JP2014523618A - 電池を電気的に接続する前に電池の動作を試験して電池を有するデバイスを作製する方法 - Google Patents
電池を電気的に接続する前に電池の動作を試験して電池を有するデバイスを作製する方法 Download PDFInfo
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Abstract
電池を有するデバイスを作製する方法は、支持基板（２）上で行われる以下の連続するステップ、
− 主表面を形成する第１の導電層（１）を含む支持基板（２）を用意するステップと、
− 複数の電池（３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ）を第１の導電層（１）上に同時に形成するステップと、
− 動作する電池（３ａ、３ｂ、３ｄ）の第１の群と欠陥のある電池（３ｃ）の第２の群とを区別するために電池（３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ）の動作を試験するステップと、
− 第１の導電層（１）から電気的に絶縁される第２の導電層（７）を形成するステップであって、第２の導電層（７）および第１の導電層（１）は、動作する電池（３ａ、３ｂ、３ｄ）だけを並列接続するように構成される、ステップとを含む。
− 主表面を形成する第１の導電層（１）を含む支持基板（２）を用意するステップと、
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− 第１の導電層（１）から電気的に絶縁される第２の導電層（７）を形成するステップであって、第２の導電層（７）および第１の導電層（１）は、動作する電池（３ａ、３ｂ、３ｄ）だけを並列接続するように構成される、ステップとを含む。
Description
本発明は、電池デバイスを作製するための方法に関する。
電池デバイスは通例、支持基板上にマトリクスの形で配置された電池を含む。すべての電池は、デバイスのエネルギー貯蔵能力を最適化し、一方でそれと同時に同じ電圧を保つ回路を形成するように電気的に並列接続される。電池が並列接続されるとき、電池の１つに欠陥があるだけで、マトリクス全体が極端な効率損失を被り、さらにはそれ自体欠陥があるものになる。
したがって、電池マトリクスが製作されるとき、異なる電池が、基板上に形成され、次いで個々に試験される。次いで動作する電池が、基板から取り外され、次いで新しい基板に積み重ねられ、そこで電気的に並列接続されることになる。
この方法は、多数のステップを必要とするので、実施するのに費用がかかる。加えて、電池の１つが試験に続く分離操作の間に損傷を受けるだけで、電池デバイスは動作しなくなり、それによって製造歩留まりが比較的低くなる。
本発明の目的は、特に大きな表面での、そのようなデバイスの製造原価を低減し、歩留まりを高めるように実装するのが容易である電池デバイスを作製することにある。
この目的は、添付の特許請求の範囲によって達成されることになる。
他の利点および特徴は、非制限的な例だけのために与えられかつ添付の図面で示される本発明の特定の実施形態の以下の説明からよりはっきりと明らかになる。
本方法およびその変形は、電池を有するデバイスの製作を例示し、製作ステップは、最適効率が得られることを可能にし、一方でそれと同時に実施の容易さを確保する。
図１では、本方法は、主表面を形成する第１の導電層１を含む支持基板２を得るように第１の導電層１が支持基板２上に堆積される第１のステップを含む。
第１の導電層１は、その後に電池デバイスの第１の電流コレクタを少なくとも部分的に形成するように設計される。
図２では、支持基板２上に第１の導電層１を堆積させるステップに続いて、複数の電池３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄが、第１の導電層１上に形成される。導電層１は好ましくは、複数の電池３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄを電気的に接続する。電池３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄは、支持基板２に平行な同じ平面に置かれる。
各電池３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄは、第１の導電層１上に作られたスタックを含むことができる。スタックは、第１の電極４ａ、電解膜５、および第２の電極４ｂを含むことができ、第１の電極４ａは、第１の導電層１と電気的に接触する。言い換えれば、膜５および第２の電極４ｂは、支持基板２と反対方向に第１の電極４ａの上方に連続して配置される。
有利には、電池３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄの形成ステップは、前記支持基板２上で同時に行われる。言い換えれば、すべての電池３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄは、スタックを形成するように設計された層の堆積およびパターン形成、または適切なマスクを用いた選択的堆積の後に得られる。これは、モノリシック技術を使用することによって達成されてもよい。そのような製作方法の特定の利点は、電池が同一であることを確実にすることである。実際、電池の並列接続に関係する別の問題は、最終デバイスの最適動作を確実にするために、電池が好ましくは同一でありかつ同じ製作バッチから生じることである。今の場合には、電池は、同じ層の堆積から生じるので、同一の電池が得られることが確実になり、そのことは、製造される電池デバイスの歩留まりおよび品質を高めるという結果を有する。
図３は、スタックの形成後の電池を有するデバイスの上面図を例示する。図３の線Ａ−Ａに沿った横断面図である図２の電池３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄは、この図で見られる。有利には、１つの同じ支持体上の電池の数を最適化するために、電池は、直線状にかつ列状に並べられるようにマトリクスの形で形成される。
図４で例示されるように、複数の電池３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄが形成された後、本方法は、電池の動作が試験されるステップを含む。この試験の目的は、どの電池が動作するかを決定し、おそらくは欠陥のある電池または複数電池を決定することであり、言い換えればこの試験の目的は、動作する電池３ａ、３ｂ、３ｄの第１の群と欠陥のある電池３ｃの第２の群とを区別することである。この試験ステップは好ましくは、各電池３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄについて、第１の導電層１上の第１の電気的接触Ｃ１および前記電池３ｄの電気的試験を行うために該当する電池３ｄの第２の電極４ｂと関連付けられる第２の電気的接触Ｃ２を取ることによって行われる。図４でのように、接触Ｃ１およびＣ２は、回路を試験するためにマイクロエレクトロニクスで一般的に使用されるチップの形とすることができる。電気的試験は、電池３ｄの内部抵抗を測定することによって、電池３ｄを通って流れる電流を開回路で測定することによって（開回路電圧（Ｏｐｅｎ Ｃｉｒｃｕｉｔ Ｖｏｌｔａｇｅ）を表すＯＣＶ）、または電気化学的インピーダンス分光（ＥＩＳ）法によって行われてもよい。そのような試験は、速くかつ非破壊的な測定がスタックについて行われることを可能にする。電気的試験に加えて、光学的赤外線サーモグラフィ、ＡＦＭ（原子間力顕微鏡）、ＦＴＩＲ（フーリエ変換赤外分光）、ＸＰＳ（Ｘ線光電子分光）によって電池を検査することもまた可能であり、これらの試験の結果に応じて、電池が十分な品質特性を有していない場合、その電池は、不良品と判定され、欠陥があると考えられることになる。
電池がもはや、要求仕様、例えば電圧しきい値、電流しきい値、再充電時間、その他に適合しないとき、電池は、欠陥があると考えられてもよい。
試験が行われるとき、第１の接触Ｃ１は、永続的接触とすることができ、すなわち、この接触Ｃ１は、異なる電池の２つの試験の間に前記第１の接触Ｃ１を動かすことなくすべての電池を試験するために使用されることになる。このことは、試験が行われるとき、第１の導電層１が好ましくはすべての電池３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄの第１の電極４ａと電気的に接触するということによって可能にされる。一方で第２の接触Ｃ２は、対応する第２の電極４ｂと関連付けられるように電池から電池へと動かされることが可能となる。
「第２の電極４ｂと関連付けられる」とは、試験が行われるとき、第２の電極４ｂと、または支持基板２の反対側でスタックの頂部に配置された電池の導電性中間層６と直接接触させて第２の接触Ｃ２を設置することが可能であることを意味する（図２および図４）。この中間層６は、第２の電極４ｂと直接接触することができる。中間層６は、電気的試験を容易にするために２つの機能、すなわちスタックの保護および電気的接触の改善が果たされることを可能にし、この層６は好ましくは、チタン、ニッケル、白金、または他の適切な材料から作られる。実際に試験を行うためには、第１の接触Ｃ１と第１の電極４ａとの間および第２の接触Ｃ２と第２の電極４ｂとの間で電気的導通があればよい。
すべての電池が試験された後、欠陥のある電池および／または動作する電池のマッピングを作成することは、容易であり、そのマッピングは、電池デバイスの将来の回路を確立するために使用されることが可能となる。
図５で例示されるように、第１の導電層１から電気的に絶縁される第２の導電層７は、動作する電池だけが並列接続される回路を形成するように、電池の試験後に堆積され、次いで欠陥のある電池または複数電池はどれも、回路から切り離される。第１の導電層１および第２の導電層７は、動作する電池３ａ、３ｂおよび３ｄだけを並列接続するように構成される。第２の導電層７はそのとき、電池を有するデバイスの第２の電流コレクタを少なくとも部分的に形成し、次いで並列接続は、第１の電流コレクタと第２の電流コレクタとの間で行われる。
電池を有する得られたデバイスの容量、および最大出力もまた、支持基板の利用できる表面の充填率および欠陥のある電池の数の関数であることになる。
図５の特定例では、電池３ａ、３ｂおよび３ｄは、動作し、電池３ｃは、欠陥がある。第１の導電層１および第２の導電層７は、動作する電池を並列接続する電流コレクタを形成する。欠陥のある電池３ｃは、電流コレクタの１つだけ（層７）に電気的に接続され、したがって、動作する電池の並列回路に含まれない。
動作する電池の並列接続回路の形成は、異なる実施形態に従って実施されてもよい。
図６から図９で例示される第１の実施形態では、欠陥のある電池３ｃを支持する導電層１の一部分１ａは、図６および図７で例示されるように、動作する電池３ａ、３ｂ、３ｄに共通する第１の導電層１の別の部分１ｂから電気的に絶縁され、図７は、横断面Ｂ−Ｂと関連付けられる図６の上面図である。実際に、部分１ａは少なくとも好ましくは、欠陥のある電池の第１の電極４ａと電気的に接触する第１の導電層の一部分に対応する。この部分１ａの寸法は、欠陥のある電池を動作する電池に共通する部分１ｂから電気的に絶縁するように、支持される欠陥のある電池の寸法に少なくとも等しい。欠陥のある電池を絶縁するこのステップは、第２の導電層７を堆積させるステップの前に行われてもよく、次いで第１の層１は、依然として２つの隣接する電池の間でアクセス可能である。好ましくは、欠陥のあるすべての電池は、第２の導電層７を堆積させる前にこのようにして絶縁される。例えば、欠陥のある電池３ｃの絶縁は、第１の導電層１を支持基板２に至るまでエッチングすることによって行われる（図６および図７）。エッチングは、当業者に周知の任意の適切な方法によって行われてもよい。柔軟性がありかつ要件に合うように構成可能な方法である、レーザ・エッチング技術が好ましくは、使用されることになる。動作する電池および／または欠陥のある電池のマッピングに従って、レーザ・エッチングが、欠陥のある各電池について繰り返されることになる。欠陥のある電池の絶縁後に、第２の導電層７が次いで、第２の電極４ｂのレベルですべての電池を電気的に接続するように堆積されてもよい。「第２の電極のレベルで」とは、直接接触によってまたは先に言及された中間層６などの導電層の介在で、電気的導通が第２の電極４ｂと第２の導電層７との間で確立されることを意味する。言い換えれば、欠陥のある電池３ｃを回路から切り離すことは、前記欠陥のある電池を支持する第１の導電層の部分１ａを、動作する電池と関連付けられる第１の導電層の部分１ｂから絶縁することによって行われる。実際に図９では、第２の導電層７は、電池のすべての第２の電極４ｂと電気的に導通し、動作するすべての電池に共通する部分１ｂだけが、動作するすべての電池が電気的に並列接続されることを可能にする。
この第１の実施形態では、第１の導電層１と第２の導電層７との間の電気的絶縁は、電気絶縁層８の介在によって達成されてもよい。したがって、図８で例示されるように、欠陥のあるすべての電池３ｃが絶縁された後、電気絶縁層８が、好ましくは共形堆積によって電池上および電池間に堆積される（図８）。この電気絶縁層８は次いで、すべての電池３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄを第２の電極４ｂのレベルでアクセス可能にするようにパターン形成される（図９）。パターン形成によって生成された開口部は、前記第２の導電層７をすべての第２の電極と電気的に導通させて（直接接触または中間層６の介在で）設置することによって第２の導電層７が堆積されることを可能にする（図９）。電気絶縁層８は、誘電タイプとすることができる。
第１の実施形態では、第１の電流コレクタは、動作する電池に共通する第１の導電層の部分１ｂによって形成され、第２の電流コレクタは、第２の導電層７によって形成される。
図１０で例示される第２の実施形態によれば、第２の導電層７は、電気絶縁層８の後に堆積され、前記電気絶縁層８は、前記電池を覆う。第２の導電層７を堆積させる前に、電気絶縁層８は、動作する電池３ａ、３ｂ、３ｄだけをアクセス可能なままにするためにいくつかの場所で局所的に開口され、その結果第２の導電層７が堆積された後、前記第２の導電層７は、電気絶縁層８の局所的な開口部のレベルで動作する電池だけを電気的に接続する。動作する電池３ａ、３ｂ、３ｄは、電気絶縁層８を通じて接続される。開口部は、レーザによる電気絶縁層８の局所的なアブレーションによって作られてもよい。この実施形態は、除去されるべき材料の領域がより小さい表面であるので、第１の実施形態より好ましい。したがって、この第２の実施形態は製作速度が増すことを可能にし、単一の開口部で十分であるが、一方、第１の実施形態では、第１の導電層１は、欠陥のある電池の周りすべてでアブレーションされなければならない。
この第２の実施形態では、第１の導電層１は好ましくは、電池のすべての第１の電極４ａと電気的に接触し、第２の導電層７は、動作する電池３ａ、３ｂ、３ｄの第２の電極４ｂとだけ電気的に接触し、次いで電池３ｃは、回路から切り離される。第２の導電層７と電極４ｂとの間の電気的接触は、直接的であってもよくまたは先に明記されたような中間層６の介在によってもよい。
第２の実施形態では、第１の電流コレクタは、第１の導電層１によって形成され、第２の電流コレクタは、第２の導電層７によって形成される。
図１１で例示される第３の実施形態によれば、第２の導電層７は、すべての電池３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄと電気的に接続されるように堆積される。第２の導電層７は次いで、欠陥のある電池と関連付けられる第２の導電層の一部分７ａを、動作する電池に共通する第２の導電層の別の部分７ｂから電気的に絶縁するようにパターン形成される（次いで動作する電池は、それらの第２の電極４ｂを共通部分７ｂに電気的に接続される）。このパターン形成は、例えば第１の導電層が複数部分にパターン形成される実施形態について上述したのと同じ方法で欠陥のあるすべての電池について行われてもよい。欠陥のある電池と関連付けられる部分７ａは好ましくは、欠陥のある電池の第２の電極と電気的に導通する第２の導電層７の一部分に対応し、前記７ａの寸法は少なくとも、欠陥のある電池３ｃと動作する電池に共通する部分７ｂとの間の電気的接触を防止するように欠陥のある電池との界面における第２の導電層７の表面によって規定される。
第１および第３の実施形態に適用できる方法では、隣接する電池が欠陥があるものであるとき、その電池の絶縁を可能にする関連する導電層のアブレーションは、動作する電池に共通する部分と異なる単一部分が、欠陥のあるいくつかの電池と関連付けられるように行われてもよく、このことは、該当する導電層のレベルでの材料の除去が制限されることを可能にし、それによってデバイスの製作速度を増す。
第３の実施形態では、第１の電流コレクタは、動作する電池に共通する第２の導電層７の部分７ｂによって形成され、第２の電流コレクタは、第１の導電層１によって形成される。
図１２で例示される第３の実施形態の変形では、複数の電池３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄを形成するステップは好ましくは、すべての電池に共通する電解膜５の堆積を含み、前記電解膜５は、第１の導電層１および第２の導電層１７を電池の間で電気的に絶縁する。言い換えれば、複数の電池では、各電池は、その電池と排他的に関連付けられる２つの電極を含み、電解膜５は、すべての電池に共通する単一のパターン形成されない層を形成する。この共通する膜５の利点は、第１の導電層１と第２の導電層７との間の電気絶縁体としての役割を果たす追加の絶縁層の堆積を省略することができることである。実際、後者の場合には、第１の導電層１と第２の導電層７との間の電気絶縁の役割は、図１１で例示されるように、電池および２つの隣接電池間の隙間を覆う膜５自体によって行われる。
別の実施形態によれば、第２の導電層７は、電気的に並列接続された動作する電池３ａ、３ｂ、３ｄおよび動作する電池３ａ、３ｂ、３ｄから電気的に絶縁された欠陥のある電池３ｃを含む電池デバイスを形成するように、動作する電池３ａ、３ｂ、３ｄの上にだけ堆積される。
最後に、このことは、図には示されていないが、電池デバイスは、外部大気に対して前記デバイスを保護するためにカプセルに入れられてもよい。そのような保護は、薄層のスタック、積層、カバーの追加、その他によって形成されてもよい。
異なる例および実施形態では、デバイスは、薄層によって形成されたベースから製作されてもよい。第１の導電層は、Ａｌ、Ｐｔ、Ａｕ、Ｔｉ、Ｗ、またはＭｏから作られてもよい。正電極と呼ばれる電極の１つは、ＬｉＴｉＯＳ、ＬｉＣｏＯ２、ＬｉＮｉＯ２、ＬｉＭｎ２Ｏ４、ＣｕＳ、ＣｕＳ２、ＷＯｙＳｚ、ＴｉＯｙＳｚ、Ｖ２Ｏ５から作られる。正電極のために選択される材料に応じて、特にリチウム化酸化物について、関連する層の結晶化を増大させ、そのイオン挿入特性を高めるために熱的アニーリングが必要なこともあり、他方では、チタン酸硫化物などのある種の非晶質材料は、高いリチウム・イオン挿入を可能にするためのそのような処理を必要としない。電解膜は、好ましくは良好なイオン伝導体および電気絶縁体であり、一般には酸化ホウ素、酸化リチウムまたはリチウム塩によって形成されたベースを有するガラス質材料から形成される。ＬｉＰＯＮ、ＬｉＳｉＰＯＮまたはＬｉＰＯＮＢのベースを有する膜は、それらの性能のために好ましいことになる。負電極は、Ｓｉ、熱蒸発によって堆積された金属リチウム、金属リチウム合金または挿入化合物（ＳｉＴＯＮ、ＳｎＮｘ、ＩｎＮｘ、ＳｎＯ２、その他）とすることができ、負電極はまた、存在しなくてもよく、その場合には、リチウムを阻止する金属層が、堆積され、リチウムが次いで、この層の上に電着される。一般に、これらの層は、例えば機械的マスキング、フォトリソグラフィ、レーザ・エッチングの技術を用いて、スタックを描くようにパターン形成される（おそらくは膜を形成するように設計された層を除いて）。フォトリソグラフィなどの方法が好ましい。なぜなら、この方法は電池の活性表面を最大にするために小さなエッチング・マークで高精度が達成されることを可能にし、したがって電池デバイスの最大容量を可能にするからである。
特定の例となる実施形態によれば、第１の導電層は、アルミニウムから作られ、第１の電極は、ＬｉＴｉＯＳから作られ、膜５は、ＬｉＰＯＮＢから作られ、第２の電極は、Ｓｉから作られ、中間層６は、チタンから作られ、第２の導電層は、アルミニウム、チタン、ニッケルまたは他の適切な材料から作られる。
図示されない変形によれば、欠陥のある電池が、検出されると、局所的なエッチング・ステップがその後、欠陥のあるスタック全体を第１の導電層に至るまで除去するために行われる。先に述べられた異なる実施形態では、動作する電池３ａ、３ｂ、３ｄは、第１の導電層１および第２の導電層７に電気的に接続され、欠陥のある電池３ｃは、導電層１および導電層７のうちの１つのプラス（ｐｌｕｓ）に接続される。例えば、欠陥のある電池は、導電層１および導電層７の１つに電気的に接続されるだけか、または第１の導電層１および第２の導電層７から電気的に絶縁される。
電池は、構成によって不透明な活性領域を形成する。これらの活性領域以外では、電池を有するデバイスは好ましくは、透明であることになる。このために、第１の導電層１および第２の導電層７は好ましくは、ＴＣＯ（透明伝導性酸化物）から作られることになる。隣接する電池の間では、第１の導電層１および第２の導電層７は、必要とされれば、また透明でもある単一の電気絶縁層８によって分離されてもよい。第１の導電層１および第２の導電層７が、２つの隣接する電池の間で電解膜５の一部によって分離される第３の実施形態では、電解膜５は好ましくは、電解膜５に透明特性を与えるためにリチウム化ガラスから作られることになる。この種類の材料の使用は、最終デバイスが透明特性を提供されることを可能にする。例えば、支持基板の表面の１０％の充填率は、約７０％の透過率係数をもたらす。約４０％までの充填率が、達成される可能性がある。容量と透過率との間のトレードオフがその結果、見いだされることもある。スタックの横寸法はさらに好ましくは、裸眼には見えないように１００μｍより小さいことになる。有利には、電池は、４０％以下である支持基板２の充填率を得るように配置され、各電池の表面は、１０４μｍ２以下である。電池の表面とは、支持基板２のレベルで電池によって占有される表面を意味する。電池は好ましくは、例えば前に示されたようなマトリクスの形で、基板の表面に一様に配置される。
透明性の利点を利用して、例えば色を変えるためにエネルギーを必要とするエレクトロクロミック性（ｅｌｅｃｔｒｏｃｈｒｏｍｅ）を持つ活性窓（ａｃｔｉｖｅ ｗｉｎｄｏｗ）、または光起電セルのカプセル化を提供してもよい。
少なくとも１つの電池が、欠陥があると検出されるとき、得られる電池デバイスは、複数の電池を含み、その第１の組は、電気的に並列接続された動作する電池を含み、その第２の組は、導電層の１つによって形成される電流コレクタの１つだけに接続される欠陥のある少なくとも１つの電池を含む。
目標とされる応用は、自律センサ、スマート・カード、スマート・ラベル、および大きな表面上のあらゆる種類の柔軟な電子機器を含む。
Claims (12)
- 電池を有するデバイスを作製するための方法において、以下の連続するステップ、すなわち
主表面を形成する第１の導電層（１）を含む支持基板（２）を用意するステップと、
複数の電池（３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ）を前記第１の導電層（１）上に同時に形成するステップと、
動作する電池（３ａ、３ｂ、３ｄ）の第１の群と欠陥のある電池（３ｃ）の第２の群とを区別するために前記電池（３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ）の動作を試験するステップと、
前記第１の導電層（１）から電気的に絶縁される第２の導電層（７）を形成するステップであって、前記第２の導電層（７）および前記第１の導電層（１）が、前記動作する電池（３ａ、３ｂ、３ｄ）だけを並列接続するように構成される、ステップとを含むことを特徴とする方法。 - 前記複数の電池（３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ）が、前記第１の導電層（１）上に形成され、前記導電層が、前記複数の電池（３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ）を電気的に接続することを特徴とする、請求項１に記載の方法。
- 前記電池（３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ）が、前記支持基板（２）に平行な１つの同じ平面に置かれることを特徴とする、請求項１および２の一項に記載の方法。
- 前記電池が、４０％以下の前記支持基板（２）の充填率を得るように配置され、各電池の表面が、１０４μｍ２以下であることを特徴とする、請求項１ないし３のいずれか一項に記載の方法。
- 各電池（３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ）が、第１の電極（４ａ）、電解膜（５）、および第２の電極（４ｂ）を含むスタックを含み、前記第１の電極（４ａ）が、前記第１の導電層（１）と電気的に接触することを特徴とする、請求項１ないし４のいずれか一項に記載の方法。
- 前記試験するステップが、各電池（３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ）について、前記第１の導電層（１）上の第１の電気的接触（Ｃ１）、および前記電池の電気的試験を行うように該当する前記電池の前記第２の電極（４ｂ）と関連付けられる第２の電気的接触（Ｃ２）を取ることによって行われることを特徴とする、請求項５に記載の方法。
- 前記動作する電池（３ａ、３ｂ、３ｄ）が、前記第１の導電層（１）および前記第２の導電層（７）に接続され、前記欠陥のある電池（３ｃ）が、前記導電層（１）および前記導電層（７）のうちの１つのプラスに電気的に接続されることを特徴とする、請求項１ないし６のいずれか一項に記載の方法。
- 欠陥のある電池（３ｃ）によって覆われる前記第１の導電層の一部分（１ａ）が、前記第２の導電層（７）の前記堆積ステップの前に、前記動作する電池（３ａ、３ｂ、３ｄ）に電気的に結合される前記第１の導電層の別の部分（１ｂ）から電気的に絶縁されることを特徴とする、請求項１ないし７のいずれか一項に記載の方法。
- 前記第２の導電層（７）が、すべての前記電池（３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ）と電気的に接続されるように堆積され、前記第２の導電層（７）が、欠陥のある電池（３ｃ）と関連付けられる前記第２の導電層の一部分（７ａ）を、前記動作する電池（３ａ、３ｂ、３ｄ）に共通する前記第２の導電層の別の部分（７ｂ）から電気的に絶縁するようにパターン形成されることを特徴とする、請求項１ないし７のいずれか一項に記載の方法。
- 前記複数の電池を形成する前記ステップが、すべての前記電池に共通する電解膜（５）の堆積を含み、前記電解膜が、前記第１の導電層（１）および前記第２の導電層（７）を前記電池の間で電気的に絶縁することを特徴とする、請求項９に記載の方法。
- 前記第２の導電層（７）が、電気的に並列接続された前記動作する電池（３ａ、３ｂ、３ｄ）および前記動作する電池（３ａ、３ｂ、３ｄ）から電気的に絶縁された前記欠陥のある電池（３ｃ）を含む電池デバイスを形成するように、前記動作する電池（３ａ、３ｂ、３ｄ）の上にだけ堆積されることを特徴とする、請求項１ないし７のいずれか一項に記載の方法。
- すべての前記電池（３ａ、３ｂ、３ｃ、３ｄ）を覆うための電気絶縁層（８）を堆積するステップと、
前記動作する電池（３ａ、３ｂ、３ｄ）だけにアクセスするために前記電気絶縁層（８）を局所的に開口するステップと、
前記電気絶縁層（８）を通じてすべての前記動作する電池（３ａ、３ｂ、３ｄ）を接続するために前記第２の導電層（７）を堆積するステップとを含むことを特徴とする、請求項１ないし７のいずれか一項に記載の方法。
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