JP2014533420A - 放射源デバイス、リソグラフィ装置、および、デバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 EUV源の有効電力を増加する放射源デバイス、リソグラフィ装置、および、デバイス製造方法を提供する。【解決手段】 放電生成プラズマ源において、一対の電極は、伝送線路を使用して帯電される。一実施形態において、一対の伝送線路が使用され、対称的に電極に接続され得る。伝送線路のインピーダンスまたは伝送線路の合計のインピーダンスは、一実施形態において、放電のインピーダンスに等しい。伝送線路を使用することにより、より長い放電パルスがより一定した電位差で提供される。【選択図】 図14
Description
[関連出願の相互参照]
[0001] 本出願は、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる、2011年11月15日出願の米国仮特許出願第61/560,020号の利益を主張する。
[0001] 本出願は、参照によりその全体が本明細書に組み込まれる、2011年11月15日出願の米国仮特許出願第61/560,020号の利益を主張する。
[0002] 本発明は、放射を生成するように構築及び配置された放射源デバイス、この放射源デバイスを備えたリソグラフィ装置、および、デバイス製造方法に関する。
[0003] リソグラフィ装置は、所望のパターンを基板上、通常、基板のターゲット部分上に付与する機械である。リソグラフィ装置は、例えば、集積回路(IC)の製造に用いることができる。その場合、ICの個々の層上に形成される回路パターンを生成するために、マスクまたはレチクルとも呼ばれるパターニングデバイスを用いることができる。このパターンは、基板(例えば、シリコンウェーハ)上のターゲット部分(例えば、ダイの一部、または1つ以上のダイを含む)に転写することができる。通常、パターンの転写は、基板上に設けられた放射感応性材料(レジスト)層上への結像によって行われる。一般には、単一の基板が、連続的にパターニングされる隣接したターゲット部分のネットワークを含んでいる。
[0004] ソグラフィは、ICならびに他のデバイスおよび/または構造の製造における重要なステップの1つとして広く認識されている。しかし、リソグラフィを使用して作られるフィーチャの寸法が小さくなるにつれ、リソグラフィは、小型のICまたは他のデバイスおよび/もしくは構造の製造を可能にするためのより重要な要因になってきている。パターンプリンティングの限界は、式(1)に示す解像度についてのレイリー基準によって、理論的に推測することができる:
上の式で、λは、使用される放射の波長であり、NAは、パターンを印刷するために使用される投影システムの開口数であり、k1は、レイリー定数とも呼ばれているプロセス依存調節係数であり、CDは、印刷されたフィーチャのフィーチャサイズ(またはクリティカルディメンジョン)である。式(1)から、フィーチャの最小印刷可能サイズは、露光波長λを短くすること、開口数NAを大きくすること、あるいはk1の値を小さくすること、の3つの方法によって縮小することができると言える。
上の式で、λは、使用される放射の波長であり、NAは、パターンを印刷するために使用される投影システムの開口数であり、k1は、レイリー定数とも呼ばれているプロセス依存調節係数であり、CDは、印刷されたフィーチャのフィーチャサイズ(またはクリティカルディメンジョン)である。式(1)から、フィーチャの最小印刷可能サイズは、露光波長λを短くすること、開口数NAを大きくすること、あるいはk1の値を小さくすること、の3つの方法によって縮小することができると言える。
[0005] 露光波長を短くするため、ひいては、最小印刷可能サイズを縮小するために、極端紫外線(EUV)放射源を使用することが提案されている。EUV放射は、5〜20nmの範囲内、例えば13〜14nmの範囲内の波長を有する電磁放射である。さらに、例えば、6.7nmまたは6.8nmといった5〜10nmの範囲内など、10nm未満の波長を有するEUV放射を使用することが提案されている。このような放射は、極端紫外線放射または軟X線放射と呼ばれる。考えられる放射源としては、例えば、レーザ生成プラズマ源、放電プラズマ源、または電子蓄積リング(Electron Storage Ring)によって提供されるシンクロトロン放射に基づく放射源が含まれる。
[0006] EUV放射は、プラズマを使用して生成することができる。EUV放射を生成するための放射源デバイスは、燃料を励起してプラズマを提供するレーザと、プラズマを収容するための放射源コレクタ装置と、を備え得る。プラズマは、例えば、好適な材料(例えば、スズ)の粒子、または、媒体供給源により提供される好適なガス状媒体の流れなどの燃料にレーザビームを誘導することにより作り出すことができる。本明細書において、ガス状媒体とは、XeガスまたはLi蒸気といったガスまたは蒸気の形態の燃料を意味する。媒体供給源は、放射源デバイス内の特定の位置にガス状媒体を提供するように配置され得る。結果として生じるプラズマは、例えばEUV放射などの出力放射を放出し、この出力放射は放射コレクタによって集光される。放射コレクタは、鏡面仕上げの法線入射または斜入射放射コレクタであってよく、放射を受けてビームへと集束させる。放射源コレクタ装置は、プラズマを支持するための真空環境を提供するように配置された閉鎖構造またはチャンバを備え得る。このような放射システムは、通常、レーザ生成プラズマ(LPP)源と呼ばれる。
[0007] 放電生成(DPP)源は、例えばガスまたは蒸気などの媒体内での放電によって、2つの電極(アノードおよびカソード)間にプラズマを生成するものであり、それに続き、プラズマ中を流れるパルス電流によって引き起こされるオーム加熱により高温放電プラズマを作り出すことができる。この場合、所望の放射は高温放電プラズマにより放出される。動作中、EUV放射は、ピンチを作ることにより生成される。
[0008] 一般的に、プラズマは、自由運動電子および自由運動イオン(電子を失った原子)の集まりにより形成される。原子から電子を奪ってプラズマを作る際に使用されるエネルギは、熱、電気または光(紫外線光またはレーザからの強い可視光)などの様々なエネルギ源に由来し得る。ピンチ、レーザトリガ効果および回転電極を有する放射源におけるレーザトリガ効果の適用に関して、J. Pankert、G. Derra、P. Zink、「Status of Philip‘s Extreme−UV source(Phillip製極端紫外線放射源の現状)」国際光工学会(SPIE)会報、6151−25(2006年)(以降、「Pankert他」と呼ぶ)にさらに詳しく記載されている。
[0009] 公知慣用の放電生成プラズマEUV源は、一対のディスク形回転電極を備え、これらの回転電極は、それぞれ、液体燃料を含んだ各々の液体槽内に部分的に浸漬されている。電極は、液体槽からの液体が電極の表面を伝って搬送されるように、回転される。点火源は、第1電極と第2電極との間の位置における放電により、電極に付着した液体から放電生成放射プラズマを誘発するように構成される。通常、一方の電極は負電位であり、他方の電極は接地電位または正電位である。電極の間隙は、例えば数ミリメートル程度と比較的小さく、パッシェンの規則に従って、間隙全体にアークを引き起こし得る。このような放電源は、放射パルスを放出し、その都度、放電が発生する。有効な生成放射の量は、放電中の電極間の電圧とパルスの持続時間とに応じて変化する。
[0010] EUV源の有効電力を増加することが望ましい。
[0011] 本発明の一態様では、ガス状媒体中の放電を使用して放射を生成するように構築及び配置された放射源デバイスであって、第1電極および第2電極と、デバイス内の位置にガス状媒体を提供するように配置された媒体供給源と、電位差によって生じた電界内に、放射プラズマを生成する放電が生成されることを可能にするために、第1電極と第2電極との間に電位差を生成するように配置された帯電デバイスであって、伝送線路を備える帯電デバイスと、を備える放射源デバイスが提供される。
[0013] これらの態様および他の態様は、図面を参照してより詳細に説明される。
[0028] 図1は、本発明の一実施形態に係る放射源コレクタ装置SOを備えたリソグラフィ装置100を概略的に示している。このリソグラフィ装置は、放射ビームB(例えば、EUV放射)を調整するように構成された照明システム(イルミネータ)ILと、パターニングデバイス(例えば、マスクまたはレチクル)MAを支持するように構築され、かつパターニングデバイスを正確に位置決めするように構成された第1ポジショナPMに連結されたサポート構造(例えば、マスクテーブル)MTと、基板(例えば、レジストコートウェーハ)Wを保持するように構築され、かつ基板を正確に位置決めするように構成された第2ポジショナPWに連結された基板テーブル(例えば、ウェーハテーブル)WTと、パターニングデバイスMAによって放射ビームBに付けられたパターンを基板Wのターゲット部分C(例えば、1つ以上のダイを含む)上に投影するように構成された投影システム(例えば、反射投影レンズシステム)PSと、を備える。
[0029] 照明システムとしては、放射を誘導し、整形し、または制御するために、屈折型、反射型、磁気型、電磁型、静電型、またはその他のタイプの光学コンポーネント、あるいはそれらのあらゆる組合せなどのさまざまなタイプの光学コンポーネントを含むことができる。
[0030] サポート構造MTは、パターニングデバイスの向き、リソグラフィ装置の設計、および、パターニングデバイスが真空環境内で保持されているか否かなどの他の条件に応じた態様で、パターニングデバイスMAを保持する。サポート構造は、機械式、真空式、静電式またはその他のクランプ技術を使って、パターニングデバイスを保持することができる。サポート構造は、例えば、必要に応じて固定または可動式にすることができるフレームまたはテーブルであってもよい。サポート構造は、パターニングデバイスを、例えば、投影システムに対して所望の位置に確実に置くことができる。
[0031] 「パターニングデバイス」という用語は、基板のターゲット部分内にパターンを作り出すように、放射ビームの断面にパターンを与えるために使用できるあらゆるデバイスを指していると、広く解釈されるべきである。放射ビームに付けたパターンは、集積回路などのターゲット部分内に作り出されるデバイス内の特定の機能層に対応し得る。
[0032] パターニングデバイスは、透過型であっても、反射型であってもよい。パターニングデバイスの例としては、マスク、プログラマブルミラーアレイ、およびプログラマブルLCDパネルが含まれる。マスクは、リソグラフィでは公知であり、バイナリ、レべンソン型(alternating)位相シフト、およびハーフトーン型(attenuated)位相シフトなどのマスク型、ならびに種々のハイブリッドマスク型を含む。プログラマブルミラーアレイの一例では、小型ミラーのマトリックス配列が用いられており、各小型ミラーは、入射する放射ビームを様々な方向に反射させるように、個別に傾斜させることができる。傾斜されたミラーは、ミラーマトリックスによって反射される放射ビームにパターンを付ける。
[0033] 投影システムは、照明システムと同様、使われている露光放射にとって、あるいは真空の使用といった他の要因にとって適切な、屈折型、反射型、磁気型、電磁型、静電型、または他のタイプの光学コンポーネント、あるいはそれらのあらゆる組合せなどのさまざまなタイプの光学コンポーネントを含むことができる。EUV放射では、ガスが放射を吸収し過ぎるおそれがあるため、真空を使用することが望ましい場合がある。したがって、真空壁および真空ポンプを使って、ビームパス全体に真空環境を提供してもよい。
[0034] 本明細書に示されているとおり、リソグラフィ装置は、反射型のもの(例えば、反射型マスクを採用しているもの)である。
[0035] リソグラフィ装置は、2つ(デュアルステージ)以上の基板テーブル(および/または2つ以上のマスクテーブル)を有する型のものであってもよい。そのような「マルチステージ」機械においては、追加のテーブルは並行して使うことができ、または予備工程を1つ以上のテーブル上で実行しつつ、別の1つ以上のテーブルを露光用に使うこともできる。
[0036] 図1を参照すると、イルミネータILは、放射源コレクタ装置SOから極端紫外線放射ビームを受ける。EUV光を生成する方法としては、材料を、例えば、キセノン、リチウムまたはスズなど少なくとも1つの元素を有し、EUV範囲内の1つ以上の輝線を有するプラズマ状態へと変換することが含まれるが、必ずしもこれに限定されない。そのような方法のうちの1つであり、しばしばレーザ生成プラズマ(LPP)と呼ばれる方法では、所望の輝線を放出する元素を有する材料の小滴、流れまたはクラスタなどの燃料をレーザビームで照射することにより所望のプラズマを生成することができる。放射源コレクタ装置SOは、燃料を励起するレーザビームを提供するためのレーザ(図1中図示なし)を含むEUV放射システムの一部であってもよい。結果として生じたプラズマは、例えばEUV放射などの出力放射を放出し、この出力放射は放射源コレクタ装置内に配置される放射コレクタを使って集光される。例えば、CO2レーザを使用して燃料励起のためのレーザビームを提供する場合、レーザと放射源コレクタ装置とは別個の構成要素とすることができる。
[0037] そのような場合には、レーザは、リソグラフィ装置の一部を形成しているとはみなされず、また放射ビームは、レーザから放射源コレクタ装置へ、例えば、適切な誘導ミラーおよび/またはビームエキスパンダを含むビームデリバリシステムを使って送られる。その他の場合、例えば、放射源がしばしばDPP源と呼ばれる放電生成プラズマEUVジェネレータである場合においては、放射源は、放射源コレクタ装置の一体部分であってもよい。
[0038] イルミネータILは、放射ビームの角強度分布を調節するアジャスタを含むことができる。一般に、イルミネータの瞳面内の強度分布の少なくとも外側および/または内側半径範囲(通常、それぞれσ-outerおよびσ-innerと呼ばれる)を調節することができる。さらに、イルミネータILは、ファセットフィールド(facetted field)および瞳ミラーデバイスといったさまざまな他のコンポーネントを含むことができる。イルミネータを使って放射ビームを調整すれば、放射ビームの断面に所望の均一性および強度分布をもたせることができる。
[0039] 放射ビームBは、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MT上に保持されているパターニングデバイス(例えば、マスク)MA上に入射して、パターニングデバイスによってパターン形成される。パターニングデバイス(例えば、マスク)MAから反射された後、放射ビームBは投影システムPSを通過し、投影システムPSは、基板Wのターゲット部分C上にビームの焦点をあわせる。第2ポジショナPWおよび位置センサPS2(例えば、干渉計デバイス、リニアエンコーダ、または静電容量センサ)を使って、例えば、さまざまなターゲット部分Cを放射ビームBの経路内に位置決めするように、基板テーブルWTを正確に動かすことができる。同様に、第1ポジショナPMおよび別の位置センサPS1を使い、パターニングデバイス(例えば、マスク)MAを放射ビームBの経路に対して正確に位置決めすることもできる。パターニングデバイス(例えば、マスク)MAおよび基板Wは、マスクアライメントマークM1、M2および基板アライメントマークP1、P2を使って、位置合わせされてもよい。
[0040] 例示の装置は、以下に説明するモードのうち少なくとも1つのモードで使用できる。
1.ステップモードにおいては、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTおよび基板テーブルWTを基本的に静止状態に保ちつつ、放射ビームに付けられたパターン全体を一度にターゲット部分C上に投影する(すなわち、単一静的露光)。その後、基板テーブルWTは、Xおよび/またはY方向に移動され、それによって別のターゲット部分Cを露光することができる。
2.スキャンモードにおいては、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTおよび基板テーブルWTを同期的にスキャンする一方で、放射ビームに付けられたパターンをターゲット部分C上に投影する(すなわち、単一動的露光)。サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTに対する基板テーブルWTの速度および方向は、投影システムPSの(縮小)拡大率および像反転特性によって決めることができる。
3.別のモードにおいては、プログラマブルパターニングデバイスを保持した状態で、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTを基本的に静止状態に保ち、また基板テーブルWTを動かす、またはスキャンする一方で、放射ビームに付けられているパターンをターゲット部分C上に投影する。このモードにおいては、通常、パルス放射源が採用されており、さらにプログラマブルパターニングデバイスは、基板テーブルWTの移動後ごとに、またはスキャン中の連続する放射パルスと放射パルスとの間に、必要に応じて更新される。この動作モードは、前述の型のプログラマブルミラーアレイといったプログラマブルパターニングデバイスを利用するマスクレスリソグラフィに容易に適用することができる。
1.ステップモードにおいては、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTおよび基板テーブルWTを基本的に静止状態に保ちつつ、放射ビームに付けられたパターン全体を一度にターゲット部分C上に投影する(すなわち、単一静的露光)。その後、基板テーブルWTは、Xおよび/またはY方向に移動され、それによって別のターゲット部分Cを露光することができる。
2.スキャンモードにおいては、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTおよび基板テーブルWTを同期的にスキャンする一方で、放射ビームに付けられたパターンをターゲット部分C上に投影する(すなわち、単一動的露光)。サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTに対する基板テーブルWTの速度および方向は、投影システムPSの(縮小)拡大率および像反転特性によって決めることができる。
3.別のモードにおいては、プログラマブルパターニングデバイスを保持した状態で、サポート構造(例えば、マスクテーブル)MTを基本的に静止状態に保ち、また基板テーブルWTを動かす、またはスキャンする一方で、放射ビームに付けられているパターンをターゲット部分C上に投影する。このモードにおいては、通常、パルス放射源が採用されており、さらにプログラマブルパターニングデバイスは、基板テーブルWTの移動後ごとに、またはスキャン中の連続する放射パルスと放射パルスとの間に、必要に応じて更新される。この動作モードは、前述の型のプログラマブルミラーアレイといったプログラマブルパターニングデバイスを利用するマスクレスリソグラフィに容易に適用することができる。
[0041] 上述の使用モードの組合せおよび/またはバリエーション、あるいは完全に異なる使用モードもまた採用可能である。
[0042] 図2は、放射源コレクタ装置SO、照明システムILおよび投影システムPSを含む装置100をより詳細に示している。放射源コレクタ装置SOは、放射源コレクタ装置SOの閉鎖構造220内に真空環境を維持することができるように構築および配置されている。EUV放射放出プラズマ210は、放電生成プラズマ源により形成することができる。EUV放射は、例えばXeガス、Li蒸気またはSn蒸気などのガスまたは蒸気により生成され得る。この蒸気またはガス内で、非常に高温のプラズマ210が作り出され、電磁スペクトルのEUV範囲の放射を放出する。非常に高温のプラズマ210は、例えば、少なくとも部分的にイオン化されたプラズマを引き起こす放電によって作り出される。放射を効率的に生成するには、Xe、Li、Sn蒸気または他の好適なガスもしくは蒸気の、例えば10Paの分圧が必要となり得る。一実施形態では、EUV放射を生成するために励起されたスズ(Sn)のプラズマが提供される。
[0043] 高温のプラズマ210により放出される放射は、放射源チャンバ211から、放射源チャンバ211の開口部内またはこの開口部の後方に位置決めされた任意選択のガスバリアまたは汚染物質トラップ230(場合によっては汚染物質バリアまたはフォイルトラップとも呼ばれる)を介して、コレクタチャンバ212内へと通過する。汚染物質トラップ230は、チャネル構造を備え得る。汚染トラップ230は、ガスバリアまたはガスバリアとチャネル構造との組み合わせを備えてもよい。本明細書においてさらに示される汚染物質トラップまたは汚染物質バリア230は、当技術分野で公知のように、少なくともチャネル構造を備える。
[0044] コレクタチャンバ212は、いわゆる斜入射型コレクタであり得る放射コレクタCOを備えてもよい。放射コレクタCOは、上流放射コレクタ面251および下流放射コレクタ面252を有する。コレクタCOを横断する放射は、格子スペクトルフィルタ240で反射され、仮想放射源点IFに合焦され得る。仮想放射源点IFは、通常、中間焦点と呼ばれ、放射源コレクタ装置は、この中間焦点IFが閉鎖構造220の開口部221内または該開口部221付近に位置するように配置される。仮想放射源点IFは、放射放出プラズマ210の像である。
[0045] 続いて、放射は照明システムILを横断する。照明システムILは、パターニングデバイスMAにおいて放射ビーム21に所望の角度分布を提供し、かつパターニングデバイスMAにおいて放射強度に所望の均一性を提供するように配置されたファセットフィールドミラーデバイス22およびファセット瞳ミラーデバイス24を含んでもよい。放射ビーム21がサポート構造MTに保持されたパターニングデバイスMAで反射されると、パターン付きビーム26が形成され、このパターン付きビーム26は、反射要素28、30を介して、ウェーハステージまたは基板テーブルWTに保持された基板W上に投影システムPSにより結像される。
[0046] 一般に、照明光学系ユニットILおよび投影システムPS内には、図示されるよりも多い要素が存在し得る。リソグラフィ装置のタイプに応じて、格子スペクトルフィルタ240を任意で存在させてもよい。さらに、図示されるよりも多いミラーが存在してもよく、例えば、図2に示されるよりも1〜6個多い追加の反射要素が投影システムPS内に存在してもよい。
[0047] 図2に例示されるようなコレクタ光学系COは、単にコレクタ(またはコレクタミラー)の一例として、斜入射リフレクタ253、254および255を有する入れ子型コレクタ(nested collector)として示されている。斜入射リフレクタ253、254および255は、光軸Oを中心に軸対称に配置され、このタイプのコレクタ光学系COは、しばしばDPP源と呼ばれる放電生成プラズマ源と組み合わせて使用される。
[0048] 図1および図2の放射源デバイスSO(以下、放射源とも呼ぶ)を参照し、典型的な(スズベースの)プラズマ放電源は、上記引用したPankert他に記載されるように、部分的に液体スズ槽に浸漬されていることによって連続的に液体スズが塗布されている2つの回転ホイールから構成される。これらのホイールは、電極として機能し、これらのホイールが互いに最接近するポイントで放電が構築される。スズベースのプラズマ源の代わりに、キセノンやリチウムを含む他のいくつかの燃料源を使用して、13.5nmの波長でEUV放射を生成することができる。スズは、変換効率が高いため、生産ツールの仕様として好まれることが多い。
[0049] 図3および図4は、例えば、回転ディスク電極を有するスズベースのEUV源などの、公知の放射源を示す。従来技術の放射源は、2つの液体槽1aおよび1bを備え、これらの液体槽内で電極2aおよび2bがそれぞれ回転する。本例では、液体槽1a、1bのそれぞれは液体スズを含んでいることから、液体スズ槽と呼ばれることもある。ただし、スズの代わりに、あるいはスズに加えて、ガリウム、インジウム、リチウムまたはそれらのあらゆる組み合わせなどの他の液体を使用してもよい。液体槽1a、1bは、筐体1p、1q内に配置されたそれぞれの加熱要素に熱的に結合されている。加熱要素は、デバイスの起動時にスズを溶融する役目を果たす。このような液体槽1a、1b、ならびに、これら液体槽内に部分的に浸漬された対応する回転ディスク電極2a、2bを合わせたものが、媒体供給源の一例である。
[0050] デバイスの通常運転中、加熱要素はオフに切り替えられ、筐体1p、1qが液体槽1a、1bからヒートシンクへ熱を伝える役目を果たす。一方の液体槽1aは負電位に接続され、他方の液体槽1bが接地電位または正電位である。放射源の通常運転中、スズは、点火源6により、電極の一方から蒸発する。点火源6は、パルストリガレーザなどのレーザであり得る。続いて、放電は、第1電極と第2電極との間の間隙内の放電位置3においてスズ蒸気中に構築される。間隙は、数ミリメートルの幅を有し、パッシェンの規則に従って電極間にわたってアークを提供する。スズのデブリは、放電に沿った様々な位置から放出され得る。つまり、微小粒子は主に電極表面から発生する一方、原子のデブリおよびイオンのデブリの大半は(電極間の)ピンチから生じる。一実施形態では、パルストリガレーザ6の代わりに、電子ビームジェネレータが使用される。
[0051] 一実施形態において、デバイスは、液体槽内で回転する電極を1つのみ有し、別の電極は、静止して配置されてもよい。その場合、回転する電極が液体槽から放電位置3に向けて液体を搬送する。しかし、静止配置された電極は、運転中にその表面に放電が当たるため、相対的に早く摩耗するおそれがある。両方の電極2a、2bが1つの液体槽内で回転するように実施してもよく、その場合、放電は、液体槽から電極の表面に沿って搬送される液体に当たる。さらに、電極2a、2bが液体槽1a、1b内で回転することにより、電極2a、2bが冷却される。通常、スズの液体槽は、電極(通常800℃に達する)より低温であり(例えば、300℃未満)、このため、熱伝導により実質的な冷却をもたらすことができる。
[0052] 点火源6は、放電位置3における放電により、電極に付着した液体から放電生成放射プラズマを誘発するように構成される。
[0053] 点火源6、特に、この点火源がトリガレーザである場合の典型的なパラメータとしては、約5〜100kHzの繰り返し周波数において、スズ放電におけるパルス毎のエネルギQがおよそ10〜100mJ、リチウム放電におけるパルス毎のエネルギQが約1〜10mJ、パルスの持続時間がτ=約1〜100ナノ秒、レーザ波長が約0.2〜10μmが含まれる。点火源6は、電極2bに誘導されて、液体槽1bから提供された付着液体を蒸発させるレーザビームを生成し得る。
[0054] これにより、電極2b上の液体材料は蒸発してガス状媒体を形成し、明確に規定された位置3(つまり、レーザビームが電極2bに当たる位置)において予備イオン化される。この位置から、電極2aに向かう放電が成長し得る。放電の正確な位置3は、点火源6により制御することができる。これは、放射源デバイスの出力の安定性(つまり、均一性)において望ましく、かつ、このデバイスの放射パワーの不変性に影響し得る。この放電は、電極2aと電極2bとの間に電流を生成する。この電流は磁界を誘発する。磁界は、ピンチまたはコンプレッションを生成し、このピンチまたはコンプレッション内でイオンおよび自由電子が衝突により生成される。一部の電子は、ピンチ内の原子の伝導帯より低い帯域へ降下することになり、それにより放射が生成される。液体材料がガリウム、スズ、インジウム、またはリチウム、あるいはこれらの任意の組み合わせから選択される場合、放射は、大量のEUV放射を含む。放射は、全方向に発散し、図1のイルミネータIL内の放射コレクタによって集光され得る。点火源6は、パルスレーザビームを提供することができる。
[0055] 放射は、少なくともZ軸に対する角度θが45°〜105°の範囲において等方性である。Z軸は、ピンチに対して位置合わせされ、かつ、電極2a、2bを貫通する軸を指し、角度θは、Z軸に対する角度である。放射は、他の角度においても等方性であってもよい。
[0056] 放射を生成するデバイスは、液体槽の代わりに、例えばSPIEの会報(第6517巻、Emerging Lithographic Technology XI(これからのリソグラフィ技術XI)、Michael J. Lercel監修、65170P(2007年3月15日))に記載されるような、電極間に液滴を噴射する液滴インジェクタなどの代替液体供給源を備えてもよい。ホイール間への液滴の噴射は、電界強度を増すことができ、これを利用すると、レーザまたは放電プロセスを開始するための任意の他の(電子ビーム)刺激を用いずに、放電を開始することができる。
[0057] 液体材料のイオン化された原子が自由電子と再結合すると、プラズマから放射が放出される。このように生成された放射の波長は、再結合電子がどのような状態になるかに応じて変化する。プラズマ材料としてスズを使用してEUV放射を得るためには、スズ原子を完全にイオン化すること、つまり、原子から全ての電子を取り去ることが望ましい。これには、プラズマの両端の電位差が、例えば約2700Vの臨界電圧よりも大きいことが必要になり得る。プラズマを形成するために使用される材料が異なる場合、あるいは、所望の波長が異なる場合は、臨界電圧が異なることもある。電位差が臨界電圧よりも小さい場合、スズ原子は部分的にのみイオン化され、再結合電子はより長い波長で放射を放出する。
[0058] 放電に先だって電極を帯電させるコンデンサを使用した、従来提案の放射源においては、放電中の電極間の電位差プロファイルは、指数関数的減衰である。したがって、電位差は、数ナノ秒の間に、急速に臨界電圧を下回り、有効な放射が生成されなくなる。したがって、そのようなEUV放射源の効率を改善する必要がある。また、プラズマの抵抗は変動するため、電極間の電位差の減衰率に影響を与え、パルスに含まれる有効エネルギの量が予測しにくくなる。改善された放射源は、例えば、より高い効率、より大きいパルスごとの有効エネルギ、より長いパルスの持続時間、および、より予測しやすいパルスごとの有効エネルギのうち、少なくとも1つを有することが望ましい。
[0059] 本発明の一実施形態では、1つ以上の伝送線路を使用して放電を起こす電極を帯電させる。伝送線路は、精密な導体の寸法および間隔、ならびにインピーダンス整合など専用の構成を利用して、電磁信号を最小限の反射およびパワー損失で搬送する。伝送線路の種類としては、はしご形線路(ladder line)、同軸ケーブル、誘電体スラブ、ストリップ線路、光ファイバおよび導波管がある。周波数が高いほど、伝送媒体内の波が短い。伝送線路は、波の波長が使用されるケーブルの長さに近づくほど周波数が高い場合に必要になる。本明細書において、伝送線路は、例えば、一対の導体であって、この導体に沿って伝播する信号の波長と比較して無視できない(つまり、信号の波動性を考慮した)長さを有する導体として定義することができる。パルス放電の場合、有効波長は、パルスの持続時間と伝送線路内を進む波の速度(伝送線路の特性インピーダンスにより決まる)との積である。このように伝送線路を利用することで、伝送線路の放電中、電極間の電位差が一定に保たれるといった利点を提供することができる。放電の持続時間は、伝送線路の長さによって決まり、この長さは、伝播遅延に関連する。放電の持続時間は、伝送線路の伝播遅延の約2倍である。したがって、本発明の実施形態は、有効放射のより長いパルス、より大きいパルスごとのエネルギ、より高いデューティ比、および/または、より予測しやすいパルスごとのエネルギを提供することができる。
[0060] 伝送線路の長さ、つまり伝播遅延により、伝送線路が放電するのにかかる時間、ひいては、パルスの長さが決定する。長さ1mの標準的な同軸伝送線路は、例えば、およそ7ナノ秒のパルスをもたらす。従来の絶縁材料を使用する実施形態では、伝送線路の長さは約4m以上である。一実施形態において、伝送線路の長さは、約5m以上である。伝送線路の最長は、利用可能な帯電電流(伝送線路は、長いほど、大きいエネルギを保持し、帯電するのに長い時間または大きい電流を要する)と装置内で伝送線路に利用できる空間とによって決定することができる。一実施形態において、伝送線路の長さは10m以下である。誘電率の高い絶縁誘電体を使用する実施形態では、伝送線路の長さはさらに短くなり得る。例えば、脱塩水(εr=80)を用いると、長さ1.7mの伝送線路は、50ナノ秒の伝播遅延と、100ナノ秒のパルス長をもたらす。本発明の一実施形態の伝送線路80は、図14に概略的に示されている。この伝送線路は、誘電材料82によって第2導体83から分離された第1導体81を備える。伝導の寸法および誘電材料82の厚さは、所望の伝播遅延および誘電材料の比誘電率εr(望ましくはεr≧10、より望ましくはεr≧70)に応じて選択される。伝送線路(複数存在する場合、各伝送線路)の伝播遅延は、20ナノ秒より大きいと好ましく、30ナノ秒より大きいとより好ましく、50ナノ秒より大きいとさらに好ましい。また、伝送線路(複数存在する場合、各伝送線路)の伝播遅延は、200ナノ秒未満であると好ましく、150ナノ秒未満であるとより好ましく、100ナノ秒未満であるとさらに好ましい。
[0061] 一実施形態において、伝送線路は、誘電材料により分離された、例えば7m×0.3mの寸法を有する一対の金属箔の形態である。これらの金属箔は、都合の良い形に折られてもよく、あるいは、丸められてもよい。伝送線路は、接地またはデバイスのフレームに接続されるフレーム導体も備えてもよい。一実施形態では、フレーム導体は、アノード導体およびカソード導体の外側に設けられる。一実施形態では、アノード導体とカソード導体との間に第3フレーム導体も設けられる。一実施形態では、伝送線路は、油、脱塩水、または別の(冷却も提供し得る)絶縁性液体に浸漬される。
[0062] 図5は、本発明の一実施形態の概略的な回路図である。DC高電圧源605は、例えば6kVの高電圧V1を提供し、伝送線路608を帯電させる。電圧源605は、片線接地(single-ended)の電圧源または2つの差動電圧源として形成することができる。制御スイッチ602がコントローラ601により閉じられると、電圧源605は、レジスタ604を介して伝送線路608を帯電させる。伝送線路608は、約0.1Ωのインピーダンスを有する一方、レジスタ604は約10Ωの抵抗または電流制限インピーダンスを有する。このことは、レジスタ604が伝送線路608を帯電させる電流を制限することを意味する。約1nFの静電容量を有するコンデンサ606および約0.1Ωのレジスタ607は、伝送線路608から電圧源605への反射を防止する。伝送線路608の右側の回路は電極配置を表す。スイッチ609は、トリガデバイス6によって誘発される放電を表す。放電が誘発されると、電極610間のプラズマ中を電流が流れ、この電流は電流IV4として表されている。
[0063] 図5に示す回路のシミュレーションから得られた結果を示す図6には、対応するデバイスの挙動が示されている。図からわかるように、約25マイクロ秒(横軸)の時間が経過すると、伝送線路608の電極側の電圧(V7で表される;破線2を参照)は、0〜約6kVに上昇する。伝送線路電圧が所望の値に到達すると、本実施形態ではレーザトリガデバイス6により、放電が誘発される。これは、伝送線路内の電圧が放電する時に、電極間に短い電流パルスを引き起こす。図7は、時間尺度を拡大して単一パルスを示している。
[0064] 図7において、伝送線路の電圧は、放電が開始すると、完全に帯電された状態の半分に降下した後、伝送線路608が完全に帯電されるまで、そのレベルを安定的に維持する。これは、長期間にわたって放電中に一定の電圧で一定の電流が存在することを意味している。帯電源が6kV相当であり、これに対応する放電のインピーダンスが100mΩであるといった典型的な数値の場合、放電中に流れる電流は、約30mA程度である。パルスは約100ナノ秒持続し、パルスごとの合計値は約9.0kJである。図6からわかるように、20kHz以上の繰り返し率、つまり50マイクロ秒の周期は容易に実現することができる。
[0065] 図8は、伝送線路の連続的な帯電を提供することにより、高電圧DCの設計が簡素化された本発明の変形例を示す。それ以外は、本実施形態は図5の回路と同じである。図8において「9」の桁から始まるコンポーネントは、図5において「6」の桁から始まる符号のコンポーネントに対応している。
[0066] 図9および図10は、図6および図7と同様のグラフである。図からわかるように、電極間の電圧V7は、急速に約6kVの最大値に達し、トリガデバイスにより放電が誘発されるまでそのまま維持される。その後、図5の回路と同様に、最大値まで戻る。図10に示した単一のパルスを拡大した図は、基本的に同じ挙動を示すが、電極間の電圧は、放電開始後すぐに最大帯電電圧の50%まで降下するものの、その後はパルス期間の大半を安定して維持される。
[0067] 図11にはさらに別の配置が示されている。この配置では、2つの伝送線路130、131と、2つの電極に対して対称的に配置された2つの対称DC源123、125とを使用する。両DC源123、125は、3kVの出力を提供する。この配置では、放電電圧が対称的であるため、接地またはフレームを通る放電電流はない。これは、使用される絶縁に対する高電圧ストレスが半分であり、フレームを通る放電電流の流れが防止されていることを意味する。各伝送線路130、131は、放電のインピーダンスの半分(例えば、50mΩ)を有する。レジスタ121、126は、高電圧源123、125から引き込まれた帯電電流を制限し、一実施形態においては、5Ωの抵抗を有する。レジスタとコンデンサの組128、129と126、127とにより、伝送線路からの反射が防止される。一実施形態において、コンデンサ127、129は、1nFのコンデンサを有し、レジスタ126、128は50mΩの抵抗を有する。伝送線路130、131の右側の回路は、電極配置を表す。伝送線路130、131の電極側の電圧は、符号132においてY1で示されている。スイッチ133は、トリガデバイス6により誘発される放電を表す。放電が誘発されると、電極134間のプラズマ中を電流が流れ、この電流は電流IV4として表されている。
[0068] 上記同様、図12および図13からわかるように、この源の挙動は、上述した実施形態と基本的に同じである。
[0069] 本明細書において、IC製造におけるリソグラフィ装置の使用について具体的な言及がなされているが、本明細書記載のリソグラフィ装置が、集積光学システム、磁気ドメインメモリ用のガイダンスパターンおよび検出パターン、フラットパネルディスプレイ、液晶ディスプレイ(LCD)、薄膜磁気ヘッド等の製造といった他の用途を有し得ることが理解されるべきである。当業者にとっては当然のことであるが、そのような別の用途においては、本明細書で使用される「ウェーハ」または「ダイ」という用語はすべて、それぞれより一般的な「基板」または「ターゲット部分」という用語と同義であるとみなしてよい。本明細書に記載した基板は、露光の前後を問わず、例えば、トラック(通常、基板にレジスト層を塗布し、かつ露光されたレジストを現像するツール)、メトロロジーツール、および/またはインスペクションツールで処理されてもよい。適用可能な場合には、本明細書中の開示内容を上記のような基板プロセシングツールおよびその他の基板プロセシングツールに適用してもよい。さらに基板は、例えば、多層ICを作るために複数回処理されてもよいので、本明細書で使用される基板という用語は、すでに多重処理層を包含している基板を表すものとしてもよい。
[0070] 光リソグラフィの関連での本発明の実施形態の使用について上述のとおり具体的な言及がなされたが、当然のことながら、本発明は、他の用途、例えば、インプリントリソグラフィに使われてもよく、さらに状況が許すのであれば、光リソグラフィに限定されることはない。インプリントリソグラフィにおいては、パターニングデバイス内のトポグラフィによって、基板上に創出されるパターンが定義される。パターニングデバイスのトポグラフィは、基板に供給されたレジスト層の中にプレス加工され、基板上では、電磁放射、熱、圧力、またはそれらの組合せによってレジストは硬化される。パターニングデバイスは、レジストが硬化した後、レジスト内にパターンを残してレジストの外へ移動される。
[0071] 「レンズ」という用語は、文脈によっては、屈折、反射、磁気、電磁気、および静電型光学コンポーネントを含む様々な種類の光学コンポーネントのいずれか1つまたはこれらの組合せを指すことができる。
[0072] 以上、本発明の具体的な実施形態を説明してきたが、本発明は、上述以外の態様で実施できることが明らかである。例えば、本発明は、上記に開示した方法を表す1つ以上の機械読取可能命令のシーケンスを含むコンピュータプログラムの形態、またはこのようなコンピュータプログラムが記憶されたデータ記憶媒体(例えば、半導体メモリ、磁気ディスクまたは光ディスク)の形態であってもよい。上記の説明は、制限ではなく例示を意図したものである。したがって、当業者には明らかなように、添付の特許請求の範囲を逸脱することなく本記載の発明に変更を加えてもよい。
Claims (21)
- ガス状媒体中の放電を使用して放射を生成する放射源デバイスであって、
第1電極および第2電極と、
前記デバイス内の位置に前記ガス状媒体を提供する媒体供給源と、
電位差によって生じた電界内に、放射プラズマを生成する前記放電が生成されることを可能にするために、前記第1電極と前記第2電極との間に電位差を生成する帯電デバイスであって、伝送線路を備える帯電デバイスと、を備える、
放射源デバイス。 - 前記帯電デバイスは、所望波長の放射を放出するのに十分なほどに前記ガス状媒体をイオン化するために要する電圧の2倍よりも大きい出力電圧を有する高電圧DC源をさらに備える、請求項1に記載のデバイス。
- 前記帯電デバイスは、2つのDC源と、2つの伝送線路とを備え、前記2つのDC源および前記2つの伝送線路が前記第1電極および前記第2電極に対称的に接続される、請求項1に記載のデバイス。
- 前記2つの高電圧DC源は、所望波長の放射を放出するのに十分なほどに前記ガス状媒体をイオン化するために要する電圧よりも大きい出力電圧を有する、請求項3に記載のデバイス。
- 各伝送線路は、前記放電のインピーダンスに実質的に等しいインピーダンスを有する、請求項1または2に記載のデバイス。
- 各伝送線路は、前記放電のインピーダンスの半分に実質的に等しいインピーダンスを有する、請求項3または4に記載のデバイス。
- 前記伝送線路または各伝送線路は、20ナノ秒より大きい伝播遅延を有する、請求項1から6のいずれか1項に記載のデバイス。
- 前記伝播遅延は、30ナノ秒より大きい、請求項7に記載のデバイス。
- 前記伝播遅延は、50ナノ秒より大きい、請求項8に記載のデバイス。
- 前記伝送線路または各伝送線路は、200ナノ秒より小さい伝播遅延を有する、請求項1から9のいずれか1項に記載のデバイス。
- 前記伝播遅延は、150ナノ秒より小さい、請求項10に記載のデバイス。
- 前記伝播遅延は、100ナノ秒より小さい、請求項11に記載のデバイス。
- 前記伝送線路または各伝送線路は、誘電体によって分離された導体を備え、前記誘電体は、10以上の比誘電率を有する、請求項1から12のいずれか1項に記載のデバイス。
- 液体を少なくとも部分的に蒸発させ、前記ガス状媒体を形成する点火源をさらに備える、請求項1から13のいずれか1項に記載のデバイス。
- 前記点火源は、レーザ放射のビームおよび/または電子ビームを生成し、前記放電を誘発する、請求項14に記載のデバイス。
- 前記媒体供給源は、少なくとも1つの槽の形態をした液体供給源を備え、前記電極の少なくとも一方は、前記少なくとも1つの槽内に部分的に浸漬される回転電極である、請求項14または15に記載のデバイス。
- 前記媒体供給源は、前記第1電極と前記第2電極との間に液滴として液体を噴射する液体インジェクタの形態の液体供給源を備える、請求項1から9のいずれか1項に記載のデバイス。
- 請求項1から17のいずれか1項に記載の放射源デバイスと、
基板を保持する基板テーブルと、
前記放射源デバイスによって生成された放射ビームを前記基板のターゲット部分上に投影する投影システムと、を備える
リソグラフィ装置。 - 第1電極と第2電極との間の位置にガス状媒体を供給することと、
伝送線路を使用して前記第1電極および前記第2電極に電位差を印加し、前記電位差によって生じた電界内の放電位置においてガス状媒体中に放電を生成することと、
前記放射ビームの断面にパターンをつけることと、
前記パターン付き放射ビームを基板のターゲット部分上に投影することと、を含む、
デバイス製造方法。 - 前記第1電極および/または前記第2電極を液体槽中で動かすことによって、前記第1電極および/または前記第2電極に液体を供給することをさらに含む、請求項19に記載の方法。
- 前記液体から放電生成放射プラズマを誘発するために、前記液体を少なくとも部分的に蒸発して前記ガス状媒体を形成することをさらに含む、請求項20に記載の方法。
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