JP2015031510A - エンコーダ用スケール及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
基板と、
前記基板の上に積層されており、測長方向に沿って周期的な凹凸パターンが形成されている樹脂層と、
前記樹脂層を挟んで前記基板と反対側に支持された光透過性のカバー部材と、を備えたエンコーダ用スケールであって、
前記樹脂層は、前記凹凸パターンよりも高く立ち上がったカバー部材支持部を一体的に有し、
前記カバー部材は前記カバー部材支持部の先端面に当接して支持されている。
前記カバー部材支持部は前記測長方向に沿って長さを持つ壁状であることを特徴としてもよい。
また、上述のエンコーダ用スケールは、
前記カバー部材支持部が部分的に低くなっていることを特徴としてもよい。
前記カバー部材支持部の表面に微細な凹凸構造が形成されていることを特徴としてもよい。
また、上述のエンコーダ用スケールは、
前記カバー部材支持部の表面に薄膜が形成されていることを特徴としてもよい。
前記カバー部材支持部の外側において、前記基板と前記カバー部材とが接着剤で接着されていることを特徴としてもよい。
前記カバー部材が前記カバー部材支持部の前記先端面に接着剤を用いて固定されていることを特徴としてもよい。
また、上述のエンコーダ用スケールは、
前記カバー部材が前記カバー部材支持部の前記先端面にテープ状接着材料を用いて固定されていることを特徴としてもよい。
さらにまた、上述のエンコーダ用スケールは、
前記カバー部材が前記カバー部材支持部の前記先端面にレーザ溶着により固定されていることを特徴としてもよい。
基板上に樹脂層を形成し、
前記樹脂層に凹凸パターン及びカバー部材支持部をインプリント法により形成し、
前記樹脂層の上の、前記カバー部材支持部の外側に接着剤を塗布し、
前記カバー部材支持部の先端面にカバー部材を当接して、前記カバー部材と前記接着剤とを接触させ、
前記接着剤を固化させることにより、前記樹脂層と前記カバー部材とを接着する。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。
図1〜図4を用いて、本発明の実施の形態1にかかる回折格子スケールの構造を説明する。図1は、回折格子スケール100の斜視図である。図2は、回折格子スケール100の平面図である。図1及び図2では、わかりやすいようにカバーガラスを外した状態の図としている。図3は、回折格子スケール100の測長方向の断面図である。図4は、回折格子スケール100の測長方向に直交する幅方向の断面図である。
透明基板110は、使用の際に照射する光に対して光透過性を有する長手状の基板である。透明基板110の材質は、例えば、光学用ガラスや透明なプラスチックを用いる。より望ましくは、熱膨張係数の小さい、合成石英やセラミックス系のガラスを用いる。
樹脂層120は、透明基板110の上に積層されている。樹脂層120は、透光性の樹脂からなる。透光性の樹脂としては、例えば、アクリル系、エポキシ系、シリコーン系紫外線硬化型樹脂等の光硬化性樹脂や、ポリメタクリル酸メチル(PMMA)等の熱可塑性樹脂や、エポキシ系等の熱硬化樹脂などを用いることができる。
ベース部124は、透明基板110上に固着されている。ベース部124と透明基板110とを固着することにより、樹脂層120と透明基板110とが接触する面積を広くとることができるので、樹脂層120と透明基板110との密着性が向上する。
カバーガラス130は、回折格子として機能する凹凸パターン121を、傷や汚れから保護するために設けられる。カバーガラス130には、凹凸パターン121に照射される光をできる限り遮らないために、光透過性の高い材質を用い、必要に応じ片面または両面に反射防止処理を行うこともある。
n2=1.47の場合に、0次透過光を最小にできる格子高さhは、約850nm(0.85μm)であり、アスペクト比はR=4.25である。このとき、樹脂層120と透明基板110との屈折率差Δn=n2−n1=0.01である。
n2=1.5の場合に、0次透過光を最小にできる格子高さhは、約800nm(0.80μm)であり、アスペクト比はR=4.0である。このとき、Δn=0.04であり、Δn=0.01のときと比較して、格子高さhを50nm低くすることができる。
n2=1.8の場合に、0次透過光を最小にできる格子高さhは、約600nm(0.60μm)であり、アスペクト比はR=3.0である。このとき、Δn=0.34であり、Δn=0.01のときと比較して、格子高さhを250nm低くすることができる。
実施形態1にかかる回折格子スケール100には、種々の変形例が考えられる。
図12に示すように、カバーガラス支持部123の先端面に接着剤140を薄く塗布して、カバーガラス支持部123とカバーガラス130とを接着してもよい。
本発明にかかる回折格子スケールは、透過型スケールに限定されるものではなく、反射型スケールであってもよい。
図13及び図14を用いて、本発明の実施の形態2にかかる回折格子スケール1300の構造を説明する。図13は、回折格子スケール1300の構成を示す斜視図である。図14は、回折格子スケール1300の測長方向の断面図である。図13では、わかりやすいようにカバーガラスを外した状態の図としている。
本発明にかかる回折格子スケールは、リニアスケールに限定されるものではなく、図15及び図16に示すように、ロータリーエンコーダ用スケールであってもよい。図15は、回折格子スケール1500の構成を示す斜視図である。図16は、回折格子スケール1500の構成を示す平面図である。図15及び図16では、わかりやすいようにカバーガラスを外した状態の図としている。
回折格子スケール1500は、透過型スケールである場合について説明したが、反射型スケールであってもよい。
110 透明基板
120 樹脂層
121 凹凸パターン
122 側壁
123 カバーガラス支持部
124 ベース部
125 穴
126 凸部
130 カバーガラス
140 接着剤
601 スタンパ
1301 金属薄膜
Claims (10)
- 基板と、
前記基板の上に積層されており、測長方向に沿って周期的な凹凸パターンが形成されている樹脂層と、
前記樹脂層を挟んで前記基板と反対側に支持された光透過性のカバー部材と、を備えたエンコーダ用スケールであって、
前記樹脂層は、前記凹凸パターンよりも高く立ち上がったカバー部材支持部を一体的に有し、
前記カバー部材は前記カバー部材支持部の先端面に当接して支持されている、
エンコーダ用スケール。 - 前記カバー部材支持部は前記測長方向に沿って長さを持つ壁状であることを特徴とする、
請求項1に記載のエンコーダ用スケール。 - 前記カバー部材支持部が部分的に低くなっていることを特徴とする、
請求項2に記載のエンコーダ用スケール。 - 前記カバー部材支持部の表面に微細な凹凸構造が形成されていることを特徴とする、
請求項1〜3のいずれか一項に記載のエンコーダ用スケール。 - 前記カバー部材支持部の表面に薄膜が形成されていることを特徴とする、
請求項1〜4のいずれか一項に記載のエンコーダ用スケール。 - 前記カバー部材支持部の外側において、前記基板と前記カバー部材とが接着剤で接着されていることを特徴とする、
請求項1〜5のいずれか一項に記載のエンコーダ用スケール。 - 前記カバー部材が前記カバー部材支持部の前記先端面に接着剤を用いて固定されていることを特徴とする、
請求項1〜6のいずれか一項に記載のエンコーダ用スケール。 - 前記カバー部材が前記カバー部材支持部の前記先端面にテープ状接着材料を用いて固定されていることを特徴とする、
請求項1〜6のいずれか一項に記載のエンコーダ用スケール。 - 前記カバー部材が前記カバー部材支持部の前記先端面にレーザ溶着により固定されていることを特徴とする、
請求項1〜6のいずれか一項に記載のエンコーダ用スケール。 - 基板上に樹脂層を形成し、
前記樹脂層に凹凸パターン及びカバー部材支持部をインプリント法により形成し、
前記樹脂層の上の、前記カバー部材支持部の外側に接着剤を塗布し、
前記カバー部材支持部の先端面にカバー部材を当接して、前記カバー部材と前記接着剤とを接触させ、
前記接着剤を固化させることにより、前記樹脂層と前記カバー部材とを接着する、
エンコーダ用スケールの製造方法。
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KR20210010278A (ko) * | 2019-07-19 | 2021-01-27 | 주식회사 제이마이크로 | 엔코더를 제작하는 방법 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0451201A (ja) * | 1990-06-19 | 1992-02-19 | Canon Inc | 透過型回折格子及び該回折格子を用いたエンコーダ |
JP2010098066A (ja) * | 2008-10-15 | 2010-04-30 | Olympus Corp | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法 |
JP2011021909A (ja) * | 2009-07-13 | 2011-02-03 | Nikon Corp | エンコーダ用スケール、及びエンコーダ装置 |
JP2013007676A (ja) * | 2011-06-24 | 2013-01-10 | Mitsutoyo Corp | スケールの目盛保護構造 |
JP2014197166A (ja) * | 2013-03-07 | 2014-10-16 | セイコーエプソン株式会社 | 光学素子、光学素子の製造方法およびプロジェクター |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0451201A (ja) * | 1990-06-19 | 1992-02-19 | Canon Inc | 透過型回折格子及び該回折格子を用いたエンコーダ |
JP2010098066A (ja) * | 2008-10-15 | 2010-04-30 | Olympus Corp | 固体撮像装置、固体撮像装置の製造方法 |
JP2011021909A (ja) * | 2009-07-13 | 2011-02-03 | Nikon Corp | エンコーダ用スケール、及びエンコーダ装置 |
JP2013007676A (ja) * | 2011-06-24 | 2013-01-10 | Mitsutoyo Corp | スケールの目盛保護構造 |
JP2014197166A (ja) * | 2013-03-07 | 2014-10-16 | セイコーエプソン株式会社 | 光学素子、光学素子の製造方法およびプロジェクター |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20210010278A (ko) * | 2019-07-19 | 2021-01-27 | 주식회사 제이마이크로 | 엔코더를 제작하는 방법 |
KR102267128B1 (ko) * | 2019-07-19 | 2021-06-23 | 주식회사 제이마이크로 | 엔코더를 제작하는 방법 |
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