表1に示す。
[比較例4]
マスキングを実施せずに加工した以外は、実施例1と同様にしてスタンパを製造した。得られたスタンパを用いて実施例1と同様にして微細凹凸フィルムを製造し、評価した。結果を表1に示す。
[Example 2]
A stamper was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the masked area was 40% of the entire stamper area. Using the obtained stamper, a fine uneven film was produced and evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.
[Example 3]
A stamper was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the area per masking was set to 0.081 mm 2 . Using the obtained stamper, a fine uneven film was produced and evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.
[Comparative Example 1]
A stamper was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the masked area was set to 5% of the entire stamper area. Using the obtained stamper, a fine uneven film was produced and evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.
[Comparative Example 2]
A stamper was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the masked area was 60% of the entire stamper area. Using the obtained stamper, a fine uneven film was produced and evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.
[Comparative Example 3]
A stamper was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the area per masking was set to 0.03 mm 2 . Using the obtained stamper, a fine uneven film was produced and evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.
[Comparative Example 4]
A stamper was manufactured in the same manner as in Example 1 except that processing was performed without performing masking. Using the obtained stamper, a fine uneven film was produced and evaluated in the same manner as in Example 1. The results are shown in Table 1.

表1から明らかなように、実施例1〜3で得られた微細凹凸フィルムは、反射防止性、耐傷つき性および品位に優れていた。
一方、比較例1で得られた微細凹凸フィルムは平滑な部分の面積が5%と少なかったため耐傷つき性能に劣っていた。
比較例2で得られた微細凹凸フィルムは平滑な部分の面積が60%と多かったため反射防止性能に劣り、平滑な部分が目視で確認でき品位に問題があった。
比較例3で得られた微細凹凸フィルムは平滑な部分ひとつあたりの面積が0.03mmと大きかったため、平滑面が目視で確認でき品位に問題があった。
比較例4で得られた微細凹凸フィルムは陽極酸化の前にマスキング処理を行わなかったため平滑な部分が無く、反射防止性能は良好なものの耐傷つき性能に劣っていた。
As is clear from Table 1, the fine uneven films obtained in Examples 1 to 3 were excellent in antireflection properties, scratch resistance and quality.
On the other hand, the fine concavo-convex film obtained in Comparative Example 1 had inferior scratch resistance because the area of the smooth portion was as small as 5%.
The fine concavo-convex film obtained in Comparative Example 2 was inferior in antireflection performance because the area of the smooth part was as large as 60%, and the smooth part could be visually confirmed, and there was a problem in quality.
Since the fine concavo-convex film obtained in Comparative Example 3 had a large area per smooth part of 0.03 mm 2 , the smooth surface could be visually confirmed and there was a problem in quality.
The fine concavo-convex film obtained in Comparative Example 4 was not masked before anodic oxidation, so there was no smooth portion, and although the antireflection performance was good, the scratch resistance performance was poor.

1 微細凹凸構造を有する部分
2 平滑な部分
10 アルミニウム基材
11、14 細孔(凹部)
12、15 酸化皮膜
13 細孔発生点
16 微細凹凸構造を有する部分(スタンパ)
17 平滑な部分(スタンパ)
20、30 スタンパ
32 光透過性基材(成形体本体)
38 硬化物
40 微細凹凸フィルム
41 凸部
42 凹部

DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Part which has fine concavo-convex structure 2 Smooth part 10 Aluminum base material 11, 14 Pore (concave part)
12, 15 Oxide film 13 Pore generation point 16 Part having fine uneven structure (stamper)
17 Smooth part (stamper)
20, 30 Stamper 32 Light transmissive substrate (molded body)
38 Cured product 40 Fine uneven film 41 Convex part 42 Concave part

Claims (6)

表面に微細凹凸構造を有する部分と、複数の平滑な部分とを有し、全表面積に対する平滑な部分の面積の割合が10%より大きく50%以下である微細凹凸フィルム。   A fine concavo-convex film having a portion having a fine concavo-convex structure on the surface and a plurality of smooth portions, wherein the ratio of the area of the smooth portion to the total surface area is greater than 10% and 50% or less. 前記の平滑な部分の高さが、前記微細凹凸構造を有する部分の谷底部と同等高さの位置であることを特徴とする請求項1に記載の微細凹凸フィルム。   2. The fine uneven film according to claim 1, wherein the height of the smooth portion is at a height equivalent to a valley bottom of the portion having the fine uneven structure. 前記平滑な部分のひとつあたりの面積が0.01mm以下であることを特徴とする請求項1から2に記載の微細凹凸フィルム。 The fine uneven film according to claim 1, wherein an area per one of the smooth portions is 0.01 mm 2 or less. 前記微細凹凸構造は、平均高さが80〜500nmであり、周期が20〜400nmである複数の凸部からなる、請求項1から3に記載の微細凹凸フィルム。   The fine concavo-convex film according to claim 1, wherein the fine concavo-convex structure includes a plurality of convex portions having an average height of 80 to 500 nm and a period of 20 to 400 nm. 請求項1から4に記載の微細凹凸フィルムを備えた物品。   An article comprising the fine uneven film according to claim 1. 表面に微細凹凸構造を有する部分と複数の平滑な部分とを有し、全表面積に対する平滑な部分の面積の割合が10%より大きく50%以下であるスタンパと、光透過性基材とを対向させ、これらの間に活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を充填し、ついで、充填された活性エネルギー線硬化性樹脂組成物に、光透過性基材を介して活性エネルギー線を照射して、活性エネルギー線硬化性樹脂組成物を硬化の後、スタンパを剥離する、請求項1から4に記載の微細凹凸フィルムの製造方法。   A stamper having a portion having a fine concavo-convex structure on the surface and a plurality of smooth portions, the ratio of the area of the smooth portion to the total surface area being greater than 10% and 50% or less is opposed to the light-transmitting substrate. The active energy ray-curable resin composition is filled between them, and then the active energy ray-curable resin composition filled is irradiated with active energy rays via a light-transmitting substrate to activate the active energy ray-curable resin composition. The manufacturing method of the fine uneven | corrugated film of Claim 1 to 4 which peels a stamper after hardening | curing an energy-beam curable resin composition.
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