JP2015032680A - p-TYPE ZnO-BASED SEMICONDUCTOR LAYER MANUFACTURING METHOD AND ZnO-BASED SEMICONDUCTOR ELEMENT MANUFACTURING METHOD - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、p型ZnO系半導体層の製造方法、及び、ZnO系半導体素子の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a p-type ZnO-based semiconductor layer and a method for manufacturing a ZnO-based semiconductor element.
酸化亜鉛(ZnO)は、室温で3.37eVのバンドギャップエネルギーを持つ直接遷移型の半導体で、励起子の束縛エネルギーが60meVと比較的大きい。また原材料が安価であるとともに、環境や人体への影響が少ないという特徴を有する。このためZnOを用いた高効率、低消費電力で環境性に優れた発光素子の実現が期待されている。 Zinc oxide (ZnO) is a direct-transition semiconductor having a band gap energy of 3.37 eV at room temperature, and has a relatively high exciton binding energy of 60 meV. In addition, the raw materials are inexpensive and have a feature of little influence on the environment and the human body. For this reason, realization of a light-emitting element using ZnO with high efficiency, low power consumption and excellent environmental performance is expected.
しかしZnO系半導体は、強いイオン性に起因する自己補償効果のために、p型の導電型制御が困難である。たとえばアクセプタ不純物として、N、P、As、SbなどのVA族元素、Li、Na、KなどのIA族元素、Cu、Ag、AuなどのIB族元素を用い、実用的な性能をもつp型ZnO系半導体の研究が行われている(たとえば特許文献1〜5参照)。
However, the ZnO-based semiconductor is difficult to control the p-type conductivity because of the self-compensation effect due to strong ionicity. For example, as an acceptor impurity, a p-type having practical performance using a group VA element such as N, P, As, and Sb, a group IA element such as Li, Na, and K, and a group IB element such as Cu, Ag, and Au. Research on ZnO-based semiconductors has been conducted (see, for example,
本願発明者らは、GaドープZnO単結晶層とCu層とが交互に積層されたn型ZnO系半導体構造がアニールによりp型化することを発見し、先の出願(特願2012−166837号)において、たとえばGaドープMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層とCu層とが厚さ方向に積層された構造(交互積層構造)をアニールし、CuとGaが共ドープされたp型MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)層を製造する方法を提案した。 The inventors of the present application have found that an n-type ZnO-based semiconductor structure in which Ga-doped ZnO single crystal layers and Cu layers are alternately stacked becomes p-type by annealing, and the previous application (Japanese Patent Application No. 2012-166837). ), For example, a structure in which a Ga-doped Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer and a Cu layer are laminated in the thickness direction (alternate laminated structure) is annealed, and Cu and Ga Proposed a method of manufacturing a p-type Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) layer co-doped with.
図12A〜図12Dを参照し、先の出願に係る提案を説明する。 With reference to FIGS. 12A to 12D, the proposal according to the previous application will be described.
図12Aは、GaドープZnO単結晶層とCu層とが交互に積層されたn型ZnO系半導体構造について、CV特性及び不純物濃度のデプスプロファイルを示すグラフである。上欄にCV特性、下欄に不純物濃度のデプスプロファイルを示すグラフを示した。測定は、電解液をショットキー電極に用いたエレクトロケミカルCV測定法(ECV法)により行った。グラフは並列モデルで解析した結果を示す。CV特性を示すグラフの横軸は、電圧を単位「V」で表し、縦軸は、「1/C2」を単位「cm4/F2」で表す。両軸ともリニアスケールを用いている。不純物濃度のデプスプロファイルを示すグラフの横軸は、試料の深さ(厚さ)方向の位置を単位「nm」で表し、縦軸は、不純物濃度を単位「cm−3」で表す。横軸はリニアスケール、縦軸は対数スケールを用いている。 FIG. 12A is a graph showing a CV characteristic and a depth profile of impurity concentration for an n-type ZnO-based semiconductor structure in which Ga-doped ZnO single crystal layers and Cu layers are alternately stacked. The graph showing the CV characteristics in the upper column and the depth profile of the impurity concentration is shown in the lower column. The measurement was performed by an electrochemical CV measurement method (ECV method) using an electrolytic solution as a Schottky electrode. The graph shows the results of analysis using a parallel model. The horizontal axis of the graph showing the CV characteristic represents the voltage in the unit “V”, and the vertical axis represents “1 / C 2 ” in the unit “cm 4 / F 2 ”. Both axes use a linear scale. The horizontal axis of the graph showing the depth profile of the impurity concentration represents the position in the depth (thickness) direction of the sample in the unit “nm”, and the vertical axis represents the impurity concentration in the unit “cm −3 ”. The horizontal axis uses a linear scale, and the vertical axis uses a logarithmic scale.
CV特性を示すグラフ(上欄)を参照すると、右上がりの曲線(電圧が増加すると1/C2が増加する関係)が得られ、n型ZnO系半導体構造がn型導電性を備えることが示されている。なお、傾きが不純物濃度(抵抗値)と対応する。 Referring to the graph showing the CV characteristics (upper column), a curve that rises to the right (the relationship that 1 / C 2 increases as the voltage increases) is obtained, and the n-type ZnO-based semiconductor structure has n-type conductivity. It is shown. Note that the slope corresponds to the impurity concentration (resistance value).
不純物濃度のデプスプロファイルを示すグラフ(下欄)を参照すると、n型ZnO系半導体構造の不純物濃度(ドナー濃度)Ndは1.0×1021cm−3程度であることがわかる。 Referring to the graph showing the depth profile of the impurity concentration (lower column), it can be seen that the impurity concentration (donor concentration) N d of the n-type ZnO-based semiconductor structure is about 1.0 × 10 21 cm −3 .
図12Bは、n型ZnO系半導体構造における、Cuの絶対濃度[Cu]及びGaの絶対濃度[Ga]の、2次イオン質量分析法(secondary ion mass spectrometry; SIMS)によるデプスプロファイルを示すグラフである。グラフの横軸は、試料の深さ方向の位置を、単位「nm」で表し、縦軸は、Cu濃度[Cu]及びGa濃度[Ga]を、単位「cm−3」で表す。横軸はリニアスケール、縦軸は対数スケールを用いている。 FIG. 12B is a graph showing a depth profile by secondary ion mass spectrometry (SIMS) of an absolute Cu concentration [Cu] and an absolute Ga concentration [Ga] in an n-type ZnO-based semiconductor structure. is there. The horizontal axis of the graph represents the position in the depth direction of the sample in the unit “nm”, and the vertical axis represents the Cu concentration [Cu] and the Ga concentration [Ga] in the unit “cm −3 ”. The horizontal axis uses a linear scale, and the vertical axis uses a logarithmic scale.
n型ZnO系半導体構造におけるCu濃度[Cu]は2.0×1021cm−3程度、Ga濃度[Ga]は7.0×1020cm−3程度であることがわかる。[Cu]及び[Ga]は、たとえば吸着物の影響により、表面近傍で正確に測定されない場合がある。 It can be seen that the Cu concentration [Cu] in the n-type ZnO-based semiconductor structure is about 2.0 × 10 21 cm −3 and the Ga concentration [Ga] is about 7.0 × 10 20 cm −3 . [Cu] and [Ga] may not be accurately measured near the surface due to, for example, the influence of adsorbates.
なお、図12A及び図12Bに分析結果を示したn型ZnO系半導体構造は、本願発明に係る実験(後述)で用いるサンプルのアニール前試料の交互積層構造と等しいものである。 Note that the n-type ZnO-based semiconductor structure whose analysis results are shown in FIG. 12A and FIG. 12B is the same as the alternating stacked structure of the sample before annealing of the sample used in the experiment according to the present invention (described later).
図12Cは、n型ZnO系半導体構造をp型化するためのアニール温度を示すグラフである。たとえば流量1L/minの酸素雰囲気中、570℃で10分間のアニールを実施する。 FIG. 12C is a graph showing the annealing temperature for converting the n-type ZnO-based semiconductor structure to p-type. For example, annealing is performed at 570 ° C. for 10 minutes in an oxygen atmosphere with a flow rate of 1 L / min.
図12Dは、アニール後のZnO系半導体構造のCV特性及び不純物濃度のデプスプロファイルを示すグラフである。上欄にCV特性、下欄に不純物濃度のデプスプロファイルを示すグラフを記載した。グラフの両軸の意味するところは、図12Aに示すグラフのそれらに等しい。 FIG. 12D is a graph showing a CV characteristic and an impurity concentration depth profile of the annealed ZnO-based semiconductor structure. The graph showing the CV characteristics in the upper column and the depth profile of the impurity concentration is shown in the lower column. The meanings of both axes of the graph are equal to those of the graph shown in FIG. 12A.
CV特性を示すグラフ(上欄)を参照すると、右下がりの曲線(電圧が増加すると1/C2が減少する関係)が得られ、ZnO系半導体構造がp型導電性を備えるに至ったことが示されている。 Referring to the graph showing the CV characteristics (upper column), a downward-sloping curve (relation that 1 / C 2 decreases as the voltage increases) is obtained, and the ZnO-based semiconductor structure has p-type conductivity. It is shown.
不純物濃度のデプスプロファイルを示すグラフ(下欄)を参照すると、p型化したZnO系半導体構造の不純物濃度(アクセプタ濃度)Naは6.0×1017cm−3程度であることがわかる。 Referring to the graph (lower column) showing the depth profile of the impurity concentration, the impurity concentration (acceptor concentration) of the p-type and the ZnO-based semiconductor structure N a is found to be about 6.0 × 10 17 cm -3.
GaドープZnO単結晶層とCu層とが交互に積層されたn型ZnO系半導体構造は、アニールによりp型化される。アニールを行うことで、CuとGaがZnO系半導体構造内に拡散し、ZnO結晶中に拡散したCuがZn位置(Znサイト)を置換する。これに伴い、n型ZnO系半導体構造はCuとGaが共ドープされたp型ZnO系半導体層になる(p型化する)と考えられる。 An n-type ZnO-based semiconductor structure in which Ga-doped ZnO single crystal layers and Cu layers are alternately stacked is made p-type by annealing. By performing annealing, Cu and Ga diffuse in the ZnO-based semiconductor structure, and Cu diffused in the ZnO crystal replaces the Zn position (Zn site). Accordingly, it is considered that the n-type ZnO-based semiconductor structure becomes a p-type ZnO-based semiconductor layer co-doped with Cu and Ga (becomes p-type).
このように、先の出願に係る提案は、たとえばGaドープZnO単結晶層とCu層とが交互に積層されたn型ZnO系半導体構造を準備し、これにアニールを施すことによって、p型ZnO系半導体層を得る方法である。 Thus, the proposal according to the previous application is, for example, that an n-type ZnO-based semiconductor structure in which Ga-doped ZnO single crystal layers and Cu layers are alternately stacked is prepared and annealed to prepare a p-type ZnO. This is a method for obtaining a semiconductor layer.
しかしながら、先の出願に係る提案においては、アニールによってp型化するZnO系半導体構造中のCu濃度(ドーピング濃度)は、たとえば1021cm−3オーダーであり、Cu濃度に比較すると、p型層の不純物濃度(アクセプタ濃度)Na(たとえば1017cm−3オーダー)は高いとはいえない。 However, in the proposal according to the previous application, the Cu concentration (doping concentration) in the ZnO-based semiconductor structure to be p-type by annealing is, for example, on the order of 10 21 cm −3. The impurity concentration (acceptor concentration) N a (for example, on the order of 10 17 cm −3 ) cannot be said to be high.
Cu及びZnがOと結合し酸化物となるための標準生成エネルギーは、それぞれ−300kJ/mol(Cu2Oの場合)、−670kJ/mol(ZnOの場合)である。すなわちZnはCuよりもOと結合して酸化物になりやすい。先の出願に係る提案においては、ZnO結晶中に拡散したCuに、有効的にZn位置を置換させるのが難しく、そのためCu濃度と比較した不純物濃度(アクセプタ濃度)Naが低いと考えられる。 The standard generation energies for Cu and Zn to combine with O to form an oxide are −300 kJ / mol (in the case of Cu 2 O) and −670 kJ / mol (in the case of ZnO), respectively. That is, Zn is more likely to be an oxide by bonding with O than Cu. Preceding the proposal according to application, the Cu diffused into the ZnO crystal, effectively it is difficult to replace the Zn position, therefore the impurity concentration compared to the Cu concentration (acceptor concentration) N a is considered to be low.
本願発明者らは、鋭意研究を継続し、先の出願に係る発明よりもアクセプタ濃度Naの高いp型ZnO系半導体層を製造する方法を見出した。 The present inventors have continued intensive studies and found a method of manufacturing a p-type ZnO based semiconductor layer having high acceptor concentration N a than the invention according to the earlier application.
本発明の目的は、アクセプタ濃度の高いp型ZnO系半導体層の製造方法、及び、アクセプタ濃度の高いp型ZnO系半導体層を備えるZnO系半導体素子の製造方法を提供することである。 An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a p-type ZnO-based semiconductor layer having a high acceptor concentration and a method for manufacturing a ZnO-based semiconductor element including a p-type ZnO-based semiconductor layer having a high acceptor concentration.
本発明の一観点によれば、(a)Cuまたは/及びAgであるIB族元素と、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素とを含むn型ZnO系半導体単結晶構造を形成する工程と、(b)前記n型ZnO系半導体単結晶構造に減圧下で第1アニールを施す工程と、(c)前記第1アニール後のn型ZnO系半導体単結晶構造に、酸化剤を含む雰囲気中で第2アニールを施して、前記IB族元素と前記IIIB族元素が共ドープされたp型ZnO系半導体層を形成する工程とを有するp型ZnO系半導体層の製造方法が提供される。 According to one aspect of the present invention, (a) an n-type comprising a group IB element that is Cu or / and Ag, and one or more group IIIB elements selected from the group consisting of B, Ga, Al, and In A step of forming a ZnO-based semiconductor single crystal structure; (b) a step of subjecting the n-type ZnO-based semiconductor single crystal structure to first annealing under reduced pressure; and (c) an n-type ZnO-based semiconductor after the first annealing. P-type ZnO-based process comprising: forming a p-type ZnO-based semiconductor layer co-doped with the group IB element and the group IIIB element by subjecting the single crystal structure to a second annealing in an atmosphere containing an oxidant. A method for manufacturing a semiconductor layer is provided.
また、本発明の他の観点によれば、基板上方に、n型ZnO系半導体層を形成する工程と、前記n型ZnO系半導体層上方に、p型ZnO系半導体層を形成する工程とを有し、前記p型ZnO系半導体層を形成する工程は、(a)Cuまたは/及びAgであるIB族元素と、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素とを含むn型ZnO系半導体単結晶構造を形成する工程と、(b)前記n型ZnO系半導体単結晶構造に減圧下で第1アニールを施す工程と、(c)前記第1アニール後のn型ZnO系半導体単結晶構造に、酸化剤を含む雰囲気中で第2アニールを施して、前記IB族元素と前記IIIB族元素が共ドープされたp型ZnO系半導体層を形成する工程とを備えるZnO系半導体素子の製造方法が提供される。 According to another aspect of the present invention, the step of forming an n-type ZnO-based semiconductor layer above the substrate and the step of forming a p-type ZnO-based semiconductor layer above the n-type ZnO-based semiconductor layer are provided. And the step of forming the p-type ZnO-based semiconductor layer includes (a) one or more IIIB selected from the group consisting of a group IB element that is Cu or / and Ag, and B, Ga, Al, and In Forming an n-type ZnO-based semiconductor single crystal structure containing a group element; (b) applying a first anneal to the n-type ZnO-based semiconductor single crystal structure under reduced pressure; and (c) the first anneal. A second annealing process is performed on the subsequent n-type ZnO-based semiconductor single crystal structure in an atmosphere containing an oxidizing agent to form a p-type ZnO-based semiconductor layer in which the IB group element and the IIIB group element are co-doped. Of a ZnO-based semiconductor device comprising: There is provided.
本発明によれば、アクセプタ濃度の高いp型ZnO系半導体層の製造方法、及び、アクセプタ濃度の高いp型ZnO系半導体層を備えるZnO系半導体素子の製造方法を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the manufacturing method of a p-type ZnO type | system | group semiconductor layer with a high acceptor density | concentration and the manufacturing method of a ZnO type semiconductor element provided with a p-type ZnO type | system | group semiconductor layer with a high acceptor density | concentration can be provided.
まず、ZnO系半導体層等の成長に用いられる結晶製造装置について説明する。以下に説明する実験及び実施例では、結晶製造方法として分子線エピタキシー(molecular beam epitaxy; MBE)を用いる。ここでZnO系半導体は、少なくともZnとOを含む。 First, a crystal manufacturing apparatus used for growing a ZnO-based semiconductor layer or the like will be described. In the experiments and examples described below, molecular beam epitaxy (MBE) is used as a crystal manufacturing method. Here, the ZnO-based semiconductor contains at least Zn and O.
図1は、MBE装置を示す概略的な断面図である。真空チャンバ71内に、Znソースガン72、Oソースガン73、Mgソースガン74、Cuソースガン75、及びGaソースガン76が備えられている。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an MBE apparatus. In the
Znソースガン72、Mgソースガン74、Cuソースガン75、Gaソースガン76は、それぞれZn(7N)、Mg(6N)、Cu(9N)、及びGa(7N)の固体ソースを収容するクヌーセンセルを含み、セルを加熱することにより、Znビーム、Mgビーム、Cuビーム、Gaビームを出射する。
The
Oソースガン73は、たとえば13.56MHzのラジオ周波数を用いる無電極放電管を含み、無電極放電管内でO2ガス(6N)をプラズマ化して、Oラジカルビームを出射する。放電管材料として、アルミナまたは高純度石英を使用することができる。
The
基板ヒータを備えるステージ77が基板78を保持する。ソースガン72〜76は、それぞれセルシャッタを含む。各セルシャッタの開閉により、基板78上に各ビームが照射される状態と照射されない状態とを切り替え可能である。基板78上に所望のタイミングで所望のビームを照射し、所望の組成のZnO系化合物半導体層を成長させることができる。
A
ZnOにMgを添加することにより、バンドギャップを広げることができる。しかしZnOはウルツ鉱構造(六方晶)であり、MgOは岩塩構造(立方晶)であることから、Mg組成が高すぎると相分離を起こす。MgZnOのMg組成をxと明示するMgxZn1−xOにおいて、Mg組成xはウルツ鉱構造を保つため0.6以下とするのが好ましい。なお、MgxZn1−xOという表記は、x=0の場合としてMgの添加されないZnOを含む。 By adding Mg to ZnO, the band gap can be widened. However, since ZnO has a wurtzite structure (hexagonal crystal) and MgO has a rock salt structure (cubic crystal), phase separation occurs when the Mg composition is too high. In Mg x Zn 1-x O in which the Mg composition of MgZnO is specified as x, the Mg composition x is preferably 0.6 or less in order to maintain the wurtzite structure. Note that the notation Mg x Zn 1-x O includes ZnO to which Mg is not added when x = 0.
ZnO系半導体のn型導電性は、不純物のドープを行わなくても得られる。Ga等の不純物をドープし、n型導電性を高めることができる。ZnO系半導体のp型導電性は、p型不純物のドープにより得られる。 The n-type conductivity of the ZnO-based semiconductor can be obtained without doping impurities. Impurities such as Ga can be doped to increase n-type conductivity. The p-type conductivity of the ZnO-based semiconductor can be obtained by doping with a p-type impurity.
真空チャンバ71内に、水晶振動子を用いた膜厚計79が備えられている。膜厚計79で測定される付着速度から、各ビームのフラックス強度が求められる。
A
真空チャンバ71に、反射高速電子回折(reflection high energy electron diffraction; RHEED)用のガン80、及び、RHEED像を映すスクリーン81が取り付けられている。RHEED像から、基板78上に形成された結晶層の表面平坦性や成長モードを評価することができる。
A
結晶が2次元成長し表面が平坦なエピタキシャル成長(単結晶成長)である場合、RHEED像はストリークパターンを示し、結晶が3次元成長し表面が平坦でないエピタキシャル成長(単結晶成長)の場合、RHEED像はスポットパターンを示す。多結晶成長の場合は、RHEED像がリングパターンとなる。 When the crystal is two-dimensionally grown and the surface is epitaxially grown (single crystal growth), the RHEED image shows a streak pattern, and when the crystal is three-dimensionally grown and the surface is not flat (single crystal growth), the RHEED image is A spot pattern is shown. In the case of polycrystalline growth, the RHEED image becomes a ring pattern.
次に、MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)結晶成長におけるVI/IIフラックス比について説明する。Znビームのフラックス強度をJZn、Mgビームのフラックス強度をJMg、Oラジカルビームのフラックス強度をJOと表す。金属材料であるZnあるいはMgのビームは、原子、または複数個の原子を含むクラスターのZnあるいはMgを含む。原子とクラスターのいずれも結晶成長に有効である。ガス材料であるOのビームは、原子ラジカルや中性分子を含むが、ここでは結晶成長に有効な原子ラジカルのフラックス強度を考える。 Next, the VI / II flux ratio in Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) crystal growth will be described. The flux intensity of Zn beam J Zn, the flux intensity of the Mg beam J Mg, the flux intensity of O radical beam expressed as J O. A beam of Zn or Mg, which is a metal material, contains atoms or clusters of Zn or Mg containing a plurality of atoms. Both atoms and clusters are effective for crystal growth. The O beam, which is a gas material, contains atomic radicals and neutral molecules. Here, the flux intensity of atomic radicals effective for crystal growth is considered.
結晶へのZnの付着しやすさを示す付着係数をkZn、Mgの付着しやすさを示す付着係数をkMg、Oの付着しやすさを示す付着係数をkOと表す。Znの付着係数kZnとフラックス強度JZnの積kZnJZn、Mgの付着係数kMgとフラックス強度JMgの積kMgJMg、Oの付着係数kOとフラックス強度JOの積kOJOは、それぞれ基板の単位面積に単位時間当たりに付着するZn原子、Mg原子、及びO原子の個数に対応する。 An adhesion coefficient indicating the ease with which Zn adheres to the crystal is represented by k Zn , an adhesion coefficient indicating the ease with which Mg is deposited is represented by k Mg , and an adhesion coefficient indicating the ease with which O is deposited is represented by k O. Zn adhesion coefficient k Zn and flux strength J Zn product k Zn J Zn , Mg adhesion coefficient k Mg and flux strength J Mg product k Mg J Mg , O adhesion coefficient k O and flux strength J O product k O J O corresponds to the number of Zn atoms, Mg atoms, and O atoms attached to the unit area of the substrate per unit time.
kZnJZnとkMgJMgの和に対するkOJOの比であるkOJO/(kZnJZn+kMgJMg)を、VI/IIフラックス比と定義する。VI/IIフラックス比が1より小さい場合をII族リッチ条件(Mgを含まない場合は単にZnリッチ条件)、VI/IIフラックス比が1に等しい場合をストイキオメトリ条件、VI/IIフラックス比が1より大きい場合をVI族リッチ条件(あるいはOリッチ条件)と呼ぶ。 k Zn J Zn and k Mg to the sum of J Mg is the ratio of k O J O k O J O / a (k Zn J Zn + k Mg J Mg), defined as VI / II flux ratio. When the VI / II flux ratio is smaller than 1, the group II rich condition (simply Zn rich condition when Mg is not included), when the VI / II flux ratio is equal to 1, the stoichiometric condition, and the VI / II flux ratio is The case where it is larger than 1 is called VI group rich condition (or O rich condition).
なお、Zn面(+c面)での結晶成長においては、基板表面温度850℃以下であれば、付着係数kZn、kMg及びkOを1とみなすことができ、VI/IIフラックス比をJO/(JZn+JMg)と表すことが可能である。
In the crystal growth on the Zn plane (+ c plane), if the substrate surface temperature is 850 ° C. or lower, the adhesion coefficients k Zn , k Mg and
VI/IIフラックス比は、たとえばZnOの成長においては、以下の手順で算出することができる。Znフラックスは、水晶振動子を用いた膜厚モニタにより、室温でのZnの蒸着速度FZn(nm/s)として測定される。ZnフラックスはFZn(nm/s)からJZn(atoms/cm2s)に換算される。 The VI / II flux ratio can be calculated by the following procedure, for example, in the growth of ZnO. The Zn flux is measured as a Zn deposition rate F Zn (nm / s) at room temperature by a film thickness monitor using a crystal resonator. The Zn flux is converted from F Zn (nm / s) to J Zn (atoms / cm 2 s).
一方、Oラジカルフラックスは、以下のように求められる。Oラジカルビーム照射条件一定(たとえばRFパワー300W、O2流量2.0sccm)のもとで、Znフラックスを変化させてZnOを成長させ、ZnO成長速度のZnフラックス依存性を実験的に求める。その結果を、ZnO成長速度GZnOの近似式:GZnO=[(kZnJZn)−1+(kOJO)−1]−1を用いてフィッティングすることにより、その条件におけるOラジカルフラックスJOが算出される。こうして得られたZnフラックスJZn及びOラジカルフラックスJOから、VI/IIフラックス比を算出することができる。 On the other hand, O radical flux is calculated | required as follows. ZnO is grown by changing the Zn flux under constant O radical beam irradiation conditions (for example, RF power 300 W, O 2 flow rate 2.0 sccm), and the Zn flux growth rate is experimentally determined. By fitting the result using the approximate expression of ZnO growth rate G ZnO : G ZnO = [(k Zn J Zn ) -1 + (k O J O ) -1 ] -1 , O radicals under the conditions flux J O is calculated. From Zn flux J Zn and O radical flux J O thus obtained, it is possible to calculate the VI / II flux ratio.
続いて、本願発明者らが行った実験について説明する。説明においては、アニール前の試料をアニール前試料、アニール開始後の試料をアニール後試料と記載する。 Subsequently, an experiment conducted by the inventors will be described. In the description, a sample before annealing is described as a sample before annealing, and a sample after the start of annealing is described as a sample after annealing.
サンプルのアニール前試料の作製方法について説明する。図2Aに、アニール前試料の概略的な断面図を示す。 A method for manufacturing a sample before annealing the sample will be described. FIG. 2A shows a schematic cross-sectional view of the sample before annealing.
n型導電性を有するZn面ZnO(0001)基板(以下、本明細書においてZnO基板)51に900℃で30分間のサーマルクリーニングを施した後、基板51温度を300℃まで下げた。その温度(成長温度300℃)で、ZnフラックスFZnを0.17nm/s(JZn=1.1×1015atoms/cm2s)、Oラジカルビーム照射条件をRFパワー300W、O2流量2.0sccm(JO=8.1×1014atoms/cm2s)とし、ZnO基板51上に厚さ30nmのZnOバッファ層52を成長させた。ZnOバッファ層52の結晶性及び表面平坦性の改善のため、900℃で10分間のアニールを行った。
After performing thermal cleaning at 900 ° C. for 30 minutes on a Zn-faced ZnO (0001) substrate (hereinafter referred to as a ZnO substrate in this specification) 51 having n-type conductivity, the temperature of the
ZnOバッファ層52上に、成長温度を900℃、ZnフラックスFZnを0.17nm/s(JZn=1.1×1015atoms/cm2s)、Oラジカルビーム照射条件をRFパワー300W、O2流量2.0sccm(JO=8.1×1014atoms/cm2s)として、厚さ100nmのアンドープZnO層53を成長させた。アンドープZnO層53はn型ZnO層である。アンドープZnO層53上に、Zn、O及びGaと、Cuとを異なるタイミングで供給し、交互積層構造54を形成した。交互積層構造54の形成温度は250℃とした。
On the
図2Bは、交互積層構造を形成する際のZnセル、Oセル、Gaセル、及びCuセルのシャッタシーケンスを示すタイムチャートである。 FIG. 2B is a time chart showing a shutter sequence of Zn cells, O cells, Ga cells, and Cu cells when forming an alternately laminated structure.
交互積層構造54の形成に当たっては、Znセルシャッタ、Oセルシャッタ、及びGaセルシャッタを開き、Cuセルシャッタを閉じるGaドープZnO単結晶層成長工程と、Znセルシャッタ、Oセルシャッタ、及びGaセルシャッタを閉じ、Cuセルシャッタを開くCu付着工程(Cu層形成工程)とを交互に繰り返した。
In forming the alternate
GaドープZnO単結晶層成長工程においては、OセルシャッタとGaセルシャッタの開閉は同時に行い、Oセルシャッタ及びGaセルシャッタの開期間の前後に、Znセルシャッタの開期間を延長する。 In the Ga-doped ZnO single crystal layer growth step, the O cell shutter and the Ga cell shutter are opened and closed simultaneously, and the open period of the Zn cell shutter is extended before and after the open periods of the O cell shutter and the Ga cell shutter.
サンプルのアニール前試料の作製においては、Oセルシャッタ及びGaセルシャッタの1回当たりの開期間を10秒とし、Oセルシャッタ及びGaセルシャッタの開期間の前後にZnセルシャッタの開期間を1秒ずつ延長した。Znセルシャッタの1回当たりの開期間は12秒である。Znセルシャッタ、Oセルシャッタ、及びGaセルシャッタがすべて開状態となる10秒間が、1回当たりのGaドープZnO単結晶層成長期間である。Cuセルシャッタの1回当たりの開期間は50秒とした。 In the preparation of the sample before annealing of the sample, the opening period of each of the O cell shutter and the Ga cell shutter is 10 seconds, and the opening period of the Zn cell shutter is 1 before and after the opening period of the O cell shutter and the Ga cell shutter. Extended by seconds. The open period per time of the Zn cell shutter is 12 seconds. The 10-second period in which the Zn cell shutter, the O cell shutter, and the Ga cell shutter are all opened is a Ga-doped ZnO single crystal layer growth period per time. The open period per time of the Cu cell shutter was 50 seconds.
GaドープZnO単結晶層成長工程とCu付着工程を交互に60回ずつ繰り返し、厚さ120nmの交互積層構造54を得た。GaドープZnO単結晶層成長工程でのZnフラックスFZnは0.13nm/s(JZn=8.6×1014atoms/cm2s)、Oラジカルビーム照射条件はRFパワー300W、O2流量2.0sccm(JO=8.1×1014atoms/cm2s)、Gaのセル温度TGaは600℃(FGaは検出下限値未満)とした。VI/IIフラックス比は0.94(Znリッチ条件)である。Cu付着工程でのCuのセル温度TCuは990℃とし、CuフラックスFCuを0.004nm/sとした。
The Ga-doped ZnO single crystal layer growth step and the Cu attachment step were alternately repeated 60 times to obtain an alternating
図2Cは、交互積層構造54の概略的な断面図である。交互積層構造54は、GaドープZnO単結晶層54aとCu層54bが交互に積層された積層構造を有する。
FIG. 2C is a schematic cross-sectional view of the alternately
GaドープZnO単結晶層54aの厚さは2.0nm程度、Cu層54bの厚さ(Cuの付着厚さ)は1原子層以下、たとえば約1/20原子層である。この場合、GaドープZnO単結晶層54a表面のCu被覆率は5%程度となる。
The thickness of the Ga-doped ZnO
図2Dに、GaドープZnO単結晶層54a及びCu層54bの概略的な断面図を示す。たとえば約1/20原子層の厚さをもつCu層54bは、本図に示すように、GaドープZnO単結晶層54a表面の一部に付着するCuで形成される。以後、図面の簡略化のため、このようなCuの付着態様も含め、交互積層構造を図2Cの層構造で表す。
FIG. 2D shows a schematic cross-sectional view of the Ga-doped ZnO
図3Aは、サンプルのアニール前試料の交互積層構造54について、CV特性(上欄)及び不純物濃度のデプスプロファイル(下欄)を示すグラフであり、図12Aと同図である。
FIG. 3A is a graph showing CV characteristics (upper column) and impurity concentration depth profile (lower column) of the alternately
CV特性を示すグラフから、交互積層構造54がn型導電性を備えることがわかる。また、不純物濃度のデプスプロファイルを示すグラフからは、交互積層構造54の不純物濃度(ドナー濃度)Ndは1.0×1021cm−3程度であることがわかる。
From the graph showing the CV characteristics, it can be seen that the alternately
図3Bは、交互積層構造54における、Cuの絶対濃度[Cu]及びGaの絶対濃度[Ga]の、SIMSによるデプスプロファイルを示すグラフであり、図12Bと同図である。
FIG. 3B is a graph showing a SIMS depth profile of the Cu absolute concentration [Cu] and the Ga absolute concentration [Ga] in the alternate
交互積層構造54におけるCu濃度[Cu]は2.0×1021cm−3程度、Ga濃度[Ga]は7.0×1020cm−3程度であることがわかる。
It can be seen that the Cu concentration [Cu] in the alternately
次に、サンプルにアニール処理を施した。アニールは2段階に分けて行った。 Next, the sample was annealed. Annealing was performed in two stages.
図4A、図4Bは、それぞれ第1アニール、第2アニールのアニール温度を示すグラフである。第1アニールは、減圧下(1気圧未満)で行う。第2アニールは、第1アニールの終了後、たとえばキャリアガスに水蒸気を含ませた雰囲気中で行う。実験においては、第1アニールを、1Pa未満の圧力下、420℃で10分間実施した。また第2アニールは、流量1L/minの酸素(キャリアガス)に水蒸気を含ませ、400℃で60分間実施した。なお、ボイリングした純水中にO2ガスを通すことで、水蒸気を含ませた。 4A and 4B are graphs showing the annealing temperatures of the first annealing and the second annealing, respectively. The first annealing is performed under reduced pressure (less than 1 atmosphere). The second annealing is performed after the first annealing is completed, for example, in an atmosphere in which water vapor is included in the carrier gas. In the experiment, the first annealing was performed at 420 ° C. for 10 minutes under a pressure of less than 1 Pa. The second annealing was performed at 400 ° C. for 60 minutes by adding water vapor to oxygen (carrier gas) at a flow rate of 1 L / min. Note that by passing the O 2 gas in pure water was boiling, was included steam.
図5Aは、サンプルの第1アニール後試料の交互積層構造54形成位置における、CV特性及び不純物濃度のデプスプロファイルを示すグラフである。上欄にCV特性、下欄に不純物濃度のデプスプロファイルを示すグラフを記載した。グラフの両軸の意味するところは、図12Aに示すグラフのそれらに等しい。
FIG. 5A is a graph showing a depth profile of CV characteristics and impurity concentration at the position where the alternately
CV特性を示すグラフ(上欄)を参照すると、右上がりの曲線(電圧が増加すると1/C2が増加する関係)が得られ、第1アニール終了後においても、交互積層構造54形成位置はn型導電性を備えることが示されている。 Referring to the graph showing the CV characteristics (upper column), a curve that rises to the right (the relationship in which 1 / C 2 increases as the voltage increases) is obtained. It has been shown to have n-type conductivity.
不純物濃度のデプスプロファイルを示すグラフ(下欄)を参照すると、第1アニール後試料における交互積層構造54形成位置の不純物濃度(ドナー濃度)Ndは3.0×1021cm−3程度であることがわかる。第1アニール後試料の交互積層構造54形成位置は、アニール前試料(図3A参照)の交互積層構造54とほぼ等しい不純物濃度(ドナー濃度)Ndを備える低抵抗のn型層となっている。
Referring to the graph (lower column) showing the depth profile of the impurity concentration, the impurity concentration (donor concentration) N d of alternate stacked
図5Bは、サンプルの第2アニール後試料の交互積層構造54形成位置における、CV特性及び不純物濃度のデプスプロファイルを示すグラフである。上欄にCV特性、下欄に不純物濃度のデプスプロファイルを示すグラフを記載した。グラフの両軸の意味するところは、図12Dに示すグラフのそれらに等しい。
FIG. 5B is a graph showing a CV characteristic and a depth profile of the impurity concentration at the position where the alternately
CV特性を示すグラフ(上欄)を参照すると、右下がりの曲線(電圧が増加すると1/C2が減少する関係)が得られ、交互積層構造54形成位置がp型導電性を備えることが示されている。
Referring to the graph showing the CV characteristics (upper column), a downward-sloping curve (relation that 1 / C 2 decreases as the voltage increases) is obtained, and the position where the alternate
不純物濃度のデプスプロファイルを示すグラフ(下欄)を参照すると、第2アニール後試料における交互積層構造54形成位置(p型層形成位置)の不純物濃度(アクセプタ濃度)Naは3.5×1020cm−3程度であることがわかる。
Referring to the graph (lower column) showing the depth profile of the impurity concentration, the impurity concentration (acceptor concentration) N a of alternate stacked
なお、第2アニール終了後の交互積層構造54形成位置(p型層形成位置)において、Cu濃度(ドーピング濃度)は、1021cm−3オーダーであった。またCuとGaは、層の厚さ方向の全体にわたって均一にドープされていた。
Note that the Cu concentration (doping concentration) was on the order of 10 21 cm −3 at the position where the alternate
第2アニールにより、交互積層構造54形成位置はp型化する。先の出願に係る提案においては、p型化したZnO系半導体構造のアクセプタ濃度Naが6.0×1017cm−3程度(図12D参照)であったが、本願実験に係るp型層のアクセプタ濃度Naは、それよりも3桁程度高い。また、本願実験においては、p型層のアクセプタ濃度Naは、たとえば1021cm−3オーダー(図3B参照)である交互積層構造54のCu濃度(ドーピング濃度)に対し、1桁程度低いだけである。
By the second annealing, the position where the alternate
本願発明者らが行った実験より、サンプルの交互積層構造54は、アズグロウンでn型であり(図3A参照)、第1アニール及び第2アニールを経て、高いアクセプタ濃度Naを有するp型層となる(図5B参照)ことが理解される。
According to the experiments conducted by the inventors of the present application, the sample alternately
減圧下、適当な温度と時間で熱処理(第1アニール)を行うことにより、Znがある程度結晶から脱離(蒸発)するとともに、交互積層構造54内にCuとGaが拡散すると考えられる。Znの脱離により、CuがZn位置を置換しやすくなり、Cuは先の出願に係る提案においてよりも、高い割合でZn位置を置換する。Cuがp型不純物として機能する一方、第1アニールによって、交互積層構造54形成位置に、ドナー源として作用するO空孔が生じるため、交互積層構造54形成位置の不純物濃度(ドナー濃度)は、第1アニール前とほぼ等しい。
By performing heat treatment (first annealing) at an appropriate temperature and time under reduced pressure, it is considered that Zn is desorbed (evaporated) from the crystal to some extent, and Cu and Ga are diffused in the alternately
第2アニールを行うことにより、O空孔にOが補完され、交互積層構造54形成位置がp型化すると考えられる。CuがZn位置を高い割合で置換しているため、高いアクセプタ濃度Naを有するp型層(CuとGaが共ドープされたp型ZnO単結晶層)が形成されると思われる。
By performing the second annealing, it is considered that O is supplemented to the O vacancies, and the position where the alternately
実験においては、キャリアガスに水蒸気(H2O)を含ませた雰囲気の中で第2アニールを実施した。H2Oは酸化剤として機能する。したがってH2Oに限らず、酸化剤を含む雰囲気中で第2アニールを行うことにより、O空孔を補完して、交互積層構造54形成位置をp型化することができる。H2Oのほか、O2、NO2、N2O、オゾン、メチルアルコール、エチルアルコール等を酸化剤として使用することが可能である。
In the experiment, the second annealing was performed in an atmosphere in which water vapor (H 2 O) was included in the carrier gas. H 2 O functions as an oxidizing agent. Therefore, by performing the second annealing not only in H 2 O but also in an atmosphere containing an oxidant, the O vacancies can be complemented and the formation position of the alternately
また、実験においては、第2アニール時のキャリアガスに酸素を使用した。キャリアガスに特段の制限はないが、交互積層構造54形成位置から脱離する酸素を減少させるという観点からは、酸素を用いることが好ましい。
In the experiment, oxygen was used as a carrier gas during the second annealing. Although there is no particular limitation on the carrier gas, it is preferable to use oxygen from the viewpoint of reducing oxygen desorbed from the position where the alternately
更に、本願発明者らの鋭意研究の結果、交互積層構造54に対し、第1アニールを、減圧下、たとえば1Pa未満の圧力下、350℃〜500℃の処理温度、5分〜20分の処理時間で行うことにより、更に、第2アニールを、キャリアガスにH2Oを含ませた雰囲気の中(酸化剤を含む雰囲気中)、350℃〜450℃の処理温度、10分〜90分の処理時間で行うことにより、たとえばアクセプタ濃度Naが1020cm−3オーダー以上であり、Cu濃度(ドーピング濃度)とほぼ等しい、または1桁程度低いだけの、高アクセプタ濃度p型層(Cu、Ga共ドープp型ZnO層)を形成可能であることがわかった。
Furthermore, as a result of intensive studies by the inventors of the present application, the first annealing is performed on the alternately
本願実験に係る方法は、CuのZn位置置換率を向上させ、CuをZn位置に効率的に置換して、交互積層構造54を高いアクセプタ濃度Naを備えるp型層とする、p型ZnO半導体層の製造方法である。 The method according to the experiment of this application improves the Zn position substitution rate of Cu, efficiently substitutes Cu for the Zn position, and makes the alternate stacked structure 54 a p-type layer having a high acceptor concentration Na. It is a manufacturing method of a semiconductor layer.
実験より、GaドープZnO単結晶層成長工程とCu付着工程を交互に繰り返し形成した交互積層構造に2段階のアニール処理を施すことで、Cu及びGaが、層の厚さ方向の全体にわたって均一にドープされ、アクセプタ濃度の高いCu、Ga共ドープp型ZnO層(p型ZnO系半導体層)が得られることがわかった。続いて、Cu、Ga共ドープZnO層をp型半導体層に用い、ZnO系半導体発光素子を製造する第1実施例について説明する。 From the experiment, Cu and Ga are uniformly distributed over the entire thickness direction of the layer by applying a two-step annealing process to the alternately laminated structure in which the Ga-doped ZnO single crystal layer growth step and the Cu deposition step are alternately repeated. It was found that a doped Cu and Ga co-doped p-type ZnO layer (p-type ZnO-based semiconductor layer) having a high acceptor concentration was obtained. Next, a first example of manufacturing a ZnO-based semiconductor light emitting device using a Cu, Ga co-doped ZnO layer as a p-type semiconductor layer will be described.
図6A及び図6Bは、実施例によるZnO系半導体発光素子の製造方法の概略を示すフローチャートである。なお、実施例においては半導体発光素子について説明するが、本発明は、発光素子に限らず広く半導体素子について適用することができる。 6A and 6B are flowcharts illustrating an outline of a method for manufacturing a ZnO-based semiconductor light emitting device according to an embodiment. In addition, although an Example demonstrates a semiconductor light-emitting device, this invention is applicable not only to a light-emitting device but a semiconductor device widely.
図6Aに示すように、実施例によるZnO系半導体発光素子の製造方法は、基板上方にn型ZnO系半導体層を形成する工程(ステップS101)と、ステップS101で形成されたn型ZnO系半導体層上方に、p型ZnO系半導体層を形成する工程(ステップS102)を含む。 As shown in FIG. 6A, a method for manufacturing a ZnO-based semiconductor light emitting device according to an embodiment includes a step of forming an n-type ZnO-based semiconductor layer above a substrate (step S101) and an n-type ZnO-based semiconductor formed in step S101. A step (step S102) of forming a p-type ZnO-based semiconductor layer above the layer is included.
また、ステップS102のp型ZnO系半導体層形成工程は、図6Bに示すように、ステップS102a〜ステップS102eの5工程を含む。 Further, the p-type ZnO-based semiconductor layer forming step in step S102 includes five steps of steps S102a to S102e as shown in FIG. 6B.
p型ZnO系半導体層形成工程(ステップS102)においては、まずZn、O、必要に応じてMg、及びGaを供給して、Gaがドープされたn型MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する(ステップS102a)。次に、ステップS102aで形成された、Gaドープn型MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層上にCuを供給する(ステップS102b)。ステップS102aとステップS102bを交互に繰り返して積層構造を形成する(ステップS102c)。そしてステップS102cで形成された積層構造を減圧下(1気圧未満)でアニールする(ステップS102d)。たとえば第1アニールの処理温度は350℃〜500℃、処理時間は5分〜20分である。更に、酸化剤を含む雰囲気中で第2アニールを行い、CuとGaが共ドープされたp型MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)層を形成する(ステップS102e)。たとえば第2アニールの処理温度は350℃〜450℃、処理時間は10分〜90分である。 In the p-type ZnO-based semiconductor layer forming step (step S102), first, Zn, O, Mg and Ga are supplied as necessary, and Ga-doped n-type Mg x Zn 1-x O (0 ≦ 0). x ≦ 0.6) A single crystal layer is formed (step S102a). Next, Cu is supplied onto the Ga-doped n-type Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer formed in step S102a (step S102b). Step S102a and step S102b are alternately repeated to form a stacked structure (step S102c). Then, the laminated structure formed in step S102c is annealed under reduced pressure (less than 1 atm) (step S102d). For example, the processing temperature of the first annealing is 350 ° C. to 500 ° C., and the processing time is 5 minutes to 20 minutes. Further, second annealing is performed in an atmosphere containing an oxidant to form a p-type Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) layer co-doped with Cu and Ga (step S102e). For example, the processing temperature of the second annealing is 350 ° C. to 450 ° C., and the processing time is 10 minutes to 90 minutes.
図7A及び図7Bを参照し、ホモ構造のZnO系半導体発光素子を製造する第1実施例について詳細に説明する。図7Aは、第1実施例による製造方法で製造されるZnO系半導体発光素子の概略的な断面図である。 With reference to FIGS. 7A and 7B, a first embodiment for producing a homostructure ZnO-based semiconductor light-emitting device will be described in detail. FIG. 7A is a schematic cross-sectional view of a ZnO based semiconductor light emitting device manufactured by the manufacturing method according to the first embodiment.
ZnO基板1上に、成長温度300℃で、ZnフラックスFZnを0.15nm/s(JZn=9.9×1014atoms/cm2s)とし、Oラジカルビーム照射条件をRFパワー300W、O2流量2.0sccm(JO=8.1×1014atoms/cm2s)として、厚さ30nmのZnOバッファ層2を成長させた。ZnOバッファ層2の結晶性及び表面平坦性の改善のため、900℃で10分間のアニールを行った。
On the
ZnOバッファ層2上に、成長温度900℃で、Zn、O及びGaを同時に供給し、厚さ150nmのn型ZnO層3を成長させた(たとえば図6AのステップS101)。ZnフラックスFZnは0.15nm/s(JZn=9.9×1014atoms/cm2s)、Oラジカルビーム照射条件はRFパワー250W、O2流量1.0sccm(JO=4.0×1014atoms/cm2s)、Gaのセル温度は460℃とした。n型ZnO層3のGa濃度は、たとえば1.5×1018cm−3である。
On the
n型ZnO層3上に、成長温度900℃、ZnフラックスFZnを0.03nm/s(JZn=2.0×1014atoms/cm2s)、Oラジカルビーム照射条件をRFパワー300W、O2流量2.0sccm(JO=8.1×1014atoms/cm2s)として、厚さ15nmのアンドープZnO活性層4を成長させた。
On the n-
続いて、アンドープZnO活性層4上に、Cu、Ga共ドープp型ZnO層5を形成した(図6AのステップS102)。
Subsequently, a Cu and Ga co-doped p-
まず、基板温度を250℃とし、サンプルのアニール前試料作製時と等しいシャッタシーケンス(図2B参照)で、Zn、O及びGaと、Cuとを異なるタイミングで供給し、交互積層構造を形成した。具体的には、Zn、O及びGaを供給してGaドープZnO単結晶層を成長させる工程(図6BのステップS102a)と、GaドープZnO単結晶層上にCuを供給する工程(図6BのステップS102b)を交互に60回ずつ繰り返し、厚さ120nmの交互積層構造を形成した(図6BのステップS102c)。1回当たりのGaドープZnO単結晶層成長期間は10秒、1回当たりのCu供給期間は50秒である。GaドープZnO単結晶層成長工程でのZnフラックスFZnは0.13nm/s(JZn=8.6×1014atoms/cm2s)、Oラジカルビーム照射条件はRFパワー300W、O2流量2.0sccm(JO=8.1×1014atoms/cm2s)とし、Gaのセル温度TGaは600℃とした。VI/IIフラックス比は0.94である。また、Cu供給工程でのCuのセル温度TCuは990℃とし、CuフラックスFCuを0.004nm/sとした。
First, the substrate temperature was set to 250 ° C., and Zn, O, Ga, and Cu were supplied at different timings in a shutter sequence (see FIG. 2B) that was the same as that in the preparation of the sample before annealing of the sample, thereby forming an alternately laminated structure. Specifically, a step of growing a Ga-doped ZnO single crystal layer by supplying Zn, O, and Ga (step S102a in FIG. 6B), and a step of supplying Cu on the Ga-doped ZnO single crystal layer (in FIG. 6B). Step S102b) was repeated 60 times alternately to form an alternating stacked structure with a thickness of 120 nm (step S102c in FIG. 6B). The growth period of the Ga-doped ZnO single crystal layer per time is 10 seconds, and the Cu supply period per time is 50 seconds. Zn flux F Zn in the Ga-doped ZnO single crystal layer growth step is 0.13 nm / s (J Zn = 8.6 × 10 14 atoms / cm 2 s), O radical beam irradiation conditions are RF power 300 W, O 2 flow rate. 2.0 sccm (
図7Bは、交互積層構造5Aの概略的な断面図である。交互積層構造5Aは、GaドープZnO単結晶層5aとCu層5bが交互に積層された積層構造を有する。GaドープZnO単結晶層5aの厚さは2.0nm程度、Cu層5bの厚さは1原子層以下、たとえば約1/20原子層(GaドープZnO単結晶層5a表面のCu被覆率が5%程度)である。交互積層構造5Aはn型導電性を示し、ドナー濃度Ndは、たとえば1.0×1021cm−3である。
FIG. 7B is a schematic cross-sectional view of the alternately
次に、交互積層構造5Aに第1アニールを施した(図6BのステップS102d)。第1アニールは、たとえば1Pa未満の圧力に減圧した条件で、420℃で10分間実施した。第1アニールによって、交互積層構造5A内にCuとGaが拡散する。Znがある程度結晶から脱離(蒸発)し、CuがZn位置を置換しやすくなるため、Cuは、高い割合でZn位置を置換する。Cuがp型不純物として機能する一方、ドナー源として作用するO空孔が生じるため、交互積層構造5A形成位置は、交互積層構造5Aとほぼ等しい不純物濃度(ドナー濃度)Ndを備えるn型層となる。
Next, first annealing was performed on the alternately
更に、流量1L/minの酸素に水蒸気を含ませた雰囲気中、第2アニールを400℃で60分間実施し(図6BのステップS102e)、O空孔を補完して、交互積層構造5A形成位置をp型化し、Cu、Ga共ドープp型ZnO層5を形成した。
Further, the second annealing is performed at 400 ° C. for 60 minutes in an atmosphere in which water vapor is included in oxygen at a flow rate of 1 L / min (step S102e in FIG. 6B), and the O vacancies are complemented to form the alternate
その後、ZnO基板1の裏面にn側電極6nを形成した。Cu、Ga共ドープp型ZnO層5上にはp側電極6pを形成し、p側電極6p上にボンディング電極7を形成した。n側電極6nは、厚さ10nmのTi層上に厚さ500nmのAu層を積層して形成することができる。p側電極6pは、サイズ300μm□で厚さ1nmのNi層上に、厚さ10nmのAu層を積層して形成し、ボンディング電極7は、サイズ100μm□で厚さ500nmのAu層で形成した。このようにして、第1実施例による方法でZnO系半導体発光素子が作製された。
Thereafter, an n-
第1実施例による製造方法で製造されるZnO系半導体発光素子のCu、Ga共ドープp型ZnO層5は、CuとGaが共ドープされ、アクセプタ濃度Naが1020cm−3オーダー以上、たとえば3.5×1020cm−3の高いアクセプタ濃度Naを有するp型ZnO系半導体単結晶層である。Cu、Ga共ドープp型ZnO層5においては、Cu濃度[Cu]及びGa濃度[Ga]は、ともに層の厚さ方向にほぼ一定であり、Cu濃度[Cu]は、たとえば1021cm−3オーダーである。Cu、Ga共ドープp型ZnO層5は、Cu濃度[Cu]とほぼ等しい、または1桁程度低いだけの、高アクセプタ濃度Naを有するp型層である。
Cu ZnO based semiconductor light emitting device manufactured by the manufacturing method according to the first embodiment, Ga co-doped p-
第1実施例による製造方法によれば、Cu及びGaが層の厚さ方向の全体にわたって均一にドープされ、アクセプタ濃度の高いCu、Ga共ドープp型ZnO層5を備えるZnO系半導体発光素子を製造することができる。
According to the manufacturing method according to the first embodiment, a ZnO-based semiconductor light-emitting element including Cu and Ga co-doped p-
実験及び第1実施例では、Cu、Ga共ドープp型ZnO層を形成した(たとえば図6BのステップS102a〜ステップS102eのMgxZn1−xO表記においてx=0)が、Gaドープn型MgxZn1−xO(0<x≦0.6)単結晶層成長工程とCu付着工程とを交互に繰り返して形成した交互積層構造に第1アニール及び第2アニールを施すことにより、高いアクセプタ濃度Naを有するCu、Ga共ドープMgxZn1−xO(0<x≦0.6)単結晶層を得ることができる(たとえば図6BのステップS102a〜ステップS102eのMgxZn1−xO表記においてx≠0)。 In the experiment and the first example, a Cu and Ga co-doped p-type ZnO layer was formed (for example, x = 0 in the notation of Mg x Zn 1-x O in step S102a to step S102e in FIG. 6B). By applying the first annealing and the second annealing to the alternately laminated structure formed by alternately repeating the Mg x Zn 1-x O (0 <x ≦ 0.6) single crystal layer growth step and the Cu adhesion step, Cu having an acceptor concentration N a, Ga codoped Mg x Zn 1-x O ( 0 <x ≦ 0.6) of the step S102a~ step S102e single crystal layer can be obtained (e.g., FIG. 6B Mg x Zn 1 -X 0 in the x-O notation).
図8は、Cu、Ga共ドープp型MgxZn1−xO(0<x≦0.6)単結晶層形成時、交互積層構造を作製する際のZnセル、Mgセル、Oセル、Gaセル、及びCuセルのシャッタシーケンスの一例を示すタイムチャートである。 8, Cu, Ga co-doped p-type Mg x Zn 1-x O time (0 <x ≦ 0.6) single crystal layer formed, Zn cells making the alternate stacked structure, Mg cells, O cell, It is a time chart which shows an example of the shutter sequence of Ga cell and Cu cell.
交互積層構造の作製においては、Znセルシャッタ、Mgセルシャッタ、Oセルシャッタ、及びGaセルシャッタを開き、Cuセルシャッタを閉じるGaドープMgxZn1−xO(0<x≦0.6)単結晶層成長工程と、Znセルシャッタ、Mgセルシャッタ、Oセルシャッタ、及びGaセルシャッタを閉じ、Cuセルシャッタを開くCu付着工程とを交互に繰り返す。 In the production of the alternately laminated structure, a Ga-doped Mg x Zn 1-x O (0 <x ≦ 0.6) is opened, which opens a Zn cell shutter, an Mg cell shutter, an O cell shutter, and a Ga cell shutter and closes a Cu cell shutter. The single crystal layer growth step and the Cu deposition step of closing the Zn cell shutter, Mg cell shutter, O cell shutter, and Ga cell shutter and opening the Cu cell shutter are alternately repeated.
本図に示す例では、GaドープMgxZn1−xO単結晶層成長工程におけるZnセルシャッタの開期間が、Mgセルシャッタ、Oセルシャッタ、及びGaセルシャッタの開期間を含むように設定されている。具体的には、Mgセルシャッタ、Oセルシャッタ、及びGaセルシャッタの開閉は同時に行われ、Mgセルシャッタ、Oセルシャッタ、及びGaセルシャッタの開期間の前後に、Znセルシャッタの開期間が延長される。 In the example shown in this figure, the open period of the Zn cell shutter in the Ga-doped Mg x Zn 1-x O single crystal layer growth step is set to include the open periods of the Mg cell shutter, the O cell shutter, and the Ga cell shutter. Has been. Specifically, the Mg cell shutter, the O cell shutter, and the Ga cell shutter are simultaneously opened and closed, and the Zn cell shutter open period is set before and after the Mg cell shutter, O cell shutter, and Ga cell shutter open periods. Extended.
たとえば、Mgセルシャッタ、Oセルシャッタ、及びGaセルシャッタの1回当たりの開期間は10秒である。Mgセルシャッタ、Oセルシャッタ、及びGaセルシャッタの開期間の前後にZnセルシャッタの開期間を1秒ずつ延長し、Znセルシャッタの1回当たりの開期間を12秒とする。Znセルシャッタ、Mgセルシャッタ、Oセルシャッタ、及びGaセルシャッタがすべて開状態となる10秒間が、1回当たりのGaドープMgxZn1−xO単結晶層成長期間である。Cuセルシャッタの1回当たりの開期間は50秒である。 For example, the open period per time of the Mg cell shutter, the O cell shutter, and the Ga cell shutter is 10 seconds. The open period of the Zn cell shutter is extended by 1 second before and after the open period of the Mg cell shutter, the O cell shutter, and the Ga cell shutter, and the open period of each Zn cell shutter is 12 seconds. 10 seconds when all of the Zn cell shutter, Mg cell shutter, O cell shutter, and Ga cell shutter are in the open state is the Ga-doped Mg x Zn 1-x O single crystal layer growth period. The opening period per time of the Cu cell shutter is 50 seconds.
次に、Cu、Ga共ドープp型MgxZn1−xO(0<x≦0.6)単結晶層を備える、ダブルへテロ構造のZnO系半導体発光素子を製造する第2実施例及び第3実施例について説明する。 Next, a second example of manufacturing a double heterostructure ZnO-based semiconductor light-emitting device including a Cu, Ga co-doped p-type Mg x Zn 1-x O (0 <x ≦ 0.6) single crystal layer and A third embodiment will be described.
図9Aは、第2実施例による製造方法で製造されるZnO系半導体発光素子の概略的な断面図である。 FIG. 9A is a schematic cross-sectional view of a ZnO based semiconductor light emitting device manufactured by the manufacturing method according to the second embodiment.
ZnO基板11上にZn及びOを同時に供給し、たとえば厚さ30nmのZnOバッファ層12を成長させた。一例として、成長温度を300℃、ZnフラックスFZnを0.15nm/s、Oラジカルビーム照射条件をRFパワー300W、O2流量2.0sccmとすることができる。ZnOバッファ層12の結晶性及び表面平坦性の改善のため、900℃で10分間のアニールを行った。
Zn and O were simultaneously supplied on the
ZnOバッファ層12上にZn、O及びGaを同時に供給し、たとえば成長温度900℃で、厚さ150nmのn型ZnO層13を成長させた。ZnフラックスFZnを0.15nm/s、Oラジカルビーム照射条件をRFパワー250W、O2流量1.0sccm、Gaのセル温度を460℃とした。n型ZnO層13のGa濃度は、たとえば1.5×1018cm−3となる。
Zn, O, and Ga were simultaneously supplied on the
n型ZnO層13上にZn、Mg及びOを同時に供給し、たとえば厚さ30nmのn型MgZnO層14を成長させた。成長温度を900℃、ZnフラックスFZnを0.1nm/s、MgフラックスFMgを0.025nm/s、Oラジカルビーム照射条件をRFパワー300W、O2流量2.0sccmとすることができる。n型MgZnO層14のMg組成は、たとえば0.3である。
Zn, Mg and O were simultaneously supplied on the n-
n型MgZnO層14上にZn及びOを同時に供給し、たとえば成長温度900℃で、厚さ10nmのZnO活性層15を成長させた。ZnフラックスFZnを0.1nm/s、Oラジカルビーム照射条件をRFパワー300W、O2流量2.0sccmとした。
Zn and O were simultaneously supplied on the n-
なお、図9Bに示すように、活性層15として、単層のZnO層ではなく、MgZnO障壁層15bとZnO井戸層15wが交互に積層された量子井戸構造を採用することができる。
As shown in FIG. 9B, the
基板温度をたとえば250℃まで下げ、Gaドープn型MgZnO単結晶層成長工程とCu付着工程を交互に繰り返し、活性層15上に交互積層構造を形成した。交互積層構造形成に当たってのZnセル、Mgセル、Oセル、Gaセル、及びCuセルのシャッタシーケンスは、たとえば図8に示すそれと同様である。
The substrate temperature was lowered to, for example, 250 ° C., and the Ga-doped n-type MgZnO single crystal layer growth step and the Cu deposition step were alternately repeated to form an alternately laminated structure on the
たとえば、1回当たりのGaドープMgZnO単結晶層成長工程での成長期間を10秒とし、1回当たりのCu付着工程におけるCu供給期間を50秒とした。GaドープMgZnO単結晶層成長工程でのZnフラックスFZnは0.13nm/s、MgフラックスFMgは0.04nm/s、Oラジカルビーム照射条件は、RFパワー300W、O2流量2.0sccm、Gaのセル温度TGaは600℃である。VI/IIフラックス比は0.79となる。Cu供給工程でのCuのセル温度TCuは990℃とし、CuフラックスFCuを0.004nm/sとした。GaドープMgZnO単結晶層成長工程とCu付着工程を交互に60回ずつ繰り返し、厚さ120nmの交互積層構造を得た。 For example, the growth period in the single Ga-doped MgZnO single crystal layer growth step is 10 seconds, and the Cu supply period in one Cu deposition step is 50 seconds. Zn flux F Zn in the Ga-doped MgZnO single crystal layer growth step is 0.13 nm / s, Mg flux F Mg is 0.04 nm / s, O radical beam irradiation conditions are RF power 300 W, O 2 flow rate 2.0 sccm, The cell temperature T Ga of Ga is 600 ° C. The VI / II flux ratio is 0.79. The Cu cell temperature T Cu in the Cu supplying step was 990 ° C., and the Cu flux F Cu was 0.004 nm / s. The Ga-doped MgZnO single crystal layer growth step and the Cu deposition step were alternately repeated 60 times to obtain an alternately laminated structure having a thickness of 120 nm.
図9Cは、交互積層構造16Aの概略的な断面図である。交互積層構造16Aは、GaドープMgZnO単結晶層16aとCu層16bが交互に積層された積層構造を有する。GaドープMgZnO単結晶層16aの厚さは2.0nm程度、Cu層16bの厚さは1原子層以下、たとえば約1/20原子層(GaドープMgZnO単結晶層16a表面のCu被覆率が5%程度)である。交互積層構造16Aはn型導電性を示し、ドナー濃度Ndは、たとえば1.0×1020cm−3である。
FIG. 9C is a schematic cross-sectional view of the alternately
次に、交互積層構造16Aに第1アニールを施した。第1アニールは、たとえば1Pa未満の圧力に減圧した条件で、420℃で10分間実施した。第1アニールによって、交互積層構造16A内にCuとGaが拡散する。Zn及びMgがある程度結晶から脱離(蒸発)し、Zn及びMg位置をCuが置換しやすくなるため、Cuは、高い割合でZn及びMg位置を置換する。Cuがp型不純物として機能する一方、ドナー源として作用するO空孔が生じるため、交互積層構造16A形成位置は、交互積層構造16Aとほぼ等しい不純物濃度(ドナー濃度)Ndを備えるn型層となる。
Next, first annealing was performed on the alternate
更に、流量1L/minの酸素に水蒸気を含ませた雰囲気中、第2アニールを400℃で60分間実施し、O空孔を補完して、交互積層構造16A形成位置をp型化し、活性層15上にCu、Ga共ドープp型MgZnO層16を形成した。Cu、Ga共ドープp型MgZnO層16のMg組成は、たとえば0.3である。
Furthermore, in an atmosphere in which water vapor is included in oxygen at a flow rate of 1 L / min, the second annealing is performed at 400 ° C. for 60 minutes to complement the O vacancies, and the position where the alternate
その後、ZnO基板11の裏面にn側電極17nを形成し、Cu、Ga共ドープp型MgZnO層16上にp側電極17pを形成する。また、p側電極17p上にボンディング電極18を形成する。たとえばn側電極17nは、厚さ10nmのTi層上に厚さ500nmのAu層を積層して形成し、p側電極17pは、大きさ300μm□で厚さ1nmのNi層上に、厚さ10nmのAu層を積層して形成することができる。ボンディング電極18は、大きさ100μm□で厚さ500nmのAu層で形成する。このようにして、第2実施例による方法でZnO系半導体発光素子が作製される。
Thereafter, an n-
第2実施例においてはZnO基板11を用いたが、MgZnO基板、GaN基板、SiC基板、Ga2O3基板等の導電性基板を使用することが可能である。
Although the
第2実施例による製造方法で製造されるZnO系半導体発光素子のCu、Ga共ドープp型MgZnO層16は、CuとGaが共ドープされ、アクセプタ濃度Naが1020cm−3オーダー以上、たとえば2.0×1020cm−3の高いアクセプタ濃度Naを有するp型ZnO系半導体単結晶層である。Cu、Ga共ドープp型MgZnO層16においては、Cu濃度[Cu]及びGa濃度[Ga]は、ともに層の厚さ方向にほぼ一定であり、Cu濃度[Cu]は、たとえば1021cm−3オーダーである。Cu、Ga共ドープp型MgZnO層16は、Cu濃度[Cu]とほぼ等しい、または1桁程度低いだけの、高アクセプタ濃度Naを有するp型層である。
Cu ZnO based semiconductor light emitting device manufactured by the manufacturing method according to the second embodiment, Ga co-doped p-
第2実施例による製造方法によれば、Cu及びGaが層の厚さ方向の全体にわたって均一にドープされ、アクセプタ濃度の高いCu、Ga共ドープp型MgZnO層16を備えるZnO系半導体発光素子を製造することができる。
According to the manufacturing method according to the second embodiment, a ZnO-based semiconductor light-emitting element including Cu and Ga co-doped p-
図10は、第3実施例による製造方法で製造されるZnO系半導体発光素子の概略的な断面図である。第1及び第2実施例においては導電性基板上に結晶成長し、層形成を行ったが、第3実施例では絶縁性基板上に結晶成長する。 FIG. 10 is a schematic cross-sectional view of a ZnO based semiconductor light emitting device manufactured by the manufacturing method according to the third embodiment. In the first and second embodiments, crystals are grown on a conductive substrate and a layer is formed. In the third embodiment, crystals are grown on an insulating substrate.
絶縁性基板であるc面サファイア基板21上にMg及びOを同時に供給し、たとえば厚さ10nmのMgOバッファ層22を成長させる。一例として、成長温度を650℃、MgフラックスFMgを0.05nm/s、Oラジカルビーム照射条件をRFパワー300W、O2流量2.0sccmとすることができる。MgOバッファ層22は、その上のZnO系半導体がZn面を表面として成長するように制御する極性制御層として機能する。
Mg and O are simultaneously supplied on the c-
MgOバッファ層22上に、たとえば成長温度300℃、ZnフラックスFZnを0.15nm/s、Oラジカルビーム照射条件をRFパワー300W、O2流量2.0sccmとして、Zn及びOを同時に供給し、厚さ30nmのZnOバッファ層23を成長させる。ZnOバッファ層23はZn面で成長する。ZnOバッファ層23の結晶性及び表面平坦性の改善のため、900℃で30分間のアニールを行う。
On the
ZnOバッファ層23上にZn、O及びGaを同時に供給し、たとえば厚さ1.5μmのn型ZnO層24を成長させる。一例として成長温度を900℃、ZnフラックスFZnを0.05nm/s、Oラジカルビーム照射条件をRFパワー300W、O2流量2.0sccm、Gaのセル温度を480℃とする。
Zn, O, and Ga are simultaneously supplied on the
n型ZnO層24上に、Zn、Mg及びOを同時に供給し、たとえば厚さ30nmのn型MgZnO層25を成長させる。成長温度を900℃、ZnフラックスFZnを0.1nm/s、MgフラックスFMgを0.025nm/s、Oラジカルビーム照射条件をRFパワー300W、O2流量2.0sccmとすることができる。n型MgZnO層25のMg組成は、たとえば0.3である。
On the n-
n型MgZnO層25上に、たとえば厚さ10nmのZnO活性層26を成長させる。成長条件は、第2実施例における活性層15の場合と等しくすることができる。単層のZnO層のかわりに、量子井戸構造を採用してもよい。
On the n-
活性層26上にCu、Ga共ドープp型MgZnO層27を形成する。形成方法は、たとえば第2実施例におけるCu、Ga共ドープp型MgZnO層16のそれと等しい。
A Cu and Ga co-doped p-
第3実施例のc面サファイア基板21は絶縁性基板であるため、基板21裏面側にn側電極を取ることができない。そこでCu、Ga共ドープp型MgZnO層27の上面から、n型ZnO層24が露出するまでエッチングを行い、露出したn型ZnO層24上にn側電極28nを形成する。また、Cu、Ga共ドープp型MgZnO層27上にp側電極28pを形成し、p側電極28p上にボンディング電極29を形成する。
Since the c-
n側電極28nは、厚さ10nmのTi層上に厚さ500nmのAu層を積層して形成し、p側電極28pは、厚さ0.5nmのNi層上に厚さ10nmのAu層を積層して形成することができる。ボンディング電極29は、厚さ500nmのAu層で形成する。このようにして、第3実施例による方法でZnO系半導体発光素子が作製される。
The n-
第3実施例によるZnO系半導体発光素子のCu、Ga共ドープp型MgZnO層27は、第2実施例のCu、Ga共ドープp型MgZnO層16と同様の性質を有するp型ZnO系半導体単結晶層である。
The Cu and Ga co-doped p-
以上、実験及び実施例に沿って本発明を説明したが、本発明はこれらに制限されない。 As mentioned above, although this invention was demonstrated along experiment and an Example, this invention is not restrict | limited to these.
たとえば実験及び実施例においては、MBE装置の酸素源としてOラジカルを用いたが、オゾンやH2O、アルコールなどの極性酸化剤等、酸化力の強い他のガスを使用することができる。 For example, in the experiments and examples, O radicals were used as the oxygen source of the MBE apparatus, but other gases having strong oxidizing power, such as polar oxidants such as ozone, H 2 O, and alcohol, can be used.
また、実験及び実施例では、Gaドープn型MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層とCu層が交互に積層された構造に第1アニール及び第2アニールを行い、p型導電性を示すCu、Ga共ドープMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層を形成(p型化)した。Cu(IB族元素)とGa(IIIB族元素)を含む交互積層構造がアニールされることで、CuがVIB族元素であるOと1価(Cu+)の状態で結合しやすくなり、アクセプタとして機能する1価のCu+が2価のCu2+より生じやすくなる結果、交互積層構造がp型化すると考えられる。したがって、Cuにかえて、またはCuとともに、Cuと同様に複数の価数を形成しうるIB族元素であるAgを用いることができる。また、Gaに限らず、Gaと同じくIIIB族元素であるB、Al及びInを使用することができる。使用されるIIIB族元素は、B、Ga、Al及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素であればよい。 In the experiments and examples, the first annealing and the second annealing are performed on a structure in which Ga-doped n-type Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layers and Cu layers are alternately stacked. Then, a Cu, Ga co-doped Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer exhibiting p-type conductivity was formed (p-type). By annealing the alternately laminated structure containing Cu (IB group element) and Ga (IIIB group element), Cu becomes easy to bond with O which is a VIB group element in a monovalent (Cu + ) state, and as an acceptor. It is considered that the function of monovalent Cu + is more likely to occur than divalent Cu 2+ , and as a result, the alternate stacked structure becomes p-type. Therefore, Ag which is a group IB element capable of forming a plurality of valences similarly to Cu can be used instead of or together with Cu. Moreover, not only Ga but B, Al, and In which are IIIB group elements like Ga can be used. The group IIIB element used may be one or more group IIIB elements selected from the group consisting of B, Ga, Al, and In.
更に、本願発明者らは、Gaドープn型MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層とCu層が交互に積層された構造だけでなく、Cu(IB族元素)とGa(IIIB族元素)を含む種々のn型ZnO系半導体単結晶構造を形成し、これにアニールを施すことによって、Cu(IB族元素)とGa(IIIB族元素)が共ドープされたp型ZnO系半導体層を形成する方法、及び、該p型ZnO系半導体層を用いてZnO系半導体素子を製造する方法に関し、複数の提案を行っている。これらの提案においてアニール対象とされるn型ZnO系半導体単結晶構造も、第1アニール及び第2アニールを行うことで、高アクセプタ濃度Naを有するp型ZnO系半導体層とすることができる。 Furthermore, the inventors of the present application not only have a structure in which Ga-doped n-type Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layers and Cu layers are alternately stacked, but also Cu (Group IB elements). ) And Ga (IIIB group element), various n-type ZnO-based semiconductor single crystal structures were formed and annealed to co-doped Cu (IB group element) and Ga (IIIB group element) Several proposals have been made regarding a method for forming a p-type ZnO-based semiconductor layer and a method for manufacturing a ZnO-based semiconductor element using the p-type ZnO-based semiconductor layer. The n-type ZnO-based semiconductor single crystal structure to be annealed in these proposals can also be made into a p-type ZnO-based semiconductor layer having a high acceptor concentration Na by performing the first annealing and the second annealing.
図11A〜図11Dは、第1アニール及び第2アニールを行うことで、高いアクセプタ濃度Naを有するp型ZnO系半導体単結晶層を形成可能なn型ZnO系半導体単結晶構造の例を示す概略的な断面図である。 11A to 11D show examples of an n-type ZnO-based semiconductor single crystal structure capable of forming a p-type ZnO-based semiconductor single crystal layer having a high acceptor concentration Na by performing the first annealing and the second annealing. It is a schematic sectional drawing.
図11Aは、Cuドープn型MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層61aとGa層61bが交互に積層された交互積層構造61Aを示す(たとえば特願2013−036824号参照)。
FIG. 11A shows an alternate
交互積層構造61Aは、たとえば(i)Zn、(ii)O、(iii)必要に応じてMg、(iv)Cuまたは/及びAgであるIB族元素を供給して、IB族元素がドープされたMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層上に、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素を供給する工程を交互に繰り返して形成することが可能である。
For example, (i) Zn, (ii) O, (iii) supply an IB group element that is Mg, (iv) Cu, and / or Ag as needed, and the alternate
図11Bは、n型MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層62a、Cu層62b、n型MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層62a、Ga層62cがこの順に交互に積層された交互積層構造62Aを示す(たとえば特願2013−085380号参照)。
11B shows an n-type Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6)
交互積層構造62Aは、たとえば第1のMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、第1のMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層上に、Cuまたは/及びAgであるIB族元素を含むIB族元素層を形成する工程と、IB族元素層上に、第2のMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、第2のMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層上に、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素を含むIIIB族元素層を形成する工程を繰り返して形成することが可能である。
The alternate
図11Cは、n型MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層63aとCu、Ga層63bが交互に積層された交互積層構造63Aを示す(たとえば特願2013−085381号参照)。
FIG. 11C shows an alternate
交互積層構造63Aは、たとえばMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層上に、Cuまたは/及びAgであるIB族元素と、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素とを供給する工程を交互に繰り返して形成することが可能である。
The alternate
図11Dは、Cuドープn型MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層64aとGaドープn型MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層64bが交互に積層された交互積層構造64Aを示す(たとえば特願2013−138550号参照)。
FIG. 11D shows a Cu-doped n-type Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6)
交互積層構造64Aは、たとえばCuまたは/及びAgであるIB族元素がドープされた第1のMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、第1のMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層上に、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素がドープされた第2のMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程を交互に繰り返して形成することが可能である。
The alternate
これらの構造に対しても第1アニール及び第2アニールを行うことにより、高いアクセプタ濃度、たとえば1020cm−3オーダー以上のアクセプタ濃度Naを有するCu(IB族元素)、Ga(IIIB族元素)共ドープp型MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層を形成することができる。形成されるCu、Ga共ドープp型MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層は、たとえばCu濃度[Cu]とほぼ等しい、または1桁程度低いだけの、高アクセプタ濃度Naを有するp型層である。 By performing the first annealing and the second annealing also for these structures, Cu (IB group element), Ga (IIIB group element) having a high acceptor concentration, for example, an acceptor concentration Na of 10 20 cm −3 or more order. ) A co-doped p-type Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer can be formed. The formed Cu, Ga co-doped p-type Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer is, for example, approximately the same as the Cu concentration [Cu], or a high value that is only one digit lower. a p-type layer having an acceptor concentration N a.
その他、種々の変更、改良、組み合わせ等が可能なことは当業者に自明であろう。 It will be apparent to those skilled in the art that other various modifications, improvements, combinations, and the like can be made.
実施例による製造方法で製造されるp型ZnO系半導体層は、たとえば短波長(紫外〜青色波長領域)の光を発光する発光ダイオード(LED)やレーザダイオード(LD)に利用でき、また、これらの応用製品(各種インジケータ、LEDディスプレイ、CV/DVD用光源等)に利用可能である。更に、白色LEDやその応用製品(照明器具、各種インジケータ、ディスプレイ、各種表示器のバックライト等)に利用できる。また、紫外センサに利用可能である。 The p-type ZnO-based semiconductor layer manufactured by the manufacturing method according to the embodiment can be used for, for example, a light emitting diode (LED) or a laser diode (LD) that emits light of a short wavelength (ultraviolet to blue wavelength region). It can be used for application products (various indicators, LED displays, CV / DVD light sources, etc.). Furthermore, it can be used for white LEDs and their application products (lighting fixtures, various indicators, displays, backlights for various displays, etc.). Moreover, it can utilize for an ultraviolet sensor.
1 ZnO基板
2 ZnOバッファ層
3 n型ZnO層
4 アンドープZnO活性層
5 Cu、Ga共ドープp型ZnO層
5A 交互積層構造
5a GaドープZnO単結晶層
5b Cu層
6n n側電極
6p p側電極
7 ボンディング電極
11 ZnO基板
12 ZnOバッファ層
13 n型ZnO層
14 n型MgZnO層
15 活性層
15b MgZnO障壁層
15w ZnO井戸層
16 Cu、Ga共ドープp型MgZnO層
16A 交互積層構造
16a GaドープMgZnO単結晶層
16b Cu層
17n n側電極
17p p側電極
18 ボンディング電極
21 c面サファイア基板
22 MgOバッファ層
23 ZnOバッファ層
24 n型ZnO層
25 n型MgZnO層
26 活性層
27 Cu、Ga共ドープp型MgZnO層
28n n側電極
28p p側電極
29 ボンディング電極
51 ZnO基板
52 ZnOバッファ層
53 アンドープZnO層
54 交互積層構造
54a GaドープZnO単結晶層
54b Cu層
61a CuドープMgxZn1−xO単結晶層
61b Ga層
62a MgxZn1−xO単結晶層
62b Cu層
62c Ga層
63a MgxZn1−xO単結晶層
63b Cu、Ga層
64a CuドープMgxZn1−xO単結晶層
64b GaドープMgxZn1−xO単結晶層
61A〜64A 交互積層構造
71 真空チャンバ
72 Znソースガン
73 Oソースガン
74 Mgソースガン
75 Cuソースガン
76 Gaソースガン
77 ステージ
78 基板
79 膜厚計
80 RHEED用ガン
81 スクリーン
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ZnO substrate 2 ZnO buffer layer 3 n-type ZnO layer 4 Undoped ZnO active layer 5 Cu, Ga co-doped p-type ZnO layer 5A Alternating structure 5a Ga-doped ZnO single crystal layer 5b Cu layer 6n n-side electrode 6p p-side electrode 7 Bonding electrode 11 ZnO substrate 12 ZnO buffer layer 13 n-type ZnO layer 14 n-type MgZnO layer 15 active layer 15b MgZnO barrier layer 15w ZnO well layer 16 Cu, Ga co-doped p-type MgZnO layer 16A Alternating structure 16a Ga-doped MgZnO single crystal Layer 16b Cu layer 17n n-side electrode 17p p-side electrode 18 bonding electrode 21 c-plane sapphire substrate 22 MgO buffer layer 23 ZnO buffer layer 24 n-type ZnO layer 25 n-type MgZnO layer 26 active layer 27 Cu, Ga co-doped p-type MgZnO Layer 28n n-side electrode 28p p-side electrode 29 Bonding electrode 51 ZnO substrate 52 ZnO buffer layer 53 Undoped ZnO layer 54 Alternating structure 54a Ga-doped ZnO single crystal layer 54b Cu layer 61a Cu-doped Mg x Zn 1-x O single crystal layer 61b Ga layer 62a Mg x Zn 1-x O single crystal layer 62b Cu layer 62c Ga layer 63a Mg x Zn 1-x O single crystal layer 63b Cu, Ga layer 64a Cu doped Mg x Zn 1-x O single crystal layer 64b Ga doped Mg x Zn 1-x O single Crystal layers 61A to 64A Alternating laminated structure 71 Vacuum chamber 72 Zn source gun 73 O source gun 74 Mg source gun 75 Cu source gun 76 Ga source gun 77 Stage 78 Substrate 79 Film thickness meter 80 RHEED gun 81 Screen
Claims (20)
(b)前記n型ZnO系半導体単結晶構造に減圧下で第1アニールを施す工程と、
(c)前記第1アニール後のn型ZnO系半導体単結晶構造に、酸化剤を含む雰囲気中で第2アニールを施して、前記IB族元素と前記IIIB族元素が共ドープされたp型ZnO系半導体層を形成する工程と
を有するp型ZnO系半導体層の製造方法。 (A) Forming an n-type ZnO-based semiconductor single crystal structure containing a group IB element that is Cu or / and Ag and one or more group IIIB elements selected from the group consisting of B, Ga, Al, and In Process,
(B) applying a first anneal to the n-type ZnO-based semiconductor single crystal structure under reduced pressure;
(C) p-type ZnO in which the n-type ZnO-based semiconductor single crystal structure after the first annealing is subjected to a second annealing in an atmosphere containing an oxidizing agent, and the IB group element and the IIIB group element are co-doped. Forming a p-type ZnO-based semiconductor layer, comprising: forming a semiconductor-based semiconductor layer.
(a1)(i)Zn、(ii)O、(iii)必要に応じてMg、(iv)B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素を供給して、前記IIIB族元素がドープされたMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a2)前記MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層上にCuまたは/及びAgであるIB族元素を供給する工程と、
(a3)前記工程(a1)と前記工程(a2)を交互に繰り返して積層構造を形成する工程と
を含む請求項1〜5に記載のp型ZnO系半導体層の製造方法。 The step (a)
(A1) (i) Zn, (ii) O, (iii) Supply one or more group IIIB elements selected from the group consisting of Mg, (iv) B, Ga, Al, and In as necessary. Forming a Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer doped with the IIIB group element;
(A2) supplying a group IB element of Cu or / and Ag on the Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer;
(A3) The method for producing a p-type ZnO-based semiconductor layer according to any one of claims 1 to 5, comprising a step of alternately repeating the step (a1) and the step (a2) to form a laminated structure.
(a4)(i)Zn、(ii)O、(iii)必要に応じてMg、(iv)Cuまたは/及びAgであるIB族元素を供給して、前記IB族元素がドープされたMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a5)前記MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層上に、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素を供給する工程と、
(a6)前記工程(a4)と前記工程(a5)を交互に繰り返して積層構造を形成する工程と
を含む請求項1〜5に記載のp型ZnO系半導体層の製造方法。 The step (a)
(A4) (i) Zn, (ii) O, (iii) Mg x doped with IB group element by supplying Mg, (iv) Cu or / and Ag group IB element as required Forming a Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer;
(A5) One or more Group IIIB elements selected from the group consisting of B, Ga, Al, and In are supplied onto the Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer. Process,
(A6) The method for producing a p-type ZnO-based semiconductor layer according to any one of claims 1 to 5, comprising a step of alternately repeating the step (a4) and the step (a5) to form a laminated structure.
(a7)第1のMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a8)前記第1のMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層上に、Cuまたは/及びAgであるIB族元素を含むIB族元素層を形成する工程と、
(a9)前記IB族元素層上に、第2のMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a10)前記第2のMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層上に、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素を含むIIIB族元素層を形成する工程と、
(a11)前記工程(a7)〜(a10)を繰り返して積層構造を形成する工程と
を含む請求項1〜5に記載のp型ZnO系半導体層の製造方法。 The step (a)
(A7) forming a first Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer;
(A8) forming a group IB element layer containing a group IB element of Cu or / and Ag on the first Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer; ,
(A9) forming a second Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer on the group IB element layer;
(A10) One or more Group IIIB elements selected from the group consisting of B, Ga, Al, and In on the second Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer Forming a group IIIB element layer comprising:
(A11) The method for producing a p-type ZnO-based semiconductor layer according to any one of claims 1 to 5, comprising a step of repeating the steps (a7) to (a10) to form a laminated structure.
(a12)MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a13)前記MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層上に、Cuまたは/及びAgであるIB族元素と、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素とを供給する工程と、
(a14)前記工程(a12)と前記工程(a13)を交互に繰り返して積層構造を形成する工程と
を含む請求項1〜5に記載のp型ZnO系半導体層の製造方法。 The step (a)
(A12) a step of forming a Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer;
(A13) On the Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer, a group consisting of a group IB element that is Cu or / and Ag, and B, Ga, Al, and In Supplying one or more selected Group IIIB elements;
(A14) The method for producing a p-type ZnO-based semiconductor layer according to any one of claims 1 to 5, comprising a step of alternately repeating the step (a12) and the step (a13) to form a laminated structure.
(a15)Cuまたは/及びAgであるIB族元素がドープされた第1のMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a16)前記第1のMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層上に、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素がドープされた第2のMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a17)前記工程(a15)と前記工程(a16)を交互に繰り返して積層構造を形成する工程と
を含む請求項1〜5に記載のp型ZnO系半導体層の製造方法。 The step (a)
(A15) forming a first Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer doped with a group IB element of Cu or / and Ag;
(A16) One or more group IIIB elements selected from the group consisting of B, Ga, Al, and In on the first Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer Forming a second Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer doped with
(A17) The method for producing a p-type ZnO-based semiconductor layer according to any one of claims 1 to 5, comprising a step of alternately repeating the step (a15) and the step (a16) to form a laminated structure.
前記n型ZnO系半導体層上方に、p型ZnO系半導体層を形成する工程と
を有し、
前記p型ZnO系半導体層を形成する工程は、
(a)Cuまたは/及びAgであるIB族元素と、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素とを含むn型ZnO系半導体単結晶構造を形成する工程と、
(b)前記n型ZnO系半導体単結晶構造に減圧下で第1アニールを施す工程と、
(c)前記第1アニール後のn型ZnO系半導体単結晶構造に、酸化剤を含む雰囲気中で第2アニールを施して、前記IB族元素と前記IIIB族元素が共ドープされたp型ZnO系半導体層を形成する工程と
を備えるZnO系半導体素子の製造方法。 Forming an n-type ZnO-based semiconductor layer above the substrate;
Forming a p-type ZnO-based semiconductor layer above the n-type ZnO-based semiconductor layer,
The step of forming the p-type ZnO-based semiconductor layer includes:
(A) Forming an n-type ZnO-based semiconductor single crystal structure containing a group IB element that is Cu or / and Ag and one or more group IIIB elements selected from the group consisting of B, Ga, Al, and In Process,
(B) applying a first anneal to the n-type ZnO-based semiconductor single crystal structure under reduced pressure;
(C) p-type ZnO in which the n-type ZnO-based semiconductor single crystal structure after the first annealing is subjected to a second annealing in an atmosphere containing an oxidizing agent, and the IB group element and the IIIB group element are co-doped. Forming a ZnO-based semiconductor layer.
(a1)(i)Zn、(ii)O、(iii)必要に応じてMg、(iv)B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素を供給して、前記IIIB族元素がドープされたMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a2)前記MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層上にCuまたは/及びAgであるIB族元素を供給する工程と、
(a3)前記工程(a1)と前記工程(a2)を交互に繰り返して積層構造を形成する工程と
を含む請求項11〜15に記載のZnO系半導体素子の製造方法。 The step (a)
(A1) (i) Zn, (ii) O, (iii) Supply one or more group IIIB elements selected from the group consisting of Mg, (iv) B, Ga, Al, and In as necessary. Forming a Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer doped with the IIIB group element;
(A2) supplying a group IB element of Cu or / and Ag on the Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer;
The method of manufacturing a ZnO-based semiconductor element according to claim 11, comprising: (a3) a step of alternately repeating the step (a1) and the step (a2) to form a laminated structure.
(a4)(i)Zn、(ii)O、(iii)必要に応じてMg、(iv)Cuまたは/及びAgであるIB族元素を供給して、前記IB族元素がドープされたMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a5)前記MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層上に、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素を供給する工程と、
(a6)前記工程(a4)と前記工程(a5)を交互に繰り返して積層構造を形成する工程と
を含む請求項11〜15に記載のZnO系半導体素子の製造方法。 The step (a)
(A4) (i) Zn, (ii) O, (iii) Mg x doped with IB group element by supplying Mg, (iv) Cu or / and Ag group IB element as required Forming a Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer;
(A5) One or more Group IIIB elements selected from the group consisting of B, Ga, Al, and In are supplied onto the Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer. Process,
(A6) The method for manufacturing a ZnO-based semiconductor element according to any one of claims 11 to 15, comprising a step of alternately repeating the step (a4) and the step (a5) to form a laminated structure.
(a7)第1のMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a8)前記第1のMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層上に、Cuまたは/及びAgであるIB族元素を含むIB族元素層を形成する工程と、
(a9)前記IB族元素層上に、第2のMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a10)前記第2のMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層上に、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素を含むIIIB族元素層を形成する工程と、
(a11)前記工程(a7)〜(a10)を繰り返して積層構造を形成する工程と
を含む請求項11〜15に記載のZnO系半導体素子の製造方法。 The step (a)
(A7) forming a first Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer;
(A8) forming a group IB element layer containing a group IB element of Cu or / and Ag on the first Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer; ,
(A9) forming a second Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer on the group IB element layer;
(A10) One or more Group IIIB elements selected from the group consisting of B, Ga, Al, and In on the second Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer Forming a group IIIB element layer comprising:
(A11) The method for manufacturing a ZnO-based semiconductor element according to claim 11, further comprising a step of repeating the steps (a7) to (a10) to form a laminated structure.
(a12)MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a13)前記MgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層上に、Cuまたは/及びAgであるIB族元素と、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素とを供給する工程と、
(a14)前記工程(a12)と前記工程(a13)を交互に繰り返して積層構造を形成する工程と
を含む請求項11〜15に記載のZnO系半導体素子の製造方法。 The step (a)
(A12) a step of forming a Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer;
(A13) On the Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer, a group consisting of a group IB element that is Cu or / and Ag, and B, Ga, Al, and In Supplying one or more selected Group IIIB elements;
(A14) The method for manufacturing a ZnO-based semiconductor element according to any one of claims 11 to 15, including a step of alternately repeating the step (a12) and the step (a13) to form a laminated structure.
(a15)Cuまたは/及びAgであるIB族元素がドープされた第1のMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a16)前記第1のMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層上に、B、Ga、Al、及びInからなる群より選択される一以上のIIIB族元素がドープされた第2のMgxZn1−xO(0≦x≦0.6)単結晶層を形成する工程と、
(a17)前記工程(a15)と前記工程(a16)を交互に繰り返して積層構造を形成する工程と
を含む請求項11〜15に記載のZnO系半導体素子の製造方法。
The step (a)
(A15) forming a first Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer doped with a group IB element of Cu or / and Ag;
(A16) One or more group IIIB elements selected from the group consisting of B, Ga, Al, and In on the first Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer Forming a second Mg x Zn 1-x O (0 ≦ x ≦ 0.6) single crystal layer doped with
(A17) The method for manufacturing a ZnO-based semiconductor element according to any one of claims 11 to 15, including a step of alternately repeating the step (a15) and the step (a16) to form a laminated structure.
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