JP2015018846A

JP2015018846A - Traverse device and production system

Info

Publication number: JP2015018846A
Application number: JP2013143274A
Authority: JP
Inventors: 昇酒井; Noboru Sakai; 寛之朝井; Hiroyuki Asai
Original assignee: Toyota Motor Corp
Current assignee: Toyota Motor Corp
Priority date: 2013-07-09
Filing date: 2013-07-09
Publication date: 2015-01-29

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technique which allows a worker or a work robot to traverse a conveyance path.SOLUTION: A gate-shaped traverse 6 (traverse device) which allows a worker or a work robot to traverse a conveyance path R by being built in the conveyance path R of a conveyance object W includes a conveyance object mounting section 10 (conveyance object mounting means) capable of mounting the conveyance object W, a guide-rail 11 (evacuation route guide means) constituting an evacuation path S convex upward, and guiding the conveyance object mounting section 10 along the evacuation path S, and a drive section 12 (drive means) for moving the conveyance object mounting section 10 along the evacuation path S.

Description

本発明は、 The present invention

この種の技術として、特許文献１は、搬送物が載置される搬送台車を所望の搬送経路に沿って浮上搬送させる技術を開示している。 As this type of technology, Patent Document 1 discloses a technology that floats and conveys a transport carriage on which a transported article is placed along a desired transport path.

特開平８−５８９６５号公報JP-A-8-58965

しかしながら、特許文献１の構成では、作業者又は作業ロボットが搬送経路を横断することができない。 However, in the configuration of Patent Document 1, the worker or the work robot cannot cross the transfer path.

本発明の目的は、作業者又は作業ロボットが搬送経路を横断できるようにするための技術を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a technique for enabling an operator or a work robot to cross a conveyance path.

搬送対象物の搬送経路に組み込まれることで作業者又は作業ロボットが前記搬送経路を横断可能にする横断装置であって、前記搬送対象物を搭載可能な搬送対象物搭載手段と、上に凸となる退避経路を構成し、前記搬送対象物搭載手段を前記退避経路に沿って案内する退避経路案内手段と、前記搬送対象物搭載手段を前記退避経路に沿って移動させるための駆動手段と、を備えた横断装置。以上の構成によれば、前記退避経路の下側に前記作業者又は前記作業ロボットが通過するスペースが確保されるので、前記作業者又は前記作業ロボットが前記搬送経路を横断できるようになる。
前記搬送対象物搭載手段は、前記退避経路に沿って移動するにつれて姿勢が変化する滑動部と、実質的に水平な回転軸としての水平回転軸を介して前記滑動部に回転自在に取り付けられる搭載手段本体と、を有し、前記搭載手段本体は、前記搬送対象物を搭載して前記搬送対象物と共に前記滑動部に対して回転する。以上の構成によれば、前記搬送対象物搭載手段が前記退避経路に沿って移動することで前記搬送対象物が傾いてしまうのを回避できる。
前記搭載手段本体は、前記水平回転軸を介して前記滑動部に回転自在に取り付けられる本体基部と、実質的に垂直な回転軸としての垂直回転軸を介して前記本体基部に回転自在に取り付けられる搭載部と、を有し、前記搭載部は、前記搬送対象物を搭載して前記搬送対象物と共に前記本体基部に対して回転する。以上の構成によれば、前記搬送対象物搭載手段に前記搬送対象物を搭載した状態で前記搬送対象物の向きを変更可能となる。
前記搭載部の前記本体基部に対する平面視角度を調整する平面視角度調整手段を更に備えた。以上の構成によれば、前記搭載部の前記本体基部に対する平面視角度を調整できる。
前記平面視角度調整手段は、前記搬送対象物の搬送方向に対する向きが前記横断装置の通過の前後で一致するように、前記搭載部の前記本体基部に対する平面視角度を調整する。以上の構成によれば、前記搬送対象物の前記搬送方向に対する向きが前記横断装置の通過の前後で一致する。
前記平面視角度調整手段は、前記搬送対象物搭載手段が前記退避経路に沿って移動している間に、前記搭載部の前記本体基部に対する平面視角度を調整する。以上の構成によれば、前記搬送対象物が前記横断装置を通過するのに要する時間を短縮できる。
前記平面視角度調整手段は、前記退避経路に沿って設けられた角度調整用カムと、前記角度調整用カムと接触して運動する角度調整用カムフォロワと、前記角度調整用カムフォロワの前記運動を前記搭載部の前記本体基部に対する水平回転運動に変換するラックアンドピニオンと、を含む。以上の構成によれば、前記平面視角度調整手段を安価に実現できる。
前記平面視角度調整手段が前記搭載部の前記本体基部に対する平面視角度を調整している間、前記搭載手段本体の前記滑動部に対する回転を抑制する回転抑制手段を更に備えた。以上の構成によれば、前記角度調整用カムと前記角度調整用カムフォロワとの相互作用に起因して前記搭載手段本体が前記滑動部に対して回転してしまうのが抑制される。
前記回転抑制手段は、回転抑制用カムと、前記滑動部に取り付けられると共に前記回転抑制用カムと接触して運動する回転抑制用カムフォロワと、前記滑動部に対して取り付けられると共に前記回転抑制用カムフォロワと連動して進退するピンと、を含む。前記平面視角度調整手段が前記搭載部の前記本体基部に対する平面視角度を調整している間、前記ピンが前記搭載手段本体に挿入される。以上の構成によれば、前記回転抑制手段を安価に実現できる。
前記搬送対象物搭載手段と線材を介して連動するカウンターウェイトを更に備える。以上の構成によれば、前記駆動手段の必要となる最大出力を低く抑えることができる。
前記退避経路の頂部近傍に配置されると共に前記線材を巻き掛け可能な一対のプーリーを更に備える。前記線材は、前記一対のプーリーの間を通るように張り巡らせている。以上の構成によれば、前記搬送対象物搭載手段が前記退避経路を往復する際に必要となる前記カウンターウェイトは、１つだけで済む。
前記退避経路は、略逆U字状である。
前記搬送対象物を搬送可能な第１搬送装置と、前記搬送対象物を搬送可能な第２搬送装置と、前記第１搬送装置と前記第２搬送装置の間に組み込まれる請求項１〜１２の何れかに記載の横断装置と、を備え、前記横断装置の通過の前後で、前記搬送対象物の搬送方向は略正反対である、生産システムが提供される。 A traversing device that enables an operator or a work robot to traverse the transport path by being incorporated in the transport path of the transport object, and includes a transport object mounting means capable of mounting the transport object, and a convex A retraction path guide means for guiding the transport object mounting means along the retraction path, and a drive means for moving the transport object mounting means along the retraction path. Crossing device with. According to the above configuration, a space for the worker or the work robot to pass through is secured below the retraction path, so that the worker or the work robot can cross the transfer path.
The transport object mounting means is mounted rotatably on the sliding part via a sliding part whose posture changes as it moves along the retraction path and a horizontal rotating shaft as a substantially horizontal rotating shaft. A means body, and the mounting means body mounts the object to be transported and rotates relative to the sliding portion together with the object to be transported. According to the above configuration, it is possible to avoid the conveyance target object from being inclined due to the movement of the conveyance object mounting unit along the retraction path.
The mounting means main body is rotatably attached to the main body base via a main body base that is rotatably attached to the sliding portion via the horizontal rotation shaft, and a vertical rotation shaft as a substantially vertical rotation shaft. A mounting portion, and the mounting portion mounts the transport object and rotates with the transport object relative to the main body base. According to the above configuration, the direction of the transport object can be changed in a state where the transport object is mounted on the transport object mounting means.
Plane view angle adjusting means for adjusting a plan view angle of the mounting portion with respect to the main body base is further provided. According to the above structure, the planar view angle with respect to the said main body base part of the said mounting part can be adjusted.
The planar view angle adjusting means adjusts the planar view angle of the mounting portion with respect to the main body base so that the direction of the transport object with respect to the transport direction is the same before and after passing through the crossing device. According to the above configuration, the direction of the transport object with respect to the transport direction is the same before and after passing through the crossing device.
The planar view angle adjusting means adjusts the planar view angle of the mounting portion with respect to the main body base while the transport object mounting means is moving along the retraction path. According to the above configuration, the time required for the transport object to pass through the crossing device can be shortened.
The planar angle adjustment means includes: an angle adjustment cam provided along the retraction path; an angle adjustment cam follower that moves in contact with the angle adjustment cam; and the movement of the angle adjustment cam follower. And a rack and pinion for converting into a horizontal rotational movement of the mounting portion with respect to the main body base. According to the above configuration, the planar view angle adjusting means can be realized at low cost.
While the planar view angle adjusting means adjusts the planar view angle of the mounting portion with respect to the main body base, the planar view angle adjusting means further includes a rotation suppressing means for suppressing rotation of the mounting means main body with respect to the sliding portion. According to the above configuration, the mounting means main body is prevented from rotating with respect to the sliding portion due to the interaction between the angle adjusting cam and the angle adjusting cam follower.
The rotation suppression means includes a rotation suppression cam, a rotation suppression cam follower that is attached to the sliding portion and moves in contact with the rotation suppression cam, and is attached to the sliding portion and the rotation suppression cam follower. And a pin that moves forward and backward in conjunction with. The pin is inserted into the mounting means main body while the planar viewing angle adjusting means adjusts the planar viewing angle of the mounting portion with respect to the main body base. According to the above configuration, the rotation suppressing means can be realized at low cost.
A counterweight linked with the transport object mounting means via a wire is further provided. According to the above configuration, the maximum output required by the driving unit can be kept low.
It further includes a pair of pulleys arranged near the top of the retraction path and capable of winding the wire. The wire is stretched so as to pass between the pair of pulleys. According to the above configuration, only one counterweight is required when the transport object mounting means reciprocates along the retraction path.
The evacuation path has a substantially inverted U shape.
The first transport device capable of transporting the transport target, the second transport device capable of transporting the transport target, and the first transport device and the second transport device are incorporated between the first transport device and the second transport device. A production system is provided in which the conveyance direction of the object to be conveyed is substantially opposite before and after the passage of the crossing device.

本願発明によれば、前記退避経路の下側に前記作業者又は前記作業ロボットが通過するスペースが確保されるので、前記作業者又は前記作業ロボットが前記搬送経路を横断できるようになる。 According to the present invention, a space for the operator or the work robot to pass through is secured below the retreat path, so that the worker or the work robot can cross the transfer path.

図1は、半導体製造ラインの概略斜視図である。（第１実施形態）FIG. 1 is a schematic perspective view of a semiconductor production line. (First embodiment) 図2は、パレットの斜視図である。（第１実施形態）FIG. 2 is a perspective view of the pallet. (First embodiment) 図3は、門型トラバーサの斜視図である。（第１実施形態）FIG. 3 is a perspective view of a portal-type traverser. (First embodiment) 図4は、搬送対象物搭載部の斜視図である。（第１実施形態）FIG. 4 is a perspective view of the conveyance object mounting portion. (First embodiment) 図5は、駆動部の斜視図である。（第１実施形態）FIG. 5 is a perspective view of the drive unit. (First embodiment) 図6は、カウンターウェイトユニットの斜視図である。（第１実施形態）FIG. 6 is a perspective view of the counterweight unit. (First embodiment) 図7は、搬送対象物搭載部の縦断面図である。（第１実施形態）FIG. 7 is a vertical cross-sectional view of the conveyance object mounting portion. (First embodiment) 図8は、局所クリーンボックスの斜視図である。（第１実施形態）FIG. 8 is a perspective view of a local clean box. (First embodiment) 図9は、上流側角度調整用カムの正面図である。（第１実施形態）FIG. 9 is a front view of the upstream side angle adjusting cam. (First embodiment) 図10は、下流側角度調整用カムの正面図である。（第１実施形態）FIG. 10 is a front view of the downstream angle adjusting cam. (First embodiment) 図11は、単純プーリーの巻き掛け切替時の動作説明図である。（第１実施形態）FIG. 11 is an explanatory view of the operation at the time of switching the winding of the simple pulley. (First embodiment) 図12は、単純プーリーの巻き掛け切替時の動作説明図である。（第１実施形態）FIG. 12 is an explanatory view of the operation at the time of switching the winding of the simple pulley. (First embodiment) 図13は、搬送対象物搭載部の部分拡大図である。（第２実施形態）FIG. 13 is a partially enlarged view of the conveyance object mounting portion. (Second Embodiment)

（第１実施形態）
以下、図１〜図１２を参照して、第１実施形態を説明する。図１及び図２に示すように、半導体製造ライン１（生産システム）は、破線で示すウエハ２を搬送するウエハ搬送装置３（搬送装置）と、ウエハ２に対して所定の処理を行うプロセス装置４と、ウエハ搬送装置３とプロセス装置４の間でウエハ２を移載する移載装置５と、ウエハ搬送装置３による搬送対象物Wの搬送経路Rに組み込まれる門型トラバーサ６（横断装置）と、を備える。「移載する（to transfer）」とは、「装置間で対象物を受け渡す」を意味する。 (First embodiment)
The first embodiment will be described below with reference to FIGS. As shown in FIGS. 1 and 2, a semiconductor manufacturing line 1 (production system) includes a wafer transfer device 3 (transfer device) that transfers a wafer 2 indicated by a broken line, and a process device that performs predetermined processing on the wafer 2. 4, a transfer device 5 for transferring the wafer 2 between the wafer transfer device 3 and the process device 4, and a portal type traverser 6 (crossing device) incorporated in the transfer route R of the transfer object W by the wafer transfer device 3. And comprising. “To transfer” means “delivering an object between devices”.

（ウエハ搬送装置３）
ウエハ搬送装置３は、上流側浮上搬送装置７（第１搬送装置）と、下流側浮上搬送装置８（第２搬送装置）と、図２に示すパレット９と、を有する。 (Wafer transfer device 3)
The wafer transfer device 3 includes an upstream levitation transfer device 7 (first transfer device), a downstream levitation transfer device 8 (second transfer device), and a pallet 9 shown in FIG.

（パレット９）
パレット９は、ウエハ２を搭載するものである。パレット９は、パレット先端９ａとパレット後端９ｂを有する。以降、ウエハ２とウエハ２を搭載しているパレット９の組み合わせを搬送対象物Wと称する。 (Pallet 9)
The pallet 9 is for mounting the wafer 2 thereon. The pallet 9 has a pallet front end 9a and a pallet rear end 9b. Hereinafter, the combination of the wafer 2 and the pallet 9 on which the wafer 2 is mounted is referred to as a conveyance object W.

（上流側浮上搬送装置７）
図１に戻り、上流側浮上搬送装置７は、搬送対象物Wを搬送する装置である。上流側浮上搬送装置７は、パレット浮上ユニット２０と複数のカバー２１、複数のFFU２２（Fan Filter Unit）を備える。 (Upstream levitation transfer device 7)
Returning to FIG. 1, the upstream levitation conveyance device 7 is a device that conveys the conveyance object W. The upstream levitation conveyance device 7 includes a pallet levitation unit 20, a plurality of covers 21, and a plurality of FFUs 22 (Fan Filter Units).

複数のFFU２２は、取り入れた空気を清浄化することで清浄空気を生成するものである。 Several FFU22 produces | generates clean air by purifying the taken-in air.

パレット浮上ユニット２０は、複数のFFU２２が生成した清浄空気を用いて搬送対象物Wを浮上させつつ搬送対象物Wを搬送するものである。搬送対象物Wの搬送時、図２に示すパレット９のパレット先端９ａが先頭となる。 The pallet levitation unit 20 conveys the conveyance object W using the clean air generated by the plurality of FFUs 22 while levitating the conveyance object W. When transporting the transport object W, the pallet tip 9a of the pallet 9 shown in FIG.

複数のカバー２１は、パレット浮上ユニット２０上に外部環境から隔離された搬送空間を形成するためのものである。 The plurality of covers 21 are for forming a conveyance space isolated from the external environment on the pallet floating unit 20.

このように上流側浮上搬送装置７を筒状に構成し、上流側浮上搬送装置７内の限定的な空間を清浄雰囲気にしているので、半導体製造ライン１が設置される環境全体を清浄雰囲気にする必要がなく、もって、半導体製造ライン１のランニングコストが低く抑えれている。 In this way, the upstream levitation transfer device 7 is configured in a cylindrical shape, and the limited space in the upstream levitation transfer device 7 is made a clean atmosphere, so the entire environment where the semiconductor manufacturing line 1 is installed is made a clean atmosphere. Therefore, the running cost of the semiconductor production line 1 is kept low.

（下流側浮上搬送装置８）
下流側浮上搬送装置８は、搬送対象物Wを搬送する装置である。下流側浮上搬送装置８は、上流側浮上搬送装置７と同一の構成である。本実施形態において、下流側浮上搬送装置８は、下流側浮上搬送装置８による搬送対象物Wの搬送方向Qが、上流側浮上搬送装置７による搬送対象物Wの搬送方向Pに対して正反対となるように配置されている。 (Downstream levitation transport device 8)
The downstream levitation conveyance device 8 is a device that conveys the conveyance object W. The downstream levitation conveyance device 8 has the same configuration as the upstream levitation conveyance device 7. In the present embodiment, the downstream levitation conveyance device 8 is such that the conveyance direction Q of the conveyance target W by the downstream levitation conveyance device 8 is opposite to the conveyance direction P of the conveyance target W by the upstream levitation conveyance device 7. It is arranged to be.

（門型トラバーサ６）
門型トラバーサ６は、ウエハ搬送装置３の上流側浮上搬送装置７及び下流側浮上搬送装置８によって形成される搬送対象物Wの搬送経路Rに組み込まれることで作業者又は作業ロボット（以下、単に作業者と称する。）が搬送経路Rを横断可能にするための装置である。門型トラバーサ６は、上流側浮上搬送装置７の搬送方向Pにおける終端７ａと、下流側浮上搬送装置８の搬送方向Qにおける始端８ａと、に接続されている。門型トラバーサ６は、上流側浮上搬送装置７によって搬送されてきた搬送対象物Wを上流側浮上搬送装置７の終端７ａで受け取り、搬送対象物Wを上に凸となる退避経路Sに沿って搬送し、下流側浮上搬送装置８の始端８ａで搬送対象物Wを下流側浮上搬送装置８に引き渡す。上に凸となる退避経路Sの存在により、退避経路Sの下側には作業者が通過するスペースTが確保され、もって、作業者が搬送経路Rを横断できるようになる。 (Gate-type traverser 6)
The portal-type traverser 6 is incorporated into a transfer path R of the transfer object W formed by the upstream floating transfer apparatus 7 and the downstream floating transfer apparatus 8 of the wafer transfer apparatus 3, thereby enabling an operator or a work robot (hereinafter simply referred to as “working robot”). (Referred to as an operator) is a device that enables the conveyance path R to be traversed. The gate-type traverser 6 is connected to a terminal end 7 a in the transport direction P of the upstream levitation transport device 7 and a start end 8 a in the transport direction Q of the downstream levitation transport device 8. The portal-type traverser 6 receives the transport object W transported by the upstream levitation transport device 7 at the terminal end 7a of the upstream levitation transport device 7, and along the retreat path S in which the transport target object W protrudes upward. The transport object W is transferred to the downstream levitation transport device 8 at the start end 8 a of the downstream levitation transport device 8. Due to the presence of the upwardly retracting retraction path S, a space T through which an operator passes is secured below the retraction path S, so that the operator can cross the transport path R.

図３〜６に示すように、門型トラバーサ６は、搬送対象物Wを搭載可能な搬送対象物搭載部１０（搬送対象物搭載手段）と、上に凸となる退避経路Sを構成し、搬送対象物搭載部１０を退避経路Sに沿って案内するガイドレール１１（退避経路案内手段）と、搬送対象物搭載部１０を退避経路Sに沿って移動させるための駆動部１２（駆動手段）と、を備える。門型トラバーサ６は、更に、上流側角度調整用カム１３（角度調整用カム）と、下流側角度調整用カム１４（角度調整用カム）と、上流側回転抑制用カム１５（回転抑制用カム）と、下流側回転抑制用カム１６（回転抑制用カム）と、カウンターウェイトユニット１７と、を備える。図３には、説明の便宜上、複数の搬送対象物搭載部１０が同時に描かれているが、実際の門型トラバーサ６は、搬送対象物搭載部１０を１つだけ備える。 As shown in FIGS. 3 to 6, the gate-type traverser 6 includes a transport object mounting unit 10 (transport object mounting means) on which the transport object W can be mounted, and a retreat path S that is convex upward. A guide rail 11 (retraction path guide means) for guiding the conveyance object mounting unit 10 along the retraction path S, and a drive unit 12 (drive means) for moving the conveyance object mounting part 10 along the retraction path S. And comprising. The portal-type traverser 6 further includes an upstream angle adjusting cam 13 (angle adjusting cam), a downstream angle adjusting cam 14 (angle adjusting cam), and an upstream rotation suppressing cam 15 (rotation suppressing cam). ), A downstream side rotation suppression cam 16 (rotation suppression cam), and a counterweight unit 17. In FIG. 3, for convenience of explanation, a plurality of transport object mounting units 10 are drawn at the same time, but the actual portal-type traverser 6 includes only one transport object mounting unit 10.

（ガイドレール１１）
本実施形態において、ガイドレール１１が構成する退避経路Sは、上に凸となる略逆U字状に設定されている。図５に示すように、退避経路Sは、一対の鉛直退避経路部S1と、上に凸となる湾曲退避経路部S2と、を有する。湾曲退避経路部S2は、一対の鉛直退避経路部S1の間に配置される。 (Guide rail 11)
In the present embodiment, the retraction path S formed by the guide rail 11 is set in a substantially inverted U shape that is convex upward. As shown in FIG. 5, the retraction path S has a pair of vertical retraction path portions S1 and a curved retraction path portion S2 that protrudes upward. The curved retract path portion S2 is disposed between the pair of vertical retract path portions S1.

（搬送対象物搭載部１０）
図３に示すように、搬送対象物搭載部１０は、スライダ２５（滑動部）と、搭載部本体２６（搭載手段本体）と、を有する。 (Transportation object mounting part 10)
As shown in FIG. 3, the transport object mounting portion 10 includes a slider 25 (sliding portion) and a mounting portion main body 26 (mounting means main body).

スライダ２５は、退避経路Sに沿って移動するにつれて姿勢が変化する部分である。図４に示すように、スライダ２５は、ベース２７と、上流側クラッチ２８と、下流側クラッチ２９と、を有する。上流側クラッチ２８は、ガイドレール１１に対してスライド可能にガイドレール１１を掴む。上流側クラッチ２８は、ガイドレール１１に対して直交する回転軸を介してベース２７に回転自在に取り付けられている。下流側クラッチ２９は、ガイドレール１１に対してスライド可能にガイドレール１１を掴む。下流側クラッチ２９は、ガイドレール１１に対して直交する回転軸を介してベース２７に回転自在に取り付けられている。ベース２７には、ワイヤ取付部３０と、水平方向に延びるシャフト３１と、が形成されている。また、図７に示すように、ベース２７は、回転抑制用カムフォロワ６０と、ピン６１と、圧縮コイルバネ６２と、を有する。回転抑制用カムフォロワ６０は、水平方向に進退自在にベース２７に支持されている。ピン６１は、水平方向に進退自在にベース２７に支持されている。回転抑制用カムフォロワ６０とピン６１は一体化されており、ピン６１は、回転抑制用カムフォロワ６０の進退運動に連動して進退する。圧縮コイルバネ６２は、回転抑制用カムフォロワ６０とピン６１に対して、回転抑制用カムフォロワ６０とピン６１が搭載部本体２６から離れるよう押圧する。 The slider 25 is a portion whose posture changes as it moves along the retreat path S. As shown in FIG. 4, the slider 25 includes a base 27, an upstream clutch 28, and a downstream clutch 29. The upstream clutch 28 grips the guide rail 11 so as to be slidable with respect to the guide rail 11. The upstream clutch 28 is rotatably attached to the base 27 via a rotation shaft orthogonal to the guide rail 11. The downstream clutch 29 grips the guide rail 11 so as to be slidable with respect to the guide rail 11. The downstream clutch 29 is rotatably attached to the base 27 via a rotation shaft orthogonal to the guide rail 11. The base 27 is formed with a wire attachment portion 30 and a shaft 31 extending in the horizontal direction. In addition, as shown in FIG. 7, the base 27 includes a rotation suppression cam follower 60, a pin 61, and a compression coil spring 62. The rotation-suppressing cam follower 60 is supported by the base 27 so as to advance and retract in the horizontal direction. The pin 61 is supported by the base 27 so as to advance and retract in the horizontal direction. The rotation suppressing cam follower 60 and the pin 61 are integrated, and the pin 61 moves back and forth in conjunction with the forward and backward movement of the rotation suppressing cam follower 60. The compression coil spring 62 presses the rotation suppression cam follower 60 and the pin 61 so that the rotation suppression cam follower 60 and the pin 61 are separated from the mounting portion main body 26.

図７に示すように、搭載部本体２６は、実質的に水平な回転軸としての水平回転軸Hを介してスライダ２５に回転自在に取り付けられる部分である。搭載部本体２６は、実質的に水平な回転軸としての水平回転軸Hを有するシャフト３１を介してスライダ２５に回転自在に取り付けられる部分である。図３に戻り、搭載部本体２６は、搬送対象物Wを搭載して搬送対象物Wと共にスライダ２５に対して回転可能である。搭載部本体２６は、ホルダ３５（本体基部）と、マウンタ３６（搭載部）と、を有する。ホルダ３５は、水平回転軸H（シャフト３１）を介してスライダ２５のベース２７に回転自在に取り付けられる部分である。マウンタ３６は、実質的に垂直な回転軸としての垂直回転軸Vを介してホルダ３５に回転自在に取り付けられる部分である。マウンタ３６は、搬送対象物Wを搭載して搬送対象物Wと共にホルダ３５に対して水平に回転可能である。 As shown in FIG. 7, the mounting portion main body 26 is a portion that is rotatably attached to the slider 25 via a horizontal rotation axis H as a substantially horizontal rotation axis. The mounting portion main body 26 is a portion that is rotatably attached to the slider 25 via a shaft 31 having a horizontal rotation axis H as a substantially horizontal rotation axis. Returning to FIG. 3, the mounting portion main body 26 mounts the transport object W and can rotate with respect to the slider 25 together with the transport object W. The mounting portion main body 26 includes a holder 35 (main body base) and a mounter 36 (mounting portion). The holder 35 is a portion that is rotatably attached to the base 27 of the slider 25 via a horizontal rotation axis H (shaft 31). The mounter 36 is a part that is rotatably attached to the holder 35 via a vertical rotation axis V as a substantially vertical rotation axis. The mounter 36 can carry the conveyance object W and can rotate horizontally with the conveyance object W with respect to the holder 35.

ホルダ３５は、ブラケット４０、ウェイト４１、ラック４２、一対の角度調整用カムフォロワ４６、ピニオン付きプーリ４３、被駆動プーリ４４、伝動ベルト４５、を有する。ブラケット４０は、ベース２７と対向するベース対向部４０ａと、ベース対向部４０ａの下端から水平方向に突出する水平突出部４０ｂと、を有することで略L字状に形成されている。ウェイト４１は、水平突出部４０ｂの下面に取り付けられている。ウェイト４１は、搭載部本体２６を低重心化させるために必要に応じて採用される。ラック４２は、水平突出部４０ｂの下面に水平方向にスライド自在に取り付けられている。ラック４２には、複数の歯４２ａが形成されている。ラック４２の長手方向の両端には、角度調整用カムフォロワ４６が取り付けられている。ピニオン付きプーリ４３は、水平突出部４０ｂの下面に回転自在に取り付けられている。ピニオン付きプーリ４３には、ラック４２の水平方向のスライド移動に連動して回転するように、ラック４２の歯４２ａと噛み合うピニオン４３ａが形成されている。被駆動プーリ４４は、水平突出部４０ｂの下面に垂直回転軸Vを有して回転自在に取り付けられている。伝動ベルト４５は、ピニオン付きプーリ４３が回転したら被駆動プーリ４４も回転するように、ピニオン付きプーリ４３と被駆動プーリ４４に巻き掛けられている。以上の構成で、ラック４２が水平方向に移動すると、ピニオン付きプーリ４３と伝動ベルト４５を介して、被駆動プーリ４４が同時に回転する。 The holder 35 includes a bracket 40, a weight 41, a rack 42, a pair of angle adjusting cam followers 46, a pulley 43 with a pinion, a driven pulley 44, and a transmission belt 45. The bracket 40 is formed in a substantially L shape by including a base facing portion 40a facing the base 27 and a horizontal projecting portion 40b projecting in the horizontal direction from the lower end of the base facing portion 40a. The weight 41 is attached to the lower surface of the horizontal protrusion 40b. The weight 41 is employed as necessary to lower the center of gravity of the mounting portion main body 26. The rack 42 is slidably attached to the lower surface of the horizontal protrusion 40b in the horizontal direction. A plurality of teeth 42 a are formed on the rack 42. Angle adjusting cam followers 46 are attached to both ends of the rack 42 in the longitudinal direction. The pulley 43 with a pinion is rotatably attached to the lower surface of the horizontal protrusion 40b. The pulley 43 with a pinion is formed with a pinion 43a that meshes with the teeth 42a of the rack 42 so as to rotate in conjunction with the sliding movement of the rack 42 in the horizontal direction. The driven pulley 44 has a vertical rotation axis V on the lower surface of the horizontal protrusion 40b and is rotatably attached. The transmission belt 45 is wound around the pulley 43 with the pinion and the driven pulley 44 so that the driven pulley 44 also rotates when the pulley 43 with the pinion rotates. With the above configuration, when the rack 42 moves in the horizontal direction, the driven pulley 44 rotates simultaneously via the pulley 43 with pinion and the transmission belt 45.

マウンタ３６は、回転プレート５０と、局所クリーンボックス５１と、を有する。回転プレート５０は、ブラケット４０の水平突出部４０ｂの上方に配置される。回転プレート５０は、被駆動プーリ４４に取り付けられている。局所クリーンボックス５１は、搬送対象物Wを収容する容器である。図８に示すように、局所クリーンボックス５１は、搬送対象物Wを収容するボックス５２と、ボックス５２の内部に清浄空気を供給する小型FFU５３と、小型FFU５３に電力を供給する小型バッテリー５４と、ボックス５２内に搬送対象物Wを出し入れするための一対のシャッター５５と、を有する。 The mounter 36 has a rotating plate 50 and a local clean box 51. The rotating plate 50 is disposed above the horizontal protrusion 40 b of the bracket 40. The rotating plate 50 is attached to the driven pulley 44. The local clean box 51 is a container that accommodates the conveyance object W. As shown in FIG. 8, the local clean box 51 includes a box 52 that accommodates the conveyance object W, a small FFU 53 that supplies clean air to the inside of the box 52, a small battery 54 that supplies power to the small FFU 53, A pair of shutters 55 for taking the conveyance object W into and out of the box 52 is provided.

（駆動部１２）
図５に示すように、駆動部１２は、ガイドレール１１に沿って配置された複数の単純プーリー６５と、１つの駆動プーリー６６と、駆動プーリー６６を回転させる駆動モーター６７と、環状の駆動ベルト６８と、を有する。駆動ベルト６８は、複数の単純プーリー６５と駆動プーリー６６に巻き掛けられると共に、搬送対象物搭載部１０のスライダ２５のワイヤ取付部３０に固定されている。この構成で、駆動モーター６７を動作させると、駆動プーリー６６によって駆動ベルト６８が走行し、もって、搬送対象物搭載部１０がガイドレール１１に沿って所望の方向に移動する。 (Driver 12)
As shown in FIG. 5, the drive unit 12 includes a plurality of simple pulleys 65 arranged along the guide rail 11, a single drive pulley 66, a drive motor 67 that rotates the drive pulley 66, and an annular drive belt. 68. The drive belt 68 is wound around the plurality of simple pulleys 65 and the drive pulley 66 and is fixed to the wire attachment portion 30 of the slider 25 of the transport object mounting portion 10. In this configuration, when the drive motor 67 is operated, the drive belt 68 travels by the drive pulley 66, and the transport object mounting unit 10 moves in a desired direction along the guide rail 11.

（カウンターウェイトユニット１７）
図６に示すように、カウンターウェイトユニット１７は、駆動部１２の駆動モーター６７に必要となる最大出力を抑えるためのものである。カウンターウェイトユニット１７は、ガイドレール１１に沿って配置された複数の単純プーリー６９と、メインカウンターウェイト７０と、サブカウンターウェイト７０Aと、ワイヤー７１（線材）と、第1固定補助プーリー７２と、第2固定補助プーリー７３と、第3浮動補助プーリー７４と、メインストッパー７５と、サブストッパー７６と、を有する。複数の単純プーリー６９のうちガイドレール１１の頂部近傍に配置された一対の単純プーリー６９A・６９Bは、互いに接近して配置されている。ワイヤー７１の一端は、搬送対象物搭載部１０のスライダ２５のワイヤ取付部３０に接続されている。ワイヤー７１の他端は、メインカウンターウェイト７０に接続されている。ワイヤー７１は、複数の単純プーリー６９に巻き掛けられている。ワイヤー７１は、一対の単純プーリー６９A・６９B間に通されている。ワイヤー７１は、第1固定補助プーリー７２と第3浮動補助プーリー７４、第2固定補助プーリー７３に、この順で常時巻き掛けられている。第1固定補助プーリー７２及び第2固定補助プーリー７３は、ガイドレール１１に固定されている。第3浮動補助プーリー７４は、上下方向に移動自在なプーリーである。そして、図６に示すように搬送対象物搭載部１０が上流側の鉛直退避経路部S1に位置する間は、ワイヤー７１は、単純プーリー６９Bに巻き掛けられている。メインカウンターウェイト７０の重量は、搬送対象物搭載部１０の重量と略等しくなるように設定されている。従って、搬送対象物搭載部１０を昇降させるために必要となる力は少なくて済み、結果として、駆動部１２の駆動モーター６７に必要とされる最大出力を抑えることができる。 (Counterweight unit 17)
As shown in FIG. 6, the counterweight unit 17 is for suppressing the maximum output required for the drive motor 67 of the drive unit 12. The counter weight unit 17 includes a plurality of simple pulleys 69 arranged along the guide rail 11, a main counter weight 70, a sub counter weight 70A, a wire 71 (wire material), a first fixed auxiliary pulley 72, a first 2 It has a fixed auxiliary pulley 73, a third floating auxiliary pulley 74, a main stopper 75, and a sub stopper 76. Of the plurality of simple pulleys 69, the pair of simple pulleys 69A and 69B disposed near the top of the guide rail 11 are disposed close to each other. One end of the wire 71 is connected to the wire attachment part 30 of the slider 25 of the transport object mounting part 10. The other end of the wire 71 is connected to the main counterweight 70. The wire 71 is wound around a plurality of simple pulleys 69. The wire 71 is passed between the pair of simple pulleys 69A and 69B. The wire 71 is always wound around the first fixed auxiliary pulley 72, the third floating auxiliary pulley 74, and the second fixed auxiliary pulley 73 in this order. The first fixed auxiliary pulley 72 and the second fixed auxiliary pulley 73 are fixed to the guide rail 11. The third floating auxiliary pulley 74 is a pulley that is movable in the vertical direction. As shown in FIG. 6, the wire 71 is wound around the simple pulley 69 </ b> B while the transport object mounting unit 10 is positioned in the upstream vertical retraction path unit S <b> 1. The weight of the main counterweight 70 is set to be substantially equal to the weight of the transport object mounting portion 10. Therefore, less force is required to raise and lower the conveyance object mounting unit 10, and as a result, the maximum output required for the drive motor 67 of the drive unit 12 can be suppressed.

（上流側角度調整用カム１３）
図３に示すように、上流側角度調整用カム１３は、搬送対象物搭載部１０が上昇する間に、搬送対象物Wを平面視で時計回りに９０度回転させるためのものである。前述したように、搬送対象物Wの回転と、図４に示す搬送対象物搭載部１０の搭載部本体２６のホルダ３５のラック４２の移動と、は連動するようになっている。従って、上流側角度調整用カム１３は、換言すれば、図９に示すように、搬送対象物搭載部１０が上昇する間に、ラック４２を正面視で右方へ移動させるためのものである。 (Upstream angle adjustment cam 13)
As shown in FIG. 3, the upstream angle adjustment cam 13 is for rotating the conveyance target W 90 degrees clockwise in plan view while the conveyance target mounting unit 10 is raised. As described above, the rotation of the conveyance object W and the movement of the rack 42 of the holder 35 of the mounting part main body 26 of the conveyance object mounting part 10 shown in FIG. Accordingly, the upstream side angle adjusting cam 13 is, as shown in FIG. 9, for moving the rack 42 to the right in front view while the transport object mounting portion 10 is raised. .

図９に示すように、上流側角度調整用カム１３は、一対のカム板８０を有する。各カム板８０は、正面視で右斜め上方に延びるスリット８１を有している。ラック４２に設けられた一対の角度調整用カムフォロワ４６が、一対のカム板８０のスリット８１によって案内されることで、搬送対象物搭載部１０が上昇する間に、ラック４２は正面視で右方へ移動し、もって、搬送対象物Wが平面視で時計回りに９０度回転することになる。 As shown in FIG. 9, the upstream side angle adjustment cam 13 has a pair of cam plates 80. Each cam plate 80 has a slit 81 extending obliquely upward to the right in front view. The pair of angle adjusting cam followers 46 provided on the rack 42 are guided by the slits 81 of the pair of cam plates 80, so that the rack 42 moves to the right in front view while the transport object mounting portion 10 is raised. Accordingly, the conveyance object W is rotated 90 degrees clockwise in plan view.

（下流側角度調整用カム１４）
図３に示すように、下流側角度調整用カム１４は、搬送対象物搭載部１０が下降する間に、搬送対象物Wを平面視で時計回りに９０度回転させるためのものである。前述したように、搬送対象物Wの回転と、図４に示す搬送対象物搭載部１０の搭載部本体２６のホルダ３５のラック４２の移動と、は連動するようになっている。従って、下流側角度調整用カム１４は、換言すれば、図１０に示すように、搬送対象物搭載部１０が下降する間に、ラック４２を正面視で右方へ移動させるためのものである。 (Downstream angle adjustment cam 14)
As shown in FIG. 3, the downstream angle adjusting cam 14 is for rotating the conveyance object W 90 degrees clockwise in plan view while the conveyance object mounting unit 10 is lowered. As described above, the rotation of the conveyance object W and the movement of the rack 42 of the holder 35 of the mounting part main body 26 of the conveyance object mounting part 10 shown in FIG. Therefore, in other words, as shown in FIG. 10, the downstream side angle adjustment cam 14 is for moving the rack 42 to the right in front view while the conveyance object mounting portion 10 is lowered. .

具体的には、下流側角度調整用カム１４は、一対のカム板８２を有する。各カム板８２は、正面視で右斜め下方に延びるスリット８３を有している。ラック４２に設けられた一対の角度調整用カムフォロワ４６が、一対のカム板８２のスリット８３によって案内されることで、搬送対象物搭載部１０が下降する間に、ラック４２は正面視で右方へ移動し、もって、搬送対象物Wが平面視で時計回りに９０度回転することになる。 Specifically, the downstream angle adjustment cam 14 has a pair of cam plates 82. Each cam plate 82 has a slit 83 extending obliquely downward to the right when viewed from the front. The pair of angle adjusting cam followers 46 provided in the rack 42 are guided by the slits 83 of the pair of cam plates 82, so that the rack 42 is moved to the right in front view while the transport object mounting portion 10 is lowered. Accordingly, the conveyance object W is rotated 90 degrees clockwise in plan view.

（上流側回転抑制用カム１５）
図３に示すように、上流側回転抑制用カム１５は、下流側角度調整用カム１４が搬送対象物Wを回転させている間、搬送対象物搭載部１０の搭載部本体２６の揺れを抑制するためのものである。図７に示すように、回転抑制用カムフォロワ６０が上流側回転抑制用カム１５に乗り上がると、ピン６１が搭載部本体２６側に進出して、ピン６１は、ブラケット４０のベース対向部４０ａに形成されているピン挿入孔４０ｃに挿入される。スライダ２５のベース２７のシャフト３１と、ピン６１と、は上下に離れて配置されている。従って、ピン６１がピン挿入孔４０ｃに挿入されると、搭載部本体２６のスライダ２５に対する揺れは実質的に禁止される。 (Upstream rotation suppression cam 15)
As shown in FIG. 3, the upstream rotation suppression cam 15 suppresses shaking of the mounting portion main body 26 of the transport object mounting portion 10 while the downstream angle adjustment cam 14 rotates the transport object W. Is to do. As shown in FIG. 7, when the rotation suppression cam follower 60 rides on the upstream rotation suppression cam 15, the pin 61 advances to the mounting portion main body 26 side, and the pin 61 moves to the base facing portion 40 a of the bracket 40. It is inserted into the formed pin insertion hole 40c. The shaft 31 of the base 27 of the slider 25 and the pin 61 are arranged apart from each other in the vertical direction. Therefore, when the pin 61 is inserted into the pin insertion hole 40c, the swing of the mounting portion body 26 with respect to the slider 25 is substantially prohibited.

（下流側回転抑制用カム１６）
同様に、下流側回転抑制用カム１６は、下流側角度調整用カム１４が搬送対象物Wを回転させている間、搬送対象物搭載部１０の搭載部本体２６の揺れを抑制するためのものである。下流側回転抑制用カム１６は、上流側回転抑制用カム１５と同一の構成を有する。 (Downstream rotation suppression cam 16)
Similarly, the downstream rotation suppression cam 16 is for suppressing the shaking of the mounting portion main body 26 of the transport object mounting portion 10 while the downstream angle adjusting cam 14 rotates the transport object W. It is. The downstream rotation suppression cam 16 has the same configuration as the upstream rotation suppression cam 15.

（作動）
次に、半導体製造ライン１の作動を説明する。 (Operation)
Next, the operation of the semiconductor production line 1 will be described.

図１において、先ず、ウエハ搬送装置３の上流側浮上搬送装置７が、搬送対象物Wを、搬送方向Pで浮上搬送する。このとき、図２のパレット９のパレット先端９ａが先頭となっている。図１に戻り、搬送対象物Wが上流側浮上搬送装置７の終端７ａに到達したら、図３及び図４に示す搬送対象物Wは、搬送対象物搭載部１０の局所クリーンボックス５１に収容される。次に、図５に示す駆動モーター６７が駆動プーリー６６を正面視で反時計回りに回転させ始める。これにより、搬送対象物搭載部１０は、上昇し始める。 In FIG. 1, first, the upstream levitation transfer device 7 of the wafer transfer device 3 floats and transfers the transfer object W in the transfer direction P. At this time, the pallet tip 9a of the pallet 9 in FIG. Returning to FIG. 1, when the transport object W reaches the end 7 a of the upstream levitation transport device 7, the transport object W shown in FIGS. 3 and 4 is accommodated in the local clean box 51 of the transport object mounting unit 10. The Next, the drive motor 67 shown in FIG. 5 starts to rotate the drive pulley 66 counterclockwise in front view. Thereby, the conveyance target object mounting part 10 begins to rise.

搬送対象物搭載部１０が上昇すると、上流側角度調整用カム１３と角度調整用カムフォロワ４６との相互作用により、搬送対象物搭載部１０が平面視で時計回りに９０度回転する。搬送対象物搭載部１０がこのように回転している間は、上流側回転抑制用カム１５の存在により、図７に示すピン６１がピン挿入孔４０ｃに挿入されているので、搭載部本体２６のスライダ２５に対する回転（揺れ）は実質的に禁止される。従って、搭載部本体２６がスライダ２５に対して回転可能とした構成が、上流側角度調整用カム１３と角度調整用カムフォロワ４６との相互作用に悪影響を与えることがない。 When the transport object mounting portion 10 is raised, the transport object mounting portion 10 rotates 90 degrees clockwise in plan view due to the interaction between the upstream angle adjustment cam 13 and the angle adjustment cam follower 46. While the transport object mounting portion 10 is rotating in this manner, the pin 61 shown in FIG. 7 is inserted into the pin insertion hole 40c due to the presence of the upstream side rotation suppression cam 15. Rotation (swing) with respect to the slider 25 is substantially prohibited. Therefore, the configuration in which the mounting portion main body 26 is rotatable with respect to the slider 25 does not adversely affect the interaction between the upstream angle adjusting cam 13 and the angle adjusting cam follower 46.

上流側角度調整用カム１３と角度調整用カムフォロワ４６との相互作用による搬送対象物搭載部１０の回転が完了すると、図７に示すピン６１が圧縮コイルバネ６２のバネ復元力によってピン挿入孔４０ｃから抜け出て、搭載部本体２６のスライダ２５に対する回転が再び許容されるようになる。そして、図３に示すように、搬送対象物搭載部１０がガイドレール１１に沿って移動するにつれて搬送対象物搭載部１０の搭載部本体２６の姿勢は刻々と変化していく。このとき、搭載部本体２６のスライダ２５に対する回転が許容されているので、搭載部本体２６は、搭載部本体２６の重心が図４に示すスライダ２５のシャフト３１の直下に来るように、スライダ２５に対して滑らかに回転する。この結果、搭載部本体２６は、スライダ２５の姿勢の如何に拘わらず、常に、水平姿勢を維持することになる。 When the rotation of the conveyance object mounting portion 10 by the interaction between the upstream angle adjusting cam 13 and the angle adjusting cam follower 46 is completed, the pin 61 shown in FIG. 7 is moved from the pin insertion hole 40 c by the spring restoring force of the compression coil spring 62. Then, the rotation of the mounting portion main body 26 relative to the slider 25 is allowed again. As shown in FIG. 3, the posture of the mounting unit body 26 of the transport object mounting unit 10 changes every moment as the transport object mounting unit 10 moves along the guide rail 11. At this time, since the rotation of the mounting portion main body 26 with respect to the slider 25 is allowed, the mounting portion main body 26 has the slider 25 so that the center of gravity of the mounting portion main body 26 is directly below the shaft 31 of the slider 25 shown in FIG. Rotates smoothly against. As a result, the mounting portion main body 26 always maintains a horizontal posture regardless of the posture of the slider 25.

搬送対象物搭載部１０がガイドレール１１の頂部に差し掛かると、図１１及び図１２に示すように、単純プーリー６９Bに巻き掛けられていたワイヤー７１は、単純プーリー６９Bから外れ、代わりに単純プーリー６９Aに巻き掛けられる。 When the transport object mounting portion 10 reaches the top of the guide rail 11, as shown in FIGS. 11 and 12, the wire 71 wound around the simple pulley 69B comes off from the simple pulley 69B, and instead the simple pulley It is wound around 69A.

また、搬送対象物搭載部１０がガイドレール１１の頂部近傍に位置するときは、図６において、メインカウンターウェイト７０が下降してメインストッパー７５に受け止められ、メインカウンターウェイト７０のそれ以上の下降が禁止される。従って、搬送対象物搭載部１０がガイドレール１１の頂部近傍に位置するときは、サブカウンターウェイト７０Aの重量に相当する動力だけで済んでおり、駆動モーター６７の必要となる最大出力を抑えることができる。なお、サブストッパー７６は、第3浮動補助プーリー７４の過度な上昇を禁止するためのストッパーである。 When the transport object mounting portion 10 is located near the top of the guide rail 11, the main counterweight 70 is lowered and received by the main stopper 75 in FIG. 6, and the main counterweight 70 is further lowered. It is forbidden. Therefore, when the transport object mounting portion 10 is located near the top of the guide rail 11, only the power corresponding to the weight of the sub counterweight 70A is required, and the required maximum output of the drive motor 67 can be suppressed. it can. The sub stopper 76 is a stopper for prohibiting the third floating auxiliary pulley 74 from excessively rising.

その後、図３に示すように、下流側角度調整用カム１４と角度調整用カムフォロワ４６との相互作用が始まると、搬送対象物搭載部１０は、平面視で時計回りに更に９０度回転する。搬送対象物搭載部１０がこのように回転している間は、下流側回転抑制用カム１６の存在により、図７に示すピン６１がピン挿入孔４０ｃに挿入されているので、搭載部本体２６のスライダ２５に対する回転（揺れ）は実質的に禁止される。従って、搭載部本体２６がスライダ２５に対して回転可能とした構成が、上流側角度調整用カム１３と角度調整用カムフォロワ４６との相互作用に悪影響を与えることがない。 Thereafter, as shown in FIG. 3, when the interaction between the downstream angle adjusting cam 14 and the angle adjusting cam follower 46 starts, the transport object mounting portion 10 further rotates 90 degrees clockwise in plan view. While the transport object mounting portion 10 is rotating in this way, the pin 61 shown in FIG. 7 is inserted into the pin insertion hole 40c due to the presence of the downstream side rotation suppression cam 16, so the mounting portion main body 26 Rotation (swing) with respect to the slider 25 is substantially prohibited. Therefore, the configuration in which the mounting portion main body 26 is rotatable with respect to the slider 25 does not adversely affect the interaction between the upstream angle adjusting cam 13 and the angle adjusting cam follower 46.

そして、搬送対象物搭載部１０の局所クリーンボックス５１に収容されている搬送対象物Wは、図１のウエハ搬送装置３の下流側浮上搬送装置８の始端８ａに移される。下流側浮上搬送装置８は、搬送対象物Wを、搬送方向Qで浮上搬送する。本実施形態の門型トラバーサ６によれば、上流側浮上搬送装置７の終端７ａから下流側浮上搬送装置８の始端８ａに到達するまでの間に、搬送対象物Wを略１８０度、平面視で時計回りに水平回転させている。従って、図１のように、上流側浮上搬送装置７による搬送対象物Wの搬送方向Pと、下流側浮上搬送装置８による搬送対象物Wの搬送方向Qと、が正反対の場合であっても、常時、パレット９のパレット先端９ａを先頭にして、搬送対象物Wを搬送することができる。 Then, the transfer object W accommodated in the local clean box 51 of the transfer object mounting unit 10 is moved to the start end 8a of the downstream floating transfer apparatus 8 of the wafer transfer apparatus 3 of FIG. The downstream levitation conveyance device 8 levitates and conveys the conveyance object W in the conveyance direction Q. According to the portal-type traverser 6 of the present embodiment, the conveyance object W is approximately 180 degrees in plan view from the end 7a of the upstream levitation conveyance device 7 to the start end 8a of the downstream levitation conveyance device 8. Is rotated horizontally in the clockwise direction. Therefore, as shown in FIG. 1, even if the transport direction P of the transport object W by the upstream levitation transport device 7 and the transport direction Q of the transport object W by the downstream levitation transport device 8 are opposite to each other. The transport object W can be transported at all times, with the pallet tip 9a of the pallet 9 at the top.

以上に、本願発明の好適な実施形態を説明した。上記実施形態は、以下の特長を有する。 The preferred embodiment of the present invention has been described above. The above embodiment has the following features.

（１）搬送対象物Wの搬送経路Rに組み込まれることで作業者又は作業ロボットが搬送経路Rを横断可能にする門型トラバーサ６（横断装置）は、搬送対象物Wを搭載可能な搬送対象物搭載部１０（搬送対象物搭載手段）と、上に凸となる退避経路Sを構成し、搬送対象物搭載部１０を退避経路Sに沿って案内するガイドレール１１（退避経路案内手段）と、搬送対象物搭載部１０を退避経路Sに沿って移動させるための駆動部１２（駆動手段）と、を備える。以上の構成によれば、退避経路Sの下側に作業者又は作業ロボットが通過するスペースTが確保されるので、作業者又は作業ロボットが搬送経路Rを横断できるようになる。 (1) The portal-type traverser 6 (crossing device) that allows an operator or work robot to cross the transfer path R by being incorporated in the transfer path R of the transfer object W is a transfer object on which the transfer object W can be mounted. An object mounting section 10 (conveyance object mounting means), a guide rail 11 (retraction path guide means) that forms a retreat path S that protrudes upward, and guides the conveyance object mounting section 10 along the retraction path S; And a drive unit 12 (drive means) for moving the transport object mounting unit 10 along the retreat path S. According to the above configuration, the space T through which the worker or the working robot passes is secured below the retreat path S, so that the worker or the working robot can cross the transport path R.

（２）搬送対象物搭載部１０は、退避経路Sに沿って移動するにつれて姿勢が変化するスライダ２５（滑動部）と、実質的に水平な回転軸としての水平回転軸Hを介してスライダ２５に回転自在に取り付けられる搭載部本体２６（搭載手段本体）と、を有する。搭載部本体２６は、搬送対象物Wを搭載して搬送対象物Wと共にスライダ２５に対して回転する。以上の構成によれば、搬送対象物搭載部１０が退避経路Sに沿って移動することで搬送対象物Wが傾いてしまうのを回避できる。 (2) The transport object mounting unit 10 has a slider 25 (sliding unit) whose posture changes as it moves along the retreat path S, and a slider 25 via a horizontal rotation axis H as a substantially horizontal rotation axis. And a mounting portion main body 26 (mounting means main body) that is rotatably attached to the main body. The mounting portion main body 26 carries the conveyance object W and rotates with respect to the slider 25 together with the conveyance object W. According to the above configuration, it is possible to avoid the conveyance object W from being inclined due to the conveyance object mounting unit 10 moving along the retraction path S.

（３）搭載部本体２６は、水平回転軸Hを介してスライダ２５に回転自在に取り付けられるホルダ３５（本体基部）と、実質的に垂直な回転軸としての垂直回転軸Vを介してホルダ３５に回転自在に取り付けられるマウンタ３６（搭載部）と、を有する。マウンタ３６は、搬送対象物Wを搭載して搬送対象物Wと共にホルダ３５に対して回転する。以上の構成によれば、搬送対象物搭載部１０に搬送対象物Wを搭載した状態で搬送対象物Wの向きを変更可能となる。 (3) The mounting portion main body 26 includes a holder 35 (main body base) that is rotatably attached to the slider 25 via a horizontal rotation axis H, and a holder 35 via a vertical rotation axis V as a substantially vertical rotation axis. And a mounter 36 (mounting portion) that is rotatably attached to the device. The mounter 36 carries the conveyance object W and rotates with respect to the holder 35 together with the conveyance object W. According to the above configuration, the orientation of the transport object W can be changed in a state where the transport object W is mounted on the transport object mounting unit 10.

（４）マウンタ３６のホルダ３５に対する平面視角度を調整する平面視角度調整手段を更に備えた。以上の構成によれば、マウンタ３６のホルダ３５に対する平面視角度を調整できる。 (4) Plane view angle adjusting means for adjusting the plan view angle of the mounter 36 with respect to the holder 35 is further provided. According to the above configuration, the planar view angle of the mounter 36 with respect to the holder 35 can be adjusted.

（７）平面視角度調整手段は、退避経路Sに沿って設けられた上流側角度調整用カム１３（又は下流側角度調整用カム１４、角度調整用カム、以下同様）と、上流側角度調整用カム１３と接触して運動する角度調整用カムフォロワ４６と、角度調整用カムフォロワ４６の運動をマウンタ３６のホルダ３５に対する水平回転運動に変換するラックアンドピニオンと、を含む。以上の構成によれば、平面視角度調整手段を安価に実現できる。ラックアンドピニオンは、少なくとも、ラック４２とピニオン付きプーリ４３（ピニオン）を含む。 (7) The planar angle adjustment means includes an upstream angle adjustment cam 13 (or a downstream angle adjustment cam 14, an angle adjustment cam, and so on) provided along the retraction path S, and an upstream angle adjustment. An angle adjusting cam follower 46 that moves in contact with the cam 13 and a rack and pinion that converts the movement of the angle adjusting cam follower 46 into a horizontal rotational movement of the mounter 36 with respect to the holder 35. According to the above configuration, the planar view angle adjusting means can be realized at low cost. The rack and pinion includes at least a rack 42 and a pulley 43 (pinion) with a pinion.

（５）平面視角度調整手段は、搬送対象物Wの搬送方向に対する向きが門型トラバーサ６の通過の前後で一致するように、マウンタ３６のホルダ３５に対する平面視角度を調整する。以上の構成によれば、搬送対象物Wの搬送方向に対する向きが門型トラバーサ６の通過の前後で一致する。 (5) The planar view angle adjusting means adjusts the planar view angle of the mounter 36 with respect to the holder 35 so that the direction of the transport target W with respect to the transport direction is the same before and after the passage of the portal traverser 6. According to the above configuration, the direction of the conveyance target W with respect to the conveyance direction is the same before and after the passage of the portal traverser 6.

（６）平面視角度調整手段は、搬送対象物搭載部１０が退避経路Sに沿って移動している間に、マウンタ３６のホルダ３５に対する平面視角度を調整する。以上の構成によれば、搬送対象物Wが門型トラバーサ６を通過するのに要する時間を短縮できる。 (6) The planar view angle adjusting means adjusts the planar view angle of the mounter 36 with respect to the holder 35 while the transport object mounting unit 10 is moving along the retraction path S. According to the above configuration, the time required for the transport target W to pass through the portal traverser 6 can be shortened.

（８）門型トラバーサ６は、平面視角度調整手段がマウンタ３６のホルダ３５に対する平面視角度を調整している間、搭載部本体２６のスライダ２５に対する回転を抑制する回転抑制手段を更に備えた。以上の構成によれば、上流側角度調整用カム１３と角度調整用カムフォロワ４６との相互作用に起因して搭載部本体２６がスライダ２５に対して回転してしまうのが抑制される。また、搭載部本体２６がスライダ２５に対して回転するのが抑制されるので、上流側角度調整用カム１３と角度調整用カムフォロワ４６との相互作用が円滑に実行される。 (8) The portal-type traverser 6 further includes rotation suppression means for suppressing rotation of the mounting portion main body 26 relative to the slider 25 while the planar view angle adjusting means adjusts the planar view angle of the mounter 36 with respect to the holder 35. . According to the above configuration, the mounting portion main body 26 is prevented from rotating with respect to the slider 25 due to the interaction between the upstream angle adjusting cam 13 and the angle adjusting cam follower 46. Further, since the mounting portion main body 26 is restrained from rotating with respect to the slider 25, the interaction between the upstream angle adjusting cam 13 and the angle adjusting cam follower 46 is smoothly executed.

（９）回転抑制手段は、上流側回転抑制用カム１５（又は下流側回転抑制用カム１６、回転抑制用カム、以下同様。）と、スライダ２５に取り付けられると共に上流側回転抑制用カム１５と接触して運動する回転抑制用カムフォロワ６０と、スライダ２５に対して取り付けられると共に回転抑制用カムフォロワ６０と連動して進退するピン６１と、を含む。平面視角度調整手段がマウンタ３６のホルダ３５に対する平面視角度を調整している間、ピン６１が搭載部本体２６に挿入される。以上の構成によれば、回転抑制手段を安価に実現できる。 (9) The rotation suppression means includes an upstream rotation suppression cam 15 (or a downstream rotation suppression cam 16, a rotation suppression cam, the same applies hereinafter), a slider 25 and an upstream rotation suppression cam 15. A rotation suppression cam follower 60 that moves in contact with the slider 25 and a pin 61 that is attached to the slider 25 and that moves forward and backward in conjunction with the rotation suppression cam follower 60. The pin 61 is inserted into the mounting portion main body 26 while the planar viewing angle adjusting means adjusts the planar viewing angle of the mounter 36 with respect to the holder 35. According to the above configuration, the rotation suppressing means can be realized at low cost.

（１０）門型トラバーサ６は、搬送対象物搭載部１０とワイヤー７１（線材）を介して連動するメインカウンターウェイト７０を更に備える。以上の構成によれば、駆動部１２の必要となる最大出力を低く抑えることができる。 (10) The gate-type traverser 6 further includes a main counterweight 70 that interlocks with the transport object mounting unit 10 via a wire 71 (wire). According to the above configuration, the maximum output required by the drive unit 12 can be kept low.

（１１）門型トラバーサ６は、退避経路Sの頂部近傍に配置されると共にワイヤー７１を巻き掛け可能な一対の単純プーリー６９A・６９Bを更に備える。ワイヤー７１は、一対の単純プーリー６９A・６９Bの間を通るように張り巡らせている。以上の構成によれば、搬送対象物搭載部１０が退避経路Sを往復する際に必要となるメインカウンターウェイト７０は、１つだけで済む。 (11) The portal-type traverser 6 further includes a pair of simple pulleys 69A and 69B that are arranged near the top of the retraction path S and can be wound with the wire 71. The wire 71 is stretched so as to pass between the pair of simple pulleys 69A and 69B. According to the above configuration, only one main counter weight 70 is required when the transport object mounting unit 10 reciprocates on the retreat path S.

（１２）退避経路Sは、例えば、略逆U字状である。 (12) The retreat path S has, for example, a substantially inverted U shape.

（１３）半導体製造ライン１（生産システム）は、搬送対象物Wを搬送可能な上流側浮上搬送装置７（第１搬送装置）と、搬送対象物Wを搬送可能な下流側浮上搬送装置８（第２搬送装置）と、上流側浮上搬送装置７と下流側浮上搬送装置８の間に組み込まれる門型トラバーサ６と、を備える。門型トラバーサ６の通過の前後で、搬送対象物Wの搬送方向は略正反対である。 (13) The semiconductor production line 1 (production system) includes an upstream levitation transport device 7 (first transport device) that can transport the transport object W and a downstream levitation transport device 8 (transport system that can transport the transport object W ( 2nd conveyance apparatus), and the portal-type traverser 6 integrated between the upstream levitation conveyance apparatus 7 and the downstream levitation conveyance apparatus 8 is provided. The transport direction of the transport object W is substantially opposite before and after the passage of the gate-type traverser 6.

上記実施形態において、ガイドレール１１が構成する退避経路Sは、略逆U字状としたが、これに代えて、逆V字状であってもよい。退避経路Sは、少なくとも上に凸となるように曲がってさえいれば、微細の形状については任意に設定することができる。 In the embodiment described above, the retraction path S formed by the guide rail 11 has a substantially inverted U shape, but may instead have an inverted V shape. The retreat path S can be arbitrarily set with respect to a fine shape as long as it is bent at least so as to be convex upward.

（第２実施形態）
次に、図１３を参照して、第２実施形態を説明する。 (Second Embodiment)
Next, a second embodiment will be described with reference to FIG.

本実施形態において、ブラケット４０のベース対向部４０ａには、上に凸となる円弧湾曲面９０が形成されている。円弧湾曲面９０の左端には回転抑制用窪み９１が形成され、円弧湾曲面９０の右端には回転抑制用窪み９２が形成されている。ベース２７には、支持梁９３を介してプランジャー９４が支持されている。プランジャー９４は、ピン９５と、圧縮コイルバネ９６と、を有する。圧縮コイルバネ９６のバネ復元力により、ピン９５は、常時、円弧湾曲面９０に対して押し付けられている。以上の構成で、搬送対象物搭載部１０が上流側の鉛直退避経路部S1にいる間は、ピン９５が回転抑制用窪み９２に嵌り込み、もって、搭載部本体２６のスライダ２５に対する回転（揺れ）が実質的に禁止される。同様に、搬送対象物搭載部１０が下流側の鉛直退避経路部S1にいる間は、ピン９５が回転抑制用窪み９１に嵌り込み、もって、搭載部本体２６のスライダ２５に対する回転（揺れ）が実質的に禁止される。また、搬送対象物搭載部１０が上流側の鉛直退避経路部S1から湾曲退避経路部S2へ移動すると、搬送対象物搭載部１０の自重によりスライダ２５と搭載部本体２６との間にトルクが発生し、ピン９５が回転抑制用窪み９２から離脱し、搭載部本体２６のスライダ２５に対する回転が許容されるようになる。そして、搬送対象物搭載部１０が湾曲退避経路部S2から下流側の鉛直退避経路部S1へ移動すると、ピン９５が回転抑制用窪み９１へ嵌り込む。本実施形態において、回転抑制手段は、少なくとも、円弧湾曲面９０と回転抑制用窪み９１、回転抑制用窪み９２、プランジャー９４、によって実現されている。 In the present embodiment, the base facing portion 40a of the bracket 40 is formed with an arc-curved surface 90 that is convex upward. A rotation suppression recess 91 is formed at the left end of the arc-curved surface 90, and a rotation suppression recess 92 is formed at the right end of the arc-curved surface 90. A plunger 94 is supported on the base 27 via a support beam 93. The plunger 94 includes a pin 95 and a compression coil spring 96. The pin 95 is always pressed against the arcuate curved surface 90 by the spring restoring force of the compression coil spring 96. With the above configuration, while the transport object mounting unit 10 is in the upstream vertical retraction path unit S1, the pin 95 is fitted into the rotation suppressing recess 92, and thus the rotation (swing) of the mounting unit body 26 relative to the slider 25 is performed. ) Is substantially prohibited. Similarly, while the transport object mounting portion 10 is in the downstream vertical retraction path portion S1, the pin 95 is fitted into the rotation suppressing recess 91, and thus the rotation (swing) of the mounting portion body 26 with respect to the slider 25 is performed. Virtually prohibited. Further, when the transport object mounting portion 10 moves from the upstream vertical retraction path portion S1 to the curved retraction path portion S2, torque is generated between the slider 25 and the mounting portion main body 26 due to the weight of the transport object mounting portion 10. Then, the pin 95 is detached from the rotation suppressing recess 92, and the rotation of the mounting portion main body 26 relative to the slider 25 is allowed. When the transport object mounting unit 10 moves from the curved retreat path part S2 to the vertical retreat path part S1 on the downstream side, the pin 95 fits into the rotation suppression recess 91. In the present embodiment, the rotation suppression means is realized by at least the arcuate curved surface 90, the rotation suppression recess 91, the rotation suppression recess 92, and the plunger 94.

１半導体製造ライン
６門型トラバーサ
１０搬送対象物搭載部
１１ガイドレール
１２駆動部
S 退避経路
R 搬送経路
W 搬送対象物 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Semiconductor manufacturing line 6 Gate type traverser 10 Conveyance object mounting part 11 Guide rail 12 Drive part
S evacuation route
R Transport route
W Transport object

Claims

A traversing device that allows an operator or a work robot to traverse the transport path by being incorporated in the transport path of a transport object,
A transport object mounting means capable of mounting the transport object;
A retraction path guiding means for forming a retraction path that protrudes upward and guiding the transport object mounting means along the retraction path;
Drive means for moving the transport object mounting means along the retraction path;
Crossing device with.

The crossing device according to claim 1,
The transport object mounting means is
A sliding portion whose posture changes as it moves along the retreat path;
A mounting means main body rotatably attached to the sliding portion via a horizontal rotation shaft as a substantially horizontal rotation shaft;
Have
The mounting means main body mounts the conveyance object and rotates with respect to the sliding portion together with the conveyance object.
Crossing device.

A crossing device according to claim 2,
The mounting means body is
A main body base rotatably attached to the sliding portion via the horizontal rotation shaft;
A mounting portion rotatably attached to the main body base via a vertical rotation shaft as a substantially vertical rotation shaft;
Have
The mounting portion mounts the transport object and rotates with respect to the main body base together with the transport object.
Crossing device.

A crossing device according to claim 3,
A planar view angle adjusting means for adjusting a planar view angle of the mounting portion with respect to the main body base;
Crossing device.

A crossing device according to claim 4,
The planar view angle adjusting means adjusts the planar view angle of the mounting portion with respect to the main body base so that the direction of the transport object with respect to the transport direction is the same before and after passing through the crossing device.
Crossing device.

A crossing device according to claim 5,
The planar view angle adjusting means adjusts the planar view angle of the mounting unit with respect to the main body base while the transport object mounting unit is moving along the retraction path.
Crossing device.

The crossing device according to claim 6,
The planar angle adjustment means includes: an angle adjustment cam provided along the retraction path; an angle adjustment cam follower that moves in contact with the angle adjustment cam; and the movement of the angle adjustment cam follower. A rack and pinion that converts into a horizontal rotational movement of the mounting portion relative to the main body base, and
Crossing device.

A crossing device according to claim 7,
Rotation adjustment means for suppressing rotation of the mounting means body relative to the sliding portion while the planar view angle adjustment means adjusts the planar view angle of the mounting part relative to the main body base;
Crossing device.

A crossing device according to claim 8,
The rotation suppression means includes a rotation suppression cam, a rotation suppression cam follower that is attached to the sliding portion and moves in contact with the rotation suppression cam, and is attached to the sliding portion and the rotation suppression cam follower. Including a pin that moves forward and backward in conjunction with
The pin is inserted into the mounting means main body while the planar viewing angle adjusting means adjusts the planar viewing angle of the mounting portion with respect to the main body base.
Crossing device.

A crossing device according to claims 1-9,
Further comprising a counterweight interlocking with the transport object mounting means via a wire,
Crossing device.

A crossing device according to claim 10,
It further includes a pair of pulleys arranged near the top of the retraction path and capable of winding the wire.
The wire is stretched so as to pass between the pair of pulleys,
Crossing device.

A crossing device according to claim 1-11,
The evacuation path has a substantially inverted U shape.
Crossing device.

A first transport device capable of transporting the transport object;
A second transport device capable of transporting the transport object;
The crossing device according to any one of claims 1 to 12, which is incorporated between the first transport device and the second transport device;
With
Before and after the passage of the crossing device, the conveyance direction of the conveyance object is substantially opposite.
Production system.