JP2015050409A - Ceramic powder for laminated ceramic capacitor and method of manufacturing laminated ceramic capacitor using the same - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing a laminated ceramic capacitor, capable of improving reliability of a laminated ceramic capacitor, and to provide a ceramic powder for a laminated ceramic capacitor.SOLUTION: The method of manufacturing a laminated ceramic capacitor according to the present invention manufactures a laminated ceramic capacitor which includes: a ceramic element assembly formed by alternately laminating a plurality of dielectric ceramic layers and a plurality of internal electrodes; and external electrodes formed on an outer surface of the ceramic element assembly and electrically connected to the internal electrodes. The dielectric ceramic layers of the laminated ceramic capacitor are produced using the ceramic powder which has a crushing strength of 1854 kPa or less and contains a perovskite type compound containing Ba and Ti.

Description

この発明は、たとえば、積層セラミックコンデンサ用セラミック粉末およびそれを用いた積層セラミックコンデンサの製造方法に関する。   The present invention relates to a ceramic powder for a multilayer ceramic capacitor and a method for producing a multilayer ceramic capacitor using the same, for example.

近年、携帯電話機や携帯音楽プレイヤーなどの電子機器において、小型化及び薄型化が進んできている。それに伴って、たとえば、電子機器に内蔵される積層セラミック電子部品の小型化が求められている。   In recent years, electronic devices such as mobile phones and portable music players have been reduced in size and thickness. Accordingly, for example, miniaturization of a multilayer ceramic electronic component built in an electronic device is required.

そのような、積層セラミック電子部品の一つである積層セラミックコンデンサは、一般的に、直方体状のセラミック素体と外部電極とで構成される。セラミック素体は、誘電体セラミック層と、誘電体セラミック層間で互いに対向するように配置され、セラミック素体の両端部に引き出される内部電極とを有している。外部電極は、セラミック素体の両端部において、引き出された内部電極に接続されている。   A multilayer ceramic capacitor which is one of such multilayer ceramic electronic components is generally composed of a rectangular parallelepiped ceramic body and external electrodes. The ceramic body includes a dielectric ceramic layer and internal electrodes that are arranged so as to face each other between the dielectric ceramic layers and are drawn to both ends of the ceramic body. The external electrodes are connected to the drawn internal electrodes at both ends of the ceramic body.

このような背景にあって、たとえば、積層セラミックコンデンサを小型化、大容量化するためには、誘電体セラミック層を薄層化したり、積層数を増やしたりする必要が生じている。積層セラミックコンデンサを構成する誘電体セラミック層を薄層化し、積層数を増加させれば、小型化や大容量化が可能になる。また、このような電子機器を使用する環境は多様化しており、たとえば、絶縁性や高温負荷時の耐久性に優れた信頼性の高い積層セラミックコンデンサが望まれている。   Against this background, for example, in order to reduce the size and increase the capacity of a multilayer ceramic capacitor, it is necessary to make the dielectric ceramic layer thinner or increase the number of layers. If the dielectric ceramic layer constituting the multilayer ceramic capacitor is thinned and the number of laminated layers is increased, the size and capacity can be reduced. In addition, environments where such electronic devices are used are diversified. For example, a highly reliable multilayer ceramic capacitor excellent in insulation and durability at high temperature load is desired.

そこで、特許文献1おいては、信頼性の高い、たとえば積層セラミックコンデンサを得るために、誘電体セラミック層と内部電極層とが交互に積層された積層セラミックコンデンサにおいて、内部電極層に共材として添加されるセラミック粉末であって、ペロブスカイト型結晶構造を有し、テトラゴナル相の含有量Wtとキュービック相の含有量Wcの重量比率Wt/WcをXとしたときに、X<2であることを特徴とするセラミック粉末が提案されている。このとき、このセラミック粉末の比表面積を10m2/g以上とすることで、信頼性を向上させた積層セラミックコンデンサが提案されている。 Therefore, in Patent Document 1, in order to obtain a highly reliable, for example, multilayer ceramic capacitor, a multilayer ceramic capacitor in which dielectric ceramic layers and internal electrode layers are alternately stacked is used as a common material for the internal electrode layer. The ceramic powder to be added has a perovskite crystal structure, and X <2 when the weight ratio Wt / Wc of the tetragonal phase content Wt and the cubic phase content Wc is X. Characteristic ceramic powders have been proposed. At this time, there has been proposed a multilayer ceramic capacitor with improved reliability by setting the specific surface area of the ceramic powder to 10 m 2 / g or more.

特開2007−242525号公報JP 2007-242525 A

しかしながら、特許文献1に記載の積層セラミックコンデンサの作製に用いられるセラミック粉末では、積層セラミックコンデンサに生ずるクラックやデラミネーション等の構造欠陥に対する影響について、そのセラミック粉末の凝結度合に関しては検討されていない。また、積層セラミックコンデンサの信頼性の向上について、上述のクラックやデラミネーション等の構造欠陥について評価されているものの、信頼性に対する定量的な評価がされていない。   However, in the ceramic powder used for the production of the multilayer ceramic capacitor described in Patent Document 1, the degree of condensation of the ceramic powder has not been studied with respect to the effects on structural defects such as cracks and delamination that occur in the multilayer ceramic capacitor. In addition, the reliability of the multilayer ceramic capacitor has been evaluated for structural defects such as the above-described cracks and delamination, but the reliability has not been quantitatively evaluated.

それゆえに、この発明の主たる目的は、積層セラミックコンデンサの信頼性を向上しうる積層セラミックコンデンサ用セラミック粉末およびそれを用いた積層セラミックコンデンサの製造方法を提供することである。   Therefore, a main object of the present invention is to provide a ceramic powder for a multilayer ceramic capacitor capable of improving the reliability of the multilayer ceramic capacitor and a method for producing a multilayer ceramic capacitor using the same.

この発明にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法は、複数の誘電体セラミック層と複数の内部電極とが交互に積層されてなるセラミック素体と、セラミック素体の外表面に形成され、内部電極と電気的に接続されている外部電極と、を備える積層セラミックコンデンサの製造方法であって、誘電体セラミック層は、圧壊強度が1854kPa以下である、BaとTiとを含むペロブスカイト型化合物を含有するセラミック粉末を用いて作製されることを特徴とする、積層セラミックコンデンサの製造方法である。
また、この発明にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法は、セラミック粉末と添加物とを用いて作製したセラミックグリーンシートを熱処理した際に得られる粉末の比表面積の値と、セラミック粉末と添加物とを混合したのみの粉末の比表面積の値との差が、3m2/g以下であることが好ましい。
この発明にかかる積層セラミックコンデンサ用セラミック粉末は、複数の誘電体セラミック層と複数の内部電極とが交互に積層されてなるセラミック素体と、セラミック素体の外表面に形成され、内部電極と電気的に接続されている外部電極と、を備える積層セラミックコンデンサの誘電体セラミック層を作製するために用いられる積層セラミックコンデンサ用セラミック粉末であって、圧壊強度が1854kPa以下である、BaとTiとを含むペロブスカイト型化合物を含有することを特徴とする、積層セラミックコンデンサ用セラミック粉末である。
A method of manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to the present invention includes a ceramic body in which a plurality of dielectric ceramic layers and a plurality of internal electrodes are alternately stacked, and formed on the outer surface of the ceramic body. And a ceramic powder containing a perovskite type compound containing Ba and Ti, wherein the dielectric ceramic layer has a crushing strength of 1854 kPa or less. It is produced using this, It is a manufacturing method of a multilayer ceramic capacitor characterized by the above-mentioned.
In addition, the method for producing a multilayer ceramic capacitor according to the present invention includes a value of a specific surface area of a powder obtained when heat treating a ceramic green sheet produced using the ceramic powder and an additive, and the ceramic powder and the additive. The difference from the value of the specific surface area of the powder that has only been mixed is preferably 3 m 2 / g or less.
The ceramic powder for a multilayer ceramic capacitor according to the present invention is formed on a ceramic body in which a plurality of dielectric ceramic layers and a plurality of internal electrodes are alternately laminated, and on the outer surface of the ceramic body. Ba and Ti, a ceramic powder for a multilayer ceramic capacitor used for producing a dielectric ceramic layer of a multilayer ceramic capacitor comprising externally connected external electrodes, wherein the crushing strength is 1854 kPa or less. A ceramic powder for multilayer ceramic capacitors, comprising a perovskite type compound.

この発明にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法によれば、積層セラミックコンデンサの誘電体セラミック層を作製するために用いられるセラミック粉末について、圧壊強度が1854kPa以下である、BaとTiとを含むペロブスカイト型化合物を含有するので、このセラミック粉末により作製された誘電体セラミック層を備える積層セラミックコンデンサの平均故障時間(MTTF)が30時間以上の高い信頼性を備えた積層セラミックコンデンサを得ることができる。
また、この発明にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法は、セラミック粉末と添加物とを用いて作製したセラミックグリーンシートを熱処理した際に得られる粉末の比表面積の値と、セラミック粉末と添加物とを混合したのみの粉末の比表面積の値との差が、3m2/g以下であると、この製造方法により得られる積層セラミックコンデンサの平均故障時間(MTTF)が50時間以上のより高い信頼性を備えた積層セラミックコンデンサを得ることができる。
According to the method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to the present invention, the ceramic powder used for producing the dielectric ceramic layer of the multilayer ceramic capacitor has a crush strength of 1854 kPa or less, and a perovskite type compound containing Ba and Ti. Therefore, it is possible to obtain a multilayer ceramic capacitor having a high reliability with an average failure time (MTTF) of 30 hours or more of the multilayer ceramic capacitor including the dielectric ceramic layer made of the ceramic powder.
In addition, the method for producing a multilayer ceramic capacitor according to the present invention includes a value of a specific surface area of a powder obtained when heat treating a ceramic green sheet produced using the ceramic powder and an additive, and the ceramic powder and the additive. If the difference between the specific surface area of the powder just mixed is 3 m 2 / g or less, the average failure time (MTTF) of the multilayer ceramic capacitor obtained by this manufacturing method is higher than 50 hours. The provided multilayer ceramic capacitor can be obtained.

この発明によれば、積層セラミックコンデンサの信頼性を向上しうる積層セラミックコンデンサの製造方法を提供する。
この発明によれば、積層セラミックコンデンサの信頼性を向上しうる積層セラミックコンデンサ用セラミック粉末を提供する。
According to the present invention, a method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor capable of improving the reliability of the multilayer ceramic capacitor is provided.
According to the present invention, a ceramic powder for a multilayer ceramic capacitor capable of improving the reliability of the multilayer ceramic capacitor is provided.

この発明の上述の目的、その他の目的、特徴および利点は、以下の発明を実施するための形態の説明から一層明らかとなろう。   The above-described object, other objects, features, and advantages of the present invention will become more apparent from the following description of embodiments for carrying out the invention.

この発明にかかる積層セラミックコンデンサの一例を示す断面図解図である。1 is a cross-sectional view showing an example of a multilayer ceramic capacitor according to the present invention.

(積層セラミックコンデンサ)
図1は、この発明にかかる積層セラミックコンデンサの一例を示す断面図解図である。図1に示す積層セラミックコンデンサ10は、直方体状のセラミック素体12を含む。セラミック素体12は、誘電体として、多数の誘電体セラミック層14、14、・・を含む。この誘電体セラミック層14、14、・・は、誘電体主成分粉末(セラミック粉末)が用いられる。この発明にかかる誘電体主成分粉末は、圧壊強度が1854kPa以下である、BaとTiとを含むペロブスカイト型化合物を含有する。
(Multilayer ceramic capacitor)
FIG. 1 is a cross-sectional view showing an example of a multilayer ceramic capacitor according to the present invention. A multilayer ceramic capacitor 10 shown in FIG. 1 includes a rectangular parallelepiped ceramic body 12. The ceramic body 12 includes a number of dielectric ceramic layers 14, 14,. The dielectric ceramic layers 14, 14,... Are made of dielectric main component powder (ceramic powder). The dielectric main component powder according to the present invention contains a perovskite type compound containing Ba and Ti having a crushing strength of 1854 kPa or less.

これらの誘電体セラミック層14、14、・・は積層され、誘電体セラミック層14、14、・・間には、たとえばNiからなる内部電極16aおよび16bが交互に形成される。この場合、内部電極16aは一端部がセラミック素体12の一端部に延びて形成され、内部電極16bは一端部がセラミック素体12の他端部に延びて形成される。また、内部電極16aおよび16bは、中間部および他端部が誘電体セラミック層14を介して重なり合うように形成される。したがって、このセラミック素体12は、内部に誘電体セラミック層14を介して複数の内部電極16aおよび16bが設けられた積層構造を有する。   These dielectric ceramic layers 14, 14,... Are laminated, and internal electrodes 16a and 16b made of, for example, Ni are alternately formed between the dielectric ceramic layers 14, 14,. In this case, the internal electrode 16 a is formed with one end extending to one end of the ceramic body 12, and the internal electrode 16 b is formed with one end extending to the other end of the ceramic body 12. The internal electrodes 16 a and 16 b are formed so that the intermediate portion and the other end portion overlap with each other with the dielectric ceramic layer 14 interposed therebetween. Therefore, the ceramic body 12 has a laminated structure in which a plurality of internal electrodes 16 a and 16 b are provided via the dielectric ceramic layer 14.

セラミック素体12の一端面には、たとえばCuからなる外部電極18aが内部電極16aに接続されるように形成される。同様に、セラミック素体12の他端面には、たとえばCuからなる外部電極18bが内部電極16bに接続されるように形成される。   On one end face of the ceramic body 12, an external electrode 18a made of, for example, Cu is formed so as to be connected to the internal electrode 16a. Similarly, an external electrode 18b made of, for example, Cu is formed on the other end surface of the ceramic body 12 so as to be connected to the internal electrode 16b.

(積層セラミックコンデンサの製造方法)
次に、本発明にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法について説明する。まず、誘電体セラミック層14に用いられる誘電体主成分粉末の製造方法について説明する。
(Manufacturing method of multilayer ceramic capacitor)
Next, the manufacturing method of the multilayer ceramic capacitor concerning this invention is demonstrated. First, the manufacturing method of the dielectric main component powder used for the dielectric ceramic layer 14 is demonstrated.

(誘電体主成分粉末の作製)
まず、誘電体主成分粉末(セラミック粉末)であるBaTiO3の出発原料として、高純度のBaCO3およびTiO2の各粉末が準備され、調合される。次に、この調合された粉末は、ボールミルで水を用いて湿式混合され、スラリーが作製される。その後、作製されたスラリーは、オーブンに入れられ、水が蒸発によりなくなるまで所定の温度で乾燥処理され、調整粉末が得られる。
(Preparation of dielectric main component powder)
First, high-purity BaCO 3 and TiO 2 powders are prepared and mixed as starting materials for BaTiO 3 which is a dielectric main component powder (ceramic powder). Next, the prepared powder is wet-mixed with water in a ball mill to produce a slurry. Thereafter, the prepared slurry is put in an oven and dried at a predetermined temperature until water is removed by evaporation, thereby obtaining an adjusted powder.

次いで、得られた調整粉末は、たとえば、所定の温度、たとえば、1050℃の温度で仮焼され、乾式粉砕されることで、平均粒子径が150nmである誘電体主成分粉末が得られる。なお、この仮焼後に得られる誘電体主成分粉末の凝結強さは、調整粉末を得る際のオーブンの温度を変化させることで、変化させることができる。   Next, the obtained adjustment powder is calcined at a predetermined temperature, for example, a temperature of 1050 ° C., and dry pulverized to obtain a dielectric main component powder having an average particle diameter of 150 nm. The cohesive strength of the dielectric main component powder obtained after the calcination can be changed by changing the temperature of the oven when obtaining the adjusted powder.

ここで、この誘電体主成分粉末の平均粒子径は、FE−SEM写真から算出される。また、この誘電体主成分粉末の凝結強さの評価は、圧壊強度を指標として用いる。本発明にかかる誘電体主成分粉末の圧壊強度は、1854kPa以下である。この圧壊強度は、微小粒子圧壊試験装置(NS−A100型((株)ナノシーズ社製))を用いて、誘電体主成分粉末の圧壊試験により得られる。また、この圧壊試験は、JISZ8841−1993に準拠する方法が用いられる。   Here, the average particle diameter of the dielectric main component powder is calculated from the FE-SEM photograph. The evaluation of the setting strength of the dielectric main component powder uses the crushing strength as an index. The crushing strength of the dielectric main component powder according to the present invention is 1854 kPa or less. This crushing strength is obtained by a crushing test of the dielectric main component powder using a microparticle crushing test apparatus (NS-A100 type (manufactured by Nano Seeds Co., Ltd.)). Moreover, this crushing test uses the method based on JISZ8841-1993.

(積層セラミックコンデンサの製造方法)
続いて、上述した製造方法により得られた誘電体主成分粉末と添加物であるSiO2、MgCO3、MnCO3およびDy2CO3の粉末とを均一となるように添加し、粉末(以下、粉体Aという)を得る。その得られた粉末(粉体A)に対し、さらにポリビニルブチラール系バインダ、可塑剤および有機溶剤としてのエタノールを加え、これらをボールミルにより所定の時間、湿式混合が行われ、セラミックスラリーが作製される。各添加物の添加量は、Ti100mol部に対して、たとえば、Siを2.0mol部、Mgを1.0mol部、Mnを0.25mol部、Dyを1.0mol部である。また、各粉末の比表面積は、たとえば、SiO2が100m2/g、MgCO3が50m2/g、MnCO3が50m2/g、Dy2CO3が30m2/gの粉末が用いられる。なお、この湿式混合を行う時間は、たとえば、5時間ないし15時間である。
(Manufacturing method of multilayer ceramic capacitor)
Subsequently, the dielectric main component powder obtained by the above-described manufacturing method and the additive SiO 2 , MgCO 3 , MnCO 3 and Dy 2 CO 3 powder were added uniformly, and the powder (hereinafter referred to as “powder”) Powder A) is obtained. To the obtained powder (powder A), a polyvinyl butyral binder, a plasticizer and ethanol as an organic solvent are further added, and these are wet-mixed for a predetermined time by a ball mill to produce a ceramic slurry. . The addition amount of each additive is, for example, 2.0 mol parts of Si, 1.0 mol parts of Mg, 0.25 mol parts of Mn, and 1.0 mol parts of Dy with respect to 100 mol parts of Ti. The specific surface area of each powder is, for example, a powder having SiO 2 of 100 m 2 / g, MgCO 3 of 50 m 2 / g, MnCO 3 of 50 m 2 / g, and Dy 2 CO 3 of 30 m 2 / g. The time for performing this wet mixing is, for example, 5 hours to 15 hours.

次に、作製されたセラミックスラリーは、リップ方式によりシート成形され、たとえば、厚み1.1μmの矩形のセラミックグリーンシートが得られる。   Next, the produced ceramic slurry is formed into a sheet by a lip method, and for example, a rectangular ceramic green sheet having a thickness of 1.1 μm is obtained.

なお、本発明において、上述の方法により作製されたセラミックグリーンシートからバインダ、可塑剤および有機溶剤を除去し、粉末を取り出すために、たとえば、大気中にて、400℃で2時間熱処理することにより得られる粉末(以下、粉体Bという)の比表面積の値から粉体Aの比表面積の値を引くことにより得られる差の値は、3m2/g以下である。また、粉体Aおよび粉体Bのそれぞれの比表面積の値は、N2吸着比表面積測定装置により、測定される。なお、前記熱処理においては、粉末の焼結や粒成長は進行しない。 In the present invention, the binder, the plasticizer and the organic solvent are removed from the ceramic green sheet produced by the above-described method, and the powder is taken out, for example, by heat treatment at 400 ° C. for 2 hours in the air. The value of the difference obtained by subtracting the value of the specific surface area of the powder A from the value of the specific surface area of the obtained powder (hereinafter referred to as the powder B) is 3 m 2 / g or less. The specific surface area values of the powder A and the powder B are measured by an N 2 adsorption specific surface area measuring device. In the heat treatment, powder sintering and grain growth do not proceed.

そして、熱処理されたセラミックグリーンシート上に、Niを含有する導電性ペーストが、たとえば、スクリーン印刷され、その結果、内部電極となる導電性ペースト膜が形成される。   A conductive paste containing Ni is, for example, screen-printed on the heat-treated ceramic green sheet, and as a result, a conductive paste film serving as an internal electrode is formed.

次に、導電性ペースト膜が形成されたセラミックグリーンシートは、導電性ペースト膜の引き出されている側が互い違いになるように積層されて、積層セラミックコンデンサのセラミック素体となるべき生の積層体が得られる。   Next, the ceramic green sheet on which the conductive paste film is formed is laminated so that the side where the conductive paste film is drawn is staggered, so that a raw laminate to be a ceramic body of the multilayer ceramic capacitor is obtained. can get.

そして、得られた生の積層体は、N2雰囲気中にて、所定の温度および所定の時間、たとえば、350℃で3時間加熱され、バインダが燃焼された後、たとえば、酸素分圧10-9MPa〜10-12MPaのH2−N2−H2Oガスからなる還元性雰囲気中において、所定の温度および所定の時間、たとえば、1200℃で30分焼成され、焼結したセラミック素体が得られる。 The obtained raw laminate is heated in a N 2 atmosphere at a predetermined temperature and for a predetermined time, for example, 350 ° C. for 3 hours. After the binder is burned, for example, an oxygen partial pressure of 10 Ceramic body sintered and sintered at a predetermined temperature and a predetermined time, for example, 1200 ° C. for 30 minutes in a reducing atmosphere composed of 9 MPa to 10 −12 MPa of H 2 —N 2 —H 2 O gas Is obtained.

次に、得られたセラミック素体の両端面に、たとえば、ガラスフリットを含有するCuペーストが塗布され、N2雰囲気中にて、所定の温度、たとえば、800℃の温度で焼き付けられ、内部電極と電気的に接続された外部電極が形成され、所望の積層セラミックコンデンサが得られる。 Next, a Cu paste containing, for example, glass frit is applied to both end faces of the obtained ceramic body, and baked at a predetermined temperature, for example, 800 ° C. in an N 2 atmosphere. And an external electrode electrically connected to each other is formed, and a desired multilayer ceramic capacitor is obtained.

この発明にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法により得られる積層セラミックコンデンサは、誘電体セラミック層14に、圧壊強度が1854kPa以下の低い誘電体主成分粉末を使用しているので、平均故障時間が30時間以上である信頼性の高い積層セラミックコンデンサを得ることができる。   In the multilayer ceramic capacitor obtained by the method for producing a multilayer ceramic capacitor according to the present invention, the dielectric ceramic layer 14 uses a dielectric main component powder having a crushing strength of 1854 kPa or less, so the average failure time is 30 hours. A highly reliable multilayer ceramic capacitor as described above can be obtained.

また、この発明にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法により得られる積層セラミックコンデンサは、誘電体セラミック層14に、粉体Aの比表面積の値と粉体Bの比表面積の値との差を3m2/g以下とすることで、平均故障時間が50時間以上であるより信頼性の高い積層セラミックコンデンサを得ることができる。 In the multilayer ceramic capacitor obtained by the method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to the present invention, the dielectric ceramic layer 14 has a difference of 3 m 2 between the value of the specific surface area of the powder A and the value of the specific surface area of the powder B. By setting it to / g or less, a more reliable multilayer ceramic capacitor having an average failure time of 50 hours or more can be obtained.

(実験例)
次に、上述した方法により得られた誘電体主成分粉末および積層セラミックコンデンサに対して行った評価実験について説明する。評価実験を行うに際して、以下のようにして、評価実験において用いられる試料となる誘電体主成分粉末および積層セラミックコンデンサを作製した。
(Experimental example)
Next, an evaluation experiment performed on the dielectric main component powder and the multilayer ceramic capacitor obtained by the above-described method will be described. When performing the evaluation experiment, a dielectric main component powder and a multilayer ceramic capacitor, which are samples used in the evaluation experiment, were produced as follows.

まず、以下に記載の方法により誘電体主成分粉末を準備した。すなわち、主成分であるBaTiO3の出発原料として、高純度のBaCO3およびTiO2の各粉末が準備され、調合された。次に、この調合粉末がボールミルで水を用いて湿式混合され、スラリーが作製された。その後、作製されたスラリーがオーブンに入れられ、水によりなくなるまで、乾燥処理され、調整粉末が得られた。なお、オーブンの温度は、100℃、75℃、50℃、25℃に設定され、それぞれの温度により各試料を得た。 First, a dielectric main component powder was prepared by the method described below. That is, high-purity BaCO 3 and TiO 2 powders were prepared and prepared as starting materials for BaTiO 3 as the main component. Next, this blended powder was wet-mixed with a ball mill using water to produce a slurry. Thereafter, the prepared slurry was placed in an oven and dried until it was depleted with water to obtain a conditioned powder. In addition, the temperature of oven was set to 100 degreeC, 75 degreeC, 50 degreeC, and 25 degreeC, and each sample was obtained with each temperature.

次に、オーブンの各設定温度により得られた調整粉末は、1050℃で仮焼され、乾式粉砕することで、平均粒子径が150nmである各誘電体主成分粉末が得られた。オーブンの設定温度が100℃として得られた試料を主成分粉体1とし、75℃として得られた試料を主成分粉体2とし、50℃として得られた試料を主成分粉体3とし、25℃として得られた試料を主成分粉体4とした。なお、各誘電体主成分粉末の平均粒子径は、FE−SEM写真から算出した。   Next, the adjusted powder obtained at each set temperature of the oven was calcined at 1050 ° C. and dry pulverized to obtain each dielectric main component powder having an average particle diameter of 150 nm. A sample obtained at a set temperature of the oven of 100 ° C. is defined as the main component powder 1, a sample obtained at 75 ° C. is defined as the main component powder 2, and a sample obtained at 50 ° C. is defined as the main component powder 3. A sample obtained at 25 ° C. was used as the main component powder 4. In addition, the average particle diameter of each dielectric main component powder was computed from the FE-SEM photograph.

また、主成分粉体1〜主成分粉体4の各試料に対する誘電体主成分粉末に添加物を均一になるように添加した粉末(以下、粉体Aという)を準備した。添加物は、SiO2、MgCO3、MnCO3およびDy2CO3の粉末とした。添加物の添加量は、Ti100mol部に対して、Siを2.0mol部、Mgを1.0mol部、Mnを0.25mol部、Dyを1.0mol部とした。また、各粉末の比表面積は、SiO2が100m2/g、MgCO3が50m2/g、MnCO3が50m2/g、Dy2CO3が30m2/gであった。そして、各試料に対する粉体Aに、ポリビニルブチラール系バインダ、可塑剤および有機溶剤としてエタノールを加え、これらをボールミルにより湿式混合し、セラミックスラリーを作製した。なお、主成分粉体1〜主成分粉体4の各試料に対して、混合時間は、5時間、10時間、15時間のそれぞれ3パターン行った。 In addition, a powder (hereinafter referred to as “powder A”) was prepared by uniformly adding an additive to the dielectric main component powder for each sample of the main component powder 1 to the main component powder 4. The additive was a powder of SiO 2 , MgCO 3 , MnCO 3 and Dy 2 CO 3 . The addition amount of the additive was 2.0 mol parts of Si, 1.0 mol parts of Mg, 0.25 mol parts of Mn, and 1.0 mol parts of Dy with respect to 100 mol parts of Ti. The specific surface area of each powder, SiO 2 is 100m 2 / g, MgCO 3 is 50m 2 / g, MnCO 3 there is 50m 2 / g, Dy 2 CO 3 was 30 m 2 / g. Then, to the powder A for each sample, a polyvinyl butyral binder, a plasticizer, and ethanol as an organic solvent were added, and these were wet mixed by a ball mill to produce a ceramic slurry. In addition, with respect to each sample of the main component powder 1 to the main component powder 4, the mixing time was 3 patterns of 5 hours, 10 hours, and 15 hours, respectively.

そして、上述した方法により得られた各試料のセラミックスラリーを用いて、リップ方式によりシート成形し、厚み1.1μmの矩形のセラミックグリーンシートが得られた。   Then, using the ceramic slurry of each sample obtained by the above-described method, a sheet was formed by a lip method, and a rectangular ceramic green sheet having a thickness of 1.1 μm was obtained.

次に、粉末の比表面積を評価するために、上述した方法により得られた各試料のセラミックグリーンシートを大気中にて400℃で2時間熱処理して粉末(以下、粉体Bという)を準備した。   Next, in order to evaluate the specific surface area of the powder, a ceramic green sheet of each sample obtained by the above-described method is heat-treated in the atmosphere at 400 ° C. for 2 hours to prepare a powder (hereinafter referred to as powder B). did.

一方、後述するように、高温負荷試験を行うための積層セラミックコンデンサを作製するために、上述した方法により得られた各試料に対するセラミックグリーンシート上に、Niを含有する導電性ペーストをスクリーン印刷し、内部電極となる導電性ペースト膜を形成した。   On the other hand, as will be described later, in order to produce a multilayer ceramic capacitor for performing a high temperature load test, a conductive paste containing Ni is screen-printed on a ceramic green sheet for each sample obtained by the above-described method. Then, a conductive paste film to be an internal electrode was formed.

そして、導電性ペースト膜が形成された各試料に対するセラミックグリーンシートは、導電性ペースト膜の引き出されている側が互い違いになるように積層され、セラミック素体となる生の積層体が得られた。   And the ceramic green sheet with respect to each sample in which the electroconductive paste film was formed was laminated so that the side where the electroconductive paste film was drawn was alternated, and the raw laminated body used as a ceramic body was obtained.

次に、各試料に対する生の積層体は、N2雰囲気にて、350℃の温度で3時間加熱され、バインダを焼成させた後、酸素分圧を1×10-9MPaのH2−N2−H2Oガスからなる還元性雰囲気中において、1200℃で30分焼成され、各試料に対する焼結したセラミック素体が得られた。 Next, the raw laminate for each sample was heated in a N 2 atmosphere at a temperature of 350 ° C. for 3 hours to sinter the binder, and then H 2 —N with an oxygen partial pressure of 1 × 10 −9 MPa. In a reducing atmosphere composed of 2- H 2 O gas, firing was performed at 1200 ° C. for 30 minutes to obtain a sintered ceramic body for each sample.

そして、得られた各試料に対するセラミック素体の両端面に、ガラスフリットを含有するCuペーストが塗布され、N2雰囲気中にて、800℃の温度で焼き付けられ、内部電極と電気的に接続された外部電極が形成され、各試料に対する積層セラミックコンデンサが得られた。 Then, Cu paste containing glass frit is applied to both end faces of the ceramic body for each of the obtained samples, and baked at a temperature of 800 ° C. in an N 2 atmosphere to be electrically connected to the internal electrodes. External electrodes were formed, and a multilayer ceramic capacitor for each sample was obtained.

このようにして得られた各試料に対する積層セラミックコンデンサの外形寸法は、長さ1.0mm、幅0.5mm、厚さ0.5mmであり、内部電極間に介在する誘電体セラミック層の厚みは1μmであった。また、有効誘電体セラミック層の数は250であり、1つの誘電体セラミック層当たりの対向電極面積は、0.27mm2であった。 The outer dimensions of the multilayer ceramic capacitor for each sample thus obtained are 1.0 mm in length, 0.5 mm in width, and 0.5 mm in thickness. The thickness of the dielectric ceramic layer interposed between the internal electrodes is as follows. It was 1 μm. The number of effective dielectric ceramic layers was 250, and the counter electrode area per one dielectric ceramic layer was 0.27 mm 2 .

(特性評価)
上述した方法により得られた各試料に対する誘電体主成分粉末および積層セラミックコンデンサは、以下に示す特性評価の方法により評価された。
(Characteristic evaluation)
The dielectric main component powder and multilayer ceramic capacitor for each sample obtained by the above-described method were evaluated by the following characteristic evaluation method.

1.誘電体主成分粉末の凝結強さの評価
誘電体主成分粉末の凝結強さを圧壊強度により評価した。圧壊強度を測定するために、微小粒子圧壊試験装置(NS−A100((株)ナノシーズ社製))を用いて、誘電体主成分粉末の圧壊試験を行った。この圧壊試験は、JISZ8841−1993に準拠している。
1. Evaluation of the cohesive strength of the dielectric main component powder The cohesive strength of the dielectric main component powder was evaluated by the crushing strength. In order to measure the crushing strength, a crushing test of the dielectric main component powder was performed using a microparticle crushing test apparatus (NS-A100 (manufactured by Nano Seeds Co., Ltd.)). This crushing test is based on JISZ8841-1993.

2.粉末の比表面積の測定
準備された粉体Aおよび粉体BをVita−Mix社製のアブソルートミル(ABS−W)を用いて、各粉体50gにつき回転数を24000rpmとして1分間で処理したのち、N2吸着比表面積測定装置により比表面積を測定した。粉体Bの比表面積の値から粉体Aの比表面積の値を引き、その差を算出し、その値を評価として用いた。
2. Measurement of specific surface area of powder After the prepared powder A and powder B were processed with an absolute mill (ABS-W) manufactured by Vita-Mix at a rotational speed of 24,000 rpm for 1 minute for 50 g of each powder. The specific surface area was measured with an N 2 adsorption specific surface area measuring device. The value of the specific surface area of the powder A was subtracted from the value of the specific surface area of the powder B, the difference was calculated, and the value was used for evaluation.

3.高温負荷試験による寿命特性の測定
20個の積層セラミックコンデンサに対し、125℃において10Vの直流電流を印加し、絶縁抵抗の経時変化を観察した。各積層セラミックコンデンサの絶縁抵抗値が0.1MΩ以下になった時点を故障とした、20個の故障時間をワイプルプロットにより解析し、平均故障時間(MTTF)を求めた。
3. Measurement of life characteristics by high-temperature load test A DC current of 10 V was applied to 20 multilayer ceramic capacitors at 125 ° C., and the change in insulation resistance with time was observed. Twenty failure times were analyzed with a wiped plot, with the failure when the insulation resistance value of each multilayer ceramic capacitor was 0.1 MΩ or less, and an average failure time (MTTF) was determined.

表1は、誘電体主成分粉末である主成分粉体1〜主成分粉体4の各試料を作製するために設定されたオーブン温度、および主成分粉体1〜主成分粉体4の各試料に対する各圧壊強度の測定結果を示す。   Table 1 shows the oven temperature set for preparing each sample of the main component powder 1 to the main component powder 4, which are dielectric main component powders, and each of the main component powder 1 to the main component powder 4. The measurement result of each crushing strength with respect to a sample is shown.

また、表2は、主成分粉体1〜主成分粉体4の各試料を用いてセラミックスラリーを作製するための混合時間、各試料の粉体Aの比表面積の値と粉体Bの比表面積の値との差、および各試料により作製された積層セラミックコンデンサの平均故障時間(MTTF)の評価結果を示す。表2において、※印の付された試料番号7ないし試料番号12は、本発明の範囲外である。   Table 2 shows the mixing time for preparing the ceramic slurry using each sample of the main component powder 1 to the main component powder 4, the value of the specific surface area of the powder A of each sample and the ratio of the powder B The difference from the value of the surface area and the evaluation result of the mean time to failure (MTTF) of the multilayer ceramic capacitor produced by each sample are shown. In Table 2, sample numbers 7 to 12 marked with * are outside the scope of the present invention.

Figure 2015050409
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Figure 2015050409
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表1によれば、誘電体主成分粉末を作製する際に、オーブン温度を上げていくと、圧壊強度を低下させることができることがわかる。主成分粉体1はオーブン温度を100℃とした場合であり、圧壊強度は543kPaであり、主成分粉体2はオーブン温度が75℃とした場合であり、圧壊強度1854であった。また、主成分粉体3はオーブン温度を50℃とした場合であり、圧壊強度は2307kPaであり、主成分粉体4はオーブン温度25℃とした場合であり、圧壊強度は3028kPaであった。   According to Table 1, it can be seen that the crushing strength can be lowered by increasing the oven temperature when producing the dielectric main component powder. The main component powder 1 was when the oven temperature was 100 ° C. and the crushing strength was 543 kPa, and the main component powder 2 was when the oven temperature was 75 ° C. and the crushing strength was 1854. The main component powder 3 was obtained when the oven temperature was 50 ° C. and the crushing strength was 2307 kPa, and the main component powder 4 was obtained when the oven temperature was 25 ° C. and the crushing strength was 3028 kPa.

表2によれば、誘電体主成分粉末の圧壊強度が1854kPa以下である試料1ないし試料6では、いずれの積層セラミックコンデンサも平均故障時間(MTTF)が、30時間以上であり、信頼性の高い積層セラミックコンデンサが得られた。   According to Table 2, in the samples 1 to 6 in which the crushing strength of the dielectric main component powder is 1854 kPa or less, the average failure time (MTTF) of all the multilayer ceramic capacitors is 30 hours or more, which is highly reliable A multilayer ceramic capacitor was obtained.

また、表2によれば、誘電体主成分の圧壊強度が1854kPa以下であり、かつ、誘電体主成分粉末と添加物とを用いて成形したセラミックグリーンシートを熱処理した際に得られる粉末(粉体B)の比表面積の値と、誘電体主成分と添加物とを混合したのみの粉末(粉体A)の比表面積の値との差が3m2/g以下である、試料1、試料4および試料5の積層セラミックコンデンサの平均故障時間(MTTF)は、50時間以上であり、より信頼性の高い積層セラミックコンデンサが得られた。 Further, according to Table 2, the crushing strength of the dielectric main component is 1854 kPa or less, and the powder (powder obtained when the ceramic green sheet formed using the dielectric main component powder and the additive is heat-treated. The difference between the value of the specific surface area of the body B) and the value of the specific surface area of the powder (powder A) obtained by mixing only the dielectric main component and the additive is 3 m 2 / g or less. The average failure time (MTTF) of the multilayer ceramic capacitors of 4 and Sample 5 was 50 hours or more, and a more reliable multilayer ceramic capacitor was obtained.

一方、表2によれば、誘電体主成分粉末の圧壊強度が2307kPaおよび3028kPaである主成分粉体3および主成分粉体4を用いて作製された試料7ないし試料12では、いずれの積層セラミックコンデンサも平均故障時間(MTTF)が、20時間以下であった。   On the other hand, according to Table 2, in any of the multilayer ceramics produced by using the main component powder 3 and the main component powder 4 in which the crushing strength of the dielectric main component powder is 2307 kPa and 3028 kPa, The capacitor also had an average failure time (MTTF) of 20 hours or less.

なお、表2によれば、粉体Bを得る際に、粉体Aに対してポリビニルブチラール系バインダ、可塑剤および有機溶剤としてエタノールを加え、これらをボールミルにより湿式混合する時間を短くすれば、それに応じて粉体Bの比表面積の値と粉体Aの比表面積の値との差を小さくすることが可能であることが確認できた。   According to Table 2, when obtaining powder B, if polyvinyl butyral binder, plasticizer and ethanol as an organic solvent are added to powder A, and the time during which these are wet mixed by a ball mill is shortened, Accordingly, it was confirmed that the difference between the specific surface area value of the powder B and the specific surface area value of the powder A can be reduced.

なお、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲において種々の変形が可能である。   In addition, this invention is not limited to said embodiment, A various deformation | transformation is possible in the range which does not deviate from a summary.

この発明にかかる積層セラミックコンデンサの製造方法は、小型化や大容量化が求められる積層セラミックコンデンサを得るために好適に用いられる。   The method for manufacturing a multilayer ceramic capacitor according to the present invention is suitably used for obtaining a multilayer ceramic capacitor that is required to be reduced in size and capacity.

10 積層セラミックコンデンサ
12 セラミック素体
14 誘電体セラミック層
16a、16b 内部電極
18a、18b 外部電極
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Multilayer ceramic capacitor 12 Ceramic body 14 Dielectric ceramic layer 16a, 16b Internal electrode 18a, 18b External electrode

Claims (3)

複数の誘電体セラミック層と複数の内部電極とが交互に積層されてなるセラミック素体と、
前記セラミック素体の外表面に形成され、前記内部電極と電気的に接続されている外部電極と、を備える積層セラミックコンデンサの製造方法であって、
前記誘電体セラミック層は、圧壊強度が1854kPa以下である、BaとTiとを含むペロブスカイト型化合物を含有するセラミック粉末を用いて作製されることを特徴とする、積層セラミックコンデンサの製造方法。
A ceramic body in which a plurality of dielectric ceramic layers and a plurality of internal electrodes are alternately laminated;
An outer electrode formed on the outer surface of the ceramic body and electrically connected to the inner electrode, and a method for producing a multilayer ceramic capacitor comprising:
The method for producing a multilayer ceramic capacitor, wherein the dielectric ceramic layer is produced using a ceramic powder containing a perovskite type compound containing Ba and Ti having a crushing strength of 1854 kPa or less.
前記セラミック粉末と添加物とを用いて作製したセラミックグリーンシートを熱処理した際に得られる粉末の比表面積の値と、前記セラミック粉末と添加物とを混合したのみの粉末の比表面積の値との差が、3m2/g以下であることを特徴とする、請求項1に記載の積層セラミックコンデンサの製造方法。 The value of the specific surface area of the powder obtained when the ceramic green sheet produced using the ceramic powder and the additive is heat-treated, and the value of the specific surface area of the powder only obtained by mixing the ceramic powder and the additive The method for producing a multilayer ceramic capacitor according to claim 1, wherein the difference is 3 m 2 / g or less. 複数の誘電体セラミック層と複数の内部電極とが交互に積層されてなるセラミック素体と、前記セラミック素体の外表面に形成され、前記内部電極と電気的に接続されている外部電極と、を備える積層セラミックコンデンサの前記誘電体セラミック層を作製するために用いられる積層セラミックコンデンサ用セラミック粉末であって、
圧壊強度が1854kPa以下である、BaとTiとを含むペロブスカイト型化合物を含有することを特徴とする、積層セラミックコンデンサ用セラミック粉末。
A ceramic body formed by alternately laminating a plurality of dielectric ceramic layers and a plurality of internal electrodes; an external electrode formed on the outer surface of the ceramic body and electrically connected to the internal electrodes; A ceramic powder for a multilayer ceramic capacitor used for producing the dielectric ceramic layer of a multilayer ceramic capacitor comprising:
A ceramic powder for a multilayer ceramic capacitor, comprising a perovskite type compound containing Ba and Ti having a crushing strength of 1854 kPa or less.
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