JP2015014783A - Method for manufacturing transparent substrate with cured film, photosensitive resin composition, photosensitive element, and electronic component - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、硬化膜付き透明基材の製造方法、それに用いる感光性樹脂組成物及び感光性エレメント、並びに電子部品に関する。 The present invention relates to a method for producing a transparent substrate with a cured film, a photosensitive resin composition and a photosensitive element used therefor, and an electronic component.
パソコン、テレビ等の大型電子機器からカーナビゲーション、携帯電話、電子辞書等の小型電子機器、OA、FA機器等の表示機器などには、液晶表示素子又はタッチパネル(タッチセンサー)が用いられている。これらの液晶表示素子又はタッチパネルには透明導電電極材からなる電極が設けられている。透明導電電極材としては、酸化インジウムスズ(Indium−Tin−Oxide:ITO)、酸化インジウム又は酸化スズが知られている。これらの材料は高い可視光透過率を示すことから液晶表示素子用基板等に用いる電極材として主流になっている。 Liquid crystal display elements or touch panels (touch sensors) are used in large electronic devices such as personal computers and televisions, small electronic devices such as car navigation systems, mobile phones, and electronic dictionaries, and display devices such as OA and FA devices. These liquid crystal display elements or touch panels are provided with electrodes made of a transparent conductive electrode material. As the transparent conductive electrode material, indium tin oxide (Indium-Tin-Oxide: ITO), indium oxide or tin oxide is known. Since these materials exhibit high visible light transmittance, they are mainly used as electrode materials used for substrates for liquid crystal display elements.
タッチパネルは、すでに各種の方式が実用化されている。近年、静電容量方式のタッチパネルの利用が進んでいる。静電容量方式タッチパネルでは、導電体である指先がタッチ入力面に接触すると、指先と導電膜との間で静電容量が結合し、コンデンサを形成する。このため、静電容量方式タッチパネルは、指先の接触位置における電荷の変化を捉えることによって、その座標を検出している。 Various types of touch panels have already been put into practical use. In recent years, the use of capacitive touch panels has progressed. In a capacitive touch panel, when a fingertip that is a conductor comes into contact with a touch input surface, capacitance is coupled between the fingertip and the conductive film to form a capacitor. For this reason, the capacitive touch panel detects the coordinates by capturing the change in charge at the contact position of the fingertip.
特に、投影型静電容量方式のタッチパネルは、指先の多点検出が可能なため、複雑な指示を行うことができるという良好な操作性を備える。その操作性の良さから、携帯電話、携帯型音楽プレーヤといった小型の表示装置を有する機器における表示面上の入力装置として、投影型静電容量方式のタッチパネルの利用が進んでいる。 In particular, a projected capacitive touch panel has a good operability such that a complex instruction can be performed because multiple fingertip detection is possible. Due to its good operability, a projected capacitive touch panel has been used as an input device on a display surface in a device having a small display device such as a mobile phone or a portable music player.
一般に、投影型静電容量方式のタッチパネルでは、X軸とY軸とによる2次元座標を表現するために、複数のX電極と、当該X電極に直交する複数のY電極とが、2層構造を形成している。これらの電極としてはITOが用いられる。 In general, in a projected capacitive touch panel, a plurality of X electrodes and a plurality of Y electrodes orthogonal to the X electrodes have a two-layer structure in order to express two-dimensional coordinates based on the X axis and the Y axis. Is forming. ITO is used as these electrodes.
ところで、タッチパネルの額縁領域はタッチ位置を検出できない領域であるから、その額縁領域の面積を狭くすることが製品価値を向上させるための重要な要素である。額縁領域には、タッチ位置の検出信号を伝えるために、金属配線が必要となるが、額縁面積の狭小化を図るためには、金属配線の幅を狭くする必要がある。ITOの導電性は充分に高くないので、一般的に金属配線は銅により形成される。 By the way, since the frame region of the touch panel is a region where the touch position cannot be detected, reducing the area of the frame region is an important element for improving the product value. In the frame area, metal wiring is required to transmit a touch position detection signal, but in order to reduce the frame area, it is necessary to reduce the width of the metal wiring. Since the conductivity of ITO is not sufficiently high, the metal wiring is generally formed of copper.
しかしながら、上述のようなタッチパネルにおいては、指先に接触される際に水分、塩分等の腐食成分がセンシング領域から内部に侵入することがある。タッチパネルの内部に腐食成分が侵入すると、金属配線が腐食し、電極と駆動用回路との間の電気抵抗の増加、又は、断線のおそれがあった。 However, in the touch panel as described above, corrosive components such as moisture and salt may intrude into the inside from the sensing region when touching the fingertip. When a corrosive component enters the inside of the touch panel, the metal wiring is corroded, and there is a risk of an increase in electrical resistance between the electrode and the driving circuit, or disconnection.
金属配線の腐食を防ぐために、金属上に絶縁層を形成した静電容量方式の投影型タッチパネルが開示されている(例えば、下記特許文献1を参照)。このタッチパネルでは、二酸化ケイ素層をプラズマ化学気相成長法(プラズマCVD法)で金属上に形成し、金属の腐食を防いでいる。しかしながら、この手法はプラズマCVD法を用いるため、高温処理が必要となり基材が限定される、製造コストが高くなる等の問題があった。 In order to prevent corrosion of metal wiring, a capacitive projection type touch panel in which an insulating layer is formed on a metal is disclosed (for example, see Patent Document 1 below). In this touch panel, a silicon dioxide layer is formed on a metal by a plasma chemical vapor deposition method (plasma CVD method) to prevent corrosion of the metal. However, since this method uses a plasma CVD method, there is a problem that a high temperature treatment is required, a base material is limited, and a manufacturing cost is increased.
ところで、必要な箇所にレジスト膜等の硬化膜を設ける方法として、所定の基材上に感光性樹脂組成物からなる感光層を設けて、この感光層を露光及び現像する方法が知られている(例えば、下記特許文献2〜4を参照)。また、特許文献5及び6には、上記方法により、タッチパネル用の絶縁膜、保護膜等の硬化膜を形成することが開示されている。 By the way, as a method of providing a cured film such as a resist film at a required location, a method of providing a photosensitive layer made of a photosensitive resin composition on a predetermined substrate, and exposing and developing the photosensitive layer is known. (For example, refer to Patent Documents 2 to 4 below). Patent Documents 5 and 6 disclose forming a cured film such as an insulating film or a protective film for a touch panel by the above method.
感光性樹脂組成物による硬化膜の作製は、プラズマCVD法に比べてコストの削減が期待できる。しかし、タッチパネル用基材のような透明基材上に硬化膜を形成する場合、硬化膜の厚みが大きいと、膜がある箇所と膜がない箇所とで段差が目立つことがある。そのため、形成される硬化膜はできるだけ薄くすることが好ましい。 The production of a cured film using a photosensitive resin composition can be expected to reduce costs compared to the plasma CVD method. However, when a cured film is formed on a transparent substrate such as a touch panel substrate, if the thickness of the cured film is large, a step may be noticeable between a portion where the film is present and a portion where the film is not present. Therefore, it is preferable to make the cured film formed as thin as possible.
しかし、透明基材上に、感光性樹脂組成物を含む感光層を厚み10μm以下で設け、硬化膜を形成する場合、高い透明性と高い防錆性とを両立することが困難であることを本発明者らは見出した。また、上記特許文献5又は6に記載されている感光性樹脂組成物では、薄膜で透明性の高い硬化膜を形成することが可能であるが、高い防錆性と両立させる上では改善の余地があった。 However, when a photosensitive layer containing a photosensitive resin composition is provided on a transparent substrate with a thickness of 10 μm or less to form a cured film, it is difficult to achieve both high transparency and high rust prevention. The inventors have found. Moreover, in the photosensitive resin composition described in the said patent document 5 or 6, although it is possible to form a cured film with high transparency with a thin film, in order to make it compatible with high rust prevention property, there is room for improvement. was there.
本発明は、薄膜であっても高い透明性と所望の膜特性とを両立することができる硬化膜を有する硬化膜付き透明基材の製造方法を提供することを目的とする。また、本発明は、透明基材上に薄膜で形成した場合であっても高い透明性と所望の膜特性とを両立することができる、硬化膜を形成することが可能な感光性樹脂組成物及び感光性エレメント、並びに硬化膜付き透明基材を備える電子部品を提供することを目的とする。 An object of this invention is to provide the manufacturing method of the transparent base material with a cured film which has a cured film which can make high transparency and desired film characteristics compatible, even if it is a thin film. The present invention also provides a photosensitive resin composition capable of forming a cured film that can achieve both high transparency and desired film characteristics even when formed as a thin film on a transparent substrate. It is another object of the present invention to provide an electronic component comprising a photosensitive element and a transparent substrate with a cured film.
上記課題を解決するために本発明者らは鋭意検討した結果、特定の光重合開始剤を含有する感光性樹脂組成物を用いることで、薄膜(例えば、10μm以下の厚み)で硬化膜を形成した場合であっても、高い透明性と高い防錆性とを両立することができることを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of intensive studies by the present inventors to solve the above problems, a cured film is formed with a thin film (for example, a thickness of 10 μm or less) by using a photosensitive resin composition containing a specific photopolymerization initiator. Even in this case, it was found that both high transparency and high rust prevention can be achieved, and the present invention has been completed.
本発明は、透明基材上に、バインダーポリマーと、光重合性化合物と、下記一般式(1)で表される化合物、下記一般式(2)で表される化合物及び下記一般式(3)で表される化合物からなる群より選択される1種以上の光重合開始剤と、を含有する感光性樹脂組成物を含む感光層を設け、感光層の所定部分を活性光線の照射により硬化させた後に感光層の上記所定部分以外を除去し、基材の一部又は全部を被覆する感光性樹脂組成物の硬化膜を形成する、硬化膜付き透明基材の製造方法を提供する。 The present invention provides a binder polymer, a photopolymerizable compound, a compound represented by the following general formula (1), a compound represented by the following general formula (2), and the following general formula (3) on a transparent substrate. And a photosensitive layer containing a photosensitive resin composition containing at least one photopolymerization initiator selected from the group consisting of the compounds represented by: and curing a predetermined portion of the photosensitive layer by irradiation with actinic rays A method for producing a transparent substrate with a cured film is provided, in which a portion other than the predetermined portion of the photosensitive layer is removed and a cured film of the photosensitive resin composition covering a part or all of the substrate is formed.
[式(1)中、R及びR1は、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数4〜10のシクロアルキル基、又はフェニル基を示し、R2は、OH、COOH、O(CH2)OH、O(CH2)2OH、COO(CH2)OH又はCOO(CH2)2OHを示す。]
[式(2)中、R3は、各々独立に炭素数1〜6のアルキル基を示し、R4は、NO2又はArCO(ここで、Arはアリール基を示す。)を示し、R5及びR6は、炭素数1〜12のアルキル基、フェニル基又はトリル基を示す。]
[式(3)中、R7は、炭素数1〜6のアルキル基を示し、R8は、アセタール結合を有する有機基を示し、R9及びR10は、炭素数1〜12のアルキル基、フェニル基又はトリル基を示す。なお、芳香環には、R8以外の置換基を有してもよい。]
[In the formula (1), R and R 1 represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a cycloalkyl group having 4 to 10 carbon atoms, or a phenyl group, and R 2 represents OH, COOH, O (CH 2 ) OH, O (CH 2 ) 2 OH, COO (CH 2 ) OH or COO (CH 2 ) 2 OH. ]
[In Formula (2), R 3 each independently represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, R 4 represents NO 2 or ArCO (wherein Ar represents an aryl group), and R 5 And R 6 represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a phenyl group, or a tolyl group. ]
[In Formula (3), R 7 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, R 8 represents an organic group having an acetal bond, and R 9 and R 10 represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms. Represents a phenyl group or a tolyl group. The aromatic ring may have a substituent other than R 8 . ]
本発明によれば、薄膜であっても高い透明性と所望の膜特性(特には高い防錆性)とを両立することができる硬化膜を有する硬化膜付き透明基材を得ることができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, even if it is a thin film, the transparent base material with a cured film which has a cured film which can make high transparency and desired film | membrane characteristic (especially high rust prevention property) compatible can be obtained.
本発明の方法により上記の効果が得られる理由を本発明者らは以下のとおり考えている。まず、従来の感光性樹脂組成物では、主に紫外領域から可視光領域の光を利用した光反応を用いているため、吸収が可視光領域に及ぶ光開始剤成分を使用することが多い。顔料、染料等が必要な用途の場合も多く、透明性を確保することが困難である。また、高い防錆性を発現させるためには、感光性樹脂組成物の硬化性を充分に向上させる必要があると考えられる。硬化性を充分に向上させるためには、吸収が可視光領域に及ぶ光開始剤成分の添加量の増量、又は高エネルギー量の活性光線の光開始剤への照射が必要となる。しかし、高エネルギー量の活性光線の照射による光開始剤の黄変が考えられ、透明性を確保することが、より困難になると考えられる。本発明においては、上記特定のオキシムエステル化合物が、可視光領域の吸収が少なく、かつ高圧水銀ランプ等の紫外光領域のスペクトルと吸収波長が重なることにより、黄変を抑えつつ、吸収効率をあげ、光反応が促進されることで、得られる硬化膜が高い透明性を保持しつつ防錆性を両立できると本発明者らは推察する。 The present inventors consider the reason why the above effect can be obtained by the method of the present invention as follows. First, since the conventional photosensitive resin composition mainly uses a photoreaction utilizing light in the ultraviolet region to the visible light region, a photoinitiator component whose absorption extends in the visible light region is often used. In many cases, pigments, dyes and the like are needed, and it is difficult to ensure transparency. Moreover, in order to express high rust prevention property, it is thought that it is necessary to fully improve the sclerosis | hardenability of the photosensitive resin composition. In order to sufficiently improve the curability, it is necessary to increase the amount of the photoinitiator component to be absorbed in the visible light region or to irradiate the photoinitiator with a high energy amount of active light. However, yellowing of the photoinitiator due to irradiation with a high energy amount of actinic rays is considered, and it is considered more difficult to ensure transparency. In the present invention, the specific oxime ester compound has low absorption in the visible light region, and the spectrum in the ultraviolet light region such as a high-pressure mercury lamp overlaps with the absorption wavelength, thereby increasing the absorption efficiency while suppressing yellowing. The present inventors speculate that by promoting the photoreaction, the obtained cured film can achieve both rust prevention and high transparency.
また、本発明の硬化膜付き透明基材の製造方法において、上記感光層は400〜700nmにおける可視光透過率の最小値が85%以上であることが好ましい。 Moreover, in the manufacturing method of the transparent base material with a cured film of this invention, it is preferable that the said photosensitive layer has the minimum value of the visible light transmittance in 400-700 nm being 85% or more.
透明基材の硬化膜を形成する場合、最終製品(例えば、タッチパネル)の視認性又は美観を考慮して、硬化膜の透明性はより高いことが好ましい。しかし、従来の感光性樹脂組成物では、主に紫外領域から可視光領域の光を利用した光反応を用いているため、吸収が可視光領域に及ぶ光開始剤成分を使用することが多い。また、顔料、染料等が必要な用途の場合も多く、透明性を確保することが困難である。これに対して、本発明の硬化膜付き透明基材の製造方法では、上記特定の感光層を設け、活性光線の照射を行うことにより、感光層の可視光透過率の最小値を85%以上とした場合であっても、所望の膜特性(特には充分な防錆性)を得ることができる。 When forming the cured film of a transparent substrate, it is preferable that the transparency of the cured film is higher in view of the visibility or aesthetics of the final product (for example, touch panel). However, since the conventional photosensitive resin composition mainly uses a photoreaction utilizing light in the ultraviolet region to the visible light region, a photoinitiator component whose absorption extends in the visible light region is often used. In many cases, pigments, dyes and the like are needed, and it is difficult to ensure transparency. On the other hand, in the method for producing a transparent substrate with a cured film of the present invention, the minimum value of the visible light transmittance of the photosensitive layer is 85% or more by providing the specific photosensitive layer and performing actinic ray irradiation. Even in this case, desired film characteristics (particularly sufficient rust prevention) can be obtained.
また、上記感光層はCIELAB表色系でのb*が−0.2〜1.0であることが好ましい。この場合、硬化膜を、例えばタッチパネルのセンシング領域にある電極上に保護膜としてパターンを形成しても、視認性及び美観が損なわれることを充分防止することができる。 The photosensitive layer preferably has a b * in the CIELAB color system of -0.2 to 1.0. In this case, even if a pattern is formed as a protective film on the electrode in the sensing region of the touch panel, for example, the visibility and aesthetics can be sufficiently prevented from being impaired.
また、本発明の硬化膜付き透明基材の製造方法においては、支持フィルムと、支持フィルム上に設けられた上記感光性樹脂組成物を含む感光層と、を備える感光性エレメントを用意し、当該感光性エレメントの感光層を上記基材上に転写して感光層を設けることができる。この場合、感光性エレメントを用いることにより、膜厚が均一な感光層を簡便に形成できる。 Moreover, in the method for producing a transparent substrate with a cured film of the present invention, a photosensitive element comprising a support film and a photosensitive layer containing the photosensitive resin composition provided on the support film is prepared. The photosensitive layer of the photosensitive element can be transferred onto the substrate to provide a photosensitive layer. In this case, a photosensitive layer having a uniform film thickness can be easily formed by using a photosensitive element.
本発明はまた、バインダーポリマーと、光重合性化合物と、上記一般式(1)で表される化合物、上記一般式(2)で表される化合物及び上記一般式(3)で表される化合物からなる群より選択される1種以上の光重合開始剤と、を含有し、透明基材上に硬化膜を形成するために用いられる、感光性樹脂組成物を提供する。 The present invention also includes a binder polymer, a photopolymerizable compound, a compound represented by the general formula (1), a compound represented by the general formula (2), and a compound represented by the general formula (3). 1 or more types of photoinitiators selected from the group which consists of, The photosensitive resin composition used in order to form a cured film on a transparent base material is provided.
本発明の感光性樹脂組成物によれば、所定の透明基材上に、薄膜であっても高い透明性と所望の膜特性(特には高い防錆性)とを両立することができる硬化膜を形成することができる。 According to the photosensitive resin composition of the present invention, a cured film capable of achieving both high transparency and desired film characteristics (particularly high rust prevention) even on a predetermined transparent substrate, even if it is a thin film. Can be formed.
本発明の感光性樹脂組成物は、透明基材を搭載する電子部品の視認性又は美観の観点から、400〜700nmにおける可視光透過率の最小値が85%以上であることが好ましい。また、CIELAB表色系でのb*が−0.2〜1.0であることが好ましい。 In the photosensitive resin composition of the present invention, the minimum value of the visible light transmittance at 400 to 700 nm is preferably 85% or more from the viewpoint of visibility or aesthetics of an electronic component on which a transparent substrate is mounted. Moreover, it is preferable that b * in a CIELAB color system is -0.2-1.0.
本発明はまた、支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた上記本発明に係る感光性樹脂組成物を含む感光層と、を備える感光性エレメントを提供する。 The present invention also provides a photosensitive element comprising a support film and a photosensitive layer comprising the photosensitive resin composition according to the present invention provided on the support film.
本発明の感光性エレメントによれば、所定の透明基材上に、薄膜であっても高い透明性と所望の膜特性(特には高い防錆性)とを両立することができ、良好なパターン形状を有する硬化膜を形成することができる。 According to the photosensitive element of the present invention, a high transparency and desired film characteristics (particularly high rust prevention) can be achieved on a predetermined transparent substrate, and a good pattern can be obtained. A cured film having a shape can be formed.
本発明はまた、透明基材上に、上記本発明に係る方法により得られる硬化膜付き透明基材を備える電子部品を提供する。 The present invention also provides an electronic component comprising a transparent substrate with a cured film obtained by the method according to the present invention on a transparent substrate.
本発明によれば、薄膜であっても高い透明性と所望の膜特性(特には高い防錆性)とを両立することができる硬化膜を有する硬化膜付き透明基材の製造方法を提供することができる。また、本発明によれば、薄膜であっても、高い透明性と所望の膜特性(特には高い防錆性)とを両立することができる、硬化膜を形成することが可能な感光性樹脂組成物及び感光性エレメント、並びに硬化膜付き透明基材を備える電子部品を提供することができる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, even if it is a thin film, the manufacturing method of the transparent base material with a cured film which has high transparency and desired film | membrane characteristic (especially high rust prevention property) which can make compatible both is provided. be able to. In addition, according to the present invention, a photosensitive resin capable of forming a cured film that can achieve both high transparency and desired film characteristics (particularly high rust prevention) even if it is a thin film. An electronic component comprising the composition and the photosensitive element, and a transparent substrate with a cured film can be provided.
以下、本発明を実施するための形態について詳細に説明する。ただし、本発明は以下の実施形態に限定されるものではない。なお、本明細書において、「(メタ)アクリル酸」とは、アクリル酸又はメタクリル酸を意味し、「(メタ)アクリレート」とは、アクリレート又はそれに対応するメタクリレートを意味し、「(メタ)アクリロイル基」とは、アクリロイル基又はメタクリロイル基を意味する。 Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described in detail. However, the present invention is not limited to the following embodiments. In the present specification, “(meth) acrylic acid” means acrylic acid or methacrylic acid, “(meth) acrylate” means acrylate or a corresponding methacrylate, and “(meth) acryloyl”. “Group” means an acryloyl group or a methacryloyl group.
また、本明細書において「工程」との語は、独立した工程だけではなく、他の工程と明確に区別できない場合であってもその工程の所期の作用が達成されれば、本用語に含まれる。また本明細書において「〜」を用いて示された数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値をそれぞれ最小値及び最大値として含む範囲を示す。 In addition, in this specification, the term “process” is not limited to an independent process, and even if it cannot be clearly distinguished from other processes, the term “process” is used as long as the intended action of the process is achieved. included. In the present specification, a numerical range indicated by using “to” indicates a range including the numerical values described before and after “to” as the minimum value and the maximum value, respectively.
さらに本明細書において組成物中の各成分の含有量は、組成物中に各成分に該当する物質が複数存在する場合、特に断らない限り、組成物中に存在する当該複数の物質の合計量を意味する。 Further, in the present specification, the content of each component in the composition is the total amount of the plurality of substances present in the composition unless there is a specific notice when there are a plurality of substances corresponding to each component in the composition. Means.
本実施形態に係る硬化膜付き透明基材の製造方法は、透明基材上に、本発明に係る感光性樹脂組成物を含む感光層を設け、感光層の所定部分を活性光線の照射により硬化させた後に、感光層の上記所定部分以外を除去し、基材の一部又は全部を被覆する感光性樹脂組成物の硬化膜を形成する。本発明に係る感光性樹脂組成物は、バインダーポリマーと、光重合性化合物と、後述する特定の光重合開始剤と、を含有する。 The manufacturing method of the transparent base material with a cured film which concerns on this embodiment provides the photosensitive layer containing the photosensitive resin composition which concerns on this invention on a transparent base material, and hardens | cures the predetermined part of a photosensitive layer by irradiation of actinic light Then, a portion other than the predetermined portion of the photosensitive layer is removed to form a cured film of the photosensitive resin composition that covers a part or all of the substrate. The photosensitive resin composition according to the present invention contains a binder polymer, a photopolymerizable compound, and a specific photopolymerization initiator described later.
上記透明基材としては、例えば、白板ガラス、青板ガラス、シリカコート青板ガラス等のガラス板;ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマ等のプラスチック基板、セラミック板等の基板が挙げられる。透明基材は、400〜700nmの波長域での最小光透過率が85%以上であるものが好ましい。 Examples of the transparent substrate include glass plates such as white plate glass, blue plate glass, and silica-coated blue plate glass; plastic substrates such as polyethylene terephthalate, polycarbonate, and cycloolefin polymer; and substrates such as ceramic plates. The transparent substrate preferably has a minimum light transmittance of 85% or more in a wavelength range of 400 to 700 nm.
上記感光層は、支持フィルムと、該支持フィルム上に設けられた上記感光性樹脂組成物を含む感光層と、を備える感光性エレメントを用意し、当該感光性エレメントの感光層を上記透明基材上に転写することで設けることができる。 The photosensitive layer is provided with a photosensitive element comprising a support film and a photosensitive layer containing the photosensitive resin composition provided on the support film, and the photosensitive layer of the photosensitive element is used as the transparent substrate. It can be provided by transferring it on top.
図1(a)は、本発明に係る感光性エレメントの一実施形態を示す模式断面図である。図1(a)に示される感光性エレメント1は、支持フィルム10と、支持フィルム10上に設けられた本発明に係る感光性樹脂組成物を含む感光層20と、感光層20の支持フィルム10とは反対側に設けられた保護フィルム30とからなる。
Fig.1 (a) is a schematic cross section which shows one Embodiment of the photosensitive element which concerns on this invention. A photosensitive element 1 shown in FIG. 1A includes a
本実施形態の感光性エレメント1は、透明基材上に硬化膜を形成するために好適に用いることができる。 The photosensitive element 1 of this embodiment can be suitably used for forming a cured film on a transparent substrate.
本明細書において、透明基材の硬化膜は、例えばタッチパネルに用いる場合、電極を有するセンシング領域、金属配線を有する額縁領域、又はその他の領域に設けることができる。タッチパネル用基材の硬化膜は、いずれかの領域のみに設けてもよく、複数の領域に設けてもよい。さらには、センシング領域に形成された電極の一部に設ける等、硬化膜を設ける位置及び範囲は、その使用の目的等に応じて適宜選択することが可能である。 In this specification, when using the cured film of a transparent base material for a touch panel, for example, it can be provided in a sensing region having electrodes, a frame region having metal wiring, or other regions. The cured film of the touch panel base material may be provided only in one of the regions, or may be provided in a plurality of regions. Furthermore, the position and range where the cured film is provided, such as being provided on a part of the electrode formed in the sensing region, can be appropriately selected according to the purpose of use.
支持フィルム10としては、重合体フィルムを用いることができる。重合体フィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエーテルサルフォン等からなるフィルムが挙げられる。
As the
支持フィルム10の厚さは、被覆性の確保と、支持フィルム10を介して活性光線を照射する際の感度の低下を抑制する観点から、5〜100μmであることが好ましく、10〜70μmであることがより好ましく、15〜40μmであることがさらに好ましく、20〜35μmであることが特に好ましい。
The thickness of the
感光層20を構成する本発明に係る感光性樹脂組成物は、バインダーポリマー(以下、(A)成分ともいう)と、光重合性化合物(以下、(B)成分ともいう)と、後述する特定の光重合開始剤(以下、(C)成分ともいう)と、を含有する。
The photosensitive resin composition according to the present invention constituting the
本実施形態において、(A)成分は、(a1)(メタ)アクリル酸に由来する構成単位、及び(a2)(メタ)アクリル酸アルキルエステルに由来する構成単位を含有する共重合体が好適である。 In this embodiment, the (A) component is preferably a copolymer containing a structural unit derived from (a1) (meth) acrylic acid and a structural unit derived from (a2) (meth) acrylic acid alkyl ester. is there.
(a1)(メタ)アクリル酸由来の構成単位の含有量は、防錆性に優れる点から、(A)成分を構成するモノマーの全質量を基準として、20質量%以下であることが好ましく、18質量%以下であることがより好ましく、15質量%以下であることが更に好ましい。 (A1) The content of the structural unit derived from (meth) acrylic acid is preferably 20% by mass or less, based on the total mass of the monomer constituting the component (A), from the viewpoint of excellent rust prevention. It is more preferably 18% by mass or less, and further preferably 15% by mass or less.
(a2)(メタ)アクリル酸アルキルエステルとしては、例えば、(メタ)アクリル酸メチルエステル、(メタ)アクリル酸エチルエステル、(メタ)アクリル酸ブチルエステル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシルエステル、及び(メタ)アクリル酸ヒドロキシルエチルエステルが挙げられる。 (A2) Examples of (meth) acrylic acid alkyl ester include (meth) acrylic acid methyl ester, (meth) acrylic acid ethyl ester, (meth) acrylic acid butyl ester, (meth) acrylic acid 2-ethylhexyl ester, and Examples include (meth) acrylic acid hydroxyl ethyl ester.
(a2)(メタ)アクリル酸アルキルエステル由来の構成単位の含有量は、(A)成分を構成するモノマーの全質量を基準として、90質量%以下であることが好ましく、89質量%以下であることがより好ましく、88質量%であることが更に好ましい。 (A2) The content of the structural unit derived from the (meth) acrylic acid alkyl ester is preferably 90% by mass or less, and 89% by mass or less, based on the total mass of the monomers constituting the component (A). Is more preferable, and it is still more preferable that it is 88 mass%.
上記共重合体は、更に、上記の(a1)成分及び/又は(a2)成分と共重合しうるその他のモノマーを構成単位に含有していてもよい。 The copolymer may further contain other monomers that can be copolymerized with the component (a1) and / or the component (a2) in the structural unit.
上記の(a1)成分及び/又は(a2)成分と共重合し得るその他のモノマーとしては、例えば、(メタ)アクリル酸テトラヒドロフルフリルエステル、(メタ)アクリル酸ジメチルアミノエチルエステル、(メタ)アクリル酸ジエチルアミノエチルエステル、(メタ)アクリル酸グリシジルエステル、(メタ)アクリル酸ベンジルエステル、2,2,2−トリフルオロエチル(メタ)アクリレート、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド、(メタ)アクリロニトリル、ジアセトン(メタ)アクリルアミド、スチレン、及びビニルトルエンが挙げられる。(A)成分であるバインダーポリマーを合成する際、上記のモノマーは、1種を単独で用いてもよいし、2種以上を組み合わせて用いてもよい。 Examples of the other monomer that can be copolymerized with the component (a1) and / or the component (a2) include (meth) acrylic acid tetrahydrofurfuryl ester, (meth) acrylic acid dimethylaminoethyl ester, and (meth) acrylic. Acid diethylaminoethyl ester, (meth) acrylic acid glycidyl ester, (meth) acrylic acid benzyl ester, 2,2,2-trifluoroethyl (meth) acrylate, 2,2,3,3-tetrafluoropropyl (meth) acrylate , (Meth) acrylamide, (meth) acrylonitrile, diacetone (meth) acrylamide, styrene, and vinyltoluene. When synthesizing the binder polymer as component (A), the above monomers may be used alone or in combination of two or more.
(A)成分であるバインダーポリマーの重量平均分子量は、解像度の見地から、10,000〜200,000であることが好ましく、15,000〜150,000であることがより好ましく、30,000〜150,000であることが更に好ましく、30,000〜100,000であることが特に好ましく、40,000〜100,000であることが極めて好ましい。なお、重量平均分子量の測定条件は、本願明細書の実施例と同一の測定条件とする。 The weight average molecular weight of the binder polymer as the component (A) is preferably 10,000 to 200,000, more preferably 15,000 to 150,000, and more preferably 30,000 to 30,000 from the viewpoint of resolution. It is more preferably 150,000, particularly preferably 30,000 to 100,000, and very preferably 40,000 to 100,000. In addition, the measurement conditions of a weight average molecular weight shall be the same measurement conditions as the Example of this-application specification.
(A)成分であるバインダーポリマーの酸価は、防錆性、パターニング性に優れる点では、75〜200mgKOH/gであることが好ましく、75〜150mgKOH/gであることがより好ましく、75〜120mgKOH/gであることが更に好ましい。 The acid value of the binder polymer as component (A) is preferably 75 to 200 mgKOH / g, more preferably 75 to 150 mgKOH / g, and more preferably 75 to 120 mgKOH in terms of excellent rust prevention and patterning properties. More preferably, it is / g.
(A)成分であるバインダーポリマーの酸価は、次のようにして測定することができる。
すなわち、まず、酸価の測定対象であるバインダーポリマー1gを精秤する。上記精秤したバインダーポリマーにアセトンを30g添加し、これを均一に溶解する。次いで、指示薬であるフェノールフタレインをその溶液に適量添加して、0.1Nの水酸化カリウム(KOH)水溶液を用いて滴定を行う。測定対象であるバインダーポリマーのアセトン溶液を中和するのに必要なKOHのmg数を算出することで、酸価を求める。バインダーポリマーを合成溶媒、希釈溶媒等と混合した溶液を測定対象とする場合には、次式により酸価を算出する。
酸価=0.1×Vf×56.1/(Wp×I/100)
式中、VfはKOH水溶液の滴定量(mL)を示し、Wpは測定したバインダーポリマーを含有する溶液の重量(g)を示し、Iは測定したバインダーポリマーを含有する溶液中の不揮発分の割合(質量%)を示す。
なお、バインダーポリマーを合成溶媒、希釈溶媒等の揮発分と混合した状態で配合する場合は、精秤前に予め、揮発分の沸点よりも10℃以上高い温度で1〜4時間加熱し、揮発分を除去してから酸価を測定することもできる。
The acid value of the binder polymer as the component (A) can be measured as follows.
That is, first, 1 g of the binder polymer that is the object of acid value measurement is precisely weighed. 30 g of acetone is added to the precisely weighed binder polymer and dissolved uniformly. Next, an appropriate amount of phenolphthalein as an indicator is added to the solution, and titration is performed using a 0.1N potassium hydroxide (KOH) aqueous solution. The acid value is determined by calculating the number of mg of KOH required to neutralize the acetone solution of the binder polymer to be measured. When a solution obtained by mixing a binder polymer with a synthetic solvent, a diluting solvent, or the like is an object to be measured, the acid value is calculated by the following formula.
Acid value = 0.1 × Vf × 56.1 / (Wp × I / 100)
In the formula, Vf represents the titration amount (mL) of the aqueous KOH solution, Wp represents the weight (g) of the solution containing the measured binder polymer, and I represents the ratio of the nonvolatile content in the solution containing the measured binder polymer. (Mass%) is shown.
In addition, when blending the binder polymer in a state mixed with volatile components such as a synthetic solvent and a diluting solvent, the mixture is preliminarily heated for 1 to 4 hours at a temperature higher than the boiling point of the volatile components by 1 to 4 hours before being volatile. The acid value can also be measured after removing the component.
(B)成分である光重合性化合物としては、エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物を用いることができる。 As the photopolymerizable compound as component (B), a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group can be used.
エチレン性不飽和基を有する光重合性化合物としては、例えば、一官能ビニルモノマー、二官能ビニルモノマー、少なくとも3つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する多官能ビニルモノマーが挙げられる。 Examples of the photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated group include a monofunctional vinyl monomer, a bifunctional vinyl monomer, and a polyfunctional vinyl monomer having at least three polymerizable ethylenically unsaturated groups.
上記一官能ビニルモノマーとしては、例えば、上記(A)成分の好適な例である共重合体の合成に用いられるモノマーとして例示した(メタ)アクリル酸、(メタ)アクリル酸アルキルエステル及びそれらと共重合可能なモノマーが挙げられる。 Examples of the monofunctional vinyl monomer include (meth) acrylic acid, (meth) acrylic acid alkyl ester, and those co-polymerized as monomers used for the synthesis of a copolymer which is a preferred example of the component (A). Examples thereof include polymerizable monomers.
上記二官能ビニルモノマーとしては、例えば、ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAポリオキシエチレンポリオキシプロピレンジ(メタ)アクリレート(2,2−ビス(4−(メタ)アクリロキシポリエトキシポリプロポキシフェニル)プロパン)、ビスフェノールAジグリシジルエーテルジ(メタ)アクリレート、水酸基及びエチレン性不飽和基を有する化合物(例えば、β−ヒドロキシエチルアクリレート、β−ヒドロキシエチルメタクリレート等)と多価カルボン酸(例えば、無水フタル酸等)とのエステル化物等が挙げられる。 Examples of the bifunctional vinyl monomer include polyethylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, bisphenol A polyoxyethylene polyoxypropylene di (meth) acrylate (2 , 2-bis (4- (meth) acryloxypolyethoxypolypropoxyphenyl) propane), bisphenol A diglycidyl ether di (meth) acrylate, a compound having a hydroxyl group and an ethylenically unsaturated group (for example, β-hydroxyethyl acrylate) , Β-hydroxyethyl methacrylate, etc.) and polyvalent carboxylic acids (eg, phthalic anhydride, etc.).
上記少なくとも3つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する多官能ビニルモノマーとしては、例えば、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート等の多価アルコールとα,β−不飽和カルボン酸(例えば、アクリル酸、メタアクリル酸等)とを反応させて得られる化合物;トリメチロールプロパントリグリシジルエーテルトリ(メタ)アクリレート等のグリシジル基含有化合物とα,β−不飽和カルボン酸とを付加反応して得られる化合物;ジグリセリン(メタ)アクリレート等のジグリセリンとα,β−不飽和カルボン酸とを付加して得られる化合物などが挙げられる。 Examples of the polyfunctional vinyl monomer having at least three polymerizable ethylenically unsaturated groups include trimethylolpropane tri (meth) acrylate, tetramethylolmethanetri (meth) acrylate, tetramethylolmethanetetra (meth) acrylate, Polyhydric alcohols such as dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, ditrimethylolpropane tetraacrylate, and α, β-unsaturated carboxylic acids (for example, acrylic acid, methacrylic acid, etc.) Compound obtained by reaction; Compound obtained by addition reaction of glycidyl group-containing compound such as trimethylolpropane triglycidyl ether tri (meth) acrylate and α, β-unsaturated carboxylic acid; Diglycerin (meth) Diglycerol and α such acrylate, and compounds obtained by adding a β- unsaturated carboxylic acid.
これらの中でも、少なくとも3つの重合可能なエチレン性不飽和基を有する多官能ビニルモノマーを含有することが好ましい。さらに、電極腐食の抑制力及び現像容易性の観点から、ペンタエリスリトール由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物、ジペンタエリスリトール由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物及びトリメチロールプロパン由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物から選択される少なくとも1種を含むことが好ましく、ジペンタエリスリトール由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物及びトリメチロールプロパン由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物から選択される少なくとも1種を含むことがより好ましい。 Among these, it is preferable to contain a polyfunctional vinyl monomer having at least three polymerizable ethylenically unsaturated groups. Furthermore, from the viewpoint of electrode corrosion inhibition and ease of development, it has a (meth) acrylate compound having a skeleton derived from pentaerythritol, a (meth) acrylate compound having a skeleton derived from dipentaerythritol, and a skeleton derived from trimethylolpropane. It is preferable to include at least one selected from (meth) acrylate compounds, and at least selected from (meth) acrylate compounds having a skeleton derived from dipentaerythritol and (meth) acrylate compounds having a skeleton derived from trimethylolpropane. It is more preferable that 1 type is included.
ここで、ジペンタエリスリトール由来の骨格を有する(メタ)アクリレートとは、ジペンタエリスリトールと、(メタ)アクリル酸とのエステル化物を意味し、当該エステル化物には、アルキレンオキシ基で変性された化合物も包含される。上記のエステル化物は、一分子中におけるエステル結合の数が6であることが好ましいが、エステル結合の数が1〜5の化合物が混在していてもよい。 Here, (meth) acrylate having a skeleton derived from dipentaerythritol means an esterified product of dipentaerythritol and (meth) acrylic acid, and the esterified product is a compound modified with an alkyleneoxy group. Are also included. The esterified product preferably has 6 ester bonds in one molecule, but a compound having 1 to 5 ester bonds may be mixed therein.
また、トリメチロールプロパン由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物とは、トリメチロールプロパンと、(メタ)アクリル酸とのエステル化物を意味し、当該エステル化物には、アルキレンオキシ基で変性された化合物も包含される。上記のエステル化物は、一分子中におけるエステル結合の数が3であることが好ましいが、エステル結合の数が1〜2の化合物が混在していてもよい。また、トリメチロールプロパン由来の骨格を有する(メタ)アクリレート化合物は、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート化合物が2量化した化合物を用いてもよい。 The (meth) acrylate compound having a skeleton derived from trimethylolpropane means an esterified product of trimethylolpropane and (meth) acrylic acid, and the esterified product is a compound modified with an alkyleneoxy group. Are also included. The esterified product preferably has 3 ester bonds in one molecule, but may contain a compound having 1 to 2 ester bonds. Further, as the (meth) acrylate compound having a skeleton derived from trimethylolpropane, a compound obtained by dimerizing a trimethylolpropane di (meth) acrylate compound may be used.
上記の化合物は、1種を単独で又は2種以上組み合わせて用いることができる。 Said compound can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.
少なくとも3つの重合可能なエチレン性不飽和基を有するモノマーと、一官能ビニルモノマー、又は二官能ビニルモノマーを組み合わせて用いる場合、使用する割合に特に制限はないが、光硬化性及び電極腐食の抑制力を得る観点から、少なくとも3つの重合可能なエチレン性不飽和基を有するモノマーの割合が、感光性樹脂組成物に含まれる光重合性化合物の合計量100質量部に対して、30質量部以上であることが好ましく、50質量部以上であることがより好ましく、75質量部以上であることが更に好ましい。 When a monomer having at least three polymerizable ethylenically unsaturated groups is used in combination with a monofunctional vinyl monomer or a bifunctional vinyl monomer, the ratio to be used is not particularly limited, but photocurability and suppression of electrode corrosion are suppressed. From the viewpoint of obtaining strength, the proportion of the monomer having at least three polymerizable ethylenically unsaturated groups is 30 parts by mass or more with respect to 100 parts by mass of the total amount of the photopolymerizable compound contained in the photosensitive resin composition. It is preferable that it is 50 mass parts or more, and it is still more preferable that it is 75 mass parts or more.
本実施形態の感光性樹脂組成物における(A)成分及び(B)成分の含有量は、(A)成分及び(B)成分の合計量100質量部に対し、それぞれ(A)成分が35〜85質量部、(B)成分が15〜65質量部であることが好ましく、(A)成分が40〜80質量部、(B)成分が20〜60質量部であることがより好ましく、(A)成分が50〜70質量部、(B)成分が30〜50質量部であることが更に好ましく、(A)成分が55〜65質量部、(B)成分が35〜45質量部であることが特に好ましい。特に、透明性を維持し、パターンを形成する点では、(A)成分及び(B)成分の含有量は、(A)成分及び(B)成分の合計量100質量部に対し、(A)成分が、35質量部以上であることが好ましく、40質量部以上であることがより好ましく、50質量部以上であることが更に好ましく、55質量部以上であることが特に好ましい。 The content of the component (A) and the component (B) in the photosensitive resin composition of the present embodiment is such that the component (A) is 35 to 35 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the component (A) and the component (B). 85 parts by mass, component (B) is preferably 15-65 parts by mass, component (A) is 40-80 parts by mass, and component (B) is more preferably 20-60 parts by mass, (A It is more preferable that the component is 50 to 70 parts by mass, the component (B) is 30 to 50 parts by mass, the component (A) is 55 to 65 parts by mass, and the component (B) is 35 to 45 parts by mass. Is particularly preferred. In particular, in terms of maintaining transparency and forming a pattern, the content of the component (A) and the component (B) is (A) relative to 100 parts by mass of the total amount of the component (A) and the component (B). The component is preferably 35 parts by mass or more, more preferably 40 parts by mass or more, still more preferably 50 parts by mass or more, and particularly preferably 55 parts by mass or more.
(A)成分及び(B)成分の含有量を上記範囲内とすることにより、塗布性あるいは感光性エレメントでのフィルム形成性を充分に確保しつつ、充分な感度が得られ、光硬化性、現像性、及び電極腐食の抑制力を充分に確保することができる。 By setting the content of the component (A) and the component (B) within the above range, sufficient sensitivity can be obtained while sufficiently securing the coatability or film forming property of the photosensitive element, and photocurability, Sufficient developability and suppression of electrode corrosion can be secured.
本実施形態の感光性樹脂組成物は、光重合開始剤として、下記一般式(1)で表される化合物、下記一般式(2)で表される化合物及び下記一般式(3)で表される化合物からなる群より選択される1種以上の光重合開始剤を含む。このような感光性樹脂組成物を用いることにより、透明基材上に、薄膜であっても充分な防錆性を有する硬化膜を形成することができる。当該硬化膜は、透明性にも充分優れる。 The photosensitive resin composition of the present embodiment is represented by a compound represented by the following general formula (1), a compound represented by the following general formula (2), and the following general formula (3) as a photopolymerization initiator. 1 or more types of photoinitiators selected from the group consisting of: By using such a photosensitive resin composition, a cured film having sufficient antirust property can be formed on a transparent substrate even if it is a thin film. The cured film is sufficiently excellent in transparency.
式(1)中、R及びR1は、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数4〜10のシクロアルキル基、又はフェニル基を示し、R2は、OH、COOH、O(CH2)OH、O(CH2)2OH、COO(CH2)OH又はCOO(CH2)2OHを示す。なお、芳香環には、R2以外の置換基を有してもよい。 In formula (1), R and R 1 represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a cycloalkyl group having 4 to 10 carbon atoms, or a phenyl group, and R 2 represents OH, COOH, O (CH 2 ). OH, O (CH 2 ) 2 OH, COO (CH 2 ) OH or COO (CH 2 ) 2 OH is shown. Incidentally, the aromatic ring may have a substituent group other than R 2.
式(2)中、R3は、炭素数1〜6のアルキル基を示し、R4は、NO2又はArCO(ここで、Arはアリール基を示す。)を示し、R5及びR6は、炭素数1〜12のアルキル基、フェニル基又はトリル基を示す。なお、芳香環には、R4以外の置換基を有してもよい。 In Formula (2), R 3 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, R 4 represents NO 2 or ArCO (where Ar represents an aryl group), and R 5 and R 6 represent Represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a phenyl group, or a tolyl group. The aromatic ring may have a substituent other than R 4 .
式(3)中、R7は、炭素数1〜6のアルキル基を示し、R8は、アセタール結合を有する有機基を示し、R9及びR10は、炭素数1〜12のアルキル基、フェニル基又はトリル基を示す。なお、芳香環には、R8以外の置換基(メチル基等)を有してもよい。 In Formula (3), R 7 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, R 8 represents an organic group having an acetal bond, R 9 and R 10 represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, A phenyl group or a tolyl group is shown. The aromatic ring may have a substituent other than R 8 (such as a methyl group).
上記一般式(1)中、R及びR1は、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数4〜10のシクロアルキル基、又はフェニル基を示すが、炭素数1〜8のアルキル基、炭素数4〜6のシクロアルキル基又はフェニル基であることが好ましく、炭素数1〜4のアルキル基、炭素数4〜6のシクロアルキル基又はフェニル基であることがより好ましく、メチル基、シクロペンチル基又はフェニル基であることが更に好ましい。また、R2は、OH、COOH、O(CH2)OH、O(CH2)2OH、COO(CH2)OH又はCOO(CH2)2OHを示すが、O(CH2)OH、O(CH2)2OH、COO(CH2)OH又はCOO(CH2)2OHであることが好ましく、O(CH2)2OH又はCOO(CH2)2OHであることがより好ましい。 In the general formula (1), R and R 1 represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a cycloalkyl group having 4 to 10 carbon atoms, or a phenyl group, but an alkyl group having 1 to 8 carbon atoms, carbon It is preferably a cycloalkyl group having 4 to 6 carbon atoms or a phenyl group, more preferably an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, a cycloalkyl group having 4 to 6 carbon atoms or a phenyl group, and a methyl group or a cyclopentyl group. Or it is still more preferable that it is a phenyl group. R 2 represents OH, COOH, O (CH 2 ) OH, O (CH 2 ) 2 OH, COO (CH 2 ) OH or COO (CH 2 ) 2 OH, but O (CH 2 ) OH, O (CH 2 ) 2 OH, COO (CH 2 ) OH or COO (CH 2 ) 2 OH is preferred, and O (CH 2 ) 2 OH or COO (CH 2 ) 2 OH is more preferred.
上記一般式(2)中、R3は、炭素数1〜6のアルキル基を示すが、プロピル基であることが好ましい。R4は、NO2又はArCOを示すが、Arはアリール基を示し、Arとしては、トリル基が好ましい。また、R5及びR6は、炭素数1〜12のアルキル基、フェニル基又はトリル基を示すが、メチル基、フェニル基又はトリル基であることが好ましい。 In the general formula (2), R 3 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and is preferably a propyl group. R 4 represents NO 2 or ArCO, Ar represents an aryl group, and Ar is preferably a tolyl group. R 5 and R 6 represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a phenyl group, or a tolyl group, and are preferably a methyl group, a phenyl group, or a tolyl group.
上記一般式(3)中、R7は、炭素数1〜6のアルキル基を示すが、エチル基であることが好ましい。また、R8はアセタール結合を有する有機基であるが、下記式(3−1)に示す化合物が有する置換基であることが好ましい。さらに、R9及びR10は、炭素数1〜12のアルキル基、フェニル基又はトリル基を示すが、メチル基、フェニル基又はトリル基であることが好ましく、メチル基であることがより好ましい。 In the general formula (3), R 7 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, and is preferably an ethyl group. Although R 8 is an organic group having an acetal bond, it is preferably a substituent group of the compound represented by the following formula (3-1). Furthermore, R 9 and R 10 is an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, but a phenyl group or a tolyl group, a methyl group is preferably a phenyl group or a tolyl group, and more preferably a methyl group.
上記一般式(1)で表される化合物としては、例えば、下記式(1−1)で表される化合物が挙げられる。これは、アデカクルーズNCI−930(株式会社ADEKA製、商品名)として入手可能である。 Examples of the compound represented by the general formula (1) include a compound represented by the following formula (1-1). This is available as Adeka Cruise NCI-930 (trade name, manufactured by ADEKA Corporation).
上記一般式(2)で表される化合物としては、例えば、下記式(2−1)及び(2−2)で表される化合物が挙げられる。これらの化合物は、それぞれDFI−091、DFI−020(いずれもダイトーケミックス株式会社製、商品名)として入手可能である。 Examples of the compound represented by the general formula (2) include compounds represented by the following formulas (2-1) and (2-2). These compounds are available as DFI-091 and DFI-020 (both manufactured by Daitokemix Co., Ltd., trade names).
上記一般式(3)で表される化合物としては、例えば、下記式(3−1)で表される化合物が挙げられる。アデカオプトマーN−1919(株式会社ADEKA製、商品名)として入手可能である。 Examples of the compound represented by the general formula (3) include a compound represented by the following formula (3-1). It is available as Adekaoptomer N-1919 (manufactured by ADEKA, trade name).
光重合開始剤は、上記一般式(1)で表される化合物、下記一般式(2)で表される化合物及び下記一般式(3)で表される化合物からなる群より選択される1種以上の光重合開始剤(オキシムエステル化合物)以外の光重合開始剤を併用して使用することもできる。このような光重合開始剤としては、例えば、ベンゾフェノン、4−メトキシ−4’−ジメチルアミノベンゾフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルフォリノ−プロパノン−1等の芳香族ケトン;ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインフェニルエーテル等のベンゾインエーテル化合物;ベンゾイン、メチルベンゾイン、エチルベンゾイン等のベンゾイン化合物;ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体;9−フェニルアクリジン、1,7−ビス(9,9’−アクリジニル)ヘプタン等のアクリジン誘導体;N−フェニルグリシン、N−フェニルグリシン誘導体;クマリン系化合物;2−クロロチオキサントン、2−メチルチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、イソプロピルチオキサントン、2,4−ジクロロチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2,4−ジイソプロピルチオキサントン等のチオキサントン系化合物;3級アミン化合物;オキサゾール系化合物などが挙げられる。また、ジエチルチオキサントンとジメチルアミノ安息香酸の組み合わせのように、チオキサントン系化合物と3級アミン化合物とを組み合わせてもよい。 The photopolymerization initiator is selected from the group consisting of a compound represented by the above general formula (1), a compound represented by the following general formula (2), and a compound represented by the following general formula (3). Photopolymerization initiators other than the above photopolymerization initiators (oxime ester compounds) can also be used in combination. Examples of such a photopolymerization initiator include benzophenone, 4-methoxy-4′-dimethylaminobenzophenone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, 2- Aromatic ketones such as methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino-propanone-1; benzoin ether compounds such as benzoin methyl ether, benzoin ethyl ether and benzoin phenyl ether; benzoin, methyl benzoin and ethyl benzoin Benzoin compounds such as benzyl dimethyl ketal; benzyl derivatives such as benzyl dimethyl ketal; acridine derivatives such as 9-phenylacridine and 1,7-bis (9,9′-acridinyl) heptane; N-phenylglycine and N-phenylglycine derivatives; Compound; -Thioxanthone compounds such as chlorothioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, isopropylthioxanthone, 2,4-dichlorothioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2,4-diisopropylthioxanthone; tertiary amine compounds; Examples include oxazole compounds. Moreover, you may combine a thioxanthone type compound and a tertiary amine compound like the combination of diethyl thioxanthone and dimethylaminobenzoic acid.
(C)成分である光重合開始剤の含有量は、(A)成分及び(B)成分の合計量100質量部に対し、0.1〜20質量部であることが好ましく、1〜10質量部であることがより好ましく、2〜5質量部であることが更に好ましい。(C)成分の含有量は、光感度及び解像性に優れる点では、0.1質量部以上が好ましく、可視光透過率に優れる点では、20質量部以下であることが好ましい。 The content of the photopolymerization initiator that is the component (C) is preferably 0.1 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the component (A) and the component (B), and 1 to 10 parts by mass. More preferably, it is 2-5 mass parts. The content of the component (C) is preferably 0.1 parts by mass or more in terms of excellent photosensitivity and resolution, and is preferably 20 parts by mass or less in terms of excellent visible light transmittance.
本実施形態の感光性樹脂組成物には、その他、必要に応じて、紫外線吸収剤、シランカップリング剤等の密着性付与剤、レベリング剤、可塑剤、充填剤、消泡剤、難燃剤、安定剤、酸化防止剤、香料、熱架橋剤、重合禁止剤などを、(A)成分及び(B)成分の合計量100質量部に対し、各々0.01〜20質量部程度含有させることができる。これらは、単独で又は2種類以上を組み合わせて使用できる。 In addition to the photosensitive resin composition of the present embodiment, if necessary, adhesion imparting agents such as ultraviolet absorbers, silane coupling agents, leveling agents, plasticizers, fillers, antifoaming agents, flame retardants, A stabilizer, an antioxidant, a fragrance, a thermal crosslinking agent, a polymerization inhibitor, and the like may be contained in an amount of about 0.01 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the component (A) and the component (B). it can. These can be used alone or in combination of two or more.
本実施形態の感光性樹脂組成物は、400〜700nmにおける可視光透過率の最小値が85%以上であることが好ましく、92%以上であることがより好ましく、95%以上であることが更に好ましい。 In the photosensitive resin composition of the present embodiment, the minimum value of visible light transmittance at 400 to 700 nm is preferably 85% or more, more preferably 92% or more, and further preferably 95% or more. preferable.
ここで、感光性樹脂組成物の可視光透過率は以下のようにして求めることができる。まず、支持フィルム上に感光性樹脂組成物を含有する塗布液を、乾燥後の厚みが10μm以下となるように塗布し、これを乾燥することにより、感光性樹脂組成物層(感光層)を形成する。次に、ガラス基板上に、感光性樹脂組成物層(感光層)が接するようにラミネータを用いてラミネートする。こうして、ガラス基板上に、感光層及び支持フィルムが積層された測定用試料を得る。次に、得られた測定用試料に紫外線を照射して感光層を光硬化した後、紫外可視分光光度計を用いて、測定波長域400〜700nmにおける透過率を測定する。 Here, the visible light transmittance of the photosensitive resin composition can be determined as follows. First, a photosensitive resin composition layer (photosensitive layer) is coated by applying a coating solution containing the photosensitive resin composition on a support film so that the thickness after drying is 10 μm or less, and drying it. Form. Next, it laminates on a glass substrate using a laminator so that the photosensitive resin composition layer (photosensitive layer) is in contact. Thus, a measurement sample in which the photosensitive layer and the support film are laminated on the glass substrate is obtained. Next, after irradiating the obtained measurement sample with ultraviolet rays and photocuring the photosensitive layer, the transmittance in a measurement wavelength region of 400 to 700 nm is measured using an ultraviolet-visible spectrophotometer.
一般的な可視光波長域の光線である400〜700nmの波長域における透過率の最小値が85%以上であれば、例えば、タッチパネル(タッチセンサー)のセンシング領域の透明電極を保護する場合、タッチパネル(タッチセンサー)の額縁領域の金属層(例えば、ITO電極上に銅層を形成した層)を保護したときにセンシング領域の端部から硬化膜が見える場合等において、センシング領域での画像表示品質、色合い、輝度が低下することを充分抑制することができる。 If the minimum value of the transmittance in the wavelength range of 400 to 700 nm, which is a light beam in a general visible light wavelength range, is 85% or more, for example, when protecting the transparent electrode in the sensing area of the touch panel (touch sensor), the touch panel Image quality in the sensing area when the metal layer in the frame area of the (touch sensor) (for example, a layer in which a copper layer is formed on the ITO electrode) is protected and a cured film is visible from the edge of the sensing area. Further, it is possible to sufficiently suppress a decrease in hue and luminance.
また、本実施形態の感光性樹脂組成物は、CIELAB表色系でのb*が−0.2〜1.0であることが好ましく、0.0〜0.7であることがより好ましく、0.1〜0.4であることが更に好ましい。可視光透過率の最小値が85%以上である場合と同様に、センシング領域の画像表示品質、色合いの低下防止の観点からも、b*が−0.2以上1.0以下であることが好ましい。なお、CIELAB表色系でのb*は、例えばコニカミノルタ製分光測色計「CM−5」を使用し、b*が0.1〜0.2である厚さ0.7mmのガラス基板に厚み10μm以下の感光性樹脂組成物層を形成し、紫外線を照射して感光性樹脂組成物層を光硬化した後、D65光源、視野角2°に設定して測定することにより求められる。 In the photosensitive resin composition of the present embodiment, b * in the CIELAB color system is preferably −0.2 to 1.0, more preferably 0.0 to 0.7, More preferably, it is 0.1-0.4. Similarly to the case where the minimum value of the visible light transmittance is 85% or more, b * may be −0.2 or more and 1.0 or less from the viewpoint of image display quality in the sensing area and prevention of deterioration in hue. preferable. Note that b * in the CIELAB color system is, for example, a spectrophotometer “CM-5” manufactured by Konica Minolta, and a b * is 0.1 to 0.2 on a glass substrate having a thickness of 0.7 mm. It is obtained by forming a photosensitive resin composition layer having a thickness of 10 μm or less, irradiating with ultraviolet rays and photocuring the photosensitive resin composition layer, and then measuring by setting a D65 light source and a viewing angle of 2 °.
また、本実施形態の感光性樹脂組成物は、解像度をより向上させる観点から、365nmにおける吸光度が、0.4以下であることが好ましい。また、334nmにおける吸光度が、0.4以上であることが好ましい。感光性樹脂組成物を含む感光層が上記の吸光特性を有することにより、漏れ光をより吸収しやすくなり、漏れ光によるオキシムエステル化合物の分解を抑制することが可能となる。 Moreover, it is preferable that the light absorbency in 365 nm is 0.4 or less from the viewpoint of the photosensitive resin composition of this embodiment improving the resolution more. Moreover, it is preferable that the light absorbency in 334 nm is 0.4 or more. When the photosensitive layer containing the photosensitive resin composition has the light absorption characteristics described above, it becomes easier to absorb the leaked light, and the decomposition of the oxime ester compound due to the leaked light can be suppressed.
上記吸光度は、UV分光光度計(株式会社日立製作所製、分光光度計U−3310)を用いて測定できる。測定は、測定側に、支持フィルム上に任意の膜厚で上記感光層を形成した感光性エレメントを置き、リファレンス側に、支持フィルムを置き、吸光度モードにより300〜700nmまでを連続測定し、334nm、365nmにおける値を読みとることにより行われる。 The absorbance can be measured using a UV spectrophotometer (manufactured by Hitachi, Ltd., spectrophotometer U-3310). In the measurement, the photosensitive element having the above-mentioned photosensitive layer formed on the support film with an arbitrary film thickness is placed on the measurement side, the support film is placed on the reference side, and 300 to 700 nm is continuously measured in the absorbance mode, and 334 nm. This is done by reading the value at 365 nm.
上記の範囲に吸光度を調整する方法としては、例えば、オキシムエステル化合物と紫外線吸収剤との併用、及び感光層の膜厚の制御等が挙げられる。 Examples of the method for adjusting the absorbance within the above range include the combined use of an oxime ester compound and an ultraviolet absorber, and the control of the film thickness of the photosensitive layer.
本実施形態の感光性樹脂組成物は、基材上に感光層を形成するために用いることができる。例えば、感光性樹脂組成物を溶媒に均一に溶解又は分散させて得ることのできる塗布液を調製し、透明基材上に塗布することで塗膜を形成し、乾燥により溶媒を除去することで感光層を形成することができる。 The photosensitive resin composition of the present embodiment can be used for forming a photosensitive layer on a substrate. For example, by preparing a coating solution that can be obtained by uniformly dissolving or dispersing the photosensitive resin composition in a solvent, applying a coating on a transparent substrate, and then removing the solvent by drying. A photosensitive layer can be formed.
溶媒としては、各成分の溶解性、塗膜形成のし易さ等の点から、ケトン、芳香族炭化水素、アルコール、グリコールエーテル、グリコールアルキルエーテル、グリコールアルキルエーテルアセテート、エステル、ジエチレングリコール、クロロホルム、塩化メチレン等を用いることができる。これらの溶媒は、1種を単独で用いてもよいし、2種以上の溶媒からなる混合溶媒として用いてもよい。 Solvents include ketones, aromatic hydrocarbons, alcohols, glycol ethers, glycol alkyl ethers, glycol alkyl ether acetates, esters, diethylene glycol, chloroform, and chloride from the standpoints of solubility of each component and ease of film formation. Methylene or the like can be used. These solvents may be used alone or as a mixed solvent composed of two or more solvents.
上記溶媒の中でも、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート等を用いることが好ましい。 Among the above solvents, it is preferable to use ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl ether acetate and the like.
本発明の感光性樹脂組成物は感光性エレメントのように、感光性フィルムに製膜して用いることが好ましい。感光性フィルムを、タッチパネル用電極を有する透明基材上に積層することにより、ロールツーロールプロセスが容易に実現できる、溶剤乾燥工程が短縮できる等、製造工程の短縮及びコスト低減に大きく貢献することができる。 The photosensitive resin composition of the present invention is preferably used after being formed on a photosensitive film like a photosensitive element. Laminating a photosensitive film on a transparent substrate having a touch panel electrode can easily realize a roll-to-roll process, shorten a solvent drying process, etc., and greatly contribute to shortening the manufacturing process and reducing costs. Can do.
感光性エレメント1の感光層20は、本実施形態の感光性樹脂組成物を含有する塗布液を調製し、これを支持フィルム10上に塗布、乾燥することにより形成できる。塗布液は、上述した本実施形態の感光性樹脂組成物を構成する各成分を溶媒に均一に溶解又は分散することにより得ることができる。
The
溶媒としては、特に制限はなく、公知のものが使用でき、例えば、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、トルエン、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、メチレングリコール、エチレングリコール、プロピレングリコール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、クロロホルム、塩化メチレンが挙げられる。これら溶媒は、1種を単独で用いてもよいし、2種以上の溶媒からなる混合溶媒として用いてもよい。 The solvent is not particularly limited and known ones can be used. For example, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, toluene, methanol, ethanol, propanol, butanol, methylene glycol, ethylene glycol, propylene glycol, ethylene glycol monomethyl ether, Examples include ethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol ethyl methyl ether, diethylene glycol diethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether acetate, diethylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monomethyl ether acetate, chloroform, and methylene chloride. These solvents may be used alone or as a mixed solvent composed of two or more solvents.
塗布方法としては、例えば、ドクターブレードコーティング法、マイヤーバーコーティング法、ロールコーティング法、スクリーンコーティング法、スピナーコーティング法、インクジェットコーティング法、スプレーコーティング法、ディップコーティング法、グラビアコーティング法、カーテンコーティング法、及びダイコーティング法が挙げられる。 Application methods include, for example, doctor blade coating method, Mayer bar coating method, roll coating method, screen coating method, spinner coating method, inkjet coating method, spray coating method, dip coating method, gravure coating method, curtain coating method, and A die coating method may be mentioned.
乾燥条件に特に制限はないが、乾燥温度は、60〜130℃とすることが好ましく、乾燥時間は、0.5〜30分とすることが好ましい。 Although there is no restriction | limiting in particular in drying conditions, It is preferable that drying temperature shall be 60-130 degreeC, and it is preferable that drying time shall be 0.5-30 minutes.
感光層の厚みは、透明基材、電極等の保護に充分な効果を発揮し、かつ部分的な硬化膜形成により生じるタッチパネル(タッチセンサー)表面の段差が極力小さくなるよう、乾燥後の厚みで1μm以上9μm以下であることが好ましく、1μm以上8μm以下であることがより好ましく、2μm以上8μm以下であることが更に好ましいく、3μm以上8μm以下であることが特に好ましい。 The thickness of the photosensitive layer is the thickness after drying so that the step on the surface of the touch panel (touch sensor) produced by the formation of a partially cured film can be minimized as long as it is effective for protecting transparent substrates and electrodes. It is preferably 1 μm or more and 9 μm or less, more preferably 1 μm or more and 8 μm or less, further preferably 2 μm or more and 8 μm or less, and particularly preferably 3 μm or more and 8 μm or less.
本実施形態においては、感光層20の可視光透過率の最小値が85%以上であることが好ましく、92%以上であることがより好ましく、95%以上であることが更に好ましい。また、感光層20のCIELAB表色系でのb*が−0.2〜1.0であることが好ましく、0.0〜0.7であることがより好ましく、0.1〜0.4であることが更に好ましい。また、感光層20の、365nmにおける吸光度が、0.4以下であることが好ましい。感光層20の、334nmにおける吸光度が、0.4以上あることが好ましい。
In the present embodiment, the minimum value of the visible light transmittance of the
感光層20の粘度は、感光性エレメントをロール状とした場合に、感光性エレメント1の端面から感光性樹脂組成物がしみ出すことを1カ月以上防止する点、及び、感光性エレメント1を切断する際に感光性樹脂組成物の破片が基板に付着して引き起こされる活性光線を照射する際の露光不良、現像残り等を防止する点から、30℃において、15〜100mPa・sであることが好ましく、20〜90mPa・sであることがより好ましく、25〜80mPa・sであることが更に好ましい。
The viscosity of the
なお、上記の粘度は、感光性樹脂組成物から形成される直径7mm、厚さ2mmの円形の膜を測定用試料とし、この試料の厚さ方向に、30℃及び80℃で1.96×10−2Nの荷重を加えたときの厚さの変化速度を測定し、この変化速度からニュートン流体を仮定して粘度に換算した値である。 The viscosity is 1.96 × at 30 ° C. and 80 ° C. in the thickness direction of this sample using a circular film of 7 mm in diameter and 2 mm in thickness formed from the photosensitive resin composition as a measurement sample. It is a value obtained by measuring the rate of change of thickness when a load of 10 −2 N is applied, and converting it to viscosity from the rate of change assuming a Newtonian fluid.
保護フィルム30(カバーフィルム)としては、重合体フィルムを用いることができる。重合体フィルムとしては、例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン−酢酸ビニル共重合体、及びポリエチレン−酢酸ビニル共重合体とポリエチレンとの積層フィルム等からなるフィルムが挙げられる。 A polymer film can be used as the protective film 30 (cover film). Examples of the polymer film include polyethylene, polypropylene, polyethylene terephthalate, polycarbonate, polyethylene-vinyl acetate copolymer, and a film made of a laminated film of polyethylene-vinyl acetate copolymer and polyethylene.
保護フィルム30の厚さは、5〜100μm程度が好ましいが、ロール状に巻いて保管する観点から、70μm以下であることが好ましく、60μm以下であることがより好ましく、50μm以下であることがさらに好ましく、40μm以下であることが特に好ましい。
The thickness of the
感光性エレメント1は、ロール状に巻いて保管し、あるいは使用できる。 The photosensitive element 1 can be stored in a roll or stored.
本発明においては、上述した本実施形態の感光性樹脂組成物及び溶媒を含有する塗布液を、タッチパネル用電極を有する透明基材(タッチパネル用基材)上に塗布し、乾燥して、感光性樹脂組成物を含む感光層20を設けてもよい。この用途の場合においても、感光層は上述した、膜厚、可視光線透過率、CIELAB表色系でのb*、吸光度の条件を満たすことが好ましい。
In this invention, the photosensitive resin composition of this embodiment mentioned above and the coating liquid containing a solvent are apply | coated on the transparent base material (base material for touchscreens) which has an electrode for touchscreens, it dries, and is photosensitive. A
次に、本発明に係る硬化膜付き透明基材の製造方法について説明する。本発明の硬化膜付き透明基材の製造方法は、タッチパネル用電極の保護膜等のように薄膜による保護が要求される電子部品の保護膜、特には、静電容量式タッチパネルの金属電極の保護膜の形成に好適に用いることができる。 Next, the manufacturing method of the transparent base material with a cured film which concerns on this invention is demonstrated. The manufacturing method of the transparent base material with a cured film of this invention is a protective film of the electronic components by which protection by a thin film is requested | required like the protective film of the electrode for touchscreens, Especially protection of the metal electrode of an electrostatic capacitance type touch panel It can be suitably used for forming a film.
本発明に係る硬化膜付き透明基材の製造方法の一実施形態として、タッチパネル用電極の保護膜を有する保護膜付きタッチパネル用基材の製造方法について説明する(図1(b)、図2を参照)。図1及び図2は、本発明の一実施形態に係る保護膜付きタッチパネル用基材の製造方法の一例を説明するための模式断面図である。 As an embodiment of the method for producing a transparent substrate with a cured film according to the present invention, a method for producing a substrate for a touch panel with a protective film having a protective film for an electrode for a touch panel will be described (FIGS. 1B and 2). reference). FIG.1 and FIG.2 is a schematic cross section for demonstrating an example of the manufacturing method of the base material for touchscreen with a protective film which concerns on one Embodiment of this invention.
本実施形態の保護膜付きタッチパネル用基材の製造方法は、タッチパネル用電極210及び220を有する透明基材200(タッチパネル用基材)上に、上記の本実施形態に係る感光性樹脂組成物を含み、厚みが10μm以下である感光層20を設ける第1工程(図1(b)を参照)と、感光層20の所定部分を、紫外線を含む活性光線Lの照射により硬化させる第2工程(図2(a)を参照)と、活性光線の照射後に所定部分以外の感光層(感光層の活性光線が照射されていない部分)を除去し、電極の一部又は全部を被覆する感光性樹脂組成物層(感光層)の硬化膜パターンからなる保護膜22を形成する第3工程(図2(b)を参照)と、を備える。こうして、保護膜付きタッチパネル用基材300が得られる。得られる保護膜付きタッチパネル用基材は、タッチ入力シートである保護膜付きタッチパネル(タッチセンサー)として用いることができる。
The manufacturing method of the base material for touchscreens with a protective film of this embodiment WHEREIN: On the transparent base material 200 (base material for touchscreens) which has the
本実施形態で使用されるタッチパネル用基材としては、透明基材上にタッチパネル用電極が設けられたものが挙げられる。透明基材200としては、一般にタッチパネル(タッチセンサー)用として用いられる、ガラス板、プラスチック板、セラミック板等の基板が挙げられる。この基板上には、保護膜となる硬化膜を形成する対象となるタッチパネル用電極が設けられる。電極としては、ITO、Cu、Al、Mo等の電極、TFTなどが挙げられる。また、基板上には、基板と電極との間に絶縁層が設けられていてもよい。タッチパネル用基材は、400〜700nmの波長域での最小光透過率が85%以上であるものが好ましい。
As a base material for touchscreens used by this embodiment, what provided the electrode for touchscreens on the transparent base material is mentioned. Examples of the
図1(b)に示されるタッチパネル用電極210及び220を有するタッチパネル用基材は、例えば、以下の手順で得ることができる。PETフィルム等の透明基材200上に、ITO、Cuの順にスパッタ法により金属膜を形成した後、金属膜上にエッチング用感光性フィルムを貼り付け、所望のレジストパターンを形成し、不要なCuを塩化鉄水溶液等のエッチング液で除去した後、レジストパターンをはく離除去する。
The base material for touch panels which has the
本実施形態の第1工程では、本実施形態の感光性エレメント1の保護フィルム30を除去した後、感光性エレメント1を加熱しながら、タッチパネル用基材のタッチパネル用電極210及び220が設けられている表面に感光層20を圧着することにより転写し、積層する(図1の(b)を参照)。
In the first step of the present embodiment, after removing the
圧着手段としては、圧着ロールが挙げられる。圧着ロールは、加熱圧着できるように加熱手段を備えたものであってもよい。 Examples of the pressing means include a pressing roll. The pressure roll may be provided with a heating means so that it can be heat-pressure bonded.
加熱圧着する場合の加熱温度は、感光層20とタッチパネル用基材との密着性、並びに、感光層20とタッチパネル用電極210及び220との密着性を充分確保しながら、感光層20の構成成分が熱硬化あるいは熱分解されにくいよう、10〜180℃とすることが好ましく、20〜160℃とすることがより好ましく、30〜150℃とすることが更に好ましい。
The heating temperature for thermocompression bonding is a component of the
また、加熱圧着時の圧着圧力は、感光層20とタッチパネル用基材との密着性を充分確保しながら、タッチパネル用基材の変形を抑制する観点から、線圧で50〜1×105N/mとすることが好ましく、2.5×102〜5×104N/mとすることがより好ましく、5×102〜4×104N/mとすることが更に好ましい。
In addition, the pressure during thermocompression bonding is 50 to 1 × 10 5 N in terms of linear pressure from the viewpoint of suppressing deformation of the touch panel base material while ensuring sufficient adhesion between the
感光性エレメント1を上記のように加熱すれば、タッチパネル用基材を予熱処理することは必要ではないが、感光層20とタッチパネル用基材との密着性を更に向上させる点から、タッチパネル用基材を予熱処理することが好ましい。このときの予熱温度は、30〜180℃とすることが好ましい。
If the photosensitive element 1 is heated as described above, it is not necessary to pre-heat the base material for the touch panel, but from the point of further improving the adhesion between the
本実施形態においては、感光性エレメントを用いる代わりに、本実施形態の感光性樹脂組成物及び溶媒を含有する塗布液を調製してタッチパネル用基材のタッチパネル用電極210及び220が設けられている表面に塗布し、乾燥して感光層20を形成することができる。
In this embodiment, instead of using a photosensitive element, a coating liquid containing the photosensitive resin composition and solvent of this embodiment is prepared, and
感光層20は、上述した膜厚、可視光線透過率、CIELAB表色系でのb*、吸光度の条件を満たすことが好ましい。
The
本実施形態の第2工程では、感光層20の所定部分に、フォトマスク230を介して、活性光線Lをパターン状に照射する(図2の(a)を参照)。
In the second step of the present embodiment, a predetermined portion of the
活性光線を照射する際、感光層20上の支持フィルム10が透明の場合には、そのまま活性光線を照射することができ、不透明の場合には除去してから活性光線を照射する。感光層20の保護という点からは、支持フィルム10として透明な重合体フィルムを用い、この重合体フィルムを残存させたまま、それを通して活性光線を照射することが好ましい。
When irradiating actinic light, if the
活性光線Lの照射に用いられる活性光線の光源としては、公知の活性光源が使用でき、例えば、カーボンアーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等が挙げられ、紫外線を有効に放射するものであれば特に制限されない。 As a light source of actinic light used for irradiation of actinic light L, a known actinic light source can be used, and examples thereof include a carbon arc lamp, an ultrahigh pressure mercury lamp, a high pressure mercury lamp, a xenon lamp, etc. If it is, it will not be restrict | limited.
このときの、活性光線Lの照射量は、通常、1×102〜1×104J/m2であり、照射の際に、加熱を伴うこともできる。この活性光線照射量が、1×102J/m2未満では、光硬化の効果が不充分となる傾向があり、1×104J/m2を超えると、感光層20が変色する傾向がある。
The irradiation amount of the actinic ray L at this time is usually 1 × 10 2 to 1 × 10 4 J / m 2 , and heating can be accompanied during irradiation. If the irradiation amount of actinic rays is less than 1 × 10 2 J / m 2 , the effect of photocuring tends to be insufficient, and if it exceeds 1 × 10 4 J / m 2 , the
本実施形態においては、365nmにおける吸光度が0.4以下であり、334nmにおける吸光度が0.4以上である感光層20と、超高圧水銀灯、355nm、364nm等に発振をもつUVレーザなどの活性光線の光源との組合せが好ましい。
In the present embodiment, the
本実施形態の第3工程では、活性光線の照射後の感光層を現像液で現像して活性光線が照射されていない部分(すなわち、感光層の所定部分以外)を除去し、電極の一部又は全部を被覆する厚みが10μm以下の本実施形態の感光性樹脂組成物の硬化膜パターンからなる保護膜22を形成する(図2の(b)を参照)。形成される保護膜22は所定のパターンを有することができる。
In the third step of the present embodiment, the photosensitive layer after irradiation with actinic rays is developed with a developer to remove a portion not irradiated with actinic rays (that is, other than a predetermined portion of the photosensitive layer), and a part of the electrode Or the
なお、活性光線の照射後、感光層20に支持フィルム10が積層されている場合にはそれを除去した後、活性光線が照射されていない部分を現像液により除去する現像が行われる。
When the
現像方法としては、アルカリ水溶液、水系現像液、有機溶剤等の公知の現像液を用いて、スプレー、シャワー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知の方法により現像を行い、不要部を除去する方法等が挙げられ、中でも、環境、安全性の観点からアルカリ水溶液を用いることが好ましいものとして挙げられる。 As a development method, development is performed by a known method such as spraying, showering, rocking dipping, brushing, scraping, etc., using a known developing solution such as an alkaline aqueous solution, an aqueous developer, or an organic solvent, and unnecessary portions are removed. Among them, it is preferable to use an alkaline aqueous solution from the viewpoint of environment and safety.
アルカリ水溶液の塩基としては、水酸化アルカリ(リチウム、ナトリウム又はカリウムの水酸化物等)、炭酸アルカリ(リチウム、ナトリウム又はカリウムの炭酸塩若しくは重炭酸塩等)、アルカリ金属リン酸塩(リン酸カリウム、リン酸ナトリウム等)、アルカリ金属ピロリン酸塩(ピロリン酸ナトリウム、ピロリン酸カリウム等)、水酸化テトラメチルアンモニウム、トリエタノールアミンなどが挙げられ、中でも、水酸化テトラメチルアンモニウム等が好ましいものとして挙げられる。 Examples of the base of the alkaline aqueous solution include alkali hydroxide (lithium, sodium or potassium hydroxide, etc.), alkali carbonate (lithium, sodium or potassium carbonate or bicarbonate, etc.), alkali metal phosphate (potassium phosphate, etc.) , Sodium phosphate, etc.), alkali metal pyrophosphates (sodium pyrophosphate, potassium pyrophosphate, etc.), tetramethylammonium hydroxide, triethanolamine, etc. Among them, tetramethylammonium hydroxide, etc. are preferred. It is done.
また、炭酸ナトリウムの水溶液も好ましく用いられ、例えば、20〜50℃の炭酸ナトリウムの希薄溶液(0.5〜5質量%水溶液)が好適に用いられる。 An aqueous solution of sodium carbonate is also preferably used. For example, a dilute solution of sodium carbonate (0.5 to 5% by mass aqueous solution) at 20 to 50 ° C. is preferably used.
現像温度及び時間は、本実施形態の感光性樹脂組成物の現像性に合わせて調整することができる。 The development temperature and time can be adjusted according to the developability of the photosensitive resin composition of the present embodiment.
また、アルカリ水溶液中には、界面活性剤、消泡剤、現像を促進させるための少量の有機溶剤等を混入させることができる。 Further, a surfactant, an antifoaming agent, a small amount of an organic solvent for accelerating development, and the like can be mixed in the alkaline aqueous solution.
また、現像後、光硬化後の感光層20に残存したアルカリ水溶液の塩基を、有機酸、無機酸又はこれらの酸水溶液を用いて、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング、スクラッピング等の公知方法により酸処理(中和処理)することができる。
Further, the base of the alkaline aqueous solution remaining in the
さらに、酸処理(中和処理)の後、水洗する工程を行うこともできる。 Furthermore, the water washing process can also be performed after an acid treatment (neutralization treatment).
現像後、必要に応じて、活性光線の照射(例えば、5×103〜2×104J/m2)により、硬化膜パターンを更に硬化させてもよい。なお、本実施形態の感光性樹脂組成物は、現像後の加熱工程なしでも金属に対して優れた密着性を示すが、必要に応じて、現像後の活性光線の照射の代わりに、又は活性光線の照射と合わせて、加熱処理(80〜250℃)を施してもよい。 After development, the cured film pattern may be further cured by irradiation with actinic rays (for example, 5 × 10 3 to 2 × 10 4 J / m 2 ) as necessary. The photosensitive resin composition of the present embodiment exhibits excellent adhesion to a metal without a heating step after development, but if necessary, instead of irradiation with actinic light after development or an active A heat treatment (80 to 250 ° C.) may be performed in combination with the irradiation of light.
上述のように、本実施形態の感光性樹脂組成物及び感光性エレメントは、透明基材上に硬化膜を形成するための使用(硬化膜としての樹脂硬化膜パターン形成材料としての使用)、タッチパネル用基材の保護膜を形成するための使用(保護膜としての樹脂硬化膜パターン形成材料としての使用)等に好適である。感光性樹脂組成物の上記使用については溶媒と混合した塗布液を用いて保護膜を形成することができる。 As described above, the photosensitive resin composition and photosensitive element of this embodiment are used for forming a cured film on a transparent substrate (use as a resin cured film pattern forming material as a cured film), a touch panel. It is suitable for use for forming a protective film of a base material for use (use as a resin-cured film pattern forming material as a protective film) and the like. About the said use of the photosensitive resin composition, a protective film can be formed using the coating liquid mixed with the solvent.
また、本発明は、本発明に係る感光性樹脂組成物を含む樹脂硬化膜パターン形成材料を提供することができる。この樹脂硬化膜パターン形成材料は、上述した本実施形態の感光性樹脂組成物を含むことができ、更に上述した溶媒を含有する塗布液であることが好ましい。 Moreover, this invention can provide the resin cured film pattern forming material containing the photosensitive resin composition which concerns on this invention. This cured resin film pattern forming material can contain the photosensitive resin composition of the present embodiment described above, and is preferably a coating solution containing the solvent described above.
(電子部品及びその製造方法)
本実施形態に係る電子部品は、本実施形態に係る硬化膜付き透明基材を備える。硬化膜付き透明基材は、透明基材上に、本実施形態に係る感光性樹脂組成物の硬化物(硬化膜等)を備えている。本実施形態に係る電子部品において、硬化膜は、例えば、保護部材(保護膜等)、絶縁部材(絶縁膜等)などとして用いることもできる。
(Electronic components and manufacturing method thereof)
The electronic component according to the present embodiment includes the transparent substrate with a cured film according to the present embodiment. The transparent substrate with a cured film includes a cured product (cured film or the like) of the photosensitive resin composition according to the present embodiment on the transparent substrate. In the electronic component according to the present embodiment, the cured film can be used as, for example, a protective member (protective film or the like), an insulating member (insulating film or the like), or the like.
本実施形態に係る電子部品としては、例えば、タッチパネル、液晶ディスプレイ、有機エレクトロルミネッセンスディスプレイ、太陽電池モジュール、プリント配線板及び電子ペーパが挙げられる。 As an electronic component which concerns on this embodiment, a touch panel, a liquid crystal display, an organic electroluminescent display, a solar cell module, a printed wiring board, and electronic paper are mentioned, for example.
以下、図3〜図5を参照しつつ、本実施形態に係る電子部品、及びその製造方法(硬化膜パターンの使用例、保護膜の使用箇所)について更に説明する。 Hereinafter, with reference to FIGS. 3 to 5, the electronic component according to the present embodiment and the manufacturing method thereof (an example of use of a cured film pattern and a place where a protective film is used) will be further described.
図3は、本発明の一実施形態に係る静電容量式タッチパネルの一例を示す模式平面図である。図4(a)は、図3中のIVa−IVa線に沿った部分断面図であり、図4(b)は、別の実施形態に係る静電容量式タッチパネルにおける図4(a)に対応する部分の部分断面図であり、図5は、静電容量式タッチパネルの別の例を示す模式平面図である。 FIG. 3 is a schematic plan view showing an example of a capacitive touch panel according to an embodiment of the present invention. 4A is a partial cross-sectional view taken along line IVa-IVa in FIG. 3, and FIG. 4B corresponds to FIG. 4A in the capacitive touch panel according to another embodiment. FIG. 5 is a schematic plan view showing another example of a capacitive touch panel.
図3及び図4(a)に示されるタッチパネル(静電容量式タッチパネル)400は、透明基板(透明基材)401の片面に、タッチ位置座標を検出するためのタッチ画面402を有している。透明基板401上には、タッチ画面402の領域の静電容量変化を検出するための透明電極403及び透明電極404が交互に配置されている。透明電極403,404は、それぞれタッチ位置の静電容量の変化を検出する。これにより、透明電極403は、X位置座標の信号を検出し、透明電極404は、Y位置座標の信号を検出する。
A touch panel (capacitive touch panel) 400 shown in FIGS. 3 and 4A has a
透明基板401上には、透明電極403,404において検出したタッチ位置の検出信号を外部回路に伝えるための引き出し配線405が配置されている。引き出し配線405と、透明電極403,404とは、直接接続されていると共に、透明電極403,404上に配置された接続電極406を介して接続されている(図4(a)を参照)。なお、図4(b)に示すように、引き出し配線405と、透明電極403,404とは、接続電極406を介さずに直接接続されていてもよい。引き出し配線405の一端は、透明電極403,404に接続されており、引き出し配線405の他端は、外部回路と接続するための接続端子407に接続されている。
On the
引き出し配線405、接続電極406及び接続端子407上には保護膜422が配置されている。図4(a)に示す部分断面図においては、透明電極404の一部、並びに、引き出し配線405及び接続電極406の全部が保護膜422で覆われている。本実施形態に係る感光性樹脂組成物及び感光性エレメントは、引き出し配線405、接続電極406及び接続端子407を保護するための保護膜422として硬化物(硬化膜パターン)を形成するために好適に用いることができる。
A
また、このような保護膜422は、センシング領域にある電極を同時に保護することもできる。例えば、図3では、保護膜422により、引き出し配線405、接続電極406、センシング領域の一部の電極、及び、接続端子407の一部を保護している。保護膜を配置する位置は適宜変更してもよい。例えば、図5に示すように、タッチ画面402を全て保護するように保護膜423を配置してもよい。
Further, such a
上記タッチパネルは、例えば、上述した保護膜付きタッチパネル用基材の製造方法(図1(b)、図2を参照)と同様にして作製することができる。 The said touch panel can be produced similarly to the manufacturing method (refer FIG.1 (b) and FIG. 2) of the base material for touchscreens with a protective film mentioned above, for example.
本実施形態に係る感光性エレメントを用いたタッチパネル400の製造方法について説明する。まず、透明基板401上に、X位置座標を検出するための透明電極403を形成する。続いて、絶縁層(図示せず)を介して、Y位置座標を検出するための透明電極404を形成する。透明電極403,404の形成方法としては、例えば、透明基板401上に配置された透明電極層をエッチングする方法を用いることができる。
A method for manufacturing the
次に、透明基板401上に、外部回路と接続するための引き出し配線405、及び、引き出し配線405と透明電極403,404とを接続する接続電極406を形成する。引き出し配線405及び接続電極406は、透明電極403,404の形成後に形成してもよく、透明電極403,404の形成時に同時に形成してもよい。引き出し配線405及び接続電極406の形成方法としては、例えば、金属スパッタリング後にエッチングする方法を用いることができる。引き出し配線405は、例えば、フレーク状の銀を含有する導電ペースト材料を用いて、スクリーン印刷法により、接続電極406の形成時に同時に形成することができる。次に、引き出し配線405と外部回路とを接続するための接続端子407を形成する。
Next, on the
前記工程により透明基材401上に形成された透明電極403、透明電極404、引き出し配線405、接続電極406及び接続端子407を覆うように、本実施形態に係る感光性エレメントの感光層20を圧着し、これらの構成部材上に感光層20を転写する。次に、所望の形状のフォトマスクを介して、感光層20に対してパターン状に活性光線Lを照射して光硬化部を形成する。活性光線Lを照射した後、現像を行い、感光層20における光硬化部以外の部分を除去する。これにより、感光層20の光硬化部からなる保護膜422が形成される。以上により、保護膜422を備えるタッチパネル(保護膜422付きタッチパネル用基材を備えるタッチパネル)400を製造することができる。
The
次に、図6〜10を用いて、感光性エレメントを用いて得られる電子部品及びその製造方法の第3実施形態として、透明電極が同一平面に存在する静電容量式タッチパネル及びその製造方法の一例を説明する。図6は、タッチパネルの一例を示す模式平面図である。図7は、図6の一部切欠き斜視図である。図8は、図7のVIII−VIII線に沿った部分断面図である。図9は、タッチパネルの製造方法を説明するための一部切欠き斜視図であり、図9(a)は、透明電極を備える基板を示す一部切欠き斜視図であり、図9(b)は、静電容量式タッチパネルを示す一部切欠き斜視図である。図10は、タッチパネルの製造方法を説明するための部分断面図であり、図10(a)は、図9(a)のXa−Xa線に沿った部分断面図であり、図10(b)は、絶縁膜を形成する工程を示す部分断面図であり、図10(c)は、図9(b)のXc−Xc線に沿った部分断面図である。 Next, as a third embodiment of an electronic component obtained using a photosensitive element and a method for manufacturing the same using FIGS. 6 to 10, a capacitive touch panel in which transparent electrodes are present on the same plane and a method for manufacturing the same An example will be described. FIG. 6 is a schematic plan view showing an example of a touch panel. 7 is a partially cutaway perspective view of FIG. 8 is a partial cross-sectional view taken along line VIII-VIII in FIG. FIG. 9 is a partially cutaway perspective view for explaining a method of manufacturing a touch panel, and FIG. 9A is a partially cutaway perspective view showing a substrate provided with a transparent electrode, and FIG. FIG. 3 is a partially cutaway perspective view showing a capacitive touch panel. FIG. 10 is a partial cross-sectional view for explaining a method for manufacturing a touch panel, and FIG. 10A is a partial cross-sectional view taken along line Xa-Xa in FIG. 9A, and FIG. FIG. 10 is a partial cross-sectional view showing a step of forming an insulating film, and FIG. 10C is a partial cross-sectional view taken along line Xc-Xc in FIG. 9B.
図6〜8に示すタッチパネル(静電容量式タッチパネル)500は、透明基板(透明基材)501上に、静電容量変化を検出する透明電極503及び透明電極504を有している。透明電極503は、X位置座標の信号を検出する。透明電極504は、Y位置座標の信号を検出する。透明電極503及び透明電極504は、同一平面上に存在している。透明電極503,504には、タッチパネルとしての電気信号を制御するドライバ素子回路(図示せず)の制御回路に接続するための引き出し配線505a及び引き出し配線505bが接続されている。透明電極503と透明電極504とが交差する部分において透明電極503と透明電極504との間には、絶縁膜524が配置されている。
A touch panel (capacitance type touch panel) 500 shown in FIGS. 6 to 8 has a
図9〜10を用いて、タッチパネル500の製造方法について説明する。タッチパネル500の製造方法では、例えば、透明導電材料を用いた公知の方法により、透明電極503、及び、透明電極504を形成するための導電材料部が透明基板501上に予め形成された基板を用いてもよい。例えば、図9(a)及び図10(a)に示すように、透明電極503と、透明電極504を形成するための導電材料部504aとが予め形成された基板を用意する。次に、図10(b)に示すように、透明電極503及び透明電極504が交差することとなる透明電極503の一部(透明電極503における導電材料部504a同士に挟まれる部分)上に、本実施形態に係る感光性樹脂組成物を含む感光層を設け、露光及び現像することにより絶縁膜524を形成する。続いて、図9(b)及び図10(c)に示すように、公知の方法により、透明電極504のブリッジ部504bとして導電パターンを絶縁膜524上に形成する。導電材料部504a同士をブリッジ部504bにより導通することにより透明電極504が形成される。そして、引き出し配線505a,505bを形成することによりタッチパネル500が得られる。本実施形態に係る感光性エレメントは、絶縁膜524として硬化物(硬化膜パターン)を形成するために好適に用いることができる。
A method for manufacturing the
透明電極503,504は、例えば、ITO等を用いた公知の方法により形成されていてもよい。引き出し配線505a,505bは、透明導電材料の他、Cu、Ag等の金属などを用いた公知の方法で形成することができる。また、タッチパネル500の製造方法では、引き出し配線505a,505bが予め形成された基板を用いてもよい。
The
次に、図11を用いて、電子部品の第4実施形態として、タッチパネルの一例を説明する。図11は、タッチパネルの一例を示す部分平面図である。図11に示されるタッチパネル600は、タッチパネルの狭額縁化を意図したものである。
Next, an example of a touch panel will be described as a fourth embodiment of the electronic component with reference to FIG. FIG. 11 is a partial plan view showing an example of a touch panel. A
タッチパネル600は、透明基板(透明基材)601、透明電極604、配線(透明電極配線)604a、引き出し配線605及び絶縁膜(絶縁フィルム、例えば透明絶縁膜)625を有している。透明電極604及び配線604aは、透明基板601上に配置されている。配線604aは、透明電極604から延びている。絶縁膜625は、透明電極604の端部、及び、配線604a上に配置されている。引き出し配線605は、絶縁膜625上に配置されている。一部の透明電極604の端部の上方において、絶縁膜625に開口部608が形成されている。透明電極604及び引き出し配線605は、開口部608を介して接続及び導通されている。本実施形態に係る感光性エレメントは、絶縁膜625として硬化物(樹脂硬化膜パターン)を形成するために好適に用いることができる。
The
以下、実施例を挙げて本発明についてより具体的に説明する。ただし、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。 Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples.
[バインダーポリマー溶液(A1)の作製]
撹拌機、還流冷却器、不活性ガス導入口及び温度計を備えたフラスコに、表1に示す(1)を仕込み、窒素ガス雰囲気下で80℃に昇温し、反応温度を80℃±2℃に保ちながら、表1に示す(2)を4時間かけて均一に滴下した。(2)の滴下後、80℃±2℃で6時間撹拌を続け、重量平均分子量が65,000のバインダーポリマーの溶液(固形分45質量%)(A1)を得た。
[Preparation of binder polymer solution (A1)]
A flask equipped with a stirrer, a reflux condenser, an inert gas inlet and a thermometer was charged with (1) shown in Table 1, heated to 80 ° C. in a nitrogen gas atmosphere, and the reaction temperature was 80 ° C. ± 2 While maintaining the temperature, (2) shown in Table 1 was added dropwise uniformly over 4 hours. After dropping (2), stirring was continued at 80 ° C. ± 2 ° C. for 6 hours to obtain a binder polymer solution (solid content 45 mass%) (A1) having a weight average molecular weight of 65,000.
なお、重量平均分子量(Mw)は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィー法(GPC)によって測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて換算することにより導出した。GPCの測定条件を以下に示す。
<GPC測定条件>
ポンプ:日立 L−6000型(株式会社日立製作所製、製品名)
カラム:Gelpack GL−R420、Gelpack GL−R430、Gelpack GL−R440(以上、日立化成株式会社製、製品名)
溶離液:テトラヒドロフラン
測定温度:40℃
試料濃度:NV(不揮発分濃度)50質量%の樹脂溶液を120mg採取、5mLのTHFに溶解
注入量:200μL
圧力:4.9MPa
流量:2.05mL/分
検出器:日立 L−3300型RI(株式会社日立製作所製、製品名)
The weight average molecular weight (Mw) was measured by gel permeation chromatography (GPC), and was derived by conversion using a standard polystyrene calibration curve. The measurement conditions for GPC are shown below.
<GPC measurement conditions>
Pump: Hitachi L-6000 type (manufactured by Hitachi, Ltd., product name)
Column: Gelpack GL-R420, Gelpack GL-R430, Gelpack GL-R440 (above, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., product name)
Eluent: Tetrahydrofuran Measurement temperature: 40 ° C
Sample concentration: 120 mg of NV (non-volatile content) 50% by mass resin solution was collected and dissolved in 5 mL of THF Injection amount: 200 μL
Pressure: 4.9 MPa
Flow rate: 2.05 mL / min Detector: Hitachi L-3300 type RI (manufactured by Hitachi, Ltd., product name)
[酸価の測定方法]
また、酸価は、次のようにして測定した。まず、バインダーポリマーの溶液を、130℃で1時間加熱し、揮発分を除去して、固形分を得た。そして、酸価を測定すべきポリマー1.0gを精秤した後、このポリマーにアセトンを30g添加し、これを均一に溶解した。次いで、指示薬であるフェノールフタレインをその溶液に適量添加して、0.1NのKOH水溶液を用いて滴定を行った。そして、バインダーポリマーのアセトン溶液を中和するのに必要なKOHのmg数を次式により算出し、酸価を求めた。
酸価=0.1×Vf×56.1/(Wp×I/100)
式中、VfはKOH水溶液の滴定量(mL)を示し、Wpは測定した樹脂溶液の重量(g)を示し、Iは測定した樹脂溶液中の不揮発分の割合(質量%)を示す。
[Measurement method of acid value]
Moreover, the acid value was measured as follows. First, the binder polymer solution was heated at 130 ° C. for 1 hour to remove volatile components to obtain a solid content. Then, after precisely weighing 1.0 g of the polymer whose acid value is to be measured, 30 g of acetone was added to this polymer and dissolved uniformly. Next, an appropriate amount of an indicator, phenolphthalein, was added to the solution, and titration was performed using a 0.1N aqueous KOH solution. Then, the number of mg of KOH required to neutralize the acetone solution of the binder polymer was calculated by the following formula, and the acid value was determined.
Acid value = 0.1 × Vf × 56.1 / (Wp × I / 100)
In the formula, Vf represents the titration amount (mL) of the KOH aqueous solution, Wp represents the weight (g) of the measured resin solution, and I represents the ratio (mass%) of the non-volatile content in the measured resin solution.
(実施例1)
[感光性樹脂組成物を含有する塗布液(V−1)の調製]
表2に示す材料を、攪拌機を用いて15分間混合し、硬化膜を形成するための感光性樹脂組成物を含有する塗布液を調製した。
Example 1
[Preparation of Coating Solution (V-1) Containing Photosensitive Resin Composition]
The materials shown in Table 2 were mixed for 15 minutes using a stirrer to prepare a coating solution containing a photosensitive resin composition for forming a cured film.
[感光性エレメント(E−1)の作製]
支持フィルムとして厚さ50μmのポリエチレンテレフタレートフィルムを使用し、上記で調製した感光性樹脂組成物を含有する塗布液を支持フィルム上にコンマコーターを用いて均一に塗布し、100℃の熱風対流式乾燥機で3分間乾燥して溶媒を除去し、感光性樹脂組成物からなる感光層(感光性樹脂組成物層)を形成した。得られた感光層の厚さは5μmであった。
[Production of Photosensitive Element (E-1)]
Using a 50 μm thick polyethylene terephthalate film as the support film, uniformly apply the coating solution containing the photosensitive resin composition prepared above on the support film using a comma coater, and dry at 100 ° C. with hot air convection The solvent was removed by drying with a machine for 3 minutes to form a photosensitive layer (photosensitive resin composition layer) made of the photosensitive resin composition. The resulting photosensitive layer had a thickness of 5 μm.
次いで、得られた感光層の上に、さらに、25μmの厚さのポリエチレンフィルムを、カバーフィルムとして張り合わせて、硬化膜を形成するための感光性エレメント(E−1)を作製した。 Next, a polyethylene film having a thickness of 25 μm was further laminated as a cover film on the obtained photosensitive layer to produce a photosensitive element (E-1) for forming a cured film.
[硬化膜の透過率の測定]
得られた感光性エレメント(E−1)のカバーフィルムであるポリエチレンフィルムをはがしながら、厚さ1mmのガラス基板上に、感光層が接するようにラミネータ(日立化成株式会社製、商品名:HLM−3000型)を用いて、ロール温度120℃、基板送り速度1m/分、圧着圧力(シリンダ圧力)4×105Pa(厚さが1mm、縦10cm×横10cmの基板を用いたため、このときの線圧は9.8×103N/m)の条件でラミネートして、ガラス基板上に、感光層及び支持フィルムが積層された積層体を作製した。
[Measurement of transmittance of cured film]
A laminator (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name: HLM-) is used so that the photosensitive layer is in contact with a glass substrate having a thickness of 1 mm while peeling the polyethylene film which is the cover film of the obtained photosensitive element (E-1). 3000 type), a roll temperature of 120 ° C., a substrate feed speed of 1 m / min, a pressure bonding pressure (cylinder pressure) of 4 × 10 5 Pa (thickness of 1 mm, length of 10 cm × width of 10 cm) was used. The laminate was laminated under the condition of a linear pressure of 9.8 × 10 3 N / m), and a laminate in which a photosensitive layer and a support film were laminated on a glass substrate was produced.
次いで、得られた積層体の感光層に、平行光線露光機(株式会社オーク製作所製、EXM1201)を使用して、感光層側上方より露光量5×102J/m2で(i線(波長365nm)における測定値)、紫外線を照射した後、支持フィルムを除去し、さらに感光層側上方より露光量1×104J/m2で(i線(波長365nm)における測定値)紫外線を照射し、140℃に加熱した箱型乾燥機(三菱電機株式会社製、型番:NV50−CA)内に30分間静置した。厚み5.0μmの感光層の硬化膜(硬化膜パターン)を有する透過率測定用試料を得た。 Next, a parallel light exposure machine (EXM1201, manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) was used for the photosensitive layer of the obtained laminate, and an exposure amount of 5 × 10 2 J / m 2 (i-line ( Measured value at a wavelength of 365 nm), after irradiating with ultraviolet rays, the support film is removed, and further the ultraviolet ray is irradiated at an exposure amount of 1 × 10 4 J / m 2 from above the photosensitive layer side (measured value at i-line (wavelength 365 nm)). Irradiated and heated to 140 ° C. for 30 minutes in a box dryer (Mitsubishi Electric Corporation, model number: NV50-CA). A transmittance measurement sample having a cured film (cured film pattern) of a photosensitive layer having a thickness of 5.0 μm was obtained.
次いで、得られた試料を分光光度計U−3310(株式会社日立製作所製)を使用して、測定波長域400〜700nmで可視光透過率の最小値を測定した。 Subsequently, the minimum value of the visible light transmittance was measured for the obtained sample using a spectrophotometer U-3310 (manufactured by Hitachi, Ltd.) in a measurement wavelength range of 400 to 700 nm.
得られた硬化膜の可視光透過率最小値は、92.09%であり、良好な透過率を確保できていた。 The minimum value of visible light transmittance of the obtained cured film was 92.09%, and good transmittance was secured.
[硬化膜のb*の測定]
得られた感光性エレメント(E−1)の保護フィルムであるポリエチレンフィルムをはがしながら、厚さ0.7mmのガラス基板上に、感光層が接するようにラミネータ(日立化成株式会社製、商品名:HLM−3000型)を用いて、ロール温度120℃、基板送り速度1m/分、圧着圧力(シリンダ圧力)4×105Pa(厚さが1mm、縦10cm×横10cmの基板を用いたため、この時の線圧は9.8×103N/m)の条件でラミネートして、ガラス基板上に、感光層及び支持体フィルムが積層された基板を作製した。
[Measurement of b * of cured film]
Laminator (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name: so that the photosensitive layer is in contact with a 0.7 mm thick glass substrate while peeling the polyethylene film which is the protective film of the obtained photosensitive element (E-1). HLM-3000 type), a roll temperature of 120 ° C., a substrate feed rate of 1 m / min, a pressure bonding pressure (cylinder pressure) of 4 × 10 5 Pa (thickness of 1 mm, length of 10 cm × width of 10 cm) was used. The substrate was laminated under the condition of a linear pressure of 9.8 × 10 3 N / m), and a substrate in which a photosensitive layer and a support film were laminated on a glass substrate was produced.
次いで、得られた積層体の感光層に、平行光線露光機(オーク製作所(株)製、EXM1201)を使用して、感光層側上方より露光量5×102J/m2で(i線(波長365nm)における測定値)、紫外線を照射した後、支持フィルムを除去し、さらに感光層側上方より露光量1×104J/m2で(i線(波長365nm)における測定値)紫外線を照射し、140℃に加熱した箱型乾燥機(三菱電機株式会社製、型番:NV50−CA)内に30分間静置した。厚み5.0μmの感光層の硬化物からなる保護膜(硬化膜パターン)を有するb*測定用試料を得た。 Next, a parallel light exposure machine (EXM1201 manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) is used for the photosensitive layer of the obtained laminate, and the exposure amount is 5 × 10 2 J / m 2 from the upper side of the photosensitive layer (i line). (Measured value at wavelength 365 nm), after irradiating with ultraviolet rays, the support film is removed, and further at an exposure amount of 1 × 10 4 J / m 2 from above the photosensitive layer side (measured value at i-line (wavelength 365 nm)) Was placed in a box dryer (model number: NV50-CA manufactured by Mitsubishi Electric Corporation) heated to 140 ° C. for 30 minutes. A b * measurement sample having a protective film (cured film pattern) made of a cured product of a photosensitive layer having a thickness of 5.0 μm was obtained.
次いで、得られた試料をコニカミノルタ株式会社製、分光測色計(CM−5)を使用して、光源設定D65、視野角2°でCIELAB表色系でのb*を測定した。 Next, b * in the CIELAB color system was measured for the obtained sample using a spectrocolorimeter (CM-5) manufactured by Konica Minolta Co., Ltd. with a light source setting of D65 and a viewing angle of 2 °.
硬化膜のb*は0.53であり、良好なb*を有していることが確認された。 The b * of the cured film was 0.53, confirming that it had a good b * .
[感光層の感光特性]
PETフィルム(厚さ125μm、東洋紡績製、商品名A4300)に感光性エレメントのカバーフィルムであるポリエチレンフィルムをはがしながら、ラミネータ(日立化成株式会社製、商品名:HLM−3000型)を用いて、ロール温度120℃、基板送り速度1m/分、圧着圧力(シリンダ圧力)4×105Paの条件でラミネートした。活性光線の照射は、高圧水銀灯を有する露光機(株式会社オーク製作所製)EXM―1201のマイラーPET上に設置し、そのフィルターを介して所定量の活性光線を照射することにより行った。活性光線の照射後から室温で10分間放置した後、支持フィルムであるポリエチレンテレフタレートを除去し、30℃の1%炭酸ナトリウム水溶液で活性光線が照射されていない部分の感光性樹脂組成物層を60秒間スプレー現像した。スプレー現像後、株式会社オーク製作所製の紫外線照射装置を使用して1J/cm2の紫外線照射を行った。評価における感度は、日立化成株式会社製の41段ステップタブレットにて6/21段を得るための必要量の露光量とした。また、ライン幅/スペース幅が6/6〜47/47(単位:μm)の配線パターンを有するPET製のフォトマスクを密着させ、6/21段得られる露光量におけるパターンを光学顕微鏡により観察し、ライン・アンド・スペースとして残ったライン幅(μm)から解像度(μm)を求めた。
[Photosensitive characteristics of photosensitive layer]
Using a laminator (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name: HLM-3000 type) while peeling the polyethylene film that is the cover film of the photosensitive element on the PET film (thickness 125 μm, manufactured by Toyobo, trade name A4300), Lamination was performed under the conditions of a roll temperature of 120 ° C., a substrate feed rate of 1 m / min, and a pressure bonding pressure (cylinder pressure) of 4 × 10 5 Pa. Irradiation with actinic rays was carried out by placing on an exposure machine (manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) EXM-1201 Mylar PET having a high-pressure mercury lamp and irradiating a predetermined amount of actinic rays through the filter. After standing for 10 minutes at room temperature after irradiation with actinic rays, the support film, polyethylene terephthalate, was removed, and a portion of the photosensitive resin composition layer that was not irradiated with actinic rays with a 1% aqueous sodium carbonate solution at 30 ° C. Spray developed for 2 seconds. After spray development, ultraviolet irradiation of 1 J / cm 2 was performed using an ultraviolet irradiation device manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd. The sensitivity in the evaluation was the exposure amount necessary to obtain 6/21 steps with a 41-step tablet manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd. Further, a PET photomask having a wiring pattern with a line width / space width of 6/6 to 47/47 (unit: μm) is closely attached, and the pattern at the exposure amount obtained 6/21 is observed with an optical microscope. The resolution (μm) was determined from the line width (μm) remaining as line and space.
[硬化膜の塩水噴霧試験(人工汗液耐性評価試験)]
得られた感光性エレメントのカバーフィルムであるポリエチレンフィルムをはがしながら、スパッタ銅付きポリイミドフィルム(東レフィルム加工株式会社製)上に、感光層が接するようにラミネータ(日立化成株式会社製、商品名:HLM−3000型)を用いて、ロール温度120℃、基板送り速度1m/分、圧着圧力(シリンダ圧力)4×105Pa(厚さが1mm、縦10cm×横10cmの基板を用いたため、この時の線圧は9.8×103N/m)の条件でラミネートして、スパッタ銅上に、感光層及び支持フィルムが積層された積層体を作製した。
[Salt spray test of cured film (artificial sweat resistance evaluation test)]
Laminator (manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name) so that the photosensitive layer is in contact with the polyimide film with sputtered copper (manufactured by Toray Film Processing Co., Ltd.) while peeling off the polyethylene film which is the cover film of the obtained photosensitive element. HLM-3000 type), a roll temperature of 120 ° C., a substrate feed rate of 1 m / min, a pressure bonding pressure (cylinder pressure) of 4 × 10 5 Pa (thickness of 1 mm, length of 10 cm × width of 10 cm) was used. The laminate was laminated with the photosensitive layer and the support film laminated on the sputtered copper under the condition that the linear pressure at that time was 9.8 × 10 3 N / m).
次いで、得られた積層体の感光層に、平行光線露光機(株式会社オーク製作所製、EXM1201)を使用して、感光層側上方より露光量5×102J/m2で(i線(波長365nm)における測定値)、紫外線を照射した後、支持フィルムを除去し、さらに感光層側上方より露光量1×104J/m2で(i線(波長365nm)における測定値)紫外線を照射し、140℃に加熱した箱型乾燥機(三菱電機株式会社製、型番:NV50−CA)内に30分間静置した。厚み5.0μmの硬化膜が形成された人工汗液耐性評価用試料を得た。 Next, a parallel light exposure machine (EXM1201, manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.) was used for the photosensitive layer of the obtained laminate, and an exposure amount of 5 × 10 2 J / m 2 (i-line ( Measured value at a wavelength of 365 nm), after irradiating with ultraviolet rays, the support film is removed, and further the ultraviolet ray is irradiated at an exposure amount of 1 × 10 4 J / m 2 from above the photosensitive layer side (measured value at i-line (wavelength 365 nm)). Irradiated and heated to 140 ° C. for 30 minutes in a box dryer (Mitsubishi Electric Corporation, model number: NV50-CA). A sample for evaluating artificial sweat resistance with a cured film having a thickness of 5.0 μm was obtained.
次いで、JIS規格(Z 2371)を参考に、塩水噴霧試験機(スガ試験機株式会社製、STP−90V2)を用いて、試験槽内に前述の試料を載置し、濃度50g/Lの塩水(pH=6.7)を試験槽温度35℃、噴霧量1.5mL/hで48時間噴霧した。噴霧終了後、塩水を拭き取って、評価用試料の表面状態を観察し、以下の評点に従って評価した。表3に測定結果を示す。
A : 保護膜表面に全く変化なし。
B : 保護膜表面にごくわずかな痕跡が見えるが、銅は変化なし。
C : 保護膜表面に痕跡が見えるが、銅は変化なし。
D : 保護膜表面に痕跡があり、かつ銅が変色する。
Next, referring to the JIS standard (Z 2371), using the salt spray tester (Suga Test Instruments Co., Ltd., STP-90V2), the aforementioned sample was placed in the test tank, and the salt water having a concentration of 50 g / L. (PH = 6.7) was sprayed for 48 hours at a test bath temperature of 35 ° C. and a spray amount of 1.5 mL / h. After spraying, the salt water was wiped off, the surface state of the sample for evaluation was observed, and evaluation was performed according to the following scores. Table 3 shows the measurement results.
A: No change on the surface of the protective film.
B: Slight traces are visible on the surface of the protective film, but copper remains unchanged.
C: Traces are visible on the surface of the protective film, but copper is unchanged.
D: There is a trace on the surface of the protective film, and copper is discolored.
(実施例2〜5、比較例1〜7)
表2及び表3に示す感光性樹脂組成物を含有する塗布液を用いた以外は、実施例1と同様に感光性エレメントを作製し、透過率の測定、CIELAB表色系でのb*、感光特性、塩水噴霧について評価した。なお、表2及び表3中の数値は質量部を示している。
(Examples 2-5, Comparative Examples 1-7)
A photosensitive element was prepared in the same manner as in Example 1 except that the coating solution containing the photosensitive resin composition shown in Tables 2 and 3 was used, and measurement of transmittance, b * in the CIELAB color system, Photosensitivity and salt spray were evaluated. In addition, the numerical value in Table 2 and Table 3 has shown the mass part.
表2及び表3の成分の記号は以下の意味を示す。
(A)成分
(A1):モノマー配合比(メタクリル酸/メタクリル酸メチル/アクリル酸エチル=12/58/30(質量比))である共重合体のプロピレングリコールモノメチルエーテル/トルエン溶液、重量平均分子量65,000、酸価78mgKOH/g
The symbols of the components in Table 2 and Table 3 have the following meanings.
(A) Component (A1): Propylene glycol monomethyl ether / toluene solution of copolymer having a monomer blending ratio (methacrylic acid / methyl methacrylate / ethyl acrylate = 12/58/30 (mass ratio)), weight average molecular weight 65,000, acid value 78mgKOH / g
(B)成分
T−1420:KAYARAD T−1420(T)、ジトリメチロールプロパンテトラアクリレート(日本化薬株式会社製)
(B) Component T-1420: KAYARAD T-1420 (T), ditrimethylolpropane tetraacrylate (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
(C)成分
NCI−930:アデカクルーズNCI−930(株式会社ADEKA製)
N−1919:アデカオプトマーN−1919(株式会社ADEKA製)
DFI−091:ダイトーケミックス株式会社製
他の光重合開始剤
NCI−831:アデカクルーズNCI−831(株式会社ADEKA製)
IRGACURE OXE 02:エタノン,1−[9−エチル−6−(2−メチルベンゾイル)−9H−カルバゾール−3−イル]−,1−(O−アセチルオキシム)(BASF株式会社製)
DFI−020:ダイトーケミックス株式会社製
I−907:IRGACURE 907、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノプロパン−1−オン(BASF株式会社製)
DETX:KAYACURE DETX−S、2,4―ジエチルチオキサントン(日本化薬株式会社製)
I−2959:IRGACURE 2959、1−[4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニル]−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1−オン(BASF株式会社製)
N−1717:1,7−ビス(9−アクリジニル)ヘプタン(株式会社ADEKA製)
2−MBI:2−メルカプトベンゾイミダゾール(東京化成工業株式会社製)
EAB:4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン(保土ヶ谷化学株式会社製)
(C) Component NCI-930: Adeka Cruz NCI-930 (manufactured by ADEKA Corporation)
N-1919: Adekaoptomer N-1919 (manufactured by ADEKA Corporation)
DFI-091: Other photopolymerization initiator NCI-831 manufactured by Daitokemix Co., Ltd. Adeka Cruise NCI-831 (manufactured by ADEKA Corporation)
IRGACURE OXE 02: Ethanone, 1- [9-ethyl-6- (2-methylbenzoyl) -9H-carbazol-3-yl]-, 1- (O-acetyloxime) (manufactured by BASF Corporation)
DFI-020: Daitokemix Co., Ltd. I-907: IRGACURE 907, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropan-1-one (manufactured by BASF Corporation)
DETX: KAYACURE DETX-S, 2,4-diethylthioxanthone (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
I-2959: IRGACURE 2959, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propan-1-one (manufactured by BASF Corporation)
N-1717: 1,7-bis (9-acridinyl) heptane (manufactured by ADEKA Corporation)
2-MBI: 2-mercaptobenzimidazole (manufactured by Tokyo Chemical Industry Co., Ltd.)
EAB: 4,4′-bis (diethylamino) benzophenone (Hodogaya Chemical Co., Ltd.)
その他
AW500:Antage W−500、2,2’−メチレン−ビス(4−エチル−6−tert−ブチルフェノール)(川口化学株式会社製)
PM21:光重合性不飽和結合を含むリン酸エステル(日本化薬株式会社製)
B−6030:5−アミノ−1H−テトラゾール(千代田ケミカル株式会社製、商品名:チオエールB−6030)
SH−30:シリコーンレベリング剤(東レ・ダウコーニング株式会社製)
メチルエチルケトン:東燃化学株式会社製
Other AW500: Antage W-500, 2,2′-methylene-bis (4-ethyl-6-tert-butylphenol) (manufactured by Kawaguchi Chemical Co., Ltd.)
PM21: Phosphate ester containing a photopolymerizable unsaturated bond (manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.)
B-6030: 5-amino-1H-tetrazole (manufactured by Chiyoda Chemical Co., Ltd., trade name: thioale B-6030)
SH-30: Silicone leveling agent (manufactured by Dow Corning Toray)
Methyl ethyl ketone: manufactured by Tonen Chemical Corporation
下記表4に示すように、光重合開始剤として上記特定のオキシムエステル化合物を用いた実施例1〜4においては、5μmの膜厚において高い透明性を有しながら、高い防錆性(塩水噴霧試験)を両立することができた。一方、比較例1、5においては、高い防錆性(塩水噴霧試験)を得ることができたが、黄色味が強かった。また、比較例1では解像度の低下が大きかった。比較例2〜4及び6〜7においては、高い防錆性(塩水噴霧試験)を得ることができなかった。 As shown in Table 4 below, in Examples 1 to 4 using the specific oxime ester compound as a photopolymerization initiator, the film has a high antirust property (salt spray) while having high transparency at a film thickness of 5 μm. Test). On the other hand, in Comparative Examples 1 and 5, high antirust property (salt water spray test) could be obtained, but yellow was strong. In Comparative Example 1, the resolution was greatly reduced. In Comparative Examples 2-4 and 6-7, high antirust property (salt water spray test) could not be obtained.
1…感光性エレメント、10…支持フィルム、20…感光層、22,422,423…保護膜、30…保護フィルム、200…透明基材、210,220…タッチパネル用電極、230…フォトマスク、300…保護膜付きタッチパネル用基材、400,500,600…タッチパネル、401,501,601…透明基板、402…タッチ画面、403,404,503,504,604…透明電極、405,505a,505b,605…引き出し配線、406…接続電極、407…接続端子、504a…導電材料部、504b…ブリッジ部、524,625…絶縁膜、604a…配線(透明電極配線)、608…開口部。 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Photosensitive element, 10 ... Support film, 20 ... Photosensitive layer, 22,422,423 ... Protective film, 30 ... Protective film, 200 ... Transparent substrate, 210,220 ... Touch panel electrode, 230 ... Photomask, 300 ... Touch panel substrate with protective film, 400, 500, 600 ... Touch panel, 401, 501, 601 ... Transparent substrate, 402 ... Touch screen, 403, 404, 503, 504, 604 ... Transparent electrode, 405, 505a, 505b, Reference numeral 605... Lead wiring, 406. Connection electrode, 407. Connection terminal, 504 a. Conductive material portion, 504 b. Bridge portion, 524, 625 .. Insulating film, 604 a ... Wiring (transparent electrode wiring), 608.
Claims (10)
[式(1)中、R及びR1は、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数4〜10のシクロアルキル基、又はフェニル基を示し、R2は、OH、COOH、O(CH2)OH、O(CH2)2OH、COO(CH2)OH又はCOO(CH2)2OHを示す。]
[式(2)中、R3は、各々独立に炭素数1〜6のアルキル基を示し、R4は、NO2又はArCO(ここで、Arはアリール基を示す。)を示し、R5及びR6は、炭素数1〜12のアルキル基、フェニル基又はトリル基を示す。]
[式(3)中、R7は、炭素数1〜6のアルキル基を示し、R8は、アセタール結合を有する有機基を示し、R9及びR10は、炭素数1〜12のアルキル基、フェニル基又はトリル基を示す。なお、芳香環には、R8以外の置換基を有してもよい。] On a transparent substrate, a binder polymer, a photopolymerizable compound, a compound represented by the following general formula (1), a compound represented by the following general formula (2) and the following general formula (3) A photosensitive layer containing a photosensitive resin composition containing at least one photopolymerization initiator selected from the group consisting of compounds, and curing a predetermined portion of the photosensitive layer by irradiation with actinic rays; The manufacturing method of the transparent base material with a cured film which removes other than the said predetermined part of a photosensitive layer, and forms the cured film of the said photosensitive resin composition which coat | covers a part or all of the said base material.
[In the formula (1), R and R 1 represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a cycloalkyl group having 4 to 10 carbon atoms, or a phenyl group, and R 2 represents OH, COOH, O (CH 2 ) OH, O (CH 2 ) 2 OH, COO (CH 2 ) OH or COO (CH 2 ) 2 OH. ]
[In Formula (2), R 3 each independently represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, R 4 represents NO 2 or ArCO (wherein Ar represents an aryl group), and R 5 And R 6 represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a phenyl group, or a tolyl group. ]
[In Formula (3), R 7 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, R 8 represents an organic group having an acetal bond, and R 9 and R 10 represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms. Represents a phenyl group or a tolyl group. The aromatic ring may have a substituent other than R 8 . ]
[式(1)中、R及びR1は、炭素数1〜12のアルキル基、炭素数4〜10のシクロアルキル基、又はフェニル基を示し、R2は、OH、COOH、O(CH2)OH、O(CH2)2OH、COO(CH2)OH又はCOO(CH2)2OHを示す。]
[式(2)中、R3は、各々独立に炭素数1〜6のアルキル基を示し、R4は、NO2又はArCO(ここで、Arはアリール基を示す。)を示し、R5及びR6は、炭素数1〜12のアルキル基、フェニル基又はトリル基を示す。]
[式(3)中、R7は、炭素数1〜6のアルキル基を示し、R8は、アセタール結合を有する有機基を示し、R9及びR10は、炭素数1〜12のアルキル基、フェニル基又はトリル基を示す。なお、芳香環には、R8以外の置換基を有してもよい。] Selected from the group consisting of a binder polymer, a photopolymerizable compound, a compound represented by the following general formula (1), a compound represented by the following general formula (2), and a compound represented by the following general formula (3) 1 or more types of photoinitiators used, The photosensitive resin composition used in order to form a cured film on a transparent base material.
[In the formula (1), R and R 1 represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a cycloalkyl group having 4 to 10 carbon atoms, or a phenyl group, and R 2 represents OH, COOH, O (CH 2 ) OH, O (CH 2 ) 2 OH, COO (CH 2 ) OH or COO (CH 2 ) 2 OH. ]
[In Formula (2), R 3 each independently represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, R 4 represents NO 2 or ArCO (wherein Ar represents an aryl group), and R 5 And R 6 represents an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms, a phenyl group, or a tolyl group. ]
[In Formula (3), R 7 represents an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms, R 8 represents an organic group having an acetal bond, and R 9 and R 10 represent an alkyl group having 1 to 12 carbon atoms. Represents a phenyl group or a tolyl group. The aromatic ring may have a substituent other than R 8 . ]
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