JP2014528173A - マイクロリソグラフィ投影露光装置のミラーの熱作動用の構成体 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (19)
- マイクロリソグラフィ投影露光装置のミラーの熱作動用の構成体であって、
前記ミラー(901)は、光学有効面(901a)と、前記ミラーのうち前記光学有効面に相当しない面から該有効面の方向に延びる少なくとも1つのアクセス通路(910、910’)とを有し、
該構成体は、前記アクセス通路(910)内を伝播する電磁放射線による前記ミラー(901)の熱作動用に設計され、
該構成体は、前記アクセス通路(910、910’)内で伝播する電磁放射線を生成する少なくとも1つの熱放射手段をさらに有し、
該熱放射手段は、前記アクセス通路(910、910’)に沿って作動可能である構成体。 - 請求項1に記載の構成体において、該構成体は、前記アクセス通路(910、910’)に沿って前記熱放射手段の進出位置を変えるマニピュレータを有することを特徴とする構成体。
- 請求項1又は2に記載の構成体において、前記熱放射手段は、好ましくは実質的に針状の幾何学的形状の加熱棒(960)の形態であることを特徴とする構成体。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の構成体において、前記ミラーは複数の前記アクセス通路(910、910’)を有することを特徴とする構成体。
- 請求項1〜4のいずれか1項に記載の構成体において、配列として配置した複数の前記加熱放射手段を有することを特徴とする構成体。
- 請求項5に記載の構成体において、前記熱放射手段は選択的に作動可能であることを特徴とする構成体。
- 請求項1〜6のいずれか1項に記載の構成体において、前記ミラーは複数のミラーファセットからなることを特徴とする構成体。
- 請求項7に記載の構成体において、前記ミラーファセットのそれぞれは、少なくとも1つのアクセス通路を有することができ、該アクセス通路に沿って前記熱放射手段を作動可能であることを特徴とする構成体。
- 請求項1〜8のいずれか1項に記載の構成体において、該構成体は、異なる幾何学的形状の少なくとも2つのアクセス通路(910、910’)を有することを特徴とする構成体。
- 請求項1〜9のいずれか1項に記載の構成体において、前記少なくとも1つのアクセス通路(910’)は、円筒形の幾何学的形状とは異なる幾何学的形状、特に円錐形の幾何学的形状又は各アクセス通路の直径の段階的変化を有することを特徴とする構成体。
- 請求項1〜10のいずれか1項に記載の構成体において、前記少なくとも1つの熱放射手段は、前記アクセス通路(910、910’)の方向に対して横方向にも作動可能であることを特徴とする構成体。
- 請求項1〜11のいずれか1項に記載の構成体において、前記少なくとも1つの熱放射手段を調整可能な加熱デバイスに接続したことを特徴とする構成体。
- 請求項1〜12のいずれか1項に記載の構成体において、該構成体は、環境へ熱を放散するクーラ(950)をさらに有することを特徴とする構成体。
- マイクロリソグラフィ投影露光装置のミラーの熱作動の方法であって、前記ミラー(901)は、光学有効面(901a)と、前記ミラーのうち前記光学有効面に相当しない面から該有効面の方向に延びる少なくとも1つのアクセス通路(910、910’)とを有し、前記ミラー(901)の熱作動を前記アクセス通路(910、910’)内を伝播する電磁放射線により行い、熱放射手段が前記アクセス通路(910、910’)に沿って作動可能である方法。
- 請求項14に記載の方法において、前記ミラーの熱作動により達成される逆変形が、前記マイクロリソグラフィ投影露光装置の動作において光源が放出する放射線の吸収に起因した前記ミラーの熱表面変形を少なくとも部分的に補償することを特徴とする方法。
- 請求項14又は15に記載の方法において、前記電磁放射線を選択的に作動される熱放射手段の構成体により生成することを特徴とする方法。
- 請求項16に記載の方法において、前記熱放射手段を前記ミラーの断面に沿って別個に熱作動することを特徴とする方法。
- 請求項14〜17のいずれか1項に記載の方法において、前記ミラーは複数のミラーファセットからなることを特徴とする方法。
- 請求項18及び請求項16又は17に記載の方法において、前記ミラーファセットの少なくとも2つ、特に全部を、前記熱放射手段により別個に熱作動することを特徴とする方法。
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