JP2014533463A - センサアレイ上にインターリーブ配置された画像コピーのオーバーラップしたセグメントを備えたスペクトルカメラ - Google Patents
センサアレイ上にインターリーブ配置された画像コピーのオーバーラップしたセグメントを備えたスペクトルカメラ Download PDFInfo
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Abstract
Description
http://en.wikipedia.org/wiki/Hyperspectral_imaging
http://faculty.cua.edu/mathewss/journals/Appl%20Opt%20V47%20N28%202008.pdf
インターリーブ配置された空間パターンのフィルタアレイは、空間的に隣接した光学チャネルの検出したセグメントのコピーが、異なる通過帯域を有し、かつ、互いに少なくとも部分的にオーバーラップした画像セグメントを表し、そして、空間的に隣接していない光学チャネルでの同じ通過帯域の検出したセグメントのコピーの少なくともいくつかが、共にフィット(fit)し、隣接した画像セグメントを表すように、配置されている。
インターリーブ配置された空間パターンのフィルタアレイは、空間的に隣接した光学チャネルの検出したセグメントのコピーが、異なる通過帯域を有し、かつ、互いに少なくとも部分的にオーバーラップした画像セグメントを表し、そして、空間的に隣接していない光学チャネルでの同じ通過帯域の検出したセグメントのコピーの少なくともいくつかが、共にフィットし、隣接した画像セグメントを表すように、配置されており、
該方法は、所定の通過帯域ついて検出したセグメントのコピーを処理して、これらを縫合し、そして、異なる通過帯域ついて縫合したコピーを整列させるステップを有する。使用時にフィルタアレイを交換して、異なるインターリーブ配置のパターンを有するフィルタアレイを使用する追加のステップが存在してもよい。
該方法は、空間的に隣接した光学チャネルの検出したセグメントのコピーが、異なる通過帯域を有し、互いに少なくとも部分的にオーバーラップした画像セグメントを表し、そして、空間的に隣接していない光学チャネルでの同じ通過帯域の検出したセグメントのコピーの少なくともいくつかが、共にフィットし、隣接した画像セグメントを表すように、フィルタアレイの通過帯域およびインターリーブ配置の空間パターンを選択するステップと、
選択した通過帯域およびこれらの空間配置に従って、フィルタアレイを製造するステップとを有する。
ハイパースペクトルイメージングシステムまたはカメラが、種々のディスクリート部品、例えば、入射する電磁スペクトルを受光するための光学サブシステム、受光したスペクトル内で種々の帯域を生成するためのフィルタアレイ、種々の帯域を検出するための画像センサアレイなどで構成できる。光学サブシステムは、単一または種々のレンズ、アパーチャ及び/又はスリットの組合せで構成できる。フィルタアレイは、1つ以上のプリズム、グレーティング、光ファィバ、音響光学可変同調フィルタ、液晶可変同調フィルタなど、またはこれらの組合せで構成できる。
後述のような実施形態が、3D HSIキューブのより高速な取得を可能にし、W×H×NBサイズのキューブ(但し、NBは通過帯域の数)内の各ポイントをセンサアレイ上のセンサ素子により効率的にマッピングすることによって、スナップショットイメージングを可能にする。NB個のサブ画像の各々を多数のセグメントに細分化し、これらのセグメントを2Dセンサ上で相互に並んでインターリーブ配置することによって、場面で検知されたW×H個の空間ポイントの各々がセンサアレイにおいてNB回光学的に複製される。センサアレイ上で制限されたスペースに起因して、通常、空間分解能とスペクトル分解能との間のトレードオフが存在するようになる。
図2は、図1と同様に、他の実施形態に係るスペクトルカメラの概略図を示しており、光学複製を実行するための光の経路およびレンズセット25の効果の詳細な表現とともに特定の実装を示す。センサアレイ上の画像セグメントのコピーの平面図も示しており、ここから検出され、読み出され、データバッファに画像キューブとして保存される。対物レンズ10に続いてレンズアレイ25が配置されており、対物レンズから到来する光が光学チャネルに分割され、画像セグメント当り1つのレンズが存在する。画像セグメントのコピーの平面図は、規則的なパターンの通過帯域が4×4のブロックの形態で存在し、ブロックはセンサアレイにおいて繰り返されることを示す。
・対物レンズ速度が固定されたまま(より正確には、マイクロレンズのものと整合したまま)である場合、対物レンズは、ズーム動作、再合焦動作の柔軟性を実現できる。
・標準のレンズマウントと互換性がある。
・完全なセンサ使用が、視野絞りおよびレンズシステムの位置決めを用いて理論的に可能である
・インターリーブ配置のおかげで減少したレンズサイズに起因して、在庫レンズコンポーネントを用いて、良好な光学性能(高い分解能、広いFOV、高い光スループット)が可能である。
・(複合)レンズの標準マウントが可能である。
・スペクトルタイルを再構築するために必要な縫合(口径食、レンズシート欠陥、…と組み合わせて)
図3は、図2のカメラの一部の拡大図を示す。これは、レンズおよび、集積フィルタを備えたセンサアレイの側面図である。各レンズにつき特定帯域のフィルタが存在する。よって、所定の色の光だけが各レンズで検出されることになる。よって、画像は、レンズの左側で色付きビームを示すが、これは現実であることを意図するものでなく、全ての色が左方からフィルタに到達し、1つの色が通過して検出器に到達することになる。各レンズでは、センサアレイの平面図に示すように、画像の1つのセグメントからの光がセンサ素子のブロックに到達する。センサ素子の各ブロックが、レンズの1つに対応する(ブロックが充分に小さい場合、マイクロレンズでもよい)。
図4は、オーバーラッピングした画像セグメントのコピーの配置の他の例のより詳細な図を示すもので、画像セグメントがセンサアレイ上に投影されるときの平面図で示す。左上図が、繰り返しパターンの一部の表現である。これは、9個の帯域および9個の対応フィルタが3×3のグリッドで配置されることを示す。上の行は帯域1,2,3を有し、第2行は帯域4,5,6を有し、下の行は帯域7,8,9を有する。種々の色の帯域が、濃淡レベルで表現される。各帯域が3ブロック毎に繰り返す。各ブロックは、多くのセンサ素子および対応した数の画素を有することができる。平面図で判るように、ブロックはそれぞれ、隣接ブロック間で画像セグメントのある固定したオーバーラップ量を持つ画像セグメントを表している。このケースでは、隣接ブロックでのオーバーラップは66%である。これは、1つの介在ブロックを有するブロックと33%のオーバーラップが存在しており、2つの介在ブロックを有するブロックとのオーバーラップがないことを意味する。これは、同じ通過帯域のブロック全てを採用した場合、オーバーラップが無く、共に縫合して元の画像を再生成できることを意味する。繰り返しは、このケースでは、両方の空間方向において均等であるが、変形例を伴うより複雑な例が他の図に記載している
図5は、図1と同様に、センサアレイの読み出し後、再縫合のためのプロセッサ200の追加を伴う他の実施形態に係るスペクトルカメラの概略図を示す。プロセッサは、カメラの中に組み込んだり、あるいは外部の画像処理システムの一部にできる。これは、図4に示したフィルタ配置でセンサアレイから読み出した各帯域について、画像の一部を再縫合するために使用できる。プロセッサは、データバッファのためのアドレス発生器の形態で実装でき、センサアレイがデータバッファ中に読み出された場合、適切なアドレスが発生して、1つの帯域についての画像の一部を単一フレームに対応したアドレスに保存するように、まるで再縫合されたように構成される。
図6は、図1と同様に、集積フィルタを持つ交換可能なセンサアレイ42を備えた、他の実施形態に係るスペクトルカメラの概略図を示す。このケースでは、交換は、交換可能なセンサアレイを旋回軸41の周りに回転させて、元のセンサアレイ40の位置を占めるようにすることによって実施できる。原理上は他の配置が想定できる。例えば、センサアレイを移動させるのではなく、光学経路が交換可能なセンサアレイへ移動できたり、あるいは、交換可能なアレイは回転ではなくスライドできるものである。任意の数の異なるセンサアレイが旋回軸に固定できる。幾つかのケースでは、必要に応じて、レンズアレイなどの光学複製機が交換でき、必要に応じて、画像コピーのレイアウトまたはこれらの倍率が変化できるものである。幾つかのケースでは、視野絞りも変える必要があるが、これは別個の機構として実装できる。
図7は、六角形状のフィルタ上の六角形状の画像コピーの図を示す。これは、3つの完全な六角形状の画像コピー230,240,250および数多くの半分画像コピー260,270,280,290を示す。半分コピーおよび角部セグメントは、再縫合され、異なる帯域の完全な画像を製作できる。
図8は、パターンでの繰り返しが4ブロックごとである点を除いて、図4と同様な例を示す。このケースでは、7つの帯域が存在し、帯域1,2,3が繰り返しで4回現れており、一方、帯域4,5,6,7が1回だけ現れている。よって、判るように、帯域1,2,3のいずれかは、1つの介在ブロックだけを伴って生じ、一方、他の帯域は、これらの帯域の隣接するものの間にある3つの介在ブロックを伴って生ずる。よって、帯域4,5,6,7で完全な画像範囲(coverage )を得るためには、これらの帯域はより低い倍率を有する必要がある。これは、レンズアレイのレンズを設計し、帯域4,5,6,7に対応して配置されたレンズの特定のものについて当該レベルの倍率を提供することによって達成できる。画像の幾つかの部分がこうした倍率の差を示しており、画像の特徴がより小さく示されている。このことは、これらの帯域での空間分解能が低下することを意味し、センサ素子間のピッチが一定であると仮定している。
画像センサアレイおよびフィルタ構造の両方からなる集積モジュールを設計する場合、相互コンポーネント最適化を行うことができる。低コスト及び/又はコンパクトなシステムを目標とするモジュールでは、より低品質の光学系が予想される。この意味で対処できる1つの影響が、口径食である。口径食は、画像中心と比べて周辺での画像の輝度または飽和の低下である。この影響が、ファブリペローフィルタおよび画像センサの波長依存の効率と連結した場合、波長依存の挙動を強化する代わりに、波長依存の挙動を平坦化するために両方の影響を共に最適化できる。
1.目標とする波長範囲の選択
2.当該範囲のための画像センサアレイの選択
3.目標とするスペクトルサンプリング(そして、スペクトル分解能)の選択
4.レンズアレイを設計することによって画像コピーの設計
5.異なるファブリペローフィルタおよびアレイでのこれらの配置の設計
図13と図14は、カメラの動作方法でのステップを示す。図13において、最初のステップ400が、例えば、対物レンズまたは他の光学部品の機械的調整、あるいはセンサアレイの場所の調整によって、画像コピーの輪郭を設定する予備的な位置合わせ(registration)である。ステップ410は、センサアレイから、1つのフレーム時間内で、種々の通過帯域での投影した画像コピーの検出信号の読み出しである。ステップ420は、これらの信号を、当該時刻または多数の時刻について画像キューブを表現するデータベースでの値として保存する。図14は、図13と同様であり、センサアレイを異なるフィルタアレイを持つものと交換するステップ430を追加している。
図15は、製造時、こうしたカメラを構成する方法でのステップを示す。ステップ500は、どれぐらいの数の画像コピーを供給し、これらをセンサアレイ上にどのように配置するかを選択する最初のステップを示す。
図17は、ファブリペローフィルタアレイ31が集積されたセンサアレイ40の断面図を示す。これは、上部半ミラーコーティング33と、下部半ミラーコーティング32を有する。部品間に隙間を示しているが、これは明確さのためであり、実際には隙間は存在しない。この部分の例のより詳細について説明する。
フィルタアレイは、半導体プロセス技術を用いて、画像センサアレイとともに集積可能であり、即ち、分光ユニットは、半導体プロセス技術およびプロセス工程を用いて、画像センサアレイを含む基板上で後処理で設けられる。こうした半導体技術の例が相補型金属酸化膜半導体(CMOS)プロセスであり、ここでは画像センサアレイはCMOSセンサであり、そして、電荷結合素子(CCD)プロセスであり、ここでは画像センサアレイはCCDセンサである。これらの製造技術は、集積電子回路を製造するのに理想的に適している。こうしたモノリシック集積化は、分光ユニットを基板に取り付けるためにインタフェース層が必要でないことから、低コストでの製造、そしてより高性能を提供することが可能になる。よって、迷光の影響がかなり減少する。
特定画素の上にあるフィルタ構造を出射したフォトンが、隙間を横切って隣りの画素に入射する。この影響は、画素上へのフィルタの直接後処理によって隙間が減少または完全に除去された場合、大きく減少することになる。しかしながら、フィルタ自体の厚さの結果として、あるクロストークが存在し得る。一画素の上にあるフィルタに入射するフォトンが、フィルタを通過して隣りの画素に入射することがあるためである。これは、より薄いフィルタを設計し、入射角を制御することによって減少する。
余分な非機能的な層は、屈折率が整合していなければ、その境界上で余分な反射を引き起こし、よって、上述のクロストークに加えて余分な迷光を生じさせる。種々の入射角について、フィルタと画像センサの画素アレイとの間の有効距離Sを減少させることによって、迷光は減少する。より小さい距離S、例えば、1nmでは、迷光が進行する距離(D)は、通常の画素寸法(例えば、1〜15_m)内である。これは、進行する光の距離Dが数十から数百画素の範囲に及ぶ、よりマクロ的な集積距離、例えば、1mm基板のケースではそうではなく、空間分解能およびスペクトル分解能の深刻な劣化をもたらす。あるケースでは、距離Dは相当に大きくなり、光を画素上に再び集光させるために追加の集光レンズが必要になる。
さらに、前項目に示したように、フォトダイオードの上にある誘電体スタックおよび金属は、光の一部を反射する。不均一集積による隙間および空洞の下部ミラーとともに、これは、実際のものと干渉する寄生ファブリペローを形成する。このプロセスは、モノリシック集積を用いて最適化できる。撮像器内の誘電体層は、同様な材料(例えば、酸化物)に製作された下部ブラッグスタックの一部となり、これらの層の幅に対してあまり敏感でないからである。
画像センサの全画素は、特定の波長に対して感度を有する、それ自体の光学フィルタを有することができる。センサ上での種々の光学フィルタの編成は、その使用法に依存する。集積化できる種々のタイプのフィルタ、例えば、ダイクロイックフィルタが存在する。説明した例で使用したタイプは、ファブリペロー干渉計である。
反射面:
空洞の両側にある反射面の設計および性能は、ファブリペロー光学フィルタの性能にとって重要である。高いフィネス(finesse)、良好なスペクトル分解能を持つファブリペロー光学フィルタが、高反射ミラーを用いることによって得られる。第2の重要なミラーのパラメータがこれらの吸収であり、これはフィルタの効率を決定するためである。ファブリペロー光学フィルタの全範囲が特定の波長範囲に渡って構築する必要がある場合、これらの2つのパラメータ(反射率および吸収率)が、このスペクトル範囲に渡って可能な限り一定に収まることは有益である。このケースでは、波長範囲は、ファブリペローフィルタの空洞長だけを変化させることによって、カバー/サンプリングでき、材料およびミラー層は一定に維持できる。選択した波長範囲は、モジュールの第2の部品である、選択した画像センサの感度と整合する必要がある。
1Dまたは2Dのファブリペローフィルタを製造するための製造方法が、連続的なパターニングおよびエッチング工程を含み、k個の異なる厚さを製作するために、数多くの処理工程を必要とする。
良好に制御された状態で開始するために、フィルタ構造を構築する前に、画像センサは平坦化することが重要である。これは、堆積工程を用い、続いて、全ての凹凸を除去するためにCMP(化学機械研磨)工程を実施することによって行われる。こうすることによって、処理の残りは正確なBEOL配置にもはや依存しない。この平坦化層の厚さおよび材料は、フィルタ構造の設計の際にある程度考慮できる。しかしながら、この層は、機能するフィルタ構造の一部ではなく、正しい材料変遷(屈折率にとって重要)が正しく考慮されている限り、フィルタ自体に対して大きな効果を有していない。ファブリペローフィルタがこの平坦化層の上に堆積されると、変動がウエハ全体に充分にゆっくりである限り(例えば、鋭いエッジがない)、この層の変動が上に伝搬することはない。CMPが、ウエハ全体にナノメートルスケールの平坦性および変動を持つ表面を生成できることから、この条件は成就できる。
ファブリペローフィルタの構成部品、即ち、ブラッグスタック層での堆積厚さおよび空洞の厚さの変動が、設計したフィルタと製造したフィルタとの間の不整合を生じさせる。空洞の厚さの変動の影響は、全てのフィルタの厚さがおおよそ等しい量だけ変化すると、理論的設計の左右へのスペクトル範囲のシフトを生じさせる点である。選択した波長でのこの広範囲シフトは、設計したフィルタ場所に対して上向きまたは下向きであり、設計パラメータの1つである通過帯域のスペクトル幅の小さな割合である場合は、許容できる。
標準のICプロセス技術を用いた場合、画素当り数ミクロンの寸法を持つ画素の行/列の上でのフィルタ構造のアライメントが充分に最新技術の可能性の範囲内にある。従って、トップレベルでのアライメントは、あまり重大ではない。
例えば、画像処理のための上述した方法ステップの幾つかが、ハードウエアの形態のロジックによって、あるいは、例えば、処理エンジン、例えば、マイクロプロセッサまたはプログラマブルロジックデバイス(PLD)、例えば、PLA(プログラマブルロジックアレイ)、PAL(プログラマブルアレイロジック)、FPGA(フィールドプログラマブルゲートアレイ)を用いたソフトウエアで実装してもよい。
ソフトウエアプログラムが、内部ROM(リードオンリメモリ)及び/又は何れか他の不揮発性メモリに保存してもよく、例えば、これらは外部メモリに保存してもよい。外部メモリへのアクセスは、必要に応じてアドレスバス、データバスおよびコントロールバスを備えた外部バスインタフェースを含む従来のハードウエアによって提供してもよい。本発明の方法および装置の特徴は、プロセッサ上で走るソフトウエアとして実装してもよい。特に本発明に係る画像処理は、プロセッサの適切なプログラミングによって実装してもよい。上述した方法および手順は、適切なコンピュータ言語、例えばC言語でコンピュータプログラムとして記述してもよく、そして内蔵した設計での特定プロセッサ用にコンパイルされる。例えば、ソフトウエアは、C言語で記述して、既知のコンパイラおよび既知のアセンブラを用いてコンパイルしてもよい。ソフトウエアは、処理エンジン上で実行した場合、本発明の方法および画像プロセッサを提供するコードを有する。ソフトウエアプログラムは、任意の適切な機械読み取り可能な媒体、例えば、磁気ディスク、ディケット、固体メモリ、テープメモリ、CD−ROMまたはDVD−ROMなどの光ディスク等に保存してもよい。他の変形は、請求項の範囲内で想定できる。
Claims (17)
- スペクトル出力を生成するためのスペクトルカメラであって、
画像を生成するための対物レンズ(10)と、
画像セグメントの光学コピーを種々の光学チャネルに生成するためのレンズアレイ(25)と、
該アレイに渡ってインターリーブ配置された空間パターンの異なる通過帯域を有する、種々の光学チャネルのためのフィルタアレイ(30)と、
フィルタ済みの種々の光学チャネルにおける画像セグメントのコピーを検出するように配置された1つ以上のセンサアレイ(40)とを有し、
インターリーブ配置された空間パターンのフィルタアレイは、空間的に隣接した光学チャネルの検出したセグメントのコピーが、異なる通過帯域を有し、かつ、互いに少なくとも部分的にオーバーラップした画像セグメントを表し、そして、空間的に隣接していない光学チャネルでの同じ通過帯域の検出したセグメントのコピーの少なくともいくつかが、共にフィットし、隣接した画像セグメントを表すように、配置されているスペクトルカメラ。 - センサアレイは、画像セグメントのコピーを同時に検出するように配置される請求項1記載のスペクトルカメラ。
- インターリーブ配置の空間パターンおよびセグメントのオーバーラッピングは、全ての画像について空間的に均一なスペクトル検出を提供するように配置される請求項1または2記載のスペクトルカメラ。
- インターリーブ配置の空間パターンは、2次元繰り返しパターンの通過帯域を含む請求項1〜3のいずれかに記載のスペクトルカメラ。
- インターリーブ配置の空間パターンおよびセグメントのオーバーラッピングは、画像の種々の部分でどの通過帯域が検出されるか、画像の種々の部分でどのスペクトル範囲が検出されるか、画像の種々の部分でどのスペクトル分解能、空間分解能が検出されるか、種々の通過帯域でどの空間分解能が検出されるか、の何れか1つ以上について変動を有する不均一なスペクトル検出を提供するように配置される請求項1,2または4記載のスペクトルカメラ。
- インターリーブ配置の空間パターンの少なくとも一部は、少なくともN1個のフィルタの幅および少なくともN2個のフィルタの高さのセグメントを含み、
インターリーブ配置の空間パターンのこの部分での空間的に隣接したチャネルのオーバーラップは、幅方向に1−1/N1の割合、高さ方向に1−1/N2の割合となるように配置される請求項1〜5のいずれかに記載のスペクトルカメラ。 - フィルタアレイは、センサアレイ上に集積されている請求項1〜6のいずれかに記載のスペクトルカメラ。
- フィルタアレイは、所望の伝送波長の波長の半分の厚さを有するファブリペロー空洞として動作する薄膜を含む請求項1〜7のいずれかに記載のスペクトルカメラ。
- インターリーブ配置の空間パターンの少なくとも幾つかの部分が、インターリーブ配置の空間パターンよりも微細な粒状性で、重畳したより微細なパターンの通過帯域を有する請求項1〜8のいずれかに記載のスペクトルカメラ。
- 所定帯域について検出したセグメントのコピーを電気的に処理して、これらを縫合するための後処理部を有する請求項1〜9のいずれかに記載のスペクトルカメラ。
- フィルタアレイは、異なるフィルタアレイを使用するためにフィルタアレイを交換することによって、使用時に再構成可能であるようにした請求項1〜10のいずれかに記載のスペクトルカメラ。
- 対物レンズは、六角形の絞りを有し、レンズアレイおよびフィルタアレイは、セグメントのコピーに六角形の輪郭を与えるように配置される請求項1〜11のいずれかに記載のスペクトルカメラ。
- 通過帯域は、センサアレイの一部が、センサアレイの他の部分の不要な高次または低次のスペクトル応答を検出できるように選択される請求項1〜12のいずれかに記載のスペクトルカメラ。
- スペクトル出力を生成するためのスペクトルカメラの使用方法であって、
該スペクトルカメラは、画像を生成するための対物レンズ(10)と、
画像セグメントの光学コピーを種々の光学チャネルに生成するためのレンズアレイ(25)と、
該アレイに渡ってインターリーブ配置された空間パターンの異なる通過帯域を有する、選択した帯域の光学スペクトルを通過させる種々の光学チャネルのためのフィルタアレイ(30)と、
フィルタ済みの種々の光学チャネルにおける画像セグメントのコピーを検出するように配置された1つ以上のセンサアレイ(40)とを有し、
インターリーブ配置された空間パターンのフィルタアレイは、空間的に隣接した光学チャネルの検出したセグメントのコピーが、異なる通過帯域を有し、かつ、互いに少なくとも部分的にオーバーラップした画像セグメントを表し、そして、空間的に隣接していない光学チャネルでの同じ通過帯域の検出したセグメントのコピーの少なくともいくつかが、共にフィットし、隣接した画像セグメントを表すように、配置されており、
該方法は、所定の通過帯域ついて検出したセグメントのコピーを処理して、これらを縫合し、そして、異なる通過帯域ついて縫合したコピーを整列させるステップを有する、方法。 - 使用時にフィルタアレイを交換して、異なるインターリーブ配置のパターンを有するフィルタアレイを使用するステップを有する請求項14記載の方法。
- 製造時にスペクトルカメラを構成する方法であって、
該スペクトルカメラは、スペクトル出力を生成するためのものであり、
画像を生成するための対物レンズ(10)と、
画像セグメントの光学コピーを種々の光学チャネルに生成するためのレンズアレイ(25)と、
該アレイに渡ってインターリーブ配置された空間パターンの異なる通過帯域を有する、選択した帯域の光学スペクトルを通過させる種々の光学チャネルのためのフィルタアレイ(30)と、
フィルタ済みの種々の光学チャネルにおける画像セグメントのコピーを検出するように配置された1つ以上のセンサアレイ(40)とを有し、
該方法は、空間的に隣接した光学チャネルの検出したセグメントのコピーが、異なる通過帯域を有し、かつ、互いに少なくとも部分的にオーバーラップした画像セグメントを表し、そして、空間的に隣接していない光学チャネルでの同じ通過帯域の検出したセグメントのコピーの少なくともいくつかが、共にフィットし、隣接した画像セグメントを表すように、フィルタアレイの通過帯域およびインターリーブ配置の空間パターンを選択するステップと、
選択した通過帯域およびこれらの空間配置に従って、フィルタアレイを製造するステップ(520)とを有する、方法。 - 通過帯域およびこれらの空間配置を選択すること(515)は、画像の種々の部分でどの通過帯域が検出されるか、画像の種々の部分でどのスペクトル範囲が検出されるか、画像の種々の部分でどのスペクトル分解能、空間分解能が検出されるか、種々の通過帯域でどの空間分解能が検出されるか、の何れか1つ以上について変動が存在するようにする請求項16記載の方法。
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